KR101099980B1

KR101099980B1 - 무연 압전 조성물

Info

Publication number: KR101099980B1
Application number: KR1020100043114A
Authority: KR
Inventors: 천채일; 김정석
Original assignee: 호서대학교 산학협력단
Priority date: 2010-05-07
Filing date: 2010-05-07
Publication date: 2011-12-28
Also published as: KR20110123566A

Abstract

본 발명은 무연 압전 세라믹 조성물(lead-free piezoelectric ceramic composition)에 관한 것으로, 특히 일반식 (1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃(여기서, x는 0.2 ≤ x < 1.0 의 범위에 있는 실수(real number)이다)로 표현되는 주성분과 Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 부성분으로 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은 상기 부성분이 주성분인 2원계 고용체의 절연저항을 증가시킴으로써, 시편에 높은 전기장을 인가하여 분극(poling)할 수 있게해서 압전 특성을 향상시킨다.

Description

무연 압전 조성물{LEAD-FREE PIEZOELECTRIC CERAMIC COMPOSITION}

본 발명은 압전 공진기 및 필터, 압전 센서(sensor), 엑츄에이터(actuator) 또는 압전 변압기 등에 널리 응용될 수 있는 무연 산화물(lead-free oxide)계 압전 세라믹 조성물에 관한 것으로, 특히 압전 세라믹 소재의 절연저항을 증가시킴으로써, 시편에 높은 전기장을 인가하여 분극(poling)할 수 있게 해서 압전 특성을 향상시킬 수 있는 무연 압전 조성물에 대한 것이다.

현재 사용되는 대부분의 압전 소재의 기본 조성은 Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)계이며, 이 조성계에는 납(Pb)이 약 65%(중량비) 이상 함유되어 있어 환경 규제 대상 재료이다. 따라서, PZT계 압전 소재를 대체하기 위한 많은 연구 개발이 진행되고 있으며, (K,Na)NbO₃, (Bi,Na)TiO₃ 등을 기본조성으로 하는 무연 압전 소재가 개발된 바 있으나, 아직까지 기존의 PZT계 압전 소재와 비교하여 특성이 현저히 떨어지고, 제조 공정도 까다로운 단점이 있다.

이와 비교하여, 본 발명은 BiFeO₃를 기본조성으로 하는 새로운 무연 압전 소재 조성물에 관한 것이다. BiFeO₃는 상온에서 강유전성과 반강자성이 공존하는 대표적인 다강성 소재로 알려져 있으며, BiFeO₃ 단결정 박막은 우수한 강유전 특성을 보이며, 압전 상수(d₃₃)가 70~80 pC/N 라고 보고된 바 있다. 또한, BiFeO₃ 압전 박막을 이용한 잉크젯 프린터 헤드 등의 압전 소자에 관한 보고가 있었다.

이와 관련하여, 일본 공개특허 제2009-242229호는 BiFeO₃에 다른 페로브스카이트 화합물을 고용시킨 박막의 압전 특성에 대하여 기재하고 있다. 여기서는, 펄스 레이저 증착법(PLD)으로 실리콘(Si) 또는 MgO 단결정 기판 위에 수백 나노미터내지 수 마이크로미터 두께의 BiFeO₃-BaTiO₃-BiMnO₃, BiFeO₃-BaTiO₃-SrTiO₃-BiMnO₃ 등 BiFeO₃계 3성분계 또는 4성분계 조성을 가진 에피택셜 박막을 제조하고 압전 특성을 측정하여 보고하였다.

일반적으로, BiFeO₃계 압전 박막은 누설전류가 커서 상온에서 압전 특성을 얻기 어렵다고 알려져 있는데, 상기 일본 공개특허 제2009-242229호에서는 누설전류를 감소시키기 위하여 BiFeO₃-BaTiO₃ 2성분계 고용체에 다시 제 3성분으로 5 mole %의 BiMnO₃를 고용시킨 3성분계 압전 박막을 제조하였다. 또는 여기에 10 mole %의 SrTiO₃를 제 4성분으로 첨가하여 압전 특성의 향상을 시도하였다.

