KR101125556B1 - 유기물 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

유기물 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 유기물 증착 장치는, 기판에 모노머(monomer)를 증착할 수 있는 공간이 형성된 챔버; 챔버 내부에 배치되어 기판에 모노머를 분사하는 모노머 증착유닛; 챔버 외부에서 모노머 증착유닛과 연결되어 모노머 증착유닛을 진공 상태로 조성하는 데포 진공 펌프; 데포 진공 펌프의 후방에서 데포 진공 펌프에 연결되어 데포 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하는 데포 건식 펌프; 및 데포 진공 펌프와 데포 건식 펌프 사이에 배치되어 데포 진공 펌프의 진공도를 미리 설정된 기준 진공도 이하로 유지시키는 펌프진공유지펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판에 증착되지 않은 물질을 배기하는 과정에서 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 유지할 수 있도록 함으로써 모노머 증기가 데포 진공 펌프를 통과할 시 데포 진공 펌프의 후단부에 마련된 블레이드 및 베어링 등의 구동부에 모노머가 축적되는 것을 방지할 수 있어 결과적으로 데포 진공 펌프의 고장을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있다.
OLED, 유기물, 박막 봉지, 증착

Description

유기물 증착 장치{Organic matter evaporation device}
본 발명은, 유기물 증착 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판에 증착되지 않은 물질을 배기하는 과정에서 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 유지할 수 있도록 함으로써 모노머 증기가 데포 진공 펌프를 통과할 시 데포 진공 펌프의 후단부에 마련된 블레이드 및 베어링 등의 구동부에 모노머가 축적되는 것을 방지할 수 있어 결과적으로 데포 진공 펌프의 고장을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있는 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
유기전계발광디스플레이(OLED, Organic Light Emitting Display)는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비전력이 낮고, 자체 발광이므로 넓은 시야각을 제공하여 영상 표시 매체로서의 장점을 가진다.
유기전계발광디스플레이는 저온 제작이 가능하고 기존의 반도체 공정 기술과 유사한 방식으로 제조되며, 또한 패턴(pattern) 형성 공정, 박막 증착 공정, 그리고 봉지 공정 등의 그 제조 공정이 비교적 간단하므로 향후 차세대 표시장치로 주목받고 있다.
이러한 유기전계발광디스플레이는 그 제조 공정에 따라 습식 공정을 사용하 는 고분자형과 증착 공정을 사용하는 저분자형으로 크게 나눌 수 있다.
고분자형 유기전계발광디스플레이는 화소 전극을 포함한 기판 상에 잉크젯 프린팅 방법이나 스핀 코팅 방법을 사용하여 발광층을 포함한 유기층을 적층함으로써 제작된다. 그리고 저분자형 유기전계발광디스플레이는 화소 전극을 포함한 기판 상에 증착 공정에 의해 발광층을 포함한 유기층을 적층함으로써 제작된다.
한편, 앞서 기술한 바와 같이, 유기전계발광디스플레이는 다양한 장점을 가지고 있음에도 불구하고 LCD 및 PDP에 비해 실용화가 상대적으로 더디게 진행되고 있는 것이 현실이다. 이는 유기전계발광디스플레이의 수명 문제가 완전히 해결되지 않았기 때문이다.
즉 고분자형이든 저분자형이든 간에 유기전계발광디스플레이는 기판과, 기판 상에 적층되는 발광층을 포함한 유기층(이하 유기발광소자라 함)의 2 파트로 크게 나뉠 수 있는데, 특히 유기발광소자가 대기 중의 기체나 수분에 의해 쉽게 손상될 수 있기 때문에 수명 문제가 대두되는 것이다.
따라서 유기발광소자의 둘레를 패시베이션할 수 있는 박막의 물질을 증착하는(도포하는) 유기전계발광디스플레이용 박막 봉지 공정에 대한 연구가 지속되고 있다.
