KR101190809B1 - Noncontact vacuum pad capable of maintaining nozzle gap - Google Patents

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KR101190809B1
KR101190809B1 KR1020110080776A KR20110080776A KR101190809B1 KR 101190809 B1 KR101190809 B1 KR 101190809B1 KR 1020110080776 A KR1020110080776 A KR 1020110080776A KR 20110080776 A KR20110080776 A KR 20110080776A KR 101190809 B1 KR101190809 B1 KR 101190809B1
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이성일
박병철
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이성일
주식회사 공영
박병철
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Abstract

PURPOSE: A contactless vacuum pad which precisely maintains a nozzle gap is provided to improve the quality of a product by constantly maintaining a gap to spray fluid to a flat transfer object. CONSTITUTION: A housing(10) includes a vertical section, a horizontal section, and a nozzle hole(11). The nozzle hole connects the vertical section to the horizontal section and is formed with an arc section. A nozzle(20) is inserted into the nozzle hole of the housing. The outer diameter of the nozzle is smaller than the inner diameter of the nozzle hole. A nozzle tip is separated from the nozzle hole. A gap maintaining unit(30) is installed in the support protrusion of the nozzle hole in the housing and supports the nozzle to maintain the nozzle tip from the nozzle hole with a regular space.

Description

정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드{Noncontact Vacuum Pad Capable of Maintaining Nozzle Gap}Noncontact Vacuum Pad Capable of Maintaining Nozzle Gap}

본 발명은 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판이송물체를 향해 이동되어 유체가 분출될 사이 간격이 모두 일정하게 조절되도록 구성하므로, 평판이송물체에 유체가 균일하게 분사되어 떨림이나 흔들림 없는 안정적인 수평이송이 가능하고 제품의 안전성을 도모하는 것이 가능한 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드.
The present invention relates to a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap, and more particularly, the fluid is uniformly arranged on the flat plate transport object because the gap between the fluid and the liquid is ejected is uniformly controlled. Non-contact vacuum pads that can be sprayed to ensure stable horizontal transport without shaking or shaking, and to maintain precise nozzle gaps that can promote product safety.

일반적으로 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 크게 스캔섹션(scan section)과 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unlaod section)으로 분할되고, TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 순서에 맞게 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물인 평판이송물체의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.In-line FPD Automatic Optical Inspection is generally divided into scan section, review section and unlaod section, TFT LCD panel, PDP, color filter, etc. Using the optical lens and CCD camera to capture the image of the flatbed object to be inspected while guiding the display panel of the camera in order, the image processing algorithm is applied to detect various defects that the user wants to find. It's equipment.

이러한 검사장비가 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 각각의 섹션에서 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 먼저 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩섹션(unlaod section)까지 평판이송물체를 안전하게 이동시키는 반송장비의 기능적 역할이 선행되어야만 온전한 검사작업이 가능하게 된다.In order for these inspection equipment to function as inspection systems, it is important to accurately locate and size the defects detected in each section, but first, the flatbed transport object from the scan section to the unlaod section. The functional role of the conveying equipment to safely move the lead is possible before the complete inspection work is possible.

종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 평판이송물체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전접촉으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 평판이송물체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.Conventionally, as a conveying means, a contact conveying means for conveying a flat plate conveying object by a rotational force of a roller has been disclosed. However, since conveying is performed by a rotating force of a roller, stains may occur due to scratches and roller rotational contact with the object to be conveyed. In addition, when the friction force is small or the rotational force is weak, there is a problem that smooth conveyance is difficult because the plate transfer object slips.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로부터 평판이송물체를 부상시킨 상태로 반송하는 비접촉식 반송수단이 개발되어 사용하고 있는 실정이다.Recently, in order to solve the above problems, a non-contact conveying means for supplying compressed air to a plurality of fine air holes and conveying them in a state where the flat plate transfer object floats from the air ejected from the air holes has been developed and used.

상기 비접촉식 반송수단과 관련하여 개시되어 있던 종래기술로써, 대한민국 특허등록 제10-0650290호와 특허등록 제10-0886968호, 대한민국 특허등록 제10-0938355호와 특허등록 제10-0946634호와 같은 기술들을 들 수 있다.As the prior art disclosed in relation to the non-contact conveying means, technologies such as Korean Patent Registration No. 10-0650290, Patent Registration No. 10-0886968, Republic of Korea Patent No. 10-0938355 and Patent Registration No. 10-0946634 Can be heard.

상기한 등록특허공보 제10-0650290호는 암나사와 수나사의 결합에 따른 에어안내부를 생성하는데, 이는 나사산과 나사골 간에 에어안내부를 형성코자 인위적으로 계산된 가공이 이뤄져야 함으로 제조작업이 복잡하고, 에어안내부로 에어의 이동과 함께 저항수단에 발생하는 장력의 영향을 받아 소정의 틈새가 형성되는 등 전반적으로 균일하지 못한 분출력을 생성하여 평판이송물체의 원활한 반송작업이 어려운 문제가 발생 된다.The above-mentioned Patent Publication No. 10-0650290 generates an air guide according to the combination of the female thread and the male thread, which is complicated to manufacture because the artificially calculated processing must be performed to form the air guide between the screw thread and the screw bone, and the air guide. Due to the influence of the tension generated in the resistance means along with the movement of the air to generate a predetermined non-uniform power output, such as the formation of a general gap, it is difficult to smoothly convey the flat plate transfer object.

또한, 등록특허공보 제10-0886968호는 에어홀에 삽입되는 핀부를 고정하는 코일부가 항상 수직으로 고정되지 않아 기울어지게 삽입되거나 핀부의 직진성에도 영향이 있어 에어홀의 틈새 간격이 모두 균일하지 못하므로 여전히 원활한 반송작업이 어려운 문제가 남아있다.In addition, Korean Patent Publication No. 10-0886968 is not always vertically fixed to the coil portion that is fixed to the pin portion inserted into the air hole is inserted obliquely or even affect the straightness of the pin portion, so the gap between the air hole is not all uniform still The problem remains that the smooth conveying operation is difficult.

나아가, 상기 등록특허공보 제10-0938355호와 등록특허공보 제10-0946634호는 양자 모두 복잡한 구조를 이루어 제작공정이 어렵고, 이에 따른 불필요한 제작비용이 많이 소요되는 등의 문제점이 있었다.In addition, the Patent Publication No. 10-0938355 and the Patent Publication No. 10-0946634 both have a complicated structure, making the manufacturing process difficult, thereby causing a lot of unnecessary manufacturing costs.

