KR20070054306A

KR20070054306A - Noncontact conveying plate

Info

Publication number: KR20070054306A
Application number: KR1020050112168A
Authority: KR
Inventors: 원용연; 최원철
Original assignee: (주)넥스트인스트루먼트
Priority date: 2005-11-23
Filing date: 2005-11-23
Publication date: 2007-05-29
Also published as: KR100746833B1

Abstract

피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트는 고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 하부플레이트 및 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진다. 이때, 에어홀은 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되고 내주면 상에는 암나사가 형성된 확장안내부와, 확장안내부의 연장단에서 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비한다. 그리고 확장안내부에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워진다. By including resistance means for supplying the air to be transported at a low flow rate at high pressure, and a vacuum hole for sucking the ejected air, it is possible to prevent shaking of the carrier during transportation. Moreover, the non-contact conveyance plate which enables conveyance in the state which carried the to-be-carried body vertically is disclosed. The non-contact conveying plate according to the present invention is provided between a lower plate to which high pressure compressed air is supplied, and an upper plate having a plurality of air holes through which air is ejected while being fixed by a fixing bolt on an upper portion of the lower plate, and between the lower plate and the upper plate. It consists of a conventional silicon gasket disposed in the. At this time, the air hole is formed to extend vertically inwardly on the lower surface of the upper plate and an internal guide formed with an internal thread on the inner circumferential surface, and a fine guide portion penetrating the upper surface of the upper plate at the extended end of the expansion guide. And the expansion guide is fitted with a resistance means for ejecting the high pressure compressed air to a low flow rate of high pressure to be ejected to the fine guide.

Description

Non-Contact Conveying Plates {NONCONTACT CONVEYING PLATE}

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 플레이트를 분해하여 나타낸 분해 사시도이며,1 is an exploded perspective view showing an exploded non-contact conveying plate according to the present invention,

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이고,2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 1,

도 3은 도 2에 도시된 “B”를 확대하여 나타낸 도면이며, 3 is an enlarged view illustrating “B” illustrated in FIG. 2.

도 4a 내지 4f는 도 2에 도시된 저유량형성체의 다양한 실시예를 보인 도면이고,4A to 4F are views showing various embodiments of the low flow rate body shown in FIG. 2,

도 5는 도 1에 도시된 상부플레이트의 다른 실시예를 보인 도면이며, 그리고 5 is a view showing another embodiment of the upper plate shown in FIG.

도 6은 도 5에 도시된 선 C-C를 따라 도시된 단면도이다. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line C-C shown in FIG. 5.

<도면의주요부분에대한부호의설명>Explanation of symbols on the main parts of the drawing

100 : 반송플레이트 110 : 에어홀100: conveying plate 110: air hole

112 : 확장안내부 114 : 암나사112: expansion guide 114: female thread

116 : 미세안내부 118 : 경사안내부116: fine guide 118: inclined guide

120 : 저항수단 122 : 저항삽입체120: resistance means 122: resistance insert

124 : 수나사 126 : 에어안내부124: male thread 126: air guide

128 : 저유량형성체 130 : 저유량형성홈128: low flow-forming body 130: low flow-forming groove

140 : 진공수단 142 : 제 1 진공안내라인140: vacuum means 142: first vacuum guide line

144 : 제 2 진공안내라인 146 : 진공홀144: second vacuum guide line 146: vacuum hole

본 발명은 비접촉 반송플레이트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트에 관한 것이다. The present invention relates to a non-contact conveying plate, and more particularly, has resistance means for supplying air to be transported to a carrier at a low flow rate at high pressure, and a vacuum hole for sucking the ejected air. Thereby, it is related with the non-contact conveyance plate which can prevent the shaking phenomenon of a to-be-carried body during conveyance, and enables conveyance with the to-be-carried body arrange | positioned vertically.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. In general, in-line FPD automatic optical inspection captures an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm.

이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다. The inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section and an unlaod section for detecting a defect. It is important for these inspection equipment to accurately identify the location and size of the detected defects in order to function as an inspection system, but it guides the carrier (test object) from the scan section to the unlaod section. The role of the conveying means is also an important factor.

