KR101113232B1 - 포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법 - Google Patents

Abstract

포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법이 개시된다. 케이스와, 케이스의 일측에 결합되며, 카운트 대상이 되는 복수의 웨이퍼가 거치되는 거치부와, 케이스의 일측에 천공되는 촬영홀과, 케이스에 내장되며, 촬영홀을 통해 복수의 웨이퍼를 촬영하여 이미지를 획득하는 촬영부와, 이미지를 프로세싱하여 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 처리부와, 케이스의 표면에 노출되도록 결합되며, 웨이퍼의 수에 상응하는 카운트 정보를 출력하는 출력부를 포함하는 포터블 웨이퍼 카운터는, 하나의 장치 내에 웨이퍼 거치대, 조명, 카메라, 이미지 프로세서, 터치스크린 모니터를 통합적으로 일체화하여 구성함으로써 웨이퍼 카운터의 가동성(portability)이 획기적으로 개선되고, 장치의 사용법이 간단하여 현장에서 손쉽게 웨이퍼 카운팅을 할 수 있으며, 이미지 프로세싱 결과를 모니터에 출력하고 작업자가 그 오류를 실시간으로 확인, 수정하여 카운트 결과를 업데이트 할 수 있도록 함으로써, 웨이퍼 카운팅의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

포터블, 웨이퍼, 카운트

Description

포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법{Portable wafer counter and method for wafer counting}

본 발명은 포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법에 관한 것이다.

웨이퍼(wafer)는 반도체 소자나 솔라셀(solar cell) 등 전자 부품을 제조하는 데에 사용되는 기판(基板)이 되는 재료로서, 실리콘 반도체 소재의 종류 결정을 원주상에 성장시킨 주괴를 얇게 깎아 원판 형상으로 형성된다.

웨이퍼를 가공하여 전자 부품을 제조하는 공정은 사진공정, 식각공정, 증착공정, 세정공정, 패키징공정 등 다수의 세부 공정으로 이루어지며, 이러한 공정의 진행과정에서 다량의 웨이퍼를 박스나 카세트에 담아 한꺼번에 이송, 처리하는 방법이 많이 사용되고 있다.

따라서, 각 공정의 이전 또는 이후에 다량의 웨이퍼의 수를 카운트(count)하여 원하는 수의 웨이퍼가 공급되었는지(전수검사), 공급된 수의 웨이퍼가 제대로 처리되었는지(오류검사), 처리된 수의 웨이퍼가 출하되는지(출하검사)의 여부를 확인할 필요가 있다.

이러한 웨이퍼의 카운팅(counting)에 사용되는 종래의 웨이퍼 카운 터(counter)는, 웨이퍼를 거치하여 촬영하는 부분과 촬영된 이미지를 분석하여 그 수를 카운팅하는 부분이 별개의 장치로 분리되어 있어, 장치 구성이 복잡하고 가동성(portability)이 떨어져 현장에서 손쉽게 사용하기 곤란하며, 이미지 분석 결과에 대한 신뢰성이 의심될 경우 작업자가 실시간으로 분석 결과를 보정할 수 없다는 문제가 있었다.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명은, 장치의 구성 및 사용법이 간단하여 가동성이 우수하고 어디에서나 손쉽게 사용할 수 있으며, 분석 결과를 작업자가 실시간으로 확인, 수정하여 신뢰성 높은 카운팅 결과를 도출할 수 있는 포터블 웨이퍼 카운터 및 웨이퍼 카운팅 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 케이스와, 케이스의 일측에 결합되며, 카운트 대상이 되는 복수의 웨이퍼가 거치되는 거치부와, 케이스의 일측에 천공되는 촬영홀과, 케이스에 내장되며, 촬영홀을 통해 복수의 웨이퍼를 촬영하여 이미지를 획득 하는 촬영부와, 이미지를 프로세싱하여 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 처리부와, 케이스의 표면에 노출되도록 결합되며, 웨이퍼의 수에 상응하는 카운트 정보를 출력하는 출력부를 포함하는 포터블 웨이퍼 카운터가 제공된다.

