CN100470104C - 真空设备的闸阀装置 - Google Patents

Abstract

一种真空设备的闸阀装置，架设在两个间隔的腔座间，包含：一个夹设在所述腔座间的基座、一转控机构，以及一个驱动机构，该基座包括两个分别设有一个阀口的阀壁，在所述阀壁间具有一个控制室，而该转控机构包括：一个可转动地架设在基座上的阀控转轴，以及一个和阀控转轴连动地结合并可往其中一个阀壁的内壁面贴靠的封闭板，上述封闭板具有一个面积大于阀口的贴合面，而该驱动机构可以驱动阀控转轴沿着一个封闭方向及一个开启方向转动。通过转控的方式来打开或关闭其中一个阀口，可以使闸阀装置在制造上更为容易。

Description

真空设备的闸阀装置

技术领域

本发明涉及一种闸阀装置，特别涉及一种安装在真空设备的两个间隔腔座间，并用来封闭及打开所述腔座间通道的真空设备的闸阀装置。

背景技术

参阅图1、图2，以往真空设备的闸阀装置1架设在两个腔座10间，并用来打开及关闭所述腔座10的通道，上述闸阀装置1包含一个固定地安装在所述腔座10间的基座11，上述基座11具有两片左右间隔并各别开设一个阀口110的阀壁111，以及一个位于所述阀壁111间的控制室112，而该基座11还包含：一个架设在基座11上方的活塞机构12、一个位于控制室112内并受活塞机构12驱动而直线升降的驱动板13、一个位于控制室112内并和驱动板13平行的封闭板14，以及两个上下设置并将封闭板14及驱动板13连结的连板15。上述活塞机构12包括一个架设在基座11顶端并界定出一个活塞室121的活塞座122、一支贯穿活塞室121及控制室112的活塞杆123，而该驱动板13就是安装在活塞杆123的底端。

以往闸阀装置1位于图1所示的一非封闭位置时，该活塞杆123位于一个内缩位置，也就是说，在此状态下，驱动板13邻近活塞座122，且封闭板14和驱动板13相贴合，同时封闭板14并未封闭左侧阀壁111的阀口110，这时候两个腔座10的通道可以借由所述阀口110相通。当活塞杆123带动驱动板13下移，并使封闭板14底缘靠在基座11的一个底壁上时，持续下移的驱动板13会利用连板15的连接将封闭板14往左侧阀壁111推，当封闭板14紧密压抵在阀壁111内侧面时，该闸阀装置2会由图1的非封闭位置转换到图2的一封闭位置。

以往闸阀装置1利用活塞机构12直线下移，以及驱动板13及连杆15配合，将封闭板14顶向其中一个阀壁111的设计，虽然可以关闭阀口110，但是就制造的角度，要使该封闭板14水平精确地往阀壁111方向移，并且密贴在阀壁111内侧面，需要较佳的加工精度，也就是说，制造时组件间的精度稍有偏差，就会造成横长条状的封闭板14偏斜，而无法精确地压向阀壁111，因此，现有的闸阀装置1在制造时需要精确的尺寸及组合，在制造时比较困难。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构创新，并且制造较为容易的真空设备的闸阀装置。

本发明的闸阀装置架设在真空设备的第一腔座及第二腔座间，包含：一个基座，以及一个架设在基座上的驱动机构。该基座包括；一片邻近第一腔座的第一阀壁、一片和第一阀壁间隔并邻近第二腔座的第二阀壁，以及两片衔接在所述阀壁间的侧壁，在所述阀壁及侧壁间界定出一个控制室；上述第一阀壁具有一个朝向控制室的内壁面，以及一个通向该控制室的第一阀口，而该第二阀壁具有一个第二阀口。

该闸阀装置还包含一个转控机构，上述转控机构包括：一支可转动地架设在控制室内的阀控转轴，以及一个和阀控转轴连动地结合并可往第一阀壁的内壁面贴靠的封闭板，上述封闭板具有一个面积大于第一阀口的贴合面。该驱动机构可以驱动阀控转轴沿着一个封闭方向及一个开启方向转动。