그러나, 3성분 또는 4성분으로 첨가한 BiMnO₃, SrTiO₃등은 BiFeO₃계 압전체의 큐리온도(Tc)를 크게 감소시켜 압전성이 발현되는 온도 구간이 감소되며, 유전상수가 감소하는 등 유전 및 압전 특성의 저하를 유발하는 문제점이 있다. 또한, 실리콘 등의 기판 위에 증착된 압전 박막의 경우 압전체의 두께가 수백 nm 또는 수 마이크로 미터로 작기 때문에 큰 변위나 힘을 얻기 힘들며, 제조공정이 복잡하고 제조 단가가 비싼 등의 단점이 있어, 미세 전기기계시스템(MEMS, microelectromechanical system) 등으로 용도가 제한된다. 현재 응용되고 있는 압전 액츄에이터, 압전 센서, 압전 통신용 필터/레조네이터 등 대부분의 압전 소자에는 제조공정이 간단하고 제조 단가가 저렴한 다결정 압전 세라믹 소재가 이용되고 있으며, 이러한 응용 분야에는 선행 기술에서 보고한 BiFeO₃ 압전 박막 소재를 적용할 수 없다.

한편, BiFeO₃다결정 세라믹 소재는 고온에서 소결하는 동안 구성 성분인 Bi의 높은 휘발성과 낮은 BiFeO₃상의 분해 등의 이유로 단일 상을 얻기 힘들고, 불순물 및 이온 결함을 포함하고 있어 전기 저항이 낮다고 알려져 있다. 분극 축(polar axis) 방향으로 배열된 에피택셜 단결정 박막과는 다르게, 다결정 세라믹 소재는 각 입자(grain)의 방향성이 무질서하기 때문에 압전성을 부여하기 위해서는 소결 시편의 양면에 전극을 형성시킨 후, 수 KV/mm의 높은 전기장을 수십 분 동안 인가하여 시편의 전기 쌍극자의 방향을 전기장 방향으로 배열시키는 분극(poling) 과정을 거쳐야 한다. 전기 저항이 낮은 BiFeO₃다결정 세라믹 소재는 전기장을 인가하는 분극(poling) 공정 중에 전기적 파괴가 일어나 압전 특성을 얻기 힘들다고 알려져 있다.

이러한 단점을 극복하기 위하여, BiFeO₃에 La, Mn 등 여러 가지 부성분을 인가하여 전기저항을 증가시키고 강유전성을 향상시킨 보고들이 있다. 하지만, 이러한 시편들도 분극(poling)과정에서 대부분 전기적 파괴가 일어나기 때문에 BiFeO₃단일 상에 부성분을 첨가한 다결정 세라믹 소재의 압전 특성에 대한 보고는 아직 없다.

BiFeO₃다결정 세라믹 소재의 전기 저항을 증가시키는 또 다른 방법으로 PbTiO₃ 등의 안전한 페로브스카이트 결정구조를 가진 산화물과 고용체를 형성시켜 불순물 생성을 억제하는 방법이 있다. 그러나, BiFeO₃에 다른 화합물을 고용하여 BiFeO₃다결정 세라믹의 압전 특성을 향상시킨 보고는 PbTiO₃를 고용한 것이 유일하다. 즉, BiFeO₃에 PbTiO₃를 고용하고 적절한 첨가제를 이용하여 상을 안정화하고 압전 특성을 향상시킨 보고가 있었다. 하지만, 이 경우에는 PbTiO₃의 함유량이 30 몰 % 이상으로 많은 양의 납(Pb)를 함유하고 있는 조성이기 때문에, 여전히 환경 규제의 대상이 되는 단점이 있다.

상기한 바와 같이, 납을 함유하지 않은 무연 압전 산화물인 BiFeO₃은 낮은 절연저항으로 인하여 우수한 압전 특성을 얻을 수 없는 문제점이 있었던 바, 본 발명은 BiFeO₃-BaTiO₃를 기본조성으로 하고, 여기에 다시 소량의 부성분을 첨가하여 절연 저항을 증가시키고, 우수한 압전 특성을 가진 무연 압전 세라믹 소재 조성물을 제공하는 것이 목적이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 하기 일반식으로 표현되는 성분을 포함하는 무연 압전 조성물에 있어서, Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무연 압전 조성물이다.

