KR20160002214A - 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치 - Google Patents

모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20160002214A
KR20160002214A KR1020140081240A KR20140081240A KR20160002214A KR 20160002214 A KR20160002214 A KR 20160002214A KR 1020140081240 A KR1020140081240 A KR 1020140081240A KR 20140081240 A KR20140081240 A KR 20140081240A KR 20160002214 A KR20160002214 A KR 20160002214A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
monomer
substrate
cold air
vacuum chamber
collecting unit
Prior art date
Application number
KR1020140081240A
Other languages
English (en)
Inventor
이경철
윤종갑
Original Assignee
주식회사 선익시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 선익시스템 filed Critical 주식회사 선익시스템
Priority to KR1020140081240A priority Critical patent/KR20160002214A/ko
Publication of KR20160002214A publication Critical patent/KR20160002214A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

본 발명은 모노머 포집유닛 및 모노머 증착장치에 관한 것에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 분사되는 모노머(Monomer)를 포집하기 위한 모노머 포집유닛에 있어서, 냉기 공급을 위한 냉각원; 일측이 냉각원에 결합되고, 냉각원으로부터 공급된 냉기를 전달하는 냉기전달 부재; 및 기판에 대향되도록 냉기전달 부재의 타측에 결합되어, 분사된 모노머를 냉각하여 포집하는 냉각 플레이트를 포함하는, 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치가 제공된다.

Description

모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치{MONOMER COLLECYING UNIT AND MONOMER DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 모노머 포집유닛 및 모노머 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 모노머 증착공정 중 기판에 증착되지 않은 모노머를 포집하여 모노머가 기판 외에 다른 장비에 증착되는 것을 방지하기 위한 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있다.
그러나 유기 전계 발광소자는 유기물을 포함하기 때문에 수소나 산소에 취약하며, 캐소드 전극이 금속 재료로 형성되기 때문에 공기 중의 수분에 의해 쉽게 산화되어 전기적 특성 및 발광 특성이 열화된다. 그래서 이를 방지하기 위해 유기발광부를 인캡슐레이션(Encapsulation)하여 유기물로 이루어진 유기발광부가 산소 및 수분과 접촉되어 산화 또는 열화되는 것을 방지한다.
종래 인캡슐레이션 방법은 금속 또는 유리 재질로 이루어진 캡으로 유기발광부를 밀폐하였다. 그러나, 이러한 방법은 박형화가 어려울 뿐만 아니라, 금속이나 유리를 사용함으로써, 휘어지는 디스플레이를 구현하기 어려운 문제점이 있다. 최근에는 폴리머층(Polymer layer)과 무기물층(Inorganic layer)이 반복적으로 적층된 보호막을 유기발광부의 표면에 형성하는 방법이 제시된다. 이러한 방법은 무기물과 모노머(Monomer)를 다층으로 증착하면서 자외선(UV)으로 경화시켜서 모노머가 폴리머로 변환되게 하여 제조한다.
이러한 보호막을 형성하기 위한 종래의 모노머 증착장치는, 액상의 모노머가 담긴 용기로부터 모노머를 기화시켜서 내부공간이 형성된 증착유닛에 일정시간 저장하였다가 기판에 기체 상태의 모노머를 분사한다. 기판에 일정한 두께로 모노머가 증착되면, 기판을 경화하여 모노머가 폴리머로 변하게 된다.
상기와 같은 모노머 증착 과정에서 일부의 모노머 증기는 기판에 증착되고, 나머지 모노머 증기는 기판에 반사되거나 기판 주변으로 이동하여 진공챔버내의 다른 장비에 기생증착된다. 이러한 모노머의 기생증착으로 인한 오염에 의해 진공챔버내의 장비가 고장나거나 파손될 가능성이 있으며, 이러한 경우에는 해당 장비를 교체하여야 한다. 그리고, 이러한 유지보수 작업을 하는 동안에는 공정이 정지됨으로써, 생산성이 감소되는 문제점이 있다. 또한, 장비들의 교체 주기가 짧아질수록 비용이 증가되는 문제점이 있다.