더불어, 상기한 종래의 모든 비접촉식 반송플레이트는 평판이송물체를 부상시키기 위해 에어만 공급함에 따라 평판이송물체를 향해 밀어내는 힘은 작용하되 일정한 부상위치를 이룰 수 있도록 잡아당기는 힘이 부재하여 수평이송이 어려우며, 이를 해결하기 위해서는 에어와 함께 진공을 공급할 수 있는 별도의 구성요소가 필요하고, 에어 뿐만 아니라 진공을 공급하도록 발생시키는 장치 또한 구비해야 하므로 설계변경 및 장비설치비용이 많이 소요되는 등의 문제점을 갖고 있다.In addition, all of the conventional non-contact conveying plate described above is supplied with air only to inflate the flat conveying object, so that the force pushing toward the flat conveying object acts but there is no pulling force to achieve a constant floating position. In order to solve this problem, a separate component capable of supplying a vacuum together with air is required, and a device for generating a vacuum as well as air must be provided. Have

상기와 같은 기술적인 문제를 해결하기 위해 도 1에 도시된 바와 같이 대한민국 특허등록 제10-0928674호에는『평판 물체(501)를 비접촉으로 석션 그립핑하는 비접촉 석션 그립핑 장치(500)에 관한 것으로서, 평판 물체(501)의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하는 압력부(511)와, 상기 평판 물체(501)에서 보았을 때 볼록하게 라운드 지도록 상기 압력부(511)로부터 연장 형성되는 R부(513)와, 상기 R부(513)로부터 상기 평판 물체(501)와 멀어지는 수직 방향으로 적어도 일부가 직선 형상으로 연장 형성되는 측부(515)와, 상기 측부(515)와 연결되어 외부에서 공급되는 공기를 주입하는 공기 주입구(527)를 형성하는 연결부(517)를 구비하는 하우징부와, 상기 공기 주입구(527)로부터 공급되는 공기를 상기 평판 물체(501)와 수직되는 방향으로 토출시키며 상기 하우징부와 일정한 간격을 두고 형성되는 노즐팁(523)을 가지며 상기 노즐팁(523)으로부터 상기 공기 주입구(527) 방향으로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 경사면(525)을 가지며 상기 하우징부 내부 빈 공간에 삽입되는 노즐부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉 석션 그립핑 장치』에 관한 기술이 게시된 바 있다.In order to solve the above technical problem, as shown in FIG. 1, Korean Patent Registration No. 10-0928674 relates to a non-contact suction gripping apparatus 500 for suction gripping a flat object 501 in a non-contact manner. When contacted with one surface of the plate object 501, the pressure portion 511 to form a closed curved surface, and the R portion 513 extending from the pressure portion 511 to be convexly rounded when viewed from the flat object 501 ), A side portion 515 at least partially extending in a straight line shape in a vertical direction away from the plate portion 501 from the R portion 513, and air supplied from the outside to the side portion 515. A housing part having a connection part 517 forming an air injection hole 527 to be injected, and a discharge of air supplied from the air injection hole 527 in a direction perpendicular to the flat object 501 and constant with the housing part. It has a nozzle tip 523 formed at intervals and the inclined surface 525 is formed so that the width becomes narrower toward the air inlet 527 from the nozzle tip 523, the nozzle inserted into the empty space inside the housing portion The non-contact suction gripping device, characterized in that it comprises a portion has been published.

그러나, 상기 등록특허공보 제10-0928674호는 하우징부의 측부와 노즐팁 간에 간격을 이루는 공간으로부터 공기가 분출되는데, 노즐팁과 측부의 간격을 조절하는 것이 불가능하고, 노즐팁과 측부의 간의 간격이 둘레를 따라 일정하지 못한 채 미세하게나마 한쪽으로 치우쳐 편중됨에 따라 결국 전반적으로 균일하지 못한 분출력을 생성하여 평판이송물체의 원활한 반송작업이 어려운 문제점이 있었다.
However, Patent Publication No. 10-0928674 discloses that air is ejected from a space forming a gap between the side of the housing and the nozzle tip, and it is impossible to adjust the gap between the nozzle tip and the side, and the gap between the nozzle tip and the side is There is a problem in that smooth conveyance of the flat plate transfer object is difficult by generating a partial output which is not uniform as a result of being biased to one side even though it is not uniform along the circumference.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평판이송물체를 향해 유체가 분출되는 틈새 공간의 간격을 모두 일정하게 조절할 수 있는 수단을 구성하므로, 유체가 균일한 공간을 통해 분사되어 평판이송물체가 떨림이나 흔들림 없이 수평이송하고, 이는 제품에 흠집이나 손상됨을 방지하여 제품의 안전성을 도모하며 제품의 품질을 향상 및 공정의 효율성을 높일 수 있는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 제공하는데, 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, and constitutes a means capable of uniformly adjusting all the gap of the gap space in which the fluid is ejected toward the flat plate transport object, the fluid is injected through a uniform space to the flat plate transport object It moves horizontally without shaking or shaking, and it provides a non-contact vacuum pad that can maintain the precise nozzle gap to prevent product scratches or damage, improve product safety, improve product quality, and improve process efficiency. The purpose is.

뿐만 아니라 , 본 발명은 유체의 분출되는 틈새 공간의 간격을 조절하여 설정할 수 있는 수단을 구성하므로, 평판이송물체의 크기 및 무게에 따른 부양력의 강도를 조절할 수 있는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 제공하기 위한 것이다.In addition, the present invention constitutes a means that can be set by adjusting the interval of the gap space of the fluid ejection, non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap that can adjust the strength of the buoyancy force according to the size and weight of the flat plate transfer object It is to provide.

또한, 본 발명은 에어의 공급만으로도 척력과 함께 인력이 생성되는 구조로 구성하므로, 평판이송물체의 원활한 수평이송을 도모하고, 간단한 구조를 이루어 제작공정의 편의성을 도모함은 물론 제작비용을 절감하여 가격경쟁력을 높일 수 있는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 제공하기 위한 것이다.
In addition, the present invention is composed of a structure in which the attraction force with the repulsive force is generated only by the supply of air, to facilitate the smooth horizontal transfer of the flat plate transfer object, to achieve the convenience of the manufacturing process by making a simple structure, as well as to reduce the production cost It is to provide a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap to increase competitiveness.

본 발명이 제안하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드는 상하 수직으로 관통되어 수직벽면을 이루는 수직구간과, 상부에서 평판이송물체와 평행을 이루도록 평탄한 상면을 이루는 수평구간과, 상기 수직구간 및 상기 수평구간을 서로 연결하고 완만한 만곡면을 이루는 원호구간으로 형성된 노즐공을 구비하고, 상기 노즐공의 수직구간으로부터 돌출된 지지단턱을 형성하여 평판이송물체를 향해 유체를 분출할 수 있도록 이루어지는 하우징과; 상기 하우징의 노즐공에 삽입 설치되고 평탄한 상면으로부터 예각을 이루며 하측으로 연장하여 경사면을 형성하고, 상면과 경사면의 사이에 상기 노즐공의 내경보다 작은 외경을 이루며 상기 노즐공으로부터 간격을 두고 노즐팁이 위치하도록 형성되는 노즐과; 상기 하우징 내부에서 상기 노즐공의 지지단턱에 안착 설치되고 상기 노즐공으로부터 상기 노즐팁이 둘레를 따라 서로 균일한 간격을 유지할 수 있도록 상기 노즐을 지지하는 간극유지부재;를 포함하여 이루어진다.The non-contact vacuum pad capable of maintaining the precise nozzle gap proposed by the present invention has a vertical section penetrating vertically and vertically to form a vertical wall surface, and a horizontal section forming a flat upper surface so as to be parallel to the flat plate transport object at the top, and the vertical section and the A housing having a nozzle hole formed of an arc section which connects horizontal sections to each other and forms a smooth curved surface, and a support step which protrudes from a vertical section of the nozzle hole so as to eject the fluid toward the plate transfer object; ; The nozzle tip is inserted into the nozzle hole of the housing and is formed at an acute angle and extends downward from the flat upper surface to form an inclined surface, and forms an outer diameter smaller than the inner diameter of the nozzle hole between the upper surface and the inclined surface, and the nozzle tip is spaced apart from the nozzle hole. A nozzle formed to be positioned; And a gap retaining member installed at the support step of the nozzle hole in the housing and supporting the nozzle from the nozzle hole so as to maintain a uniform distance from each other along the circumference of the nozzle hole.

