JP4634121B2 - Color filter defect correction method - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示用カラーフィルタなどの白抜け欠陥等の欠陥部を補修する方法に関するものである。 The present invention relates to a method for repairing a defect portion such as a white defect in a color filter for liquid crystal display.
液晶カラーフィルタの製造過程において、異物の混入による転移不良、転写不良などの原因により、ブラックマトリックスやRGBの画素パターン中に、いわゆる白抜け欠陥が生じることがあり、製品歩留まりを向上させるため、その欠陥部内に適切な量のフィルタ着色用インク等を塗布し、修正する必要があり、従来はインクジェットやディスペンサーを用いて、カラーフィルタ修正用液体を被修正面上方から滴下供給する方法(特許文献1,特許文献2)などのほか、ディスペンサーのノズルの先端をフィルタの欠陥部に接触させたままノズルから前記インクを吐出する方法(特許文献3)が用いられている。
しかし、上記の従来技術のインクジェットを用いる方法(特許文献1)では、ノズルの閉塞防止のため揮発性溶媒を含む粘度の低いカラーフィルタ修正用液体を用いることにより、同修正用液体が欠陥部分の表面で広がってしまうため、塗布した前記修正用液体の膜厚が薄くなり、白抜け欠陥を十分に補修できないという問題のほか、粘度の高いカラーフィルタ修正用液体を用いると、同液体の供給量の制御が困難になるという問題があった。 However, in the above-described conventional method using an ink jet (Patent Document 1), a correction liquid having a low viscosity containing a volatile solvent is used to prevent the nozzle from being clogged. In addition to the problem that the thickness of the applied correction liquid is thinned due to spreading on the surface and the white defect cannot be sufficiently repaired, the use of a high-viscosity color filter correction liquid leads to the supply amount of the same liquid There was a problem that it became difficult to control.
また、ディスペンサーのノズルをカラーフィルタの被修正面から離してカラーフィルタ修正用液体を供給する方法(特許文献2)では、同修正用液体が前記ノズル先端部外周に這い上がり、液滴状態になるため、カラーフィルタの被修正面に正確な量の前記修正用液体を供給することが難しいという問題のほか、前記液滴状態の前記修正用液体が凝固して、前記ノズルが閉塞するという問題があった。 In the method of supplying the color filter correcting liquid by separating the nozzle of the dispenser from the surface to be corrected of the color filter (Patent Document 2), the correcting liquid crawls up to the outer periphery of the nozzle tip and enters a droplet state. Therefore, in addition to the problem that it is difficult to supply the correct amount of the correction liquid to the surface to be corrected of the color filter, there is a problem that the correction liquid in the droplet state is solidified and the nozzle is blocked. there were.
そして、ディスペンサーのノズル先端をカラーフィルタの被修正面に接触させてカラーフィルタ修正用液体を供給する方法(特許文献3)では、前記接触によりカラーフィルタの被修正面のガラスにキズが発生することを防止するため、複雑な緩衝機構が必要になり、装置が複雑になるなどの問題があった。
また、前記着色用液体が前記ノズル先端部外周に這い上がり、液滴状に凝固することにより前記ノズルが閉塞してしまう問題や、この液滴状に凝固した前記修正用液体によって前記ノズル先端の位置決め精度が時間の経過に応じて変わってしまう問題があった。
In the method of supplying the color filter correcting liquid by bringing the nozzle tip of the dispenser into contact with the surface to be corrected (Patent Document 3), the glass on the surface to be corrected of the color filter is damaged by the contact. In order to prevent this, there is a problem that a complicated buffer mechanism is required and the apparatus becomes complicated.
In addition, the coloring liquid crawls up to the outer periphery of the nozzle tip and solidifies in the form of droplets, and the nozzle is blocked. There is a problem that the positioning accuracy changes with time.
そこで本発明は、このような問題点に対処するため、カラーフィルタの被修正面の修正に際して、カラーフィルタ修正用インクを精度良く、支障なくカラーフィルタの被修正面に供給できるようにした方法を提供することを課題とする。 In order to address such problems, the present invention provides a method for accurately supplying the color filter correcting ink to the corrected surface of the color filter without any trouble when correcting the corrected surface of the color filter. The issue is to provide.