종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다. 전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있는 실정이다. Conventionally, the conveying means has been disclosed a contact conveying means for conveying the carrier by the rotational force of the roller (roller), which is carried out by the rotational force of the roller, not only does not cause stains due to scratches and roller rotation in the carrier If the friction force is small or the rotational force is weak, there is a problem that smooth conveyance is difficult because the carrier is slipped. Recently, in order to solve the above-mentioned problems, a non-contact conveying means for supplying compressed air to a plurality of fine air holes and floatingly conveying the air-carried object ejected from the air holes has been used.

그런데, 전술한 비접촉식 반송수단은 에어홀마다 분출되는 에어유량의 정밀한 제어가 어렵기 때문에 부분적으로 저압의 유량이 공급될 수 있다. 그 결과, 반송되는 피 운반체가 반송수단에 접촉되거나 또는, 반송수단에 흡착되어 스크래치가 발생하거나 파손 등의 문제로 인하여 공정수율이 저하되는 문제점이 있었다. However, the non-contact conveying means described above may be partially supplied with a low pressure flow rate because it is difficult to precisely control the air flow rate ejected for each air hole. As a result, there is a problem in that the process yield is lowered due to a problem such as a scratch or breakage caused by the carrier to be brought into contact with the conveying means or adsorbed by the conveying means.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트를 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, the object of the present invention is to provide an air (air) to be supplied to convey the carrier to be carried out at a high flow rate and low flow rate, and By providing a vacuum hole that sucks air, it is possible to provide a non-contact conveying plate which can prevent the phenomenon of shaking of the carrier during conveyance, and enables conveyance in a state where the carrier is arranged vertically.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,In order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention,

고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 하부플레이트 및 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, The lower plate to which the high pressure compressed air is supplied, the upper plate formed with a plurality of air holes through which air is ejected while being fixed by a fixing bolt on the upper part of the lower plate, and a conventional silicon gasket disposed between the lower plate and the upper plate. In the non-contact conveying plate made,

에어홀은 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되고 내주면 상에는 암나사가 형성된 확장안내부와, 확장안내부의 연장단에서 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 확장안내부에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지는 비접촉 반송플레이트를 제공한다.The air hole includes an extension guide part extending inwardly on the lower surface of the upper plate and having a female thread on the inner circumferential surface, and a micro guide part penetrating through the upper surface of the upper plate at an extension end of the extension guide part. The present invention provides a non-contact conveying plate into which a resistance means for ejecting a high pressure compressed air into a low flow rate at high pressure is ejected into the fine guide portion.

바람직하게는, 저항수단은 확장안내부에 끼워질 수 있도록 암나사에 대응하는 수나사가 외주면 상에 형성된 저항삽입체를 구비하고, 저항삽입체의 수나사와 확장안내부의 암나사의 체결여유간격으로는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시키는 나선형의 에어안내부가 형성된다. Preferably, the resistance means includes a resistance insert formed on the outer circumferential surface of the male thread corresponding to the female thread so that the resistance means can be fitted to the expansion guide. A spiral air guide portion is formed to change the compressed air to a high flow rate and a low flow rate.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하다. As described above, according to the present invention, there is provided a resistance means for supplying air to be transported to the carrier at a high flow rate and a vacuum hole for sucking the ejected air. It is possible to prevent the phenomenon of shaking of the medium to be conveyed, and to convey the object to be placed vertically.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 반송플레이트에 대해 설명한다. Hereinafter, a non-contact conveying plate according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트를 분해하여 나타낸 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view showing an exploded non-contact conveying plate according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 하부플레이트(10)와, 하부플레이트(10)의 상부에 고정볼트(12)에 의해서 고정되는 상부플레이트(20)와, 하부플레이트(10) 및 상부플레이트(20) 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓(30)을 구비하는데, 하부플레이트(10)의 하부면 상에는 압축에어가 공급되는 에어공급피팅(14)이 장착되며, 상부플레이트(20)에는 하부플레이트(10)에 공급된 압축에어가 분출될 수 있는 다수의 에어홀(110)이 형성된다. Referring to FIG. 1, the non-contact conveying plate 100 according to the present invention includes a lower plate 10, an upper plate 20 fixed by a fixing bolt 12 on an upper portion of the lower plate 10, and a lower plate. A conventional silicon gasket 30 is disposed between the upper plate 20 and the upper plate 20. An air supply fitting 14 to which compressed air is supplied is mounted on a lower surface of the lower plate 10, and an upper plate. 20, a plurality of air holes 110 are formed through which compressed air supplied to the lower plate 10 may be ejected.