한국공개특허 제10-2011-0046025호(2011.05.04 공개)
본 발명은 기판에 모노머를 증착시키는 과정에서 기판 외에 분사되는 모노머를 포집하여 기판에 증착되지 않은 모노머가 다른 장비에 증착되어 오염되는 것을 방지하기 위한 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 분사되는 모노머(Monomer)를 포집하기 위한 모노머 포집유닛에 있어서, 냉기 공급을 위한 냉각원; 냉각원에 일측이 결합되고, 냉각원으로부터 공급된 냉기를 전달하는 냉기전달 부재; 및 기판에 대향되도록 냉기전달 부재의 타측에 결합되어, 분사된 모노머를 냉각하여 포집하는 냉각 플레이트를 포함하는, 모노머 포집유닛이 제공된다.
또한, 냉각원은 크라이오 펌프(Cryo Pump)일 수 있다.
이때, 냉기전달 부재는 전도성 재질일 수 있다.
또한, 냉기전달 부재의 외주면에 구비되어 냉기전달 부재를 가열하는 히터를 더 포함할 수 있다.
또한, 냉각원과 상기 냉기전달 부재에 높이 조절 가능하게 결합되는 높이조절 부재를 더 포함할 수 있다.
이때, 높이조절 부재와 상기 냉기전달 부재 사이에 개재되어, 냉각원의 냉기를 냉기전달 부재에 전달하는 환형의 열전도 시트(sheet)를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 모노머를 증착하기 위한 증착장치로서, 진공챔버; 진공챔버의 내부에 위치하며 기판을 안착시켜 이송하는 기판 안착부; 기판에 대향하여 기판에 모노머를 분사하는 모노머 분사유닛; 진공챔버에 구비되며, 모노머 분사유닛에 의해 분사되는 모노머를 포집하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 모노머 포집유닛을 포함하는, 모노머 증착장치가 제공된다.
이때, 모노머 포집유닛은, 냉기전달 부재가 진공챔버를 관통하는 것에 의해 진공챔버 내에 위치할 수 있다.
이때, 모노머 포집유닛은, 기판의 이송방향에 대하여 상기 모노머 분사유닛의 전방 및 후방 배치될 수 있다.
이때, 모노머 포집유닛은, 냉각 플레이트가 모노머 분사유닛에 대향하도록 진공챔버 상부에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 모노머 포집유닛 및 모노머 증착장치는, 모노머 증착공정 중 기판에 증착되지 않은 모노머를 포집하여 모노머가 기판 외에 다른 장비에 증착되어 오염되는 것을 방지한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머 포집유닛을 포함하는 모노머 증착장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머 포집유닛의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머 포집유닛의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모노머 증착장치의 개략도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머(Monomer) 포집유닛을 포함하는 모노머 증착장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머 포집유닛의 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머 포집유닛의 단면도이다.
도 1 내지 도 3에는, 기판(10), 진공챔버(20), 기판 안착부(30), 셔터(50), 모노머 포집유닛(100), 냉각원(110), 냉기전달 부재(120), 히터(125), 냉각 플레이트(130), 높이조절 부재(150), 모노머 분사유닛(200), 모노머 챔버(210), 분사구(220), 플랜지(230)가 도시되어 있다.
도 1을 참조하여 본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)을 포함하는 모노머 증착장치에 대해 간략히 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)을 포함하는 모노머 증착장치는, 기판(10)에 모노머를 증착하기 위한 증착장치로서, 진공챔버(20); 진공챔버(20)의 내부에 위치하며 기판(10)을 안착시켜 이송하는 기판 안착부(30); 기판(10)에 대향하여 상기 기판(10)에 모노머를 분사하는 모노머 분사유닛(200); 및 진공챔버(20)에 구비되며, 분사유닛에 의해 분사되는 모노머를 포집하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)을 포함하여, 모노머 증착공정 중 기판(10) 외에 분사되는 모노머를 포집하여 모노머가 기판(10) 외에 다른 장비에 증착(이하, 편의상 ‘기생증착’이라 한다)되는 것을 방지할 수 있다.