거치부는, 폐쇄시에는 촬영홀을 커버하고, 개방시에는 거치부의 베이스를 이루도록 케이스의 일측에 개폐가능하도록 결합되는 덮개와, 덮개가 개방되었을 때 덮개에 장착되며, 복수의 웨이퍼의 측면이 촬영홀에 면하도록 웨이퍼를 지지하는 거치대를 포함할 수 있다. 거치대는 덮개가 폐쇄되었을 때에는 덮개로부터 분리되어 케이스의 일면에 결합될 수 있다.

또한, 거치대에 결합되며, 거치대에 복수의 웨이퍼가 안착된 상태에서 복수의 웨이퍼를 가압하여 복수의 웨이퍼 간의 공극을 제거하기 위한 지그를 더 포함할 수 있으며, 지그는 거치대로부터 분리되어 케이스의 일면에 결합될 수 있다.

복수의 웨이퍼의 측면을 향하여 광을 조사하는 조명부를 더 포함할 수 있다. 조명부는, 촬영홀의 외주부에 결합되며 복수의 웨이퍼의 측면에 대해 경사진 방향에서 광을 조사하는 경사조명과, 복수의 웨이퍼의 측면에 직교하는 방향에서 광을 조사하는 수평광조명을 포함할 수 있다.

출력부는, 이미지 및 이미지를 프로세싱하여 인식된 복수의 웨이퍼 간의 간극에 상응하는 간극 정보를 표시할 수 있다. 이 경우, 출력부는 터치스크린 감응방식의 디스플레이를 포함하며, 터치스크린 감응방식에 따른 사용자 입력에 의해 간극 정보가 수정될 수 있으며, 카운트 정보는 수정된 간극 정보를 반영하여 갱신될 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 케이스의 일측에 촬영홀이 천공되고, 케이스 내에 촬영부 및 처리부가 수용되며, 케이스의 표면에 노출되는 출력부를 포함하는 웨이퍼 카운터를 사용하여 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 방법으로서, (a) 케이스의 일측에 거치부를 결합하는 단계, (b) 거치부에 복수의 웨이퍼를 거치하는 단계, (c) 촬영홀을 통해 복수의 웨이퍼의 측면을 촬영하여 이미지를 획득하는 단계, (d) 이미지를 프로세싱하여 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 단계, 및 (e) 출력부에 웨이퍼의 수에 상응하는 카운트 정보를 출력하는 단계를 포함하는 웨이퍼 카운팅 방법이 제공된다.

단계 (a)는, (a1) 촬영홀을 커버하도록 케이스의 일측에 개폐가능하도록 결합되는 덮개를 개방하는 단계, 및 (a2) 덮개에 복수의 웨이퍼를 지지하는 거치대를 장착하는 단계를 포함할 수 있다. 이 경우, 단계 (b)는, (b1) 복수의 웨이퍼의 측면이 촬영홀에 면하도록 웨이퍼를 거치대에 안착시키는 단계를 포함할 수 있으며, 단계 (b1) 이후에, (b2) 거치대에 지그를 결합하여, 안착된 복수의 웨이퍼를 가압함으로써, 복수의 웨이퍼 간의 공극을 제거하는 단계를 더 포함할 수 있다.

단계 (c) 이전에, 복수의 웨이퍼의 측면에 대해 경사진 방향 및 복수의 웨이퍼의 측면에 직교하는 방향에서 광을 조사하는 단계를 더 포함할 수 있다.

단계 (d) 이후에, (d1) 출력부에 이미지 및 이미지를 프로세싱하여 인식된 복수의 웨이퍼 간의 간극에 상응하는 간극 정보를 표시하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 단계 (d1) 이후에, (d2) 사용자 입력에 의해 수정되는 간극 정보를 반영하여 카운트 정보를 갱신하는 단계를 더 포함할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 잇점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 하나의 장치 내에 웨이퍼 거치대, 조명, 카메라, 이미지 프로세서, 터치스크린 모니터를 통합적으로 일체화하여 구성함으로써 웨이퍼 카운터의 가동성(portability)이 획기적으로 개선되고, 장치의 사용법이 간단하여 현장에서 손쉽게 웨이퍼 카운팅을 할 수 있으며, 이미지 프로세싱 결과를 모니터에 출력하고 작업자가 그 오류를 실시간으로 확인, 수정하여 카운트 결과를 업데이트 할 수 있도록 함으로써, 웨이퍼 카운팅의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 포터블 웨이퍼 카운터를 나타낸 사시도이다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 케이스(1), 웨이퍼(3), 거치부(10), 덮개(12), 거치대(14), 지그(16), 조명부(20), 촬영홀(30), 출력부(40)가 도시되어 있다.