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이며, 그리고 도 3은 도 2에 도시된 “B”를 확대하여 나타낸 도면이다. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of “B” shown in FIG. 2.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 각각의 에어홀(110)에 장착되는 저항수단(120)을 더 구비한다. 이를 위해서 에어홀(110)은 상부플레이트(20)의 하부면 상에서 내측으로 수직하게 연장 형성됨과 아울러 내주면 상에 암나사(114)가 형성된 확장안내부(112), 확장안내부(112)의 연장단에서 상부플레이트(20)의 상부면을 관통하는 미세안내부(116)로 이루어진다. 또한 에어홀(110)은 확장안내부(112)와 미세안내부(116) 사이에 경사안내부(118)를 더 형성한다. 경사안내부(118)는 확장안내부(112)의 연장단에서 미세안내부(116)의 하단 측으로 방사상 좁아지게 연장되어 형성된다. 1 to 3, the non-contact conveying plate 100 according to the present invention further includes resistance means 120 mounted to each air hole 110. To this end, the air hole 110 extends vertically inward on the lower surface of the upper plate 20, and an extension end of the expansion guide part 112 and the expansion guide part 112 having a female thread 114 formed on an inner circumferential surface thereof. In the microplate 116 penetrates through the upper surface of the upper plate (20). In addition, the air hole 110 further forms an inclined guide part 118 between the expansion guide part 112 and the fine guide part 116. The inclined guide portion 118 is formed to extend radially narrow from the extended end of the extended guide portion 112 toward the lower side of the fine guide portion 116.

저항수단(120)은 확장안내부(112) 내에 배치되는 저항삽입체(122) 및 저유량형성체(128)를 구비한다. The resistance means 120 includes a resistance insert 122 and a low flow rate formation body 128 disposed in the extension guide 112.

먼저, 저항삽입체(122)는 원통형상을 가지면서 확장안내부(112)에 체결될 수 있도록 외주면 상에는 암나사(114)에 대응하는 수나사(124)가 형성된다. 이렇게 확장안내부(112)에 체결된 저항삽입체(122)는 암나사(114)와 수나사(124)의 체결을 위한 체결여유간격 즉, 수나사(124)의 바깥지름(D)과 암나사(114)의 골지름(d) 사이 간격, 그리고 수나사(124)의 골지름(D1)과 암나사(114)의 안지름(d1) 사이 간격에 에어안내부(126)를 형성한다. 즉, 하부플레이트(10) 측에서 공급되는 압축에어는 암나사(114) 및 수나사(124)의 결합으로 형성되는 에어안내부(126)를 따라 나선형으로 안내된다. 바람직하게는 저항삽입체(122)는 머리부가 없는 통상의 무두렌치나사를 채택한다. First, the male insert 124 corresponding to the female thread 114 is formed on the outer circumferential surface of the resistance insert 122 to be fastened to the expansion guide part 112 while having a cylindrical shape. Thus, the resistance insert 122 fastened to the expansion guide 112 has a free clearance gap for fastening the female thread 114 and the male thread 124, that is, the outer diameter D and the female thread 114 of the male thread 124. The air guide part 126 is formed in the space | interval between the rib diameter d of the inside, and the space | interval between the bone diameter D1 of the male screw 124, and the inner diameter d1 of the female screw 114. FIG. That is, the compressed air supplied from the lower plate 10 side is helically guided along the air guide part 126 formed by the combination of the female screw 114 and the male screw 124. Preferably, the resistance insert 122 adopts a conventional flat headless screw without a head.

도 4a 내지 4f는 도 2에 도시된 저유량형성체의 다양한 실시예를 보인 도면이다. 4A to 4F illustrate various embodiments of the low flow rate body shown in FIG. 2.

