KR101184431B1 - Method for correcting defect - Google Patents
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Abstract
칼라 필터 기판의 결함부를 수정하기 위한 칼라 자외선 경화 수지(4)를 수용하는 용기(1)와, 상기 용기(1)의 선단에 장착되어 상기 칼라 자외선 경화 수지(4)를 상기 결함부에 토출시키는 토출 침(2)과, 상기 용기(1) 내의 칼라 자외선 경화 수지(4)에 양압을 부여하여 상기 칼라 자외선 경화 수지(4)를 상기 토출 침(2)으로부터 토출시키는 토출 제어 수단(3)을 구비한 디스펜서로서, 상기 토출 침(2)은 가열 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 선단을 침 본체부보다 가는 형상으로 형성한 것이다. 이것에 의하여 토출 대상물의 미소한 결함부에 토출재를 충전하여 상기 결함부를 수정하는 것이 가능하게 된다.A container 1 accommodating the colored ultraviolet curable resin 4 for correcting the defective part of the color filter substrate, and attached to the tip of the container 1 to discharge the colored ultraviolet curable resin 4 to the defective part. The discharge control means 3 which applies positive pressure to the discharge needle 2 and the color ultraviolet curable resin 4 in the said container 1, and discharges the said color ultraviolet curable resin 4 from the discharge needle 2, As a dispenser provided, the discharge needle 2 is formed by thinly extending the heat-softened glass pipe to form the tip of the needle in a shape thinner than the needle body portion. Thereby, it becomes possible to fill a discharge material with a minute defect part of a discharge object, and to correct the said defect part.
디스펜서, 칼라 자외선 경화 수지, 칼라 필터 Dispenser, Color UV Curing Resin, Color Filter
Description
본 발명은 토출재를 토출 대상물에 대하여 토출하여 상기 토출 대상물의 결함을 수정하는 디스펜서 및 결함 수정 방법에 관한 것으로, 상세하게는 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘여 토출 침의 침 선단을 침 본체보다 가늘게 형성함으로써, 토출 대상물의 미소한 결함부에 토출재를 충전하여 상기 결함부의 수정을 하는 디스펜서 및 결함 수정 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a dispenser for correcting a defect of the discharge object by discharging the discharge material to the discharge object and a defect correction method. Specifically, the softened glass pipe is elongated to form the tip of the discharge needle thinner than the needle body. The present invention relates to a dispenser and a defect correction method in which a discharge material is filled in a minute defective portion of an object to be discharged to correct the defective portion.
종래의 이러한 종류의 결함 수정 방법으로는, 예를 들면 액정 표시 장치용 칼라 필터의 결함 수정 방법으로서, 칼라 필터 상의 결함부에 대하여 야그(YAG) 레이저를 조사하여 결함부를 트리밍하여 확대하고, 상기 트리밍된 결함부에 디스펜서에 의하여 수정용 칼라 자외선 경화 수지를 충전하고, 자외선을 조사하여 칼라 자외선 경화 수지를 경화하여 결함부를 수정하는 것이 있었다 (예를 들면, 특허 문헌 1 참조). As a conventional defect correction method of this kind, for example, as a defect correction method of a color filter for a liquid crystal display device, a yag laser is irradiated to a defect portion on a color filter to trim and enlarge the defect portion, and the trimming is performed. The defective part was filled with the color ultraviolet curable resin for correction by a dispenser, the ultraviolet ray was irradiated, the color ultraviolet curable resin was cured, and the defect part was corrected (for example, refer to Patent Document 1).