참고로, 유기전계발광디스플레이용 박막 봉지공정이란, 대기 중의 기체나 수분으로부터 유기전계발광디스플레이의 유기발광소자를 보호하기 위해 유기막 또는 무기막을 이용하여 유기발광소자의 둘레를 밀봉하는 공정이다.
유기발광소자의 둘레를 따라 유기막 또는 무기막을 봉지하는 데 있어 필름을 이용한 부착법을 사용할 수도 있고 증착물질을 이용한 증착법을 사용할 수도 있는데 보통은 후자의 방법이 사용된다.
이때, 유기막 또는 무기막 중에서 선택된 어느 단층막만을 사용하기도 하는데, 무기막으로만 형성된 단층막은, 막 성형속도가 느리고 막의 큰 스트레스로 인해서 일부 결함이 발생할 가능성이 높으며, 유기발광소자의 파티클과 결합되어 무기막에 핀홀 등과 같은 결함(defect)이 발생될 소지가 높다. 이를 통해 대기 중의 기체나 수분이 유입되어 유기발광소자의 수명을 단축시킬 수 있다.
반면, 유기막만으로 형성된 단층막은, 성형이 용이하다는 이점이 있으나 유기막 자체적으로 수분을 함유할 수 있기 때문에 기체나 수분의 유입이 무기막에 비해 보다 잘 진행될 수 있다. 따라서 기체나 수분을 완벽하게 차단하기 어렵다.
이에, 근자에 들어서는 유기막과 무기막을 교대로 다수 층 적층함으로써 기체나 수분의 유입으로부터 유기발광소자를 보호하는 유기전계발광디스플레이용 박막 봉지 공정에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다.
한편, 유기전계발광디스플레이의 유기발광소자에 유기막을 증착시키고자 할 때는, 유기발광소자가 하부를 향하도록 유기전계발광디스플레이의 기판을 챔버 내부에 배치하고 이 기판을 향해 챔버 내부에 마련된 모노머 증착유닛이 증기 상태인 모노머를 분사시키는 과정을 수행하게 된다.
따라서 모노머 증착유닛은 모노머 증기를 기판으로 분사할 수 있는 구조를 갖는다. 이러한 모노머 증착유닛은 또한 기판에 증착되지 않은 물질이 챔버로 흘러가기 전에 외부로 방출하는 구조도 가지고 있으며, 기판에 증착되지 않은 물질의 외부로의 방출은 후방에 연결된 데포 진공 펌프를 이용하게 된다. 그러므로 데포 진공 펌프에는 다량의 모노머 증기가 유입된다. 그리고 데포 진공 펌프로는 터보 분자 펌프(turbo molecular pump)가 이용된다.
한편, 모노머 증기는 10-3 Torr 이하의 기압에서는 액화되지 않고 기체 상태를 유지하는 특성이 있다. 그런데 데포 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하기 위한 데포 건식 펌프가 소음이 많은 등의 여러 가지 문제로 데포 진공 펌프로부터 멀리 이격되어 하부 유틸리티(Utility) 공간에 배치되어야 하므로 데포 진공 펌프 후단부의 압력이 10-2 ~ 10-1 Torr 정도로 진공도가 나쁘게 되고 이와 같이 진공 펌프 후단부의 진공도가 충분히 낮게 유지하지 않을 경우 데포 진공 펌프로 유입된 다량의 모노머 증기가 데포 진공 펌프 후단부에 존재하는 블레이드(blade) 및 베어링 등의 구동부에 축적되는 문제가 발생한다.
이와 같이 모노머 증기가 데포 진공 펌프 후단부에 존재하는 구동부에 축적되게 되면 일정한 횟수의 모노머 증착 후 데포 진공 펌프가 고장날 수 있으며, 이 경우 장비 유지 보수에 많은 시간과 비용이 요구되므로 이에 대한 개선책이 절실한 실정이다.
