KR101057704B1 - 처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 기판의 처리 장치 - Google Patents

처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 기판의 처리 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 간단한 구성이며, 양호한 정밀도로 복수 종류의 액체를 혼합하여 처리액을 제조할 수 있는 제조 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 처리액의 제조 장치는, 각각의 액체를 공급하기 위한 복수개의 공급부(4)~(6)와, 각각의 공급부에 일단이 접속된 복수개의 공급 관로(1)~(3)와, 각각의 공급 관로의 중도부에 각각 설치되어 각각의 공급부로부터 각각의 공급관에 공급된 액체를 소정 압력으로 감압하는 복수개의 감압 밸브(11, 24, 34)와, 각각의 감압 밸브의 하류측에 설치되어 각각의 감압 밸브에 의해 소정 압력으로 감압된 각각의 액체에 부하를 주는 오리피스(12, 25, 35)와, 각각의 공급 관로의 타단이 접속되고, 감압 밸브와 오리피스에 의해 소정 유량으로 제어된 각각의 액체가 유입되어 혼합되는 조합 탱크(14)를 구비한다.
Figure R1020040018021
처리액 제조 장치, 공급 관로, 감압 밸브, 오리피스, 조합 탱크.

Description

처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 기판의 처리 장치 {APPARATUS FOR PREPARING PROCESS LIQUIDS, METHOD OF PREPARING THE SAME, AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATES}
도 1은 본 발명의 일실시예에 관한 처리액의 제조 장치와 기판 처리부를 가지는 처리 장치의 개략적 계통도.
도 2 (A), 도 2 (B)는 소정 시간 내에서의 각각의 액체의 공급을 제어하는 각 제어 밸브의 개폐 상태를 설명하는 타임 차트.
본 발명은 복수 종류의 액체를 혼합하여 처리액을 제조하는 처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 상기 제조 장치를 이용한 기판의 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치나 액정 표시 장치 등을 제조하는 경우, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 기판에 회로 패턴을 형성하는 리소그라피 프로세스가 있다. 이 리소그라피 프로세스는, 주지와 같이, 상기 기판에 레지스트를 도포하고, 이 레지스트에 회로 패턴이 형성된 마스크를 사이에 두고 광을 조사(照射)하고, 이어서 레지스트의 광이 조사되지 않은 부분(또는 광이 조사된 부분)을 제거하고, 제거된 부분을 에칭하는 등의 일련의 공정을 복수회 반복함으로써, 상기 기판에 회로 패턴을 형성하는 것이다.
상기 일련의 각각의 공정에 있어서는, 예를 들어 상기 기판에 부착된 파티클 등의 오염을 제거하기 위해, 상기 기판을 처리액으로 처리하는 작업이 행해지고 있다. 그와 같은 경우, 복수 종류의 액체를 혼합하여 오염의 제거에 적합한 처리액을 제조하고, 그 처리액에 의해 기판을 세정하는 것이 행해진다.
기판에 부착된 파티클을 제거하기 위해서는, 액체로서 예를 들어 순수(純水), 과산화 수소수 및 암모니아수를 각각 소정 비율로 혼합한 처리액이 사용되는 경우가 있다. 상기 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수의 혼합비는, 기판으로부터 제거하는 오염물의 종류나 정도 등 여러 가지의 조건에 따라 설정된다. 통상, 순수의 비율이 가장 높고, 그 다음에 과산화 수소수, 암모니아수의 순으로 되어 있다.
과산화 수소수나 암모니아수는 순수의 양에 비해 매우 적기 때문에, 공급량을 정밀하게 제어하지 않으면 원하는 성능의 처리액을 제조할 수가 없게 되는 경우가 있다.
종래, 복수 종류의 액체가 혼합된 처리액을 만들려면, 각각의 공급부로부터 공급되는 종류가 상이한 액체의 유량을 플로우 센서 또는 적산 유량계로 측정하여 소정량의 액체를 각각 칭량(稱量) 탱크에 저장한다. 각각의 칭량 탱크에 소정량의 액체가 각각 저장되면, 이들 액체를 조합(調合) 탱크에 공급하여 혼합함으로써, 복수 종류의 액체가 소정 비율로 혼합된 처리액을 제조하였다.