진공챔버(20)는 내부가 진공으로 형성되고, 모노머가 증착될 기판(10)이 수용되며, 진공챔버(20)의 일측에는 기판(10)의 출입을 위한 출입부가 형성될 수 있다.
기판 안착부(30)는 진공챔버(20) 내부에 위치하고 기판(10)을 안착시켜 이송하면서, 기판(10)의 일면에 모노머 증발입자가 증착된다.
모노머 분사유닛(200)은 대향하도록 기판(10)에 배치되어 기판(10)에 모노머를 분사한다.
모노머 분사유닛(200)은 모노머 챔버(210), 분사구(220), 플랜지(230)를 포함할 수 있으며, 모노머 챔버(210)는 내부에 모노머를 수용하며, 분사구(220)를 통해 기판(10)을 향해 분사된다. 모노머 분사유닛(200)의 적어도 일부는 진공챔버(20) 내에 수용되고 기판(10)과 일정거리 이격되도록 배치된다. 즉, 모노머 분사유닛(200)에서 모노머가 분사되는 분사구(220)만 진공챔버(20) 내에 수용되고 나머지 부분은 진공챔버(20) 외부에 위치하는 것도 가능하고, 모노머 분사유닛(200) 전체가 진공챔버(20) 내부에 수용되는 것도 가능하다.
분사구(220) 주위에는 플랜지(230)가 형성될 수 있으며, 플랜지(230)는 후술할 모노머 포집유닛(100)의 냉각 플레이트(130)와 분사구(220)의 간극을 막아 모노머 분사유닛(200)으로부터 분사되는 모노머가 진공챔버(20) 하측의 다른 장비에 기생증착하는 것을 방지한다.
모노머 분사유닛(200)에 의한 모노머의 분사는 분사구(220)에 분사노즐(미도시)이 결합되어 분사노즐의 제어에 의해 이루어질 수 있으며, 분사구(220) 상측에 배치되는 셔터(50)가 분사구(220)의 개폐를 조절함으로써 모노머의 분사가 이루어질 수 있다.
본 실시예의 경우 분사구(220) 상측에 셔터(50)가 배치되어 분사구(220)의 개폐를 조절하는 경우를 중심으로 설명한다.
모노머 포집유닛(100)은 진공챔버(20)에 구비되며, 모노머 분사유닛(200)에 의해 분사되는 모노머를 포집한다.
모노머 분사유닛(200)은 진공챔버(20) 내부로 이송되는 기판(10)에 모노머를 증착시키기 위해 모노머를 기판(10)을 향해 분사하는데, 이때, 모노머 포집유닛(100)이 기판(10)에 증착되지 않고 기판(10)에 부딪혀 반사된 일부 모노머를 포집하여 기판(10) 외의 장비에 모노머가 기생증착하는 것을 방지하여, 기생증착에 의해 진공챔버(20)내 기판(10) 외의 다른 장비가 오염되는 것을 방지한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 모노머 포집유닛(100)은, 냉기 공급을 위한 냉각원(110); 냉각원(110)에 일측이 결합되고, 냉각원(110)으로부터 공급된 냉기를 전달하는 냉기전달 부재(120); 및 기판(10)에 대향되도록 냉기전달 부재(120)의 타측에 결합되어, 분사된 모노머를 냉각하여 포집하는 냉각 플레이트(130)를 포함하여, 모노머를 냉각하여 포집함으로써 분사된 모노머가 기판(10) 외에 다른 장비에 증착되는 것을 방지한다.
냉각원(110)은 냉기전달 부재(120)에 냉기를 공급하기 위한 것으로, 진공챔버(20) 내부 또는 외부에 구비될 수 있다. 냉각원(110)에 의해 공급되는 냉기는 후술할 냉기전달 부재(120)를 통해 냉각 플레이트(130)로 전달되고, 냉기에 의해 모노머가 냉각되어 응축되어 냉각 플레이트(130)에 포집되는 것이다.