특허 문헌 1:일본 공개 특허 공보 평6-109919호 Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 6-109919
그러나 이와 같은 종래의 결함 수정 방법에서 사용되는 디스펜서는, 일반적으로 스테인리스로 제작한 토출 침을 사용하는 것이었기 때문에, 형성할 수 있는 침의 최소 내경은 100 ㎛ 정도이고, 최소 토출량은 1 ㎕ 정도이었다. 이것에 대하여, 칼라 필터의 트리밍된 미소한 결함부의 수정에 필요한 칼라 자외선 경화 수지의 양은 약 5 pL 내지 20 pL로 미량이기 때문에, 종래의 스테인리스로 제작한 토출 침을 사용하였을 경우에는 트리밍된 결함부로부터 칼라 자외선 경화 수지가 넘쳐 버리는 문제가 있었다. 따라서 디스펜서를 사용하는 결함 수정 방법은 실용화되지 않았다. However, since the dispenser used in such a conventional defect correction method generally uses a discharge needle made of stainless steel, the minimum internal diameter of the needle that can be formed was about 100 μm, and the minimum discharge amount was about 1 μl. . On the other hand, since the amount of the color UV-curable resin required for the correction of the trimmed minute defects of the color filter is about 5 pL to 20 pL, the amount of the trimmed defects is reduced when the discharge needle made of conventional stainless steel is used. There was a problem that the color ultraviolet curable resin overflowed. Therefore, a defect correction method using a dispenser has not been put to practical use.
이에 본 발명은 이와 같은 문제점에 대처하여, 토출 대상물의 미소한 결함부에 토출재를 충전하여 상기 결함부의 수정을 하는 디스펜서 및 결함 수정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a dispenser and a defect correction method for correcting the defective portion by filling the discharge material in the minute defective portion of the discharge object.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 디스펜서는 토출 대상물의 결함부를 수정하기 위한 토출재를 수용하는 용기와, 상기 용기의 선단에 설치되어 상기 토출재를 상기 결함부에 토출시키는 토출 침과, 상기 용기 내의 토출재에 양압(positive pressure)을 부여하여 상기 토출재를 상기 토출 침으로부터 토출시키는 토출 제어 수단을 구비한 디스펜서로서, 상기 토출 침은 가열 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 선단을 침 본체부보다 가는 형상으로 형성한 것이다. In order to achieve the above object, the dispenser according to the present invention includes a container for holding a discharge material for correcting a defective portion of the discharge object, a discharge needle provided at the tip of the container to discharge the discharge material to the defective portion, A dispenser having a discharge control means for imparting a positive pressure to the discharge material in the container to discharge the discharge material from the discharge needle, wherein the discharge needle thinly extends the heat-softened glass pipe to pierce the needle tip. It is formed in a shape thinner than wealth.
이와 같은 구성에 의하여, 용기에 토출 대상물의 결함부를 수정하기 위한 토출재를 수용하고, 토출 제어 수단으로 용기 내의 토출재에 양압을 부여하고, 상기 용기의 선단에 장착되고, 침 선단이 가열 연화된 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 본체부보다 가는 형상으로 형성된 토출 침으로부터 상기 결함부에 토출재를 토출한다. 이것에 의하여, 토출 대상물의 미소한 결함부에의 토출재의 충전을 가능하게 한다. With such a configuration, a discharge material for correcting a defective portion of the discharge object is accommodated in the container, a positive pressure is applied to the discharge material in the container by discharge control means, mounted on the tip of the container, and the needle tip is heated and softened. The glass pipe is elongated to discharge the discharge material from the discharge needle formed in a shape thinner than the needle body portion. This makes it possible to charge the discharge material to the minute defective portion of the discharge object.
