KR101057704B1 - 처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 기판의 처리 장치 - Google Patents
처리액의 제조 장치, 제조 방법 및 기판의 처리 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 복수 종류의 액체를 혼합하여 제조되는 처리액의 제조 장치에 있어서,각각의 액체를 공급하기 위한 복수개의 공급부와,각각의 상기 공급부에 일단이 접속된 복수개의 공급 관로와,각각의 상기 공급 관로의 중도부에 각각 설치되어 각각의 상기 공급부로부터 각각의 상기 공급 관로에 공급된 액체를 소정 압력으로 감압하는 복수개의 감압 밸브와,각각의 상기 감압 밸브의 하류측에 설치되어 각각의 감압 밸브에 의해 소정 압력으로 감압된 각각의 액체의 압력을 감압된 압력으로 유지하는 오리피스와,각각의 상기 공급 관로의 타단이 접속되고, 상기 감압 밸브의 감압과 상기 오리피스에 의한 압력 유지로 결정된 단위 시간당 유량으로 각각의 액체가 유입되어 혼합되는 조합(調合) 탱크를 구비한 처리액의 제조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 각각의 공급 관로의 각각의 상기 오리피스보다 하류측에는 상기 감압 밸브와 오리피스에 의해 유량이 제어된 각각의 액체가 상기 조합 탱크에 유입되는 시간을 제어하는 개폐 제어 밸브가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 장치.
- 제1항에 있어서,상기 복수개의 공급부는, 순수를 공급하는 제1 공급부와, 과산화 수소수를 공급하는 제2 공급부와, 암모니아수를 공급하는 제3 공급부인 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 장치.
- 복수 종류의 액체를 혼합하여 제조되는 처리액의 제조 방법에 있어서,각각의 액체를 각각 소정 압력으로 감압하는 공정과,감압된 각각의 액체의 압력을 감압된 압력으로 유지하는 공정과,감압되어 그 압력으로 유지되는 것으로 결정되는 단위 시간당 유량으로 각각의 액체를 혼합하는 공정을 포함하는 것을 처리액의 제조 방법.
- 제4항에 있어서,상기 유량이 제어된 각각의 액체를, 이들 액체의 혼합비에 따라 시간 제어하여 공급하는 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 방법.
- 제5항에 있어서,상기 각각의 액체의 시간 제어에 의한 공급은, 그 공급 시간 내에서 복수회로 분할하는 것을 특징으로 하는 처리액의 제조 방법.
- 복수 종류의 액체를 혼합하여 처리액을 제조하는, 청구항 1에 기재된 구성의 처리액의 제조 장치와,상기 제조 장치에 의해 제조된 처리액에 의해 기판을 처리하는 기판 처리 장치부를 구비한 기판의 처리 장치.
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