KR100916933B1 - Noncontact conveying plate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 비접촉식 반송플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어에 의해 피반송물을 부상시키면서 이송까지 시킬 수 있는 반송플레이트에 관한 것이다.The present invention relates to a non-contact conveying plate, and more particularly to a conveying plate that can be transported while floating the conveyed object by air.
일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.In general, in-line FPD automatic optical inspection captures an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm.
이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또 한 중요한 요소로 작용한다.The inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section and an unlaod section for detecting a defect. It is important for these inspection equipment to accurately identify the location and size of the detected defects in order to function as an inspection system, but it guides the carrier (test object) from the scan section to the unlaod section. The role of the conveying means is also an important factor.
종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.Conventionally, the conveying means has been disclosed a contact conveying means for conveying the carrier by the rotational force of the roller (roller), which is carried out by the rotational force of the roller, not only does not cause stains due to scratches and roller rotation in the carrier If the friction force is small or the rotational force is weak, there is a problem that smooth conveyance is difficult because the carrier is slipped.
전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피반송물을 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있다.In order to solve the above-mentioned problems, non-contact conveying means for supplying compressed air to a plurality of fine air holes and floatingly conveying the air conveyed object ejected from the air holes has been recently used.
이러한 비접촉식 반송플레이트는 압축공기에 의해 피반송물을 부상시키게 되고, 별도의 이동수단에 의해 피반송물이 이송되게 된다.The non-contact conveying plate causes the object to be conveyed by the compressed air, and the object to be conveyed by the separate moving means.
이와 같은 반송플레이트는 계속된 발전에 힘입어 놀라운 부상력을 갖게 되었지만, 이송수단은 제자리 걸음에 불과한 실정이다.Such conveying plate has a remarkable flotation force due to continued development, but the conveying means is only in place.
본 발명은 상기와 같은 현실정을 감안하여 안출된 것으로, 별도의 이송수단이 필요 없이 에어에 의해서만 부상과 반송을 수행할 수 있는 반송플레이트를 제공하는데 있다.The present invention has been made in view of the above-described reality, to provide a conveying plate that can perform the injury and conveying only by air without the need for a separate conveying means.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명은,The present invention to solve the above problems,
상부면상에 다수개의 제1경사면이 형성되고, 각각의 제1경사면상에는 내부로 연장되어 외부의 압축공기를 인가받는 에어분출공이 형성되는 분사블록; 그리고A plurality of first inclined surfaces are formed on the upper surface, and each of the first inclined surfaces has an injection block extending therein to form an air ejection hole for receiving external compressed air; And
하부면상에 제1경사면과 대응되는 제2경사면이 형성되어 서로 밀착 결합시켜 경사면의 사이로 압축공기를 분사시키는 커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어에 의해 부상과 반송을 시키는 비접촉식 반송플레이트를 제공한다.Provides a non-contact conveying plate to the floating and conveyed by the air, characterized in that it comprises a; the second inclined surface corresponding to the first inclined surface is formed on the lower surface close to each other to inject compressed air between the inclined surface; .
이때, 분사블록의 내부에는 각각의 에어분출공과 연통되면서 외부의 압축공기를 인가받는 에어연결로가 형성됨이 바람직하다.At this time, it is preferable that an air connection path is formed in the injection block to receive compressed air from the outside while communicating with each air blowing hole.
또는, 분사블록의 하부를 등분하여 분사블록과 결합되는 베이스를 더 포함하며, 베이스의 내부에는 그 길이방향으로 연장되어 외부의 압축공기가 유입되는 에어연결로가 형성되고, 베이스의 상부면상에는 에어연결로내의 압축공기를 에어분출공으로 연통시키는 에어공급공이 형성될 수도 있다.Or, the base further comprises a base coupled to the injection block by dividing the lower portion of the injection block, an air connection path is formed in the interior of the base extending in the longitudinal direction to the outside compressed air, the air connection path on the upper surface of the base An air supply hole for communicating the compressed air therein to the air blowing hole may be formed.
또한, 분사블록은 각각의 제1경사면을 기준으로 하나씩 분리되도록 낱개로 형성될 수도 있다.In addition, the injection blocks may be formed individually so as to be separated one by one based on each first inclined surface.
이때, 각각의 제1경사면상에는 압축공기가 안내되는 미세틈이 적어도 한줄이상 형성되어 압축공기의 분사를 촉진시킬 수도 있다.At this time, at least one or more fine gaps through which compressed air is guided may be formed on each of the first inclined surfaces to promote the injection of the compressed air.
그리고 각각의 제1경사면상에는 에어분출공에서 분출되는 압축공기를 양옆으로 분기시켜 미세틈과 연결시키는 오목한 분기홈이 형성됨이 바람직하다.On each of the first inclined surfaces, it is preferable that concave branch grooves are formed to branch the compressed air ejected from the air ejecting holes to both sides to connect with the microcavity.
