KR101089634B1 - 세정장치의 노즐모듈 - Google Patents

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Abstract

흡입(Suck Back)의 불량을 감지할 수 있는 세정장치의 노즐모듈이 제공된다. 제공된 본 발명에 의한 세정장치의 노즐모듈은, 분사홀이 형성되어 상기 분사홀로 웨이퍼를 세정하는 세정액을 분사하는 노즐, 상기 세정액의 유출여부를 감지하는 센서부, 그리고, 상기 센서부와 연결되어 상기 노즐의 분사여부에 따라 사용자 인터페이스를 제공하는 제어부를 포함한다. 이와 같은 구성에 의하면, 세정액이 분사되어야 할 상황, 또는 분사되지 않아야 할 상황에서 세정액의 분사여부에 따라 감지센서가 분사에러신호를 보냄으로써, 사용자가 노즐모듈의 불량을 감지할 수 있게 된다.
노즐, 세정장치, 발광파트, 수광파트, 제어부.

Description

세정장치의 노즐모듈{NOZZLE MODULE FOR CLEANING APPARATUS}
본 발명은 세정장치의 노즐모듈에 관한 것으로, 보다 자세하게는 노즐 내에 형성된 분사홀을 통한 세정액 유출여부를 감지하여 노즐불량을 판단하게 하는 감지센서의 구비로 인해, 사용자로 하여금 세정액 유출여부를 인지할 수 있게 하는 노즐모듈에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 리소그래피, 증착 및 에칭 등과 같은 일련의 공정들이 반복되어 제조된다. 이때, 반도체를 만드는데 사용되는 기판의 표면에는 여러 공정을 거치면서 각종 파티클, 금속 불순물 및 유기물 등과 같은 오염물질들이 잔존하게 된다. 상기 기판 상에 잔존하는 오염물질은 제조되는 반도체의 신뢰성을 저하시키므로, 이를 개선하기 위해 세정장치가 반도체 제조공정 중에 채용된다.
세정장치는 건식(Dry) 또는 습식(Wet) 중 어느 하나의 방식으로 기판 표면의 오염물질을 처리한다. 여기서, 상기 습식세정방식은 액체의 세정액을 이용한 세정방식으로써, 복수의 기판을 동시에 세정하는 배치식과 기판을 낱장 단위로 세정하는 매엽식으로 구분되는데, 기판의 회전에 의한 원심력으로 세정하는 매엽식 기판세정장치가 일반적으로 채용된다.
상기 매엽식 기판세정장치에서 하나의 노즐 구동부에 다수의 세정액을 구비하여 처리하기 위하여, 하나의 노즐 구동부에 다수의 분사홀을 구비한다. 이때, 세정액 분사개폐장치인 흡입(Suck Back)밸브의 불량으로 인해 작동하지 않은 노즐의 세정액 누수로 인하여 기판이 오염되는 문제점이 야기된다. 이러한 세정액의 누수가 반복적으로 계속되다 보면, 결국 기판의 불량으로 이어지고, 정상적인 기판을 생산하지 못하는 결과가 나타난다. 따라서 불량한 기판은 버려지거나 재세정이 이루어짐으로 인해 의도하지 않은 처리비용의 상승이라는 결과를 가져온다. 이는 결과적으로 기판의 생산성 악화를 야기한다.
