KR101044282B1 - An Automatic Opening Device for Pod of Semiconductor Substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장치 내부로 청정 공기를 유입하고 또 내부 공기를 외부로 배출하는 기능을 통해 서브스트레이트의 청정도를 유지하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 대한 것이다.The present invention relates to a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device, and more particularly to a semiconductor substrate transport container to maintain the cleanliness of the substrate through the function of introducing clean air into the device and discharge the internal air to the outside It is about automatic switchgear.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치는 후면에 형성된 개구를 갖는 본체와, 상기 본체의 상단에 설치되어 서브스트레이트가 수납된 운반용기가 안착되는 분리단과, 상기 분리단의 후단에 결합되어 상기 분리단의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 가림판과, 하기 작동단이 수용가능하도록 상기 분리단 상부면에 형성된 개구부와, 상기 분리단의 개구부에 위치하여 상기 서브스트레이트에 대한 작동이 이루어지는 작동단과, 상기 서브스트레이트를 반전시키는 로봇부와, 내부 공기를 진공펌프로 유도하는 흡입기와, 상기 본체와 본장비 사이에 공기청정부를 설치하되, 상기 공기청정부는 그 내부에 구비되고 속도 증감으로 내부압력을 조절할 수 있는 팬과, 상기 팬의 하부에 설치되는 필터로 구성되어 상기 팬에 의해 유도된 내부 공기가 상기 공기청정부 하단에 위치한 청정부배기팬에 의해 다시 외부로 배출하는 것을 특징으로 한다.The semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention is coupled to a main body having an opening formed in the rear side, a separating end to be mounted on the upper end of the main body, the transport container is stored, and the rear end of the separating end Screening plate for opening and closing the opening according to the lifting and lowering of the separation end, an opening formed in the upper surface of the separation end to accommodate the following operation end, and the operation of the substrate is located in the opening of the separation end An operating stage, a robot unit for inverting the substrate, an inhaler for guiding internal air with a vacuum pump, and an air cleaner are installed between the main body and the main equipment, wherein the air cleaner is provided therein and is provided with a speed increase or decrease. It is composed of a fan that can adjust the pressure, and a filter installed in the lower portion of the fan guided by the fan It characterized in that the inside air is again discharged to the outside by the exhaust fan Government Office located at the bottom of the air blue state.

반도체장비, 서브스트레이트, 운반용기, 자동개폐기, SMIF, SEMI Semiconductor Equipment, Substrate, Transport Container, Automatic Switch, SMIF, SEMI

Description

반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치{An Automatic Opening Device for Pod of Semiconductor Substrate}An Automatic Opening Device for Pod of Semiconductor Substrate}

본 발명은 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장치 내부로 청정 공기를 유입하고 또 내부 공기를 외부로 배출하는 기능을 통해 서브스트레이트의 청정도를 유지하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 대한 것이다.The present invention relates to a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device, and more particularly to a semiconductor substrate transport container to maintain the cleanliness of the substrate through the function of introducing clean air into the device and discharge the internal air to the outside It is about automatic switchgear.

자동개폐장치는 반도체 제조 공정에서 레티클(Reticle) 또는 마스크(Mask)등의 서브스트레이트(Substrate)의 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 표준을 선도하는 협회 중 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 정한 표준안 중 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템을 구성하는 장비에 해당된다.Automatic switchgear is an automated equipment related to the transfer of substrates such as reticles or masks in the semiconductor manufacturing process. SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) Corresponds to the equipment that constitutes the SMIF (Standard Mechanical Interface) system.