또한, 본 발명에 의한 결함 수정 방법은 토출 대상물의 결함부를 수정하기 위한 토출재를 수용하는 용기와, 상기 용기의 선단에 장착되어 상기 토출재를 상기 결함부에 토출시키는 토출 침과, 상기 용기 내의 토출재에 양압을 부여하여 상기 토출재를 상기 토출 침으로부터 토출시키는 토출 제어 수단을 구비한 디스펜서를 사용하여 토출 대상물의 결함부를 수정하는 결함 수정 방법으로서, 상기 디스펜서의 토출 침으로부터 1회의 토출 동작에 의하여 토출되는 토출재의 토출량 및 도포 두께에 기초하여 미리 설정된 트리밍 사이즈로 상기 결함부를 트리밍하여 크게 하고, 상기 트리밍하여 커진 결함부에 상기 토출 침으로부터 1회의 토출 동작에 의하여 토출재를 토출하는 것이다. In addition, the defect correction method according to the present invention includes a container accommodating a discharge material for correcting a defective portion of a discharge object, a discharge needle attached to the tip of the container to discharge the discharge material to the defect portion, A defect correction method of correcting a defective portion of an object to be discharged by using a dispenser having a discharge control means for applying a positive pressure to a discharge material to discharge the discharge material from the discharge needle, wherein a single discharge operation is performed from the discharge needle of the dispenser. The defective portion is trimmed and enlarged at a trimming size set in advance based on the discharge amount and the coating thickness of the discharged material discharged by the discharged material, and the discharged material is discharged by one discharge operation from the discharge needle on the trimmed enlarged defective portion.
또한, 본 발명에 의한 결함 수정 방법은 토출 대상물의 결함부를 수정하기 위한 토출재를 수용하는 용기와, 상기 용기의 선단에 장착되어 상기 토출재를 상기 결함부에 토출시키는 토출 침과, 상기 용기 내의 토출재에 양압을 부여하여 상기 토출재를 상기 토출 침으로부터 토출시키는 토출 제어 수단을 구비한 디스펜서를 사용하여 토출 대상물의 결함부를 수정하는 결함 수정 방법으로서, 상기 결함부의 크기를 계측하고, 사이즈가 다른 사각형 형상의 복수의 트리밍 사이즈 중에서 어느 하나를 상기 결함부의 크기에 따라 선택하여 상기 결함부를 트리밍하고, 상기 트리밍된 결함부에 대하여 상기 선택된 트리밍 사이즈에 따라 미리 설정된 토출 회수만큼 상기 토출재를 토출하는 것이다. In addition, the defect correction method according to the present invention includes a container accommodating a discharge material for correcting a defective portion of a discharge object, a discharge needle attached to the tip of the container to discharge the discharge material to the defect portion, A defect correction method for correcting a defective portion of an object to be discharged by using a dispenser having a discharge control means for applying a positive pressure to a discharge material to discharge the discharge material from the discharge needle, wherein the size of the defective portion is measured and the size is different. Selecting one of a plurality of rectangular-shaped trimming sizes according to the size of the defective portion to trim the defective portion, and discharging the discharge material by a predetermined number of discharges according to the selected trimming size with respect to the trimmed defective portion; .
또한, 상기 디스펜서의 토출 침은 가열 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘림으로써, 침 선단이 침 본체부보다 가늘어진 형상으로 형성된 것이다. 이것에 의하여, 침 선단이 가열 연화된 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 본체부보다 가는 형상으로 형성된 디스펜서의 토출 침으로부터 피토출 대상물의 미소한 결함부에 토출재를 토출한다. In addition, the discharge needle of the dispenser is formed in a shape in which the tip of the needle is thinner than the needle body portion by increasing the heat-softened glass pipe. In this way, the discharge material is discharged from the discharge needle of the dispenser formed in a shape thinner than the needle body portion by elongating the glass pipe where the needle tip is heated and softened.
또한 상기 토출재는 자외선 조사에 의하여 경화되는 자외선 경화 수지이다. 이것에 의하여, 자외선의 조사에 의하여 경화되는 자외선 경화 수지로 결함부를 충전하여 수정한다.In addition, the discharge material is an ultraviolet curable resin cured by ultraviolet irradiation. Thereby, a defect part is filled and correct | amended with ultraviolet curable resin hardened | cured by irradiation of an ultraviolet-ray.
또한, 상기 토출 대상물은 칼라 필터 기판이다. 이것에 의하여, 칼라 필터 기판의 칼라 필터의 결함을 수정한다. The discharge object is a color filter substrate. This corrects the defect of the color filter of the color filter substrate.
