KR101086544B1

KR101086544B1 - 진공 처리 장치, 진공 처리 장치 제어 방법, 디바이스 제조방법, 및 저장 매체

Info

Publication number: KR101086544B1
Application number: KR1020090021687A
Authority: KR
Inventors: 야스유끼 시라이
Original assignee: 캐논 아네르바 가부시키가이샤
Priority date: 2008-03-14
Filing date: 2009-03-13
Publication date: 2011-11-23
Also published as: CN101532582B; KR20090098744A; US20090229688A1; US8308440B2; CN101532582A; JP5415781B2; JP2009246344A

Abstract

게이트 밸브를 위한 구동부와 배기 펌프를 설치하기 위해 필요한 공간이 감소되어 전체 장치를 소형화한다. 진공 처리 장치는 진공 챔버(5), 및 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)와 통신하는 배기 펌프(6)와, 배기 포트(10)에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 배기 포트(10)를 개폐하는 밸브 본체(11)를 갖는 게이트 밸브(7)를 포함한다. 진공 챔버(5)에는 밸브 본체(11)의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 배기 포트(10)로부터 연장되는 연결부(8)가 제공된다. 연결부(8)는 배기 펌프(6)에 연결된다. 게이트 밸브(7)는 진공 챔버(5) 내에 배치된 밸브 본체(11), 및 밸브 본체(11)의 이동 방향으로 연장된 로드(13)를 갖고 밸브 본체(11)를 구동하는 구동부(12)를 포함한다. 구동부(12)는 연결부(8)의 외부에 배치된다.

진공 처리 장치, 게이트 밸브, 연결부, 배기 펌프, 공간

Description

진공 처리 장치, 진공 처리 장치 제어 방법, 디바이스 제조 방법, 및 저장 매체 {VACUUM PROCESSING APPARATUS, METHOD OF CONTROLLING VACUUM PROCESSING APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND STORAGE MEDIUM}

본 발명은 진공 챔버의 배기 포트를 개폐하기 위한 게이트 밸브를 포함하고 배기 펌프에 의해 진공 챔버 내부를 배기하는 진공 처리 장치, 진공 처리 장치 제어 방법, 디바이스 제조 방법, 및 저장 매체에 관한 것이다.

종래의 진공 처리 장치로서, 예를 들면, 도 3에 도시된 구조가 공지되어 있다(일본공개특허공보 제08-42737호 참조). 도 3에 도시된 바와 같이, 이 진공 처리 장치(101)는 배기 포트(110)가 제공된 진공 챔버(105), 및 진공 챔버(105)의 배기 포트(110)와 통신하는 배기 펌프(106)를 포함한다. 배기 포트(110)를 개폐하는 밸브 본체(111)를 갖는 게이트 밸브(107)는 진공 챔버(105)의 배기 포트(110) 근방에 배치된다.

게이트 밸브(107)는 진공 챔버(105) 내에 배치된 밸브 본체(111), 및 밸브 본체(111)를 구동하는 구동부(112)를 포함한다. 구동부(112)는 로드들(rods)(113a, 113b)의 세트와 실린더들(114a, 114b)의 세트를 갖는다. 로드 들(113a, 113b)은 밸브 본체(111)를 배기 포트(110)에 가까워지는 방향(도 3의 화살표 b 방향)과 배기 포트(110)로부터 분리되는 방향(도 3의 화살표 a 방향)으로 구동한다. 실린더들(114a, 114b)은 로드들(113a, 113b)을 각각 구동한다.

로드들(113a, 113b)은 밸브 본체(111)의 이동 방향과 평행하게 연장되고 각각 그의 하나의 단부에서 밸브 본체(111)를 지지한다. 실린더들(114a, 114b)의 세트는 배기 포트(110)를 가로질러 서로 대향하는 위치들에 배치된다. 로드들(113a, 113b)의 각각의 다른 하나의 단부는 실린더들(114a, 114b) 중의 대응하는 것에 연결된다. 구동부(112)에는 로드들(113a, 113b)과 실린더들(114a, 114b)을 진공 상태로 밀폐적으로 밀봉하기 위해 로드들(113a, 113b)의 외측 표면들을 각각 커버하는 벨로우즈(118a, 118b)가 제공된다.