본 발명의 목적은, 기판에 증착되지 않은 물질을 배기하는 과정에서 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 유지할 수 있도록 함으로써 모노머 증기가 데포 진공 펌프를 통과할 시 데포 진공 펌프의 후단부에 마련된 블레이드 및 베어링 등의 구동부에 모노머가 축적되는 것을 방지할 수 있어 결과적으로 데포 진공 펌프의 고장을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있는 유기물 증착 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판에 모노머(monomer)를 증착할 수 있는 공간이 형성된 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 기판에 모노머를 분사하는 모노머 증착유닛; 상기 챔버 외부에서 상기 모노머 증착유닛과 연결되어 상기 모노머 증착유닛을 진공 상태로 조성하는 데포 진공 펌프; 상기 데포 진공 펌프의 후방에서 상기 데포 진공 펌프에 연결되어 상기 데포 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하는 데포 건식 펌프; 및 상기 데포 진공 펌프와 상기 데포 건식 펌프 사이에 배치되어 상기 데포 진공 펌프의 진공도를 미리 설정된 기준 진공도 이하로 유지시키는 펌프진공유지펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치에 의해 달성된다.
상기 데포 진공 펌프와 상기 펌프진공유지펌프 사이에 배치되어 상기 기판에 증착되지 않은 물질이 외부로 배출될 때 상기 모노머를 차단시키는 모노머 차단부를 더 포함할 수 있다.
상기 펌프진공유지펌프는 상기 모노머 차단부의 후방에 인접하게 배치될 수 있다.
상기 펌프진공유지펌프는 상기 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 상기 기준 진공도 이하로 유지할 수 있는 터보 펌프일 수 있다.
상기 펌프진공유지펌프는 내부에 발열체가 구비되는 가열형 터보 분자 펌프일 수 있다.
상기 기준 진공도는 10-3 Torr일 수 있다.
상기 챔버의 외부에 배치되어 상기 챔버의 일단부와 연결되고, 상기 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 챔버 진공 펌프를 더 포함할 수 있다.
상기 챔버 진공 펌프의 후방에서 상기 챔버 진공 펌프에 연결되어, 상기 챔버 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하는 챔버 건식 펌프를 더 포함할 수 있다.
상기 챔버의 외부에 배치되어 상기 모노머 증착유닛으로 상기 모노머를 공급하는 모노머 공급부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판에 증착되지 않은 물질을 배기하는 과정에서 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 유지할 수 있도록 함으로써 모노머 증기가 데포 진공 펌프를 통과할 시 데포 진공 펌프의 후단부에 마련된 블레이드 및 베어링 등의 구동부에 모노머가 축적되는 것을 방지할 수 있어 결과적으로 데포 진공 펌프의 고장을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 개략도이다.
이 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기물 증착 장치는, 챔버(10)와, 챔버(10) 내부에 마련되어 기판(1)에 유기물 즉, 모노머(monomer)를 분사하는 모노머 증착유닛(20)과, 모노머 증착유닛(20)과 연결되어 모노머 증착유닛(20)을 진공 상태로 만드는 데포 진공 펌프(30)와, 데포 진공 펌프(30)의 후방에 마련되어 데포 진공 펌프(30)의 진공도 특히 데포 진공 펌프(30) 후단부의 진공도를 미리 설정된 기준 진공도로 유지시키는 펌프진공유지펌프(40)와, 데포 진공 펌프(30)로 유입된 모노머 증기가 이동하여 펌프진공유지펌프(40)로 유입되는 것을 방지하기 위해 데포 진공 펌프(30)와 펌프진공유지펌프(40)의 사이에 배치되어 모노머를 필터링(filtering)하는 모노머 차단부(50)와, 챔버(10)의 외부에 배치되어 모노머 증착유닛(20)으로 모노머를 공급하는 모노머 공급부(60)와, 데포 진공 펌프(30)의 후방에서 데포 진공 펌프(30)에 연결되어 데포 진공 펌프(30)의 진공압 발생을 보조하는 데포 건식 펌프(70)와, 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만드는 챔버 진공 펌프(80)와, 챔버 진공 펌프(80)의 후방에서 챔버 진공 펌프(80)에 연결되어 챔버 진공 펌프(80)의 진공압 발생을 보조하는 챔버 건식 펌프(90)를 포함한다.
