KR101102929B1 - 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리니어 액추에이터에 관한 것으로, 베이스 프레임과, 베이스 프레임 상에 배치되는 이동테이블과, 베이스 프레임 상에서 이동테이블의 직선 운동을 안내하는 리니어 모션 가이드와, 베이스 프레임 상에 설치되는 고정자와, 고정자와 간극을 가지도록 이동테이블에 설치되는 가동자를 포함하는 리니어 액츄에이터의 고정자 고정 구조에 있어서: 베이스 프레임은, 바닥면에 만입된 구조로 길이 방향과 나란하게 형성되며 고정자의 폭에 대응하는 폭을 갖도록 형성되는 삽입홈과 삽입홈의 폭 방향 양측단면 상부에서 수평으로 서로를 향해 연장되는 한 쌍의 돌출부를 구비하도록 형성되고; 고정자는, 삽입홈에 길이 방향으로 삽입되고, 그 길이 방향 양 끝단면 중 하나의 끝단면에 접촉하도록 삽입홈 내부에 배치되며 하나의 끝단면을 길이 방향과 나란한 방향으로 가압하는 상태에서 베이스 프레임에 고정되는 하나 또는 두 개의 고정판에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터의 고정자 고정 구조를 제공함으로써, 고정자와 가동자 간의 정렬불량을 방지할 수 있도록 하여 정밀제어를 요하는 반도체 제조 공정 등 리니어 액추에이터가 적용되는 공정에서 정렬불량으로 인해 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 한다.

Description

리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조{Stator Fixing Structure of Linear Actuator}
본 발명은 리니어 액추에이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 베이스 프레임에 철편을 삽입 설치하고, 철편에 고정자인 자석을 부착하여 설치함으로써 조립을 간단하게 할 수 있으며 조립 높이를 낮게 하여 가감속시 모멘트에 의한 영향을 최소화 할 수 있는 리니어 액추에이터에 관한 것이다.
일반적으로, 리니어 액추에이터는 코일체와 영구자석을 구동원으로 하는 직선 이송용 기계장치로서, 영구자석의 자기장 내에 위치하는 코일체에 전류를 공급함으로써 로렌츠의 힘으로 구동력(추력)을 얻는 구조로 되어 있다. 이러한 리니어 액추에이터는 가동자의 구성에 따라 가동 코일형과 가동 영구자석형으로 분류된다. 가동코일형은 고정자가 영구자석으로 구성되고 가동자는 코일로 구성되며, 가동 영구자석형은 고정자가 코일로 구성되며 가동자는 영구자석으로 구성된다. 상기와 같은 리니어 액추에이터는 반도체 제조 설비 분야등에 사용되는 직선 운동용 정밀 기계에 많이 적용되고 있는 실정이다.
도 1은 종래기술에 따른 리니어 액추에이터의 일 예를 도시한 평면도이며, 도 2는 도 1의 A-A선을 따르는 단면도이다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 종래기술에 따른 리니어 액추에이터(100)는 베이스 프레임(110)과, 이 베이스 프레임 상에 배치되는 이동테이블(150)과, 베이스 프레임(110) 상에서 이동테이블(150)의 직선 운동을 안내하는 리니어 모션 가이드(120)와, 베이스 프레임(110) 상에 설치되는 고정되는 고정자(130)와, 고정자(130)와 간극을 가지도록 이동테이블에 설치되는 가동자(140)를 포함한다.
구체적으로, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 고정자(130)는 다수의 설치볼트(161)를 이용하여 베이스 프레임(110)에 설치된다. 즉, 고정자(130)에 길이방향(도 1에서 좌우 방향)으로 다수의 구멍을 형성하고, 마찬가지로 베이스 프레임(110)에도 다수의 홈을 형성하여 설치볼트(161)로 체결하여 고정하는 것이다.
그리고, 리니어 모션 가이드(120)는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 베이스 플레이트(110)에 길이방향과 나란하게 설치되는 가이드 레일(121)과, 가이드 레일(121) 상에서 주행하도록 이동 테이블(150)에 고정되는 가이드 블록(123)으로 이루어진다.
