CN218488434U - 末端执行机构及机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种末端执行机构及机械手，末端执行机构包括片叉、推杆、推杆支撑组件，片叉前端部设有用以夹持晶圆的夹持区，夹持区内设有供晶圆抵接的前端限位块；片叉的后端部开设有限位槽；推杆能在驱动件作用下沿限位槽向靠近或远离夹持区的方向移动，推杆的前端部设有能抵推在晶圆上的夹紧轮；推杆支撑组件置于限位槽内，用以在推杆移动时支撑住推杆。本实用新型的末端执行机构及机械手能提高推杆移动的稳定性，进而提高对晶圆的夹持稳定性。

Description

末端执行机构及机械手

技术领域

本实用新型涉及晶圆传输设备技术领域，尤其涉及一种末端执行机构及机械手。

背景技术

晶圆传输装置主要用于集成电路制造过程中各个工艺模块间精确、快速、稳定的传输并定位晶圆，其中，传输机械手中的末端执行机构是机器人用于执行动作的关键部件，其运动稳定性、可靠性对传输效率起至关重要的作用。末端执行机构是以气缸为动力源提供动力，通过气动推杆实现对晶圆的夹持与释放。在应用时，会根据实际传输要求对末端执行机构的长度进行增加，但当末端执行机构的长度增加时，气动推杆也随之加长，这样在保持原有运动速度时，因自重和长度的变化，气动推杆容易出现抖动或晃动现象，难以保证对晶圆的有效夹持，进而影响整个传输系统的稳定性。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种末端执行机构及机械手，能有效提高夹持稳定性。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案之一是：一种末端执行机构，包括

片叉，片叉前端部设有用以夹持晶圆的夹持区，夹持区内设有供晶圆抵接的前端限位块；片叉的后端部开设有限位槽；

推杆，推杆能在驱动件作用下沿限位槽向靠近或远离夹持区的方向移动，推杆的前端部设有能抵推在晶圆上的夹紧轮；

推杆支撑组件，推杆支撑组件置于限位槽内，用以在推杆移动时支撑住推杆。推杆支撑组件包括导向部、滚动部，导向部位于限位槽内，用以对推杆沿限位槽的移动进行导向；滚动部设置在导向部或推杆上，用以减少推杆移动过程中与导向部或限位槽之间的摩擦。

本实用新型的有益效果在于：

当晶圆放置到片叉的夹持区内时，片叉与晶圆保持相对静止状态，此时，片叉后端部的限位槽相对于晶圆也保持相对静止的状态，然后通过在限位槽内设置推杆支撑组件，能对沿限位槽移动的推杆进行支撑，以抑制推杆相对于限位槽的抖动，进而保证推杆移动时相对于晶圆的位置稳定性，保证夹紧轮能准确抵推到晶圆上，以对晶圆进行有效夹持；在推杆支撑组件中，通过导向部与限位槽的配合，能对推杆的移动方向进行导向，而通过滚动部的设置能有效减少推杆运动过程中的摩擦阻力，保证推杆的运动效率。本实用新型的末端执行机构在保证传输效率的同时，能提高传输的稳定性。

进一步来说，导向部固接在限位槽内，其上设有沿推杆移动方向布设的导向通槽；滚动部位于导向通槽内并与导向通槽滚动连接；推杆穿设在导向通槽内并通过滚动部支撑在导向通槽内。将导向部固接在限位槽内能保证导向部位置的稳定性，进而保证导向通槽的位置稳定性；而通过滚动部将推杆支撑在导向通槽内，既避免了推杆与导向通槽之间的直接接触，又能利用滚动部来降低推杆移动过程中受到的阻力。

进一步来说，当推杆沿导向通槽移动时，推杆始终与导向通槽不接触。而滚动部在在推杆的带动下与导向通槽之间产生滚动摩擦。

进一步来说，导向部包括导向基座，导向基座包括对称设置在限位槽内的一对槽轨，一对槽轨相对的一侧均开设有C型槽道，一对槽轨相背的一侧均设有延伸出限位槽并与片叉固接的延伸板。通过延伸板与片叉的固接，能保证槽轨在限位槽内的稳定性。