기존의 제품으로는 저면에 위치한 베이스, 상기 베이스 상에 위치하고 내부가 개방되고 일측에 상기 반도체 서브스트레이트 반출을 위한 개구부가 형성된 메인 플레이트, 상기 메인 플레이트의 상부에 설치되어 상기 반도체 서브스트레이트 운반용기가 안착되고 중앙측에 개구부가 형성된 분리단, 상기 분리단의 개구부에 위치하여 상기 반도체 서브스트레이트 운반용기의 카세트가 안착되는 작동단, 상기 메인 플레이트의 내부 일측에 설치되어 상기 작동단을 수직 이동시키는 상하이송부 및 상기 분리단의 하측에서 상기 메인 플레이트의 내측에 설치되어 상기 작동단에 안착된 카세트를 본장비측으로 로딩하는 카세트 로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 반송용 로더장치가 제안된 바 있다.Existing products include a base plate located on the bottom surface, a main plate located on the base and having an opening open on one side thereof, and having an opening for carrying out the semiconductor substrate on one side, and installed on the main plate to seat the semiconductor substrate carrier container. And an opening end formed at an opening in the center side, an operation end in which the cassette of the semiconductor substrate transport container is seated at an opening of the separation end, and installed at one inner side of the main plate to vertically move the operation end. And a cassette loading part installed inside the main plate at the lower side of the separation end and loading the cassette seated at the operating end to the main equipment side. have.

일반적으로 웨이퍼를 대상으로 하는 반도체 공정에서 항상 문제가 되는 파티클(분진) 문제는 마스크를 대상으로 하는 공정에서도 동일한 중요성을 가지고 있다.In general, the particle (dust) problem, which is always a problem in the semiconductor process for wafers, has the same importance in the process for masks.

장비내의 화학적 공정 외에 기계적 동작에 의한 파티클도 문제가 되는데 마스크 공정에서는 후자의 영향이 대부분이다.In addition to the chemical processes in the equipment, particles caused by mechanical action are also a problem.

그러나 상기 로더장치에서는 장치 내부에서 발생한 분진 및 장치 외부에서 유입되는 분진이 일정한 흐름을 갖지 못하고 장치 내부로 분산됨에 따라 결과적으로 서브스트레이트에 분진이 부착되는 등의 영향을 주는 문제점이 발생하였다.However, in the loader apparatus, dust generated inside the apparatus and dust introduced from the outside of the apparatus do not have a constant flow and are dispersed into the apparatus, resulting in a problem in that dust is attached to the substrate as a result.

또한 상기 로더장치에서 서브스트레이트를 반전시키는 로봇부에서도 분진이 발생하여 서브스트레이트 처리 시 직접 영향을 주는 문제점이 발생하였다.In addition, the dust generated in the robot unit for inverting the substrate in the loader device has a problem of directly affecting the substrate processing.

이외에도 다양한 공정에서의 문제점들이 아래와 같이 발생하였다.In addition, problems in various processes occurred as follows.

첫째, 상기 로더 장치에서 서브스트레이트 공정의 방향이 바뀌는 경우 또는 서브스트레이트 후면에 가공이 필요한 경우 장치 내에서 회전 및 반전 동작이 이루어 지지 않아 공정지연 또는 공정제한의 문제점이 발생하였다.First, when the direction of the substrate process is changed in the loader device or when processing is required on the substrate rear surface, rotation and inversion operations are not performed in the device, resulting in process delay or process limitation.

둘째, 상기 로더장치에서 운반용기가 분리단 상에 정상적으로 장착되지 않은 경우 고정 동작 시에 고정구에 무리한 힘이 가해져서 고정구가 파손되는 문제점이 발생하였다.Second, when the transport container is not normally mounted on the separation end in the loader device, a problem arises in that the fixture is broken due to excessive force applied to the fixture during the fixing operation.

세째, 상기 로더장치에서 동작 중에 운반 용기 커버가 제거된 경우 이를 감지하지 못하여 개구부에서 안전사고가 발생하였다.Third, when the transport container cover is removed during operation in the loader device, it did not detect this and a safety accident occurred in the opening.

네째, 상기 로더장치에서 운반 용기 베이스가 안착상태를 유지하는지 여부를 감지하지 못하여 공정 중 부품 손상 또는 장비 운영상의 문제가 발생하였다.Fourth, the loader device does not detect whether the transport container base maintains its seating state, resulting in component damage or equipment operation problems during the process.

