KR101086934B1 - 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저, 특히 테스트 장치에 연결된 콘택팅 장치에 검사할 IC를 부착 및 분리하는 청구항 1의 전제부에 따른 플런저에 관한 것으로서, 상기 플런저는 플런저 헤드(2)를 구비하고, 상기 플런저 헤드는 소자(3)를 흡인하기 위한 적어도 하나의 흡인 헤드(23) 및 열 전도체(19)를 구비하며, 상기 열 전도체는 유체에 의해서 온도 조절될 수 있고, 흡인된 소자(3)가 상기 열 전도체(19)에 접하도록 배치되어 있다. 이때 상기 흡인 헤드(23)는 열 전도체(19)를 통과한다.

Description

전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저 {THE PLUNGER FOR HOLDING AND MOVING ELECTRONIC COMPONENTS}

본 발명은 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저, 특히 테스트 장치에 연결된 콘택팅 장치에 검사할 IC를 부착 및 분리하는 청구항 1의 전제부에 따른 플런저에 관한 것으로서, 상기 플런저는 플런저 헤드를 구비하며, 상기 플런저 헤드는 소자를 흡인하기 위한 적어도 하나의 흡인 헤드 및 열 전도체가 구비되어 있다.

예컨대 IC(집적 회로의 반도체 소자)와 같은 전자 소자는 통상적으로 프린트 회로 기판상에 장착되거나 또는 다른 방식으로 사용되기 전에 자체 효율에 대하여 검사하게 된다. 이 경우 테스트할 소자는 통상적으로 "핸들러"라고 하는 자동 조종 장치에 의해서 콘택팅 장치에 콘택팅 되며, 상기 콘택팅 장치는 특히 콘택 베이스로 형성되었고 테스트 장치의 테스트 헤드에 전기적으로 접촉되어 있다. 테스트 과정이 종료된 후에 상기 소자는 핸들러에 의해서 재차 콘택팅 장치에서 분리되고, 테스트 결과에 따라 분류된다.

소자를 고정 및 콘택팅 하기 위하여 핸들러는 통상적으로 플런저, 즉 길이 방향으로 이동 가능하고, 피스톤 방식으로 왕복 운동할 수 있는 고정 유닛으로 되어있고, 상기 고정 유닛은 특히 진공에 의해 발생하는 흡인력으로 소자를 고정할 수 있다. 소자가 핸들러 내부에 배치된 후에, 소자가 콘택팅 장치와 접촉하게 될 때까지, 플런저는 직선 경로를 따라 콘택팅 장치의 위치로 전진한다. 테스트 과정을 거친 후에 소자는 플런저에 의해서 재차 테스트 헤드로부터 분리되며, 소자는 방전 스테이션을 통해서 핸들러에서 분리되고 테스트 결과에 따라 분류될 수 있도록 상기 소자의 위치가 설정된다.

소정의 온도 조건 하에서 테스트를 실시하기 위하여, 테스트 과정 전에 소자는 소정의 온도로 조절하는 것도 공지되어 있다. 상기 온도는 예를 들면 -60 ℃ 내지 +200 ℃의 범위 안에 있을 수 있다.

소자의 온도 조절은 통상적으로 단열된 템퍼링 챔버 안에서 대류 방식으로 또는 전도 방식으로 이루어지며, 상기 템퍼링 챔버는 핸들러 안에 또는 밖에 배치될 수 있다. 이 경우에는 다수의 소자가 플런저 상에 배치되어 상기 플런저에서 콘택팅 장치로 전방 이동되기 전에, 상기 다수의 소자는 동시에 템퍼링 챔버 안에서 원하는 온도로 가열된다. 이 경우의 단점은, 가열과 콘택팅 사이의 시간에, 또는 소자의 콘택팅 동안에 열 손실이 발생한다는 것이며, 이와 같은 열 손실은 소자가 테스트 시점에서 더 이상 정확하게 목표 온도를 갖지 못하게 된다. 또한, 함께 템퍼링 챔버 내에서 온도 조절된 개별 소자도 상이한 온도를 가질 수 있다. 그와 더불어 전기 테스트에 의해서는 소자에서 전력 손실도 발생할 수 있다.