냉각원(110)은 모노머의 냉각 플레이트(130)에서 응축을 고려하여 -120℃ 이하의 냉기를 공급할 수 있다.
본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)의 냉각원(110)은 크라이오 펌프(Cryo pump: 극저온 진공 펌프)일 수 있다. 크라이오 펌프는 냉매로 액체 질소 또는 압축된 헬륨을 이용하여 극저온을 형성하기 위한 진공 펌프로서, 냉각원(110)에 의해 공급되는 냉기의 온도를 저온으로 형성하는데 유리하다.
냉기전달 부재(120)는 일측이 냉각원(110)에 결합되고 타측이 냉각 플레이트(130)에 결합되며, 냉각원(110)으로부터 공급되는 냉기를 냉각 플레이트(130)로 전달한다.
본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)의 냉기전달 부재(120)는 대략 원기둥 형상일 수 있으며, 전도성 재질로 형성되어 냉각원(110)으로부터 전달되는 냉기를 냉각 플레이트(130)로 전달할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)의 냉기전달 부재(120) 외주면에는 히터(125)가 구비될 수 있다.
히터(125)는 모노머 포집유닛(100)의 관리 시에 냉각된 모노머 포집유닛(100)을 상온으로 가열하여, 유지보수시에 모노머 포집유닛(100)의 보수 또는 교체 작업을 용이하게 한다.
냉각 플레이트(130)는 이송되는 기판(10)에 대향되도록 냉기전달 부재(120)의 타측에 결합되어, 냉기전달 부재(120)로부터 공급되는 냉기를 이용하여 모노머를 냉각하여 포집한다.
냉각 플레이트(130)는 진공챔버(20) 내부에 복수로 구비될 수 있으며, 이웃하는 냉각 플레이트(130)와 간극 없이 서로 밀착되어 모노머가 진공챔버(20) 하부의 다른 장비로 기생증착 하지 않도록 측면이 직선인 사각형 형태로 형성될 수 있다.
냉각 플레이트(130)는 전도성 재질로 형성될 수 있으며, 기판(10)에 증착되지 않은 모노머를 냉기전달 부재(120)로부터 공급되는 냉기에 의해 냉각 응축하여 냉각 플레이트(130) 상면에 포집한다.
본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)은 냉각원(110)과 냉기전달 부재(120)에 높이조절 부재(150)를 더 포함할 수 있다.
높이조절 부재(150)는 냉각원(110)과 냉기전달 부재(120) 사이에 구비되며, 높이 조절 가능하게 결합되어 진공챔버(20) 내에 위치하는 냉각 플레이트(130)의 설치 높이를 조절한다.
진공챔버(20)에 모노머 포집유닛(100) 설치시 작업 환경에 따라 냉각 플레이트(130)의 설치 높이가 차이가 날 수 있고, 인접하는 냉각 플레이트(130)가 이격되는 경우 간극을 통해 모노머가 다른 장비로 기생증착될 수 있어 높이조절 부재(150)를 구비하여 인접하는 냉각 플레이트(130)를 밀착시킨다.
본 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)은 열전도 시트(127)를 더 포함할 수 있다.
열전도 시트(127)는 높이조절 부재(150)와 냉기전달 부재(120)의 접촉면 사이에 개재되어, 냉각원(110)을 통해 높이조절 부재(150)로 공급되는 냉기를 냉기전달 부재(120)로 공급한다.
열전도 시트(127)는 인듐(Indium) 재질로 형성될 수 있다.
열전도 시트(127)는, 높이조절 부재(150)와 냉기전달 부재(120) 사이에서 와셔(washer) 역할을 하여 체결압력을 분산시키고, 높이조절 부재(150)와 냉기전달 부재(120)의 접촉면이 밀착되도록 하며, 전도성이 높아 냉각원(110)을 통해 높이조절 부재(150)로 전달되는 냉기를 손실없이 높이조절 부재(150)로 전달할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)은 냉기전달 부재(120)가 진공챔버(20)를 관통하는 것에 의해 진공챔버(20) 내에 위치할 수 있다.