한편, 정상적으로 작동해야 함에도 세정액이 분사되지 않는 문제점 또한 발생할 수 있다. 이러한 문제를 빠른 시간 안에 발견하지 못한 경우에는 세정이 완벽하게 이루어지지 않은 기판이 생산됨으로 인하여, 기판의 품질과 신뢰성을 떨어뜨리게 되고, 다시 기판을 세정함에 따른 추가적인 비용과 시간을 필요로 한다. 이 또한 결과적으로 기판의 생산성 악화를 가져온다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 노즐에서 흡입 밸브의 불량 등에 의하여 노즐로부터 세정액이 누수되어 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있는 노즐모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 세 정액을 감지하는 센서로부터 세정액이 분사되고 있는지에 대한 분사신호를 받아, 세정액의 미분출에 따른 기판의 세척불량을 방지할 수 있는 노즐모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 의한 노즐모듈은, 분사홀이 형성되어 상기 분사홀로 웨이퍼를 세정하는 세정액을 분사하는 노즐, 상기 세정액의 유출 여부를 감지하는 센서부, 그리고, 상기 센서부와 연결되어, 상기 노즐의 분사 여부에 따라 사용자 인터페이스를 제공하는 제어부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 센서부를 감싸도록 형성되어 상기 노즐과 결합되는 커버를 포함한다. 이때 상기 센서부는 상기 분사홀을 중심으로 양쪽에 각각 배치되어 적외선을 주고 받아 세정액의 유출 유무를 감지하는 발광파트와 수광파트를 포함한다. 즉, 본 발명에 의하면 분사홀을 통한 세정액의 유출 여부를 발광파트와 수광파트 사이의 적외선의 끊김 여부에 따라 판단할 수 있는 것이다.
한편, 상기 분사홀은 복수로 형성되어 있어, 하나의 노즐 구동부에서 다수의 세정액을 구비하여 기판의 세정이 가능하다. 그리고 상기 사용자 인터페이스는 상 기 사용자에게 경보수단을 제공하여, 세정액의 유출 또는 분사 여부를 사용자가 알 수 있다. 이때 상기 경보수단은 알람(alarm)을 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따른 노즐모듈은, 첫째, 흡입 밸브의 불량 등으로 인해 작동하지 않아야 할 노즐에서 세정액의 누수가 발생하는 경우에 감지센서가 분사에러신호를 보냄으로써, 세정액의 누수로 인한 기판의 오염을 방지할 수 있다.
둘째, 상기 노즐로부터 세정액이 분사되어야 함에도 분사되지 않는 경우에 감지센서가 분사에러신호를 보냄으로써, 세정액의 미분출에 따른 기판의 손상을 막을 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 노즐모듈(1)은, 노즐(10), 센서부(20), 및 제어부(40)를 포함한다.
상기 노즐(10)은 기판의 세정을 위해 세정액을 분사한다. 이때 노즐(10)은 대략 호스 형태로서, 그 길이방향을 따라 세정액을 운반하여 분사하는 역할을 수행한다. 그 내부에는 다수의 세정액을 각각 분사하여 기판을 처리하기 위하여 복수개의 분사홀(11)이 형성된다. 상기 분사홀(11)은 도2의 도시와 같이, 상기 노즐(10)내부에 노즐의 길이 방향과 평행한 방향으로 형성된다. 이때 상기 분사홀(11)은 꼭 복수개로 한정하는 것은 아니고, 하나의 분사홀이 형성된 노즐이 채용 될 수 있다.
이때에, 상기 기판은 반도체 기판이 되는 실리콘 웨이퍼로 예시하나, 꼭 이를 한정하는 것은 아니다. 즉, 상기 기판은 LCD(Liquid Crystal Display) 또는 PDP(Plasma Display Panel)와 같은 평판 디스플레이 장치용 유리기판이 채용될 수 있음은 당연하다.
상기 노즐(10)은 상기 센서부(20)를 감싸도록 형성되어 있는 커버(12)를 포함한다. 상기 커버(12)는 상기 센서부(20)를 포함하면서 상기 노즐(10)을 감싸는 형상을 나타낸다. 이때 상기 커버(12)가 상기 센서부(20)를 포함하지 않고, 상기 노즐(10)이 직접 상기 센서부(20)를 포함하는 경우도, 도시되지 않았지만, 이러한 변형예도 가능함은 당연하다.