본 실시예는 복수로 적재된 웨이퍼의 측면을 촬영하여 획득된 이미지를 프로세싱(processing)함으로써 웨이퍼의 수를 카운팅하는 장치로서, 하나의 장치 내에 웨이퍼 거치부(10), 조명, 카메라, 프로세서, 디스플레이, 입력부 등을 통합하여 일체화된 장치로 구현함으로써 장치의 가동성(portability)을 향상시킨 것을 특징으로 한다.

즉, 본 실시예에 따른 포터블 웨이퍼 카운터는 케이스(1)에 거치부(10), 촬영부, 처리부 및 입출력부가 통합적으로 일체화되어 있다. 케이스(1)는 도 1 내지 도 3에 도시된 것과 같은 형태로 형성될 수 있으며, 이 외에도 웨이퍼 카운터의 각 기능이 통합적으로 일체화될 수 있는 다양한 형태로 구현될 수도 있다.

거치부(10)는 카운트 대상이 되는 복수의 웨이퍼(3)가 거치되는 부분으로서, 본 실시예에 따른 거치부(10)는 케이스(1)의 일측에 결합된다. 본 실시예에 따른 거치부(10)는 장치의 가동성을 극대화시키기 위해, 도 1에 도시된 것처럼 케이스(1)의 일측을 덮고 있는 덮개(12)와 케이스(1)의 상면에 결합되어 있는 거치대(14)로 구성할 수 있다.

덮개(12)는 평소에는 촬영홀(30)을 커버하도록 폐쇄되어 있으며, 장치를 사용할 경우에는, 도 2에 도시된 것처럼, 촬영홀(30)이 노출되도록 함과 동시에 덮개(12)가 거치부(10)의 베이스를 이루도록 덮개(12)를 개방한다. 개방된 덮개(12)에 거치대(14)를 올려놓음으로써 거치부(10)가 완성된다. 거치대(14)는 평소에는 케이스(1)의 상면에 결합되어 있다가 거치부(10)를 구성할 때에는 개방된 덮개(12) 위에 장착된다.

반대로, 장치의 사용이 종료된 후에는, 거치대(14)를 덮개(12)로부터 분리하여 케이스(1)의 상면에 결합하고, 덮개(12)를 덮어 촬영홀(30)이 폐쇄되도록 함과 동시에 장치가 이동가능한 상태가 되도록 할 수 있다. 이처럼, 본 실시예에 따른 거치부(10)는 케이스(1)에 결합되어 있는 덮개(12)와 거치대(14)를 사용하여 구성할 수 있어, 장치의 가동성을 극대화한 점에 그 특징이 있다.

덮개(12)에 의해 폐쇄 또는 개방되는 케이스(1)의 일면에는 촬영홀(30)이 천공되어 있다. 이처럼, 덮개(12)에 의해 폐쇄, 개방되는 면에 촬영홀(30)을 천공함으로써, 평소에는 촬영홀(30)을 통해 이물질이 들어가지 않도록 보호할 수 있고, 사용시에는 거치대(14)에 웨이퍼(3)를 올려놓고 곧바로 촬영을 할 수 있다는 장점이 있다.

촬영홀(30)은 장치 내에 수용된 촬영부에서 장치 외부에 거치되는 웨이퍼(3)를 촬영할 수 있도록 하는 광학적 통로 역할을 하는 구성요소로서, 따라서 거치대(14) 상에 복수의 웨이퍼(3)를 거치할 때에는 웨이퍼(3)의 측면이 촬영홀(30)을 향하도록 함으로써 촬영부에서 거치된 웨이퍼(3)의 측면 이미지를 용이하게 획득하도록 할 수 있다.

한편, 웨이퍼는 가공에 따라, 및/또는 취급 과정에서의 변형에 따라 완전한 평판 형상을 유지하지 못할 수 있으며, 이에 따라 복수의 웨이퍼를 적재하게 되면 각 사이에 공극이 존재할 수 있다. 경우에 따라서는 각 웨이퍼 사이에 이물질이 삽입되어 웨이퍼 사이에 공극이 존재하는 경우도 배제할 수 없다.