상기 간극유지부재는 상기 노즐을 수용가능하도록 중앙에 수직으로 관통되는 관통공과, 상기 관통공의 내부에 삽입되는 상기 노즐을 향해 돌출되고 상기 노즐의 경사면을 지지하도록 둘레를 따라 등간격을 이루며 형성되는 복수의 지지돌기를 포함하여 이루어진다.The gap retaining member is formed at equal intervals along a circumference to protrude toward the nozzle inserted into the center vertically to accommodate the nozzle, and to be inserted into the through hole and to support the inclined surface of the nozzle. It comprises a plurality of support protrusions.

상기 지지돌기는 상기 노즐을 지지토록 접하는 한쪽 끝단이 상기 노즐의 경사면에 대응하는 경사각을 이루도록 테이퍼 가공된 경사지지면을 형성한다.The support protrusion forms a tapered inclined surface such that one end contacting the nozzle supports the inclined angle corresponding to the inclined surface of the nozzle.

상기 지지돌기는 상기 노즐을 안정적으로 지지하도록 상기 관통공의 둘레를 따라 3~8개로 형성하는 것이 가능하다.The support protrusions may be formed in three to eight along the circumference of the through hole so as to stably support the nozzle.

상기 간극유지부재는 상기 하우징의 노즐공에 억지 끼움 결합하도록 상기 노즐공의 내경에 대응하는 직경으로 형성된다.The gap holding member is formed to have a diameter corresponding to the inner diameter of the nozzle hole so as to forcibly couple to the nozzle hole of the housing.

상기 간극유지부재는 상기 하우징의 노즐공으로부터 상기 노즐의 높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성된다.The gap retaining member is formed of a plurality of upper and lower contact with each other so as to adjust the height of the nozzle from the nozzle hole of the housing.

그리고, 본 발명은 상기 노즐공의 수직구간과 상기 간극유지부재가 서로 접하는 결합하는 부위에 암나사와 수나사를 서로 대응하도록 형성하여 나사결합가능하게 구성하는 것도 가능하다.In addition, the present invention may be configured to be screwed by forming a female screw and a male screw to correspond to each other at a portion where the vertical section of the nozzle hole and the gap retaining member are in contact with each other.

상기 노즐공의 암나사는 상기 지지단턱의 상측에서부터 시작하여 상기 노즐공의 수직구간과 원호구간의 경계부분까지 형성된다.The female thread of the nozzle hole is formed from the upper side of the support step to the boundary of the vertical section and the circular arc section of the nozzle hole.

상기 간극유지부재는 상기 노즐의 고정높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성되는 것도 가능하고, 상기 노즐의 고정높이를 조절하기 위해 나사결합된 나사를 풀거나 조이는 작동에 의해 상기 노즐공에 암나사가 형성된 높이의 범위 내에서 높이를 조절하도록 형성하여 구성하는 것도 가능하다.
The gap retaining member may be formed in plural numbers by contacting the upper and lower layers so as to adjust the fixed height of the nozzle, and by loosening or tightening the screw coupled to adjust the fixed height of the nozzle to the nozzle hole. It is also possible to form and configure the female screw to adjust the height within the range of the formed height.

본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드에 의하면 유체가 분출될 노즐과 노즐공의 사이 공간을 사방으로 모두 일정한 간격을 유지하도록 하우징으로부터 노즐을 지지하는 간극유지부재를 설치하여 구성함으로써, 사방으로 균일한 유량의 분사로부터 평판이송물체를 수평상태로 유지하면서 흠집이나 손상 없이 제품의 안전한 반송이 가능하고, 이는 검사장비로부터 검사의 정확성을 도모함은 물론 제품의 품질 향상 및 공정의 효율성을 극대화할 수 있는 효과를 얻는다.According to the non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention, by providing a gap maintaining member for supporting the nozzle from the housing so as to maintain a constant distance in all directions between the nozzle and the nozzle hole from which the fluid is to be ejected, The product can be safely conveyed without scratches or damage while maintaining the flat conveying object horizontally from the spray of uniform flow rate in all directions, which not only improves inspection accuracy from inspection equipment but also improves product quality and process efficiency. Get the effect you can.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드는 유체의 분출공간의 간격을 조절할 수 있게 노즐의 높이를 조절하여 설정할 수 있도록 복수의 간극유지부재를 구성함으로써, 반송할 평판이송물체에 따른 부양력의 강도를 적절하게 조절할 수 있어 작업의 효율성을 높일 수 있는 효과가 있다.In addition, the non-contact vacuum pad capable of maintaining the precise nozzle gap according to the present invention comprises a plurality of gap retaining members to be set by adjusting the height of the nozzle to adjust the interval of the ejection space of the fluid, the flat conveying object to be conveyed By appropriately adjusting the strength of the flotation force has the effect of increasing the efficiency of the work.

또한, 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드는 유체의 공급으로 척력과 인력이 동시에 발생할 수 있는 코안다 효과를 적용한 노즐과 노즐공의 구조로 구성함으로써, 불필요한 구성을 줄여 간단한 구조를 이루기 때문에 제작의 편의성을 도모함은 물론 제작이나 설비과정에서 소요되는 비용을 최소화하여 제품의 가격경쟁력을 높이고, 평판이송물체의 원활한 수평이송을 도모할 수 있는 효과가 있다.In addition, the non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention has a simple structure by reducing the unnecessary configuration by the configuration of the nozzle and the nozzle hole to which the coanda effect can be generated at the same time the repulsive force and attraction force by the supply of fluid As a result, it is possible to increase the price competitiveness of the product and to smoothly move the flat conveying object by minimizing the cost in manufacturing or installation process as well as the convenience of manufacturing.

또한, 본 발명에 따른 에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드는 노즐공 내에 간극유지부재가 나사결합하도록 구성함으로써, 지속적으로 사용하여도 간극유지부재가 노즐공으로부터 이탈됨 없이 견고하게 고정되어 고정효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
In addition, the non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention is configured so that the gap retaining member is screwed into the nozzle hole, so that the gap retaining member is firmly fixed without being separated from the nozzle hole even if it is continuously used. It is effective to increase the fixed efficiency.

도 1은 종래의 비접촉 석션 그립핑 장치의 단면도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명에 있어서 간극유지부재를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명에 있어서 간극유지부재의 높이조절상태를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예를 나타내는 단면도.
도 6의 (a),(b)는 각각 본 발명에 따른 다른 실시예의 높이조절상태를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view of a conventional non-contact suction gripping device.
2 is a cross-sectional view showing an embodiment according to the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing a gap holding member in the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing the height adjustment state of the gap holding member in the present invention.
5 is a cross-sectional view showing another embodiment according to the present invention.
Figure 6 (a), (b) is a cross-sectional view showing a height adjustment state of another embodiment according to the present invention, respectively.