US 5,977,785 A호에는 청구항 1의 전제부에 의해 플런저가 공지되어 있다. 상기 공개문에 개시된 플런저는 다수의 흡인 헤드를 구비하는 헤드부 그리고 흡인 헤드로부터 분리된 상태로 배치된 콘택 플레이트의 형태로 된 열 전도체를 포함하며, 상기 열 전도체는 뜨거운 유체에 의해서 가열될 수 있거나 또는 차가운 유체에 의해서 냉각될 수 있다. 흡인된 소자는 콘택 플레이트에 접하고, 상기 콘택 플레이트를 통해서 온도 조절될 수 있다. 온도 조절된 유체는 콘택 플레이트의 폐쇄 순환계 내부에 공급되고 상기 콘택 플레이트에 의해서 재차 방출된다. 그러나 이 경우의 단점은, 헤드부의 구성이 복잡하게 될 수밖에 없고 상대적으로 크게 형성될 수밖에 없다. 그 이유는 온도 조절된 유체를 위한 공급 및 방출 라인들이 상대적으로 많은 공간을 요구하고, 또한 콘택 플레이트 자체도 그에 상응하게 크게 설계될 수밖에 없기 때문이다. 다수의 플런저 헤드가 옆으로 나란히 밀착 배치될 수밖에 없는 크기가 매우 작은 전자 소자 또는 어레인지먼트를 위해서는 상기 공지된 플런저 헤드가 적합하지 않다.

본 발명의 과제는, 전자 소자의 테스트를 소정의 온도 조건 하에서 가급적 정확한 방식으로 실시할 수 있는 서문에 언급된 유형의 플런저를 제조하는 것이다. 또한, 상기 플런저는 단순하게 구성되어야 하고, 헤드 영역 내에서 설치 공간을 적게 차지함으로써 소형 소자에 대해서도 적합해야만 한다.

상기 과제는 본 발명에 의한 청구항 1의 특징을 갖는 플런저에 의해서 해결된다. 본 발명의 바람직한 실시예는 추가의 종속항에 기재되어 있다.

본 발명에 의하면, 흡인 헤드는 열 전도체에 의해서 관통되었다. 본 발명에 의한 열 전도체에 의해서는, 열 라인을 통해서 형성되는 열 전도체에서 소자로 열 전달이 매우 신속하고도 집중적으로 이루어진다. 열 전도체 자체는 크기가 큰 자체 표면 및 재료 때문에 유체에 의해서 신속하게 온도 조절될 수 있으며, 상기 유체는 바람직하게 가스, 특히 적합한 공기 또는 질소로 이루어진다. 이 경우 유체는 핸들러의 내부 챔버로부터 또는 플런저의 유체 라인들을 통해서 열 전도체로 안내 될 수 있다. 소자가 저온에서 테스트 되어야 하는지, 주변 온도에서 테스트 되어야 하는지, 아니면 고온에서 테스트 되어야 하는지에 따라서 열 전도체 및 그와 더불어 소자는 냉각되거나, 주변 온도로 유지되거나 또는 가열된다. 소자의 온도 조절이 플런저 헤드에서 직접 이루어짐으로써, 플런저 헤드에 고정된 소자는 해당 콘택팅 장치에 공급되는 도중에 그리고 심지어는 테스트 과정 중에도 온도 조절될 수 있어, 결과적으로 공급 동작 중에 그리고 테스트 과정 중에 열 손실이 전혀 없거나 또는 적어도 최소화될 수 있다. 이로써, 소자의 온도 조절은 매우 정확한 방식으로 이루어질 수 있다. 더 나아가서는 헤드부가 단순하게 구성될 수 있고 설치 공간을 적게 차지함으로써, 결국 플런저는 크기가 큰 형태의 소자뿐만 아니라 크기가 매우 작은 소자도 사용될 수 있다.

한 바람직한 실시예에 의하면, 열 전도체는 중앙 축 방향 관통 개구를 구비하고, 상기 관통 개구를 통해서는 흡인 헤드가 통과된다. 이와 같은 방식으로 열 전도체와 소자 사이의 콘택 면이 매우 크게 유지될 수 있어, 소자의 온도 조절은 효과으로 이루어질 수 있다. 이와 더불어 열 전도체 내에는 다수의 분산형 관통 개구가 형성될 수 있으며, 상기 관통 개구를 통해서는 각각 하나의 흡인 헤드가 관통된다.