[일반식]

(1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃

(여기서, x는 0.2 ≤ x < 1.0 의 범위에 있는 실수(real number)이다).

여기서, 상기 x는 0.2 ≤ x ≤ 0.4 범위 내에 있는 유리수(rational number)인 것이 바람직하다.

또한, 상기 Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상은 상기 일반식으로 표현되는 성분에 대하여 0.1 내지 2.0 mole % 범위 내의 비율로 포함되는 것이 더욱 바람직하다.

또한, 본 발명의 다른 실시형태는 상기한 바와 같은 무연 압전 조성물이 사용되어 제조된 것을 특징으로 하는 압전 응용 소자이다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

상기한 본 발명에 의하면, 종래의 BiFeO₃단일세라믹스보다 유전 및 압전 특성이 우수한 새로운 무연 압전 세라믹 조성물을 제조하는 것이 가능하다.

즉, 본 발명은 일반식 (1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃(여기서, x는 0.2 ≤ x < 1.0 의 범위에 있는 실수(real number)이다)로 표현되는 주성분과 Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 부성분으로 더 포함하는 것을 특징으로 하여, 상기 부성분이 주성분인 2원계 고용체의 절연저항을 증가시킴으로써, 시편에 높은 전기장을 인가하여 분극(poling)할 수 있게해서 압전 특성을 향상시킬 수 있다.

그리고, 본 발명에 의한 압전 세라믹 조성을 사용할 경우, 기존의 납을 포함한 압전 세라믹스를 대신하여 압전 필터, 압전 센서 및 엑츄에이터, 압전 발전 소자(energy harvesting devices) 등의 압전 응용 소자에 적용될 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 압전 세라믹 소재는 소결온도가 1,000℃ 근처로 낮기 때문에 Si 기판을 이용한 압전 MEMS 소자용 후막 소재나 적층형 모놀리식 압전체를 제조할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 무연 압전 조성물을 이용하여 제조된 소결 시편의 X-선 회절 패턴 일례를 나타내는 그래프이다.

이하에서는 본 발명의 바람직한 하나의 실시형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.

본 발명은 일반식 (1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃ 로 표현되는 압전 세라믹 조성물에 대한 것으로, 상기 일반식으로 표현되는 성분을 주요한 성분으로 포함하는 것이다.

즉, 본 발명은 기본적으로 BiFeO₃계 세라믹스의 압전 특성을 향상시키기 위하여, 무연 조성인 BaTiO₃ 를 적정량 고용시킨 BiFeO₃-BaTiO₃ 2원계 고용체를 제조한 것이다. BiFeO₃에 절연 저항이 높고, 안전한 페로브스카이트 상인 BaTiO₃를 고용시킴으로써, 불순물 상의 생성을 억제하고, 전기 저항을 향상시켜 다결정 압전 소재의 압전 특성을 향상시키는 것이다.

한편, 강유전체는 결정구조가 다른 강유전체와 고용되면, 중간 조성에서 결정상이 바뀌는 상경계(MPB, morphotropic phase boundary)가 존재하며, 이 근처 조성에서 압전 특성이 크게 향상된다고 알려져 있다. BiFeO₃는 능면체정 결정구조의 강유전상이며, BaTiO₃는 정방정 결정구조의 강유전상이므로, BiFeO₃-BaTiO₃ 2원계 고용체의 조성비를 적정하게 조절하여, 두 상이 공존하는 상경계(MPB)을 만들 수 있으며, 본 발명에서는 바로 이러한 방법을 이용하여 우수한 압전 특성을 얻을 수 있는 것을 기본적인 기술적 특징으로 한다.