진공 챔버(105)의 배기 포트(110)에는 밀봉부(116)가 제공된다. 밸브 본체(111)와 접해질 때, 밀봉부(116)는 진공 챔버(105)의 내부를 밀폐하여 닫는다. 가변 오리피스(123)는 배기 포트(110)와 배기 펌프(106) 사이에 탑재될 수 있다. 밸브 본체(111)의 외형의 크기는 진공 챔버(105)의 배기 포트(110)의 오프닝 영역보다 더 크다. 밸브 본체(111)는 배기 포트(110)를 닫는 클로징 위치 P11과 배기 포트(110)를 여는 오프닝 위치 P12 사이에서 구동부(112)에 의해 이동가능하게 지지된다. 진공 챔버(105)에는 보조 펌프(도시되지 않음)와 통신하는 다른 배기 포트(120)가 더 제공된다.

진공 챔버(105)를 배기하는 동안, 밸브 본체(111)는 배기 포트(110)를 열기 위한 오프닝 위치 P12로 이동된다. 진공 챔버(105)의 배기가 중지된 동안은, 밸브 본체(111)는 배기 포트(110)를 닫기 위한 클로징 위치 P11로 이동된다.

그러나, 전술한 종래의 진공 처리 장치에서는, 배기 펌프와 구동부가 진공 챔버의 외부의 동일 측에 놓일 때, 실린더들의 일 세트와 로드들의 일 세트는 배기 펌프를 가로질러 양측들에 각각 배치되어야 한다. 이 때문에, 종래의 진공 처리 장치에서는, 밸브 본체(111)를 지지하기 위해, 두개의 로드들(113a, 113b) 또는 그 이상을 배치하기 위한 복수의 설치 공간들이 필요하다. 즉, 종래의 진공 처리 장치는 전체적으로 부피가 커지는 경향이 있어서, 불편하다.

그러므로, 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하고자 하는 것이며, 더 구체적으로는 게이트 밸브의 구동부 및 배기 펌프를 설치하기 위해 필요한 공간이 감소되어 전체 장치가 소형화된 진공 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 특징에 따르면, 진공 챔버를 포함하는 진공 처리 장치가 제공되고, 진공 처리 장치는,

상기 진공 챔버 내에 배치되고, 상기 진공 챔버의 배기 포트에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 상기 배기 포트를 개폐하는 밸브 본체, 및 상기 밸브 본체를 이동시키기 위한 구동 수단을 포함하는 게이트 밸브와,

상기 진공 챔버의 배기 포트에 연결된 하나의 단부를 갖고 상기 밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 연결부, 및

상기 연결부의 다른 하나의 단부에 연결되고 상기 연결부의 내부를 배기할 수 있는 배기 펌프

를 포함하고,

상기 게이트 밸브는 상기 연결부의 상기 하나의 단부와 상기 다른 하나의 단부 사이에 배치되고,

상기 게이트 밸브는 상기 연결부의 외부에 배치된다.

본 발명의 다른 일 특징에 따르면, 진공 챔버를 포함하는 진공 처리 장치가 제공되고, 진공 처리 장치는,

상기 진공 챔버 내에 배치되고, 상기 진공 챔버의 배기 포트에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 상기 배기 포트를 개폐하는 밸브 본체와, 상기 밸브 본체를 이동시키기 위한 구동 수단을 포함하는 게이트 밸브와,

상기 밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 제1 연결부와,

상기 진공 챔버의 배기 포트에 연결된 하나의 단부와, 상기 제1 연결부의 하나의 단부에 연결된 다른 하나의 단부를 갖고, 상기 밸브 본체의 이동 방향과 평행한 방향으로 형성되는 제2 연결부, 및

상기 제1 연결부의 다른 하나의 단부에 연결되고, 상기 제1 연결부의 내부와 상기 제2 연결부의 내부를 배기할 수 있는 배기 펌프

를 포함하고,

상기 게이트 밸브는 상기 제2 연결부의 상기 하나의 단부와 상기 다른 하나 의 단부 사이에 배치되고,

상기 게이트 밸브는 상기 제2 연결부의 외부에 배치된다.