한 바람직한 실시예에 의하면, 플런저 헤드는 흡인된 소자를 지지하는 축 방향 통로가 형성된 고정 베이스를 구비하며, 상기 축 방향 통로 내에서 흡인 헤드 또는 흡인 헤드의 둘레에 열 전도체가 배치되어 있다. 따라서 본 실시예에서는 고정 헤드와 열 전도체가 상이한 부분이어서, 제조를 간단하게 한다. 더 나아가, 열 전도체와 고정 베이스를 다른 재료로 형성할 수 있고, 그럼으로써 상기 열 전도체의 재료를 개별 사용 목적에 최상으로 매칭시키는 것도 가능하다. 예를 들어 고정 베이스는 비전도성 재료, 특히 플라스틱 재료로 이루어질 수 있는 한편, 열 전도체는 열 전도성이 특히 우수한 금속으로 이루어질 수 있다. 그러나 그 대안으로서 고정 베이스 자체를 열 전도체로서 형성하는 것, 다시 말해 부품과 접촉하는 고정 베이스의 특정 영역의 열 전도성이 특히 우수하도록 고정 베이스를 형성하는 것도 가능하다. 특히 상기와 같은 유형의 고정 베이스는 후면에 리브 또는 핀을 구비할 수 있으며, 상기 리브 또는 핀은 고정 베이스의 표면을 확대시키고 유체에 의해서 관류된다.

한 바람직한 실시예에 의하면, 열 전도체는 고정 베이스에 대하여 상대적으로 탄성적으로 배치되어 있으며 특히 축 방향으로는 고정 베이스에 대하여 상대적으로 탄성적으로 이동할 수 있다. 그럼으로써, 소자의 치수 또는 구조가 상이한 경우에도 우수한 열 전도 상태를 보장하기 위하여 상기 소자가 열 전도체 면에 가급적 전체 표면에 걸쳐서 올려지게 된다.

특히 바람직한 경우는, 열 전도체가 플런저의 길이 방향 축에 대하여 상대적으로 기울어질 수 있도록 배치된 경우다. 그럼으로써, 소자의 연결 레그(핀)가 허용 오차 때문에 완전히 통일적으로 구부러지지 않고 소자 몸체가 자신의 목표 위치로부터 약간 기울어진 경우에도, 즉 상기 레그가 고정 베이스의 지지 핀(리드 배커; lead backer) 상에 올려지는 경우에는 열 전도체에 대한 소자 몸체의 전체 표면적인 접촉이 보장된다.

한 바람직한 실시예에 의하면, 열 전도체는 디스크 바디 그리고 상기 디스크 바디 위로 돌출하는 리브로 이루어지며, 이 경우 디스크 바디는 편평한 정면을 갖고, 상기 정면은 소자와 접촉할 수 있으며, 리브는 후방으로 디스크 바디 위로 돌출한다. 이와 같은 방식에 의해서는 열 전도체의 특히 공간 절약적인 형성이 가능하며, 이와 동시에 후방으로 유체 안내 채널 안으로 돌출하는 매우 긴 리브가 사용될 수 있으며, 상기 길이가 긴 리브는 유체로부터 열 전도체로의 매우 우수한 열 전도를 가능하게 한다.

한 바람직한 실시예에 의하면, 고정 베이스는 자신의 후면에 유체 안내 리세스를 포함하고, 상기 유체 안내 리세스가 고정 베이스의 축 방향 통로와 통함으로써, 결과적으로 후면에서 고정 베이스로 유도되는 유체는 목적한 바대로 축 방향 통로 안에 배치된 열 전도체로 안내된다. 그럼으로써, 공급되어 상황에 따라 온도 조절되는 유체의 가급적 큰 부분이 직접 열 전도체로 흘러가서 상기 열 전도체가 특히 효과적인 방식으로 온도 조절되는 상황이 간단히 보장될 수 있다.

한 바람직한 실시예에 의하면, 열 전도체는 축 방향으로 연장되는 나사 볼트에 의해서 이동 가능하게 안내되고, 상기 나사 볼트의 전방 단부는 정면 및 후면을 갖는 나사 볼트 헤드를 구비하며, 이 경우 상기 정면은 소자를 위한 축 방향 스토퍼를 형성하며, 상기 후면은 열 전도체를 위한 축 방향 스토퍼를 형성한다. 이 경우에는 열 전도체가 스프링에 의해서 전방으로 프레싱 되며, 상기 스프링은 나사 볼트 둘레에 배치되어 있다. 그럼으로써, 고정 베이스 내에서 이루어지는 열 전도체의 탄성적이고 휘기 쉬운 고정은 상대적으로 간단하고 공간 절약적인 방식으로 실행될 수 있다.

본 발명은 도면들을 참조하여 아래에서 상세하게 설명된다.

도 1은 본 발명의 플런저 헤드가 분리되어 있는 플런저의 사시도.

도 2는 본 발명의 흡인 헤드가 빠진 열 전도체를 구비한 플런저 헤드의 종단면도.

도 3은 도 2의 열 전도체의 평면도.

도 4는 전자 소자의 평면도.

도 5는 본 발명의 플런저 헤드의 한 대안적인 실시예의 사시도.