이 경우, 복수의 웨이퍼를 단순히 거치대(14) 상에 올려놓게 되면, 적재된 웨이퍼의 측면 이미지에는 웨이퍼 간의 공극도 촬영되게 되고, 이는 결과적으로 카운팅 결과에 오류를 발생시키는 원인이 될 수 있다.

따라서, 본 실시예에 따른 거치부(10)에는 적재된 복수의 웨이퍼(3)를 눌러 웨이퍼(3) 간의 공극을 제거하기 위한 지그(16)가 더 설치될 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 것처럼, 거치대(14)에 지그(16)를 결합하고, 지그(16)에 의해 거치대(14)에 안착된 복수의 웨이퍼(3)가 가압되도록 함으로써, 웨이퍼(3) 간의 공극이 제거되어 웨이퍼(3)의 측면 영상에 공극이 포함되지 않도록 할 수 있다. 이로써, 웨이퍼(3)의 측면 영상을 분석하여 웨이퍼(3)의 수를 카운팅한 결과의 신뢰도가 향상될 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 지그(16)는 거치대(14)와 마찬가지로 평소에는 케이스(1)에 결합되도록 하여 장치의 가동성을 극대화시키고, 사용할 때에는 케이스(1)로부터 분리하여 거치대(14)에 결합하여 지그(16)로서 사용할 수 있다. 본 실시예에 따른 지그(16)가 반드시 도 3에 도시된 형상 및 구조로 구성되어야 하는 것은 아니며, 거치대(14) 상에 적재된 웨이퍼(3)를 가압하여 웨이퍼(3) 간의 공극을 제거할 수 있는 범위 내에서 다양한 형상 및 구조의 지그(16)가 사용될 수도 있음은 물론이다.

케이스(1) 내에는 촬영부 및 처리부가 내장된다. 촬영부(미도시)는 촬영홀(30)을 통해 웨이퍼(3)를 촬영하여 이미지를 획득하는 구성요소로서, 에어리어 스캔(area-scan) 방식의 CMOS 카메라 등이 사용될 수 있다. 처리부(미도시)는 촬영 부에 의해 획득된 영상을 이미지 프로세싱하여 웨이퍼(3)의 수에 관한 정보를 생성하는 구성요소로서, 마이크로프로세서(microprocessor) 등이 사용될 수 있다.

다만, 본 실시예에 따른 촬영부와 처리부가 반드시 전술한 예와 같이 구현되어야만 하는 것은 아니며, 각 기능을 수행하는 범위 내에서 다양한 방식으로 구현될 수도 있음은 물론이다.

케이스(1)에는 출력부(40)가 결합되며, 출력부(40)는 외부에서 확인할 수 있도록 케이스(1)의 표면으로 노출되도록 결합될 수 있다. 출력부(40)는 처리부에서 생성된 웨이퍼(3)의 수에 관한 카운팅 결과를 출력하는 역할을 하는 구성요소로서, CRT, LCD, PDP, LED 등 다양한 방식의 디스플레이 장치가 사용될 있다.

나아가, 본 실시예에 따른 출력부(40)는 터치스크린 감응방식의 디스플레이 형태로 구현될 수 있는데, 이 경우 본 실시예에 따른 출력부(40)는 입력부의 역할도 겸비할 수 있어, 장치의 가동성이 더욱 향상되도록 할 수 있다.

이로써, 도 1 내지 도 3에 도시된 것처럼, 하나의 장치 내에 거치부, 촬영부, 처리부, 입출력부가 통합된 포터블 웨이퍼 카운터가 구현될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명부를 나타낸 개념도이다. 도 4를 참조하면, 웨이퍼(3), 거치부(10), 조명부(20), 경사조명(22), 수평광조명(24), 촬영홀(30), 촬영부(32), 처리부(34)가 도시되어 있다.

웨이퍼 카운팅을 위해서는 웨이퍼(3)의 측면을 촬영하여 이미지를 획득하게 되는데, 이 과정에서 웨이퍼(3)의 측면에 조사되는 조명에 따라 획득된 이미지의 품질이 달라지며, 이는 이미지 프로세싱 결과, 즉 웨이퍼 카운팅 결과에 직접적인 영향을 미치는 요인이 된다.