다섯째, 상기 로더장치에서 운반 용기의 고유 정보를 해독하지 못하여 운반용기 관리 또는 내부 수납된 서브스트레이트 관리에 문제점이 발생하였다.Fifth, the loader device could not decode the unique information of the transport container, causing problems in the management of the transport container or the substrate stored therein.

여섯째, 상기 로더장치에서 서브스트레이트의 고유 정보를 해독하지 못하여 공정관리에 문제점이 발생하였다.Sixth, there was a problem in process management because the loader could not decode the unique information of the substrate.

일곱째, 상기 로더장치에서 분리단이 상하이송 동작을 할 때 장애물이 발생해도 감지가 되지 않아서, 예를 들어 본장비에서 서브스트레이트를 반출하는 도중에 분리단이 동작하여 본장비의 반출기(엔드이펙터 등)와 충돌하여 파손되는 문제점이 발생하였다.Seventh, the separation unit is not detected even when an obstacle occurs in the loader device during the shanghai transport operation, for example, the separation stage operates during the export of the substrate from the equipment, so that the ejector of the equipment (end effector, etc.) ) And crashed.

여덟째, 상기 로더장치에서 장치를 본장비와 연결할 때 미세조정이 이루어지기 어려운 문제점이 발생하였다.Eighth, when the device is connected to the equipment in the loader device, a fine adjustment is difficult to occur.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본장비와 본체 사이에 필터를 포함한 공기 청정 장치를 설치하여 본체에서 발생한 분진이 서브스트레이트를 통해 본장비에 주는 영향을 최소화하는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.The present invention is designed to solve the above problems, by installing an air cleaning device including a filter between the main unit and the main body having a function of minimizing the effect of dust generated in the main body to the main unit through the substrate It is to provide a substrate carrier automatic opening and closing device.

본 발명의 다른 목적은 서브스트레이트 반전 로봇부 내에 공기흡입기능을 부여함으로써 반전 시에 발생하는 분진을 외부로 유도하여 분진이 서브스트레이트에 주는 영향을 최소화할 수 있는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a substrate substrate automatic opening and closing device that can minimize the effect of dust on the substrate by inducing dust generated during the inversion by providing an air suction function in the substrate inverting robot unit To provide.

본 발명의 다른 목적은 분리단의 후단에 설치된 가림판 하단에 공기유입구를 설치하여 서브스트레이트 운반용 개구부가 가림판에 가려있는 동안에도 본장비로부터 청정한 공기를 자동개폐기 본체 내부로 유입시켜 장치 내부에서 발생한 분진(파티클)을 내부 하단의 팬으로 유도함으로써 분진이 서브스트레이트에 주는 영향을 최소화하는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to install an air inlet at the bottom of the shielding plate installed at the rear end of the separation end, even while the substrate transport opening is covered by the shielding plate, the clean air from the equipment is introduced into the automatic switchgear body to generate the inside of the apparatus. It is to provide a semiconductor substrate automatic opening and closing device having a function of minimizing the effect of dust on the substrate by inducing dust (particles) to the fan of the inner bottom.

본 발명의 다른 목적은 작동단을 회전시키는 기능과 일정 상태에서 회전하지 않도록 고정하는 기능을 함께 부가함으로써 서브스트레이트의 반출 방향을 조정하는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device having a function of adjusting the ejecting direction of the substrate by adding a function of rotating the operating stage and a function of fixing the component so as not to rotate in a predetermined state.

본 발명의 다른 목적은 서브스트레이트의 후면을 가공할 필요가 있을 경우 서브스트레이트를 반전시켜서 반출하는 기능을 갖고 또한 서브스트레이트 파지 상태를 감지하는 기능도 함께 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor substrate container automatic opening and closing device having a function of reversing the substrate when necessary to process the rear surface of the substrate and also having a function of detecting the substrate holding state. will be.