그러나, 전술한 종래의 방법에 의하면, 복수 종류의 액체의 혼합 비율을 고정밀도로 설정하기 위해 고가의 기기인 플로우 센서나 적산 유량계를 사용하였다. 그러므로, 시스템 전체의 복잡화나 비용 상승을 초래하는 경우가 있었다. 또한, 조합 탱크 이외에 각각의 액체를 소정량 저장하기 위한 복수개의 칭량 탱크를 필요로 하기 때문에, 이것에 의해서도 장치의 대형화, 복잡화 및 비용 상승을 초래하는 경우가 있었다.
본 발명은, 복수 종류의 액체를 간단한 구성으로 확실하게 소정 비율로 혼합하여 처리액을 제조하는 것이 가능하도록 한 처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 그 제조 장치를 사용한 기판의 처리 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은, 복수 종류의 액체를 혼합하여 제조되는 처리액의 제조 장치에 있어서,
각각의 액체를 공급하기 위한 복수개의 공급부와,
각각의 공급부에 일단이 접속된 복수개의 공급 관로와,
상기 각각의 공급 관로의 중도부에 각각 설치되어 상기 각각의 공급부로부터 각각의 공급관에 공급된 액체를 소정 압력으로 감압하는 복수개의 감압 밸브와,
각각의 감압 밸브의 하류측에 설치되어 각각의 감압 밸브에 의해 소정 압력으로 감압된 각각의 액체에 부하를 주는 오리피스와,
각각의 공급 관로의 타단이 접속되고, 상기 감압 밸브와 오리피스에 의해 소 정 유량으로 제어된 각각의 액체가 유입되어 혼합되는 조합 탱크를 구비한 처리액의 제조 장치를 제공한다.
본 발명은, 복수 종류의 액체를 혼합하여 제조되는 처리액의 제조 방법에 있어서,
각각의 액체를 각각 소정 압력으로 감압하는 공정과,
감압된 각각의 액체에 부하를 주는 공정과,
감압되어 부하가 주어짐으로써 유량이 제어된 각각의 액체를 혼합하는 공정을 포함하는 처리액의 제조 방법에 있다.
본 발명은, 복수 종류의 액체를 혼합하여 처리액을 제조하는, 청구항 1에 기재된 구성의 처리액의 제조 장치와,
이 제조 장치에 의해 제조된 처리액에 의해 기판을 처리하는 기판 처리 장치부를 구비한 기판의 처리 장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 복수 종류의 액체를 각각 소정 압력으로 감압하는 동시에 감압된 액체에 부하를 주도록 했기 때문에, 각각의 액체의 유량을 양호한 정밀도로 제어하여 원하는 양으로 혼합하여 처리액을 제조하는 것이 가능해진다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 일실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 관한 기판의 처리 장치를 나타낸다. 이 처리 장치는 처리액의 제조 장치 A와, 이 제조 장치 A에 의해 제조된 처리액에 의해 기판을 처리하는 기판 처리 장치부 B를 구비하고 있다. 상기 제조 장치 A는 복수개의 공급 관로, 이 실시예에서는 제1 내지 제3 공급 관로(1)~(3)을 구비하고 있다.
상기 제1 공급 관로(1)의 일단은, 처리액을 형성하는 액체인 순수를 공급하는 제1 공급부(4)에 접속되어 있다. 제2 공급 관로(2)의 일단은, 같은 처리액을 형성하는 액체인 과산화 수소수를 공급하는 제2 공급부(5)에 접속되어 있다. 제3 공급 관로(3)의 일단은, 처리액을 형성하는 액체인 암모니아수를 공급하는 제3 공급부(6)에 접속되어 있다.
상기 제1 공급 관로(1)에는 제1 펌프(7)가 형성되어 있다. 이 제1 펌프(7)는 상기 제1 공급부(4)로부터 순수를 소정 압력으로 제1 공급 관로(1)에 토출 공급한다. 상기 제1 펌프(7)의 토출측에는 제1 공급 관로(1)를 흐르는 순수의 유량을 측정하는 제1 유량계(8)와, 그 순수의 압력을 측정하는 제1 압력계(9)가 순차 형성되어 있다.