본 발명은 상하 수직으로 관통되어 수직벽면을 이루는 수직구간과, 상부에서 평판이송물체와 평행을 이루도록 평탄한 상면을 이루는 수평구간과, 상기 수직구간 및 상기 수평구간을 서로 연결하고 완만한 만곡면을 이루는 원호구간으로 형성된 노즐공을 구비하고, 상기 노즐공의 수직구간으로부터 돌출된 지지단턱을 형성하여 평판이송물체를 향해 유체를 분출할 수 있도록 이루어지는 하우징과; 상기 하우징의 노즐공에 삽입 설치되고 평탄한 상면으로부터 예각을 이루며 하측으로 연장하여 경사면을 형성하고, 상면과 경사면의 사이에 상기 노즐공의 내경보다 작은 외경을 이루며 상기 노즐공으로부터 간격을 두고 노즐팁이 위치하도록 형성되는 노즐과; 상기 하우징 내부에서 상기 노즐공의 지지단턱에 안착 설치되고 상기 노즐공으로부터 상기 노즐팁이 둘레를 따라 서로 균일한 간격을 유지할 수 있도록 상기 노즐을 지지하는 간극유지부재;를 포함하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.According to the present invention, a vertical section penetrating up and down vertically to form a vertical wall surface, and a horizontal section forming a flat upper surface to be parallel to the flat plate transport object at the top, and connecting the vertical section and the horizontal section to each other to form a smooth curved surface. A housing having a nozzle hole formed in an arc section, the housing forming a support step projecting from a vertical section of the nozzle hole to eject the fluid toward the plate transfer object; The nozzle tip is inserted into the nozzle hole of the housing and is formed at an acute angle from the flat upper surface to extend downward to form an inclined surface. A nozzle formed to be positioned; And a gap retaining member installed in the housing to be supported on the support step of the nozzle hole and supporting the nozzle so that the nozzle tip is uniformly spaced from each other along the circumference from the nozzle hole. Possible non-contact vacuum pads are characterized by a technical configuration.

또한, 상기 간극유지부재는 상기 노즐을 수용가능하도록 중앙에 수직으로 관통되는 관통공과, 상기 관통공의 내부에 삽입되는 상기 노즐을 향해 돌출되고 상기 노즐의 경사면을 지지하도록 둘레를 따라 등간격을 이루며 형성되는 복수의 지지돌기를 포함하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the gap retaining member is equally spaced along a circumference to project the through hole vertically penetrated at the center to accommodate the nozzle, the nozzle inserted into the through hole and to support the inclined surface of the nozzle. A non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap including a plurality of support protrusions formed is characterized by a technical configuration.

또한, 상기 지지돌기는 상기 노즐을 지지토록 접하는 한쪽 끝단이 상기 노즐의 경사면에 대응하는 경사각을 이루도록 테이퍼 가공된 경사지지면을 형성하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the support protrusion is characterized by a technical configuration of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap forming a tapered inclined surface such that one end contacting the nozzle to support the nozzle to form an inclination angle corresponding to the inclined surface of the nozzle.

또한, 상기 지지돌기는 상기 노즐을 안정적으로 지지하도록 상기 관통공의 둘레를 따라 3~8개로 형성되는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the support protrusion is characterized by the technical configuration of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap formed of 3 to 8 along the circumference of the through hole so as to stably support the nozzle.

또한, 상기 간극유지부재는 상기 하우징의 노즐공에 억지 끼움 결합하도록 상기 노즐공의 내경에 대응하는 직경으로 형성되는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the gap holding member is characterized in that the technical configuration of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap formed to a diameter corresponding to the inner diameter of the nozzle hole to be tightly coupled to the nozzle hole of the housing.

또한, 상기 간극유지부재는 상기 하우징의 노즐공으로부터 상기 노즐의 높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성되는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the gap retaining member is characterized by a technical configuration of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap consisting of a plurality of contact with the upper and lower layers so as to adjust the height of the nozzle from the nozzle hole of the housing.

또한, 본 발명은 상기 노즐공의 수직구간과 상기 간극유지부재가 서로 접하는 결합하는 부위에 암나사와 수나사를 서로 대응하도록 형성하여 나사결합가능하게 이루어지는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.The present invention also provides a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap formed by screwing a female screw and a male screw to correspond to each other at a portion where the vertical section of the nozzle hole and the gap retaining member are in contact with each other. It features.

또한, 상기 노즐공의 암나사는 상기 지지단턱의 상측에서부터 시작하여 상기 노즐공의 수직구간과 원호구간의 경계부분까지 형성되는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the female thread of the nozzle hole is characterized by a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap formed from the upper side of the support step to the boundary between the vertical section and the arc section of the nozzle hole.

또한, 상기 간극유지부재는 상기 노즐의 고정높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성되는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.In addition, the gap retaining member is characterized by a technical configuration of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap consisting of a plurality of layers in contact with the upper and lower layers so as to adjust the fixed height of the nozzle.

또한, 상기 간극유지부재는 상기 노즐의 고정높이를 조절하기 위해 나사결합된 나사를 풀거나 조이는 작동에 의해 상기 노즐공에 암나사가 형성된 높이의 범위 내에서 높이를 조절하도록 형성되는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드를 기술구성의 특징으로 한다.
In addition, the gap retaining member is a precise nozzle gap retaining formed to adjust the height within the range of the height of the female thread formed in the nozzle hole by the operation of loosening or tightening the screw coupled screw to adjust the fixed height of the nozzle Possible non-contact vacuum pads are characterized by a technical configuration.

다음으로 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, a preferred embodiment of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

먼저, 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드의 바람직한 실시예는 도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 하우징(10)과, 노즐(20)과, 간극유지부재(30)를 포함하여 이루어진다.First, a preferred embodiment of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention includes a housing 10, a nozzle 20, and a gap retaining member 30, as shown in FIGS. It is done by

상기 하우징(10)은 반송할 평판이송물체와 대응되는 상면이 평행을 이루도록 위치하고, 외부로부터 유체가 공급가능하도록 연결되며 유체의 흐름 작용으로부터 평판이송물체를 비접촉으로 이송하기 위한 코안다 효과를 얻을 수 있는 구조로 형성된다.The housing 10 is positioned so that the upper surface corresponding to the plate transfer object to be conveyed in parallel is connected to the fluid supply from the outside, and can obtain a Coanda effect for non-contact transfer of the plate transfer object from the flow of the fluid. It is formed into a structure.

일반적으로 코안다 효과(Coanda effect)는 유체의 유동 현상으로 유체가 자기의 에너지가 가장 덜 소비되는 방향으로 흐르는 것을 의미하는 것으로서, 간단히 말하면 유체가 흐르면서 앞으로 흐르게 될 방향이 어떻게 될 것인지를 아는 것이다. 즉, 유체는 자기가 앞으로 흐르게 되는 경로를 정확하게 파악하고 그에 따라서 흐르는 것을 말한다.In general, the Coanda effect refers to the flow of fluid, which means that the fluid flows in the direction in which its energy is consumed least. In other words, the Coanda effect is to know what direction the fluid will flow forward. In other words, fluid refers to precisely identifying the path through which it flows forward and flowing accordingly.

상기 하우징(10)에는 외부에서 공급되는 유체를 평판이송물체를 향해 분출할 수 있도록 분사가능한 구조를 이루고, 평판이송물체에 대응하여 상부가 개방된 노즐공(11)이 형성된다.The housing 10 has a structure injectable to eject the fluid supplied from the outside toward the flat plate transport object, and has a nozzle hole 11 having an upper portion corresponding to the flat plate transport object.