여기서, 상기 x는 0.2 ≤ x < 1.0 범위 내에 있는 실수(real number)인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 상기 x가 0.2 ≤ x ≤ 0.4 범위 내에 있는 유리수(rational number)인 것이 적합하며, 상기 x는 0.3인 것이 가장 바람직하다. 왜냐하면, BiFeO₃-BaTiO₃ 2원계 고용체의 결정구조 분석에 대한 본 발명자들의 실험 결과에 따르면 이 조성 근처가 능면체정 상과 정방정 상의 상경계 조성에 해당하기 때문이다. 만약, x가 0.2보다 작은 조성, 즉 BiFeO₃의 양이 0.8보다 많은 경우에는 절연 저항이 낮아 분극(poling)시 대부분 절연 파괴가 일어나서 압전 특성을 부여하기 힘들기 때문이다. 본 발명자들은 이러한 사실을 확인한 후, 본 발명을 완성하였다.

이와 함께, 본 발명은 상기 일반식 (1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃로 표현되는 주성분에, Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 부성분으로 더 포함하는 것을 특징으로 하여, 압전 특성을 더욱 향상시킨 무연 압전 세라믹 조성물이다.

즉, 본 발명자들은 후술하는 실시예에서 확인할 수 있는 바와 같이, 상기한 BiFeO₃-BaTiO₃ 2원계 고용체에 Cr₂O₃, MnO₂ 및/또는 CeO₂ 와 같은 금속 산화물(metal oxide)을 부성분으로서 더 포함시킴으로써, 압전 특성을 현저히 우수하게 개선시킬 수 있음을 확인하였고, 이에 따라 본 발명을 완성한 것이다.

특별히, 상기 Cr₂O₃, MnO₂ 및/또는 CeO₂ 는 상기 일반식으로 표현되는 성분에 대하여 0.1 내지 2.0 mole % 범위 내의 비율로 포함되는 것이 바람직하고, 0.5 내지 1.5 mole % 범위 내의 비율로 포함되는 것이 더욱 바람직하며, 그 중에서도 1.0 mole% 비율로 포함되는 것이 가장 바람직하다. 첨가되는 부성분의 양이 이보다 적으면 절연저항을 증가시키는 효과가 미비하고, 이보다 많으면 불순물 상을 생성시키거나 결함을 생성시켜서 압전 특성을 저하시키거나 절연저항을 오히려 감소시키므로 바람직하지 않다.

이와 같이, 본 발명에 따라 부성분으로써 Cr₂O₃, MnO₂ 및/또는 CeO₂ 등을 소량 첨가하면, BiFeO₃-BaTiO₃ 2원계 고용체의 절연저항을 더욱 증가시켜, 시편에 높은 전기장을 인가하여 분극(poling)할 수 있게 함으로써, 압전 특성을 크게 향상시킬 수 있다.

삭제

한편, 상기한 본 발명에 따른 압전 세라믹 조성물은 압전 공진기, 필터, 센서, 압전 발전 소자(energy harvesting devices) 등을 제조하는데 사용될 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 압전 세라믹 조성물은 소결온도가 1,000℃ 근처로 낮기 때문에 금속 전극과의 저온 동시 소성 세라믹스(low-temperature co-firing ceramics, LTCC)로의 제조가 가능하므로, 적층형 모놀리식 압전체에 적용되어 압전 엑추에이터, 압전 변압기, 압전 발전소자 등에 사용될 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 압전 세라믹 조성물은 실리콘 기판을 이용한 압전 MEMS 소자의 후막 재료로 사용될 수 있다.

본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해 될 수 있으며, 하기의 실시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.

실시예 1: (1-x)BiFeO ₃ -xBaTiO ₃ + 부성분(Cr ₂ O ₃ , MnO ₂ , CeO ₂ ) 조성물의 제조

먼저, 압전 세라믹 재료의 출발 원료로서는 분말상의 Bi₂O₃, Fe₂O₃, BaCO₃, TiO₂ 를 사용하였다. 각 원료의 양이 아래 조성 식을 만족하는 몰 비가 되도록 각 원료들의 무게를 재어 플라스틱 통에 넣고 지르코니아 볼과 증류수와 함께 24시간 동안 볼 밀링하여 혼합하였다.