进一步来说，滚动部包括与C型槽道一一对应设置的两组滚轮组，两组滚轮组通过安装轴对称安装在推杆的两侧，并能沿对应的C型槽道移动。

进一步来说，滚轮组包括至少一个滚轮，且滚轮的滚动面能同时抵接在C型槽道的内顶壁、内底壁上。以抑制滚轮沿C型槽道移动时的上下跳动，进而抑制推杆的上下抖动。

进一步来说，沿滚轮的轴向上，滚轮滚动面的截面呈圆弧形结构；C型槽道的内顶壁、内底壁也呈圆弧形结构；且C型槽道的内顶壁、内底壁的圆弧形结构的圆弧半径均大于滚动面截面的圆弧形结构的圆弧半径。

将滚轮的滚动面截面、C型槽道的内顶壁、内底壁均设置为圆弧形结构，使得滚轮抵接在C型槽道的内顶壁、内底壁时，C型槽道能对滚轮形成弧面抵接，即对滚轮的抵接处形成包裹式的限位，进而抑制滚轮水平方向和竖直方向的抖动，而将C型槽道内顶壁、内底壁的圆弧形结构的圆弧半径设置为大于滚轮滚动面截面的圆弧形结构的圆弧半径，既减少了滚轮滚动面与C型槽道内顶壁、内底壁之间的接触面积，也使得滚轮的侧面(非滚动面)与C型槽道的内侧壁之间留有间隙，进一步减少滚轮移动过程中与C型槽道之间的接触面积，进而减少滚轮移动时与C型槽道之间的滚动摩擦。

进一步来说，C型槽道的开口大小大于推杆的高度，以避免推杆移动过程中碰触到C型槽道。

进一步来说，导向部包括导向基座，导向基座包括底座及盖设在底座上的盖板；底座的下端部嵌装在限位槽内，上端部两侧分别向外延伸形成能覆盖在片叉上端部上的固定板；两个固定板分别与片叉固定连接，以保证底座在限位槽内的位置稳定性。

进一步来说，底座的上端开设有凹槽，凹槽沿推杆移动方向的两侧分别设有贯穿底座的缺口，且缺口与凹槽共同形成供推杆穿设的导向通槽。

进一步来说，盖板盖设在底座上并能对凹槽、缺口的上端进行封闭，以使导向通槽呈现出一个相对独立的封闭空间，有效防止外部污染。

进一步来说，滚动部包括对称安装在推杆两侧的两组滚轮组，每组滚轮组均包括至少一个能沿凹槽移动的滚轮，且当滚轮位于凹槽内时，滚轮的滚动面能同时抵接在凹槽的内底壁和盖板的下端面上，进而通过凹槽及盖板对滚轮的上下跳动进行抑制。

进一步来说，滚轮远离推杆的一侧还设有能抵接到凹槽内侧壁上的圆弧形凸起。当推杆移动时，推杆两侧的滚轮的圆弧形凸起能分别抵接在凹槽的两内侧壁上，进而抑制滚轮及推杆水平方向的抖动。

进一步来说，缺口的宽度小于凹槽的宽度，推杆的高度小于凹槽的深度，推杆的宽度小于缺口的宽度。将缺口的宽度设置为小于凹槽的宽度能将滚轮的移动限定在凹槽内，而通过对推杆尺寸的设定则能避免推杆移动时碰触到缺口、凹槽及盖板，以减少推杆移动时的摩擦阻力。

进一步来说，导向部包括呈T型结构的导向基座，导向基座的下端部嵌装在限位槽内，上端部覆盖在片叉上并与片叉固接；导向基座沿推杆移动方向上开设有导向通槽；滚动部为内置在导向通槽内的直线轴承。通过导向基座与片叉的固接保证了导向通槽位置的稳定性，再通过直线轴承既提高了推杆移动的稳定性，同时减少了摩擦阻力。

进一步来说，推杆呈工字型结构并能插设在限位槽内；导向部安装在推杆上，其包括对称嵌装在推杆两侧的U型板，U型板上设有供片叉插入的插槽；滚动部内置在插槽内并能抵接在片叉上。由于导向部及滚动部是安装在推杆上的，在推杆移动的过程中，导向部、滚动部均能随之移动，进而保证推杆受推杆支撑组件支撑的部位是稳定的，同时能实现对推杆所有部位的有力支撑，保证导向部对推杆支撑力度的均匀性。