상기 커버(12)에는 연결부(13)가 있어, 상기 노즐(10)과의 결합이 가능하다. 하지만, 상기 실시예 이외에도 커버의 재질을 탄성재질로 바꾸어 탄성력에 의해 상기 노즐(10)과 상기 커버(12)가 결합하는 것을 포함한다. 즉, 상기 커버(12)는 상기 센서부(20)의 구성을 보다 쉽게 하기 위한 것으로, 그 재질은 다양한 탄성재질을 포함하며, 결합이 가능한 모든 수단이 채용될 수 있다.
상기 센서부(20)는 상기 노즐(10)의 출구쪽, 상기 분사홀(11)의 측면에, 상기 분사홀(11)과 수직으로 위치하여, 세정액의 유출 여부를 감지하여 센서부가 분사에러신호를 보내는 역할을 하게 된다. 이러한 센서부(20)는 발광파트(21)와 수광파트(22)를 포함한다.
한편, 상기 세정액은 건조액인 이소프로필 알코올과 대체될 수 있으며, 따라 서, 상기 노즐모듈(1)은 상기 기판의 세정뿐 아니라, 건조공정에도 사용된다. 또한, 복수개의 분사홀(11)이 형성된 경우, 특정수의 분사홀이 세정액만 포함하고, 건조액은 나머지 분사홀을 통해 기판상으로 분사되는 변형 실시예도 가능함은 당연하다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 상기 센서부(20)의 작동관계를 도 3 및 도 4를 참고하여 설명한다.
우선, 상기 센서부(20)의 발광파트(21)와 수광파트(22)는 상기 분사홀(11)을 중심으로 양쪽에 각각 배치되어, 적외선을 주고 받는다. 구체적으로 상기 발광파트(21)는 상기 분사홀(11)을 중심으로 상기 분사홀(11)의 방향에 수직하는 방향으로 상기 커버(12)의 일측에 배열되어 있으며, 상기 수광파트(22)를 향하여 일정 주파수의 빛을 조사한다. 상기 수광파트(22)는 상기 분사홀(11)을 중심으로 상기 발광파트(21)와 마찬가지로 상기 분사홀(11)의 방향에 수직하는 방향으로 상기 커버(12)의 일측, 상기 발광파트(21)의 반대편에 배열되어, 입사되는 빛을 수광한다.
한편, 상기 발광파트(21) 및 상기 수광파트(22)는 상기 커버(12)의 일측에 배열되어 있는 것으로 예시하나, 꼭 이를 한정하는 것은 아니며, 상기 노즐(10)의 일측에 배열되어 있는 것을 포함한다. 즉, 세정액의 유출여부를 알 수 있게, 상기 분사홀(11)을 중심으로 마주보고 있는 모든 구조를 포함하는 것이다.
상기 수광파트(22)가 상기 발광파트(21)로부터 빛을 수광하고 있는 상태에서, 상기 분사홀(11)에서 세정액이 분사되는 경우에는 상기 세정액이 상기 발광파트(21)로부터 조사되는 빛을 상기 수광파트(22)에 도달하지 못하게 막게 된다. 수 광파트(22)에서 발광파트(21)가 송신하는 신호를 받지 못하게 되면, 세정액이 분사(혹은 누수)되고 있다고 판단할 수 있다.
만약, 일정양의 세정액이 분사된 경우, 흡입밸브(30)의 작동으로 인해 노즐내 흡입이 이루어지며, 상기 세정액은 더 이상 분사되지 않는다. 이에 따라, 상기 발광파트(21)로부터 조사되는 빛은 다시 상기 수광파트(22)에 도달하게 되고, 이로 인해 세정액의 분사가 멈췄다고 판단할 수 있다.
하지만, 상기 흡입밸브(30)의 불량등을 이유로 인하여, 분사되지 않아야 할 세정액의 누수가 발생하는 경우에는 누수되는 세정액이 발광파트(21)로부터 조사되는 빛을 막아, 상기 빛이 상기 수광파트(22)에 도달하지 못하게 된다. 이러한 경우에, 세정액이 누수되고 있다고 판단할 수 있고, 상기 센서부(20)는 분사에러신호를 제어부(40)에 보내게 된다.