이러한 경우, 모노머 포집유닛(100)의 냉각 플레이트(130)와 냉기전달 부재(120)의 일부만이 진공챔버(20) 내부에 위치하고 나머지 구성은 진공챔버(20) 외부에 위치하게 되어, 기판(10)에 증착되지 않은 모노머가 냉각 플레이트(130) 외 모노머 포집유닛(100)의 다른 구성에 기생증착하는 것을 방지하여, 모노머 포집유닛(100)의 유지 관리가 용이하다.
본 발명의 실시예에 따른 모노머 포집유닛(100)은, 기판(10)의 이송방향에 대하여 모노머 분사유닛(200)의 전방 및 후방에 배치될 수 있으며, 이러한 경우 모노머 분사유닛(200)에 의해 분사된 모노머가 기판(10)에 증착되지 않고, 하방으로 반사되는 경우 모노머를 포집할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 모노머 증착장치의 개략도이다.
도 4에는, 기판(10), 진공챔버(20), 기판 안착부(30), 셔터(50), 모노머 포집유닛(100), 모노머 분사유닛(200), 모노머 챔버(210), 분사구(220), 플랜지(230)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 모노머 증착장치는, 냉각 플레이트(130)가 모노머 분사유닛(200)에 대향하도록 진공챔버(20) 상부에 모노머 포집유닛(100)이 배치된다.
본 실시예에 따른 모노머 증착장치는 모노머 포집유닛(100)의 배치를 제외하고는 앞선 실시예의 모노머 증착장치와 동일하고, 동일한 구성에 관하여는 앞선 실시예의 설명에 갈음한다.
본 실시예에 따른 모노머 증착장치의 모노머 포집유닛(100)은 진공챔버(20) 상부에 냉각 플레이트(130)가 모노머 분사유닛(200)의 분사구(220)에 대향하도록 위치한다.
모노머 증착은 기판(10)이 분사구(220) 상부를 지나가는 과정 동안 이루어지는데, 기판(10)이 통과한 후 셔터(50)의 폐쇄 또는 분사노즐의 제어가 늦은 경우 모노머가 진공챔버(20) 상부 방향으로 분사되어 진공챔버(20) 상부의 다른 장비에 모노머가 기생증착할 수 있다.
모노머 포집유닛(100)이 진공챔버(20) 상부에 배치되는 경우, 모노머가 진공챔버(20) 상부의 결합되는 다른 장비에 기생증착하는 것을 방지한다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
10: 기판 20: 진공챔버
30: 기판 안착부 50: 셔터
100: 모노머 포집유닛 110: 냉각원
120: 냉기전달 부재 125: 히터
127: 열전도 시트(sheet) 130: 냉각 플레이트
150: 높이조절 부재 200: 모노머 분사유닛
210: 모노머 챔버 220: 분사구
230: 플랜지

Claims (10)

  1. 기판에 분사되는 모노머(Monomer)를 포집하기 위한 모노머 포집유닛에 있어서,
    냉기 공급을 위한 냉각원;
    상기 냉각원에 일측이 결합되고, 상기 냉각원으로부터 공급된 냉기를 전달하는 냉기전달 부재; 및
    상기 기판에 대향되도록 상기 냉기전달 부재의 타측에 결합되어, 상기 분사된 모노머를 냉각하여 포집하는 냉각 플레이트를 포함하는, 모노머 포집유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 냉각원은 크라이오 펌프(Cryo Pump)인 것을 특징으로 하는, 모노머 포집유닛.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 냉기전달 부재는 전도성 재질인 것을 특징으로 하는, 모노머 포집유닛.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 냉기전달 부재의 외주면에 구비되어 냉기전달 부재를 가열하는 히터를 더 포함하는, 모노머 포집유닛.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 냉각원과 상기 냉기전달 부재에 높이 조절 가능하게 결합되는 높이조절 부재를 더 포함하는, 모노머 포집유닛.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 높이조절 부재와 상기 냉기전달 부재 사이에 개재되어,
    상기 냉각원의 냉기를 상기 냉기전달 부재에 전달하는 환형의 열전도 시트(sheet)를 더 포함하는, 모노머 포집유닛.