도 6은 도 5의 플런저 헤드의 배면 사시도.

도 7은 도 5 및 도 6의 플런저 헤드의 분해 사시도.

도 8은 도 5의 플런저 헤드의 정면 개략도.

도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ선의 단면도.

도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ선의 단면도로서, 이 경우 소자는 들어 올려진 상태로 도시되어 있다.

도 1에서는 부분적으로 전개도로 도시된 플런저(1)를 볼 수 있다. 플런저(1)는 플런저 헤드(2)를 구비하며, 상기 플런저 헤드의 전방 단부에는 흡인력에 의해서 전자 소자(3)가 흡착될 수 있다.

도시된 실시예에서 소자(3)는 집적 회로 소자, 간략히 말해서 IC이며, 상기 IC 소자는 도 4에서 알 수 있는 바와 같이 소자 몸체(4) 및 상기 몸체에서 측면으로 돌출된 연결 레그(5)를 구비한다. 그러나 플런저(1)는 다른 소자, 예컨대 BGA- 또는 QFN-소자를 고정 및 이동시키기 위해서도 사용될 수 있다

플런저 헤드(2)는 정방형의 베이스 바디(6)에 결합 될 수 있고, 상기 베이스 바디에서 측면 방향으로 된 스프링 설형부(7)(tongue)에 의해 고정되며, 상기 스프링 설형부는 나사(8)에 의해서 베이스 바디(6)에 고정되어 있고, 축 방향에서 베이스 바디(6)의 전방으로 돌출되어 있다. 이와 같은 방식으로, 플런저(1)의 전방 이동시 플런저 헤드(2)가 도면에 도시되지 않은 센터링 장치, 즉 도면에 도시되지 않은 콘택 베이스 근처에 배치된 센터링 장치 안으로 삽입되는 경우에는 상기 플런저 헤드(2)가 소자(3)와 함께 측면 방향으로 약간 이동될 수 있다.

베이스 바디(6)는 두 개의 가이드 로드(9)에 의해서 플런저(1)의 길이 방향 축과 평행하게 배치되어 있고, 후방 단부 섹션(10)에 연결되어 있다. 도 1에서는 나사(11)를 볼 수 있는데, 상기 나사(11)에 의해서는 가이드 로드(9)의 전방 단부가 베이스 바디(6)에 나사 고정되어 있다.

두 개의 가이드 로드(9)에 의해서는 플런저(1)가 안내 장치(12)에 길이 방향으로 이동 가능하게 고정되어 있으며, 상기 안내 장치는 도면에서 상세하게 알 수 없는 안내 슬리브를 구비하며, 상기 안내 슬리브 내에서는 가이드 로드(9)가 이동 가능하게 안내된다. 안내 장치(12)는 도면에 상세하게 도시되지 않은 방식으로 예를 들어 순환 캐리어 또는 선회 장치에 고정될 수 있으며, 상기 순환 캐리어 또는 선회 장치에 의해서는 플런저(1)가 그 위에 올려진 소자(3)와 함께 상기 플런저(1)가 직선 형태로(도 1에서 좌측으로) 콘택 위치로 전방으로 이동될 수 있는 위치로 옮겨지며, 상기 콘택 위치에서는 소자(3)의 연결 레그(5)(도 4)가 콘택 베이스의 도면에 도시되지 않은 상응하는 연결 콘택 상에 올려질 수 있다. 이 경우 전방 이동은 도면에 도시되지 않은 전진 이동 장치에 의해서 이루어지며, 상기 전진 이동 장치는 후방 단부 섹션(10)의 후방 정면(13)으로 프레싱 된다. 플런저(1)를 출발 위치로 역으로 안내하는 과정은 도면에 도시되지 않은 복원 스프링을 통해서 이루어지며, 상기 복원 스프링의 후방 단부는 플런저 안내 장치(12)에 고정되어 있고, 상기 복원 스프링의 전방 단부는 베이스 바디(6)에 고정되어 있다.

도 1 및 도 2에 의해 알 수 있는 바와 같이, 플런저 헤드(2)는 고정 베이스(14)를 구비하고, 상기 고정 베이스는 정방형의 베이스 섹션(15) 및 직경보다 작게 된 전방 베이스 섹션(16)으로 이루어지며, 상기 전방 베이스 섹션은 축 방향으로 상기 베이스 섹션(15) 위로 돌출한다. 전방 베이스 섹션(16)은 네 개의 레그 지지 핀(17)(lead backer)을 구비하며, 상기 레그 지지 핀들은 네 개의 면에서 고정 베이스(14)의 축 방향 중앙 통로(18)를 형성한다. 소자(3)가 플런저 헤드(2)에 고정되는 경우에는, 상기 레그 지지 핀(17)의 전방 정면에 소자(3)의 연결 레그(5)가 놓여진다.

