KR101157200B1 - Noncontact conveying apparatus - Google Patents

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Abstract

비접촉 반송장치가 개시된다. 본 발명의 비접촉 반송장치는, 에어(air)가 상부로 분출되는 다수의 에어홀이 형성되는 상부 플레이트와, 상부 플레이트의 하면에 배치되는 하부 플레이트를 구비하며, 다수의 에어홀을 통한 상대적으로 고압의 압축에어에 기초하여 피운반체를 비접촉식으로 반송시키는 반송 플레이트를 포함하며, 에어홀은, 상부 플레이트의 하단부로부터 상부 및 하부 플레이트가 적층되는 방향을 따라 상부 플레이트에 형성되는 제1 에어홀; 및 제1 에어홀의 직경보다 작은 직경을 가지며, 제1 에어홀과 연통되고 제1 에어홀이 끝나는 지점에서부터 상부 플레이트의 상단부까지 형성되는 제2 에어홀을 포함하며, 제1 에어홀에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 제2 에어홀로 분출되게 하되 저항유로로서의 다수의 미세 기공을 구비하는 다공성 에어안내부재가 결합되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있다.A non-contact conveying apparatus is disclosed. The non-contact conveying apparatus of the present invention includes an upper plate having a plurality of air holes through which air is blown upward, and a lower plate disposed on a lower surface of the upper plate, and having relatively high pressure through the plurality of air holes. A conveying plate for conveying the conveying body in a non-contact manner based on the compressed air of the air hole, the air hole comprising: a first air hole formed in the upper plate along a direction in which the upper and lower plates are stacked from the lower end of the upper plate; And a second air hole having a diameter smaller than the diameter of the first air hole, the second air hole communicating with the first air hole and formed from an end point of the first air hole to an upper end portion of the upper plate. The air is blown into the second air hole by changing the air to a low flow rate at high pressure, but a porous air guide member having a plurality of fine pores as a resistance flow path is coupled. According to the present invention, the high-pressure compressed air can be ejected at a low flow rate at a high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, as well as being accurate and stable and capable of high-precision conveying. Low pressure can be used.

Description

비접촉 반송장치{NONCONTACT CONVEYING APPARATUS}Non-Contact Transfer Device {NONCONTACT CONVEYING APPARATUS}

본 발명은, 비접촉 반송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있는 비접촉 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a non-contact conveying apparatus, and more particularly, it is possible to eject a high pressure compressed air at a low flow rate of high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, and is precise and stable. The present invention relates to a non-contact conveying device capable of conveying with high accuracy and using a relatively low pressure as compared with the related art.

일반적으로 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.In-line FPD Automatic Optical Inspection generally captures an image of an inspection object by using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, and the like. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm.

인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔 섹션(scan section), 리뷰 섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unloading section)으로 분할된다. 이러한 검사장비가 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만 스캔 섹션에서부터 언로딩 섹션까지 피운반체(검사대상물)를 안내하는 반송장치의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다.Inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section and an unloading section to detect a defect. In order for these inspection equipments to function as inspection systems, it is important to pinpoint the location and size of the detected defects, but the role of the conveying device to guide the carrier (inspection object) from the scanning section to the unloading section is also an important factor. Works.

종래 반송장치로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피운반체를 반송하는 접촉식 반송장치가 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.Conventionally, as a conveying device has been disclosed a contact conveying device for conveying the conveyed body by the rotational force of the roller (roller), which is carried out by the rotational force of the roller, as well as stains due to scratches and roller rotation to the conveyed body, If the friction force is small or the rotational force is weak, there is a problem that smooth conveyance is difficult because the carrier body slips.

이러한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀(air hole)에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송장치가 연구되고 있는 실정이다.Recently, in order to solve this problem, a non-contact conveying device for supplying compressed air to a plurality of fine air holes and floatingly conveying the air carried body ejected from the air holes has been studied.

그런데, 전술한 비접촉식 반송장치는 에어홀마다 분출되는 에어 유량의 정밀 제어가 어렵기 때문에 부분적으로 저압의 유량이 공급될 수 있으며, 그 결과, 반송되는 피운반체가 반송수단에 접촉되거나 또는, 반송수단에 흡착되어 스크래치가 발생하거나 파손 등의 문제로 인하여 공정수율이 저하되는 문제점이 있다.However, in the above-mentioned non-contact conveying apparatus, since it is difficult to precisely control the air flow rate ejected for each air hole, a low pressure flow rate can be supplied in part, and as a result, the conveyed body to be conveyed is in contact with the conveying means or the conveying means. There is a problem that the process yield is lowered due to problems such as scratches or breakage caused by adsorption.

이러한 문제점을 고려하여 에어홀은 상부 플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제1 확장안내부와, 제1 확장안내부의 연장 단부에서 상부 플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 제1 확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제2 확장안내부와, 제2 확장안내부의 연장 단부에서 상부 플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 제1 확장안내부 및 제2 확장안내부에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지도록 한 반송장치가 개시된 바 있다.In consideration of such a problem, the air hole extends inwardly and vertically inwardly on the lower surface of the upper plate, and extends inwardly of the upper plate at an extended end of the first expansion guide portion, and the first expansion guide portion. A female screw formed on the inner circumferential surface of the inner circumferential surface and having a diameter smaller than the diameter, and the micro guide portion penetrating the upper surface of the upper plate at the extended end of the second extended guide portion, In the guide part, a conveying apparatus has been disclosed in which a resistance means for ejecting a high pressure compressed air to a low flow rate of a high pressure is inserted into the fine guide part.

하지만, 전술한 반송장치의 경우, 제1 확장안내부에 나사산을 형성하게 되면 나사산 가공의 한계 상 어쩔 수 없이 나사산이 형성되지 않는 부분이 발생하게 되는데, 나사산이 형성되지 않는 부분에는 나사가 체결되지 못하여 결국 미세안내부 하부에는 공간이 생기게 되고, 이러한 공간이 클 경우, 기판과 상부 플레이트 사이의 부양 높이가 외란에 의하여 낮아지면 이 공간의 압력이 높아져야 하는데 이 공간이 댐핑 역할을 하여 늦게 압력이 높아지는 문제점이 있으며 이를 해결하기 위하여 상당히 높은 압력을 공급하거나 유로 즉 미세안내부 저항을 크게 하여 사용할 수밖에 없는 문제점이 있다.However, in the case of the above-mentioned conveying apparatus, when the thread is formed in the first extension guide part, the thread is not necessarily formed due to the limitation of thread processing, but the screw is not fastened to the part where the thread is not formed. As a result, a space is formed in the lower part of the microguide, and if the space is large, the pressure of the space should be increased when the height of the support between the substrate and the upper plate is lowered by disturbance. There is a problem and there is a problem that can be used to supply a considerably high pressure or to increase the flow resistance of the fine guide portion to solve this problem.