본 발명의 또 다른 일 특징에 따르면, 진공 챔버, 및 상기 진공 챔버 내에 배치되고, 상기 진공 챔버의 배기 포트에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 상기 배기 포트를 개폐하는 밸브 본체와, 상기 밸브 본체를 이동시키기 위한 구동 수단을 포함하는 게이트 밸브를 포함하는 진공 처리 장치를 제어하는 방법이 제공되고, 이 진공 처리 장치 제어 방법은,

상기 밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 연결부를 통해 상기 진공 챔버의 배기 포트에 연결된 배기 펌프를 구동하여, 상기 연결부의 내부를 배기하는 배기 단계, 및

상기 연결부의 내부가 상기 배기 단계에서 배기된 후 상기 게이트 밸브의 상기 구동 수단을 구동함으로써 상기 밸브 본체를 이동시키는 이동 단계

를 포함한다.

본 발명의 또 다른 일 특징에 따르면, 본 발명의 일 특징에 따른 진공 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 단계를 포함하는 디바이스 제조 방법이 제공된다.

본 발명의 또 다른 일 특징에 따르면, 본 발명의 다른 일 특징에 따른 진공 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 단계를 포함하는 디바이스 제조 방법이 제공된다.

본 발명의 또 다른 일 특징에 따르면, 컴퓨터가 본 발명의 또 다른 일 특징 에 따른 진공 처리 장치 제어 방법을 실행하게 하는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독가능 저장 매체가 제공된다.

본 발명에 따르면, 게이트 밸브의 구동부 및 진공 펌프를 설치하기 위해 필요한 진공 챔버 외부 공간이 감소될 수 있어서, 전체 공간이 감소될 수 있다. 그러므로, 본 발명에 따르면, 전체 진공 처리 장치가 소형화될 수 있다.

본 발명의 다른 특징들은 첨부 도면들을 참조하여 하기의 바람직한 실시예들의 설명으로부터 명백해질 것이다.

본 발명의 실시예들이 첨부 도면들을 참조하여 하기에서 설명될 것이다.

<제1 실시예>

도 1의 1A는 제1 실시예에 따른 진공 처리 장치의 단면도이고, 도 1의 1B는 도 1의 1A에서 화살표 X의 방향으로부터 보여진 제1 실시예에 따른 진공 처리 장치의 부분 측면도이다.

도 1의 1A에 도시된 바와 같이, 제1 실시예의 진공 처리 장치(1)는 진공 챔버(5), 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)와 통신하는 배기 펌프(6), 및 배기 포트(10)를 개폐하는 밸브 본체(11)를 갖는 게이트 밸브(7)를 포함한다. 콘트롤러(180)는 진공 처리 장치의 동작을 제어한다.

진공 챔버(5)는 로드(13)의 축 방향으로부터 미리 결정된 각도로 경사진 방향에서 연결부(8)와 연결된다. 연결부(8)의 하나의 단부는 배기 포트(10)에 삽입 된다. 연결부(8)의 다른 하나의 단부는 배기 펌프(6)에 연결된다. 진공 챔버(5)에는 별도의 보조 배기 포트(20)가 제공된다. 배기 포트(20)는 연결부(21)를 통해 보조 펌프(도시되지 않음)에 연결된다. 따라서 진공 챔버(5)는 연결부(21)를 통해 보조 펌프와 통신한다.

게이트 밸브(7)는 진공 챔버(5) 내에 배치된 밸브 본체(11)와, 밸브 본체(11)를 구동하기 위한 구동부(12)를 포함한다. 구동부(12)는 로드(13)와 실린더(14)를 갖는다. 로드(13)는 밸브 본체(11)를 배기 포트(10)에 가까워지는 방향(도 1의 1A의 화살표 b)과 배기 포트(10)로부터 분리되는 방향(도 1의 1A의 화살표 a)으로 구동하는 구동 샤프트로서 기능한다. 실린더(14)는 로드(13)를 구동한다. 로드(13)는 밸브 본체(11)의 이동 방향과 평행하게 연장되고 그의 하나의 단부에서 밸브 본체(11)를 지지한다. 실린더(14)는 연결부(8)의 외부에 배치되고 로드(13)의 다른 하나의 단부에 연결된다. 연결부(8)는 로드(13)를 화살표 a와 b의 방향으로 이동 가능하도록 지지하는 축 지지부(17)와 일체로 형성된다. 따라서, 밸브 본체(11)는 배기 포트(10)를 닫기 위한 클로징 위치 P1과 배기 포트(10)를 열기 위한 오프닝 위치 P2 사이에서 구동부(12)에 의해 이동 가능하도록 지지된다.