도시된 바와 같이, 저유량형성체(128)는 확장안내부(112)에 체결된 저항삽입체(122)의 상부와 경사안내부(118) 사이에 배치된다. 저유량형성체(128)는 원판형상 또는 상측으로 방사상 좁아지는 원뿔형상 중 어느 하나의 형상으로 제작된다. 도 4a 내지 도 4c에는 원판형상을 갖는 저유량형성체(128)가 도시되어 있으며, 도 4d 내지 도 4f에는 원뿔형상을 갖는 저유량형성체(128)가 도시되어 있다. As shown, the low flow rate forming member 128 is disposed between the top of the resistance insert 122 fastened to the expansion guide 112 and the inclined guide portion 118. The low flow rate forming member 128 is manufactured in any one of a disk shape or a cone shape radially narrowing upward. 4A to 4C show a low flow rate former 128 having a disc shape, and a low flow rate formation 128 having a cone shape is shown in FIGS. 4D to 4F.

이와 같이 형성된 저유량형성체(128)의 상부면 상에는 저유량형성체(128)의 외곽에서 저유량형성체(128)의 중심부분으로 다수의 저유량형성홈(130)이 방사상으로 형성된다. On the upper surface of the low flow rate former 128 formed as described above, a plurality of low flow rate formation grooves 130 are radially formed to the central portion of the low flow rate former 128 at the outside of the low flow rate former 128.

이때, 하나의 저유량형성홈(130)은 하측으로 만곡된 “U”자 형상을 갖는다. 바람직하게는, 하나의 저유량형성홈(130)은 “V”자 형상을 가지도록 형성할 수 있다. 더욱 바람직하게는 하나의 저유량형성홈(130)은 하측으로 좁아지는 직각삼각형상 즉, 통상의 톱날 형상을 가지도록 형성할 수 있다. At this time, one low flow rate forming groove 130 has a "U" shape curved downward. Preferably, one low flow rate forming groove 130 may be formed to have a "V" shape. More preferably, one low flow rate forming groove 130 may be formed to have a right triangle shape that narrows downward, that is, a general saw blade shape.

도 5는 도 1에 도시된 상부플레이트의 다른 실시예를 보인 도면이며, 그리고 도 6은 도 5에 도시된 선 C-C를 따라 도시된 단면도이다. 5 is a view showing another embodiment of the upper plate shown in FIG. 1, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line C-C shown in FIG.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상부플레이트(20)에는 진공수단(140)이 더 형성된다. 진공수단(140)은 상부플레이트(20)의 일단에서부터 상부플레이트(20)의 타단까지 관통되는 제 1 진공안내라인(142)과, 상부플레이트(20)의 일측에서 상부플레이트(20)의 타측까지 관통됨과 아울러 제 1 진공안내라인(142)과 교차되는 제 2 진공안내라인(144)과, 상부플레이트(20)의 상부면 상에서 상부플레이트(20)의 내측으로 수직하게 연장되면서 제 1 진공안내라인(142)과 연결되는 다수의 진공홀(146)을 구비한다. 이때, 제 1 진공안내라인(142)의 양단은 진공용 마개(148)에 의해서 기밀가능하게 마감되고, 제 2 진공안내라인(144)의 양단에는 진공용 피팅(150)이 장착된다. 한편, 진공홀(146)은 상부플레이트(20)에 형성된 어느 하나의 에어홀(110)과 대각으로 마주보는 또 다른 에어홀(110)의 중간부위에 형성된다. 즉, 다수의 에어홀(110)과 다수의 진공홀(146)은 상부플레이트(20)에 지그재그 형상으로 배열된다. 5 and 6, the vacuum plate 140 is further formed on the upper plate 20. The vacuum means 140 has a first vacuum guide line 142 penetrating from one end of the upper plate 20 to the other end of the upper plate 20 and from one side of the upper plate 20 to the other side of the upper plate 20. A second vacuum guide line 144 that is penetrated and intersects with the first vacuum guide line 142 and a first vacuum guide line extending vertically inwardly of the upper plate 20 on the upper surface of the upper plate 20. A plurality of vacuum holes 146 connected to the 142 is provided. At this time, both ends of the first vacuum guide line 142 is closed by a vacuum stopper 148 to be hermetically closed, and the vacuum fitting 150 is mounted at both ends of the second vacuum guide line 144. On the other hand, the vacuum hole 146 is formed in the middle portion of the other air hole 110 facing diagonally with any one of the air hole 110 formed in the upper plate 20. That is, the plurality of air holes 110 and the plurality of vacuum holes 146 are arranged in a zigzag shape on the upper plate 20.