본 발명의 목적은, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있는 비접촉 반송장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to eject a high pressure compressed air at a low flow rate of a high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, as well as to be precise and stable, high-precision conveying, as well as to the conventional It is to provide a non-contact conveying device that can use a relatively low pressure.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 에어(air)가 상부로 분출되는 다수의 에어홀이 형성되는 상부 플레이트와, 상기 상부 플레이트의 하면에 배치되는 하부 플레이트를 구비하며, 상기 다수의 에어홀을 통한 상대적으로 고압의 압축에어에 기초하여 피운반체를 비접촉식으로 반송시키는 반송 플레이트를 포함하며, 상기 에어홀은, 상기 상부 플레이트의 하단부로부터 상기 상부 및 하부 플레이트가 적층되는 방향을 따라 상기 상부 플레이트에 형성되는 제1 에어홀; 및 상기 제1 에어홀의 직경보다 작은 직경을 가지며, 상기 제1 에어홀과 연통되고 상기 제1 에어홀이 끝나는 지점에서부터 상기 상부 플레이트의 상단부까지 형성되는 제2 에어홀을 포함하며, 상기 제1 에어홀에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 제2 에어홀로 분출되게 하되 저항유로로서의 다수의 미세 기공을 구비하는 다공성 에어안내부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, the upper plate having a plurality of air holes are formed in the air (air) is blown upwards, and having a lower plate disposed on the lower surface of the upper plate, through the plurality of air holes And a conveying plate for conveying the conveying body in a non-contact manner based on a relatively high pressure compressed air, wherein the air hole is formed in the upper plate along a direction in which the upper and lower plates are stacked from a lower end of the upper plate. A first air hole; And a second air hole having a diameter smaller than the diameter of the first air hole, the second air hole communicating with the first air hole and formed from an end point of the first air hole to an upper end of the upper plate. The hole is achieved by a non-contact conveying device, characterized in that the compressed air of the high pressure is changed to a low flow rate of the high pressure to be ejected into the second air hole, but a porous air guide member having a plurality of fine pores as a resistance flow path is coupled. do.

여기서, 상기 에어홀 영역과 상기 다공성 에어안내부재 중 적어도 어느 일측에는 상기 제2 에어홀과 상기 다공성 에어안내부재를 연결하는 변경유로가 더 마련될 수 있다.Here, at least one side of the air hole region and the porous air guide member may further be provided with a change passage for connecting the second air hole and the porous air guide member.

상기 변경유로는 상기 제2 에어홀에 인접된 상기 다공성 에어안내부재의 단부 영역에서 상기 다공성 에어안내부재의 길이 방향을 따라 함몰되게 형성되는 적어도 하나의 홈에 의해 형성될 수 있다.The change passage may be formed by at least one groove formed in the end region of the porous air guide member adjacent to the second air hole to be recessed along the longitudinal direction of the porous air guide member.

상기 제1 에어홀과 상기 제2 에어홀이 연결되는 부분은 라운드 형상 또는 직선 형상을 가질 수 있다.The portion where the first air hole and the second air hole are connected may have a round shape or a straight shape.

상기 제2 에어홀에 인접되는 상기 다공성 에어안내부재의 단부 영역은 라운드 형상 또는 직선 형상을 가질 수 있다.An end region of the porous air guide member adjacent to the second air hole may have a round shape or a straight shape.

상기 다공성 에어안내부재는 상기 제1 에어홀에 억지끼워맞춤될 수 있다.The porous air guide member may be fitted to the first air hole.

상기 다공성 에어안내부재가 상기 제1 에어홀로부터 이탈되는 것이 방지되도록 상기 제1 에어홀에 설치되는 지지부재를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a support member installed in the first air hole to prevent the porous air guide member from being separated from the first air hole.

상기 지지부재는 압입 스프링일 수 있다.The support member may be a press-fit spring.

상기 압입 스프링은 십자형상을 가질 수 있다.The press-fit spring may have a cross shape.

상기 제2 에어홀과 상기 다공성 에어안내부재 사이의 상기 제1 에어홀에 결합되어 상기 다공성 에어안내부재와 함께 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 제2 에어홀로 분출되게 하되 상기 제1 에어홀의 내벽면과의 사이에 저항유로를 형성하는 저항체; 및 상기 저항유로와 상기 제2 에어홀을 연결시키는 변경유로를 더 포함할 수 있다.Coupled to the first air hole between the second air hole and the porous air guide member to change the high pressure compressed air to a low flow rate at a high pressure together with the porous air guide member to be ejected into the second air hole; A resistor forming a resistance flow path between the inner wall surface of the first air hole; And a change passage connecting the resistance passage and the second air hole.

상기 저항체는 외주면에 나사부가 형성되는 에어 플로어 스크루(air flower screw)일 수 있으며, 상기 저항유로는 상기 제1 에어홀의 내벽면과 상기 에어 플로어 스크루의 나사부 사이의 공간에 의해 마련될 수 있다.The resistor may be an air flower screw having a screw portion formed on an outer circumferential surface, and the resistance flow path may be provided by a space between an inner wall surface of the first air hole and a screw portion of the air floor screw.

상기 변경유로는, 상기 저항유로와 연결되며, 상기 저항체의 반경 방향을 따라 상기 저항체에 형성되는 제1 변경유로; 및 상기 제1 변경유로와 상기 제2 에어홀을 연결시키며, 상기 제1 변경유로와 상호 교차 배치되는 제2 변경유로를 포함할 수 있다.The change flow path may include: a first change flow path connected to the resistance flow path and formed in the resistor along a radial direction of the resistor; And a second change passage connecting the first change passage to the second air hole and intersecting the first change passage.

상기 저항체가 결합되는 상기 제1 에어홀의 내벽면은 나사산이 형성되지 않은 매끄러운 표면을 형성할 수 있다.An inner wall surface of the first air hole to which the resistor is coupled may form a smooth surface on which no thread is formed.