进一步来说，滚动部包括分别安装在插槽内底壁、内侧壁、内顶壁上的多组滚珠组，且每组滚珠组均能抵接在位于插槽内的片叉上。

由于滚珠组是分别安装在插槽的内底壁、内顶壁、内侧壁上，其能分别抵接在片叉的下端面、上端面上及限位槽的侧面上，以实现片叉上、下面及限位槽侧面与滚珠组之间的滚动摩擦，且使得片叉上、下面及限位槽侧面均与插槽之间留有(滚珠组的)安装间隙，以此避免了插槽任一方向与片叉的接触摩擦，而且能形成片叉与插槽之间的三面限位(三个方向的限位)，保证U型板及推杆的位置稳定性。

进一步来说，推杆包括相对设置的上推板、下推板，上推板、下推板均呈T型结构，且上推板、下推板卡接固定。

进一步来说，上推板朝向下推板的一端开设有燕尾槽，下推板上设有能卡接到燕尾槽内的卡接块。通过燕尾槽与卡接块的设置实现了上推板、下推板的快速拆装。

本实用新型采用的技术方案之二是：一种机械手，包括末端执行机构，其特征在于：末端执行机构包括片叉、推杆及推杆支撑组件；

片叉前端部设有用以夹持晶圆的夹持区，夹持区内设有供晶圆抵接的前端限位块；片叉的后端部开设有限位槽；

推杆能在驱动件作用下沿限位槽向靠近或远离夹持区的方向移动，推杆的前端部设有能抵推在晶圆上的夹紧轮；

推杆支撑组件置于限位槽内，用以在推杆移动时支撑住推杆；推杆支撑组件包括导向部、滚动部，导向部位于限位槽内，用以对推杆沿限位槽的移动进行导向；滚动部设置在导向部或推杆上，用以减少推杆移动过程中与导向部或限位槽之间的摩擦。

附图说明

图1为本实用新型现有技术中的末端执行机构的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中片叉加长后的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例中的推杆支撑组件装配到片叉上的结构示意图；

图4为图3中的推杆支撑组件的爆炸视图；

图5为图3中的推杆支撑组件的侧视图；

图6为本实用新型另一实施例中的推杆支撑组件装配到片叉上的结构示意图；

图7为图6中的推杆支撑组件的结构示意图；

图8为图7中A部位的局部放大图；

图9为图6中的导向基座的爆炸视图；

图10为本实用新型另一实施例中的推杆支撑组件装配到片叉上的结构示意图；

图11为图10中的导向基座的结构示意图；

图12为本实用新型另一实施例中的推杆支撑组件装配到片叉上的结构示意图；

图13为图12中推杆支撑组件的结构示意图；

图14为图12中的推杆支撑组件的侧视图；

图15为图12中推杆的爆炸视图。

图中：

1-片叉；11-前端限位块；12-后端限位块；13-限位槽；

2-推杆；21-夹紧轮；22-减重孔；23-上推板；231-燕尾槽；24-下推板；241-卡接块；

3-晶圆；

4-导向基座；41-槽轨；411-C型槽道；42-延伸板；43-底座；431-凹槽；432-缺口；44-盖板；45-固定板；46-U型板；461-上平板；462-下平板；463-侧平板；

5-滚轮；51-滚动面；52-圆弧形凸起；

6-直线轴承；

7-滚珠组。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例

参见附图1所示，现有的末端执行机构通常包括片叉1、推杆2，其中，片叉1的前端部设有用以夹持晶圆3的夹持区，夹持区边缘分别设有供晶圆3抵接的前端限位块11、后端限位块12。推杆2的前端部设有夹紧轮21，后端部与驱动其向靠近或远离夹持区方向移动的驱动件(如气缸)连接。当驱动件驱动推杆2向靠近夹持区的方向移动时，夹紧轮21随即移动并能抵推到位于夹持区内的晶圆3上，进而使晶圆3限位在前端限位块11与夹紧轮21之间，实现对晶圆3的夹紧；当驱动件驱动推杆2向远离夹持区的方向移动时，夹紧轮21随即移动并离开晶圆3，进而实现对晶圆3的释放。