발명의 효과Effects of the Invention
본 발명에 의하면, 토출 침을 가열 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 선단을 가늘게 형성함으로써, 내경(D)이 수 ㎛ 내지 수십 ㎛인 토출 침을 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 미량의 토출재의 토출이 가능하게 되고, 디스펜서를 사용하여 토출 대상물의 미소한 결함부의 수정을 실시할 수 있다. According to the present invention, by elongating the glass pipe obtained by heat-softening the ejection needle, the tip of the needle is tapered, the ejection needle having an inner diameter D of several micrometers to several tens of micrometers can be easily formed. Therefore, it is possible to discharge a small amount of the discharging material, and the minute defect portion of the discharge object can be corrected by using the dispenser.
또한, 본 발명에 의하면, 디스펜서로부터 토출되는 토출재의 토출량 및 도포 두께에 기초하여 미리 설정된 사이즈로 결함부를 트리밍하고, 상기 트리밍된 결함부에 소정량의 토출재를 토출하도록 함으로써, 결함부의 크기에 관계 없이 항상 일정한 사이즈로 트리밍하여, 토출재를 충전할 수 있다. 따라서, 결함 수정 작업이 간편하게 되고, 수정 작업에 걸리는 시간을 단축할 수 있다. Further, according to the present invention, the defect portion is trimmed to a predetermined size based on the discharge amount and the coating thickness of the discharge material discharged from the dispenser, and a predetermined amount of the discharge material is discharged to the trimmed defect portion, thereby relating to the size of the defect portion. It can always be trimmed to a constant size without filling the discharge material. Therefore, the defect correction operation can be simplified, and the time taken for the correction operation can be shortened.
또한, 본 발명에 의하면, 결함부를 트리밍하기 위하여 미리 설정된 복수의 트리밍 사이즈 중에서 그 하나를 결함부의 크기에 따라 선택하여 상기 결함부를 트리밍하고, 상기 트리밍된 결함부에 대하여 상기 선택된 트리밍 사이즈에 따라 설정된 토출 회수만큼 토출재를 토출하도록 함으로써, 결함부가 작은 경우에는 트리밍 사이즈를 작게 하여 토출재의 토출량을 줄일 수 있다. 따라서, 결함 수정에 사용하는 토출재의 사용량을 억제할 수 있다. 또한, 결함부가 큰 경우에는 트리밍 사이즈를 크게 하는 동시에, 토출 회수를 많게 하여 토출재를 충전할 수 있다. 이에 따라, 1개의 토출 침으로 다른 사이즈의 트리밍부에 대하여도 대응할 수 있다. Further, according to the present invention, in order to trim a defective part, one of a plurality of preset trimming sizes is selected according to the size of the defective part to trim the defective part, and the discharge set according to the selected trimming size for the trimmed defective part. By discharging the discharge material by the number of times, when the defect portion is small, the trimming size can be reduced to reduce the discharge amount of the discharge material. Therefore, the usage-amount of the discharge material used for defect correction can be suppressed. When the defect portion is large, the trimming size can be increased, and the discharge number can be increased to fill the discharge material. Thereby, it can respond also to the trimming part of another size with one discharge needle.
또한, 본 발명에 의하면, 토출재로서 자외선의 조사에 의하여 경화하는 자외선 경화 수지를 사용함으로써, 경화시의 체적 변화를 수%로 억제할 수 있어, 도포 두께 조절이 용이해진다. Moreover, according to this invention, by using the ultraviolet curable resin hardened | cured by irradiation of an ultraviolet-ray as a discharge material, the volume change at the time of hardening can be suppressed to several%, and coating thickness adjustment becomes easy.
또한, 본 발명에 의하면, 토출 대상물을 칼라 필터 기판으로 함으로써, 액정 표시 장치의 칼라 필터의 결함 수정을 실시할 수 있다. Moreover, according to this invention, defect correction of the color filter of a liquid crystal display device can be performed by making a discharge object into a color filter substrate.
도 1은 본 발명에 의한 디스펜서의 실시 형태를 나타내는 개념도이다. 1 is a conceptual diagram showing an embodiment of a dispenser according to the present invention.
