JPH01106290A - ウェハー枚数計数装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハー枚数計数装置に関し、特にキャリア内
のウェハーの投影像を撮像することによって、キャリア
内のウェハー枚数・ウェハー挿入状態を確認するウェハ
ー枚数計数装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、ウェハー枚数計数装置には、キャリアよりウェハ
ーを１枚１枚取り出しリミット・センサ又は光学式セン
サによってウェハー枚数を計数するものがある。

また、キャリア内のウェハーを取り出さず一括してウェ
ハー枚数を計数する装置として、キャリアとウェハーの
総重量から、ウェハー枚数を計数するものがある。

また、透過型あるいは反射型光センサをキャリアの上下
に設置し、キャリアとキャリア内のウェハーの透過光も
しくは反射光を直接検出し、キャリア内のウェハー枚数
を計数するものがある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述したキャリアからウェハーを１枚１枚取り出すウェ
ハー枚数計数装置では、キャリアからウェハーを取り出
さないと枚数を計数することができないという欠点があ
る。

また、キャリアとウェハーの総重量からウェハー枚数を
計数する装置では、キャリアからウェハーを取り出さず
に枚数を計数することはできるが。

ウェハーの歯抜は等キャリア内のウェハーの挿入状態は
確認できない。さらにウェハーサイズやキャリアの相違
によって、パラメータの変更が必要となるという欠点が
ある。

また、キャリアの上下に透過型光センサあるいは反射型
光センサを設置し、キャリアとキャリア内のウェハーの
透過光もしくは反射光を直接検出する装置では、受光セ
ンサの取り付は位置の自由度が少なく、投受光センサの
光軸を合わせる調整等の位置調整が大変であるという欠
点がある。

本発明の目的は前記問題点を解消したウェハー枚数計数
装置を提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来のウェハー枚数計数装置に対し。

本発明のウェハー枚数計数装置は非接触でキャリア内の
ウェハー枚数とキャリア内のウェハー挿入状態を確認す
ることができ、ウェハーサイズやキャリアが異なっても
パラメータの変更の必要がなく、また投影板の投影像を
撮像できる位置であれば、撮像素子をどこに取り付けて
もよい、すなわち、センサの取り付は位置の自由度が大
きくなるという相違点を有する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明はキャリアの一両側に位置しキャリアへ平行光を
投光する平行光投光部と、゛キャリアの他面側に位置し
キャリアの投影像を受像する半透明材質の投影板と、投
影板に投影されたキャリアとウェハーの投影像とを撮像
するアレイ状撮像素子又は走査可能な単一撮像素子と、
撮像素子の出力によってキャリア内のウェハー枚数・ウ
ェハー挿入状態を検出するウェハー枚数計数部とを有す
ることを特徴とするウェハー枚数計数装置である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図、第２図は
同縦断面図である。

図において、本発明はキャリア収納部５と、該キャリア
収納部５の上下に位置する平行光投光部４及び撮像部１
と、ウェハー枚数計数部６とを含む。前記キャリア収納
部５はキャリア３を収納するもので、キャリア３内のウ
ェハー２を上下に縦向き姿勢で該キャリア３を収納する
。

前記平行光投光部４は投光電源１２．投光素子１１、投
光レンズ１０を有している。投光電源１２の出力は投光
素子１１で光電変換され、分散光が投光レンズ１０に投
光される。投光レンズｌＯはその分散光を平行光にし、
キャリア収納部５内のキャリア３に投光する。キャリア
３内のウェハー２間を通過した光は投影板９に達し、キ
ャリア３とウェハー２の影が投影板９に投影される。

撮像部１は焦点レンズ８、アレイ状撮像素子７゜ウェハ
ー枚数計数部６を有している。焦点レンズ８は投影板９
に投影されている像に焦点が合うように調整されており
、焦点レンズ８を通過した投影像はアレイ状撮像素子７
で撮像され、濃淡信号をウェハー枚数計数部６に送る。

ウェハー枚数計数部６では、濃淡信号よりキャリア３内
のウェハー枚数とキャリア３内のウェハー挿入状態を検
出する。

（実施例２） 第３図は本発明のウェハー枚数計数装置の実施例２を示
す斜視図である。第４図は第３図のペン型撮像部１３の
縦断面図、第５図はペン型撮像部１３を投影板９上で走
査させた場合の単一撮像素子１５の出力変化を示す。

キャリア収納部１４の下面は透明材質でできており、平
行光投光部４から投光された平行光は、キャリア収納部
１４上面の半透明材質でできている投影板９にキャリア
収納部１４内のキャリア３とウェハー２の影を投影する
。ペン型撮像部１３の中には、焦点レンズ８と単一撮像
素子１５が組み込まれており、焦点レンズ８の焦点はペ
ン先に合せである。

ペン型撮像部１３をキャリア収納部１４上面の投影板９
に走査させることによって、投影像が撮像され濃淡信号
がウェハー枚数計数部６へ送られる。ウェハー枚数計数
部６では、濃淡信号よりキャリア３内のウェハー枚数と
キャリア３内のウェハー挿入状態を検出する。

この実施例では、ウェハー枚数を目視で確認でき、キャ
リア収納部の外へキャリアを出さずにウェハー枚数を検
出できる。また、ウェハー枚数計数装置本体は、実施例
１より安価になるという利点を有する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明のウェハー枚数計数装置はキ
ャリアの上面又は下面の一方からキャリアへ平行光を投
光する平行光投光部ともう一方にキャリアとキャリア内
のウェハーの投影像を受像する半透明材質の投影板を設
け、投影板に投影されたキャリアとウェハーの影を焦点
レンズを通してアレイ状撮像素子又は走査可能な単一撮
像素子で撮像し、その濃淡信号を検出することにより、
非接触でウェハーサイズやキャリアが変わる毎に撮像部
の焦点距離を調整することなく、キャリアからウェハー
を搬出せずにキャリア内のウェハー枚数及びウェハー挿
入状態を確認することができる。

゛また、投影板の投影像を撮像できる位置であれば、撮
像素子をどこに取り付けてもよい、すなわちセンサの取
り付は位置の自由度が大きくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハー枚数計数装置の実施例１を示
す斜視図、第２図は第１図の縦断面図、第３図は本発明
のウェハー枚数計数装置の実施例２を示す斜視図、第４
図は第３図のペン型撮像部の縦断面図、第５図はペン型
撮像部を投影板上で走査させた場合の撮像素子の出力変
化を示す図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）キャリアの一両側に位置しキャリアへ平行光を投
   光する平行光投光部と、キャリアの他面側に位置しキャ
   リアの投影像を受像する半透明材質の投影板と、投影板
   に投影されたキャリアとウェハーの投影像とを撮像する
   アレイ状撮像素子又は走査可能な単一撮像素子と、撮像
   素子の出力によってキャリア内のウェハー枚数・ウェハ
   ー挿入状態を検出するウェハー枚数計数部とを有するこ
   とを特徴とするウェハー枚数計数装置。