为了适应不同的传输需求，在一些工况中，需要将片叉1及推杆2的长度加长，但因自重及长度的变化，推杆2移动过程中会出现抖动或晃动的情况，进而无法对晶圆3进行有效夹持，为了解决该问题，一般从两方面考虑：一是降低推杆的运动速度，以降低传输过程中的波动，但这种方式势必会导致传输效率降低；二是增加机械支撑结构，对移动中的推杆进行支撑，以抑制推杆的抖动或晃动，保证传输过程的安全可靠，同时保证传输效率。

基于上述的第二种方式，参见附图2-3所示，本实施例的一种末端执行机构，包括片叉1、推杆2及推杆支撑组件。其中，片叉1的前端部设有用以夹持晶圆3的夹持区，夹持区内设有供晶圆3抵接的前端限位块11、后端限位块12；片叉1的后端部开设有限位槽13。示例性地，限位槽13可采用U型槽。推杆2能在驱动件作用下沿着限位槽13向靠近或远离夹持区的方向移动，且推杆2的前端部设有能抵推到晶圆3上的夹紧轮21，夹紧轮21与前端限位块11能共同夹持住晶圆3。推杆支撑组件置于所述限位槽13内，用以在推杆2移动时支撑住推杆2。

具体的，推杆支撑组件包括导向部、滚动部，其中，导向部位于限位槽13内，用以对推杆2沿限位槽13的移动进行导向，滚动部设置在导向部或推杆2上，用以减少推杆2移动过程中与导向部或限位槽13之间的摩擦。通过导向部与限位槽13的配合，能对推杆2的移动方向进行导向，而通过滚动部的设置能有效减少推杆2运动过程中的摩擦阻力，保证推杆2的运动效率。

在一些实施例中，导向部包括固定安装在限位槽13内的导向基座4，导向基座4上设有沿推杆2移动方向布设的导向通槽。滚动部位于导向通槽内并与导向通槽滚动连接。推杆2穿设在导向通槽内并通过滚动部支撑在导向通槽内，当推杆2沿导向通槽移动时，推杆2始终与导向通槽不接触，而滚动部则在推杆2的带动下与导向通槽之间产生滚动摩擦。

具体的，在一示例中，参见附图3-5所示，导向基座4包括对称设置在限位槽13内的一对槽轨41，一对槽轨41之间留有供推杆2穿设的穿设空间。在槽轨41相对的一侧均开设有C型槽道411，且一对C型槽道411与穿设空间共同形成导向通槽。槽轨41相背的一侧均一体设置有延伸出限位槽13并与片叉1固定连接的延伸板42。通过延伸板42与片叉1固接，能保证槽轨41在限位槽13内的稳定性。更进一步地，为了提高延伸板42与片叉1的连接稳定性，将一对槽轨41相背的一侧分别抵接在限位槽13的两内侧壁上，并将每个槽轨41上的延伸板42均设置为两块，且两块延伸板42之间的间距与片叉1的厚度相适配，以使槽轨41置于限位槽13内时，位于限位槽13侧面的片叉1能限位插入到两块延伸板42及槽轨41之间，以形成片叉1与两块延伸板42及槽轨41之间三面限位的格局，以保证槽轨41在限位槽13内的位置稳定性。在连接片叉1与延伸板42时，可通过螺钉将两块延伸板42与片叉1固定连接。

相应地，在一些实施例中，参见附图5所示，滚动部包括与C型槽道411一一对应设置的两组滚轮组，两组滚轮组通过安装轴对称安装在推杆2的两侧，并能沿对应的C型槽道411移动。每组滚轮组均包括至少一个滚轮5，且滚轮5位于对应的C型槽道411内，其滚动面能同时抵接在C型槽道411的内顶壁、内底壁上，以抑制滚轮5滚动时的上下跳动。通过设置在推杆两侧的两组滚轮组的配合能进一步提高推杆的移动平稳性。需要注意的是，当设置有多个滚轮5时，多个滚轮5沿推杆2长度方向均匀布设。图中示出的滚轮组包括3个滚轮5。