밸브 본체(11)의 외형의 크기는, 배기 포트(10)에 삽입되어 연결된 연결부(8)의 하나의 단부의 오프닝 영역보다 더 크다. 밸브 본체(11)가 클로징 위치 P1로 이동될 때, 그것은 연결부(8)의 하나의 단부를 닫을 수 있다. 밸브 본체(11)의 외형 크기는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)의 오프닝 영역보다 더 작다. 연결부(8)의 하나의 단부에는 진공 챔버(5)의 내부를 밸브 본체(11)로 밀폐 하여 닫기 위한 밀봉부(16)가 제공된다. 따라서, 밸브 본체(11)가 클로징 위치 P1로 이동될 때, 밸브 본체(11)는 밀봉부(16)를 통해 연결부(8)의 하나의 단부의 단부 정면(the end face)과 접촉하여, 진공 챔버(5)의 내부를 밀폐하여 닫을 수 있다.

도 1의 1A 및 1B에 도시된 바와 같이, 구동부(12)에는 로드(13) 및 실린더(14)를 진공 상태로 밀폐하여 밀봉하도록 로드(13)의 외측 표면을 커버하는 벨로우즈(18)가 제공된다. 벨로우즈(18)의 하나의 단부는 축 지지부(17)에 고정되고, 그의 다른 하나의 단부는 실린더(14)의 베어링부에 고정된다. 로드(13)와 실린더(14)를 진공 상태로 밀폐하여 닫는 밀폐 클로징 메커니즘은 벨로우즈(18)와 같은 벨로우즈 부재를 이용하는 구성으로 제한되지는 않는다. 벨로우즈 부재 대신에, 예를 들면 로드(13)의 외측 표면에 맞추어진 O-링(도시되지 않음)을 사용하는 다른 구성도 채택될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 배기 시스템의 세트를 구성하는 밸브 본체(11), 로드(13), 실린더(14), 연결부(8), 및 배기 펌프(6)는 그들을 모두 해체하지 않고서 비교적 용이하게 진공 챔버(5)로부터 제거될 수 있다.

실린더(14)에는 포트들(51a, 51b)과 플랜지(52)가 제공된다. 실린더(14)를 작동시키기 위한 작동 매체는 포트들(51a, 51b)을 통해 공급되거나 배출된다. 작동 매체가 포트(51a)를 통해 실린더(14)에 공급됨에 따라, 플랜지(52)의 하부 표면측에 공급된 작동 매체의 부분이 플랜지(52)를 위로 민다. 플랜지(52)가 위쪽으로 이동함에 따라, 플랜지(52)의 상부 표면측 상에 위치된 작동 매체 부분은 포트(51b)를 통해 배출된다. 로드(13)는 플랜지(52)에 연결되고, 플랜지(52)가 위쪽으로 이동함에 따라 위쪽으로 이동한다. 로드(13)가 위쪽으로 이동함에 따라, 로드(13)에 연결된 밸브 본체(11)가 이동하여 클로징 위치 P1에 도달한다. 이 상태에서, 밸브 본체(11)는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)를 닫는다.

작동 매체가 포트(51b)를 통해 실린더(14)에 공급됨에 따라, 플랜지(52)의 상부 표면측에 공급된 작동 매체의 부분은 플랜지(52)를 아래쪽으로 민다. 플랜지(52)가 아래쪽으로 이동함에 따라, 플랜지(52)의 하부 표면측에 위치된 작동 매체 부분은 포트(51a)를 통해 배출된다. 플랜지(52)가 아래쪽으로 이동함에 따라, 로드(13)도 아래쪽으로 이동한다. 로드(13)가 아래쪽으로 이동함에 따라, 로드(13)에 연결된 밸브 본체(11)가 이동하여 오프닝 위치 P2에 도달한다. 이 상태에서, 밸브 본체(11)는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)를 열고, 진공 챔버(5)의 내부가 연결부(8)를 통해 배기 펌프(6)와 통신한다.

