KR101167502B1 - Scribing apparatus - Google Patents

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KR101167502B1 KR1020110011725A KR20110011725A KR101167502B1 KR 101167502 B1 KR101167502 B1 KR 101167502B1 KR 1020110011725 A KR1020110011725 A KR 1020110011725A KR 20110011725 A KR20110011725 A KR 20110011725A KR 101167502 B1 KR101167502 B1 KR 101167502B1
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야스토모 오카지마
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 메인터넌스 작업을 간략화하여, 스크라이브 홈을 계속하여 정밀도 좋게 형성할 수 있는 스크라이브 장치를 제공한다.
(해결 수단) 취성 재료(2)를 지지하는 지지대(3)와, 지지대(3)에 걸치도록 하여 평행으로 배치되고, 그리고 각각 스크라이브 헤드(5)를 구비한 한 쌍의 브리지(4A, 4B)와, 지지대(3) 상에 형성된 얼라인먼트 마크를 판독하는 광학 판독부(6)와, 브리지를 변위 이동시켜 지지대(3)와 스크라이브 헤드(5)의 상대적인 위치를 조정하는 이동 조정 기구(40)와, 얼라인먼트 마크의 변위 정보에 기초하여, 스크라이브 헤드(5)에 설치된 커터 휠(51)의 날끝의 방향이 소정의 방향을 향하도록 상기 이동 조정 기구(40)의 동작을 제어하는 제어부(7)로 이루어지고, 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향과, 다른 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향을, 서로 직교하는 방향을 향하여 배치한다.(Problem) Provided is a scribing apparatus which can simplify maintenance work and continue to form scribe grooves with high accuracy.
(Solution means) A pair of bridges 4A and 4B, which are arranged in parallel with the support 3 supporting the brittle material 2 and across the support 3, and each have a scribe head 5, respectively. And an optical reading section 6 for reading the alignment mark formed on the support 3, a movement adjusting mechanism 40 for adjusting the relative position of the support 3 and the scribe head 5 by displacing the bridge. On the basis of the displacement information of the alignment mark, the controller 7 controls the operation of the movement adjusting mechanism 40 so that the direction of the blade tip of the cutter wheel 51 provided in the scribe head 5 faces a predetermined direction. The direction of the blade tip of the cutter attached to the scribe head of one bridge and the direction of the blade tip of the cutter attached to the scribe head of the other bridge are arranged in the direction perpendicular to each other.

Figure R1020110011725
Figure R1020110011725

Description

스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS}Scribe device {SCRIBING APPARATUS}

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판, 박막 태양전지의 기판 등의 취성 재료(brittle material)에 스크라이브 홈을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus for forming a scribe groove in a brittle material such as a glass substrate, a semiconductor substrate, or a substrate of a thin film solar cell.

종래의 스크라이브 장치는, 예를 들면 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 유리 기판이나 반도체 기판, 박막 태양전지의 기판 등의 취성 재료를 수평으로 지지한 상태로 이송시키는 지지대와, 지지대에 걸쳐 설치된 브리지(bridge)와, 브리지에 미끄럼 이동이 자유롭게 부착된 스크라이브 헤드를 구비하고, 이 스크라이브 헤드의 선단(先端)에 스크라이브 가공용의 커터(cutter)가 설치되어 있다. 커터는, 그 날끝의 방향(취성 재료에 대한 상대적인 진행 방향)이 취성 재료의 이송 방향에 대하여 소정의 각도로 조정할 수 있게 되어 있다. 그리고, 스크라이브 헤드를 하강시켜 휠의 날끝을 취성 재료로 가압한 상태로 취성 재료를 이송시킴과 함께, 스크라이브 헤드를 브리지 상에서 미끄럼 이동시킴으로써, 취성 재료의 이송 방향에 대하여 소정의 각도를 이루는 스크라이브 홈을 취성 재료로 형성하도록 되어 있다.Conventional scribing apparatus is, for example, as shown in Patent Document 1, a support for transferring a brittle material such as a glass substrate, a semiconductor substrate, a substrate of a thin film solar cell in a horizontal support state, and a bridge provided over the support ( bridge and a scribe head with sliding movement freely attached to the bridge, and a cutter for scribing is provided at the tip of the scribe head. The cutter is capable of adjusting the direction of the blade tip (the direction of travel relative to the brittle material) at a predetermined angle with respect to the conveying direction of the brittle material. Then, the scribe head is lowered, the brittle material is transferred while the blade edge of the wheel is pressed with the brittle material, and the scribe head is slid on the bridge to form a scribe groove at a predetermined angle with respect to the transfer direction of the brittle material. It is formed from a brittle material.