更进一步地，沿滚轮5的轴向上，滚轮5的滚动面51的截面呈圆弧形结构，C型槽道411的内顶壁、内底壁也呈圆弧形结构，且C型槽道411内顶壁、内底壁的圆弧形结构的圆弧半径略大于滚轮5的滚动面51截面的圆弧形结构的半径。首先将滚轮5的滚动面截面、C型槽道411的内顶壁、内底壁均设置为圆弧形结构，使得滚轮5抵接在C型槽道411的内顶壁、内底壁时，C型槽道411能对滚轮5形成弧面抵接(即对滚轮的抵接处形成包裹式的限位)，进而抑制滚轮5水平方向(图示的左右方向)和竖直方向的抖动，保证滚轮5沿C型槽道411移动的稳定性。而将C型槽道411内顶壁、内底壁的圆弧形结构的圆弧半径设置为略大于滚轮5滚动面截面的圆弧形结构的圆弧半径，既减少了滚轮5滚动面与C型槽道411内顶壁、内底壁之间的接触面积，也使得滚轮5的侧面(非滚动面)与C型槽道411的内侧壁之间留有间隙，进一步减少滚轮5移动过程中与C型槽道411之间的接触面积，进而减少滚轮5移动时与C型槽道411之间的滚动摩擦。

需要注意的是，为了避免推杆2移动过程中触碰到槽轨41，一对槽轨41之间的穿设空间应大于推杆2的宽度，且C型槽道411的开口大小应大于推杆2的高度。当推杆2在驱动件作用下移动时，两组滚轮组能同时沿对应的C型槽道411移动，以对推杆2的移动进行导向。在推杆2移动的过程中，C型槽道411对滚轮组起到限位支撑的作用，进而间接地对推杆2起到限位支撑的作用，有效抑制推杆2移动过程中的晃动，此外，在推杆2移动的过程中，推杆2不会碰触到槽轨41及C型槽道411，只有滚轮组与C型槽道411之间会产生滚动摩擦，进而减少因增设推杆支撑组件而增加的摩擦阻力，避免因摩擦阻力过大导致的推杆2运动效率下降的问题。

由于一对槽轨41是分别安装在限位槽13内的，为了保证一对槽轨41的安装高度一致，在安装时需反复调试一对槽轨41的安装高度，操作较为繁琐。因此，在一些实施例中，对导向基座4的结构作了改进。具体的，参见附图6-9所示，导向基座4包括底座43及盖设在底座43上的盖板44。其中，底座43的下端部嵌装在限位槽13内，底座43的上端部两侧分别向外延伸形成覆盖在片叉1上端面上的固定板45，两个固定板45与底座43一体成型并呈T型结构，且固定板45与片叉1通过螺钉固接。底座43的上端开设有凹槽431，凹槽431沿推杆2移动方向的两侧分别设有贯穿所述底座43的缺口432，且缺口432与凹槽431共同形成导向通槽。当盖板44盖设在底座43上时，盖板44能对凹槽431及缺口432的上端进行封闭，且盖板44能覆盖在两个固定板45上并通过螺钉与固定板45、片叉1连接。需要注意的是，盖板44与固定板45、片叉1的连接位置不同于固定板45与片叉1的连接位置，以通过多个位置的固定连接提升固定板45在片叉1上的位置稳定性，进而提升底座43在限位槽13内的位置稳定性；此外，通过盖板44的设置既能对固定板45施压以使其更好地固接在片叉1上，抑制其竖直方向的移动，还能对导向通槽进行封闭，使导向通槽呈现出一个相对独立的封闭空间，有效防止外部污染。