챔버(10)는 기판(1)에 유기물을 증착시키는 증착 공정이 진행되는 장소이다. 이러한 챔버(10)는 정육면체 또는 직육면체의 형태로 이루어질 수 있으나 본 실시 예서의 챔버(10)는 직육면체의 형태로 형성된다.
챔버(10)의 일단부에는 챔버(10)의 외부에서 챔버(10)의 내부로 기판(1)이 출입할 수 있는 도어(미도시)가 마련되고, 도어는 챔버(10)의 진공 상태를 유지할 수 있도록 밀폐수단(미도시)을 구비할 수 있다.
챔버(10) 내부의 상단부로는 유기물을 증착하기 위한 기판(1)이 이송되고, 하단부에는 기판(1)이 모노머 증착을 위한 위치에서 정지해 있는 기판(1)을 향해 유기물 즉, 증기 상태의 모노머(monomer)를 분사하는 모노머 증착유닛(20)이 마련된다.
모노머 증착유닛(20)은 챔버(10) 내부 하단부의 어느 곳에나 마련될 수 있고, 기판(1)을 향해 모노머를 분사하는 동시에 기판(1)에 증착되지 않은 물질이 챔버(10) 내부로 흘러가기 전에 챔버(10) 외부로 배출되는 경로의 일부를 형성한다.
모노머 증착유닛(20)은 챔버(10) 외부에 마련된 모노머 공급부(60)로부터 모노머 증기를 공급받게 되는데, 모노머 증착유닛(20)과 모노머 공급부(60)는 배관 등을 이용하여 연결되어 있어 모노머 공급부(60)는 배관을 통하여 증기 상태의 모노머를 모노머 증착유닛(20)으로 공급하게 된다.
모노머 증착유닛(20)의 하단부(21)에는 모노머 증착유닛(20)이 모노머 공급부(60)로부터 공급받은 증기 상태의 모노머가 그 상태를 유지할 수 있도록 모노머 증착유닛(20)을 진공 상태로 만들 수 있는 데포 진공 펌프(30)가 마련된다. 데포 진공 펌프(30)는 챔버(10)의 외부 하단부에 마련되어 모노머 증착유닛(20)의 하단부(21)와 연결되며, 모노머 공급부(60)와 마찬가지로 배관 등을 이용하여 직렬연결 된다.
이에 대하여 보다 상세히 설명하면, 모노머 증착유닛(20)이 기판(1)을 향해 분사할 때 기판(1)에 증착되지 않은 물질이 모노머 증착유닛(20)을 통과하여 데포 진공 펌프(30)로 이동하게 된다. 기판(1)에 증착되지 않은 물질이 챔버(10)로 유입되어 챔버(10) 내 진공도를 상승하게 하는 것을 최소화하기 위함이다.
한편, 모노머는 약 80℃ 내외의 분위기 온도 및 10-3 Torr 이하의 기압에서 기체 상태를 유지할 수 있는 특성을 갖고 있다.
이러한 데포 진공 펌프(30)로 다양한 종류의 펌프가 사용될 수 있으나, 터보 분자 펌프가 가장 적합하며, 본 실시예에서도 터보 분자 펌프(turbo molecular pump)를 데포 진공 펌프(30)로 사용하고 있다.