도 2는 상기 디스펜서의 토출 침을 나타내는 종단면도이다. 2 is a longitudinal sectional view showing a discharge needle of the dispenser.
도 3은 토출 침의 내경과 1회당 토출량 및 다른 세 개의 사이즈의 트리밍부를 충전하는 데 필요한 토출 회수와의 관계를 나타내는 도면이다. Fig. 3 is a diagram showing the relationship between the inner diameter of the discharge needle, the discharge amount per stroke, and the number of discharges required for filling the trimming sections of three different sizes.
도 4는 본 발명에 의한 결함 수정 방법을 설명하기 위한 칼라 필터 기판의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of a color filter substrate for explaining a defect correction method according to the present invention.
도 5는 본 발명에 의한 결함 수정 방법을 설명하는 칼라 필터 기판의 평면도이다. It is a top view of the color filter board | substrate explaining the defect correction method by this invention.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **
1 용기 1 container
2 토출 침 2 discharge needle
2a 침 선단 2a needle tip
2b 침 본체부 2b needle body
3 토출 제어 수단 3 discharge control means
4 칼라 자외선 경화 수지(토출재) 4 color ultraviolet curing resin (discharge material)
5 칼라 필터 5 color filters
11 결함부 11 defective parts
이하, 본 발명의 실시 형태를 첨부 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on an accompanying drawing.
도 1은 본 발명에 의한 디스펜서의 실시 형태를 나타내는 개념도이다. 이 디스펜서는 토출재를 토출 대상물에 대하여 토출하여 상기 토출 대상물의 미소한 결함부를 수정하는 데 사용하는 것으로, 용기(1)와, 토출 침(2)과, 토출 제어 수단(3)을 구비하고 있다. 1 is a conceptual diagram showing an embodiment of a dispenser according to the present invention. The dispenser is used to discharge the discharge material to the discharge target and to correct the minute defects of the discharge target. The dispenser includes a
상기 용기(1)는 토출 대상물의 결함부를 수정하는 토출재를 저장하는 탱크로서, 예를 들면 토출 대상물이 칼라 필터 기판인 경우에는, 토출재로서 칼라 필터의 칼라 자외선 경화 수지(4)를 저장한다. 이 칼라 자외선 경화 수지(4)는 자외선의 조사에 의하여 경화되는 것으로, 경화시의 체적 변화는 수%이기 때문에 도포 두께 조절이 용이하다. 이것에 대하여, 토출재로서 열경화성 수지도 사용할 수 있으나, 이 열경화성 수지는 경화시의 체적 변화가 약 50%이기 때문에 소정의 두포 두께를 얻기 위하여 도포 두께의 약 2배의 열경화성 수지를 토출하여야 하므로, 열경화성 수지가 트리밍된 결함부로부터 넘쳐 버릴 우려가 있다. 이에, 이하의 설명에서는 토출 대상물로서 컬러 필터 기판을 사용하고, 토출재로서 칼라 자외선 경화 수지(4)를 사용하는 경우에 대하여 설명한다. The