조성: (1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃(x=0.1∼0.5)

그래서, 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃ 의 조성식을 만족하는 조성물을 준비하였다.

이어서, 상기 준비된 조성물을 건조한 후 800∼850℃에서 3시간동안 하소하였다. 그런 다음, 하소한 분말에 부성분으로써 Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂를 상기 조성식의 주성분에 대하여 1~2 mole %로 각각 첨가한 후 하소 전과 동일한 조건으로 결합제(1wt% PVA)와 함께 다시 볼 밀링하였다. 그리고는, 이것을 건조하고 100 메쉬 체를 이용하여 조립화한 후, 1.2 ton/의 압력을 인가하여 직경 9 mm의 원판형으로 성형하였다. 성형된 시편내의 결합제를 휘발 시킨 후 950 ~ 1,100에서 1시간 유지하여 소결하였다. 1,000 이상의 온도에서 소결하는 경우에는, 소결하는 동안 Bi 등 구성 성분의 휘발이나 상 분해 등을 방지하기 위하여 Bi₂O₃ , BiFeO₃ 또는 성형체와 동일한 조성의 분말을 분위기 분말로 사용할 수 있다.

소결 시편의 전기적 특성을 측정하기 위하여 양면에 은 페이스트를 도포한 후 650에서 10분동안 열처리하여 은 전극을 형성시켰다. 이후에는, 압전 특성을 부여하기 위하여 실리콘 오일 용기에 시편을 담그고 80~120에서 3~5 kV/mm의 전계를 20분 동안 인가하여 분극하였다.

절연 저항은 시편에 500V의 전압을 20초 동안 인가한 후 측정하였고, 유전 상수와 유전 손실은 임피던스 어널라이저(HP 4192A)를 이용하여 1 KHz에서 측정하였으며, 압전 특성은 압전 상수 측정기(d₃₃ 미터)를 이용하여 측정하였다.

이와 같이, Cr₂O₃, MnO₂ 및 CeO₂를 부성분을 포함하는 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃ 2원 고용체 세라믹 소재의 물성을 하기 표 1에 나타내었다.

[부성분을 포함한 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃ 세라믹스의 압전 특성]

No.	부성분	선수축률 (%)	절연저항 (Ω·㎝)	유전상수 (e_r)	유전손실 (tan d)	압전상수(d₃₃) (pC/N)
1	없음	15.92	1.01 E+09	937	0.126	절연파괴
2	1 mole% MnO₂	16.57	5.15 E+09	688	0.054	110
3	1 mole% Cr₂O₃	15.25	2.30 E+10	750	0.102	149
4	1 mole% CeO₂	15.79	2.49 E+10	802	0.06	139
5	2 mole% MnO₂	16.78	3.04 E+08	549	0.066	-
6	2 mole% Cr₂O₃	17.35	2.88 E+10	777	0.092	-

상기 표 1에 나타난 바와 같이, 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃시편과 소량의 부성분이 첨가된 시편은 모두 1,000℃의 소결온도에서 15% 이상의 수축률을 보였으며, 이는 이들 시편들이 모두 충분하게 소결되었음을 보여주는 것이다.

또한, 상기 표 1에서 볼 수 있는 것처럼 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃시편에 부성분으로 Cr₂O₃, MnO₂, CeO₂중에서 한 가지를 1 mole % 첨가한 시편은 모두 절연저항이 증가하였으며, 유전손실(tand)이 감소하였다. 하지만, MnO₂를 2 mole % 첨가한 시편의 경우는 절연저항이 오히려 감소하였음을 알 수 있다. 따라서, 절연저항을 증가시킬 수 있는 부성분의 양은 2 mole % 미만인 것이 바람직하다.