그런데 데포 진공 펌프(30)의 진공압 발생을 보조하기 위한 데포 건식 펌프(70)가 소음이 많은 등의 여러 가지 문제로 데포 진공 펌프(30)로부터 멀리 이격되어 하부 유틸리티(Utility) 공간에 배치되어야 하므로 데포 진공 펌프(30) 즉 본 실시 예에서의 터보 분자 펌프 후단부의 압력이 10-2 ~ 10-1 Torr 정도로 진공도가 나쁘게 되고 이와 같이 데포 진공 펌프(30) 후단부의 진공도가 충분히 낮게 유지하지 않을 경우 모노머 증기가 데포 진공 펌프(30) 후단부에 존재하는 블레이드(blade) 및 베어링 등의 구동부에 축적되는 문제가 발생하며, 이와 같이 모노머 증기가 데포 진공 펌프(30) 후단부에 존재하는 구동부에 축적되게 되면 일정한 횟수의 모노머 증착 후 데포 진공 펌프(30)가 고장날 수 있으며, 이 경우 장비 유지 보수에 많은 시간과 비용이 요구됨은 전술한 바와 같다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 본 실시 예에 따른 유기물 증착 장치는, 데포 진공 펌프(30)의 후단부의 진공도를 미리 설정된 기준 진공도 즉 본 실시 예의 경우 10-3 Torr 이하의 진공도로 유지시키는 펌프진공유지펌프(40)를 포함한다. 펌프진공유지펌프(40)는 데포 진공 펌프(30)와 데포 건식 펌프(70) 사이에 배치되는데, 특히 펌프진공유지펌프(40)는 모노머 차단부(50)의 후방에 인접하게 배치된다.
이러한 펌프진공유지펌프(40)는 데포 진공 펌프(30)와 같은 터보 분자 펌프로 마련되며, 모노머 물질이 펌프진공유지펌프(40)에 축적되는 것을 보다 개선하기 위해서는 내부에 발열체가 구비되어 내부 부품이 80℃ 이상으로 유지되는 가열형 터보 분자 펌프가 사용될 수 있다.
이러한 구성에 의하여 데포 진공 펌프(30)의 후단부의 진공도가 10-3 Torr 이하로 유지되고 따라서 모노머 증기가 데포 진공 펌프(30) 후단부에 존재하는 구동부에 축적되는 문제를 해결할 수 있게 된다.
한편 데포 진공 펌프(30)와 펌프진공유지펌프(40)의 사이에는 데포 진공 펌프(30)로 유입된 모노머 증기가 이동하여 펌프진공유지펌프(40)로 유입되는 것을 방지하기 위해 모노머를 필터링(filtering)할 수 있는 모노머 차단부(50)가 마련된다.
모노머 차단부(50)는, 데포 진공 펌프(30)와 펌프진공유지펌프(40) 사이에 나란히 직렬연결 되며 모노머를 필터링(filtering)할 수 있는 형태라면 다양한 형태로 형성될 수 있다. 한편 본 실시예에서 데포 진공 펌프(30)와 펌프진공유지펌프(40)는 터보 분자 펌프(turbo molecular pump)가 사용됨은 전술한 바와 같다.
이러한 모노머 차단부(50)에 의하여 모노머가 필터링(filtering)되므로 펌프진공유지펌프(40)에는 모노머가 축적되는 문제가 없게 된다. 즉 펌프진공유지펌프(40)는 데포 진공 펌프(30)의 후단부의 진공도가 기준 진공도 이하로 유지되도록 마련된 것인데, 만약 펌프진공유지펌프(40)에 모노머 증기가 유입되어 모노머가 증착되게 되면 펌프진공유지펌프(40)도 고장날 우려가 있으나, 모노머 차단부(50)에 의하여 모노머가 필터링되므로 펌프진공유지펌프(40)에는 모노머가 축적되는 문제가 없게 되고 따라서 펌프진공유지펌프(40)가 고장날 가능성을 배제할 수 있게 되는 것이다.
펌프진공유지펌프(40)의 후방에는 직렬연결 되는 데포 건식 펌프(70)가 마련된다. 데포 건식 펌프(70)는 앞서 전술된 펌프진공유지펌프(40)의 진공도를 보조하도록 마련되는 것으로 다양한 데포 건식 펌프(70)를 사용할 수 있으나 본 실시예에서는 로터리펌프나 드라이펌프를 데포 건식 펌프(70)로 사용한다.