상기 용기(1)의 선단부에는 토출 침(2)이 설치되어 있다. 이 토출 침(2)은 칼라 자외선 경화 수지(4)를 칼라 필터 기판의 결함부(11)(도 4 참조)에 토출시키는 유리 파이프로 제작한 것이다. 이 경우, 칼라 필터의 결함 수정에 필요한 칼라 자외선 경화 수지(4)의 양은 칼라 필터의 막 두께를 2 ㎛로 하고, 트리밍 사이즈가, 예를 들면 50㎛×50㎛일 때에는 5 pL, 100㎛×100㎛일 때에는 20 pL로 미량이기 때문에, 토출 침(2)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 가열 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 선단(2a)을 침 본체부(2b)보다 가는 형상으로 형성하고 있다. 유리 파이프를 가열 연화시켜 가늘게 늘이면, 이에 따라 파이프의 내경도 작아져, 내경(D)이 수 ㎛ 내지 수십 ㎛의 가는 침 선단(2a)도 용이하게 형성할 수 있다. A
도 3은 토출 침(2)의 내경(D)과 1회당 토출량(V) 및 다른 세 개의 사이즈의 트리밍부를 충전하는데 필요한 토출 회수와의 관계를 참고를 위하여 도시한 것이다. 토출량(V)은 에어 압력, 토출 시간 및 칼라 자외선 경화 수지(4)의 점도 등에 따라 다르지만, 여기에서는 도 2에 나타내는 침 선단(2a)의 길이(L) 부분에 있는 칼라 자외선 경화 수지(4)가 1회의 토출 동작으로 토출되는 것으로서 계산한 것이다. FIG. 3 shows for reference the relationship between the inner diameter D of the
상기 트리밍의 사이즈를 결함부(11)의 크기에 따라 선택할 수 있는 경우에, 선택 가능한 트리밍 사이즈가, 예를 들면 50 ㎛각(角), 70 ㎛각 및 100 ㎛각일 때, 각 사이즈의 트리밍부를 충전 가능한 토출 회수는 내경(D)이 3 ㎛ 내지 19 ㎛인 토출 침(2)에 대하여 도 3에 나타내는 것이 된다. 또한, 도 3에 있어서 사선으로 나타내는 영역 A는 대응 사이즈의 트리밍부의 체적에 비하여 1회의 토출량이 너무 많기 때문에, 상기 트리밍부로부터 칼라 자외선 경화 수지(4)가 넘쳐버리게 되어 적용할 수 없는 영역이다. 또한, 영역 B는 각 트리밍부를 충전하는데 11회 이상의 토출을 반복할 필요가 있고, 택트(tact) 시간이 길어서 바람직하지 않은 영역이다. When the size of the trimming can be selected according to the size of the
도 3에 의하면, 1개의 토출 침(2)으로 상기 세 개의 사이즈의 트리밍부에 대응할 수 있는 것은 도 3에 있어 굵은 파선으로 둘러싸인 내경(D)이 6 ㎛ 내지 9 ㎛인 토출 침(2)이다. 따라서, 이 경우, 토출 침(2)은 침 선단(2a)의 내경(D)이 6 ㎛ 내지 9 ㎛가 되도록 형성한다. 또한, 상기 트리밍 사이즈는, 예를 들면 결함부(11)의 크기가 30㎛≤S<50㎛ 때에는 50 ㎛각을, 또 50㎛≤S<70㎛ 때에는 70 ㎛각을, 또는 70㎛≤S<100㎛일 때에는 100 ㎛각을 선택하도록 한다. According to FIG. 3, one
상기 용기(1)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 배관 튜브(6)를 사이에 두고 토출 제어 수단(3)이 접속되어 있다. 이 토출 제어 수단(3)은 상기 용기(1)에 저장한 칼라 자외선 경화 수지(4)에 양압을 작용시키는 것으로, 에어 탱크(7)와 타이머(8)와 전자 밸브(9)와 유량 제어 밸브(10)를 구비하고 있다. 이때, 에어 탱크(7)는, 예를 들면 에어 펌프로부터 공급된 에어를 일시적으로 저장하는 것으로, 유량 제어 밸브(10)를 사이에 두고 전자 밸브(9)에 접속되어 있다. 또한, 타이머(8)는 미리 설정된 시간만큼 스위치를 온(ON)하여 전자 밸브(9)에 통전시킴으로써, 전자 밸브(9)는 통전의 온 또는 오프에 의하여 밸브의 개폐 동작을 하는 것이다. 이에 의하여, 토출 제어 수단(3)은 타이머(8)로 설정된 시간만큼 전자 밸브(9)를 열게 하여, 에어 탱크(7)에 일시적으로 저장된 에어를 유량 제어 밸브(10)에 의하여 유량 제어하면서 배관 튜브 (6)를 거쳐 상기 용기(1)에 공급하고, 용기(1) 내에 도입된 에어의 양압에 의하여 칼라 자외선 경화 수지(4)를 용기(1)의 토출 침(2)으로부터 적당량을 토출시키도록 동작한다. As shown in FIG. 1, the discharge control means 3 is connected to the