상기 노즐공(11)은 도 2에 나타낸 바와 같이, 평판이송물체를 향해 유체를 분사하는 과정에서 유체의 흐름을 유도하여 코안다 효과를 얻을 수 있는 구조적 형상을 이루는 것으로서, 수직구간(14)과 수평구간(12) 및 원호구간(13)으로 이루어진다.As shown in FIG. 2, the nozzle hole 11 forms a structural shape that induces a flow of fluid in the process of injecting the fluid toward the plate transfer object, thereby obtaining a coanda effect. It consists of a horizontal section 12 and an arc section 13.

상기 노즐공(11)의 수직구간(14)은 상기 하우징(10) 내부공간으로 유입된 유체가 가장 먼저 접하여 평판이송물체를 향해 수직이동가능하게 상하 수직으로 관통된 수직벽면을 이룬다.The vertical section 14 of the nozzle hole 11 forms a vertical wall surface vertically penetrated vertically to be movable vertically toward the flat plate transfer object when the fluid introduced into the housing 10 is first contacted.

상기 노즐공(11)의 수직구간(14)에는 상기 노즐공(11)의 중앙부분을 향해 돌출된 지지단턱(17)이 형성된다.A support step 17 protruding toward the central portion of the nozzle hole 11 is formed in the vertical section 14 of the nozzle hole 11.

상기 지지단턱(17)은 상기 간극유지부재(30)가 안착할 수 있도록 지지하는 역할을 수행하는 것으로서, 상기 수직구간(14)의 둘레를 따라 상기 노즐공(11)의 내경보다 작은 내경을 이루어 하나로 이어진 일체형으로 형성하는 것도 가능하고, 상기 수직구간(14)의 둘레를 따라 등간격을 이루며 복수로 분리된 구조를 이루도록 형성하는 것도 가능하다.The support step 17 serves to support the gap retaining member 30 to be seated, and has an inner diameter smaller than the inner diameter of the nozzle hole 11 along the circumference of the vertical section 14. It is also possible to form a one-piece unitary, it is possible to form to form a plurality of separate structures at equal intervals along the circumference of the vertical section (14).

상기 노즐공(11)의 수평구간(12)은 평판이송물체의 일면과 접할 경우 폐곡면을 형성하도록 상기 하우징(10)의 평탄한 상면을 이루고 상부에서 평판이송물체와 평행을 이루는 수평면으로 형성된다.The horizontal section 12 of the nozzle hole 11 is formed in a horizontal plane that forms a flat upper surface of the housing 10 so as to form a closed curved surface in contact with one surface of the flat plate transport object and parallel to the flat plate transport object at the top.

상기 노즐공(11)의 원호구간(13)은 볼록한 만곡면으로 이루어지고, 상기 수직구간(14) 및 상기 수평구간(12)의 사이에서 서로 연결하는 구조를 이루도록 형성된다.The arc section 13 of the nozzle hole 11 is formed of a convex curved surface, and is formed to form a structure that is connected to each other between the vertical section 14 and the horizontal section (12).

상기 원호구간(13)은 반경이 커질수록 상기 수평구간(12)으로부터 평판이송물체의 부양간격이 크게 적용된다. 즉, 상기 원호구간(13)의 반경이 크면 상기 원호구간(13)과 수평구간(12)을 따라 흐르는 유체의 유량이 증가하여 부양간격을 높이도록 조절하는 것이 가능하고, 상기 원호구간(13)이 상대적으로 작으면 상기 원호구간(13)과 수평구간(12)을 따라 흐르는 유량이 감소하여 부양간격을 낮추도록 조절하는 것이 가능하다.In the circular arc section 13, as the radius increases, the support interval of the flat plate transfer object from the horizontal section 12 is applied. That is, when the radius of the arc section 13 is large, the flow rate of the fluid flowing along the arc section 13 and the horizontal section 12 can be adjusted to increase the flotation interval, the arc section 13 If this relatively small, it is possible to control the flow rate along the arc section 13 and the horizontal section 12 is reduced to lower the floatation interval.

상기 노즐(20)은 외부로부터 상기 하우징(10)의 내부공간으로 공급되는 유체를 평판이송물체의 수직방향으로 토출할 수 있도록 상기 하우징(10)의 노즐공(11)에 삽입 설치된다.The nozzle 20 is inserted into the nozzle hole 11 of the housing 10 so as to discharge the fluid supplied from the outside into the inner space of the housing 10 in the vertical direction of the flat plate transfer object.

상기 노즐(20)은 유체가 토출되는 방향에 위치하는 머리 부분과, 상대적으로 작은 폭으로 상기 노즐(20)의 하부 중앙부분에 연장형성되는 목 부분으로 구분하여 형성된다.The nozzle 20 is formed by dividing the head portion located in the direction in which the fluid is discharged and the neck portion extending in the lower central portion of the nozzle 20 with a relatively small width.

상기 노즐(20)의 머리 부분은 상기 하우징(10)의 상면과 동일하게 평탄한 상면을 이루고, 상면에서부터 하측으로 예각을 이루며 연장하여 경사면(23)을 형성한다.The head portion of the nozzle 20 forms a flat upper surface similarly to the upper surface of the housing 10 and extends at an acute angle from the upper surface to the lower side to form the inclined surface 23.

상기 노즐 머리 부분의 상면과 경사면(23) 간의 경계를 이루는 것으로, 상기 노즐(20)의 상면 끝단은 뾰족한 형태의 노즐팁(21)이 형성된다.By forming a boundary between the top surface of the nozzle head and the inclined surface 23, the tip of the top surface of the nozzle 20 is a pointed nozzle tip 21 is formed.

상기 노즐팁(21)은 상기 노즐공(11)의 내경보다 작은 외경을 이루며 상기 노즐공(11)으로부터 소정의 간격을 두고 위치한다.The nozzle tip 21 forms an outer diameter smaller than the inner diameter of the nozzle hole 11 and is positioned at a predetermined distance from the nozzle hole 11.

상기 노즐(20)의 목 부분은 머리 부분보다 작은 폭으로 유체가 유입되는 방향을 향해 연장형성된다.The neck portion of the nozzle 20 extends in a direction in which fluid flows in a width smaller than that of the head portion.

상기 노즐공(11)(예를 들면, 수직구간(14), 원호구간(13), 수평구간(12))과 상기 노즐(20)은 유체의 흐름을 유도하여 코안다 효과를 얻기 위한 중요한 구조로서, 상기 노즐(20) 중 노즐팁(21)의 위치는 코안다 효과를 극대화하기 위하여 상기 원호구간(13)이 시작되기 전 상기 수직구간(14)과 상기 원호구간(13)의 경계부분에 두는 것이 바람직하다.The nozzle hole 11 (for example, the vertical section 14, the arc section 13, the horizontal section 12) and the nozzle 20 are important structures for inducing fluid flow to obtain a coanda effect. As such, the position of the nozzle tip 21 of the nozzle 20 is located at the boundary between the vertical section 14 and the circular arc section 13 before the circular arc section 13 starts to maximize the Coanda effect. It is desirable to put.

상기 간극유지부재(30)는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 두께가 얇은 링 형상으로 이루어지고, 상기 노즐(20)을 지지하도록 상기 하우징(10)의 내부로 상기 노즐공(11) 내에 위치한다.As shown in FIGS. 2 and 3, the gap retaining member 30 has a ring shape having a thin thickness, and is formed in the nozzle hole 11 into the housing 10 to support the nozzle 20. Located.