도 2에 개략적으로 도시된 바와 같이, 중앙 통로(18) 안에는 열 전도체(19)가 배치되어 있으며, 상기 열 전도체의 전방 정면(20)은 전방 베이스 섹션(16)의 전방 단부 가까이에 배치되어 있다. 열 전도체(19)는 다수의 리브(21)를 구비하는 디스크 모양의 몸체로 이루어지며, 상기 다수의 리브는 방사 방향 외부로뿐만 아니라 후방으로도, 즉 유체 흐름 방향으로 반대로 연장된다. 또한, 열 전도체(19)는 열 전도성이 우수한 재료로 이루어진다. 열 전도체(19)의 전방 정면(20)은 편평하게 형성되었고, 소자(3)가 플런저 헤드(2) 상에 올려지는 경우에는 소자 몸체(4)가 전체 표면에 걸쳐서 전방 정면(20)과 접촉할 수 있도록 배치되어 있다.

열 전도체(19)의 외부 직경은 통로(18)의 직경보다 단지 약간만 더 작다. 소정 온도의 유체가 후방으로부터, 즉 도 2의 우측으로부터 통로(18) 안으로 유입되면, 그로 인해 유체의 매우 작은 일부만이 열 전도체(19)를 통과하여 흐르게 되며, 상기 열 전도체와 접촉하지는 않는다. 오히려 유체는 강제적으로 리브들(21) 사이에 있는 중간 공간 및 슬롯 안으로 관류되며, 이로 인해 열 전도체(19)와 유체의 집중적인 접촉이 보장된다.

소자(3)의 모든 연결 레그(5)가 최적의 정렬 상태를 갖지 않는 경우에도 소자(3)가 열 전도체(19) 상에 편평하게 올려지도록 하기 위하여, 열 전도체(19)는 도 2에 개략적으로 도시된 바와 같이 스프링 장치(22)에 의해서 통로(18) 안에 탄성적으로 지지가 된다. 소자 몸체(4)가 경우에 따라 경사 위치에 적응함으로써 상기 소자 몸체(4)에 대한 균일한 접촉을 유지하도록 하기 위하여, 상기 스프링 장치(22)는 열 전도체(19)가 통로(18) 안에서 약간 기울어지도록, 다시 말해 경사진 위치를 취할 수 있도록 배치되어 있다.

소자(3)를 고정 베이스(14)에서 확실하게 흡인하기 위하여, 플런저 헤드(2)는 휘기 쉬운 흡인 헤드를 가지며, 상기 흡인 헤드는 도 7에서 볼 수 있는 흡인 헤드(23)와 동일하게 형성될 수 있다. 상기 흡인 헤드(23)는 전방 흡인 벨로우즈(24) 및 상기 전방 흡인 벨로우즈에 연결되는 튜브 관(25)으로 이루어진다. 도 1에 도시된 실시예에서 흡인 헤드(23)는 중앙 흡인 채널(26)에 연결되어 있고, 상기 중간 흡인 채널은 베이스 바디(6)를 관통하여 안내되고, 흡인 라인(27)에 연결되어 있으며, 상기 흡인 라인은 가이드 로드(9) 사이에서 평행하게 후방 단부 섹션(10)으로 안내되고, 그곳에서 도면에 도시되지 않은 진공 라인에 연결되어 있으며, 상기 진공 라인은 저압 발생 장치로 안내된다.

흡인 헤드(23)는 도 2에는 도시되어 있지 않으나 통로(18) 내부 중앙에 배치되어 있으며, 이 경우 흡인 벨로우즈(24)는 열 전도체(19)의 중앙 관통 개구(28)(도 3)를 관통해서 연장된다. 이때 흡인 벨로우즈(24)의 전방 단부는 축 방향으로 약간 전방으로 상기 열 전도체(19)의 전방 정면(20) 위로 돌출한다. 따라서, 흡인되는 소자(3)의 몸체(4)는 흡인 헤드(23)에 흡착하게 되고, 흡인 벨로우즈(24)가 단축되면서 상기 흡인 헤드(23)에 의해 열 전도체(19)를 향하여 이동하게 된다. 그 다음에 이어서 소자(3)는 흡인력 때문에 열 전도체(19) (스프링 장치(22)로 인해 축 방향으로 휘기 쉽고 탄성적으로 지지되어 있음)와 함께, 상기 소자(3)의 연결 레그(5)가 레그 지지 핀(17) 상에 올려질 때까지 후방으로 더 이동하게 된다.