따라서, 본 실시예에 따른 웨이퍼 카운터는 이미지의 품질을 높이기 위해 웨이퍼(3)의 측면을 향하여 다양한 방향에서 광이 조사되도록 한 점에 특징이 있다. 즉, 본 실시예에 따른 케이스(1)에는 복수의 웨이퍼(3)의 측면을 향하여 광을 조사하는 조명부(20)가 설치되며, 조명부(20)는 웨이퍼(3)의 측면에 대해 경사진 방향에서 광을 조사하는 경사조명(22)과, 웨이퍼(3)의 측면에 직교하는 방향에서 광을 조사하는 수평광조명(24)으로 이루어질 수 있다.

도 4에 도시된 것처럼, 촬영홀(30)의 외주부를 따라 경사조명(22)을 설치하고 이로부터 웨이퍼(3)의 측면을 향하여 경사진 방향으로 광을 조사하도록 함과 동시에, 케이스(1) 내에 수평광조명(24)을 설치하고 이로부터 웨이퍼(3)의 측면에 대하여 수직 방향으로 광을 조사하도록 함으로써, 웨이퍼(3)의 측면에 대한 이미지에서 각 웨이퍼의 이미지와 웨이퍼 사이의 간극의 이미지가 명확하게 구별되도록 이미지의 품질을 높일 수 있다.

예를 들어, 가공 전 웨이퍼의 경우 수평광조명(24)만을 조사하여 웨이퍼 측면의 이미지를 촬영하면 각 웨이퍼의 측면이 밝은 색으로 촬영되고, 가공 후 웨이퍼(예를 들면, 솔라셀 기판)의 경우 수평광조명(24)만을 조사하여 웨이퍼 측면의 이미지를 촬영하면 반대로 각 웨이퍼의 측면이 어두운 색으로 촬영되는데, 이에 대해 본 실시예에서와 같이 수평광조명(24)에 경사조명(22)을 조합하여 사용하면, 어느 경우든 웨이퍼의 측면은 밝은 색으로, 각 웨이퍼 간의 간극은 어두운 색으로 촬영되도록 할 수 있어, 촬영된 이미지의 품질을 높일 수 있는 것이다.

본 실시예에 따른 수평광조명(24)이 광을 수직 방향으로 조사한다는 것은, 수학적인 의미에서 엄밀하게 90도의 방향에서 광을 조사하는 것뿐만 아니라, 실질적으로 웨이퍼(3)의 측면에 대향(對向)하도록 광을 조사하는 것을 의미함은 물론이다.

이상과 같이, 웨이퍼와 웨이퍼가 아닌 부분이 이미지 상에서 명확하게 구별되도록 함으로써, 이미지 프로세싱의 결과, 즉 웨이퍼 카운팅의 결과의 신뢰성을 높일 수 있다.

이처럼, 본 실시예에 따른 웨이퍼 카운터는 웨이퍼(3)에 대하여 선명하고 명확하게 구별되는 이미지를 획득할 수 있어, 거치대(14) 상에 복수의 웨이퍼(3)를 거치할 수 있을 뿐만 아니라, 복수의 웨이퍼(3)가 적재된 박스채로 거치대(14)에 올려놓는 것도 가능하다.

즉, 복수의 웨이퍼(3)가 적재된 박스를 거치대(14)에 올려놓더라도, 촬영부(32)에 의해 획득된 이미지 상에서는 웨이퍼(3)와 박스의 영상이 확연히 구분되도록, 즉 웨이퍼(3)와 박스 간의 영상 경계가 분명하게 되도록 이미지를 획득할 수 있다.

이와 같이 선명한 이미지의 획득은 반드시 전술한 경사조명(22)-수평광조명(24)의 조합에 의해서만 구현되어야 하는 것은 아니며, 거치부(10)의 구조, 웨이퍼(3) 및 박스의 형태 및 구조 등을 적절히 조절하여 보다 선명한 이미지가 얻어지도록 할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 출력부에 표시된 화면을 나타낸 도면이 다.