上述の課題を解決するために、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、紫外線硬化性のカラーフィルタ修正用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記インクの液滴を形成した後,前記ノズルの先端部をカラーフィルタの被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させ、ついで、前記ノズルから前記インクを少なくとも同ノズルの端部分が同インクによって覆われるように前記被修正面に供給し、このようにして供給された前記インクに紫外線を照射して同インクを硬化させることにより、同被修正面を修正することを特徴としている。 To solve the problems described above, defect correction method of the color filter of the present invention, the tip outer periphery of a nozzle of a dispenser incorporating the ultraviolet curable color filter repair ink, droplets of advance the ink form After that, the tip of the nozzle is brought into contact with the surface to be corrected of the color filter so that the contact angle becomes an acute angle, and then the ink is covered from the nozzle so that at least the end portion of the nozzle is covered with the ink. The surface to be corrected is supplied to the surface to be corrected, and the surface to be corrected is corrected by irradiating the ink thus supplied with ultraviolet rays to cure the ink .
本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、カラーフィルタの紫外線硬化性の修正用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記修正用インクの液滴を形成した後,前記ディスペンサーのノズルの先端部をフィルタの被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させ、ついで、前記ディスペンサーのノズルから前記修正用インクを少なくとも同ノズルの先端部分が同修正用インクによって覆われるように前記被修正面に供給するため、前記修正用インクを精度良く供給できるという優れた効果を奏する。 According to defect correction method for a color filter of the present invention, the tip portion outer periphery of the nozzle of the dispenser with a built-in UV-curable fixes ink color filters, after forming the droplets in advance the correction ink, wherein contact angle tip to the balancing plane of the filter of the nozzle of the dispenser is brought into contact such that an acute angle, then, the ink tip portion the correction of at least the nozzles of the corrective ink from the nozzle of the dispenser to be supplied to the object to be modified surface to be covered by, so an excellent effect that the corrective ink can be accurately supplied.
また、紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インクを用いるため、ディスペンサーのノズル先端から同インクが這い上がって液滴を形成しても、同液滴が前記ノズル先端部外周面で凝固しないため、前記ノズル先端部を被修正面に直接当接できる、その際に前記液滴が緩衝材として機能することにより(図4a)、前記被修正面に傷を生じさせないという優れた効果を奏する。 Moreover, since the use of ultraviolet curable color filter colored inks, be formed droplets up the ink creeps from the nozzle tip of the dispenser, for the droplets do not solidify in the nozzle tip outer peripheral surface, The nozzle tip can be brought into direct contact with the surface to be corrected, and the liquid droplets function as a cushioning material at that time (FIG. 4a), thereby producing an excellent effect of preventing the surface to be corrected from being damaged.
そして、前記ノズルを前記被修正面に対し接触角度が鋭角となるように同被修正面に当接することにより、同ノズルが若干撓み、前記ノズルと前記被修正面とが当接する際の衝撃が吸収され、前記ノズルが撓む際に同ノズルの先端が前記被修正面に沿って微小に移動し(図4bの矢印方向)、その際に、前記ノズルの先端部に予め形成された前記修正用インクの液滴が潤滑剤として機能し(図4b)、前記ノズル先端による前記被修正面に擦り傷を生じさせないという優れた効果を奏する。 Then, when the nozzle is brought into contact with the surface to be corrected so that the contact angle is acute with respect to the surface to be corrected, the nozzle is slightly bent, and an impact is generated when the nozzle and the surface to be corrected come into contact. When the nozzle is absorbed and the tip of the nozzle is bent, the tip of the nozzle moves slightly along the surface to be corrected (in the direction of the arrow in FIG. 4b). At that time, the correction formed in advance at the tip of the nozzle is performed. The ink droplets function as a lubricant (FIG. 4b), and have an excellent effect of not causing scratches on the surface to be corrected by the nozzle tip.
また、前記ディスペンサーのノズルから前記修正用インクを少なくとも同ノズルの先端部分が同修正用インクによって覆われるように前記被修正面に供給されることにより、前記ノズル先端を被修正面から離間させた際に、前記ノズルの先端部の前記液滴が維持されるため、新たな被修正面を修正する際に上述の優れた効果を奏する。 Further, the correction ink is supplied from the nozzle of the dispenser to the surface to be corrected so that at least the tip portion of the nozzle is covered with the correction ink, thereby separating the nozzle tip from the surface to be corrected. At this time, since the liquid droplets at the tip of the nozzle are maintained, the above-described excellent effect can be achieved when a new surface to be corrected is corrected.