相应地，在一些实施例中，参见附图7-8所示，滚动部包括对称安装在推杆2两侧的两组滚轮组，每组滚轮组均包括至少一个能沿凹槽431移动的滚轮5，且当滚轮5位于凹槽431内时，其滚动面51能同时抵接在凹槽431的内底壁、盖板44的下端面上，以抑制滚轮5滚动时的上下跳动。需要注意的是，当设置有多个滚轮5时，多个滚轮5沿推杆2长度方向均匀布设。图中示出的滚轮组包括1个滚轮。为了抑制滚轮5水平方向(图示的左右方向)的抖动，在滚轮5远离推杆2的一侧均设有能抵接到凹槽431内侧壁上的圆弧形凸起52，当推杆2移动时，因推杆2两侧的滚轮5的圆弧形凸起52分别抵接在凹槽431的两内侧壁上，进而抑制了滚轮5及推杆2的水平方向(图示的左右方向)抖动。

更进一步地，将缺口432的宽度设置为小于凹槽431的宽度，以将滚轮5的移动限定在凹槽431内。将推杆2的高度设置为小于凹槽431的深度，推杆2的宽度设置为小于缺口432的宽度，以使推杆2移动时，因滚轮5与凹槽431、盖板44的抵接，推杆2不会碰触到缺口432、凹槽431及盖板44，以减少移动时的摩擦。

在一些实施例中，为了减轻推杆2自重对移动速度及移动精度的影响，可在推杆2上开设减重孔22。

为了进一步精简导向基座4及滚动部的结构，在一些实施例中，参见附图10-11所示，导向基座4为一体式的T型结构，且导向基座4的下端部嵌装在限位槽13内，上端部覆盖在片叉1上并通过螺钉与片叉1固定连接。导向基座4沿推杆2移动方向上开设有导向通槽，滚动部为内置在导向通槽内的直线轴承6，推杆2位于直线轴承6内，并能沿导向通槽移动。通过导向基座4与片叉1的固接保证了导向通槽位置的稳定性，再通过直线轴承6既提高了推杆2移动的稳定性，同时减少了摩擦阻力。

需要注意的是，直线轴承为现有技术，常用于直线行程与圆柱轴(如推杆)的配合使用，具有摩擦小、稳定性好的优点，本实施例不再赘述其具体结构及工作原理。

上述的多个实施例中，均是通过滚动部在导向通槽内的限位移动来实现对推杆2的支撑的，换言之，推杆2仅有处于导向通槽内的部位是直接受到导向通槽的支撑的，而推杆2位于导向通槽外的部位是没有获得直接支撑的，即推杆2上受到的支撑力是不均匀的。基于此，在一些实施例中，对推杆2、导向部、滚动部的结构进行了改进。

具体的，参见附图12-15所示，推杆2呈工字型结构并能插设在限位槽13内。导向部包括对称嵌装在推杆2两侧的U型板46，U型板46上设有供片叉1插入的插槽。滚动部与U型板46一一对应设置，其包括分别安装在对应的插槽内底壁、内侧壁、内顶壁上的多组滚珠组7，且每组滚珠组7均能抵接在位于插槽内的片叉1上。示例性地，每组滚珠组7均包括沿推杆2移动方向布设的多个滚珠。当推杆2沿着限位槽13移动时，U型板46随之移动，并带动安装在其上的滚珠沿片叉1滚动，在该过程中，由于滚珠组7分别安装在插槽的内底壁、内顶壁、内侧壁上，其能分别抵接在片叉1的下端面、上端面上及限位槽13的侧面上，以实现片叉1上端面、下端面及限位槽13侧面与滚珠组7之间的滚动摩擦，且使得片叉1上端面、下端面及限位槽13侧面均与插槽之间留有(滚珠组的)安装间隙，以此避免了插槽任一方向与片叉1的接触摩擦，而且能形成片叉1与插槽三面限位(三个方向的限位)的格局，保证U型板46及推杆2的位置稳定性。此外，由于导向部及滚动部是安装在推杆2上的，在推杆2移动的过程中，导向部、滚动部均能随之移动，进而保证推杆2支撑部位的稳定性，同时能实现对推杆2所有部位的有力支撑，保证导向部对推杆2支撑力度的均匀性。