상기한 바와 같은 종래기술에 따른 리니어 액추에이터(100)는 고정자(130)를 다수의 볼트(161)를 사용하여 베이스 프레임(110)에 고정하는 구조임에 따라, 부품의 수가 많고, 따라서 조립에 많은 시간과 인력이 소요되는 문제점이 있었다.
도 3은 종래기술에 따른 리니어 액추에이터의 다른 일 예를 도시한 개략적인 평면도이며, 도 4는 도 3의 B-B선을 따르는 개략적인 단면도이고, 도 5는 도 3의 리니어 액추에이터의 부분 분해 사시도이며, 도 6은 도 4의 C 부분을 확대 도시한 부분 단면도이다.
상기한 바와 같은 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로서, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같은 리니어 액추에이터가 개시된 바 있다.
이와 같은 종래기술에 따른 리니어 액추에이터(200)는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 리니어 액추에이터(100)와 마찬가지로, 베이스 프레임(210)과, 이 베이스 프레임 상에 배치되는 이동테이블(250)과, 베이스 프레임(210) 상에서 이동테이블(250)의 직선 운동을 안내하는 리니어 모션 가이드(220)와, 베이스 프레임(210) 상에 고정되는 고정자(230)와, 고정자(230)와 간극을 가지도록 이동테이블에 설치되는 가동자(240)를 포함한다.
그러나, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 리니어 액추에이터(100)와 달리, 베이스 프레임(210)은 길이 방향(도 3에서 좌우 방향)으로 삽입홈(215)이 형성되며, 이 삽입홈(215)에 영구자석으로 이루어진 상기한 고정자(230)가 삽입된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 삽입홈(215)은 베이스 프레임(210)의 바닥면에 만입된 구조로 형성되는 것으로서 고정자(230)의 폭에 대응하는 폭을 갖도록 형성되어 상방으로 개방되며, 이러한 삽입홈(215)의 폭 방향 양측단의 상부에는 고정자(230)의 폭 방향 양측단 부분을 부분적으로 구속하도록 수평으로 서로를 향해 연장되는 돌출부(219)가 구비된다. 따라서, 고정자(230)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 길이 방향으로 삽입홈(215)에 억지 끼워 맞춤 방식으로 삽입된다. 즉, 고정자(230)가 설치볼트와 같은 부품을 사용하지 않는 간단한 구조로 베이스 프레임에 고정되는 구조라 할 수 있다.
이와 같은 리니어 액추에이터(200)는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같은 리니어 액추에이터(100)에 비해, 고정자(230)의 고정 구조가 매우 간단하다. 즉, 고정자(230)를 베이스 프레임(210)에 고정하는데 사용되는 부품의 수가 대폭 감소되고 고정 구조 또한 매우 간단하여, 고정자를 고정하는 조립 작업이 신속하게 이루어질 수 있도록 한다.
그러나, 고정자(210)가 삽입홈(215)에 억지 끼워 맞춤 형태로 삽입된다 하더라도, 조립이 가능하도록 하기 위한 공차가 필연적으로 존재함에 따라 삽입홈(215)의 폭은 미세하나마 고정자(230)의 폭 보다 크고, 삽입홈(215)의 바닥면과 돌출부(219)의 저면 간의 높이 또한 미세하나마 고정자의 두께 보다 커야 한다. 예를 들어, 조립을 가능하도록 하기 위해 폭 방향 및 두께 방향으로 1mm 내지 2mm 정도의 공차가 제공될 필요가 있다. 이와 같이 공차가 존재한다는 것은 삽입홈(215) 내에 고정자(230)가 삽입된 상태에서 폭 방향으로 틈새(t1, t2)가 발생할 수 있고 상하 방향으로도 틈새(t3)가 발생할 수 있다는 것을 의미한다.