そして、上述の優れた効果の他に、前記インクが揮発性溶媒を含まないようにすると、前記被修正面に供給された前記インクがUV硬化される際に同インクの体積の収縮が少なく、同インクの膜厚を厚くすることができ、白抜け欠陥を十分に補修できるという優れた効果も期待できるようになる。 Then, in addition to the above excellent effects, when the ink is to be free of volatile solvent, the volume of the ink of shrinkage is small when said ink supplied to the modified surface is UV cured, The thickness of the ink can be increased, and an excellent effect that white defects can be sufficiently repaired can be expected .
カラーフィルタの欠陥を精度良く、支障なく行うため、揮発性溶媒を含まない紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インクを内蔵するディスペンサーのノズルの先端部外周に、予め前記インクの液滴を形成した後、前記ノズルの先端部をフィルタの被修正面に対し接触角度が鋭角となるように当接させ、ついで、前記ノズルから前記インクを少なくとも同ノズルの端部分が同インクによって覆われるように前記被修正面に供給する操作が行われる。 After the ink droplets are formed in advance on the outer periphery of the tip of the nozzle of the dispenser that contains the UV-curable color filter coloring ink that does not contain a volatile solvent, in order to accurately and easily perform defects in the color filter. The tip of the nozzle is brought into contact with the surface to be corrected so that the contact angle is an acute angle, and then the ink is applied from the nozzle so that at least the end portion of the nozzle is covered with the ink. An operation to supply the correction surface is performed.
以下、本発明の一実施例としてのカラーフィルタの欠陥修正方法について図面を参照して説明する。
まず、本発明の実施例のカラーフィルタの欠陥修正方法に係る装置について説明すると、図1に示すように、欠陥修正装置1はカラーフィルタ(以下、単に「ワーク」という)2を載置するテーブル3と、テーブル3をX方向及びY方向(紙面に対し垂直な方向)に移動させるための移動手段4とを備える他、ワーク2に対向して設けられた対物レンズ5と、対物レンズ5の光軸L上にハーフミラー6Aと、結像レンズ7と、ハーフミラー6Bと、可変スリット8と、開閉スイッチ(図示せず)が内蔵されたレーザ照射器9Aとを備えており、可変スリット8と開閉スイッチ(図示せず)が内蔵されたレーザ照射器9Aとは制御装置17に電気的に接続されている。
Hereinafter, the defect correction method for a color filter according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, an apparatus according to a color filter defect correcting method of an embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, the defect correcting apparatus 1 is a table on which a color filter (hereinafter simply referred to as “workpiece”) 2 is placed. 3 and a moving means 4 for moving the table 3 in the X direction and the Y direction (direction perpendicular to the paper surface), an
レーザ照射器9Aから照射されるレーザ光は可変スリット8によって所定の形状に整形されて後、ワーク2の被修正面に照射されるようになっており、同被修正面が所定の形状にトリミング(図5,図6参照)されるようになっている。
The laser light emitted from the
また、ハーフミラー6Bによって光軸Lから分岐された光軸L1上には、光軸L1を光軸L2に偏向するための偏向用ミラー6Cが備えられており、光軸L2上には撮影手段としてのCCDカメラ11が備えられている。
そして、CCDカメラ11は表示器12に電気的に接続されており、CCDカメラ11によって取込まれた画像が表示器12に表示されるようになっている。
Further, a
The
そして、ハーフミラー6Aによって光軸Lから分岐された光軸L3上には光軸L3の一部を分岐するハーフミラー10が備えられており、ハーフミラー10によって光軸L3から分岐された光軸L4の光軸上には光軸Lとワーク2との交点イを含む所定の領域に光を照射するための照明手段9Cが備えられており、ハーフミラー10を透過した光軸L3上には前記修正用インクを硬化させるための紫外線を照射する紫外線照射器9Bが設けられている。