通过转控的方式来执行打开或关闭阀口的动作，可以降低组件间加工精度的要求，使闸阀装置在制造上更为容易。

附图说明

图1是一种以往真空设备的闸阀装置的组合侧面剖视图，图中该闸阀装置位于一个打开位置；

图2是一类似图1的组合侧面剖视图，图中该闸阀装置位于一个封闭位置；

图3是本发明闸阀装置的一较佳实施例的立体外观图；

图4是该较佳实施例的一不完整立体图，省略该闸阀装置的一顶壁及一第二阀壁，且该闸阀装置位于一个打开位置；

图5是该较佳实施例的一侧面组合剖视图，图中该闸阀装置位于该打开位置；

图6是该较佳实施例的一侧视图，图中该闸阀装置位于该打开位置；

图7是一类似图4的未完整立体图，图中该闸阀装置位于一个封闭位置；

图8是一类似图5的侧面组合剖视图，图中该闸阀装置位于该封闭位置；及

图9是一类似图6的侧视图，图中该闸阀装置位于该封闭位置。

具体实施方式

下面通过最佳实施例及附图对本发明的闸阀装置进行详细说明。

参阅图3、图4、图5，本发明闸阀装置的一较佳实施例架设在一真空设备的一个第一腔座21及一个第二腔座22间，并用来连通及关闭所述第一腔座21、第二腔座22间的通道。上述闸阀装置包含：一夹设在所述第一腔座21、第二腔座22间的基座3、一个架设在该基座3内部的转控机构4、一个架设在基座3外面并可驱动该转控机构4动作的驱动机构5，以及一个架设在基座3内部并使转控机构4停留在一封闭位置的辅助机构6。

本发明的基座3是横卧的长矩形，包括：一片和第一腔座21固定地结合的第一阀壁31、一片和第一阀壁31间隔并和第二腔座22固定地结合的第二阀壁32、一片衔接在所述第一阀壁31、第二阀壁32顶缘间的顶壁33、一片架设在所述第一阀壁31、第二阀壁32底缘间的底壁34，以及左右间隔地连接在所述第一阀壁31、第二阀壁32两侧的侧壁35和侧壁36，借所述壁板界定出一个控制室37。其中该第一阀壁31具有一个朝向控制室37的内壁面311、一个和第一腔座21贴靠的外壁面312、一个沿着长度方向开设并贯穿所述壁面311和壁面312的第一阀口313，以及多个等距离地自内壁面311往控制室37内突出的架设突块314所述架设突块314位于第一阀口313的下方，而第二阀壁32也具有一沿着长度方向开设的第二阀口321。

本实施例的转控机构4安装在基座3的控制室37内，并且邻近第一阀壁31，包括：两个左右间隔并架设在第一阀壁31上的轴安装座41、一支可转动地架设在所述轴安装座41间的阀控转轴42、多支等距离地安装在阀控转轴42上并径向突出的安装架板43、一个横条状且面积大于第一阀口313的封闭板45，以及多个将安装架板43和封闭板45连结的连接组件46。其中该阀控转轴42具有一个突出于左侧的侧壁35的受驱动端421。而所述安装架板43都具有一个安装在阀控转轴42上的固定端431，以及一个和固定端431间隔的受压端432，该受压端432具有一个朝向右侧侧壁36的定位凹部433。而该封闭板45具有一个可贴靠在内壁面311上的贴合面451，以及一个朝向安装架板43的组装面452，而所述连接组件46都具有一个穿过安装架板43并固定在封闭板45的组装面452上的螺丝461，以及一个穿设在螺丝461上并顶撑在封闭板45及安装架板43间的弹簧462。

本实施例的驱动机构5安装在基座3的左侧侧壁35外，并可驱动阀控转轴42沿着一个封闭方向及一个开启方向转动，包括：一个固定地结合在侧壁35上的压缸架座51、一个安装在压缸架座51上的阀控压缸52，以及一个连接在该阀控压缸52的一缸轴521与阀控转轴42的受驱动端421间的连板组件53，上述连板组件53具有一与缸轴521以可转动方式连接的第一连板531、一个和阀控压缸52同步转动地连结的第二连板532，以及一支连接所述第一连板531和第二连板532并使其可相对枢摆的支轴533。

本发明的辅助机构6包括：一条水平并沿着长度方向延伸的连动板61、多片架设在连动板61及基座3的所述架设突块314底缘间的枢摆连板62、一个架设在基座3的右侧侧壁36外的辅助压缸63、一个连接在该辅助压缸63的一缸轴631及连动板61间的连动件64，以及多个可转动地架设在连动板61上方并对应所述安装架板43的定位凹部433的辅压轮65。