소자(3)를 소정의 온도로, 예컨대 -60 ℃ 내지 +200 ℃의 범위 안에 놓일 수 있는 온도로 조절하기 위하여, 도 1에서 볼 수 있는 플런저(1)는 또한 유체 공급 라인(29)을 구비하며, 상기 유체 공급 라인은 후방 연결관(30)을 통해 유체를 공급 받는다. 상기 유체 공급 라인(29) 안에는 공급되는 유체를 위한 가열 또는 냉각 장치가 있다. 가열 장치의 경우에는 가열 코일이 사용되며, 상기 가열 코일에 의해서 스쳐서 흘러가는 유체가 원하는 온도로 가열된다. 그러나 그 대안으로서 이미 원하는 온도에 있거나 또는 어느 정도 사전에 온도 조절된 유체, 특히 세척되고 온도 조절된 공기를 미리 연결관(30)을 통해 공급하고 유체 공급 라인(29) 안으로 유입시키는 것도 가능하다.

유체 공급 라인(29)의 전방 단부는 유체 공급 채널(31)에 연결되어 있으며, 상기 유체 공급 채널은 베이스 바디(6)를 통과한다. 유체 공급 채널(31)은 유체 분배 챔버(32)(도 2)에 연결되어 있으며, 상기 유체 분배 챔버는 플런저 헤드(2) 안에 있다. 상기 유체 분배 챔버(32)는 후방으로 가면서 쐐기 모양으로 확장되는 공간으로 이루어지며, 상기 공간 안으로는 베이스 바디(6)의 유체 공급 채널(31)이 통한다. 상기 유체 분배 챔버(32)는 중앙 통로(18)의 후방 섹션이다.

소자(3)가 온도 조절되어야 한다면, 상응하게 온도 조절된 유체가 유체 공급 라인(29)을 거쳐 중앙 통로(18)까지 안내되며, 그로 인해 열 전도체(19)는 집중적으로 유입되고 상응하게 온도 조절된다. 유체의 일부분은 열 전도체(19)의 리브(21) 사이에 있는 슬롯 및 중간 챔버를 통과하여 직접 소자(3)에 도달하기도 한다. 이로써 소자(3)는 유체를 통해서 그리고 열 전도체(21)와 소자 몸체(4) 사이에 있는 열 라인을 통해서 신속하게 그리고 집중적으로 유체 온도로 된다.

플런저 헤드(2')의 제 2 실시예는 도 5 내지 도 10을 참조하여 아래에서 기술된다.

플런저 헤드(2')는 고정 베이스(14')를 구비하고, 상기 고정 베이스는 전체적으로 제 1 실시예의 고정 베이스(14)와 유사하게 구성되어 있으나, 정방형 베이스 섹션(15')의 모서리 부분에 있는 네 개의 고정 보어(33)를 통해서 도면에 도시되지 않은 고정 장치에 고정될 수 있고, 상기 고정 장치는 재차 도 1의 가이드 로드(9)와 유사하게 가이드 로드에 고정되거나 또는 상기 가이드 로드(9) 자체로 이루어진다.

고정 베이스(14')의 중앙 통로(18) 안에는 열 전도체(19')가 삽입되어 있으며, 상기 열 전도체는 실제로 정방형으로 형성되었지만 다르게, 실린더 모양으로 형성될 수도 있다. 도 7에 의해 알 수 있는 바와 같이, 열 전도체(19')는 편평한 전방 정면(20) 및 후방 리브(21)를 갖는다. 제 1 실시예와 관련하여 이미 기술된 흡입 헤드(23)는 재차 열 전도체(19')의 축 방향 중앙 관통 개구(28)를 통과한다.

열 전도체(19')는 약간의 측면 간격을 두고 고정 베이스(14')의 중앙 통로(18) 안에 삽입되어 있다.

고정 베이스(14')의 후면에는 고정 소자(34)가 나사(35)에 의해서 견고하게 나사 결합되어 있으며, 상기 나사는 고정 베이스(14')의 보어(36)를 관통하여 상기 고정 나사(34)의 나사 홀(37)에 나사 결합 될 수 있다. 상기 고정 소자(34)는 고정 베이스(14')의 중앙 통로(18) 위를 덮는다.