본 발명에 따르면, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있다.According to the present invention, the compressed air of high pressure can be ejected at a low flow rate of high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, as well as being accurate, stable, and highly accurate in conveying, as well as relative to the conventional art. Low pressure can be used.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉 반송장치의 개략적인 측면 구조도이다.
도 2는 도 1의 분해 사시도이다.
도 3은 상부 플레이트의 부분 확대 단면도이다.
도 4는 도 3의 A 영역에 대한 확대도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 확대도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 상부 플레이트의 부분 확대 단면도이다.
도 7은 도 6의 B 영역에 대한 확대도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 단면 구조도이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 단면 구조도이다.
도 10은 본 발명의 제6 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 단면 구조도이다.
도 11은 본 발명의 제7 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 상부 플레이트의 부분 확대 단면도이다.1 is a schematic side structure diagram of a non-contact conveying apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of FIG.
3 is a partially enlarged cross-sectional view of the upper plate.
4 is an enlarged view of area A of FIG. 3.
5 is an enlarged view of a porous air guide member region in a non-contact conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention.
6 is a partially enlarged cross-sectional view of the upper plate in the non-contact conveying apparatus according to the third embodiment of the present invention.
FIG. 7 is an enlarged view of region B of FIG. 6.
8 is a cross-sectional structural view of the porous air guide member region in the non-contact conveying apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional structural view of the porous air guide member region in the non-contact conveying apparatus according to the fifth embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional structural view of the porous air guide member region in the non-contact conveying apparatus according to the sixth embodiment of the present invention.
11 is a partially enlarged cross-sectional view of the upper plate in the non-contact conveying apparatus according to the seventh embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도면 대비 설명에 앞서 피운반체라 함은, 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel), 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 및 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)와 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display), 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킬 수 있으나 이하에서는 이들을 구분하지 않고 기판이라 하여 설명하기로 한다.Prior to the description of the drawings, the carrier body is a flat panel display device such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display (LCD), and an organic light emitting display (OLED). A display panel such as an FPD, a flat panel display, a color filter, a wafer for semiconductors, a glass for a photo mask, and the like may be referred to. .

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 비접촉 반송장치의 개략적인 측면 구조도이고, 도 2는 도 1의 분해 사시도이며, 도 3은 상부 플레이트의 부분 확대 단면도이고, 도 4는 도 3의 A 영역에 대한 확대도이다.1 is a schematic side view structural view of a non-contact conveying apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of FIG. 1, FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view of the upper plate, and FIG. 4 is A of FIG. 3. An enlarged view of the area.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 비접촉 반송장치는, 상하 방향으로 상호 접면되는 상부 및 하부 플레이트(110,130)를 구비하여 상대적으로 고압의 압축에어에 기초하여 기판을 비접촉식으로 반송시키는 반송 플레이트(100)와, 도 1처럼 반송 플레이트(100)의 상부로 기판이 부상되어 운반될 수 있도록 반송 플레이트(100)로 고압의 압축에어를 공급하는 압축에어 공급부(미도시)를 구비한다.As shown in these figures, the non-contact conveying apparatus of this embodiment includes a conveying plate for conveying a substrate in a non-contact manner on the basis of a relatively high-pressure compressed air having upper and lower plates 110 and 130 which are in contact with each other in the vertical direction. 100 and a compressed air supply unit (not shown) for supplying a high pressure compressed air to the conveying plate 100 so that the substrate can be floated and transported to the upper portion of the conveying plate 100 as shown in FIG. 1.

반송 플레이트(100)를 이루는 상부 및 하부 플레이트(110,130)에 대해 살펴보면, 우선 상부 플레이트(110)에는 에어(air)가 상부로 분출되는 다수의 에어홀(111)이 그 두께 방향을 따라 형성된다.Referring to the upper and lower plates 110 and 130 constituting the conveying plate 100, first, a plurality of air holes 111 in which air is blown upward is formed in the upper plate 110 along the thickness direction thereof.

도 3에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(110)에는 다수의 에어홀(111) 외에도 기판에 부딪혀 상부 플레이트(110) 쪽으로 향하는 에어를 흡착시키는 다수의 진공홀(113)이 더 마련된다. 에어홀(111)들과 진공홀(113)들 사이사이에는 하부 플레이트(130)와의 결합을 위한 다수의 체결보스(115)가 형성된다.As shown in FIG. 3, in addition to the plurality of air holes 111, the upper plate 110 is further provided with a plurality of vacuum holes 113 for adsorbing air directed toward the upper plate 110 by hitting the substrate. A plurality of fastening bosses 115 for coupling with the lower plate 130 are formed between the air holes 111 and the vacuum holes 113.

하부 플레이트(130)는 도 1 및 도 2처럼 상하 방향을 따라 상부 플레이트(110)의 하면에 배치되어 상부 플레이트(110)와 결합된다. 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(110)와 하부 플레이트(130) 사이에는 이들 간의 결합 영역을 외부로부터 밀봉시키는 개스킷(105)이 개재된다.The lower plate 130 is disposed on the lower surface of the upper plate 110 in the up and down direction as shown in FIGS. 1 and 2 to be coupled to the upper plate 110. As schematically shown in FIG. 1, a gasket 105 is interposed between the upper plate 110 and the lower plate 130 to seal the bonding area therebetween from the outside.

상부 플레이트(110)를 향한 하부 플레이트(130)의 표면에는 다수의 에어홀(111)들과 연결되는 에어안내라인(131)과, 다수의 진공홀(113)들과 연결되는 진공안내라인(136)이 형성된다.On the surface of the lower plate 130 facing the upper plate 110, an air guide line 131 connected to the plurality of air holes 111 and a vacuum guide line 136 connected to the plurality of vacuum holes 113. ) Is formed.

에어안내라인(131)은 다수의 에어홀(111)들로 한번에 압축에어를 공급하는 역할을 하고, 진공안내라인(136)은 다수의 진공홀(113)들로부터의 에어를 한번에 빨아들여 반송 플레이트(100)의 외부로 배출하는 역할을 한다.The air guide line 131 serves to supply compressed air to the plurality of air holes 111 at once, and the vacuum guide line 136 sucks air from the plurality of vacuum holes 113 at once to convey the plate. It serves to discharge to the outside of (100).

상부 플레이트(110)에 형성되는 다수의 에어홀(111) 각각은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상부 플레이트(110)의 하단부로부터 상부 및 하부 플레이트(110,130)가 적층되는 방향을 따라 상부 플레이트(110)에 형성되는 제1 에어홀(111a)과, 제1 에어홀(111a)의 직경보다 작은 직경을 가지며 제1 에어홀(111a)과 연통되고 제1 에어홀(111a)이 끝나는 지점에서부터 상부 플레이트(110)의 상단부까지 형성되는 제2 에어홀(111b)을 구비한다.Each of the plurality of air holes 111 formed in the upper plate 110, along the direction in which the upper and lower plates 110 and 130 are stacked from the lower end of the upper plate 110, as shown in FIGS. 3 and 4. The first air hole 111a formed in the upper plate 110 and a diameter smaller than the diameter of the first air hole 111a are in communication with the first air hole 111a and the first air hole 111a ends. The second air hole 111b is formed from a point to an upper end of the upper plate 110.