이와 같이 틈새가 존재하게 됨에 따라, 고정자(230)가 양호한 억지 끼워 맞춤 상태에서 확고부동하게 고정되지 못하고 불완전한 고정상태에 놓일 수 있으며, 이와 같이 고정자(230)가 불완전한 고정상태에 놓일 경우 고정자(230)가 가동자(240)와 상호작용하는 과정에서 로렌츠의 힘에 의한 인력이 작용하면 폭 방향으로 흔들리거나 상하 방향으로 들리는 등 삽입홈(215) 내에서 움직임이 발생하게 된다. 즉, 상기한 바와 같이 개선되었음에도 불구하고, 도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같은 리니어 액추에이터(200)는, 고정자(230)의 움직임으로 인한 고정자(230)와 가동자(240) 간의 정렬불량이 야기될 수 있으며, 이와 같은 정렬불량으로 인해 베이스 플레이트(210) 상에서 이동 테이블(250)의 정밀한 직선운동 제어가 불가능해질 수 있고, 결과적으로 정밀제어를 요하는 반도체 제조 공정 등 리니어 액추에이터가 적용되는 공정에서 불량률이 증가할 수 있는 문제점이 여전히 남아 있는 실정이다.
상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 발명한 것으로서,
본 발명은 베이스 플레이트 상의 정확한 위치에 움직임이 발생하지 않도록 확고부동하게 고정자가 고정될 수 있도록 하여 고정자와 가동자 간의 정렬불량을 방지할 수 있도록 하는 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조를 제공하는데 목적이 있다.
이를 실현하기 위한 본 발명은,
베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임 상에 배치되는 이동테이블과, 상기 베이스 프레임 상에서 상기 이동테이블의 직선 운동을 안내하는 리니어 모션 가이드와, 상기 베이스 프레임 상에 설치되는 고정자와, 상기 고정자와 간극을 가지도록 상기 이동테이블에 설치되는 가동자를 포함하며; 상기 베이스 프레임은, 바닥면에 만입된 구조로 길이 방향과 나란하게 형성되며 상기 고정자의 폭에 대응하는 폭을 갖도록 형성되는 삽입홈과 상기 삽입홈의 폭 방향 양측단면 상부에서 수평으로 서로를 향해 연장되는 한 쌍의 돌출부를 구비하도록 형성되고; 상기 고정자의 끝단면에 접촉하도록 상기 베이스 프레임에 배치되며 상기 끝단면을 길이 방향으로 가압하는 상태에서 상기 베이스 프레임에 고정되는 고정판을 더 포함하는 리니어 액츄에이터를 제공한다.
상기 고정판은 고정자의 양 끝단면에 접촉하도록 복수로 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 베이스 프레임의 길이 방향 양단면에 각각 장착되어 상기 삽입홈의 길이방향 양단을 차단하며, 둘 중 적어도 하나는 길이 방향으로 나란하게 관통하여 상기 고정판을 향하는 하나 이상의 누름 볼트 체결공을 구비하는 엔드 플레이트를 포함하고, 상기 누름 볼트 체결공에 각각 체결되어 상기 고정판이 상기 고정자의 끝단면을 가압하도록 길이 방향으로 상기 고정판을 가압하는 하나 이상의 누름 볼트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 누름 볼트의 끝단면과 접촉하는 상기 고정판의 일측면 상의 위치에 각각 상기 누름 볼트의 끝단부를 부분적으로 수용하는 누름 볼트 수용홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 고정판은 상기 베이스 프레임의 길이 방향과 나란한 하나 이상의 장공을 구비하고, 상기 베이스 프레임은 상기 장공에 대응하는 위치에 각각 형성되는 고정 볼트 체결공을 구비하여, 상기 고정판은 상기 장공을 관통하여 상기 고정 볼트 체결공에 각각 체결되는 고정판 고정 볼트에 의해 상기 베이스 프레임에 고정되는 것을 특징으로 한다.
이상과 같은 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조를 제공함으로써,
본 발명은, 고정자가 베이스 플레이트 상의 정확한 위치에 움직임이 발생하지 않도록 확고부동하게 고정될 수 있도록 하여, 삽입홈 내에 삽입된 상태에서 폭 방향으로 고정자와 삽입홈의 양측단면 사이에 틈새가 존재하고 상하 방향으로 고정자와 돌출부의 저면 사이에 틈이 존재하는 경우에도, 고정자가 가동자와 상호작용하는 과정에서 로렌츠의 힘에 의한 인력이 작용하더라도 고정자가 폭 방향으로 흔들리거나 상하 방향으로 들리는 형태의 움직임이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있도록 한다.