하기에는 전술한 바와 같이 형성된 비접촉 반송플레이트(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다.Hereinafter, the operating state of the non-contact conveying plate 100 formed as described above will be briefly described.

먼저, 상류장비에서 피 운반체(이하; “패널” 이라함)를 전달하기 위해서 신호를 보내면 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 작동을 시작한다. 이때, 에어 공급용 피팅(14)으로는 고압의 압축에어(compressed air)가 공급되고, 이렇게 공급된 고압의 압축에어는 상부플레이트(20)에 형성된 각각의 에어홀(110) 측으로 안내된다. First, when the upstream equipment sends a signal to deliver the carrier (hereinafter referred to as the "panel"), the conveying plate 100 according to the present invention starts operation. At this time, a high pressure compressed air is supplied to the air supply fitting 14, and the high pressure compressed air supplied to the air supply fitting 14 is guided to each air hole 110 formed in the upper plate 20.

각각의 에어홀(110) 측으로 안내된 고압의 압축에어는 에어안내부(126) 및 저유량형성체(128)의 저유량형성홈(130)을 거치면서 고압의 저유량으로 경사안내부(118) 측으로 안내된 후, 다시 미세안내부(116)를 통해 분출된다. 이렇게 미세안내부(116)를 통해 분출되는 에어는 패널을 패널의 진행방향의 수직방향으로 분출되어 패널을 상부플레이트(20)의 상부면 상측으로 부상시킨다. The high pressure compressed air guided to each air hole 110 side is inclined guide portion 118 at a low flow rate of high pressure while passing through the air flow rate guide groove 126 and the low flow rate formation groove 130 of the low flow rate formation body 128. After being guided to the) side, it is ejected through the fine guide unit 116 again. The air jetted through the fine guide part 116 is jetted in the vertical direction of the traveling direction of the panel to float the panel above the upper surface of the upper plate 20.

한편, 상부플레이트(20)의 상부로 분출되어 패널을 부상시킨 에어는 미세안내부(116)의 주변에 형성된 진공홀(146) 측으로 흡입되어 제 1 진공안내라인(142), 제 2 진공안내라인(144) 및 진공용 피팅(150)을 거쳐 배출된다. 이렇게 미세안내부(116)로 분출된 에어가 진공홀(146) 측으로 유입됨으로써 반송 중인 패널이 상부플레이트(20) 상에 떨어지지도 달라붙지도 않게 된다. On the other hand, the air ejected to the upper portion of the upper plate 20 to raise the panel is sucked to the vacuum hole 146 formed around the fine guide 116, the first vacuum guide line 142, the second vacuum guide line And discharged through 144 and the vacuum fitting 150. In this way, the air ejected to the fine guide part 116 flows into the vacuum hole 146 side, so that the panel being conveyed does not fall on or adhere to the upper plate 20.

그러므로 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)를 에어홀(110)과 진공홀(146)을 구비함으로써, 수직하게 배치한 상태에서 패널을 수직하게 반송할 수 있다. Therefore, by providing the non-contact conveying plate 100 according to the present invention with the air hole 110 and the vacuum hole 146, the panel can be vertically conveyed in a vertically arranged state.