상기 제1 압력계(9)의 하류측에는, 순수를 상기 제1 펌프(7)에 의해 제1 공급 관로(1)에 공급된 압력보다 낮은 소정 압력으로 감압하는 제1 감압 밸브(11)가 설치되어 있다. 이 제1 감압 밸브(11)의 하류측에는 제1 감압 밸브(11)에 의해 감압된 순수에 부하를 주는 제1 오리피스(12)가 형성되어 있다.
상기 제1 오리피스(12)에 의해 상기 제1 감압 밸브(11)에 의해 감압된 순수에 부하를 줌으로써, 상기 제1 감압 밸브(11)의 감압 작용이 정상적으로 기능하게 된다. 즉, 제1 감압 밸브(11)의 상류측(1차측)에 압력 변동이 있어도, 하류측인 2차측의 압력을 제1 감압 밸브(1)에 의해 설정된 압력으로 유지하는 것이 가능해진다. 이로써, 제1 오리피스(12)의 하류측에서는, 상기 제1 감압 밸브(11)의 설정 압력과 제1 오리피스(12)의 구멍 직경에 따라 결정되는 단위 시간당의 유량으로 순수 를 양호한 정밀도로 공급하는 것이 가능해진다.
상기 제1 오리피스(12)의 하류측에는 제1 제어 밸브(13)가 설치되어 있다. 이 제1 제어 밸브(13)의 유출측, 즉 제1 공급 관로(1)의 타단은 조합 탱크(14)에 접속되어 있다.
상기 제1 제어 밸브(13)는 제어 장치(15)에 의해 개폐 시간이 제어되도록 되어 있다. 상기 제어 장치(15)는 제1 제어 밸브(13)의 개폐 시간을 설정하기 위한 시간 설정부(16)와, 이 시간 설정부(16)의 설정에 따라 구동 신호를 출력하는 출력부(17)를 가진다. 제1 제어 밸브(13)는 출력부(16)로부터의 구동 신호에 의해 개폐 시간이 제어된다.
이로써, 상기 제1 감압 밸브(11)와 제1 오리피스(12)에 의해 단위 시간당의 유량이 설정된 순수는, 상기 제1 제어 밸브(13)의 개폐 시간에 따른 유량으로 조합 탱크(14)에 공급된다.
상기 제2 공급 관로(2)에는 제2 펌프(21), 제2 유량계(22), 제2 압력계(23), 제2 감압 밸브(24), 제2 오리피스(25) 및 제2 제어 밸브(26)가 순차 설치되어 있다. 이 제2 공급 관로(2)의 타단은 상기 조합 탱크(14)에 접속되어 있다.
이로써, 제2 오리피스(25)의 하류측에서는, 제2 감압 밸브(24)의 설정 압력과 제2 오리피스(25)의 구멍 직경에 따라 결정되는 단위 시간당의 유량으로 과산화 수소수를 양호한 정밀도로 공급하는 것이 가능해진다.
또한, 제2 감압 밸브(24)와 제2 오리피스(25)에 의해 단위 시간당의 유량이 설정된 과산화 수소수는, 제2 오리피스(25)의 하류측에 설치되어 상기 제어 장치(15)에 의해 개폐 시간이 제어되는 상기 제2 제어 밸브(26)의 개폐 시간에 따른 유량으로 상기 조합 탱크(14)에 공급된다.
상기 제3 공급 관로(3)에는 제3 펌프(31), 제3 유량계(32), 제3 압력계(33), 제3 감압 밸브(34), 제3 오리피스(35) 및 제3 제어 밸브(36)가 순차 설치되어 있다. 이 제3 공급 관로(3)의 타단은 상기 조합 탱크(14)에 접속되어 있다.
상기 제3 펌프(31)에 의해 제3 공급 관로(3)에 공급된 암모니아수는, 제3 감압 밸브(34)의 설정 압력과, 제3 오리피스(35)의 구멍 직경에 따라 단위 시간당의 유량이 양호한 정밀도로 제어된다.