상기 간극유지부재(30)는 상기 노즐공(11)의 지지단턱(17)에 안착하여 설치된다. 즉, 상기 간극유지부재(30)의 둘레는 상기 노즐공(11)의 내경에 대응하는 크기로 형성되고, 상기 노즐공(11)의 개방된 상면을 통해 내삽하여 끼움 결합하되 상기 노즐공(11)의 일정높이에서 상기 지지단턱(17)에 하부가 접하므로 고정된 상태를 유지할 수 있도록 설치된다.The gap holding member 30 is installed by being seated on the support step 17 of the nozzle hole 11. That is, the circumference of the gap retaining member 30 is formed to have a size corresponding to the inner diameter of the nozzle hole 11, and inserted and inserted through the open upper surface of the nozzle hole 11, but the nozzle hole 11 Since the lower portion is in contact with the support step 17 at a predetermined height of) is installed to maintain a fixed state.

상기 간극유지부재(30)는 상기 노즐공(11)으로부터 상기 노즐팁(21)이 일정한 간격을 두고 떨어진 상태로 상기 노즐(20)을 지지하는 역할을 수행하는 것으로서, 상기 간극유지부재(30)는 상기 노즐공(11)의 내면에서부터 상기 노즐팁(21)이 둘레를 따라 서로 균일한 간격을 유지하도록 지지한다.The gap holding member 30 serves to support the nozzle 20 in a state in which the nozzle tip 21 is separated from the nozzle hole 11 at regular intervals, and the gap holding member 30 is provided. Is supported from the inner surface of the nozzle hole 11 so that the nozzle tip 21 to maintain a uniform distance from each other along the circumference.

상기 간극유지부재(30)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐(20)을 수용가능하도록 중앙에 수직으로 관통되는 관통공(31)과, 상기 관통공(31)의 내부에 삽입되는 상기 노즐(20)에 접하여 지지하도록 형성되는 지지돌기(33)로 구성된다.As shown in FIG. 3, the gap retaining member 30 has a through hole 31 vertically penetrated at the center so as to accommodate the nozzle 20, and the nozzle inserted into the through hole 31. It consists of a support protrusion 33 formed to contact and support (20).

상기 지지돌기(33)는 상기 관통공(31)의 내주연으로부터 상기 노즐(20)을 향해 돌출되고 상기 노즐(20)의 경사면(23)에 맞닿아 지지하도록 형성된다.The support protrusion 33 protrudes from the inner circumference of the through hole 31 toward the nozzle 20 and is formed to abut on the inclined surface 23 of the nozzle 20.

상기 지지돌기(33)는 상기 노즐(20)을 지지토록 돌출되어 상기 노즐(20)의 경사면(23)에 접하는 한쪽 끝단이 상기 노즐(20)의 경사면(23)에 대응하는 경사각을 이루도록 테이퍼 가공된 경사지지면(34)을 형성하는 것이 가능하다.The support protrusion 33 protrudes to support the nozzle 20 so that one end contacting the inclined surface 23 of the nozzle 20 forms an inclined angle corresponding to the inclined surface 23 of the nozzle 20. It is possible to form the sloped surface 34 which has been made.

상기 지지돌기(33)의 경사지지면(34)은 상기 노즐(20) 경사면(23)의 형상에 대응하여 곡면을 이루도록 형성하는 것이 바람직하다.The inclined surface 34 of the support protrusion 33 may be formed to form a curved surface corresponding to the shape of the inclined surface 23 of the nozzle 20.

상기와 같이 경사지지면(34)을 구성하게 되면, 상기 노즐(20)의 경사면(23)과 반복적으로 접촉하여도 상기 노즐(20)의 경사면(23) 상에 흠집이나 손상됨이 없어 제품의 정확성과 수명을 높이는 것이 가능하다.When the inclined surface 34 is configured as described above, even if repeatedly in contact with the inclined surface 23 of the nozzle 20, there are no scratches or damages on the inclined surface 23 of the nozzle 20. It is possible to increase the life.

상기 지지돌기(33)는 상기 관통공(31)의 내주연 둘레를 따라 등간격을 이루며 복수로 형성된다.The support protrusion 33 is formed in plural at equal intervals along the inner circumference of the through hole 31.

상기 지지돌기(33)는 상기 노즐(20)을 안정적으로 지지하도록 상기 관통공(31)의 둘레를 따라 3~8개로 형성하는 것이 가능하다. 바람직하게는, 상기 지지돌기(33)는 상기 관통공(31)의 내주연 둘레를 따라 등간격을 이루며 4개로 형성하여 구성하는 것이 바람직하다.The support protrusions 33 may be formed in three to eight along the circumference of the through hole 31 so as to stably support the nozzle 20. Preferably, the support protrusions 33 are preferably formed in four at equal intervals along the inner circumference of the through hole 31.

상기 간극유지부재(30)는 상기 하우징(10)의 노즐공(11)에 억지 끼움 결합하도록 상기 노즐공(11)의 내경에 대응하는 직경으로 형성된다.The gap holding member 30 is formed to have a diameter corresponding to the inner diameter of the nozzle hole 11 so as to forcibly fit into the nozzle hole 11 of the housing 10.

또한, 상기 간극유지부재(30)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 하우징(10)의 내부로 공급되는 유체의 유량을 조절하도록 상기 노즐공(11)으로부터 상기 노즐(20)의 높이를 조절할 수 있게 복수 개로 구성하는 것도 가능하다. 즉, 상기 간극유지부재(30)를 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성하므로 상기 노즐(20)의 높이를 조절한다.In addition, the gap retaining member 30 may adjust the height of the nozzle 20 from the nozzle hole 11 to adjust the flow rate of the fluid supplied into the housing 10 as shown in FIG. 4. It is also possible to configure a plurality. That is, since the gap maintaining member 30 is formed in plural by contacting the layers up and down, the height of the nozzle 20 is adjusted.

예를 들면, 상기 간극유지부재(30)를 한 개로 구성하여 상기 노즐(20)을 지지하는 것보다 상기 간극유지부재(30)를 두 개로 구성하면 상기 노즐(20)의 높이가 올라가면서 상기 노즐팁(21)이 상기 노즐공(11)(수직구간(14)과 원호구간(13)의 경계부분)으로부터 사이 간격이 넓어져 상기 노즐팁(21)과 상기 노즐공(11) 사이의 간격을 통과하는 유체의 유량을 증가시키는 것이 가능하다.For example, if the gap retaining member 30 is composed of two pieces rather than the one holding the gap holding member 30 to support the nozzle 20, the height of the nozzle 20 is increased while the nozzle 20 is raised. The gap between the tip of the nozzle tip 11 and the nozzle hole 11 is widened between the tip of the nozzle hole 11 (the boundary between the vertical section 14 and the circular arc section 13). It is possible to increase the flow rate of the fluid passing through it.