취성 재료에 스크라이브 홈을 정밀도 좋게 형성하기 위해서는, 스크라이브 장치의 작업 개시시, 혹은 메인터넌스(maintenance)시에, 취성 재료의 이송 방향과 날끝의 방향이 이루는 각도를 소정의 각도로 조정해 둘 필요가 있다. 그러기 위해, 소정의 각도로 가공된 지그(jig)를 준비하여, 지지대에 대한 브리지의 위치를 수동으로 보정함으로써 각도 조정을 행하고 있다. 구체적으로는, 지지대의 소정의 위치에 지그를 배치하고, 지그의 소정의 각도로 가공된 부분을 브리지로 가압함으로써 지지대에 대한 브리지의 각도를 조정하고 있다.In order to precisely form the scribe groove in the brittle material, it is necessary to adjust the angle formed between the transfer direction of the brittle material and the direction of the blade tip at a predetermined angle at the start of the scribing device or at the maintenance. . For this purpose, the jig processed at the predetermined angle is prepared, and angle adjustment is performed by manually correcting the position of the bridge with respect to a support stand. Specifically, the jig is arranged at a predetermined position of the support, and the angle of the bridge relative to the support is adjusted by pressing the portion processed at the predetermined angle of the jig with the bridge.

일본국특허 제3078668호 공보Japanese Patent No. 3078668

상기와 같은 종래의 스크라이브 장치에서는, 작업 개시시, 혹은 메인터넌스시에, 취성 재료의 이송 방향과 날끝의 이송 방향이 이루는 각도를 소정의 각도로 조정한 경우라도, 스크라이브 홈을 형성하는 작업을 반복하는 동안에, 스크라이브 홈 형성시의 진동에 의해 지지대에 대한 브리지의 위치에 변위가 발생하여, 취성 재료의 이송 방향과 날끝의 방향이 이루는 각도가 설정 각도로부터 변동되는 경우가 있었다. 또한, 스크라이브 장치가 설치되어 있는 환경(예를 들면 온도나 습도)에 의해 브리지 자체에 변형이 발생하여, 취성 재료의 이송 방향과 날끝의 방향이 이루는 상대적인 각도가 미리 설정한 소정의 각도로부터 변동되는 경우도 있었다.In the conventional scribing apparatus as described above, even when the angle between the conveying direction of the brittle material and the conveying direction of the blade tip is adjusted to a predetermined angle at the start of the operation or during maintenance, the scribing groove forming operation is repeated. In the meantime, the displacement occurred at the position of the bridge with respect to the support by the vibration at the time of scribe groove formation, and the angle | corner which the conveyance direction of brittle material and the direction of the blade edge | tip make may change from the set angle. In addition, deformation occurs in the bridge itself due to the environment (for example, temperature or humidity) in which the scribe device is installed, and the relative angle formed between the transfer direction of the brittle material and the direction of the blade tip is changed from a predetermined angle set in advance. There was a case.

이러한 소정 각도의 변동이 발생하면, 스크라이브 홈을 계속하여 정밀도 좋게 형성할 수 없다. 그 때문에, 종래의 스크라이브 장치에서는, 설정 각도에 변동이 발생하면, 재차 지그를 이용하여 각도의 조정을 수동으로 다시 할 필요가 있어, 메인터넌스 작업이 번잡해진다는 문제점이 있었다.When such a predetermined angle fluctuation occurs, the scribe groove cannot be formed continuously and with high accuracy. Therefore, in the conventional scribing apparatus, when a change occurs in the set angle, it is necessary to manually adjust the angle again using a jig, and there is a problem that maintenance work becomes complicated.

또한, 비교적 큰 폭의 스크라이브 홈, 예를 들면 40㎛ 정도의 스크라이브 홈을 형성하는 스크라이브 장치에서는, 취성 재료와 날끝의 방향이 이루는 각도를 수동으로 재조정한 경우는, 충분한 정밀도로 스크라이브 홈을 형성하는 것이 가능했다. 그러나, 10㎛ 이하와 같은 폭이 좁은 스크라이브 홈을 형성하는 스크라이브 장치에서는, 취성 재료의 이송 방향과 날끝의 방향이 이루는 각도를 수동으로 재조정하는 것 자체가 곤란하여, 스크라이브 홈을 계속하여 정밀도 좋게 형성할 수 없었다.In addition, in the scribing apparatus which forms a relatively large scribe groove | channel, for example, about 40 micrometers scribe groove | channel, when manually adjusting the angle | corner which the direction of a brittle material and the blade edge | tip forms, a scribe groove | channel is formed with sufficient precision. It was possible. However, in the scribing apparatus forming a narrow scribe groove such as 10 μm or less, it is difficult to manually readjust the angle formed between the conveying direction of the brittle material and the direction of the blade tip, so that the scribe groove is continuously formed with high precision. I could not.