연결부(8)의 내부가 배기 펌프(6)에 의해 배기되고, 밸브 본체(11)는 클로징 위치 P1에 있고, 진공 챔버(5)의 내부는 대기압 근방으로 가압될 것이라고 가정한다. 밸브 본체(11)가 진공 챔버(5) 내에 배치되므로, 밸브 본체(11)는 배기 포트(10)에 작용하는 대기압을 받는다. 대기압은 진공 챔버(5)의 내부와 마주하는 밸브 본체(11)의 그 하부 표면을 바이어싱한다. 예를 들어, 밸브 본체(11)가 오프닝 위치에 있을 때, 대기압에 의한 바이어싱은 밸브 본체(11)를 구동하기 위한 구동력의 일부를 형성할 수 있다. 이 경우, 대기압에 의한 바이어싱은 실린더(14)에 의해 밸브 본체(11)를 닫는 구동력에 의존하지 않는다. 연결부측과 마주하는 밸브 본체(11)의 상부 표면측 상에서, 배기 펌프(6)가 연결부(8)의 내부를 배기한다. 따라서, 밸브 본체(11)가 오프닝 위치 P2로부터 클로징 위치 P1로 이동하는 동안, 밸브 본체(11)를 이동시키기 위해 밸브 본체(11)의 상부 표면측에 위치된 가스를 미는 부하(load)는 감소된다. 배기 펌프(6)에 의해 연결부(8)의 내부를 배기하는 것과, 대기압에 의한 바이어싱을 활용함으로써, 실린더(14)는 밸브 본체(11)를 닫을 때 밸브 본체(11) 및 로드(13)를 화살표 b의 방향으로 이동시키는 데에 필요한 구동력만을 갖는 비교적 작은 크기로 만들어질 수 있다. 그 결과, 본 실시예에 따르면, 구동부가 배기 포트에 작용하는 대기압 이상의 구동력을 필요로 하는 종래 구성과 비교할 때, 구동부(12)의 실린더(14)가 소형화될 수 있다.

도 1의 1A에 도시된 바와 같이, 필요하다면, 가변 오리피스(23)가 배기 펌프(6)와 연결부(8) 사이에 배치될 수 있다.

전술한 구성을 갖는 본 실시예에 따른 진공 처리 장치(1)와 관련하여, 진공 챔버(5)의 내부를 배기하는 동작이 설명될 것이다.

진공 챔버(5)의 내부를 배기할 때, 콘트롤러(180)는 배기 펌프(6)를 구동하여 연결부(8)의 내부를 배기한다. 이 때, 밸브 본체(11)는 클로징 위치 P1 또는 오프닝 위치 P2 중 어느 하나에 위치될 수 있다. 밸브 본체(11)의 위치를 검출하기 위한 검출기로서 기능하는 센서(도시되지 않음)는 밸브 본체(11)의 위치를 검출한다. 검출 출력은 콘트롤러(180)에 입력된다.

먼저, 콘트롤러(180)의 제어하에, 진공 챔버(5)만의 내부를 대기압 근방까지 복원할 때, 즉 열 때, 실린더(14)가 구동되어, 밸브 본체(11)가 화살표 b의 방향으 로 이동되어 클로징 위치 P1에서 정지된다. 그 후, 진공 챔버(5)만의 내부가 대기압 근방까지 열린다.

연속하여, 진공 챔버(5)의 내부가 진공으로 배기될 때, 콘트롤러(180)는 보조 펌프(도시되지 않음)를 구동하여 진공 챔버(5)의 내부를 배기한다. 그 후, 실린더(14)는 로드(13)를 화살표 a의 방향으로 이동시켜 밸브 본체(11)가 오프닝 위치 P2에 정지된다.