데포 건식 펌프(70)는 작동 시 소음이 많이 발생하는 등의 문제로 모노머 차단부(50)와 소정의 이격 거리 즉 적어도 5m의 이격 거리를 갖도록 배치되는 것이 바람직하며, 본 실시예에서도 펌프진공유지펌프(40)와 데포 건식 펌프(70) 사이에 5m의 이격 거리를 갖도록 한다.
한편, 챔버(10)의 일단부에는 챔버(10) 내부를 진공 상태로 만드는 챔버 진 공 펌프(80)가 마련되는데, 챔버 진공 펌프(80)는 데포 진공 펌프(30)와 같이 터보 펌프로 마련된다.
기판(1)에 모노머를 증착하기 위해서는 챔버(10) 내부의 초기 진공도가 10-6~10-7 Torr로 유지되고 챔버(10)의 외부 일단부에서 연결된 챔버 진공 펌프(80)가 기판(1)에 모노머를 증착시키기 좋은 조건으로 챔버(10) 내부에 진공을 조절할 수 있다.
그리고 챔버 진공 펌프(80)의 후방에는 챔버 진공 펌프(80)의 진공도를 보조하기 위한 챔버 건식 펌프(90)가 마련된다. 챔버 건식 펌프(90)는 챔버 진공 펌프(80)와 직렬연결 되며 데포 건식 펌프(70)와 마찬가지로 로터리펌프를 챔버 건식 펌프(90)로 사용할 수 있다.
이러한 구성에 의해, 유기물 증착 장치의 모노머 증착 시 증착되지 않은 모노머의 배기 과정을 설명하면 다음과 같다.
기판(1)은 챔버(10)의 일단부에 형성된 도어를 통해 챔버(10)의 내부로 이송하게 되고, 기판(1)의 챔버(10)의 내부로의 이송이 감지되면 챔버(10)의 외부에 마련되어 있던 모노머 공급부(60)가 챔버(10)의 내부에 마련되어 있는 모노머 증착유닛(20)으로 증기 상태의 모노머를 공급하게 된다.
그리고 모노머 증착유닛(20)은 모노머 증착유닛(20)에 연결된 데포 진공 펌프(30)에 의해 진공 상태가 되며 이로 인해 모노머 공급부(60)로부터 공급받은 모노머의 증기 상태를 유지할 수 있게 된다.
한편, 챔버(10)의 상태가 모노머 증착이 유리할 수 있는 조건을 갖출 수 있도록 챔버(10)의 다른 일단부에는 챔버 진공 펌프(80) 및 챔버 진공보조부(90)가 마련되어 있어 챔버(10) 내부를 고진공 상태가 되도록 한다.
이와 같이 챔버(10) 내부가 고진공 상태가 되면 모노머 증착유닛(20)은 모노머 공급부(60)로부터 공급받은 증기 상태의 모노머를 기판(1)을 향해 분사하게 된다. 그러나 이 때 모노머의 전량이 기판(1)에 증착되는 것이 아니기 때문에 기판(1)에 증착되지 않은, 가능한 많은 량의 모노머 물질은 챔버(10)로 흘러내리기 전에 챔버(10)의 외부로 배출되어야 한다.
기판(1)에 증착되지 못한 모노머는 모노머 증착유닛(20)과 연결되어 있는 데포 진공 펌프(30)로 이동하게 된다. 데포 진공 펌프(30)의 후방에는 데포 진공 펌프(30)의 진공도를 기준 진공도 이하로 유지시킬 수 있는 펌프진공유지펌프(40)가 마련되어 있으므로 데포 진공 펌프(30)의 후단부의 진공도를 기준 진공도 이하로 유지시키게 되고 따라서 데포 진공 펌프(30)로 모노머가 유입되어도 모노머의 증기 상태를 유지하여 액화되는 것을 방지할 수 있기 때문에 데포 진공 펌프(30)의 후방에 모노머의 증착을 방지할 수 있게 된다.