상기와 같이, 본 발명은 상기 하우징(10) 내부로 유입된 유체는 평판이송물체를 향해 상기 노즐공(11)을 통해 이동하는데, 유체가 상기 하우징(10) 내부에서 상기 노즐공(11)의 수직구간(14)과 원호구간(13)과 수평구간(12)을 따라 흐르도록 유도함으로, 평판이송물체에 부양력 즉, 인력과 척력이 발생하게 된다. 즉, 상기 하우징(10) 내부로 공급된 유체가 상기 노즐공(11)의 수직구간(14)과 원호구간(13)과 수평구간(12)을 따라 흐르면, 상기 노즐(20) 위쪽 부분의 압력은 주위의 압력보다 낮아져 평판이송물체를 당기는 인력이 발생하고, 수직구간(14)에서 원호구간(13)을 거쳐 수평구간(12)으로 빠르게 흐르는 유체의 흐름에 의해 수평구간(12) 위쪽의 압력은 주위의 압력보다 높아져 평판이송물체를 밀어내는 척력이 발생하므로 평판이송물체를 수평상태로 부양한다. 이때, 상기 노즐(20)은 상기 간극유지부재(30)를 통해 지지되어 상기 노즐공(11)으로부터 사방 둘레를 따라 모두 동일한 간격을 이루므로 사방으로 유체의 유량이 균일하게 토출된다.As described above, according to the present invention, the fluid introduced into the housing 10 moves through the nozzle hole 11 toward the flat plate transport object, and the fluid of the nozzle hole 11 inside the housing 10 is moved. By inducing it to flow along the vertical section 14, the circular arc section 13 and the horizontal section 12, the flotation force, that is, attraction and repulsive force is generated in the plate transfer object. That is, when the fluid supplied into the housing 10 flows along the vertical section 14, the circular arc section 13, and the horizontal section 12 of the nozzle hole 11, the pressure of the upper portion of the nozzle 20 is increased. Is lower than the surrounding pressure to generate an attraction force pulling the plate transfer object, the pressure above the horizontal section 12 by the flow of fluid rapidly flowing from the vertical section 14 through the circular section 13 to the horizontal section 12 Is higher than the surrounding pressure to generate a repulsive force to push the flat plate transport object to raise the flat plate transport object in a horizontal state. At this time, the nozzle 20 is supported through the gap retaining member 30 to form the same interval all around the nozzle hole 11 in all directions so that the flow rate of the fluid is uniformly discharged in all directions.

즉, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드에 의하면, 유체가 분출될 노즐과 노즐공의 사이 공간을 사방으로 모두 일정한 간격을 유지하도록 하우징으로부터 노즐을 지지하는 간극유지부재를 설치하여 구성함으로써, 사방으로 균일한 유량의 분사로부터 평판이송물체를 수평상태로 유지하면서 흠집이나 손상 없이 제품의 안전한 반송이 가능하고, 이는 검사장비로부터 검사의 정확성을 도모함은 물론 제품의 품질 향상 및 공정의 효율성을 극대화하는 것이 가능하다.That is, according to the non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention configured as described above, the gap for supporting the nozzle from the housing so as to maintain a constant distance in all directions between the nozzle and the nozzle hole to which the fluid is ejected By installing and holding the holding member, it is possible to safely convey the product without scratches or damages while maintaining the flat conveying object horizontally from the spray of uniform flow rate in all directions. It is possible to improve quality and maximize process efficiency.

뿐만 아니라, 본 발명은 유체의 분출공간의 간격을 조절할 수 있게 노즐의 높이를 조절하여 설정할 수 있도록 복수의 간극유지부재를 구성함으로써, 반송할 평판이송물체에 따른 부양력의 강도를 적절하게 조절할 수 있어 작업의 효율성을 높이는 것이 가능하다.In addition, the present invention by configuring a plurality of gap holding member to be set by adjusting the height of the nozzle to adjust the interval of the ejection space of the fluid, it is possible to properly adjust the strength of the buoyancy force according to the plate transfer object to be conveyed It is possible to increase the efficiency of the work.

또한, 본 발명은 유체의 공급으로 척력과 인력이 동시에 발생할 수 있는 코안다 효과를 적용한 노즐과 노즐공의 구조로 구성함으로써, 불필요한 구성을 줄여 간단한 구조를 이루기 때문에 제작의 편의성을 도모함은 물론 제작이나 설비과정에서 소요되는 비용을 최소화하여 제품의 가격경쟁력을 높이고, 평판이송물체의 원활한 수평이송을 도모하는 것이 가능하다.In addition, the present invention is configured by the structure of the nozzle and the nozzle hole applying the Coanda effect that can be generated simultaneously with the repulsive force and attraction force by supplying the fluid, thereby reducing the unnecessary configuration to achieve a simple structure, as well as to facilitate the production and It is possible to increase the price competitiveness of the product by minimizing the cost in the installation process, and to promote smooth horizontal transfer of the flat plate transfer object.

그리고, 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드의 다른 실시예는 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐공(11)의 수직구간(14)과 상기 간극유지부재(30)가 서로 접하는 결합하는 부위에 암나사(7)와 수나사(8)를 서로 대응하도록 형성하여 상기 간극유지부재(30)가 나사결합가능하게 이루어진다.In addition, another embodiment of the non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention, as shown in Figures 5 and 6, the vertical section 14 and the gap retaining member 30 of the nozzle hole (11) Is formed so that the female screw 7 and the male screw 8 correspond to each other at a portion to be in contact with each other, the gap retaining member 30 is made screwable.

예를 들면, 상기 노즐공(11)의 수직구간(14)에 암나사(7)를 형성하고 상기 간극유지부재(30)의 외주 둘레를 따라 수나사(8)를 형성하여 상기 노즐공(11)을 향해 상기 간극유지부재(30)를 나사결합한다.For example, a female screw 7 is formed in the vertical section 14 of the nozzle hole 11 and a male screw 8 is formed along the outer circumference of the gap retaining member 30 to form the nozzle hole 11. Towards the gap retaining member 30 is screwed.

상기 노즐공(11)의 암나사(7)는 상기 지지단턱(17)을 기점으로 상측으로 상기 노즐공(11)의 수직구간(14)과 원호구간(13)의 경계부분까지 연장하여 형성하는 것도 가능하고, 상기 노즐공(11)의 암나사(7)는 상기 지지단턱(17)을 기점으로 상측으로 상기 간극유지부재(30)의 높이만큼만 형성토록 구성하는 것도 가능하다.The female screw 7 of the nozzle hole 11 may extend upward from the support step 17 to the boundary between the vertical section 14 and the circular arc section 13 of the nozzle hole 11. The female screw 7 of the nozzle hole 11 may be formed so as to form only the height of the gap retaining member 30 upward from the support step 17.

바람직하게는, 상기 노즐공(11)의 암나사(7)는 상기 지지단턱(17)의 상측에서부터 시작하여 상기 노즐공(11)의 수직구간(14)과 원호구간(13)의 경계부분까지 형성토록 구성한다.Preferably, the female screw 7 of the nozzle hole 11 is formed from the upper side of the support step 17 to the boundary between the vertical section 14 and the circular arc section 13 of the nozzle hole 11. Configure it.

상기 간극유지부재(30)는 도 6의 (a)에 나타낸 바와 같이, 상기한 일실시예와 마찬가지로 상기 노즐공(11)으로부터 상기 노즐(20)의 고정높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성하는 것이 가능하다.As shown in FIG. 6 (a), the gap maintaining member 30 is overlapped with a plurality of layers so as to adjust a fixed height of the nozzle 20 from the nozzle hole 11 as in the above-described embodiment. It is possible to configure as a dog.