이와 같이, 본 발명의 디스펜서에 의하면, 토출 침(2)을 유리 파이프제로 하고, 가열 연화시킨 유리 파이프를 가늘게 늘여 침 선단(2a)을 가늘게 형성함으로써, 내경(D)이 수 ㎛ 내지 수십 ㎛인 토출 침(2)을 용이하게 형성할 수 있다. 따라서, 미량의 칼라 자외선 경화 수지(4)의 토출이 가능하게 되고, 디스펜서를 사용하여 칼라 필터의 미소한 결함부의 수정이 가능해진다. As described above, according to the dispenser of the present invention, the
다음으로, 상기 디스펜서를 사용하여 칼라 필터의 결함부를 수정하는 결함 수정 방법을 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다. Next, a defect correction method for correcting the defective portion of the color filter using the dispenser will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
먼저, 제1 스텝에서는, 도시를 생략한, 예를 들면 관찰용 CCD 카메라의 대물렌즈를 통하여 칼라 필터 상의 결함부를 검출하고, 예를 들면 대물렌즈에 구비된 게이지에 의하여 결함부의 크기를 계측한다. First, in a 1st step, the defect part on a color filter is detected through the objective lens of the observation CCD camera, for which illustration is abbreviate | omitted, and the magnitude | size of a defect part is measured by the gauge provided in the objective lens, for example.
제2 스텝에서는 칼라 필터(5)의 결함부의 크기에 따라 트리밍 사이즈가 선택된다. 이 선택은 트리밍용 레이저 광선이 통과하는 슬릿을 선택함으로써 이루어진다. 예를 들면, 결함부의 크기(S)가 30㎛≤S<50㎛일 때에는 50 ㎛각의 슬릿이, 50㎛≤S<70㎛일 때에는 70 ㎛각의 슬릿이, 또한 70㎛≤S<D0㎛일 때에는 100 ㎛각의 슬릿이 선택된다.In the second step, the trimming size is selected according to the size of the defective portion of the
제3 스텝에서는, 상기 선택된 슬릿을 통하여, 도 4a에 나타내는 바와 같이, 결함부(11)에 대하여 트리밍용의 예를 들면 532 nm 또는 355 nm의 레이저 광선(12)이 소정 시간만큼 조사되고, 결함부(11)가 트리밍되어 커진다 (도 5a 참조). 이 트리밍은 칼라 필터(5) 상에 부착한 이물질 등의 돌기물을 제거하기 위하여 또는 결함부(11)에 주입되는 칼라 자외선 경화 수지(4)가 결함부(11)로부터 흘러넘치지 않도록, 1회의 토출 동작으로 토출 침(2)으로부터 토출되는 칼라 자외선 경화 수지(4)의 토출량을 고려하여 결함부(11)를 의도적으로 크게 하기 위하여 실시하는 것이다. In the third step, as shown in FIG. 4A, the
제4 스텝에서는, 도 4b에 도시하는 바와 같이, 토출 침(2)의 침 선단(2a)이 결함부(11)에 위치된다. 이 상태로 도시를 생략한 토출 개시 스위치를 누르면, 도 1에 나타내는 토출 제어 수단(3)의 타이머(8)가 동작하여, 미리 설정한 시간만큼 전자 밸브(9)를 연다. 이것에 의하여, 압축 에어가 에어 탱크(7)로부터 유량 제어 밸브(10)로 유량이 조정되면서 배관 튜브(6)를 거쳐 용기(1)에 공급된다. 또한, 용기(1) 내의 칼라 자외선 경화 수지(4)에 에어에 의한 양압이 부여되고, 칼라 자외선 경화 수지(4)는 토출 침(2)으로부터 트리밍된 결함부(11)에 토출된다(도 5b 참조). 이 경우, 예를 들면 내경(D)이 6 ㎛인 토출 침(2)을 사용하여, 결함부(11)의 크기(S)에 따라 트리밍 사이즈로서 50 ㎛각이 선택되었을 때에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 1회의 토출 동작이 실행되고, 70 ㎛각이 선택되었을 때에는 4회의 토출 동작이 실행되고, 100 ㎛각이 선택되었을 때에는 10회의 토출 동작이 실행된다. In the fourth step, as shown in FIG. 4B, the