본 실시예의 진공 처리 장치(1)에 따르면, 연결부(8)는 밸브 본체(11)의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 연장되고, 구동부(12)의 로드(13)는 밸브 본체(11)의 이동 방향으로 연장된다. 이러한 구성에 의해, 게이트 밸브(7)의 구동부(12)의 실린더(14)와 배기 펌프(6)를 설치할 필요가 있는 진공 챔버(5) 외부의 공간이 감소될 수 있어서, 공간을 줄일 수 있다. 따라서, 진공 처리 장치(1)에 의하면, 전체 장치가 소형화될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 밸브 본체(11)는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)보다 더 작고, 밀봉부(16)는 연결부(8)의 단부에 형성된다. 따라서, 게이트 밸브(7)와 배기 펌프(6)를 포함하는 배기 시스템은 진공 챔버(5)로부터 제거될 수 있고 조립된 상태로 진공 챔버(5)에 부착될 수 있다. 더 구체적으로, 게이트 밸브(7)는 게이트 밸브(7)와 배기 펌프(6)를 완전히 분해하지 않고서 비교적 용이하게 진공 챔버(5)로부터 제거될 수 있다. 그러므로, 진공 처리 장치(1)에 의하면, 예를 들어 게이트 밸브(7)의 구동부(12)를 유지함에 있어서 작업 효율이 향상될 수 있다.

또한, 본 실시예에 따르면, 밸브 본체(11)가 진공 챔버(5) 내에 배치되기 때 문에, 구동부(12)의 실린더(14)가 소형화될 수 있다.

<제2 실시예>

상술한 제1 실시예에서는, 배기 펌프(6)가 연결부(8)를 통해 진공 챔버(5)와 통신하는 구성이 채택된다. 대안적으로, 진공 챔버(5)와 연결부(8) 사이에 다른 연결부가 더 배치되는 구성이 채택될 수 있다.

도 2의 2A와 2B는 제2 실시예에 따른 진공 처리 장치의 단면도들이다. 제2 실시예에 있어서, 제1 실시예의 진공 처리 장치의 구성 부재들과 동일한 방식으로 기능하는 구성 부재들에는 동일한 참조 번호들이 병기되고, 반복적인 설명은 생략될 것이다.

도 2의 2A와 2B에 도시된 바와 같이, 제2 실시예의 진공 처리 장치(2)는 제1 실시예의 연결부(8)에 대응하는 제1 연결부(28)를 포함한다. 제1 연결부(28)의 하나의 단부는 제2 연결부(29)에 연결된다. 제1 연결부(28)의 다른 하나의 단부는 배기 펌프(6)에 연결된다. 제2 연결부(29)는 직선 파이프를 형성한다. 제2 연결부(29)의 하나의 단부는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)에 삽입되어 연결된다. 제2 연결부(29)의 다른 하나의 단부는 제1 연결부(28)에 연결되어 고정된다.

게이트 밸브(7)의 밸브 본체(11)의 외형의 크기는 배기 포트(10)에 삽입되어 연결된 제2 연결부(29)의 하나의 단부의 오프닝 영역보다 더 크다. 밸브 본체(11)가 클로징 위치 P1로 이동할 때, 밸브 본체(11)는 제2 연결부(29)의 하나의 단부를 닫을 수 있다. 밸브 본체(11)의 외형의 크기는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)의 오프닝 영역보다 더 작다. 제2 연결부(29)의 하나의 단부에는 진공 챔버(5)의 내 부를 밸브 본체(11)와 밀폐하여 밀봉하기 위한 밀봉부(16)가 제공된다. 따라서, 밸브 본체(11)가 클로징 위치 P1로 이동될 때, 밸브 본체(11)는 밀봉부(16)를 통해 제2 연결부(29)의 하나의 단부의 단부 정면과 접촉하여, 진공 챔버(5)의 내부를 밀폐하여 닫는다.

제2 실시예는, 또한 제1 실시예에서와 같은 방식으로, 배기 펌프(6)와 제1 연결부(28) 사이에 가변 오리피스(23)가 배치되는 구성을 채택할 수도 있다.

제2 실시예의 진공 처리 장치(2)의 동작은 상술한 제1 실시예의 진공 처리 장치(1)의 동작과 동일하며, 따라서 반복적인 설명은 생략될 것이다.

본 실시예의 진공 처리 장치(2)에서, 제2 연결부(29)는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)와, 밸브 본체(11)의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 연장되는 제1 연결부(28) 사이에 형성된다. 이러한 구성으로, 제1 연결부(28)의 위치는 진공 챔버(5)의 배기 포트(10)에 대해 밸브 본체(11)의 이동 방향으로 시프트될 수 있다. 따라서 진공 챔버(5)와 배기 펌프(6) 사이에 공간이 확보될 수 있다. 다시 말해서, 진공 처리 장치(2)가 제2 연결부(29)를 포함하기 때문에, 배기 포트(10) 근방에 바람직한 공간이 확보될 수 있다.