따라서, 고정자와 가동자 간의 정렬불량을 방지할 수 있게 되며, 나아가 정밀제어를 요하는 반도체 제조 공정 등 리니어 액추에이터가 적용되는 공정에서 정렬불량으로 인해 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 한다.
도 1은 종래기술에 따른 리니어 액추에이터의 일 예를 도시한 평면도,
도 2는 도 1의 A-A선을 따르는 단면도,
도 3은 종래기술에 따른 리니어 액추에이터의 다른 일 예를 도시한 개략적인 평면도,
도 4는 도 3의 B-B선을 따르는 개략적인 단면도,
도 5는 도 3의 리니어 액추에이터의 부분 분해 사시도,
도 6은 도 4의 C 부분을 확대 도시한 부분 단면도,
도 7은 본 발명에 따른 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조를 설명하기 위해 도시한 평면도,
도 8은 본 발명에 따른 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조를 설명하기 위해 도시한 부분 분해 사시도,
도 9는 도 7의 D-D 선 단면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부되는 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 7은 본 발명에 따른 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조를 설명하기 위해 도시한 평면도이고, 도 8은 본 발명에 따른 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조를 설명하기 위해 도시한 부분 분해 사시도이며, 도 9는 도 7의 D-D 선 단면도이다.
이하의 상세한 설명에서, 종래기술과 동일한 작용을 하는 구성요소에 대해서는 동일한 명칭을 사용하며 별도의 설명은 생략함을 밝혀둔다. 그리고 '대응한다'는 억지끼워 맞춤 관계이거나 같은 치수이거나 헐거운 끼워 맞춤 관계를 의미한다.
본 발명에 따른 고정자 고정 구조를 갖는 리니어 액추에이터(300)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 종래기술과 마찬가지로, 베이스 프레임(310)과, 이 베이스 프레임(310) 상에 배치되는 이동테이블(350)과, 베이스 프레임(310) 상에서 이동테이블(350)의 직선 운동을 안내하는 리니어 모션 가이드(320)와, 베이스 프레임(310) 상에 설치되는 고정자(330)와, 고정자(330)와 간극을 가지도록 이동테이블(350)에 설치되는 가동자(340)를 포함한다.
베이스 프레임(310)은, 도 8에 도시한 바와 같이, 바닥면에 만입된 구조로 길이 방향과 나란하게 형성되며 고정자(330)의 폭에 대응하는 폭을 갖도록 형성되는 삽입홈(315)과 이 삽입홈(315)의 폭 방향 양측단면 상부에서 수평으로 서로를 향해 연장되는 한 쌍의 돌출부(319)를 구비하도록 형성된다.
그리고, 고정자(330)는, 삽입홈(315)의 폭에 대응하는 폭을 갖도록 형성되되 삽입홈(315)의 길이보다는 짧게 형성되어, 삽입홈(315)에 길이 방향으로 억지 끼워 맞춤 방식으로 삽입된다. 상기 고정자(330)의 폭을 삽입홈(315)의 폭과 같게 하거나 삽입홈(315)의 폭보다 작게 하는 것도 가능하다.
그리고, 이와 같은 고정자(330)가 삽입홈(315) 내부에서 정확한 위치에 확고부동하게 고정될 수 있도록 하기 위한 것으로서, 고정판(360)과 엔드 플레이트(370)가 도입된다. 이와 같은 고정판(360)은 고정자(330)의 길이 방향 일단부에만 설치될 수도 있고 양단부에 모두 설치될 수도 있을 것이다. 또한, 엔드 플레이트(370)는 고정자(330)의 길이 방향 양단부에 모두 설치되지만, 하나의 고정판(360)만 설치되는 경우 고정판(360)과 접촉하지 않게 되는 하나의 엔드 플레이트(370)는 이하에 상세히 설명되는 누름 볼트 체결공(373)을 구비하지 않는 단순한 형태로 제공되어도 무방하며, 고정판(330)이 설치되지 않는 측에 해당하는 고정자(330)의 길이 방향 일측 끝단면과 접촉하게 될 것이다.