  7. 기판에 모노머를 증착하기 위한 증착장치로서,
    진공챔버;
    상기 진공챔버의 내부에 위치하며 상기 기판을 안착시켜 이송하는 기판 안착부;
    상기 기판에 대향하도록 배치되어 상기 기판에 모노머를 분사하는 모노머 분사유닛; 및
    상기 진공챔버에 구비되며, 상기 모노머 분사유닛에 의해 분사되는 모노머를 포집하기 위한 상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 모노머 포집유닛을 포함하는, 모노머 증착장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 모노머 포집유닛은,
    상기 냉기전달 부재가 상기 진공챔버를 관통하는 것에 의해 상기 진공챔버 내에 위치하는 것을 특징으로 하는, 모노머 증착장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 모노머 포집유닛은,
    상기 기판의 이송방향에 대하여 상기 모노머 분사유닛의 전방 및 후방 배치되는 것을 특징으로 하는, 모노머 증착장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 모노머 포집유닛은,
    상기 냉각 플레이트가 상기 모노머 분사유닛에 대향하도록 상기 진공챔버 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는, 모노머 증착장치.
KR1020140081240A 2014-06-30 2014-06-30 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치 KR20160002214A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140081240A KR20160002214A (ko) 2014-06-30 2014-06-30 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140081240A KR20160002214A (ko) 2014-06-30 2014-06-30 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20160002214A true KR20160002214A (ko) 2016-01-07

Family

ID=55168901

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140081240A KR20160002214A (ko) 2014-06-30 2014-06-30 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20160002214A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200010655A (ko) 2018-06-29 2020-01-31 (주)기술공감 영상에서 객체를 인식하는 방법 및 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110046025A (ko) 2009-10-28 2011-05-04 주식회사 에스에프에이 유기물 증착 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110046025A (ko) 2009-10-28 2011-05-04 주식회사 에스에프에이 유기물 증착 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200010655A (ko) 2018-06-29 2020-01-31 (주)기술공감 영상에서 객체를 인식하는 방법 및 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100666574B1 (ko) 증발원
KR101223489B1 (ko) 기판 가공 장치
KR101174874B1 (ko) 증착 소스, 박막 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
US20120080671A1 (en) Organic el display device and method for manufacturing the same
US20170081755A1 (en) Evaporation source for organic material
US20190148642A1 (en) Methods of operating a deposition apparatus, and deposition apparatus
KR20120111980A (ko) 증착 장치
US20170092899A1 (en) Evaporation source for organic material
KR20110052469A (ko) 진공 증착 장치, 진공 증착 방법 및 유기 ｅｌ 표시 장치의 제조 방법
US8889551B2 (en) Depositing device and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
US20180114953A1 (en) Method of producing organic electroluminescent display device by using vapor deposition device
US8709837B2 (en) Deposition apparatus and method for manufacturing organic light emitting diode display using the same
CN104328377A (zh) 蒸发源、成膜设备及其成膜方法
JP5557817B2 (ja) 蒸発源および成膜装置
US20140014036A1 (en) Deposition particle emitting device, deposition particle emission method, and deposition device
KR101983009B1 (ko) 증발원 및 이를 구비한 진공 증착 장치
KR20160002214A (ko) 모노머 포집유닛 및 이를 포함하는 모노머 증착장치
JP2012214834A (ja) 真空蒸着装置および有機ｅｌ表示装置の製造方法
KR101599505B1 (ko) 증착장치용 증발원
US9410237B2 (en) Thin film deposition apparatus
CN101385396A (zh) 发光元件、发光元件的制造方法和基板处理装置
KR20080098813A (ko) 캐니스터 온도조절장치, 유기물 공급라인 및 이를 이용한유기물 증착장치
KR100685808B1 (ko) 유기물 증발장치
KR101649739B1 (ko) 리니어 증발 소스
KR102244073B1 (ko) 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
E90F Notification of reason for final refusal
AMND Amendment