또한, 제3 감압 밸브(34)와 제3 오리피스(35)에 의해 단위 시간당의 유량이 설정된 암모니아수는, 제3 오리피스(35)의 하류측에 설치되어 상기 제어 장치(15)에 의해 개폐 시간이 제어되는 상기 제3 제어 밸브(36)의 개폐 시간에 따른 유량으로 상기 조합 탱크(14)에 공급된다.
조합 탱크(14)에 공급된 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수는 혼합되어 세정 처리용의 처리액으로 된다. 조합 탱크(14)에는, 상기 기판 처리 장치부 B를 구성하는 순환 관로(41)의 일단과 타단이 접속되어 있다. 즉, 순환 관로(41)는 루프형을 이루고 있다.
상기 순환 관로(41)에는 제4 펌프(42)가 설치되어 있다. 이 제4 펌프(42)의 하류측에는 버터플라이 밸브로 이루어지는 댐퍼(43), 처리액을 소정 온도로 가열하는 히터(44), 처리액의 온도를 검출하여 그 검출 신호를 상기 히터(44)에 피드백하는 온도 센서(45), 순환 관로(41)를 흐르는 처리액의 유량을 측정하는 제4 유량계(46), 처리액의 농도를 측정하는 농도계(47)가 순차 설치되어 있다.
상기 농도계(47)의 하류측으로부터는 복수개의 분기 관로(51)(1개만 도시함)가 분기되어 있다. 분기 관로(51)는 중도부에 상기 제어 장치(15)에 의해 개폐 제어되는 제4 제어 밸브(52)가 설치되고, 타단은 예를 들어 스핀 처리 장치 등의 처리 부(53)에 접속되어 있다. 이 처리부(53)에는 미처리의 기판(도시하지 않음)이 공급된다. 따라서, 기판을 회전시키면서 제4 제어 밸브(52)를 개방하여 그 기판에 처리액을 공급하면, 처리액에 부착된 파티클을 세정 제거할 수 있다.
상기 구성의 처리액의 제조 장치 A에 의하면, 제1 공급 관로(1), 제2 공급 관로(2) 및 제3 공급 관로(3)에 제1 내지 제3 펌프(7, 21, 31)에 의해 액체인 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수가 공급되면, 이들 액체는 각각 제1 내지 제3 감압 밸브(11, 24, 34)에 의해 소정 압력으로 감압된다.
각각의 감압 밸브(11, 24, 34)의 하류측에는 소정의 구멍 직경을 갖는 제1 내지 제3 오리피스(12, 25, 35)가 형성되고, 이들 오리피스(12, 25, 35)에 의해 각각의 감압 밸브(11, 24, 34)에서 소정 압력으로 감압된 액체에 부하(압력)를 준다.
감압된 각각의 액체에 부하를 주면, 각각의 감압 밸브(11, 24, 34)의 1차측의 압력에 변동이 있어도, 2차측에서는 액체를 각각의 감압 밸브의 설정 압력에 따라 양호한 정밀도로 감압하는 것이 가능해진다. 즉, 각각의 감압 밸브(11, 24, 34)에 의한 설정 압력 및 각각의 오리피스(12, 25, 35)의 구멍 직경에 따른 단위 시간당의 유량으로 각각의 액체를 제1 내지 제3 제어 밸브(13, 26, 36)에 흐르게 할 수 있다.
따라서, 제어 장치(15)에 의해, 도 2 (A)에 나타낸 바와 같이 제1 내지 제3 제어 밸브(13, 26, 36)의 개방 시간을 각각 소정 시간(t)으로 설정하면, 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수를, 제1 내지 제3 감압 밸브(11, 24, 34)의 설정 압력과 제1 내지 제3 오리피스(12, 25, 35)의 구멍 직경에 따른 단위 시간당의 유량으로, 소정 시간(t) 동안, 조합 탱크(14)에 공급하고, 혼합하여 처리액으로 할 수 있다.
예를 들어, 제1 내지 제3 감압 밸브(11, 24, 34)와 오리피스(12, 25, 35)에 의해 제어되는 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수의 압력을, 1:4:20의 비율로 설정하면, 조합 탱크(14)에는, 이들 액체를 상기 압력비에 반비례하는 체적비인 20:4:1의 비율로 공급하여 처리액을 제조할 수 있다.