고정 소자(34)는 한 편으로는 흡인 헤드(23)를 위한 연결 소자로서 이용되고, 다른 한 편으로는 열 전도체(19')를 탄성적으로 고정하기 위해서 이용된다. 고정 소자(34)는 전방 흡인관(38)을 포함하고, 상기 전방 흡인관 상에 흡인 헤드(23)의 튜브관(25)이 삽입될 수 있다. 상기 흡인관(38)으로부터 출발하여 하나 또는 다수의 흡인 라인(39)(도 7)이 후방 흡인관(40)까지 연장된다. 상기 흡인관(40)은 도면에 도시되지 않은 흡인 라인을 통해서 저압 발생 장치에 연결되어 있다.

열 전도체(19')를 탄성적으로 고정하기 위하여 상기 고정 소자(34)는 네 개의 나사 홀(41)을 구비하며, 상기 나사 홀 안에는 네 개의 길이 방향 나사 볼트(42)의 후방 나사선 섹션이 삽입될 수 있다. 나사 볼트(42)는 상호 평행하게 그리고 플런저(1)의 축 방향으로 연장된다. 또한, 나사 볼트(42)는 축 방향 관통 보어(43)를 관통하며, 상기 축 방향 관통 보어는 열 전도체(19')의 모서리 부분에 있고, 나사 볼트(42)보다 훨씬 더 큰 직경을 갖는다. 나사 볼트(42)는 전방 단부에 나사 볼트 헤드(44)를 가지며, 상기 나사 볼트 헤드는 열 전도체(19')의 전방 단부 영역 안에 있는 요입부(45) 내부에 배치되어 있다. 이때 나사 볼트 헤드(44)의 높이는 요입부(45)의 깊이보다 약간 더 작다.

특히 도 10에 의해 알 수 있는 바와 같이, 열 전도체(19')는 스프링(46)에 의해서 압축 스프링 형태로 전방으로 밀려지며, 상기 압축 스프링은 나사 볼트(42) 둘레에 배치되어 있고, 상기 나사 볼트에 의해서 안내된다. 스프링(46)의 후방 단부는 고정 소자(34)에 지지되어 있는 한편, 상기 스프링의 전방 단부는 열 전도체(19')의 전방 영역에 지지되어 있다. 열 전도체(19')의 전방 이동 경로는 나사 볼트 바디(44)에 의해서 제한되며, 이로써 상기 나사 볼트 바디는 축 방향 스토퍼로서의 작용을 한다. 소자(3)가 플런저 헤드(2') 상에 올려져 있지 않은 경우에는, 도 10에 의해 알 수 있는 바와 같이, 나사 볼트 헤드(44)의 전방 정면이 열 전도체(19')의 전방 정면(20)에 대하여 상대적으로 약간 뒤로 변위되어 있다. 그와 달리 소자(3)가 흡인 헤드(23) 올려져서 상기 흡인 헤드에 의해서 흡인되면, 소자 몸체(4)가 나사 볼트 헤드(44)의 전방 정면에서 정지하게 될 때까지 상기 소자 몸체(4)는 열 전도체(19')를 뒤로 밀어준다. 이로써 나사 볼트(22)는 소자(3)를 위한 축 방향 스토퍼로서의 작용을 하며, 이 경우 상기 스토퍼의 위치는 나사 볼트(42)를 나사 홀(41) 안으로 많이 삽입하거나 또는 적게 삽입함으로써 조정될 수 있다.

특히 도 9에 의해 알 수 있는 바와 같이, 플런저 헤드(2')는 축 방향으로 연장된 방출 니들(47)을 구비하며, 상기 방출 니들은 흡인 헤드(23)의 중앙을 관통하여 연장되고, 후방 단부의 방출 스프링(48)에 지지되어 있다. 소자(3)가 플런저 헤드(2') 상에 올려져 있지 않으면, 도 10에 의해 알 수 있는 바와 같이, 방출 니들(47)은 약간 전방으로 흡인 헤드(23) 위로 돌출한다. 소자(3)가 올려지면, 소자 몸체(4)는 도 9에 도시된 바와 같이 방출 니들(47)을 스프링(48)의 압축 응력에 대항하여 뒤로 프레싱 한다. 테스트 과정의 종료 후에 소자(3)가 플런저 헤드(2')에서 분리 제거되고 흡인 헤드(23)에 의해서 흡인력이 더 이상 공급되지 않는 경우에는, 상기 방출 니들(47)이 방출 스프링(48)의 압축 응력에 의해서 소자(3)가 플런저 헤드(2')로부터 들어 올려지는 것을 지원하게 된다.