본 발명에서는 비접촉 반송플레이트(100)를 기준으로 설명하였지만, 동일한 구성으로 에어 베어링 또는 에어 가이드 등으로 사용할 수 있음을 본 발명이 속하는 해당기술에 숙련된 당업자라면 누구나 알 수 있을 것이다. Although the present invention has been described with reference to the non-contact conveying plate 100, it will be appreciated by those skilled in the art that the present invention may be used as an air bearing or an air guide in the same configuration.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 상부플레이트(20)에 확장안내부(112), 경사안내부(118) 및 미세안내부(116)로 이루어진 에어홀(110)에 저항삽입체(122) 및 저유량형성체(128)를 배치함으로써, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 패널을 반송할 때 떨림현상을 현저하게 줄일 수 있어 정밀하고 안정적이며 고정도의 반송이 가능하다. As described above, the non-contact conveying plate 100 according to the present invention is in the air hole 110 composed of the expansion guide portion 112, the inclined guide portion 118 and the fine guide portion 116 in the upper plate 20 By disposing the resistance insert 122 and the low flow rate forming member 128, the high pressure compressed air can be ejected at a high flow rate and low flow rate, and the vibration phenomenon can be remarkably reduced when conveying the panel. Can be returned.

한편, 각각의 에어홀(110)의 주변에 진공홀(146)을 형성하여 패널 반송을 위해 분출된 에어를 흡입함으로써, 종래 수평하게 펼쳐진 상태로 반송되던 패널을 수직하게 세워진 상태로 반송할 수 있는 잇점이 있다. On the other hand, by forming a vacuum hole 146 around each air hole 110 to suck the air blown out for conveying the panel, it is possible to convey the panel conveyed in a vertically flat state in a vertically standing state. There is an advantage.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims. You will understand.

Claims

A lower plate to which high pressure compressed air is supplied, an upper plate having a plurality of air holes through which air is ejected while being fixed by a fixing bolt on an upper portion of the lower plate, and disposed between the lower plate and the upper plate. In a non-contact conveying plate made of a silicon gasket,

The air hole extends inwardly perpendicularly on the lower surface of the upper plate and includes an extension guide portion formed with a female screw on an inner circumferential surface, and a fine guide portion penetrating the upper surface of the upper plate at an extended end of the extension guide portion. And the resistance guide is inserted into the expansion guide part to change the compressed air of the high pressure into a low flow rate of the high pressure to be ejected into the fine guide part.

According to claim 1, wherein the air hole is further formed between the inclined guide portion between the expansion guide portion and the fine guide portion, the inclined guide portion extends radially narrow from the extended end of the extension guide portion to the lower side of the micro guide portion Non-contact conveying plate, characterized in that.

The resistance insert according to claim 1, wherein the resistance means has a resistance insert formed on an outer circumferential surface of the male thread corresponding to the female thread so as to be fitted into the expansion guide. Non-contact conveying plate, characterized in that the tightening interval of the female thread is formed a spiral air guide for changing the high-pressure compressed air to a low flow rate of high pressure.

The low flow rate forming body of claim 2 or 3, wherein the resistance means further includes a low flow rate forming body disposed between an upper portion of the resistance insert fastened to the extension guide portion and the inclined guide portion. On the upper surface of the non-contact conveying plate, characterized in that a plurality of low flow rate forming grooves are formed radially from the outer portion of the low flow rate forming body to the central portion.

5. The blade of claim 4, wherein one of the low flow rate formation grooves has a “U” shape, or “V” shape that is curved downward, or the low flow rate formation groove has a right triangle shape that narrows downward. A non-contact conveying plate, having any one of shapes.

The non-contact conveying plate according to claim 4, wherein the low flow rate forming body has any one of a disk shape or a conical shape radially narrowing upward.

According to claim 1, wherein the upper plate further comprises a vacuum means for sucking the air blown out of the air hole, the vacuum means is a first vacuum guide line penetrating from one end to the other end of the upper plate, and A second vacuum guide line intersecting the first vacuum guide line while penetrating from one side of the upper plate to the other side, and vertically extending inwardly of the upper plate on the upper surface of the upper plate and connected to the first vacuum guide line; A non-contact conveying plate is provided with a plurality of vacuum holes, both ends of the first vacuum guide line is hermetically closed by a vacuum cap, and both ends of the second vacuum guide line are equipped with a vacuum fitting. .

The non-contact conveying plate according to claim 1, wherein the vacuum hole is formed at an intermediate portion of another air hole diagonally opposite to one of the air holes formed in the upper plate.