나아가, 상기 소결한 시편에 압전 특성을 부여하기 위하여 실리콘 오일 용기에 시편을 담그고 80℃~120℃에서 5 kV/mm의 전기장을 20분 동안 인가하여 분극한 후 압전 상수(d₃₃)를 측정하여 표 1에 함께 나타내었다. 불순물 상이 존재하는 2 mole % Cr₂O₃를 첨가한 시편과 절연저항이 감소한 2 mole % MnO₂를 첨가한 시편의 압전특성은 측정하지 않았다. 높은 압전 특성을 얻기 위하여 80℃~120℃에서 5 kV/mm의 전기장을 인가하여 분극(poling)하였을 때의 압전 상수를 표 1에 나타내었으며, 이 때 부성분을 포함하지 않은 시편은 전기적 파괴가 발생하여 압전 특성을 얻을 수가 없었다.

이와 비교하여, 부성분으로 Cr₂O₃, MnO₂, CeO₂중에서 한 가지를 1 mole % 첨가한 시편은 모두 전기적으로 파괴되지 않고 압전 특성을 얻을 수 있었으며, 압전 상수(d₃₃)가 각각 110, 149, 126 pC/N 으로 큰 값을 보였다. 이로부터 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃시편에 부성분으로 Cr₂O₃, MnO₂, CeO₂중에서 한 가지를 1 mole % 첨가하면, 절연 저항이 증가하여 고온에서 큰 전기장을 인가하여 분극(poling) 공정을 수행할 수 있고, 따라서 압전 특성이 크게 향상됨을 알 수 있다.

이와 함께, 상기와 같이 부성분을 포함하는 본 발명에 따른 세라믹 소재를 소결한 후 X-선 회절 분석을 하여 얻은 X-선 회절 패턴을 도 1에 나타내었다.

도 1에서 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃로 표시한 그래프는 부성분을 첨가하지 않은 시편에 대한 X-선 회절 패턴이며, 나머지는 부성분을 첨가한 시편에 대한 X-선 회절 패턴이고, 첨가한 부성분과 그 양을 표시하였다. 도 1에서, 0.7BiFeO₃-0.3BaTiO₃이원 고용체 세라믹 소재는 불순물을 포함하지 않은 단일 상임을 알 수 있다.

여기에 부성분으로 Cr₂O₃, MnO₂, CeO₂중에서 한 가지를 1 mole % 첨가한 시편과 MnO₂를 2 mole % 첨가한 시편의 경우도 불순물 상이 생성되지 않았음을 알 수 있다. 그러나, Cr₂O₃를 2 mole % 첨가한 시편의 경우는 도 1에서 별표로 표시한 불순물 회절 피크가 관찰되었다. 이로부터, 부성분을 2 mole % 이상으로 너무 많이 첨가하면, 불순물 상이 생성되어 압전 특성의 저하를 초래할 수 있음을 다시 한번 확인할 수 있다.

한편, 상기에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 기술적 특징이나 분야를 이탈하지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것은 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이다.

본 발명은 압전 세라믹 소재의 절연저항을 증가시킴으로써, 시편에 높은 전기장을 인가하여 분극(poling)할 수 있게 해서 압전 특성을 향상시킬 수 있는 무연 압전 조성물을 제공할 수 있는 것이다.

Claims

하기 일반식으로 표현되는 성분을 포함하는 무연 압전 조성물에 있어서,
[일반식]
(1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃
(여기서, x는 0.2 ≤ x < 1.0 의 범위에 있는 실수(real number)이다).
Cr₂O₃ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무연 압전 조성물.
제1항에 있어서, 상기 Cr₂O₃ 및 CeO₂ 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나 이상은 상기 일반식으로 표현되는 성분에 대하여 0.1 내지 2.0 mole % 범위 내의 비율로 포함되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 조성물.
하기 일반식으로 표현되는 성분을 포함하는 무연 압전 조성물에 있어서,
[일반식]
(1-x)BiFeO₃-xBaTiO₃
(여기서, x는 0.2 ≤ x < 1.0 의 범위에 있는 실수(real number)이다).
MnO₂ 를 더 포함하고,
상기 MnO₂ 는 상기 일반식으로 표현되는 성분에 대하여 0.1 내지 2.0 mole % 범위 내의 비율로 포함되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 조성물.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 무연 압전 조성물이 사용되어 제조된 것을 특징으로 하는 압전 응용 소자.