参阅图4、图5、图6，本实施例的闸阀装置位于的一个打开位置时，该安装架板43大致上是水平状，这时候阀控压缸52的缸轴521向外突伸。在此状态下，该连板组件53的支轴533位于最高点。

参阅图7、图8、图9，当该闸阀装置要由上述打开位置转换到一封闭位置时，首先驱动阀控压缸52的缸轴521内缩，而将支轴533往下拉，在下拉的同时，会带动第二连板532偏转，由于该第二连板532和阀控转轴42固定地连动，因此，该第二连板532会因此带动阀控转轴42沿着图9的顺时针方向转动，也就是沿着封闭方向转动，当封闭板45往第一阀壁31的方向靠合后，该辅助压缸63的缸轴631会驱动连动板61平移，并因此带动安装在连动板61上的所述辅压轮65往安装架板43靠近，当上述辅压轮65往安装架板43的定位凹部433移入时，会压迫所述安装架板43稍为往第一阀壁31方向靠近，并借由弹簧462的压迫，进一步将封闭板45压紧向第一阀壁31的内壁面311，借此达到较佳的密合效果。

相同道理，当本发明的闸阀装置要由封闭位置转换到打开位置时，其操作方式首先让辅助压缸63的缸轴631内缩，以便将所述辅压轮65拉离原本抵撑的安装架板43，然后驱动阀控压缸52的缸轴521往上突伸，使阀控转轴42沿着该开启方向转动(也就是图9的逆时针方向)，如此就可以使封闭板45旋离第一阀壁31。

由以上说明可知，本发明将原本直线驱动的设计，改变成旋转方式驱动的设计，不仅未见于以往闸阀装置，该项设计由于组件的动作只是旋摆贴向第一阀壁31，因此，本发明在组件间加工精度的要求较以往闸阀装置低，而具有制造容易的优点。

Claims (2)

1.一种真空设备的闸阀装置，其架设在真空设备的一第一腔座及一第二腔座间，该闸阀装置包含一个基座、以及一个架设在基座上的驱动机构，其中该基座包括一片邻近第一腔座的第一阀壁、一片和第一阀壁间隔并邻近第二腔座的第二阀壁、以及两片衔接在所述第一阀壁和第二阀壁之间的侧壁，在所述第一阀壁和第二阀壁及侧壁间界定出一控制室，上述第一阀壁具有一个朝向控制室的内壁面、以及一个通向该控制室的第一阀口，而该第二阀壁具有一个第二阀口；

其特征在于：所述第一阀壁还具有往控制室内突出的多个架设突块；

所述闸阀装置还包含一个转控机构和一个安装在基座上并将封闭板压向第一阀壁的辅助机构；

所述转控机构包括一支可转动地架设在控制室内的阀控转轴、一和该阀控转轴连动地结合并可往第一阀壁的内壁面贴靠的封闭板、两个架设在该内壁面上并供该阀控转轴架设的轴安装座、多个和阀控转轴连动的结合的安装架板、以及多个将安装架板及封闭板连结的连接组件，所述封闭板具有一个面积大于第一阀口的贴合面，而所述驱动机构可驱动该阀控转轴从封闭方向向开启方向转动；

所述辅助机构包括一片可横向位移的连动板、多支连接在该连动板及架设突块间的枢摆连板、一个驱动该连动板横向位移的辅助压缸、以及多个可压抵所述安装架板的辅压轮，该辅压轮借由弹簧将封闭板压向第一阀壁；

所述安装架板都具有一个固定在阀控转轴上的固定端、以及一个对应所述辅压轮中的其中一个的受压端，在该受压端上具有一个供所述辅压轮定位的定位凹部；所述连接组件都具有一支穿过该安装架板后拧紧在封闭板上的螺丝、以及一个穿套在螺丝上并顶撑在该安装架板及封闭板间的弹簧。

2.根据权利要求1所述真空设备的闸阀装置，其特征在于：该阀控转轴包括一个由基座的其中一个侧壁穿出控制室的受驱动端，而该驱动机构包括一个架设在供受驱动端突出的侧壁外的压缸架座、一个架设在该压缸架座上的阀控压缸、以及一个连结在该阀控压缸的一缸轴及该阀控转轴的受驱动端间的连板组件，上述连板组件具有一可枢转地和阀控压缸的缸轴连接的第一连板、一个受驱动端连动地结合的第二连板、以及一支连接所述第一连板和第二连板的支轴。

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