본 발명의 다른 목적은 운반용기가 분리단 상에 정상적으로 안착되지 않아 용기 고정 동작 시에 용기고정구에 일정 이상의 힘이 가해지는 경우 용기고정구가 더 이상 회전하지 않도록 하여 용기고정구의 파손을 방지할 수 있는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to prevent the breakage of the container fixture by preventing the container fixture from rotating any more when a certain amount of force is applied to the container fixture during the container fixing operation because the container is not normally seated on the separation end. It is to provide a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device having a function.

본 발명의 다른 목적은 동작 중에 운반 용기 커버가 제거된 경우 이를 감지하여 동작을 중단시킴으로써 개구부에서 발생할 수 있는 안전사고를 방지하는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device having a function of preventing a safety accident that may occur in an opening by detecting a case in which a transport container cover is removed during operation and stopping the operation.

본 발명의 다른 목적은 운반용기 베이스가 공정 중에 작동단 상에서 정상적인 안착 상태를 유지하는지 여부를 감지하여 부품 손상 또는 장비 운영상의 문제를 예방할 수 있는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor substrate container automatic opening and closing device having a function of detecting whether or not the container base maintains a normal seating state on the operating stage during the process to prevent component damage or equipment operation problems. will be.

본 발명의 다른 목적은 운반용기가 분리단에 안착되고 나서 용기에 부착된 고유정보를 해독함으로써 용기의 종류 및 기타 관련 정보를 인식할 수 있고 또한 이러한 정보를 외부로 송신할 수 있는 통신 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to have a communication function capable of recognizing the type and other related information of the container and transmitting such information to the outside by decrypting the unique information attached to the container after the container is seated at the separation end. It is to provide a semiconductor substrate carrier container automatic opening and closing device.

본 발명의 다른 목적은 운반용기가 분리단에 의해 운반용기 커버가 운반용기 베이스로부터 분리된 후 운반용기 내부에 수납된 서브스트레이트의 고유 정보를 해 독하고 이러한 정보를 외부로 송신할 수 있는 통신 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a communication function for reading the unique information of the substrate stored inside the container after the container cover is separated from the container base by the separating end and transmitting the information to the outside. It is to provide a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device having a.

본 발명의 다른 목적은 본장비에서 서브스트레이트를 반출하는 도중에 분리단이 동작하여 본장비의 반출기(엔드이펙터 등)와 근접할 때 이를 감지하여 동작을 중단시킴으로써 장비의 파손을 방지하는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention has a function of preventing the breakage of the equipment by stopping the operation by detecting when the separation stage is operating close to the ejector (end effector, etc.) of the equipment during the export of the substrate from the equipment It is to provide a semiconductor substrate carrier container automatic opening and closing device.