そして、紫外線照射器9Bには開閉用シャッター(図示せず)が内蔵されており、紫外線照射器9Bと照明手段9Cは制御装置17に電気的に接続されている。
A
The
また、交点イの近傍にはディスペンサーのノズル13が接触角度θが鋭角となるように設けられ、ディスペンサーのノズル13の移動手段(図示せず)によって、同ノズル13がワーク2に対し図1の矢印β方向に沿って接近離間可能にされている。
Further, a
ディスペンサーのノズル13には、予め修正用インク22(例えば、揮発性溶媒を含まない顔料と分散剤と紫外線開始剤と紫外線硬化性樹脂とからなる液体)が充填されており、同ノズルの吐出口の反対側の端部は導管14と開閉弁15と圧力調節弁18とを介して圧縮空気製造機16に接続されており、前記ディスペンサーのノズル13の移動手段と開閉弁15および圧力調節弁18と圧縮空気製造機16とはそれぞれ制御装置17に電気的に接続されている。
The
制御装置17には外部入力装置19が電気的に接続されており、外部入力装置19によって、上記ディスペンサーのノズル13の移動手段の移動量、開閉弁15の開閉時間及び開閉回数、圧力調節弁18の設定圧力を自由に変更できるようになっている。
An
次に、上記構成を備えた欠陥修正装置1の作用とともに、同欠陥修正装置1によって実施される本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法について、図1〜図7を参照して説明する。
ワーク2をテーブル3に載置し、移動手段4によって被修正面を対物レンズ5の光軸Lの直下にセットする(ステップ1)。その際、照明手段9Cを作動させ、レーザ照射器9Aの開閉器及び紫外線照射器9Bの開閉用シャッターは閉じておく。
Next, the defect correction method of the color filter of the present invention implemented by the defect correction apparatus 1 will be described together with the operation of the defect correction apparatus 1 having the above configuration with reference to FIGS.
The
前記被修正面の画像は、撮影手段11によって取込み表示器12に表示される(ステップ2)。次に前記被修正面をレーザ照射器9Aの開閉スイッチをONにして、レーザ照射器9Aからのレーザ光を可変スリット8により所定の形状にして(図5,図6参照)から、RGBの着色層21における欠陥部分(21a,21b)に照射することにより、同被修正面の欠陥部分(21a,21b)のカラーフィルタ(RGB等の膜)を除去し、除去部分の形状をトリミングする(ステップ3)。
なお、前記トリミングとは、前記欠陥部分が異物混入の場合、同異物を含む所定の範囲をレーザ光で除去して、所定形状の白抜き状態に変えることを意味し、また前記欠陥部分が既に白抜け欠陥である場合はその形状を所定の形状に成形することを意味している(図5,図6参照)。
The image of the modified surface that is displayed on the
The trimming means that, when the defective portion is contaminated with foreign matter, a predetermined range including the foreign matter is removed with a laser beam to change to a white shape with a predetermined shape. When the defect is a white defect, it means that the shape is formed into a predetermined shape (see FIGS. 5 and 6).
その後、レーザ照射器9Aの開閉スイッチをOFFにして、ついで前記ディスペンサー移動手段を作動させてディスペンサーのノズル13の先端を前記トリミングされた欠陥部分のガラス基板20の上方に移動させた後、外部入力装置19を用いて圧力調節弁16をセットして、開閉弁15の開閉を少なくとも1回行い、ディスペンサーノズル13の先端に図3に示すごとく前記修正インクの液滴24を形成させる(ステップ4)。
Thereafter, the open / close switch of the
ついで、ディスペンサーのノズル13を同ディスペンサーのノズル13の移動手段によって図1の矢印βの方向に沿い接触角度θが鋭角となるように移動させて、ノズル13の先端を前記欠陥部のガラス基板20に当接させ、さらに外部入力装置19を用いて、開閉弁15の開閉を前記欠陥部に前記修正用インクが所定の量供給されるまで繰り返す(ステップ5)。
液滴24を介しディスペンサーノズル13の先端を前記欠陥部に当接させた際に、同液滴24が緩衝材および潤滑剤としての役目を果たすので(図4a,図4b)、前記欠陥部のガラス基板20に接触傷や擦り傷等を生じさせない効果がある。
Then, the
When the tip of the
なお、前記所定の供給量とは、前記被修正面のトリミングされた部分が、図2における符号23で示されるように前記修正用インクによって満たされ、且つディスペンサーノズル13の先端部も、図2に符号23で示されるように前記修正用インクによって覆われた状態となる量を言う。
The predetermined supply amount means that the trimmed portion of the surface to be corrected is filled with the correction ink as indicated by