또한, 일반적인 스크라이브 장치에서는, 예를 들면 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드를 구비한 브리지는 지지대에 걸치도록 설치되어 있고, 취성 재료를 지지하는 지지대를, 브리지에 대하여 직교하는 방향(Y방향이라고 함)으로 이송시킴으로써, 취성 재료에 Y방향의 스크라이브 홈을 형성하고 있다. 또한, 스크라이브 헤드를 브리지를 따른 방향(X방향이라고 함)으로 슬라이드시킴으로써, 취성 재료에 X방향의 스크라이브 홈을 형성하고 있다. 따라서, X방향 또는 Y방향의 스크라이브 홈을 형성한 후, Y방향 또는 X방향의 스크라이브 홈을 형성할 경우는, 그때마다, 커터의 날끝 방향을 스크라이브 방향을 따르도록 다시 두거나, 혹은 취성 재료를 지지대 상에서 90도 회전시켜 다시 놓을 필요가 있어, 그 작업이 매우 번잡했다.In addition, in a general scribing apparatus, as shown in Patent Literature 1, for example, a bridge having a scribe head is provided so as to extend over a support, and the support for supporting brittle material is perpendicular to the bridge (Y direction). Scribe grooves in the Y direction are formed in the brittle material. In addition, the scribe head is formed in the brittle material in the X direction by sliding the scribe head in the direction along the bridge (called the X direction). Therefore, after forming the scribe grooves in the X direction or the Y direction, and then forming the scribe grooves in the Y direction or the X direction, each time, the blade tip direction of the cutter is placed back along the scribe direction or the brittle material is supported. It needed to be rotated 90 degrees in the phase and it was very cumbersome.

그래서 본 발명의 제1 목적은, 상기 종래 과제를 해소하고, 메인터넌스 작업을 간략화하여, 스크라이브 홈을 계속하여 정밀도 좋게 형성할 수 있는 스크라이브 장치를 제공하는 것에 있다.It is therefore a first object of the present invention to provide a scribing apparatus which can solve the above-mentioned conventional problem, simplify the maintenance work, and continue to form a scribe groove with high accuracy.

또한, 본 발명의 제2 목적은, 커터를 다시 두는 일 없이, 혹은 가공해야 하는 취성 재료를 옮겨 놓는 일 없이, 상이한 두 방향의 스크라이브 홈을 용이하게 그리고 신속하게 행할 수 있는 스크라이브 장치를 제공하는 것에 있다.Further, a second object of the present invention is to provide a scribing apparatus which can easily and quickly perform scribe grooves in two different directions without repositioning the cutter or displacing the brittle material to be processed. have.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 스크라이브 장치는, 취성 재료를 지지하는 지지대와, 지지대에 걸치도록 하여 평행으로 배치되고, 그리고, 각각 스크라이브 헤드를 구비한 한 쌍의 브리지와, 지지대 상에 형성된 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 판독하는 광학 판독부와, 브리지를 변위 이동시켜 지지대와 스크라이브 헤드의 상대적인 위치를 조정하는 이동 조정 기구와, 얼라인먼트 마크의 변위 정보에 기초하여, 스크라이브 헤드에 설치된 커터의 날끝의 방향이 소정의 방향을 향하도록 상기 이동 조정 기구의 동작을 제어하는 제어부로 이루어지고, 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향과, 다른 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향이, 서로 직교하는 방향을 향하여 배치되도록 하고 있다.The scribing apparatus of this invention made | formed in order to solve the said subject is arrange | positioned in parallel so that the support body which supports brittle material, the support body, and a pair of bridges provided with a scribe head, respectively, may be formed on the support body. An optical reader for reading an alignment mark, a movement adjusting mechanism for displacing the bridge to adjust the relative positions of the support and the scribe head, and a blade tip of the cutter installed in the scribe head based on the displacement information of the alignment mark And a cutter attached to the scribe head of the other bridge, the direction of the blade tip of the cutter attached to the scribe head of one bridge, and the control unit for controlling the operation of the movement adjusting mechanism so that the direction of So that the edges of the blades are arranged in the direction orthogonal to each other, have.

본 발명에서는, 제어부에 의해, 광학 판독부에서 판독한 얼라인먼트 마크의 변위 정보에 기초하여, 날끝의 방향과 취성 재료의 상대적인 이송 방향이 이루는 각도가, 소정의 각도가 되도록 이동 조정 기구를 동작하여, 지지대와 스크라이브 헤드의 상대적인 위치를 자동적으로 보정하기 때문에, 지그를 이용하여 재조정 할 필요가 없어지고, 메인터넌스 작업을 간략화함과 함께, 스크라이브 홈을 계속하여 정밀도 좋게 형성할 수 있다.In the present invention, the movement adjusting mechanism is operated by the control unit so that the angle formed by the direction of the blade tip and the relative conveyance direction of the brittle material is a predetermined angle based on the displacement information of the alignment mark read by the optical reading unit, Since the relative position of the support and the scribe head is automatically corrected, there is no need to readjust using a jig, simplifying maintenance work and continuing to form a scribe groove with high accuracy.