본 발명의 다른 목적은 장치 설치 시 본체 바닥에 미세설치조정판을 부착하여 스크류 구동으로 장비 위치를 미세하게 조정할 수 있는 기능을 갖는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device having a function of finely adjusting the position of the equipment by a screw drive by attaching a fine installation adjustment plate on the bottom of the body when the device is installed.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치는 후면 일측에 개구가 형성된 본체와, 상기 본체의 상단에 설치되어 서브스트레이트가 수납된 운반용기가 안착되는 분리단과, 상기 분리단의 후단에 결합되어 상기 분리단의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 가림판과, 하기 작동단이 수용가능하도록 상기 분리단 상부면에 형성된 개구부와, 상기 분리단의 개구부에 위치하여 상기 서브스트레이트에 대한 작동이 이루어지는 작동단과, 상기 분리단 상에 설치되고 상기 운반용기를 고정시키는 운반용기고정구와, 상기 본체와 본장비 사이에 공기청정부를 설치하되, 상기 공기청정부는 그 내부에 구비되고 속도 증감으로 내부압력을 조절할 수 있는 팬과, 상기 팬의 하부에 설치되는 필터로 구성되어 상기 팬에 의해 유 도된 내부 공기가 상기 공기청정부 하단에 위치한 청정부배기팬에 의해 다시 외부로 배출되는 것이 바람직하다.The semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention is coupled to a main body having an opening formed at one side of the rear side, a separation end on which the transport container housed at the top of the main body is seated, and a rear end of the separation end. Screening plate for opening and closing the opening according to the lifting and lowering of the separation end, an opening formed in the upper surface of the separation end to accommodate the following operation end, and the operation of the substrate is located in the opening of the separation end An air cleaner is installed between the operating end, the transport container fixing device installed on the separation end, and the main container and the main body, and the air cleaner is provided therein, and the air cleaner is provided therein and adjusts the internal pressure by increasing and decreasing the speed. And a filter installed in the lower part of the fan, so that the internal air induced by the fan It is preferable to be discharged to the outside again by the clean exhaust fan located at the bottom of the air cleaner.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 분리단에는 안착된 운반용기에 부착된 용기별 일련번호를 포함하는 고유정보를 인식 및 해독하며 상기 고유정보를 통신 수단에 의해 외부기기로 전달할 수 있는 기능을 갖는 용기정보인식기A와, 운반용기 내에 수납된 서브스트레이트에 부착된 공정기록정보를 인식 및 해독하며 상기 공정기록정보를 통신 수단에 의해 외부기기로 전달할 수 있는 기능을 갖는 광학문자인식기가 더 포함되는 것이 바람직하다.The separation stage of the automatic automatic opening and closing device of the semiconductor substrate transport container according to the present invention recognizes and decodes the unique information including the serial number for each container attached to the seated transport container, and transmits the unique information to an external device by a communication means. A container information recognizer A having a function and an optical character recognizer having a function of recognizing and decrypting process record information attached to a substrate housed in a transport container and transferring the process record information to an external device by a communication means. It is preferable to further include.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 가림판의 하단에는 공기 유입구가 형성된 것이 바람직하다.It is preferable that an air inlet is formed at the lower end of the shielding plate of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 상하이송부는 상기 분리단의 일측에 결합되어 상기 분리단을 지지하는 한 쌍의 측판과, 상기 각 측판을 가로 방향으로 연결하는 가로연결블록과, 상하 이송의 구동원인 상하이송 모터와, 상기 분리단 상하이송 모터에 결합되어 수직방향으로 궤도운동하는 상하이송 벨트와, 상기 상하이송 벨트와 상기 가로연결블록을 결합시키는 벨트블록을 포함하는 것이 바람직하다.The shanghai conveying part of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention is coupled to one side of the separation end and a pair of side plates for supporting the separation end, and a horizontal connecting block for connecting each side plate in the horizontal direction; It is preferable to include a Shanghai Song motor, which is a driving source for vertical conveyance, a Shanghai Song belt coupled to the separating end Shanghai Song motor, and orbiting in a vertical direction, and a belt block for coupling the Shanghai transport belt and the horizontal connecting block. .

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 작동단의 하단에는 상기 작동단을 회전시키는 작동단 회전부가 위치하는 것이 바람직하다.It is preferable that an operating end rotating part for rotating the operating end is located at the lower end of the operating end of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 작동단의 하면에는 위치 고정용 홀이 형성되고, 상기 작동단의 하부에는 작동단고정핀이 승강 가능하도록 설치되어 상기 작동단의 위치가 고정되는 것이 바람직하다.Position fixing hole is formed on the lower surface of the operating end of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention, the lower end of the operating end is installed so that the operation end fixing pins can be lifted and the position of the operating end is fixed It is preferable.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 작동단은 상면에 운반용기베이스의 안착 상태를 감지하는 용기안착감지센서와, 운반용기베이스를 감지하는 용기유무감지센서와 운반용기의 정보를 해독하는 용기정보인식기B가 더 포함되어 구성되는 것이 바람직하다.The operation stage of the automatic opening and closing device of the semiconductor substrate transport container according to the present invention is a container seat detection sensor for detecting the seating state of the transport container base on the upper surface, the container presence detection sensor for detecting the transport container base and the information of the transport container Preferably, the container information recognizer B is further included.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 분리단의 측판에는 상기 서브스트레이트를 반전시키는 서브스트레이트 반전 로봇부가 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that a substrate inversion robot unit for inverting the substrate is provided on the side plate of the separating end of the automatic semiconductor substrate container opening and closing device according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 서브스트레이트 반전 로봇부는 서브스트레이트를 감지하는 엔드이펙터 본체를 통해 상기 서브스트레이트의 파지 상태를 검출하는 것이 바람직하다.The substrate inversion robot unit of the semiconductor substrate container automatic opening and closing device according to the present invention preferably detects the holding state of the substrate through the end effector body for sensing the substrate.