<디바이스 제조 방법>

제1 및 제2 실시예 각각에 따른 진공 처리 장치는 반도체 제조 공정 또는 액정 제조 공정의 기판 처리에 적합하게 채택될 수 있다. 반도체 디바이스 또는 액정 디바이스(이하 간단히 "디바이스"로서 일컬어짐)를 제조하는 디바이스 제조 방법은 제1 또는 제2 실시예에 따른 진공 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하기 위 한 공정을 갖는다.

<다른 실시예들>

본 발명의 목적은 또한 상술한 실시예들의 기능들을 구현하기 위한 소프트웨어 프로그램을 기억하는 컴퓨터 판독가능 저장 매체가 시스템 또는 장치에 공급될 때 달성된다. 본 발명의 목적은 또한 시스템 또는 장치의 컴퓨터(또는 CPU 혹은 MPU)가 저장 매체 내에 저장된 프로그램을 판독하여 실행할 때 달성된다.

이 경우에, 저장 매체로부터 판독된 프로그램 자체는 상술한 실시예들의 기능들을 구현하고, 이 프로그램을 저장하는 저장 매체는 본 발명을 구성한다.

프로그램을 공급하기 위한 저장 매체는, 예를 들면, 플렉시블 디스크, 하드 디스크, 광 디스크, 광자기 디스크, CD-ROM, CD-R, 불휘발성 메모리 카드, 및 ROM을 포함할 수 있다.

상술한 실시예들의 기능들은 컴퓨터가 판독된 프로그램을 실행할 때 구현된다. 이것은 컴퓨터 상에서 실행하는 OS(운영 시스템) 등이 프로그램의 명령어들에 기초하여 실제 프로세스들 중의 일부 또는 전부를 수행하여, 상술한 실시예들을 구현하는 경우를 당연히 포함한다.

본 발명은 바람직한 실시예들을 참조하여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예들로 제한되는 것은 아니다. 다음의 청구항들의 범위는 그와 같은 모든 변형들과, 등가 구조들 및 기능들을 포괄하도록 최광의로 해석되어야 할 것이다.

도 1의 1A와 1B는 제1 실시예에 따른 진공 처리 장치를 나타낸 도면들이고, 도 1의 1A는 단면도이고, 도 1의 1B는 부분 측면도이다.

도 2의 2A와 2B는 제2 실시예에 따른 진공 처리 장치를 나타내는 도면들이고, 도 2의 2A는 단면도이고, 도 2의 2B는 부분 측면도이다.

도 3은 종래의 진공 처리 장치를 나타내는 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 진공 처리 장치

5: 진공 챔버

6: 배기 펌프

8: 연결부

10: 배기 포트

11: 밸브 본체

12: 구동부

13: 로드

14: 실린더

16: 밀봉부

17: 축 지지부

18: 벨로우즈

20: 배기 포트

21: 연결부

23: 가변 오리피스

180: 콘트롤러

Claims

진공 챔버를 포함하는 진공 처리 장치이며,

상기 진공 챔버 내에 배치되고, 상기 진공 챔버의 배기 포트에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 상기 배기 포트를 개폐하는 밸브 본체와, 상기 밸브 본체를 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 게이트 밸브와,

상기 진공 챔버의 배기 포트에 연결된 일 단부를 갖고 상기 밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 연결부, 및

상기 연결부의 타 단부에 연결되고 상기 연결부의 내부를 배기할 수 있는 배기 펌프를 포함하고,

상기 구동부는, 상기 밸브 본체를 상기 배기 포트에 대해 근접 및 이격시키는 방향으로 구동하는 구동 샤프트로서의 로드와, 상기 로드를 구동시키는 실린더를 가지며,