구체적으로, 고정판(360)은 삽입홈(315)의 폭 보다는 짧은 폭 방향과 나란한 길이를 갖고 삽입홈(315)의 길이에 따라 결정되는 길이 방향과 나란한 폭을 갖도록 형성되는 것으로서, 고정자(330)가 상기한 삽입홈(315)에 삽입된 상태에서 고정자(330)의 길이 방향 일측 끝단면에 접촉하도록 삽입홈(315) 내부에 배치되며, 접촉하는 끝단면을 길이 방향과 나란한 방향으로 가압하는 상태에서 베이스 프레임(310)에 고정된다.
그리고, 엔드 플레이트(370)는 베이스 프레임(310)의 길이 방향 양단면에 각각 장착되어 삽입홈(315)의 길이방향 양단면을 차단하며, 길이 방향으로 나란하게 관통하여 삽입홈(315) 내부에 배치되는 고정판(360)과 마주보는 하나 이상의 누름 볼트 체결공(373)을 구비한다.
이와 같은 누름 볼트 체결공(373)은 내주면에 형성되는 암나사를 구비하며, 이 누름 볼트 체결공(373)에 누름 볼트(375)가 각각 나사결합 방식으로 체결된다. 즉, 누름 볼트(375)는 상기한 고정판(360)이 고정자(330)의 길이 방향 일측 끝단면을 가압하도록 길이 방향과 나란한 방향으로 고정판(360)을 가압하는 역할을 수행하는 것이다.
또한, 고정판(360)은, 누름 볼트(375)에 의한 가압이 항상 일관되고 안정적으로 이루어지도록 하기 위한 것으로서, 누름 볼트(375)의 끝단면과 접촉하는 일측면 상의 위치에 각각 형성되어 누름 볼트(375)의 끝단부를 부분적으로 수용하는 누름 볼트 수용홈(363)을 구비한다.
나아가, 고정판(360)이 고정자(330)를 가압하는 상태에서 베이스 프레임(310)에 확고하게 고정될 수 있도록 하기 위해, 고정판(360)은 베이스 프레임(310)의 길이 방향과 나란하게 형성되는 하나 이상의 장공(367)을 구비하고, 베이스 프레임(310)은 상기한 장공(367)에 대응하는 위치에 각각 형성되는 고정 볼트 체결공(313)을 구비한다. 따라서, 고정판(360)은 장공(367)을 관통하여 고정 볼트 체결공(313)에 각각 체결되는 고정판 고정 볼트(365)에 의해 베이스 프레임(310)에 확고 부동하게 고정될 수 있게 된다.
이상과 같은 본 발명에 따른 리니어 액추에이터의 고정자 고정 구조로 고정자를 고정하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 고정자(330)를 길이 방향으로 삽입홈(315)에 삽입한 다음 고정판(360)을 삽입홈(315) 내부에 배치한다. 이어서, 엔드 플레이트(370)를 베이스 프레임(310)의 끝단면에 각각 볼트 등과 같은 체결 부재(377)를 사용하여 결합한다.
이때, 고정자(330)의 양단부에 고정판(360)을 모두 배치할 수도 있고 하나만 배치할 수도 있을 것이다. 만약 고정자(330)를 고정하기 위해 하나의 고정판(360) 사용하는 경우라면, 별도로 도시하진 않았으나 고정자(330)의 일측 끝단면은 대응하는 엔드 플레이트(370)와 직접적으로 접촉하게 될 것이다.
이후, 엔드 플레이트(370)에 구비되는 누름 볼트 체결공(373)에 누름 볼트(375)를 체결하여, 누름 볼트(375)가 고정판(360)을 가압하도록 함으로써, 고정판(360)이 고정자(330)를 길이방향으로 가압하도록 한다.
이와 같이 고정판(360)이 고정자(330)를 가압하도록 한 상태에서 고정판 고정 볼트(365)를 고정판(360)에 형성된 장공(367)을 관통하는 상태에서 베이스 프레임(310)에 형성되는 고정 볼트 체결공(313)에 체결함으로써, 고정판(360)이 고정자(330)를 가압하는 상태에서 베이스 프레임(310)에 확고부동하게 고정될 수 있도록 한다.
한편, 고정자(330)의 양단부에 고정판(330)이 모두 적용되는 경우에는 하나의 고정판(360)을 예정된 위치에 미리 고정해 둔 상태에서 상기한 바와 같은 과정에 따라 다른 하나의 고정판(360)으로 고정자(330)를 가압하도록 한 다음, 최종적으로 고정판(360)을 베이스 프레임(310)에 고정하면 될 것이다.