更进一步地，为了便于安装滚珠组7，将推杆2设置为分体结构，具体的，参见附图15所示，推杆2包括相对设置的上推板23、下推板24，上推板23、下推板24均呈T型结构，且上推板23、下推板24能通过卡接固定以形成工字型的推杆2。示例性的，可在上推板23朝向下推板24的一端开设燕尾槽231，在下推板24上设置能卡接在燕尾槽231内的卡接块241，需要注意的是，燕尾槽也可设置在下推板上，卡接块则对应设置在上推板上。当将卡接块241插入到燕尾槽231内时，上推板23、下推板24即可形成工字型的推杆2。且上推板23、下推板24的两侧共同形成用以嵌装U型板46的嵌槽，需要注意的是，由于嵌槽是上推板23、下推板24卡接固定后形成的，其中，嵌槽的内顶壁位于上推板23的下端面上，嵌槽的内底壁位于下推板24的上端面上，而嵌槽的内侧壁则是由上推板23、下推板24的侧面共同形成的。

U型板46也可设置成分体结构，在一示例中，参见附图14所示，U型板46包括上平板461、下平板462及侧平板463，且上平板461固接在嵌槽的内顶壁上，下平板462固接在嵌槽的内底壁上，侧平板463固接在嵌槽的内侧壁上。上平板461、下平板462、侧平板463上均设有用以安装滚珠组7的安装孔，嵌槽的内顶壁、内底壁、内侧壁上均设有用以容置滚珠组7的仿形槽，其中，嵌槽内侧壁上的仿形槽是通过上推板23、下推板24连接后拼合而成的。通过将推杆2、U型板46设置为分体结构，便于在嵌槽内安装三个方向的滚珠组7。

在本实施例中，通过在限位槽内设置推杆支撑组件，能对沿限位槽移动的推杆进行支撑，以抑制推杆相对于限位槽的抖动，进而保证推杆移动时相对于晶圆的位置稳定性，保证夹紧轮能准确抵推到晶圆上，以对晶圆进行有效夹持。

本实施例还公开了一种机械手，包括上述末端执行机构。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (20)

1.一种末端执行机构，包括片叉和推杆；其特征在于：

所述片叉前端部设有用以夹持晶圆的夹持区，所述夹持区内设有供晶圆抵接的前端限位块；所述片叉的后端部开设有限位槽；所述推杆能在驱动件作用下沿所述限位槽向靠近或远离所述夹持区的方向移动，所述推杆的前端部设有能抵推在晶圆上的夹紧轮；

还包括推杆支撑组件，所述推杆支撑组件置于所述限位槽内，用以在所述推杆移动时支撑住所述推杆；

所述推杆支撑组件包括导向部、滚动部，所述导向部位于所述限位槽内，用以对所述推杆沿限位槽的移动进行导向；所述滚动部设置在所述导向部或所述推杆上，用以减少所述推杆移动过程中与所述导向部或限位槽之间的摩擦。

2.根据权利要求1所述的末端执行机构，其特征在于：所述导向部固接在限位槽内，其上设有沿所述推杆移动方向布设的导向通槽；所述滚动部位于所述导向通槽内并与所述导向通槽滚动连接；所述推杆穿设在所述导向通槽内并通过滚动部支撑在所述导向通槽内。

3.根据权利要求2所述的末端执行机构，其特征在于：当所述推杆沿所述导向通槽移动时，所述推杆始终与导向通槽不接触。

4.根据权利要求2所述的末端执行机构，其特征在于：所述导向部包括导向基座，所述导向基座包括对称设置在所述限位槽内的一对槽轨，一对槽轨相对的一侧均开设有C型槽道，一对槽轨相背的一侧均设有延伸出所述限位槽并与所述片叉固接的延伸板。

5.根据权利要求4所述的末端执行机构，其特征在于：所述滚动部包括与所述C型槽道一一对应设置的两组滚轮组，两组所述滚轮组通过安装轴对称安装在所述推杆的两侧，并能沿对应的所述C型槽道移动。

6.根据权利要求5所述的末端执行机构，其特征在于：所述滚轮组包括至少一个滚轮，且所述滚轮的滚动面能同时抵接在所述C型槽道的内顶壁、内底壁上。

7.根据权利要求6所述的末端执行机构，其特征在于：沿所述滚轮的轴向上，所述滚轮滚动面的截面呈圆弧形结构；所述C型槽道的内顶壁、内底壁也呈圆弧形结构；且所述C型槽道的内顶壁、内底壁的圆弧形结构的圆弧半径均大于所述滚动面截面的圆弧形结构的圆弧半径。