도 5 내지 도 10에 도시된 실시예에서 열 전도체(19')는 후방으로 고정 베이스(14') 위로 돌출하지 않거나 단지 약간만 돌출하며, 이 경우 상기 열 전도체는 고정 소자(34)에 의해서 후면이 부분적으로 덮여 있다. 그럼에도, 온도 조절된 유체가 효과적인 방식으로 열 전도체(19')에 유입될 수 있도록 하기 위하여, 고정 베이스(14')는 자신의 후면에 유체 가이드 요입부(49)(도 6)를 구비하며, 상기 유체 가이드 요입부는 중앙 통로(18)로부터 측면에서 외부로, 고정 베이스(14')의 마주 놓인 두 개의 주연부로 연장된다. 상기 유체 가이드 요입부(49)에 의하여 리브(21)의 일부분이 노출됨으로써, 결과적으로 고정 베이스(14')의 후면을 향하여 안내되고 유체 가이드 요입부(49)를 통해 열 전도체(19')까지 안내되는 유체는 더 우수하게 상기 리브로 유입되어 상응하게 온도 조절될 수 있게 된다.

Claims (12)

1. 전자 소자를 고정 및 이동시키기 위한 플런저로서,

   플런저 헤드(2,2)를 구비하고 상기 플런저 헤드가 소자(3)를 흡인하기 위한 적어도 하나의 흡인 헤드(23)와 열 전도체(19,19')를 구비하며, 상기 열전도체는 유체에 의해서 온도조절될 수 있고 흡인된 소자(3)가 상기 열 전도체(19,19')에 접하도록 배치되어 있으며,

   상기 흡인 헤드(23)는 열전도체(19,19')를 관통하여 가이드 되는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
2. 제 1 항에 있어서,

   열 전도체(19, 19')는 축 방향 중앙 관통 개구(28)를 가지며, 흡인 헤드(23)가 상기 관통 개구를 관통하여 안내되는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
3. 제 1 항에 있어서,

   열 전도체는 다수의 관통 개구(28)를 가지며, 하나의 흡인 헤드(23)가 상기 각 관통 개구를 통과하는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
4. 제 1 항에 있어서,

   플런저 헤드(2, 2')는 흡인된 소자(3)를 지지하고 축 방향 통로(18)를 갖는 고정 베이스(14, 14')를 가지며, 상기 축 방향 통로 안에서 열 전도체(19, 19')가 흡인 헤드(23) 둘레에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
5. 제 4 항에 있어서,

   열 전도체(19, 19')는 고정 베이스(14, 14')에 비하여 상대적으로 탄성적으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
6. 제 4 항에 있어서,

   열 전도체(19, 19')는 플런저(1)의 길이 방향 축에 대하여 상대적으로 기울어질 수 있도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
7. 제 1 항에 있어서,

   열 전도체(19, 19')는 디스크형 바디(disk-shaped body)와 상기 디스크형 바디를 넘어서 돌출하는 리브(21)로 이루어지며, 상기 디스크형 바디는 편평한 전방 정면(20)을 갖고, 상기 전방 정면은 소자(3)와 접촉할 수 있으며, 상기 리브(21)는 후방으로 상기 디스크형 바디를 넘어서 돌출하는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
8. 제 4 항에 있어서,

   고정 베이스(14')는 후면에 유체 안내 리세스(49)를 가지며, 상기 유체 안내 리세스가 고정 베이스(14')의 축 방향 통로(18) 내부와 통함으로써, 후면에서 고정 베이스(14')로 유도되는 유체는 목적한 바대로 상기 축 방향 통로(18) 안에 배치된 열 전도체(19')로 안내되는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
9. 제 5 항에 있어서,

   열 전도체(19')는 축 방향으로 연장되는 나사 볼트(42) 안에서 이동 가능하게 안내 되고, 상기 나사 볼트는 전방 단부에 정면 및 후면을 갖는 나사 볼트 헤드(44)를 가지며, 상기 나사 볼트 정면은 소자(3)를 위한 축 방향 스토퍼를 형성하고, 상기 나사 볼트 후면은 열 전도체(19')를 위한 축 방향 스토퍼를 형성하는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
10. 제 9 항에 있어서,

    열 전도체(19')는 스프링(46)에 의하여 전방으로 프레싱 되며, 상기 스프링은 나사 볼트(42) 둘레에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
11. 제 1 항에 있어서,

    플런저 헤드(2, 2')는 고정 베이스(14, 14')를 가지며, 상기 고정 베이스가 열 전도체로서 형성된 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.
12. 제 11 항에 있어서,

    고정 베이스(14, 14')는 후면에 리브를 가지며, 상기 리브가 상기 고정 베이스의 표면을 확장시킴으로써 유체로부터 상기 고정 베이스(14, 14')로의 열 전달이 개선되는 것을 특징으로 하는 전자 소자의 고정 및 이동을 위한 플런저.

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