이같이 하여 조합 탱크(14)에서 혼합된 처리액을, 제4 제어 밸브(52)를 개방하여 처리부(53)에 공급하면, 이 처리부(53)에 설치된 도시하지 않은 스핀 처리 장치에 의해 회전 구동되는 기판을 상기 처리액으로 세정 처리할 수 있다.
기판의 종류 등이 변경된 경우, 그 기판을 처리하는 처리액의 성능을 변경하는 것이 요구되는 경우가 있다. 예를 들어, 혼합되는 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수의 체적비를 20:2:1로 혼합한 처리액, 즉 과산화 수소수의 혼합비를 앞서의 경우에 비해 2분의 1로 감소시킨 처리액이 요구되는 경우가 있다.
이와 같은 경우, 제2 감압 밸브(24)와 제2 오리피스(25)에 의한 과산화소수의 공급 압력을, 예를 들어 상기 제2 감압 밸브(24)를 조정하여 앞서의 공급 압력의 2분의 1로 하면, 소정 시간(t)에서의 과산화 수소수의 공급량을 2분의 1로 할 수 있다.
그런데, 과산화 수소수의 공급 압력을, 예를 들어 제2 감압 밸브(24)를 조정하여 2분의 1로 설정하는 데는, 제2 감압 밸브(24)에 설치된 압력 조정 나사를 회전시키는 기계적인 조정 작업이 필요하다. 그러나, 그와 같은 작업은 수고를 요할 뿐아니라 기계적인 조정에서는 압력을 정밀하게 설정하는 것이 매우 어렵다.
그래서, 본 발명에서는, 제2 감압 밸브(24)에 의한 과산화 수소수의 2차측의 압력을 변경하지 않고, 소정 시간(t) 내에서, 과산화 수소수를 조합 탱크(14)에 공급하는 공급 시간을 제어 장치(15)에 의해 2분의 1로 설정하여 과산화 수소수의 공급량을 제어한다.
도 2 (B)는, 도 2 (A)에 나타낸 소정 시간(t) 내의 각각의 액체의 공급에 대하여, 과산화 수소수의 공급량을 2분의 1로 제어할 때의 각 제어 밸브(13, 26, 36)의 개폐 상태를 나타낸 타임 차트이다.
즉, 소정 시간(t) 내에 있어서, 과산화 수소수를 조합 탱크(14)에 공급하기 위한 제2 제어 밸브(26)의 개방 시간을, 제어 장치(15)에 의해 소정 시간(t)의 2분의 1로 설정했다.
또한, 제2 제어 밸브(26)가 개방되는 타이밍은, 소정 시간(t) 내에 있어서, 대략 균등한 타이밍으로 복수회, 이 실시예에서는 3회로 나누어 행하도록 했다. 즉, 1회당의 개방 시간을 소정 시간(t)의 6분의 1인, (t/6) 시간으로 설정했다. 이에 따라, 제2 제어 밸브(26)의 3회의 개방 시간의 토탈이 상기 소정 시간(t)의 2분의 1이 된다.
이같이 하여, 제2 제어 밸브(25)를 개방하면, 개방 시간이 소정 시간(t)의 2 분의 1이므로, 제2 감압 밸브(24)의 설정 압력을 변경하여 단위 시간당의 공급량을 변경하지 않고, 과산화 수소수의 조합 탱크(14)에의 공급량을 2분의 1로 할 수 있다.
또한, 제2 제어 밸브(25)를 개방하는 3회의 타이밍을, 소정 시간(t) 내에 있어서 대략 균등하게 배분했다. 그러므로, 소정 시간(t) 내에 있어서, 과산화 수소수를 조합 탱크(14)에 대략 균등하게 공급할 수 있다. 즉, 과산화 수소수가 소정 시간(t)의 최초나 최후에 치우쳐 공급되지 않으므로, 순수 및 암모니아수에 대하여 과산화 수소수의 혼합 비율은, 소정 시간 내의 어느 시점에서도 대략 일정하게 할 수 있다.
즉, 소정 시간(t) 내에서의 어느 시점에서도, 순수, 과산화 수소수 및 암모니아수의 혼합 비율이 대략 일정한 처리액을 얻는 것이 가능해진다.