이상과 같은 고정 구조로 고정자가 고정됨에 따라, 삽입홈(315) 내에 삽입된 상태에서 폭 방향으로 고정자(330)와 삽입홈(315)의 양측단면 사이에 틈새가 존재하고 상하 방향으로 고정자(330)와 돌출부(319)의 저면 사이에 틈이 존재하더라도, 고정자(330)가 확고부동한 고정 상태에 놓일 수 있도록 한다. 즉, 고정자(330)가 가동자(340)와 상호작용하는 과정에서 로렌츠의 힘에 의한 인력이 작용하더라도 고정자(330)가 폭 방향으로 흔들리거나 상하 방향으로 들리는 형태의 움직임이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있도록 하는 것이다.
비록 본 발명은 특정의 실시예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변경 및 변화가 가능하다는 것을 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.
310: 베이스 프레임 313: 고정 볼트 체결공
315: 삽입홈 319: 돌출부
320: 리니어 모션 가이드 330: 고정자
340: 가동자 350: 이동테이블
360: 고정판 363: 누름 볼트 수용홈
365: 고정판 고정 볼트 367: 장공
370: 엔드 플레이트 373: 누름 볼트 체결공
375: 누름 볼트 377: 체결 부재

Claims (5)

  1. 베이스 프레임(310)과, 상기 베이스 프레임(310) 상에 배치되는 이동테이블(350)과, 상기 베이스 프레임(310) 상에서 상기 이동테이블(350)의 직선 운동을 안내하는 리니어 모션 가이드(320)와, 상기 베이스 프레임(310) 상에 설치되는 고정자(330)와, 상기 고정자(330)와 간극을 가지도록 상기 이동테이블(350)에 설치되는 가동자(340)를 포함하는 리니어 액츄에이터에 있어서:
    상기 베이스 프레임(310)은, 바닥면에 만입된 구조로 길이 방향과 나란하게 형성되며 상기 고정자(330)의 폭에 대응하는 폭을 갖도록 형성되는 삽입홈(315)과 상기 삽입홈(315)의 폭 방향 양측단면 상부에서 수평으로 서로를 향해 연장되는 한 쌍의 돌출부(319)를 구비하도록 형성되고;
    상기 고정자(330)의 끝단면에 접촉하도록 상기 베이스 프레임(310)에 배치되며 상기 끝단면을 길이 방향으로 가압하는 상태에서 상기 베이스 프레임(310)에 고정되는 고정판(360)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 고정판(360)은 고정자(330)의 양 끝단면에 접촉하도록 복수로 구비되는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 베이스 프레임(310)의 길이 방향 양단면에 각각 장착되어 상기 삽입홈(315)의 길이방향 양단을 차단하며, 둘 중 적어도 하나는 길이 방향으로 나란하게 관통하여 상기 고정판(360)을 향하는 하나 이상의 누름 볼트 체결공(373)을 구비하는 엔드 플레이트(370)를 포함하고,
    상기 누름 볼트 체결공(373)에 각각 체결되어 상기 고정판(360)이 상기 고정자(330)의 끝단면을 가압하도록 길이 방향으로 상기 고정판(360)을 가압하는 하나 이상의 누름 볼트(375)를 포함하는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  4. 제3 항에 있어서, 상기 누름 볼트(375)의 끝단면과 접촉하는 상기 고정판(360)의 일측면 상의 위치에 각각 상기 누름 볼트(375)의 끝단부를 부분적으로 수용하는 누름 볼트 수용홈(363)이 형성되는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정판(360)은 상기 베이스 프레임(310)의 길이 방향과 나란한 하나 이상의 장공(367)을 구비하고, 상기 베이스 프레임(310)은 상기 장공(367)에 대응하는 위치에 각각 형성되는 고정 볼트 체결공(313)을 구비하여, 상기 고정판(360)은 상기 장공(367)을 관통하여 상기 고정 볼트 체결공(313)에 각각 체결되는 고정판 고정 볼트(365)에 의해 상기 베이스 프레임(310)에 고정되는 것을 특징으로 하는 리니어 액츄에이터.
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