덧붙여 본 발명에서는, 2개의 브리지를 설치하여 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향과, 다른 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향이, 각각 직교하는 방향을 향하여 배치되어 있기 때문에, 취성 재료에 서로 직교하는 X, Y방향으로 스크라이브 홈을 형성하는 경우에, 한쪽의 브리지에 부착된 커터의 날끝을 X방향으로 향해, 다른 한쪽의 브리지에 부착된 커터의 날끝을 Y방향으로 향해 부착함으로써, 어느 쪽인가의 브리지를 선택하는 것만으로, 커터를 다시 두는 일 없이 X방향 그리고 Y방향의 스크라이브 홈을 형성할 수 있어, 상이한 두 방향의 스크라이브 홈을 형성하는 작업을 용이하게 그리고 신속하게 행할 수 있다는 우수한 효과가 있다.In addition, in this invention, the direction of the blade tip of the cutter provided with two bridges and attached to the scribe head of one bridge, and the direction of the blade tip of the cutter attached to the scribe head of the other bridge are respectively orthogonally facing. Since the scribe grooves are formed in the brittle material in the X and Y directions orthogonal to each other, the blade tip of the cutter attached to the other bridge is directed toward the X direction. By sticking in the Y direction, simply selecting either bridge can form a scribe groove in the X direction and the Y direction without repositioning the cutter, thereby facilitating the work of forming a scribe groove in two different directions. There is an excellent effect that it can be done quickly and quickly.

(그 외의 과제를 해결하기 위한 수단 및 효과)(Means and effects to solve other problems)

상기 이동 조정 기구는, 브리지의 일단(一端)을 회동만 가능하게 지지하는 추축부(樞軸部;pivot portion)와, 브리지의 타단(他端)을 상기 추축부를 지지점으로 하여 회동 가능하게 지지하는 미끄럼 이동 지지부와, 미끄럼 이동 지지부를 이동시킴으로써 추축부를 지지점으로서 브리지를 회동시키는 구동부로 구성하는 것이 좋다. The movement adjusting mechanism includes a pivot portion for supporting only one end of the bridge so as to be rotatable and a rotatable support for the other end of the bridge as the support point. It is good to comprise the drive part which rotates a bridge as a support point by moving a sliding support part and a sliding support part.

이에 따라, 구동부를 동작시킴으로써 브리지를 추축부를 지지점으로 하여 정확하게 변위 회동시킬 수 있음과 함께, 이동 조정 기구를 간단한 구조로 형성할 수 있다.As a result, by operating the drive unit, the bridge can be accurately rotated with the pivot as the support point, and the movement adjustment mechanism can be formed with a simple structure.

또한, 상기 제어부는, 스크라이브 장치의 스크라이브 홈 성형 작업의 과정에서 얼라인먼트 마크의 위치에 변위가 발생한 경우, 광학 판독부에 의한 변위 정보에 기초하여, 상기 변위가 소정치 이하가 되도록 상기 이동 조정 기구의 동작을 제어하도록 하는 것이 좋다.The control unit is further configured to adjust the movement adjusting mechanism so that the displacement is equal to or less than a predetermined value based on the displacement information by the optical reading unit when a displacement occurs in the position of the alignment mark in the course of the scribe groove forming operation of the scribe device. It is good practice to control the operation.

이에 따라, 커터의 날끝의 방향이 스크라이브 홈의 형성 작업 과정에서, 날끝의 방향과 취성 재료의 상대적인 이송 방향이 이루는 각도에 변위가 발생한 경우, 이것을 검지(檢知)하여 신속하게 소정의 각도가 되도록 자동 조정할 수 있다.As a result, when the displacement of the cutter tip is at an angle formed between the direction of the blade tip and the relative conveyance direction of the brittle material in the course of forming the scribe groove, the cutter detects this and quickly becomes a predetermined angle. It can be adjusted automatically.

도 1은 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 평면도이다.
도 2는 상기 스크라이브 장치의 측면도이다.
도 3은 도 2의 A-A 라인으로부터 본 정면도이다.
도 4는 상기 스크라이브 장치에 있어서의 브리지의 이동 조정 기구의 미끄럼이동 지지부를 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 5는 브리지의 이동 조정 기구의 추축부를 나타내는 일부 단면 측면도이다.
도 6은 상기 스크라이브 장치의 브리지가, 조금 변위 회동한 상태를 나타내는 확대 평면도이다.
도 7은 스크라이브 장치의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view of a scribing apparatus according to the present invention.
2 is a side view of the scribe device.
3 is a front view seen from the AA line of FIG. 2.
It is a partial cross section side view which shows the sliding support part of the movement adjustment mechanism of the bridge in the said scribe apparatus.
5 is a partial cross-sectional side view showing an axis of the movement adjustment mechanism of the bridge.
6 is an enlarged plan view illustrating a state in which the bridge of the scribe device is slightly displaced and rotated.
7 is a plan view showing another embodiment of the scribe device.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하에 있어서, 본 발명의 상세를 도면에 나타낸 실시예에 기초하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the detail of this invention is demonstrated in detail based on the Example shown in drawing.