이때, 제1 에어홀(111a)과 제2 에어홀(111b)이 연결되는 부분은 라운드 형상을 갖는다. 이 부분이 라운드 형상을 가짐에 따라 압축에어의 와류 현상을 억제하여 안정적이고 부드러운 에어 흐름을 유도할 수 있을 것이다.At this time, the portion where the first air hole 111a and the second air hole 111b are connected has a round shape. As this part has a round shape, the vortex of the compressed air may be suppressed to induce a stable and smooth air flow.

한편, 본 실시예의 비접촉 반송장치에는 제1 에어홀(111a)에 다공성 에어안내부재(150)가 결합된다.On the other hand, in the non-contact conveying apparatus of the present embodiment, the porous air guide member 150 is coupled to the first air hole 111a.

다공성 에어안내부재(150)는 제1 에어홀(111a)에 결합되되 도시 않은 압축에어 공급부로부터의 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 제2 에어홀(111b)로 분출되게 하는 역할을 한다. 다공성 에어안내부재(150)는 마치 스펀지와 같이 내부에 다수의 미세 기공(151)이 형성된 예컨대 포로스(poros) 재질로 제작되기 때문에, 다공성 에어안내부재(150)의 미세 기공(151)들은 저항유로(151)를 형성한다.Porous air guide member 150 is coupled to the first air hole (111a) to change the high-pressure compressed air from the compressed air supply unit (not shown) to a low flow rate of high pressure to be ejected to the second air hole (111b) do. Since the porous air guide member 150 is made of, for example, a poros material having a plurality of fine pores 151 formed therein, like a sponge, the fine pores 151 of the porous air guide member 150 are resistant to oil. 151 is formed.

그리고 다공성 에어안내부재(150)의 미세 기공(151)들에 의해 형성되는 저항유로(151)로부터 제2 에어홀(111b)로 압축에어가 제공되기 위하여 다공성 에어안내부재(150)에는 저항유로와 제2 에어홀(111b)을 연결시키는 변경유로(153)가 마련된다.In addition, in order to provide compressed air from the resistance passage 151 formed by the micropores 151 of the porous air guide member 150 to the second air hole 111b, the porous air guide member 150 has a resistance passage and The change passage 153 connecting the second air holes 111b is provided.

이러한 변경유로(153)는 다공성 에어안내부재(150)의 제2 에어홀(111b) 측 단부에 마련될 수 있다. 즉 변경유로(153)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 에어홀(111b)에 인접된 다공성 에어안내부재(150)의 단부 영역에서 다공성 에어안내부재(150)의 길이 방향을 따라 함몰되게 형성되는 적어도 하나의 홈(153)에 의해 형성될 수 있다. 후술하겠지만 이러한 구조의 변경유로(153)가 적용되더라도 다공성 에어안내부재(150)를 따라 올라가는 압축에어는 다공성 에어안내부재(150)의 상단부 영역에서 변경유로(153)를 통해 제2 에어홀(111b)로 향할 수 있기 때문에 기판을 부상시키는 데에는 아무런 문제가 없다.The change passage 153 may be provided at an end of the second air hole 111b of the porous air guide member 150. That is, the change passage 153 is recessed along the longitudinal direction of the porous air guide member 150 in the end region of the porous air guide member 150 adjacent to the second air hole 111b as shown in FIG. 4. It may be formed by at least one groove 153 is formed. Although it will be described later, even if the change channel 153 of such a structure is applied, the compressed air that rises along the porous air guide member 150 is provided through the change channel 153 in the upper end region of the porous air guide member 150 through the second air hole 111b. ), There is no problem in floating the substrate.

다공성 에어안내부재(150)는 상대적으로 가공이 용이하기 때문에, 제2 에어홀(111b)에 인접되는 다공성 에어안내부재(150)의 단부 영역은 제1 에어홀(111a)과 제2 에어홀(111b)이 연결되는 부분에 대응되도록 라운드 형상을 갖는다.Since the porous air guide member 150 is relatively easy to process, the end regions of the porous air guide member 150 adjacent to the second air hole 111b may include the first air hole 111a and the second air hole ( 111b) has a round shape so as to correspond to the portion to which it is connected.

한편, 종래와 달리 다공성 에어안내부재(150)가 결합되는 제1 에어홀(111a)의 내벽면은 나사산이 형성되지 않은 매끄러운 표면을 형성한다. 즉 제1 에어홀(111a)에 나사산을 형성하게 되면 나사산 가공 때문에 어쩔 수 없이 나사산이 형성되지 않는 부분이 발생하게 되고 나사산이 형성되지 않는 부분에는 예컨대 종래의 나사(미도시)가 체결되지 못하여 결국 제2 에어홀(111b) 하부에는 공간이 생기게 되고 이 공간이 댐핑 역할을 하는 문제점이 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상이 발생될 수 있으므로 본 실시예에서는 제1 에어홀(111a)의 내벽면이 나사산이 형성되지 않은 매끄러운 표면을 형성하도록 하고 있는 것이다.On the other hand, unlike the prior art, the inner wall surface of the first air hole 111a to which the porous air guide member 150 is coupled forms a smooth surface without a thread. That is, when the thread is formed in the first air hole 111a, a portion where the thread is not formed due to the thread processing is inevitably generated, and for example, a conventional screw (not shown) is not fastened to the portion where the thread is not formed. Since a space is formed below the second air hole 111b and this space acts as a damping function, a vibration phenomenon may occur when the substrate is transported. It is intended to form a smooth surface without threads.

다만, 제1 에어홀(111a)에 나사산이 없기 때문에 다공성 에어안내부재(150)가 제1 에어홀(111a)에 억지끼워맞춤될 때 제2 에어홀(111b)을 막을 가능성이 있기 때문에 본 실시예에서는 다공성 에어안내부재(150)에 변경유로(153)를 마련하고 있는 것이다. 이에 따라, 제1 에어홀(111a)로 유입되는 압축에어는 다공성 에어안내부재(150)의 저항유로(151)인 미세 기공(151)을 따라 올라가다가 다공성 에어안내부재(150)의 상단부에서 변경유로(153)를 제2 에어홀(111b)로 유입되어 기판 쪽으로 분출될 수 있게 되는데, 이러한 구조적인 특징에 의해 종래와 달리 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있게 되어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적일 수 있다.However, since there is no thread in the first air hole 111a, the second air hole 111b may be blocked when the porous air guide member 150 is fitted to the first air hole 111a. In the example, the change passage 153 is provided on the porous air guide member 150. Accordingly, the compressed air flowing into the first air hole 111a is moved up along the micropores 151, which are resistance paths 151 of the porous air guide member 150, and is changed at the upper end of the porous air guide member 150. The flow path 153 flows into the second air hole 111b to be ejected toward the substrate. Due to this structural feature, it is possible to eject the compressed air of high pressure to a low flow rate of high pressure, unlike the conventional art. In addition, the shaking can be significantly reduced, as well as accurate and stable.