その後、ディスペンサーノズル13を前記被修正面から所定の距離だけ離間させた後、紫外線照射器9Bの前記開閉用シャッターを開くことにより前記修正用インクが充填された前記被修正面に紫外線を照射して前記修正用インクを硬化させた後、紫外線照射器9Bの前記開閉用シャッターを閉じて、修正を完了する(ステップ6)。
なお、前記所定の距離とは、ディスペンサーのノズル13の先端が前記紫外線によって照射されない位置までの距離をいう。
Then, after separating the
The predetermined distance refers to a distance to a position where the tip of the
また、被修正面が複数存在するワークを修正する場合は、ステップ6で離間させたディスペンサーノズル13の先端には前記ステップ5において前記修正用インクが同ディスペンサーノズル13の先端に這い上がった液滴24が維持されているため、前記ステップ4における液滴24の形成のための開閉弁15の開閉は省略でき、その結果、修正作業に掛かる時間を短縮することができる。
When a workpiece having a plurality of surfaces to be corrected is to be corrected, a droplet in which the correction ink crawls up to the tip of the
図1に示す本発明を実施するための形態では、紫外線照射器9Bを、ハーフミラー10を透過した光軸L3上に設けているが、紫外線照射器9Bを設ける位置はこれに限らず、前記修正インクを紫外線で硬化できる位置であればよい。
また、照明手段9Cの位置は、図1に示される位置に限定されず、前記交点イを含めた近傍に光を照射できる位置であれば良い。
In the form for carrying out the present invention shown in FIG. 1, the
Further, the position of the illumination means 9C is not limited to the position shown in FIG. 1, and may be any position that can irradiate light in the vicinity including the intersection a.
1 欠陥修正装置
2 ワーク(カラーフィルタ)
3 テーブル
4 テーブル移動手段
5 対物レンズ
6A ハーフミラー
6B ハーフミラー
6C 偏向用ミラー
7 結像レンズ
8 可変スリット
9A レーザ照射器
9B 紫外線照射器
9C 照明手段
10 ハーフミラー
11 CCDカメラ
12 表示器
13 ディスペンサーのノズル
14 導管
15 開閉弁
16 圧縮空気製造機
17 制御装置
18 圧力調節弁
19 外部入力装置
20 カラーフィルタのガラス基板
21 RGBの着色層
21a,21b 欠陥部分
22 紫外線硬化性のカラーフィルタ着色用インク
23 カラーフィルタのガラス基板に供給する修正用インクの量
24 液滴
L 光軸
L1 光軸Lから分岐された光軸
L2 光軸L1から分岐された光軸
L3 光軸L2から分岐された光軸
β ディスペンサーのノズルの移動方向
θ ディスペンサーのノズルとカラーフィルタの接触角度
1
3 Table 4 Table moving means 5
Claims (1)
前記ノズルの先端部をカラーフィルタの欠陥としての被修正面に対し接触角度が鋭角となるようにして前記インクの液滴を介し当接させるとともに、
前記ノズルから前記インクを少なくとも同ノズルの先端部が同インクによって覆われるように前記被修正面に供給し、ついで前記ディスペンサーのノズルを前記被修正面から離間させた後、同被修正面に紫外線を照射して前記インクを硬化させることにより、前記被修正面を修正することを特徴とする、カラーフィルタの欠陥修正方法。 After forming the ink droplets in advance on the outer periphery of the tip of the nozzle of the dispenser containing the ultraviolet curable color filter correcting ink,
Rutotomoni contact angle as an acute angle to the abutment via the droplets of the ink to be modified surface of the tip portion of the nozzle as defective color filter,
After-edge portion of at least the nozzles of the ink from the nozzle the supply to be modified surface to be covered by the same ink, which was then separated nozzle of the dispenser from the object modified surface, in the target balancing plane the Rukoto ultraviolet is irradiated with curing the ink, characterized in that said modifying the target balancing plane, defect correction method of the color filter.
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