도 1은 본 발명에 따른 스크라이브 장치의 평면도이고, 도 2는 측면도, 도 3은 도 1의 A-A 라인으로부터 본 정면도이다. 이 스크라이브 장치(1)는, 유리 기판이나 반도체 기판, 박막 태양전지의 기판 등의 취성 재료(2)를 상면에 지지하여 이송하는 수평인 지지대(3)를 구비하고 있다. 지지대(3)는 취성 재료(2)를 지지하여 도 2에서 나타내는 Y방향으로 이송할 수 있게 되어 있다. 그 때문에, 지지대(3)는, Y방향을 향하여 부설된 레일(31)을 따라 이동하는 지지대 이송 기구(32)를 통하여 부착되어 있다.1 is a plan view of a scribing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a side view, and FIG. 3 is a front view seen from the A-A line of FIG. This scribe apparatus 1 is equipped with the horizontal support stand 3 which supports and conveys brittle material 2, such as a glass substrate, a semiconductor substrate, and the board | substrate of a thin film solar cell, on an upper surface. The support stand 3 supports the brittle material 2 and can be conveyed in the Y direction shown in FIG. Therefore, the support stand 3 is attached via the support transfer mechanism 32 which moves along the rail 31 attached to the Y direction.

또한, 스크라이브 장치(1)는 지지대(3)에 걸치도록 하여 설치된 한 쌍의 브리지(4A, 4B)를 구비하고 있다. 각 브리지(4A, 4B)는, 지지대(3)의 상방에서, Y방향에 대하여 대략 직교하는 X방향을 따라 신장하는 수평인 들보부(beam; 41)와, 이 들보부(41)의 양단에 연결된 수직인 다리부(42, 43)에 의해 형성되어 있다.Moreover, the scribe device 1 is equipped with the pair of bridge | bridging 4A, 4B provided so that the support | coating stand 3 may be provided. Each of the bridges 4A and 4B extends along the X direction, which is substantially perpendicular to the Y direction, above the support 3, and on both ends of the beams 41. It is formed by vertical legs 42 and 43 connected to each other.

브리지(4A, 4B)의 들보부(41)에는, 스크라이브 헤드(5) 그리고 광학 판독부인 카메라(6, 6)가 설치되어 있어, 지지대(3) 상의 미리 설정한 위치에 형성한 얼라인먼트 마크를 판독할 수 있도록 하고 있다. 얼라인먼트 마크는 특별히 도시하지 않지만, 지지대(3) 상에 직접 형성하지 않아도, 지지대(3) 상에 올려놓는 게이지 기판 상에 형성하도록 해도 좋다.The beams 41 of the bridges 4A and 4B are provided with the scribe head 5 and the cameras 6 and 6 as optical reading units, and read the alignment marks formed at preset positions on the support 3. I can do it. Although not particularly shown, the alignment mark may be formed on the gauge substrate placed on the support 3 even if the alignment mark is not directly formed on the support 3.

스크라이브 헤드(5)는, 모터를 내장한 스크라이브 헤드 이동 기구(52)를 통하여 승강 가능하게 구성되고, 스크라이브 헤드(5)의 선단에는 커터 휠(cutter wheel;51)이 부착되어 있다. 또한, 스크라이브 헤드(5)는, 들보부(41)에 형성한 슬라이드 홈(44)을 따라 상기 스크라이브 헤드 이동 기구(52)에 의해 X방향으로 이동할 수 있게 되어 있다.The scribe head 5 is comprised so that lifting and lowering is possible through the scribe head moving mechanism 52 which incorporates the motor, and the cutter wheel 51 is attached to the tip of the scribe head 5. In addition, the scribe head 5 can be moved in the X direction by the scribe head moving mechanism 52 along the slide groove 44 formed in the beam portion 41.

브리지(4A, 4B) 중, 한쪽의 브리지(4A)의 스크라이브 헤드(5)에 부착된 커터 휠(51)의 날끝의 방향(회전 방향)은, X방향을 향하여 설치되어 있다. 이에 따라, 지지대(3) 상의 취성 재료(2)에 대하여, 커터 휠(51)의 날끝을 가압하면서 스크라이브 헤드(5)를 X방향으로 이동시킴으로써, 취성 재료(2)에 X방향의 스크라이브 홈을 형성하는 것이 가능해진다.Among the bridges 4A and 4B, the direction (rotational direction) of the blade tip of the cutter wheel 51 attached to the scribe head 5 of one bridge 4A is provided toward the X direction. Accordingly, the scribe grooves in the X direction are made to the brittle material 2 by moving the scribe head 5 in the X direction while pressing the blade edge of the cutter wheel 51 against the brittle material 2 on the support 3. It becomes possible to form.