이처럼 본 실시예의 경우, 다공성 에어안내부재(150)는 제1 에어홀(111a)에 억지끼워맞춤될 수 있는데, 이때, 제1 에어홀(111a)에는 다공성 에어안내부재(150)가 제1 에어홀(111a)로부터 이탈되는 것이 방지되도록 지지부재(180)가 결합된다.As such, in the present exemplary embodiment, the porous air guide member 150 may be fitted to the first air hole 111a. In this case, the porous air guide member 150 is formed in the first air hole 111a. The support member 180 is coupled to prevent deviation from the hole 111a.

이에 대하여 보다 상세히 설명하면, 본 실시예의 경우, 다공성 에어안내부재(150)는 제1 에어홀(111a)에 억지끼워맞춤되며, 억지끼워맞춤으로 다공성 에어안내부재(150)가 제1 에어홀(111a)로부터 이탈될 염려가 없을 수도 있으나 보다 확실하게 다공성 에어안내부재(150)의 이탈을 방지하기 위하여 지지부재(180)를 제1 에어홀(111a)에 설치하고 있는 것이다. 본 실시예의 경우, 지지부재(180)는 다공성 에어안내부재(150) 하단부에서 다공성 에어안내부재(150)를 접촉 지지하는 십자형상의 압입 스프링(180)으로 적용된다.In more detail, in the present embodiment, the porous air guide member 150 is forcibly fitted into the first air hole 111a, and the porous air guide member 150 is forcibly fitted with the first air hole ( There may be no fear of separation from the 111a), but the support member 180 is installed in the first air hole 111a to reliably prevent the separation of the porous air guide member 150. In the present embodiment, the support member 180 is applied to the cross-shaped indentation spring 180 to support the porous air guide member 150 in contact with the lower end of the porous air guide member 150.

여기서, 압입 스프링(180)이 십자형인 이유는 다공성 에어안내부재(150)의 저항유로(151)로 압축에어가 유입되어야 하기 때문이다. 따라서 압입 스프링(180)은 반드시 십자형일 필요는 없으며 동전처럼 완전히 막힌 원반 형상만 아니라면 어떠한 형상이 적용되더라도 무방하다.The reason why the press-fit spring 180 is cross-shaped is that compressed air must flow into the resistance flow path 151 of the porous air guide member 150. Therefore, the press-fit spring 180 does not necessarily have to be cross-shaped, and any shape may be applied as long as it is not a disk shape completely blocked like a coin.

이러한 구성을 갖는 비접촉 반송장치의 작용에 대해 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the non-contact conveying device having such a configuration as follows.

도시 않은 압축에어 공급부에서 압축에어가 에어안내라인(131)으로 공급되면 에어안내라인(131)을 따라 에어안내라인(131)에 연결된 다수의 제1 에어홀(111a)로 향한다.When the compressed air is supplied to the air guide line 131 from the compressed air supply unit (not shown), the air is directed to the plurality of first air holes 111a connected to the air guide line 131 along the air guide line 131.

그런 다음, 압입 스프링(180)의 빈 공간을 따라 제1 에어홀(111a)로 유입되며, 제1 에어홀(111a)로 유입되는 압축에어는 다공성 에어안내부재(150)의 미세 기공(151)인 저항유로(151)를 따라 올라간다.Then, the air flows into the first air hole 111a along the empty space of the press-fit spring 180, and the compressed air introduced into the first air hole 111a is fine pores 151 of the porous air guide member 150. The phosphorus resistance flows up along the channel 151.

저항유로(151)를 따라 올라가는 압축에어는 다공성 에어안내부재(150)의 상단부에서 변경유로(153)를 통해 제2 에어홀(111b)로 향한다.Compressed air going up along the resistance passage 151 is directed to the second air hole 111b through the change passage 153 at the upper end of the porous air guide member 150.

따라서 반송 플레이트(100)의 상부에 놓인 기판은 제2 에어홀(111b)울 통해 분출되는 압축에어에 의해 부상되어 운반될 수 있다. 이때, 기판에 부딪혀 다시 반송 플레이트(100) 쪽으로 향하는 에어는 다수의 진공홀(113)을 통해 유입되어 진공안내라인(136)을 경유하여 반송 플레이트(100)의 외부로 배출된다.Therefore, the substrate placed on the upper portion of the transfer plate 100 may be lifted and transported by the compressed air ejected through the second air hole 111b. At this time, the air hitting the substrate again toward the conveying plate 100 is introduced through the plurality of vacuum holes 113 and discharged to the outside of the conveying plate 100 via the vacuum guide line 136.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있게 된다.As described above, according to the present embodiment, the high-pressure compressed air can be ejected at a low flow rate at a high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, as well as enable accurate and stable conveying with high accuracy. It is possible to use a relatively low pressure compared to the prior art.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 확대도이다.5 is an enlarged view of a porous air guide member region in a non-contact conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention.

본 실시예는 제1 에어홀(111a)과 제2 에어홀(111b)이 연결되는 부분 및 다공성 에어안내부재(150a)의 상단부 모두가 직선 형상을 이루고 있는 경우에 해당한다.This embodiment corresponds to a case where both the portion where the first air hole 111a and the second air hole 111b are connected and the upper end of the porous air guide member 150a have a straight line shape.