이상과 같이 본 실시예에 따른 웨이퍼 카운터는 웨이퍼(3)의 측면 이미지를 촬영하고 분석하여, 적재된 웨이퍼(3)의 수를 카운팅하며, 그 결과는 출력부(40)를 통해 출력된다.

본 실시예에 따른 출력부(40)는 도 1 내지 도 3에 도시된 것처럼, 케이스(1)의 일부에 결합되는데, 이를 통해 촬영된 이미지 및/또는 이미지를 프로세싱하여 얻어진 정보를 표시하도록 할 수 있다.

이미지를 프로세싱하여 얻어진 정보로는 웨이퍼(3)의 수를 표시할 수도 있으며, 웨이퍼(3)의 수를 표시하기 전에 카운팅의 오류 여부를 검사하기 위해, 처리부(34)에 의해 인식된 각 웨이퍼(3) 간의 간극에 관한 정보를 표시하도록 할 수 있다.

간극에 관한 정보는 촬영된 이미지에서 간극에 해당하는 부분을 표시한 정보, 및/또는 촬영된 이미지에서 웨이퍼(3)에 해당하는 부분을 표시한 정보 등이 해당될 수 있다. 예를 들어, 도 5에 도시된 것처럼, 촬영된 이미지에서 웨이퍼 영역(도 5의 A)과 박스가 촬영된 영역(도 5의 B)을 구별하고, 웨이퍼 영역에서 웨이퍼에 해당하는 부분은 '-'과 같이, 간극에 해당하는 부분은 공백으로 표시하도록 분석하여(도 5의 C), 전체적으로 '-------...'과 같은 표시가 카운팅된 수(도 5의 D)와 함께 출력되도록 할 수 있다.

이와 같이 카운팅 결과를 출력하기 전에 이미지 및 그에 대한 프로세싱 결과를 사전에 보여줌(visualization)으로써, 사용자가 처리부(34)에서 제대로 이미지 분석을 했는지, 나아가 제대로 카운팅을 했는지를 다시 한 번 육안으로 확인할 수 있는, 이른바 '오류검사'를 할 수 있다.

더 나아가, 출력부(40)에 표시된 이미지 분석 결과에 대해 사용자가 표시된 정보를 수정할 수 있도록 하고, 수정된 정보가 반영되어 최종적으로 웨이퍼 카운팅 결과가 업데이트 되도록 함으로써, 오류검사가 실효성을 갖도록 할 수 있으며, 웨이퍼 카운팅의 신뢰성을 제고할 수 있다.

출력부(40)에 표시된 이미지 분석 결과에 대한 수정은, 별도의 입력수단에 의해 수행할 수도 있으나, 전술한 바와 같이 출력부(40)를 터치스크린 감응방식의 디스플레이 장치로 구현하고, 터치스크린 방식에 따른 사용자 입력에 의해 수정이 이루어지도록 함으로써, 장치의 가동성뿐만 아니라 오류검사를 더욱 직관적으로 수행할 수 있다는 장점이 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카운팅 방법을 나타낸 순서도이다.

본 실시예는, 하나의 케이스(1)에 모든 구성요소가 통합적으로 일체화된, 전술한 웨이퍼 카운터를 사용하여 복수의 웨이퍼(3)의 수를 카운팅하는 방법에 관한 것으로, 먼저 웨이퍼(3)의 적재를 위한 구성요소인 거치부(10)를 케이스(1)의 일측에 결합한다(S10).

도 1 내지 도 3에 도시된 것처럼, 본 실시예에 따른 거치부(10)는 케이스(1)에 결합된 덮개(12)를 개방하고(S12), 개방된 덮개(12)에 거치대(14)를 장착함으로써(S14) 구현될 수 있다. 본 실시예에 따른 덮개(12)는 촬영홀(30)을 커버하도록 커버의 일측에 개폐가능하도록 결합됨은 전술한 바와 같다.

다음으로, 거치부(10)에 카운트할 대상이 되는 복수의 웨이퍼(3)를 거치한다(S20). 웨이퍼 카운팅은 웨이퍼(3)의 측면을 촬영하여 획득된 이미지를 분석하는 작업이므로, 웨이퍼(3)를 거치할 때에는 복수의 웨이퍼(3)의 측면이 촬영홀(30)을 향하도록 웨이퍼(3)를 거치대(14)에 안착시키며(S22), 웨이퍼(3)를 안착시킨 후에는 거치대(14)에 결합된 지그(16)를 사용하여 웨이퍼(3)를 눌러줌으로써 웨이퍼(3) 사이에 존재할 수 있는 공극을 제거하는 것이 좋다(S24).