다른 한쪽의 브리지(4B)의 스크라이브 헤드(5)에 부착된 커터 휠(51)의 날끝의 방향(회전 방향)은, Y방향을 향하여 설치되어 있다. 이에 따라, 지지대(3) 상의 취성 재료(2)에 대하여, 커터 휠(51)의 날끝을 가압하면서 지지대(3)를 Y방향으로 이동시킴으로써, 취성 재료(2)에 Y방향의 스크라이브 홈을 형성하는 것이 가능해진다. 이 경우, 도 7에 나타내는 바와 같이, 복수의, 예를 들면 4개의 스크라이브 헤드(5)를 병렬로 부착해 두면, 동시에 4열의 스크라이브 홈을 형성하는 것이 가능해진다.The direction (rotational direction) of the blade tip of the cutter wheel 51 attached to the scribe head 5 of the other bridge 4B is provided toward the Y direction. As a result, a scribe groove in the Y direction is formed in the brittle material 2 by moving the support 3 in the Y direction while pressing the blade edge of the cutter wheel 51 against the brittle material 2 on the support 3. It becomes possible. In this case, as shown in Fig. 7, if a plurality of, for example, four scribe heads 5 are attached in parallel, four rows of scribe grooves can be formed at the same time.

또한, 상기 각 브리지(4A, 4B)는, 도 4～도 6에 나타내는 바와 같이, 이동 조정 기구(40)를 통하여 X방향으로 신장하는 들보부(41)의 일단을 지지점으로 하여 회동 변위할 수 있도록 구성되어 있다. 이 이동 조정 기구(40)는, 브리지(4A, 4B) 모두 동일하기 때문에, 브리지(4A)의 이동 조정 기구(40)에 대해서 구체적으로 서술한다. Moreover, as shown in FIGS. 4-6, each said bridge 4A, 4B can pivotally displace the one end of the beam part 41 extended in the X direction via the movement adjusting mechanism 40 as a support point. It is configured to. Since this movement adjustment mechanism 40 is the same for both bridge 4A and 4B, the movement adjustment mechanism 40 of bridge 4A is demonstrated concretely.

이동 조정 기구(40)는, 브리지(4A)의 일단에 연결된 다리부(43)의 하단을 회동만 가능하게 지지하는 추축부(45)와, 다른 한쪽의 다리부(42)의 하단을 지지하는 미끄럼 이동 지지부(46)로 이루어진다. 미끄럼 이동 지지부(46)는, Y방향으로 부설된 고정 레일(47)을 따라 구동부(48)에 의해 이동할 수 있는 수용 부재(49)를 구비하고, 상기 수용 부재(49)에는 X방향으로 연장되는 장공(長孔; 49a)이 형성되어 있고, 이 장공(49a)에, 다리부(42)의 하단에 형성된 미끄럼 이동축(42a)이 슬라이드 가능하게 끼워맞춰져 있다. 이에 따라, 수용 부재(49)를 슬라이드시켜, 브리지(4A)를 추축부(45)를 지지점으로 하여 회동 변위시킴으로써, 커터 휠(51)의 날끝의 방향을 미세조정하는 것이 가능해진다.The movement adjustment mechanism 40 supports the shaft part 45 which supports only the lower end of the leg part 43 connected to one end of 4 A of bridges so that rotation, and the lower end of the other leg part 42 are possible. It consists of a sliding support part 46. The sliding support part 46 is provided with the accommodating member 49 which can be moved by the drive part 48 along the fixed rail 47 provided in the Y direction, and the said accommodating member 49 extends in an X direction. A long hole 49a is formed, and the sliding shaft 42a formed in the lower end of the leg part 42 is slidably fitted in this long hole 49a. This makes it possible to finely adjust the direction of the blade tip of the cutter wheel 51 by sliding the housing member 49 and rotating the bridge 4A with the pivot 45 as the support point.

추가로, 스크라이브 장치(1)는, 얼라인먼트 마크의 변위 정보(변위 전후의 얼라인먼트 마크 간의 벡터 차이)에 기초하여, 커터 휠(51)의 날끝의 방향을 미리 설정한 각도로 보정하도록, 이동 조정 기구(40)의 동작을 제어하는 컴퓨터 등의 제어부(7)를 구비하고 있다.In addition, the scribe device 1 moves the adjustment mechanism so as to correct the direction of the blade tip of the cutter wheel 51 to a preset angle based on the displacement information of the alignment mark (vector difference between the alignment marks before and after displacement). A control unit 7 such as a computer for controlling the operation of the 40 is provided.