또한, 상기 간극유지부재(30)는 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐(20)의 고정높이를 조절하기 위해 나사결합된 나사를 풀거나 조이는 작동에 의해 상기 노즐공(11)에 암나사(7)가 형성된 높이의 범위 내에서 높이를 조절하도록 형성하는 것도 가능하다.In addition, the gap retaining member 30 is the nozzle hole 11 by the action of loosening or tightening the screw coupled to adjust the fixed height of the nozzle 20, as shown in Figure 6 (b). It is also possible to form so as to adjust the height within the range of the height in which the female screw 7 is formed.

즉, 상기한 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 노즐공 내에 간극유지부재가 나사결합하도록 구성함으로써, 지속적으로 사용하여도 간극유지부재가 노즐공으로부터 이탈됨 없이 견고하게 고정되어 고정효율을 높이는 것이 가능하다.That is, when the present invention is configured as in the other embodiments described above, the gap retaining member is screwed into the nozzle hole, so that the gap retaining member is firmly fixed without being separated from the nozzle hole even when it is used continuously. It is possible to raise.

상기한 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로 상세한 설명은 생략한다.Also in the above-described other embodiments, the present invention can be implemented in the same configuration as the above-described embodiment except for the above-described configuration, and thus detailed description thereof will be omitted.

상기에서는 본 발명에 따른 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
In the above, a preferred embodiment of a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap according to the present invention has been described, but the present invention is not limited thereto, and various modifications are made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. It is possible to implement, and this also belongs to the scope of the present invention.

7 : 암나사 8 : 수나사
10 : 하우징 11 : 노즐공
12 : 수평구간 13 : 원호구간
14 : 수직구간 17 : 지지단턱
20 : 노즐 21 : 노즐팁
23 : 경사면 30 : 간극유지부재
31 : 관통공 33 : 지지돌기
34 : 경사지지면7: female thread 8: male thread
10 housing 11 nozzle hole
12: horizontal section 13: arc section
14: vertical section 17: support step
20: nozzle 21: nozzle tip
23: inclined surface 30: gap holding member
31: through hole 33: support protrusion
34: sloped ground

Claims (10)

상하 수직으로 관통되어 수직벽면을 이루는 수직구간과, 상부에서 평판이송물체와 평행을 이루도록 평탄한 상면을 이루는 수평구간과, 상기 수직구간 및 상기 수평구간을 서로 연결하고 완만한 만곡면을 이루는 원호구간으로 형성된 노즐공을 구비하고, 상기 노즐공의 수직구간으로부터 돌출된 지지단턱을 형성하여 평판이송물체를 향해 유체를 분출할 수 있도록 이루어지는 하우징과;
상기 하우징의 노즐공에 삽입 설치되고 평탄한 상면으로부터 예각을 이루며 하측으로 연장하여 경사면을 형성하고, 상면과 경사면의 사이에 상기 노즐공의 내경보다 작은 외경을 이루며 상기 노즐공으로부터 간격을 두고 노즐팁이 위치하도록 형성되는 노즐과;
상기 하우징 내부에서 상기 노즐공의 지지단턱에 안착 설치되고 상기 노즐공으로부터 상기 노즐팁이 둘레를 따라 서로 균일한 간격을 유지할 수 있도록 상기 노즐을 지지하는 간극유지부재;를 포함하여 이루어지되,
상기 간극유지부재는, 상기 노즐을 수용가능하도록 중앙에 수직으로 관통되는 관통공과, 상기 관통공의 내부에 삽입되는 상기 노즐을 향해 돌출되고 상기 노즐의 경사면을 지지하도록 둘레를 따라 등간격을 이루며 형성되는 복수의 지지돌기를 포함하여 이루어지고, 상기 간극유지부재의 외주면 직경이 상기 하우징의 노즐공에 끼움 결합하도록 상기 노즐공의 내경에 대응하는 직경으로 형성되며,
상기 지지돌기는, 상기 노즐을 지지토록 접하는 한쪽 끝단이 상기 노즐의 경사면에 대응하는 경사각을 이루도록 테이퍼 가공된 경사지지면이 형성되며, 상기 노즐을 안정적으로 지지하도록 상기 관통공의 둘레를 따라 3~8개로 형성되는 것을 특징으로 하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드.
Vertical section penetrating up and down vertically to form a vertical wall, horizontal section forming a flat upper surface to be parallel to the plate transfer object from the top, and circular section connecting the vertical section and the horizontal section to form a smooth curved surface. A housing having a nozzle hole formed therein, the support stepping protrusion protruding from a vertical section of the nozzle hole to eject the fluid toward the flat plate transfer object;
The nozzle tip is inserted into the nozzle hole of the housing and is formed at an acute angle and extends downward from the flat upper surface to form an inclined surface, and forms an outer diameter smaller than the inner diameter of the nozzle hole between the upper surface and the inclined surface, and the nozzle tip is spaced apart from the nozzle hole. A nozzle formed to be positioned;
And a gap retaining member installed in the housing in the support step of the nozzle hole and supporting the nozzle from the nozzle hole so as to maintain a uniform distance from each other along the circumference of the nozzle hole.
The gap retaining member is formed to be equally spaced along a circumference so as to protrude toward the nozzle inserted into the center perpendicularly to the center to accommodate the nozzle, and to support the inclined surface of the nozzle. Comprising a plurality of support projections are formed, the outer peripheral surface diameter of the gap retaining member is formed with a diameter corresponding to the inner diameter of the nozzle hole to fit the nozzle hole of the housing,
The support protrusion has a tapered inclined surface formed such that one end contacting the nozzle to support the nozzle has an inclination angle corresponding to the inclined surface of the nozzle, and 3 to 8 along the circumference of the through hole to stably support the nozzle. Non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap, characterized in that formed into a dog.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 간극유지부재는, 상기 하우징의 노즐공으로부터 상기 노즐의 높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성되는 것을 특징으로 하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드.
The method according to claim 1,
The gap holding member is a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap, characterized in that it is composed of a plurality of layers in contact with the upper and lower layers so as to adjust the height of the nozzle from the nozzle hole of the housing.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐공의 수직구간과 상기 간극유지부재가 서로 접하는 결합하는 부위에 암나사와 수나사를 서로 대응하도록 형성하여 나사결합가능하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드.
The method according to claim 1,
A non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap, wherein the female screw and the male screw are formed to correspond to each other at a portion where the vertical section of the nozzle hole and the gap retaining member are in contact with each other.
삭제delete 청구항 7에 있어서,
상기 간극유지부재는, 상기 노즐의 고정높이를 조절할 수 있도록 상하로 겹겹이 접하여 복수 개로 구성되는 것을 특징으로 하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드.
The method of claim 7,
The gap retaining member is a non-contact vacuum pad capable of maintaining a precise nozzle gap, characterized in that the plurality of layers are formed in contact with the upper and lower layers so as to adjust the fixed height of the nozzle.
청구항 7에 있어서,
상기 간극유지부재는, 상기 노즐의 고정높이를 조절하기 위해 나사결합된 나사를 풀거나 조이는 작동에 의해 상기 노즐공에 암나사가 형성된 높이의 범위 내에서 높이를 조절하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 정밀한 노즐 갭 유지가 가능한 비접촉 진공패드.
The method of claim 7,
The gap retaining member is formed so as to adjust the height within the range of the height of the female thread formed in the nozzle hole by the operation of loosening or tightening the screw coupled screw to adjust the fixed height of the nozzle. Non-contact vacuum pad for gap retention.
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