본 발명은 서브스트레이트 반전 로봇부 내부의 공기를 외부로 유도하는 공기흡입기를 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the present invention includes an air inhaler for guiding the air inside the substrate reversing robot unit to the outside.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 공기청정부는 본체 사이에 유도공간을 형성하고 상부의 FFU팬에 의한 청정공기를 하부의 청정부배기팬을 통해 외부로 유도하는 것이 바람직하다.Air cleaning unit of the automatic automatic opening and closing device of the semiconductor substrate transport container according to the present invention forms an induction space between the main body and guides the clean air by the upper FFU fan to the outside through the lower clean exhaust fan.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 분리단은 운반용기커버를 감지하는 센서를 포함하되, 동작 중에 상기 운반 용기커버가 제거된 경우 상기 센서를 통해 감지하여 동작을 중단시키는 것이 바람직하다.The separating end of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention includes a sensor for detecting a transport container cover, it is preferable to stop the operation by detecting through the sensor when the transport container cover is removed during operation. .

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 분리단은 외부 본장비에서 서브스트레이트를 반출하는 경우 움직임이 발생하여 상기 본장비의 엔드이펙터와 근접할 때 센서를 통해 감지하여 동작을 중단시키는 것이 바람직하다.The separating end of the automatic opening and closing device of the semiconductor substrate transport container according to the present invention is to stop the operation by detecting through the sensor when the movement occurs when the substrate is ejected from the external equipment, and close to the end effector of the equipment. desirable.

본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 본체는 외부 본장비와 연결할 경우 바닥에 미세설치조정판을 부착하여 상기 본체의 위치를 미세하게 조정할 수 있는 것이 바람직하다.When the main body of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention is connected to the external main equipment, it is preferable to finely adjust the position of the main body by attaching a fine installation adjusting plate to the bottom.