웨이퍼(3)가 안착, 가압된 상태에서 웨이퍼(3)의 측면을 촬영하기 위해 웨이퍼(3)의 측면을 향하여 조명을 조사할 수 있다. 전술한 바와 같이 보다 높은 품질의 이미지를 획득하기 위해 웨이퍼(3)의 측면에 대해 경사진 방향 및 직교하는 방향에서 조명 광이 조사되도록 할 수 있다(S28).

조명이 조사되는 상태에서 웨이퍼(3)의 측면을 촬영하여 이미지를 획득한다(S30). 이미지의 촬영에는 에어리어 스캔 방식의 CMOS 카메라 등이 사용될 수 있음은 전술한 바와 같다.

다음으로, 획득된 이미지를 프로세싱하여 웨이퍼(3)의 수를 카운팅한다(S40). 나아가 본 실시예에서는 이미지 카운팅 결과의 신뢰성을 높이기 위해, 카운팅 결과를 출력하기 전에 오류검사를 수행할 수 있음은 전술한 바와 같다.

즉, 출력부(40)에 촬영된 이미지 및 이미지 프로세싱 결과를 표시한다(S42). 이미지 프로세싱 결과에는 복수의 웨이퍼(3) 및/또는 웨이퍼(3) 간의 간극을 인식한 정보가 포함될 수 있다. 다음으로, 표시된 결과에 대해 사용자가 입력을 통해 분석 결과를 수정하도록 하고, 그 수정 결과를 반영하여 웨이퍼 카운팅 결과를 갱신한다(S44).

마지막으로 출력부(40)를 통해 웨이퍼 카운팅 결과, 즉 웨이퍼(3)의 수를 출력하여(S50) 웨이퍼 카운팅을 완료한다.

상술한 본 실시예에 따른 웨이퍼 카운팅 방법은 기록매체에 저장된 후 소정의 장치, 예를 들면, 포터블 웨이퍼 카운터와 결합하여 수행될 수 있다. 여기서, 기록매체는 하드 디스크, 비디오테이프, CD, VCD, DVD와 같은 자기 또는 광 기록매체이거나 또는 오프라인 또는 온라인상에 구축된 클라이언트 또는 서버 컴퓨터의 데이터베이스일 수도 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 포터블 웨이퍼 카운터를 나타낸 사시도.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명부를 나타낸 개념도.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 출력부에 표시된 화면을 나타낸 도면.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 카운팅 방법을 나타낸 순서도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 케이스 3 : 웨이퍼

10 : 거치부 12 : 덮개

14 : 거치대 16 : 지그

20 : 조명부 22 : 경사조명

24 : 수평광조명 30 : 촬영홀

32 : 촬영부 34 : 처리부

40 : 출력부

Claims (17)

1. 케이스와;

   상기 케이스의 일측에 결합되며, 카운트 대상이 되는 복수의 웨이퍼가 거치되는 거치부와;

   상기 케이스의 일측에 천공되는 촬영홀과;

   상기 케이스에 내장되며, 상기 촬영홀을 통해 상기 복수의 웨이퍼를 촬영하여 이미지를 획득하는 촬영부와;

   상기 이미지를 프로세싱하여 상기 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 처리부와;

   상기 케이스의 표면에 노출되도록 결합되며, 상기 웨이퍼의 수에 상응하는 카운트 정보를 출력하는 출력부를 포함하되,

   상기 거치부는,

   폐쇄시에는 상기 촬영홀을 커버하고, 개방시에는 상기 거치부의 베이스를 이루도록 상기 케이스의 일측에 개폐가능하도록 결합되는 덮개와;

   상기 덮개가 개방되었을 때 상기 덮개에 장착되며, 상기 복수의 웨이퍼의 측면이 상기 촬영홀에 면하도록 상기 웨이퍼를 지지하는 거치대를 포함하는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 거치대는 상기 덮개가 폐쇄되었을 때에는 상기 덮개로부터 분리되어 상기 케이스의 일면에 결합되는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
4. 제1항에 있어서,