상기와 같이 구성된 스크라이브 장치(1)에 의하면, 한쪽의 브리지(4A)의 스크라이브 헤드(5)의 커터 휠(51)의 날끝을 취성 재료(2)로 가압하면서 X방향으로 이동시킴으로써, 취성 재료에 X방향의 스크라이브 홈을 형성할 수 있고, 다른 한쪽의 브리지(4B)의 커터 휠(51)의 날끝을 가압하면서 지지대(3)를 Y방향으로 이송시킴으로써, 취성 재료(2)에 Y방향의 스크라이브 홈을 형성할 수 있다. 이 경우, 브리지(4A 및 4B)의 2개의 브리지를 설치하여 한쪽의 브리지(4A)에 날끝을 X방향으로 향하게한 커터 휠(51)을 부착하고, 다른 한쪽의 브리지(4B)에 날끝을 Y방향으로 향하게한 커터 휠(51)을 설치하여, 어느 쪽의 브리지를 선택하는 것만으로, 커터 휠(51)을 다시 두는 일 없이 X방향 그리고 Y방향의 스크라이브 홈을 형성할 수 있어 작업성을 용이하고 그리고 신속하게 행할 수 있다.According to the scribe device 1 configured as described above, by moving the blade end of the cutter wheel 51 of the scribe head 5 of one bridge 4A in the X direction while pressing the brittle material 2 in the brittle material, A scribe groove in the Y direction can be formed by transferring the support 3 in the Y direction while pressing the blade end of the cutter wheel 51 of the other bridge 4B and forming a scribe groove in the X direction. Grooves can be formed. In this case, two bridges of the bridges 4A and 4B are provided, and the cutter wheel 51 having the blade pointed in the X direction is attached to one bridge 4A, and the blade edge is Y attached to the other bridge 4B. By installing the cutter wheel 51 facing in the direction and selecting only one bridge, scribe grooves in the X direction and the Y direction can be formed without repositioning the cutter wheel 51, and thus workability is easy. And can be done quickly.

또한, 스크라이브 장치의 기동시에, 지그를 이용하여 취성 재료(2)의 이송 방향과 각 날끝의 방향(회전 방향)이 바르게 직각이 되도록 커터 휠(51)을 부착하여 행하는 것이지만, 스크라이브 홈 형성 작업을 장기간 반복하는 동안에, 진동이나 환경(온도나 습기)의 변화 등에 의해 브리지 등에 변형이 발생하여, 취성 재료(2)의 이송 방향과 커터 휠(51)의 날끝이 이루는 상대적인 각도에 변동이 발생하는 경우가 있다. 이러한 변동이 설정치 이상이 되면, 얼라인먼트 마크의 변위 정보(변위 전후의 얼라인먼트 마크 간의 벡터 차이)에 기초하여, 제어부(7)는 이동 조정 기구(40)의 동작을 제어하여 브리지(4A, 4B)를, 추축부(45)를 지지점으로 하여 변위 회동(예를 들면 도 6의 각도α)시켜, 상기 변동한 각도를 미리 설정한 각도로 자동적으로 재조정한다. 이에 따라, 메인터넌스 작업을 간략화함과 함께, 스크라이브 홈을 계속하여 정밀도 좋게 형성할 수 있다.In addition, the scribe groove 51 is formed by attaching the cutter wheel 51 so that the transfer direction of the brittle material 2 and the direction (rotation direction) of each blade tip are right angled by using a jig at the start of the scribe device. During long-term repetition, when deformation occurs in a bridge or the like due to vibration or a change in environment (temperature or moisture), and fluctuations occur in the relative angle between the conveying direction of the brittle material 2 and the blade tip of the cutter wheel 51. There is. When this variation becomes more than the set value, based on the displacement information of the alignment mark (vector difference between the alignment marks before and after the displacement), the control unit 7 controls the operation of the movement adjustment mechanism 40 to control the bridges 4A and 4B. Then, the pivot 45 is used as a supporting point, and the displacement rotation (for example, the angle α in FIG. 6) is performed to automatically readjust the changed angle to a preset angle. As a result, the maintenance work can be simplified, and the scribe groove can be continuously formed with high accuracy.