한편, 상기 노즐모듈(1)이 다수의 세정액을 구비하여 상기 기판을 처리할 수 있도록, 상기 노즐(10)에 복수의 분사홀(11)이 형성된 경우에는, 상기 분사홀(11)마다 상기 센서부(20)가 구비될 수 있다. 이 후, 하나의 분사홀(11)에서 제1세정액을 분사하는 경우에는, 다른 분사홀(11)에서 다른 세정액은 분사되지 않아야 한다. 이는, 다수의 세정액을 차례로 분사하여 상기 기판을 세정하는 동안, 서로 다른 세정액이 섞이는 것을 방지하기 위함이다. 하지만, 상기 제1세정액이 아닌 다른 세정액의 유출이 있는 경우에는 상기 예시와 마찬가지로, 제1세정액이 아닌 다른 세정액이 유출되는 분사홀(11)에 구비된 센서부(20)는 분사에러신호를 제어부(40)에 보내게 된다.
또한, 상기 실시예에 한하지 않고, 상기 분사홀(11)에서 세정액이 분사되어야 함에도 분사되지 않는 경우 역시 상기 분사홀(11)에 구비된 센서부(20)가 분사에러신호를 제어부(40)에 보내게 된다.
여기서, 상기 실시예에 따르면, 상기 센서부(20)는 적외선을 이용하여 신호처리가 가능한 전기량으로 변환하는 적외선센서로 예시하나, 꼭 이를 한정하는 것은 아니다. 즉, 상기 센서부(20)는 누수 여부를 감지할 수 있는 다양한 센서가 채용될 수 있다.
상기 제어부(40)는 도 1의 도시와 같이, 경보수단(41)을 포함한다. 상기 경보수단(41)은 사용자에게 알람(alarm)을 제공하고, 상기 사용자는 상기 알람으로부터 상기 노즐모듈(1)의 오작동을 감지하게 된다. 다만, 상기 실시예에서는 경보수단(41)을 알람으로 예시하였으나, 꼭 이를 한정하는 것은 아니며, 사용자가 상기 노즐모듈(1)의 오작동을 인식할 수 있는 청각, 시각을 제시할 수 있는 수단을 포함한다.
참고로, 상기 제어부(40)에는 상기 경보수단(41)이 구비되는 것 이외에도, 결과를 나타내는 다양한 표시수단이 연결되어 구동되는 변형 실시예도 가능하다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형, 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 세정장치의 노즐모듈을 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 세정장치의 노즐모듈을 개략적으로 분해 도시한 분해 사시도,
도 3은 센서부의 작동원리를 설명하기 위한 커버의 단면도, 그리고,
도 4는 도 1의 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
1: 세정장치의 노즐모듈 10: 노즐
11: 분사홀 12: 커버
13: 연결부 20: 센서부
21: 발광파트 22: 수광파트
30: 흡입밸브 40: 제어부
41: 경보수단

Claims (6)

  1. 분사홀이 형성되어 상기 분사홀로 웨이퍼를 세정하는 세정액을 분사하는 노즐;
    상기 세정액의 유출 여부를 감지하는 센서부;
    상기 센서부와 연결되어, 상기 노즐의 분사 여부에 따라 사용자 인터페이스를 제공하는 제어부; 및
    상기 센서부를 감싸도록 형성되어 상기 노즐과 결합되는 커버;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐모듈.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 센서부는 상기 분사홀을 중심으로 양쪽에 각각 배치되어 적외선을 주고 받아 세정액의 유출 유무를 감지하는 발광파트와 수광파트를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐모듈.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 분사홀은 복수인 것을 특징으로 하는 노즐모듈.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 사용자 인터페이스는 상기 사용자에게 경보수단을 제공하는 것을 특징으로 하는 노즐모듈.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 경보수단은 알람(alarm)인 것을 특징으로 하는 노즐모듈.
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