   상기 거치대에 결합되며, 상기 거치대에 상기 복수의 웨이퍼가 안착된 상태에서 상기 복수의 웨이퍼를 가압하여 상기 복수의 웨이퍼 간의 공극을 제거하기 위한 지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
5. 제4항에 있어서,

   상기 지그는 상기 거치대로부터 분리되어 상기 케이스의 일면에 결합되는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
6. 제1항에 있어서,

   상기 복수의 웨이퍼의 측면을 향하여 광을 조사하는 조명부를 더 포함하는 포터블 웨이퍼 카운터.
7. 제6항에 있어서,

   상기 조명부는, 상기 촬영홀의 외주부에 결합되며 상기 복수의 웨이퍼의 측면에 대해 경사진 방향에서 광을 조사하는 경사조명과, 상기 복수의 웨이퍼의 측면에 직교하는 방향에서 광을 조사하는 수평광조명을 포함하는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
8. 제1항에 있어서,

   상기 출력부는, 상기 이미지 및 상기 이미지를 프로세싱하여 인식된 상기 복수의 웨이퍼 간의 간극에 상응하는 간극 정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
9. 제8항에 있어서,

   상기 출력부는 터치스크린 감응방식의 디스플레이를 포함하며, 상기 디스플레이에 표시된 상기 간극 정보는, 터치스크린 방식에 따른 사용자 입력에 의해 수정되는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
10. 제9항에 있어서,

    상기 카운트 정보는 수정된 상기 간극 정보를 반영하여 갱신되는 것을 특징으로 하는 포터블 웨이퍼 카운터.
11. 케이스의 일측에 촬영홀이 천공되고, 상기 케이스 내에 촬영부 및 처리부가 수용되며, 상기 케이스의 표면에 노출되는 출력부를 포함하는 웨이퍼 카운터를 사용하여 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 방법으로서,

    (a) 상기 케이스의 일측에 거치부를 결합하는 단계;

    (b) 상기 거치부에 상기 복수의 웨이퍼를 거치하는 단계;

    (c) 상기 촬영홀을 통해 상기 복수의 웨이퍼의 측면을 촬영하여 이미지를 획득하는 단계;

    (d) 상기 이미지를 프로세싱하여 상기 복수의 웨이퍼의 수를 카운팅하는 단계; 및

    (e) 상기 출력부에 상기 웨이퍼의 수에 상응하는 카운트 정보를 출력하는 단계를 포함하는 웨이퍼 카운팅 방법.
12. 제11항에 있어서,

    상기 단계 (a)는,

    (a1) 상기 촬영홀을 커버하도록 상기 케이스의 일측에 개폐가능하도록 결합되는 덮개를 개방하는 단계; 및

    (a2) 상기 덮개에 상기 복수의 웨이퍼를 지지하는 거치대를 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카운팅 방법.
13. 제12항에 있어서,

    상기 단계 (b)는,

    (b1) 상기 복수의 웨이퍼의 측면이 상기 촬영홀에 면하도록 상기 웨이퍼를 상기 거치대에 안착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카운팅 방법.
14. 제13항에 있어서,

    상기 단계 (b1) 이후에,

    (b2) 상기 거치대에 지그를 결합하여, 안착된 상기 복수의 웨이퍼를 가압함으로써, 상기 복수의 웨이퍼 간의 공극을 제거하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 카운팅 방법.
15. 제11항에 있어서,

    상기 단계 (c) 이전에,

    상기 복수의 웨이퍼의 측면에 대해 경사진 방향 및 상기 복수의 웨이퍼의 측면에 직교하는 방향에서 광을 조사하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 카운팅 방법.
16. 제11항에 있어서,

    상기 단계 (d) 이후에,

    (d1) 상기 출력부에 상기 이미지 및 상기 이미지를 프로세싱하여 인식된 상기 복수의 웨이퍼 간의 간극에 상응하는 간극 정보를 표시하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 카운팅 방법.
17. 제16항에 있어서,

    상기 단계 (d1) 이후에,

    (d2) 사용자 입력에 의해 수정되는 상기 간극 정보를 반영하여 상기 카운트 정보를 갱신하는 단계를 더 포함하는 웨이퍼 카운팅 방법.

Images