도 5의 구조가 적용되더라도 압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있다.Even if the structure of FIG. 5 is applied, the compressed air of the pressure can be ejected at a low flow rate at a high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, as well as enable accurate and stable conveying with high accuracy. In comparison, a relatively low pressure can be used.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 상부 플레이트의 부분 확대 단면도이고, 도 7은 도 6의 B 영역에 대한 확대도이다.FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view of the upper plate in the non-contact conveying apparatus according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 7 is an enlarged view of region B of FIG. 6.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 비접촉 반송장치는 제1 실시예의 구성에 더하여, 제2 에어홀(111b)과 다공성 에어안내부재(150) 사이의 제1 에어홀(111a)에 결합되어 다공성 에어안내부재(150)와 함께 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 제2 에어홀(111b)로 분출되게 하되 제1 에어홀(111a)의 내벽면과의 사이에 저항유로(170)를 형성하는 저항체(160)와, 저항유로(171)와 제2 에어홀(111b)을 연결시키는 변경유로(173)를 더 구비하고 있다.Referring to these drawings, in addition to the configuration of the first embodiment, the non-contact conveying apparatus of the present embodiment is coupled to the first air hole 111a between the second air hole 111b and the porous air guide member 150 to form porous air. Together with the guide member 150, the compressed air of high pressure is changed to a low flow rate of high pressure to be ejected to the second air hole 111b, but the resistance flow path 170 is formed between the inner wall surface of the first air hole 111a. A resistor 160 to be formed and a change passage 173 for connecting the resistance passage 171 and the second air hole 111b are further provided.

즉 본 실시예의 비접촉 반송장치에는 제1 에어홀(111a)에 전술한 다공성 에어안내부재(150) 외에도 저항체(160)가 더 결합된다. 저항체(160)는 제1 에어홀(111a)에 결합되되 다공성 에어안내부재(150)와 함께 도시 않은 압축에어 공급부로부터의 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 제2 에어홀(111b)로 분출되게 하는 역할을 한다.That is, the resistor 160 is further coupled to the non-contact conveying device of the present embodiment in addition to the above-described porous air guide member 150 to the first air hole 111a. The resistor 160 is coupled to the first air hole 111a, and changes the high pressure compressed air from the compressed air supply unit (not shown) together with the porous air guide member 150 to a low flow rate of the high pressure. It is a role to make it erupt in.

본 실시예에서 저항체(160)는 외주면에 나사부(161)가 형성되는 에어 플로어 스크루(160, air flower screw)로 마련된다.In the present embodiment, the resistor 160 is provided with an air flower screw 160 having a threaded portion 161 formed on an outer circumferential surface thereof.

저항체(160)에는 산부(161a)와 골부(161b)가 반복적으로 형성되는 나사부(161)가 그 외주면에 형성되고 있기 때문에 나사부(161)와 제1 에어홀(111a)의 내벽면 사이에는 일정한 공간이 형성되는데, 이 공간이 저항유로(171)를 이룬다.Since the threaded portion 161 is formed on the outer circumferential surface of the resistor 160 with the peak portion 161a and the valley portion 161b repeatedly formed between the threaded portion 161 and the inner wall surface of the first air hole 111a. This is formed, this space forms a resistance flow path (171).

그리고 제1 에어홀(111a) 영역의 저항유로(171)로부터 제2 에어홀(111b)로 압축에어가 제공되기 위하여 저항체(160)에는 저항유로(171)와 제2 에어홀(111b)을 연결시키는 변경유로(173)가 마련된다. 제2 에어홀(111b)에 인접되는 저항체(160)의 단부 영역은 제1 에어홀(111a)과 제2 에어홀(111b)이 연결되는 부분에 대응되도록 라운드 형상을 갖는다.In order to provide compressed air from the resistance passage 171 in the region of the first air hole 111a to the second air hole 111b, the resistor 160 connects the resistance passage 171 and the second air hole 111b to each other. A change channel 173 is provided. An end region of the resistor 160 adjacent to the second air hole 111b has a round shape to correspond to a portion where the first air hole 111a and the second air hole 111b are connected.

이러한 변경유로(173)는 도 7에 단면도로 자세히 도시된 바와 같이, 저항유로(171)와 연결되며 저항체(160)의 반경 방향을 따라 저항체(160)에 형성되는 제1 변경유로(173a)와, 제1 변경유로(173a)와 제2 에어홀(111b)을 연결시키는 제2 변경유로(173b)를 구비한다.As shown in detail in the cross-sectional view in FIG. 7, the change channel 173 is connected to the resistance channel 171 and the first change channel 173a formed in the resistor 160 along the radial direction of the resistor 160. And a second change passage 173b connecting the first change passage 173a and the second air hole 111b.

이때, 제1 변경유로(173a)와 제2 변경유로(173b)는 상호 교차되게 배치되며, 교차된 부분에는 압축에어의 원활한 유동을 위해 라운드가 형성된다. 참고로, 제1 변경유로(173a)는 저항체(160)의 전체 길이에서 1/4 지점에 형성될 수 있지만 이는 상부 플레이트(110)의 두께에 따라 얼마든지 변경될 수 있다.In this case, the first change channel 173a and the second change channel 173b are disposed to cross each other, and a round is formed at the crossed portion for smooth flow of the compressed air. For reference, the first change channel 173a may be formed at a quarter point in the overall length of the resistor 160, but this may be changed depending on the thickness of the upper plate 110.

한편, 본 실시예의 경우에도 종래와 달리 에어 플로어 스크루(160, air flower screw)로서의 저항체(160)가 결합되는 제1 에어홀(111a)의 내벽면은 나사산이 형성되지 않은 매끄러운 표면을 형성한다. 즉 제1 에어홀(111a)에 나사산을 형성하게 되면 나사산 가공 때문에 어쩔 수 없이 나사산이 형성되지 않는 부분이 발생하게 되고 나사산이 형성되지 않는 부분에는 저항체(160)가 체결되지 못하여 결국 제2 에어홀(111b) 하부에는 공간이 생기게 되고 이 공간이 댐핑 역할을 하는 문제점이 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상이 발생될 수 있으므로 본 실시예에서는 제1 에어홀(111a)의 내벽면이 나사산이 형성되지 않은 매끄러운 표면을 형성하도록 하고 있는 것이다.On the other hand, in the present embodiment, unlike the prior art, the inner wall surface of the first air hole 111a to which the resistor 160 as the air floor screw 160 is coupled forms a smooth surface without a thread. That is, when the thread is formed in the first air hole 111a, a portion where the thread is not formed due to the thread processing is inevitably generated, and the resistor 160 is not fastened to the portion where the thread is not formed, and thus the second air hole is eventually formed. Since a space is formed in the lower portion of the lower portion 111b and a damping role may occur, a shaking phenomenon may occur when transporting the substrate. In this embodiment, the inner wall surface of the first air hole 111a is not threaded. To form a smooth surface.