또한, 제어부(7)는, 스크라이브 홈의 형성 작업이 소정 회수 이상이 됐을 때에 얼라인먼트 마크를 판독하여, 각도에 변동이 있으면 자동 조정하도록 해도 좋다.In addition, the control part 7 may read out the alignment mark when the scribe groove formation operation | movement becomes more than predetermined number of times, and may make automatic adjustment, if there is a change in an angle.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해서 설명했지만, 본 발명은 반드시 상기의 실시예 구조만으로 특정되는 것은 아니다. 예를 들면, 브리지(4A, 4B)에 있어서, 브리지의 일단을 추축부(45)에 의해 회동만 자유롭게 구성했지만, 이 추축부(45) 대신에, 미끄럼 이동 지지부(46)와 동일한 기구를 설치하도록 해도 좋다. 또한, 미끄럼 이동 지지부(46)도, 브리지를 정밀도 좋게 변위 회동할 수 있는 기구라면 어떠한 것이라도 좋다. 또한, 스크라이브 헤드(5)에 부착되는 커터는, 커터 휠 대신에 날끝에 방향성이 있는 고정날이라도 좋다. 그 외 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절하게 수정, 변경하는 것이 가능하다.As mentioned above, although the typical Example of this invention was described, this invention is not necessarily specified only by said Example structure. For example, in the bridges 4A and 4B, one end of the bridge is freely configured only by the shaft 45, but instead of the shaft 45, the same mechanism as the sliding support 46 is provided. You may do so. In addition, the sliding support part 46 may also be any mechanism as long as it is a mechanism capable of accurately rotating displacement of the bridge. The cutter attached to the scribe head 5 may be a fixed blade having directivity at the blade edge instead of the cutter wheel. In addition, in the present invention, the object can be achieved and modified and changed as appropriate within the scope not departing from the claims.

본 발명은, 유리 기판, 반도체 기판, 박막 태양전지의 기판 등의 취성 재료에 스크라이브 홈을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 적용할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to a scribing apparatus for forming a scribe groove in a brittle material such as a glass substrate, a semiconductor substrate, or a substrate of a thin film solar cell.

1 : 스크라이브 장치
2 : 취성 재료
3 : 지지대
4A, 4B : 브리지
5 : 스크라이브 헤드
6 : 카메라(광학 판독부)
7 : 제어부
40 : 이동 조정 기구
45 : 추축부(pivot portion)
46 : 미끄럼 이동 지지부1: scribe device
2: brittle material
3: support
4A, 4B: Bridge
5: scribe head
6: camera (optical reader)
7: control unit
40: moving adjustment mechanism
45: pivot portion
46: sliding support

Claims (3)

취성 재료를 지지하는 지지대와, 지지대에 걸치도록 하여 평행으로 배치되고, 그리고, 각각 스크라이브 헤드를 구비한 한 쌍의 브리지(bridge)와, 지지대 상에 형성된 얼라인먼트 마크를 판독하는 광학 판독부와, 브리지를 변위 이동시켜 지지대와 스크라이브 헤드의 상대적인 위치를 조정하는 이동 조정 기구와, 얼라인먼트 마크의 변위 정보에 기초하여, 스크라이브 헤드에 설치된 커터의 날끝의 방향이 소정의 방향을 향하도록 상기 이동 조정 기구의 동작을 제어하는 제어부로 이루어지고,
한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향과, 다른 한쪽의 브리지의 스크라이브 헤드에 부착된 커터의 날끝의 방향이, 서로 직교하는 방향을 향하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.A support for supporting brittle material, a pair of bridges arranged in parallel across the support, and an optical reader for reading alignment marks formed on the support, each bridge having a scribe head, and a bridge; Movement mechanism for adjusting the relative position of the support and the scribing head by displacing the movement and the movement of the movement adjustment mechanism so that the direction of the blade tip of the cutter installed in the scribe head is in a predetermined direction based on the displacement information of the alignment mark. Is made of a control unit for controlling,
The scribing apparatus characterized by the direction of the blade tip of the cutter attached to the scribe head of one bridge, and the direction of the blade tip of the cutter attached to the scribe head of the other bridge facing the direction orthogonal to each other. 제1항에 있어서,
상기 이동 조정 기구는, 브리지의 일단(一端)을 회동만 가능하게 지지하는 추축부(pivot portion)와, 브리지의 타단(他端)을 상기 추축부를 지지점으로 하여 회동 가능하게 지지하는 미끄럼 이동 지지부와, 추축부를 지지점으로 하여 브리지를 회동시키는 구동부로 이루어지는 스크라이브 장치.The method of claim 1,
The movement adjusting mechanism includes a pivot portion for supporting only one end of the bridge so as to be rotatable, and a sliding support for rotatably supporting the other end of the bridge as the support point. And a driving unit for rotating the bridge with the pivot as a support point. 제2항에 있어서,
상기 제어부는, 스크라이브 장치의 스크라이브 홈 성형 작업의 과정에서 얼라인먼트 마크의 위치에 변위가 발생한 경우, 광학 판독부에 의한 변위 정보에 기초하여, 상기 변위가 소정치 이하가 되도록 상기 이동 조정 기구의 동작을 제어하도록 한 스크라이브 장치.
The method of claim 2,
When the displacement occurs at the position of the alignment mark in the course of the scribe groove forming operation of the scribing apparatus, the controller controls the operation of the movement adjusting mechanism so that the displacement is equal to or less than a predetermined value based on the displacement information by the optical reader. A scribe device to be controlled.
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