또한, 기판 처리 장치부 B에 설치된 농도계(47)의 농도 체크에 의해 순수, 과산화 수소수, 암모니아수의 농도가 설정치에 대하여 오차가 있는 경우, 농도계(47)의 검출 신호에 따라 제1 내지 제3 제어 밸브(13, 26, 36)의 개폐 시간을 제어 장치(15)에 의해 조정하면, 처리액의 농도를 자동적으로 조정하는 것이 가능해진다.
즉, 처리액의 농도 조정을, 제1 내지 제3 감압 밸브(11, 24, 34)를 기계적으로 조정하지 않고, 자동적으로 행하는 것이 가능해지기 때문에, 그 조정 작업을 용이하고 정밀하게 행할 수 있다.
본 발명은 상기 일실시예에 한정되지 않고, 예를 들어 처리부에서 기판에 대 하여 행하는 처리는 세정 처리에 한정되지 않고, 에칭 처리나 레지스트의 박리 처리 등이라도 되고, 이와 같은 경우에는 처리액을 형성하는 액체의 종류를 그들 처리에 따른 것으로 변경하면 된다.
또, 처리액을 형성하는 액체의 종류는 3종류에 한정되지 않고, 2종류 또는 4종류 이상이라도 된다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 복수 종류의 액체를 각각 소정 압력으로 감압하는 동시에 감압된 액체에 부하를 주도록 했기 때문에, 각각의 액체의 유량을 양호한 정밀도로 제어하여 원하는 양으로 혼합하여 처리액을 제조하는 것이 가능해진다.
따라서, 종래에 비해 처리액의 제조를 간단한 설비로 용이하고, 또한 확실하게 행할 수 있다.

Claims (7)

  1. 복수 종류의 액체를 혼합하여 제조되는 처리액의 제조 장치에 있어서,
    각각의 액체를 공급하기 위한 복수개의 공급부와,
    각각의 상기 공급부에 일단이 접속된 복수개의 공급 관로와,
    각각의 상기 공급 관로의 중도부에 각각 설치되어 각각의 상기 공급부로부터 각각의 상기 공급 관로에 공급된 액체를 소정 압력으로 감압하는 복수개의 감압 밸브와,
    각각의 상기 감압 밸브의 하류측에 설치되어 각각의 감압 밸브에 의해 소정 압력으로 감압된 각각의 액체의 압력을 감압된 압력으로 유지하는 오리피스와,
    각각의 상기 공급 관로의 타단이 접속되고, 상기 감압 밸브의 감압과 상기 오리피스에 의한 압력 유지로 결정된 단위 시간당 유량으로 각각의 액체가 유입되어 혼합되는 조합(調合) 탱크
    를 구비한 처리액의 제조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각각의 공급 관로의 각각의 상기 오리피스보다 하류측에는 상기 감압 밸브와 오리피스에 의해 유량이 제어된 각각의 액체가 상기 조합 탱크에 유입되는 시간을 제어하는 개폐 제어 밸브가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수개의 공급부는, 순수를 공급하는 제1 공급부와, 과산화 수소수를 공급하는 제2 공급부와, 암모니아수를 공급하는 제3 공급부인 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 장치.
  4. 복수 종류의 액체를 혼합하여 제조되는 처리액의 제조 방법에 있어서,
    각각의 액체를 각각 소정 압력으로 감압하는 공정과,
    감압된 각각의 액체의 압력을 감압된 압력으로 유지하는 공정과,
    감압되어 그 압력으로 유지되는 것으로 결정되는 단위 시간당 유량으로 각각의 액체를 혼합하는 공정
    을 포함하는 것을 처리액의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 유량이 제어된 각각의 액체를, 이들 액체의 혼합비에 따라 시간 제어하여 공급하는 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 각각의 액체의 시간 제어에 의한 공급은, 그 공급 시간 내에서 복수회로 분할하는 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 방법.
  7. 복수 종류의 액체를 혼합하여 처리액을 제조하는, 청구항 1에 기재된 구성의 처리액의 제조 장치와,
    상기 제조 장치에 의해 제조된 처리액에 의해 기판을 처리하는 기판 처리 장치부
    를 구비한 기판의 처리 장치.
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