그리고 데포 진공 펌프(30)와 펌프진공유지펌프(40) 사이에 모노머 차단부(50)가 마련되어 있어 펌프진공유지펌프(40)로 모노머가 유입되는 것을 방지하면서 기판에 증착되지 않은 물질은 외부로 방출된다.
이와 같이 본 실시예에 따르면, 기판(1)에 모노머를 증착하기 위해 모노머 증착유닛(20)에서 분사한 모노머 중 기판(1)에 증착되지 않은 물질이 챔버(10)의 내부로 흘러가기 전에 챔버(10)의 외부로 효과적으로 배출할 수 있게 된다.
특히 증착되지 않은 물질이 데포 진공 펌프(30)를 통하여 배출되는데 이때 데포 진공 펌프(30)의 후단부에 마련된 펌프진공유지펌프(40)가 데포 진공 펌프(30)의 진공도가 기준 진공도 이하로 유지될 수 있게 하기 때문에 모노머가 액화되는 것을 방지하고, 데포 진공 펌프(30)의 후단부에 마련된 블레이드 및 베어링 등의 구동부에 모노머가 축적되는 것을 방지할 수 있어 결과적으로 데포 진공 펌프(30)의 고장을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있으며, 데포 진공 펌프(30)를 통과한 모노머가 모노머 차단부(50)에 의해 필터링(filtering)될 수 있으므로 모노머가 펌프진공유지펌프(40)로 유입되는 것도 방지할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1: 기판 10: 챔버
20: 모노머 증착유닛 30: 데포 진공 펌프
40: 펌프진공유지펌프 50: 모노머 차단부
60: 모노머 공급부 70: 데포 건식 펌프
80: 챔버 진공 펌프 90: 챔버 건식 펌프

Claims (9)

  1. 기판에 모노머(monomer)를 증착할 수 있는 공간이 형성된 챔버;
    상기 챔버의 외부에 배치되어 상기 챔버의 일단부와 연결되고, 상기 챔버 내부를 진공상태로 만드는 챔버 진공 펌프;
    상기 챔버 내부에 배치되어 상기 기판에 모노머를 분사하고, 상기 기판에 증착되지 않은 물질을 상기 챔버의 외부로 배출하는 경로가 형성된 모노머 증착유닛;
    상기 모노머 증착유닛의 상기 경로와 배관을 통하여 연결되고, 상기 챔버의 외부에서 상기 모노머 증착유닛을 진공 상태로 조성하는 데포 진공 펌프;
    상기 데포 진공 펌프의 후방에서 상기 데포 진공 펌프에 연결되어 상기 데포 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하는 데포 건식 펌프;
    상기 데포 진공 펌프와 상기 데포 건식 펌프 사이에 배치되어 상기 데포 진공 펌프의 진공도를 미리 설정된 기준 진공도 이하로 유지시키는 펌프진공유지펌프; 및
    상기 데포 진공 펌프와 상기 펌프진공유지펌프 사이에 배치되어 상기 기판에 증착되지 않은 물질이 외부로 배출될 때 상기 모노머를 차단시키는 모노머 차단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 펌프진공유지펌프는 상기 모노머 차단부의 후방에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 펌프진공유지펌프는 상기 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 상기 기준 진공도 이하로 유지할 수 있는 터보 펌프인 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 펌프진공유지펌프는 내부에 발열체가 구비되는 가열형 터보 분자 펌프인 것을 특징으로 하는 유기물 증착장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 기준 진공도는 10-3 Torr인 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 진공 펌프의 후방에서 상기 챔버 진공 펌프에 연결되어, 상기 챔버 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하는 챔버 건식 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 외부에 배치되어 상기 모노머 증착유닛으로 상기 모노머를 공급하는 모노머 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.
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