8.根据权利要求5-7任一所述的末端执行机构，其特征在于：所述C型槽道的开口大小大于推杆的高度。

9.根据权利要求2所述的末端执行机构，其特征在于：所述导向部包括导向基座，所述导向基座包括底座及盖设在所述底座上的盖板；所述底座的下端部嵌装在所述限位槽内，上端部两侧分别向外延伸形成能覆盖在所述片叉上端部上的固定板；两个所述固定板分别与片叉固定连接。

10.根据权利要求9所述的末端执行机构，其特征在于：所述底座的上端开设有凹槽，所述凹槽沿所述推杆移动方向的两侧分别设有贯穿所述底座的缺口，且所述缺口与凹槽共同形成供所述推杆穿设的导向通槽。

11.根据权利要求10所述的末端执行机构，其特征在于：所述盖板盖设在所述底座上并能对所述凹槽、缺口的上端进行封闭。

12.根据权利要求11所述的末端执行机构，其特征在于：所述滚动部包括对称安装在所述推杆两侧的两组滚轮组，每组所述滚轮组均包括至少一个能沿所述凹槽移动的滚轮，且当所述滚轮位于所述凹槽内时，所述滚轮的滚动面能同时抵接在所述凹槽的内底壁和所述盖板的下端面上。

13.根据权利要求12所述的末端执行机构，其特征在于：所述滚轮远离所述推杆的一侧还设有能抵接到所述凹槽内侧壁上的圆弧形凸起。

14.根据权利要求10-13任一所述的末端执行机构，其特征在于：所述缺口的宽度小于所述凹槽的宽度，所述推杆的高度小于所述凹槽的深度，所述推杆的宽度小于所述缺口的宽度。

15.根据权利要求2所述的末端执行机构，其特征在于：所述导向部包括呈T型结构的导向基座，所述导向基座的下端部嵌装在所述限位槽内，上端部覆盖在所述片叉上并与所述片叉固接；所述导向基座沿所述推杆移动方向上开设有导向通槽；所述滚动部为内置在所述导向通槽内的直线轴承。

16.根据权利要求1所述的末端执行机构，其特征在于：所述推杆呈工字型结构并能插设在所述限位槽内；所述导向部安装在所述推杆上，其包括对称嵌装在所述推杆两侧的U型板，所述U型板上设有供所述片叉插入的插槽；所述滚动部内置在所述插槽内并能抵接在所述片叉上。

17.根据权利要求16所述的末端执行机构，其特征在于：所述滚动部包括分别安装在所述插槽内底壁、内侧壁、内顶壁上的多组滚珠组，且每组所述滚珠组均能抵接在位于所述插槽内的所述片叉上。

18.根据权利要求16所述的末端执行机构，其特征在于：所述推杆包括相对设置的上推板、下推板，所述上推板、下推板均呈T型结构，且所述上推板、下推板卡接固定。

19.根据权利要求18所述的末端执行机构，其特征在于：所述上推板朝向所述下推板的一端开设有燕尾槽，所述下推板上设有能卡接到所述燕尾槽内的卡接块。

20.一种机械手，包括末端执行机构，其特征在于：所述末端执行机构包括片叉、推杆及推杆支撑组件；

所述片叉前端部设有用以夹持晶圆的夹持区，所述夹持区内设有供晶圆抵接的前端限位块；所述片叉的后端部开设有限位槽；

所述推杆能在驱动件作用下沿所述限位槽向靠近或远离所述夹持区的方向移动，所述推杆的前端部设有能抵推在晶圆上的夹紧轮；

所述推杆支撑组件置于所述限位槽内，用以在所述推杆移动时支撑住所述推杆；所述推杆支撑组件包括导向部、滚动部，所述导向部位于所述限位槽内，用以对所述推杆沿限位槽的移动进行导向；所述滚动部设置在所述导向部或所述推杆上，用以减少所述推杆移动过程中与所述导向部或限位槽之间的摩擦。

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