KR101071077B1 - 범용 프로그래머블 반도체 프로세싱 시스템을 위한 구성 및 그 방법 - Google Patents
범용 프로그래머블 반도체 프로세싱 시스템을 위한 구성 및 그 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (49)
- 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법에 있어서,에디터 어플리케이션을 사용하여 매크로를 생성하는 단계로서, 상기 매크로는 스텝들의 세트를 포함하고, 상기 스텝들의 세트는 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서 기판들을 처리하기 이전에 수행되는 상기 오프라인 작업들의 세트에 관한 것이고, 상기 스텝들의 세트의 제 1 스텝은 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트의 챔버로의 웨이퍼플로우를 방지하는, 상기 매크로를 생성하는 단계;상기 매크로를 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트의 매크로 실행 엔진에 제공하는 단계;상기 매크로 실행 엔진을 사용하여 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서 매크로를 실행함으로써 상기 스텝들의 세트를 수행하는 단계; 및상기 실행 동안 수집된 데이터 값을 사용하여 리포트를 생성하는 단계를 포함하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트의 마지막 스텝은, 상기 챔버의 상태를 온라인으로 설정하여 상기 챔버로의 웨이퍼플로우를 허용하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트는 자동 타이머에 의해 실행되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트의 하나 이상의 스텝들은 웨이퍼가 처리되는 것을 방지하는 단계인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 리포트는 상기 반도체 프로세싱 시스템으로부터 전자적으로 검색되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 리포트는 스프레드시트 (spreadsheet) 포맷인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 리포트는 텍스트 포맷인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 리포트는 데이터로그 (datalog) 포맷인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 리포트는 2진 (binary) 포맷인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
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- 제 1 항에 있어서,상기 매크로는 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트의 제조 동안에 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트로 전송되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 매크로는, 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트가 반도체 제조 설비에 설치되는 동안에, 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트로 전송되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
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- 제 1 항에 있어서,상기 매크로는 단지 패스워드로만 액세스될 수 있는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트 중 하나는 사용자 입력을 요구하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트 중 하나는, 체크리스트가 수동 실행을 위해 사용자에게 제공되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 매크로는 원격 호스트로부터 실행되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
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- 제 1 항에 있어서,상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트는 복수의 반도체 프로세싱 시스템들을 포함하는 것인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 리포트에 기초하여 경보(alert)를 생성하는 단계를 더 포함하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트는 복수의 플라즈마 프로세싱 시스템들인, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 매크로는 복수의 반도체 프로세싱 시스템들의 제조 동안에 상기 복수의 반도체 프로세싱 시스템들로 전송되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 매크로는, 복수의 반도체 프로세싱 시스템들 중 하나가 반도체 제조 설비에 설치되는 동안에 상기 반도체 프로세싱 시스템들의 세트 중 하나로 전송되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,요구되는 사용자 입력을 설명하는 정보를 디스플레이하는 단계를 더 포함하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트는 암호화되는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트 중 하나 이상의 세트들은 챔버 누설률 체크를 실행하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 스텝들의 세트 중 두 개의 스텝은, 질량 유량 제어(Mass Flow Control) 풀 스케일(full scale)의 제 1 퍼센트 및 질량 유량 제어(Mass Flow Control) 풀 스케일(full scale)의 제 2 퍼센트에서 프로세스 가스에 대한 가스 교정을 실행하는, 반도체 프로세싱 시스템들의 세트에서의 오프라인 작업들의 세트를 자동화하는 방법.
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