상기 로드는 상기 밸브 본체의 이동 방향과 평행하게 연장되고,

상기 밸브 본체는 상기 로드의 일 단부에 지지되어 있으며,

상기 연결부는 상기 로드의 축 방향으로부터 미리 결정된 각도로 경사진 방향으로 연결되어 있고,

상기 실린더는 상기 연결부의 외부에 배치되고, 상기 로드의 타 단부에 연결되어 있는, 진공 처리 장치.
제1항에 있어서,

상기 밸브 본체는 상기 연결부의 상기 일 단부의 오프닝 영역보다 더 크게 형성되는, 진공 처리 장치.
제2항에 있어서,

상기 밸브 본체는 상기 진공 챔버의 배기 포트의 오프닝 영역보다 더 작게 형성되고,

상기 연결부의 상기 일 단부에는 상기 밸브 본체와 접촉되고 상기 진공 챔버에 형성된 밀폐 상태를 유지시키는 밀봉부가 제공되는, 진공 처리 장치.
진공 챔버를 포함하는 진공 처리 장치이며,

상기 진공 챔버 내에 배치되고, 상기 진공 챔버의 배기 포트에 대해 근접 및 이격되는 방향으로 이동하여 상기 배기 포트를 개폐하는 밸브 본체와, 상기 밸브 본체를 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 게이트 밸브와,

상기 밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 제1 연결부와,

상기 진공 챔버의 배기 포트에 연결된 일 단부와, 상기 제1 연결부의 일 단부에 연결된 타 단부를 갖고, 상기 밸브 본체의 이동 방향과 평행한 방향으로 형성되는 제2 연결부, 및

상기 제1 연결부의 타 단부에 연결되고, 상기 제1 연결부의 내부와 상기 제2 연결부의 내부를 배기할 수 있는 배기 펌프를 포함하고,

상기 구동부는, 상기 밸브 본체를 상기 배기 포트에 대해 근접 및 이격시키는 방향으로 구동하는 구동 샤프트로서의 로드와, 상기 로드를 구동시키는 실린더를 가지며,

상기 로드는 상기 밸브 본체의 이동 방향과 평행하게 연장되고,

상기 밸브 본체는 상기 로드의 일 단부에 지지되어 있으며,

상기 제1 연결부는 상기 로드의 축 방향으로부터 미리 결정된 각도로 경사진 방향으로 연결되어 있고,

상기 실린더는 상기 제1 연결부의 외부에 배치되고, 상기 로드의 타 단부에 연결되어 있는, 진공 처리 장치.
제4항에 있어서,

상기 밸브 본체는 상기 제2 연결부의 상기 일 단부의 오프닝 영역보다 더 크게 형성되는, 진공 처리 장치.
제5항에 있어서,

상기 밸브 본체는 상기 진공 챔버의 배기 포트의 오프닝 영역보다 더 작게 형성되고,

상기 제2 연결부의 상기 일 단부에는 상기 밸브 본체와 접촉하게 되고 상기 진공 챔버 내에 형성된 밀폐 상태를 유지시키는 밀봉부가 제공되는, 진공 처리 장치.
제1항에 기재된 진공 처리 장치를 제어하는 방법이며,

밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 상기 연결부를 통해 상기 연결부의 타 단부에 연결된 상기 배기 펌프를 구동하여, 상기 연결부의 내부를 배기하는 배기 단계, 및

상기 연결부의 내부가 상기 배기 단계에서 배기된 후 상기 게이트 밸브의 구동부를 구동함으로써 상기 밸브 본체를 이동시키는 이동 단계를 포함하는 진공 처리 장치 제어 방법.
제1항에 따른 진공 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 단계를 포함하는 디바이스 제조 방법.
제4항에 따른 진공 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 단계를 포함하는 디바이스 제조 방법.
컴퓨터가 제7항에 따른 진공 처리 장치 제어 방법을 실행하게 하는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
제4항에 기재된 진공 처리 장치를 제어하는 방법이며,

밸브 본체의 이동 방향으로부터 경사진 방향으로 형성된 상기 제1 연결부를 통해 상기 제1 연결부의 타 단부에 연결된 상기 배기 펌프를 구동하여, 상기 제1 연결부의 내부를 배기하는 배기 단계, 및

상기 제1 연결부의 내부가 상기 배기 단계에서 배기된 후 상기 게이트 밸브의 구동부를 구동함으로써 상기 밸브 본체를 이동시키는 이동 단계를 포함하는 진공 처리 장치 제어 방법.
컴퓨터가 제11항에 따른 진공 처리 장치 제어 방법을 실행하게 하는 프로그램을 저장하는 컴퓨터 판독가능 저장 매체.