다만, 제1 에어홀(111a)에 나사산이 없기 때문에 저항체(160)가 제1 에어홀(111a)에 억지끼워맞춤될 때 제2 에어홀(111b)을 막을 가능성이 있기 때문에 본 실시예에서는 저항체(160)에 제1 변경유로(173a)와 제2 변경유로(173b)를 마련하고 있는 것이다. 이에 따라, 제1 에어홀(111a)로 유입되는 압축에어는 저항체(160)의 나사부(161)와 제1 에어홀(111a)의 내벽면 사이에 형성되는 저항유로(171)를 따라 올라가다가 저항체(160)의 상단부에서 제1 변경유로(173a)와 제2 변경유로(173b)를 통해 제2 에어홀(111b)로 유입되어 기판 쪽으로 분출될 수 있게 되는데, 이러한 구조적인 특징에 의해 종래와 달리 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있게 되어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적일 수 있다.However, since the resistor 160 may block the second air hole 111b when the resistor 160 is forcibly fitted to the first air hole 111a because there is no thread in the first air hole 111a, in the present embodiment, the resistor The first change passage 173a and the second change passage 173b are provided at 160. Accordingly, the compressed air flowing into the first air hole 111a rises along the resistance flow path 171 formed between the threaded portion 161 of the resistor 160 and the inner wall surface of the first air hole 111a. At the upper end of the 160, the first change channel 173a and the second change channel 173b are introduced into the second air hole 111b, and can be ejected toward the substrate. It is possible to eject the high-pressure compressed air at a low flow rate of high pressure to significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate can be precise and stable as well.

이처럼 본 실시예의 경우에도 제1 에어홀(111a)에 결합된 저항체(160)와 다공성 에어안내부재(150)가 제1 에어홀(111a)로부터 이탈되는 것이 방지되도록 지지부재(180)가 결합된다. 반드시 그러한 것은 아니지만 지지부재(180)는 전술한 바와 같이, 십자형상의 압입 스프링(180)으로 적용될 수 있다.As such, in the present embodiment, the support member 180 is coupled to prevent the resistor 160 coupled to the first air hole 111a and the porous air guide member 150 from being separated from the first air hole 111a. . Although not necessarily the support member 180 may be applied to the cross-shaped indentation spring 180, as described above.

도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 단면 구조도이고, 도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 단면 구조도이다.8 is a cross-sectional structural view of the porous air guide member region in the non-contact conveying apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, Figure 9 is a cross-sectional structural view of the porous air guide member region in the non-contact conveying apparatus according to a fifth embodiment of the present invention to be.

도 8은 제1 에어홀(111a)과 제2 에어홀(111b)이 연결되는 부분이 직선 형상을 이루고 있는 경우에 해당하고, 도 9는 제1 에어홀(111a)과 제2 에어홀(111b)이 연결되는 부분 및 저항체(160a)의 상단부 모두가 직선 형상을 이루고 있는 경우에 해당한다.FIG. 8 corresponds to a case where a portion where the first air hole 111a and the second air hole 111b are connected has a straight line shape, and FIG. 9 illustrates the first air hole 111a and the second air hole 111b. This corresponds to the case where both the portion to which the) is connected and the upper end of the resistor 160a form a straight line shape.

도 8 및 도 9의 구조가 적용되더라도 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 기판을 반송할 때 떨림 현상을 현저하게 줄일 수 있음은 물론 정밀하고 안정적이며, 고정도의 반송이 가능할 뿐만 아니라 종래에 비하여 상대적으로 낮은 압력을 사용할 수 있다.Even if the structure of FIG. 8 and FIG. 9 is applied, the compressed air of high pressure can be ejected at a low flow rate of high pressure, which can significantly reduce the shaking phenomenon when conveying the substrate, as well as enable accurate, stable and highly accurate conveyance. It is possible to use a relatively low pressure as compared to the conventional.

도 10은 본 발명의 제6 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 다공성 에어안내부재 영역의 단면 구조도이다.10 is a cross-sectional structural view of the porous air guide member region in the non-contact conveying apparatus according to the sixth embodiment of the present invention.

본 실시예의 경우, 도 7과 거의 유사한 구조를 가지고 있다. 즉 본 실시예인 도 10의 경우에는 저항체(160b)와 다공성 에어안내부재(150)가 함께 적용된 구조를 개시하고 있는데, 이때 변경유로(272)는 제2 에어홀(111b)에 인접된 저항체(160b)의 단부 영역에서 저항체(160b)의 길이 방향을 따라 함몰되게 형성되는 적어도 하나의 홈(273)에 의해 형성되고 있다.In this embodiment, the structure is substantially similar to that of FIG. That is, in the case of FIG. 10 according to the present embodiment, a structure in which the resistor 160b and the porous air guide member 150 are applied together is disclosed. In this case, the change passage 272 is the resistor 160b adjacent to the second air hole 111b. It is formed by at least one groove 273 which is formed to be recessed along the longitudinal direction of the resistor 160b in the end region of the ().

이러한 구조가 적용되더라도 다공성 에어안내부재(150)를 통해 상향되는 압축에어는 저항체(160b)의 저항유로(171)를 따라 올라간 후에 저항체(160b)의 상단부에서 변경유로(273)를 통해 제2 에어홀(111b)로 향할 수 있기 때문에 기판을 부상시키는 데에는 아무런 문제가 없다.Even if such a structure is applied, the compressed air upward through the porous air guide member 150 is raised along the resistance flow path 171 of the resistor 160b and then the second air is provided through the change flow passage 273 at the upper end of the resistor 160b. Since it can be directed to the hole 111b, there is no problem in floating the substrate.

도 11은 본 발명의 제7 실시예에 따른 비접촉 반송장치에서 상부 플레이트의 부분 확대 단면도이다.11 is a partially enlarged cross-sectional view of the upper plate in the non-contact conveying apparatus according to the seventh embodiment of the present invention.

전술한 실시예의 경우, 지지부재(180, 도 3 참조)는 다공성 에어안내부재(150) 하단부에서 다공성 에어안내부재(150)를 접촉 지지하는 십자형상의 압입 스프링(180)으로 적용하였으나 지지부재(180a)는 도 11처럼 일측이 개방된 도넛 형상의 원형 링(180a)일 수도 있다. 이때, 원형 링(180a)의 개방된 틈(180b)은 에어가 유동하는 공간으로 활용될 수 있다.In the above-described embodiment, the support member 180 (refer to FIG. 3) is applied as a cross-shaped indentation spring 180 that supports and supports the porous air guide member 150 at the lower end of the porous air guide member 150. ) May be a donut-shaped circular ring 180a of which one side is open as shown in FIG. 11. In this case, the open gap 180b of the circular ring 180a may be used as a space in which air flows.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100 : 반송 플레이트 105 : 개스킷
110 : 상부 플레이트 111 : 에어홀
111a : 제1 에어홀 111b : 제2 에어홀
113 : 진공홀 115 : 체결보스
130 : 하부 플레이트 131 : 에어안내라인
136 : 진공안내라인 150 : 다공성 에어안내부재
160 : 저항체 171 : 저항유로
173 : 변경유로 173a : 제1 변경유로
173b : 제2 변경유로 180 : 지지부재100: conveying plate 105: gasket
110: upper plate 111: air hole
111a: first air hole 111b: second air hole
113: vacuum hole 115: tightening boss
130: lower plate 131: air guide line
136: vacuum guide line 150: porous air guide member
160: resistor 171: resistance euro
173: change euro 173a: first change euro
173b: second change channel 180: support member