한편, 제1경사면의 하단과 제2경사면의 하단에는 서로 끼움결합되는 돌기와 홈이 형성될 수도 있다.On the other hand, the lower end of the first inclined surface and the lower end of the second inclined surface may be formed projections and grooves that are fitted to each other.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 반송플레이트는 에어에 의해서만 부상과 반송이 모두 가능하게 되어 별도의 이송수단을 구비하지 않기 때문에 설비비를 절감할 수 있다.As described above, the conveying plate according to the present invention is capable of both floating and conveying only by air, and thus does not include a separate conveying means, thereby reducing equipment costs.
또한, 이송수단을 작동시키기 위한 유지비용도 필요치 않아 제조코스트가 낮아지게 되는 잇점도 있다.In addition, the maintenance cost for operating the transport means is also not necessary, the manufacturing cost is lowered.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반송플레이트를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a transport plate according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 측면에서 바라본 결합도이다.1 is an exploded perspective view showing a conveying plate according to the present invention, Figure 2 is a side view of the conveying plate according to the present invention.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 베이스(110)와, 베이스(110)위에 장착되는 다수의 분사블록(120)과, 각각의 분사블록(120)위에 장착되는 커버(130)를 포함하는 구성을 갖는다.1 and 2, the
먼저, 베이스(110)는 외부의 압축공기를 인가받도록 하부면상에서부터 중간부위까지 연통되는 에어공급포트(111)가 형성된다. 그리고 베이스(110)의 길이방향 중심부에는 에어공급포트(111)와 연통되면서 양단으로 관통되는 에어연결로(112)가 형성된다. 에어연결로(112)는 굳이 베이스(110)의 양단으로 관통되지 않아도 되나, 에어연결로(112)를 가공하기 위해서 뚫게 되는 것이다. 따라서 에어연결로(112)의 양단 개방부는 도면에 도시되지는 않았으나, 마감캡 등으로 밀폐시킴이 바람직하다.First, the
또한, 베이스(110)의 상부면상에는 에어연결로(112)와 연통되는 에어공급공(113)이 형성된다. 이때, 에어공급공(113)은 베이스(110)의 일측에서부터 타측까지 등간격으로 연속해서 형성된다. 즉, 에어공급공(113)은 에어공급포트(111)에서 인가된 압축공기가 에어연결로(112)를 통해 분기되고, 다시 다수의 에어공급공(113)으로 각각 분출시키게 되는 것이다.In addition, an
또한, 에어공급공(113)의 출구에는 에어의 누수를 방지하기 위해 오링(115)이 장착되고, 이 오링(115)은 에어공급공(113)의 상단 주변에 움푹패인 오링안착부(114)에 장착된다.In addition, the O-
다음은 분사블록(120)을 설명한다.Next, the
분사블록(120)은 베이스(110)의 상부면상에 장착되는 것으로, 다수의 에어공급공(113)위에 각각 장착된다. 따라서 에어공급공(113)의 양측과 분사블록(120)의 하부면상에는 볼트공(B1)이 형성되어 볼트에 의해 결합된다. 또한, 분사블록(120)이 베이스(110)의 위에서 제위치에 설치되기 위해 또는, 조립의 편의상 베이 스(110)의 상부면상에는 분사블록(120)이 놓여지는 착지부가 낮게 패이도록 형성됨이 바람직할 것이다.The
도 3은 분사블록을 상세히 보여주기 위한 사시도이다.3 is a perspective view for showing the injection block in detail.
분사블록(120)은 도 3에서 보는 바와 같이 에어공급공(113)과 연통되는 에어분출공(125)이 상하로 관통되도록 형성된다. 이때, 에어분출공(125)으로 통해 분출되는 에어가 피반송물을 부상시키면서 반송까지 시키기 위해 분사블록(120)의 상부가 경사진 형태를 갖는다. 즉, 분사블록(120)의 상부는 피반송물의 반송방향쪽이 더 높도록 제1경사면(121)이 형성된다.As shown in FIG. 3, the
따라서 에어분출공(125)은 제1경사면(121)으로 관통되게 되고, 제1경사면(121)상에는 에어분출공(125)에서 분출되는 에어가 다시 양옆으로 퍼지도록 움푹패인 분기홈(126)이 형성된다. 분기홈(126)은 에어가 밀폐되어야 하기 때문에 분사블록(120)의 양단으로 관통되지 않도록 형성됨이 바람직할 것이다.Therefore, the
또한, 분기홈(126)에서 제1경사면(121)의 상단까지 적어도 한줄 이상의 미세틈(127)이 형성된다. 미세틈(127)은 수십에서 수백 ㎛의 깊이로 가공되는 것으로, 이 미세틈(127)이 최종적으로 에어가 분사되는 통로가 되는 것이다.In addition, at least one
한편, 커버(130)는 분사블록(120)의 상부면상에 장착되어 밀폐시키는 것으로, 미세틈(127)을 제외한 분사블록(120)의 상부를 밀폐시키게 된다.On the other hand, the
따라서 커버(130)는 하부가 제1경사면(121)에 대응되는 기울기를 갖도록 제2경사면(131)이 형성된다.Therefore, the
또한, 커버(130)의 원활한 조립성 및 결합력 증진 또는 공차를 극복하기 위 해 제1경사면(121)의 하단과 제2경사면(131)의 하단에는 서로 끼움결합되기 위해 돌기(122)와 홈(132)이 형성된다.In addition, the
이렇게 형성된 커버(130)와 분사블록(120)은 볼트에 의해 체결되는데, 커버(130)의 상부면상에서부터 하부면상으로, 그리고 제1경사면(121)에서부터 분사블록(120)의 내부로 볼트공(B2)이 형성된다. 이때, 볼트공(B2)은 제1경사면(121) 및 제2경사면(131)의 기울기에 대해 직각방향으로 형성됨이 바람직할 것이다.The