제5 스텝에서는 상기 대물렌즈를 통하여, 도 4c에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 355 nm(자외선)의 레이저 광선(13)이 소정 시간만큼 조사되어 결함부(11)에 토출된 칼라 자외선 경화 수지(4)를 경화시킨다(도 5c 참조). 이것에 의하여, 도 4d에 나타내는 바와 같이, 결함부(11)의 수정이 완료된다 (도 5d 참조). In the fifth step, as shown in Fig. 4C, through the objective lens, for example, the colored ultraviolet curable resin discharged to the
또한, 상기 제 2 스텝에서, 미리 설정된 세 개의 트리밍 사이즈 중에서 결함부(11)의 크기에 따라서 하나를 선택하는 것이 아니라, 1회의 토출량 및 도포 두께를 미리 알고 있는 경우에는 결함부(11)의 크기에 상관 없이 상기 토출량 및 도포 두께에 기초하여 산출된 트리밍 사이즈를 상시 설정하도록 하여도 된다. 구체적으로는, 예를 들면 내경(D)이 19 ㎛인 토출 침(2)을 사용하였을 경우, 1회의 토출량이, 도 3에 나타내는 바와 같이, 19.8 pL인 경우에는 결함부(11)의 크기에 관계없이 트리밍 사이즈를 100 ㎛각으로 상시 설정하여 트리밍하면 된다. 이 경우, 1회의 토출 동작에 의하여 트리밍부를 칼라 자외선 경화 수지(4)로 거의 채울 수 있다. In the second step, one of the three trimming sizes set in advance is not selected in accordance with the size of the
이와 같이, 본 발명의 결함 수정 방법에 의하면, 결함부(11)를 트리밍하기 위하여 미리 설정된 복수의 사이즈 중에서 그 하나를 결함부(11)의 크기에 따라 선택 가능하게 함으로써, 결함부(11)가 작은 경우에는 트리밍 사이즈를 작게 하여 칼라 자외선 경화 수지(4)의 토출량을 줄일 수 있다. 따라서, 칼라 필터(5)의 결함 수정에 사용하는 칼라 자외선 경화 수지(4)의 사용량을 억제할 수 있다. As described above, according to the defect correction method of the present invention, the
또한, 트리밍 사이즈에 따라 설정된 토출 회수만큼 칼라 자외선 경화 수지(4)를 토출하도록 함으로써, 1개의 토출 침(2)으로 다른 사이즈의 트리밍부에 대하여도 대응할 수 있다. Further, by discharging the colored ultraviolet
또한, 1회의 토출량 및 도포 두께를 미리 알고 있는 경우에는 결함부(11)의 크기에 관계 없이 상기 토출량 및 도포 두께에 기초하여 산출된 트리밍 사이즈를 상시 설정하면, 결함부(11)의 크기를 계측할 필요가 없고, 결함 수정 작업이 간편하게 된다. 따라서 결함 수정 작업의 시간을 단축할 수 있다. When the discharge amount and the coating thickness of one time are known in advance, the trimming size calculated based on the discharge amount and the coating thickness is always set regardless of the size of the
이상, 토출 대상물로서 칼라 필터 기판을 사용하였을 경우에 대하여 설명하였지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 배선 회로 등의 막의 결함 수정에도 적용할 수 있다. As mentioned above, although the case where a color filter substrate was used as a discharge object was demonstrated, it is not limited to this, For example, it can apply also to the defect correction of a film, such as a wiring circuit.
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