Claims (13)

에어(air)가 상부로 분출되는 다수의 에어홀이 형성되는 상부 플레이트와, 상기 상부 플레이트의 하면에 배치되는 하부 플레이트를 구비하며, 상기 다수의 에어홀을 통한 상대적으로 고압의 압축에어에 기초하여 피운반체를 비접촉식으로 반송시키는 반송 플레이트를 포함하며,
상기 에어홀은,
상기 상부 플레이트의 하단부로부터 상기 상부 및 하부 플레이트가 적층되는 방향을 따라 상기 상부 플레이트에 형성되는 제1 에어홀; 및
상기 제1 에어홀의 직경보다 작은 직경을 가지며, 상기 제1 에어홀과 연통되고 상기 제1 에어홀이 끝나는 지점에서부터 상기 상부 플레이트의 상단부까지 형성되는 제2 에어홀을 포함하며,
상기 제1 에어홀에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 제2 에어홀로 분출되게 하되 저항유로로서의 다수의 미세 기공을 구비하는 다공성 에어안내부재가 결합되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.An upper plate having a plurality of air holes through which air is blown upwards, and a lower plate disposed on a lower surface of the upper plate, and based on relatively high pressure compressed air through the plurality of air holes. A conveying plate for conveying the conveying body in a non-contact manner,
The air hole,
A first air hole formed in the upper plate along a direction in which the upper and lower plates are stacked from a lower end of the upper plate; And
It has a diameter smaller than the diameter of the first air hole, and includes a second air hole in communication with the first air hole and formed from the end point of the first air hole to the upper end of the upper plate,
Non-contact conveyance, characterized in that the first air hole is changed into a low flow rate of the high pressure compressed air to be ejected to the second air hole, but a porous air guide member having a plurality of fine pores as a resistance flow path is coupled to the first air hole. Device. 제1항에 있어서,
상기 에어홀 영역과 상기 다공성 에어안내부재 중 적어도 어느 일측에는 상기 제2 에어홀과 상기 다공성 에어안내부재를 연결하는 변경유로가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 1,
At least one side of the air hole region and the porous air guide member is a non-contact conveying apparatus, characterized in that further provided a change passage for connecting the second air hole and the porous air guide member. 제2항에 있어서,
상기 변경유로는 상기 제2 에어홀에 인접된 상기 다공성 에어안내부재의 단부 영역에서 상기 다공성 에어안내부재의 길이 방향을 따라 함몰되게 형성되는 적어도 하나의 홈에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 2,
The change flow path is formed by at least one groove formed in the end region of the porous air guide member adjacent to the second air hole by at least one recess formed along the longitudinal direction of the porous air guide member. . 제1항에 있어서,
상기 제1 에어홀과 상기 제2 에어홀이 연결되는 부분은 라운드 형상 또는 직선 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 1,
Non-contact conveying apparatus, characterized in that the portion where the first air hole and the second air hole is connected has a round shape or a straight shape. 제4항에 있어서,
상기 제2 에어홀에 인접되는 상기 다공성 에어안내부재의 단부 영역은 라운드 형상 또는 직선 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 4, wherein
And the end region of the porous air guide member adjacent to the second air hole has a round shape or a straight shape. 제1항에 있어서,
상기 다공성 에어안내부재는 상기 제1 에어홀에 억지끼워맞춤되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 1,
The porous air guide member is a non-contact conveying device, characterized in that the interference fit to the first air hole. 제6항에 있어서,
상기 다공성 에어안내부재가 상기 제1 에어홀로부터 이탈되는 것이 방지되도록 상기 제1 에어홀에 설치되는 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 6,
And a support member installed in the first air hole to prevent the porous air guide member from being separated from the first air hole. 제7항에 있어서,
상기 지지부재는 압입 스프링인 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 7, wherein
The support member is a non-contact conveying device, characterized in that the pressing spring. 제8항에 있어서,
상기 압입 스프링은 십자형상을 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 8,
And said press-fit spring has a cross shape. 제1항에 있어서,
상기 제2 에어홀과 상기 다공성 에어안내부재 사이의 상기 제1 에어홀에 결합되어 상기 다공성 에어안내부재와 함께 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 제2 에어홀로 분출되게 하되 상기 제1 에어홀의 내벽면과의 사이에 저항유로를 형성하는 저항체; 및
상기 저항유로와 상기 제2 에어홀을 연결시키는 변경유로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 1,
Coupled to the first air hole between the second air hole and the porous air guide member to change the high pressure compressed air to a low flow rate at a high pressure together with the porous air guide member to be ejected into the second air hole; A resistor forming a resistance flow path between the inner wall surface of the first air hole; And
And a change flow passage connecting the resistance flow path and the second air hole. 제10항에 있어서,
상기 저항체는 외주면에 나사부가 형성되는 에어 플로어 스크루(air flower screw)이며,
상기 저항유로는 상기 제1 에어홀의 내벽면과 상기 에어 플로어 스크루의 나사부 사이의 공간에 의해 마련되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 10,
The resistor is an air floor screw (air flower screw) is formed on the outer circumferential surface,
And the resistance flow path is provided by a space between an inner wall surface of the first air hole and a screw portion of the air floor screw. 제10항에 있어서,
상기 변경유로는,
상기 저항유로와 연결되며, 상기 저항체의 반경 방향을 따라 상기 저항체에 형성되는 제1 변경유로; 및
상기 제1 변경유로와 상기 제2 에어홀을 연결시키며, 상기 제1 변경유로와 상호 교차 배치되는 제2 변경유로를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 10,
The change flow path,
A first change passage connected to the resistance passage and formed in the resistor along a radial direction of the resistor; And
And a second change passage connecting the first change passage to the second air hole and intersecting the first change passage. 제10항에 있어서,
상기 저항체가 결합되는 상기 제1 에어홀의 내벽면은 나사산이 형성되지 않은 매끄러운 표면을 형성하는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송장치.The method of claim 10,
And the inner wall surface of the first air hole to which the resistor is coupled forms a smooth surface without a thread.
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