상기에서는 미세틈(127)에 의해서 압축공기가 분출되는 구조를 갖게 되는데, 굳이 미세틈(127)이 없어도 제1경사면(121)과 제2경사면(131)에 틈이 생기도록 제작하여 사용될 수도 있다.In the above structure, the compressed air is ejected by the
전술한 바와 같은 본 발명의 반송플레이트는 분사블록(120)을 다수개로 조립하는 개별식으로 설계하였으나, 분사블록(120)을 하나로 제작하여도 무방하다.Although the conveying plate of the present invention as described above is designed individually to assemble a plurality of
도 4는 분사블록이 하나로 제작되는 경우의 실시예를 나타낸 도면이다.Figure 4 is a view showing an embodiment when the injection block is made of one.
즉, 도 4에서 보는 바와 같이 하나의 분사블록(120)에 제1경사면(121)을 연속해서 형성하고, 그 위에 개별 커버(130)를 결합시키는 구조가 될 수도 있다.That is, as shown in FIG. 4, the first
또는, 분사블록(120)과 베이스(110)를 하나로 제작할 수도 있다.Alternatively, the
도 5는 분사블록과 베이스가 하나로 제작되는 경우의 실시예를 나타낸 도면이다.5 is a view showing an embodiment when the injection block and the base is made of one.
즉, 도 5에서 보는 바와 같이 하나의 분사블록(120) 하부에 에어공급포트(111)를 형성하고, 분사블록(120)의 길이방향 중심부에 에어연결로(112)를 형성하고, 에어연결로(112)와 연통되도록 제1경사면(121)쪽으로 에어분출공(125)을 뚫 어 제작될 수도 있는 것이다.That is, as shown in FIG. 5, the
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 반송플레이트의 작용에 대해 간략하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the conveying plate formed as described above will be briefly described.
먼저, 에어공급포트(111)로 유입된 압축공기는 에어연결로(112)로 연통되어 베이스(110)의 일측부터 타측까지 차이게 되고, 에어연결로(112)와 연통된 각각의 에어공급공(113)으로 통해 베이스(110)의 상측으로 공급된다.First, the compressed air introduced into the
베이스(110)의 상측으로 공급된 에어는 오링(115)에 의해 밀폐되고 연통된 각각의 에어분출공(125)으로 안내된다.The air supplied to the upper side of the
에어분출공(125)으로 유입된 에어는 다시 분기홈(125)으로 퍼져 차이게 되고, 분기홈(125)에서 서로 맞닿은 제1경사면(121)과 제2경사면(131)사이의 미세틈(127)을 통해 외부로 분사된다.The air introduced into the
이때, 미세틈(127)이 제1경사면(121)상에 형성되어 있기 때문에 이 경사면을 통과하는 에어는 사선방향으로 분사되고, 커버(130)위에 놓여진 피반송물이 분사되는 에어에 의해 부상되면서 에어분출방향으로 이송하게 된다.At this time, since the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims You will understand.
도 1은 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 분해 사시도이고,1 is an exploded perspective view showing a transport plate according to the present invention,
도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 측면도이고,2 is a side view showing a conveying plate according to the present invention;
도 3은 도 1에 도시된 분사블록 및 커버를 상세히 보인 확대사시도이고,Figure 3 is an enlarged perspective view showing in detail the injection block and the cover shown in Figure 1,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반송플레이트를 나타낸 도면이며,4 is a view showing a transport plate according to another embodiment of the present invention,
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반송플레이트를 나타낸 도면이다.5 is a view showing a transport plate according to another embodiment of the present invention.
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090024199A KR100916933B1 (en) | 2009-03-20 | 2009-03-20 | Noncontact conveying plate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020090024199A KR100916933B1 (en) | 2009-03-20 | 2009-03-20 | Noncontact conveying plate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100916933B1 true KR100916933B1 (en) | 2009-09-15 |
Family
ID=41355636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090024199A KR100916933B1 (en) | 2009-03-20 | 2009-03-20 | Noncontact conveying plate |
Country Status (1)
Country | Link |
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