반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 공기청정부의 구동 방법은 팬을 통하여 속도를 증감하여 내부압력을 조절하는 단계와, 상기 팬의 하부에 설치되는 필터를 통하여 상기 팬을 통해 유입된 공기를 필터링하는 단계와, 상기 공기청정부와 본체 사이에 유도공간을 형성하여 상기 필터링에 의한 청정공기를 하부의 청정부배기팬으로 유도하는 단계와, 상기 공기가 공기청정부 하단에 위치한 청정부배기팬에 의해 다시 외부로 배출되는 단계로 이루어지는 것이 바람직하다.
나아가 본 발명은, 본장비에 연결된 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 있어서, 후면 일측에 개구(151)가 형성된 본체(100)와, 상기 본체(100)의 상단에 설치되어 수직으로 승강시키기 위한 상하이송부를 포함하고, 서브스트레이트(5)가 수납된 운반용기(10)가 안착되는 분리단(200)과, 상기 분리단(200)의 후단에 결합되어 상기 분리단(200)의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 가림판(210)과, 하기 작동단(500)이 수용가능하도록 상기 분리단(200) 상부면에 형성된 분리단 개구부(202)와, 상기 분리단(200)의 개구부(202)에 위치하여 서브스트레이트(5)에 대한 회전 또는 고정이 이루어지는 작동단(500)과, 상기 분리단(200) 상에 설치되고 운반용기(10)를 고정시키는 운반용기고정구(260)와, 상기 본체(100)와 본장비 사이에 공기청정부(950)가 포함되어지되, 상기 분리단(200)에는 서브스트레이트(5)를 반전시키는 서브스트레이트반전로봇부(470)가 설치되고, 상기 서브스트레이트반전로봇부(470)는 서브스트레이트(5)를 감지하는 엔드이펙터본체(486)를 통해 서브스트레이트(5)의 파지 상태를 검출하도록 구비되며, 상기 서브스트레이트반전로봇부(470) 내부의 공기를 외부로 유도하는 공기흡입기(484)가 포함되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치가 제공된다.In the method of driving the air cleaner of the semiconductor substrate container automatic opening and closing device, the internal pressure is controlled by increasing and decreasing the speed through the fan, and filtering the air introduced through the fan through a filter installed at the bottom of the fan. And forming an induction space between the air cleaner and the main body to guide clean air by the filtering to a clean exhaust fan at the bottom, and the air to the clean exhaust fan located at the bottom of the air cleaner. It is preferable that the step made to be discharged to the outside again.
Further, the present invention, in the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device connected to the equipment, the main body 100 having an opening 151 formed on one side of the rear, and is installed on the upper end of the main body 100 for vertical lifting It comprises a shanghai sending section, the separation stage 200, the transport container 10, the substrate (5) accommodated is seated, and coupled to the rear end of the separation stage 200 to the lifting and lowering of the separation stage 200 In accordance with the shielding plate 210 for opening and closing the opening, the separation end opening 202 formed in the upper surface of the separation end 200 to accommodate the following operation end 500, and the opening of the separation end 200 ( An operation stage 500 which is located at 202 and rotates or is fixed to the substrate 5, a transportation container fixture 260 installed on the separation stage 200 and fixing the transportation container 10; An air cleaner 950 is included between the main body 100 and the main equipment, The separation stage 200 is provided with a substrate inversion robot unit 470 for inverting the substrate 5, and the substrate inversion robot unit 470 detects the substrate 5 with an end effector body 486. It is provided to detect the holding state of the substrate (5) through, the semiconductor substrate, characterized in that it comprises an air inhaler 484 to guide the air inside the substrate inversion robot unit 470 to the outside Transport container automatic opening and closing device is provided.

상기와 같은 본 발명에 따르면 아래와 같은 열한가지의 효과가 발생한다.According to the present invention as described above, the following eleven effects occur.

첫째, 분리단의 후단에 가림판을 설치하고 가림판 하단에 공기 유입구를 형성함으로써 가림판에 의해 본체의 개구가 닫혀있는 동안에도 장치 내부로 청정 공기를 유입시켜 장치 내부를 청정상태로 유지할 수 있는 효과도 있다.First, by installing a shielding plate at the rear end of the separation stage and forming an air inlet at the bottom of the shielding plate, it is possible to keep the inside of the device clean by introducing clean air into the device even while the opening of the main body is closed by the shielding plate. It also works.

둘째, 장비와 본체 사이에 별도로 공기청정부를 설치하여 상부의 FFU에 의해 청정공기를 상기 공간에 채우면서 하부의 청정장치배기FAN을 통해 외부로 유도하여 공기를 순환시킬 수 있어 외부로부터 유입되는 분진의 영향을 최소화하는 효과도 있다.Second, the air cleaner is installed separately between the equipment and the main body to fill the clean air into the space by the FFU at the top, and guide the outside through the clean device exhaust fan at the bottom to circulate the air. It also has the effect of minimizing the impact.

셋째, 작동단을 회전시키는 기능과 일정 상태에서 회전하지 않도록 고정하는 기능을 함께 부가함으로써 서브스트레이트의 반출 방향을 조정할 수 있는 효과도 있다.Third, the carrying out direction of the substrate can be adjusted by adding a function of rotating the operating stage and a function of fixing the rotating stage so as not to rotate in a predetermined state.

네째, 서브스트레이트의 후면을 가공할 필요가 있을 경우 서브스트레이트를 반전시켜서 반출하는 기능을 갖는 효과도 있다. 또한 반전기 내부에 서브스트레이트 감지 장치가 설치되어서 파지 상태를 파악하는 효과도 있다.Fourth, when the rear surface of the substrate needs to be processed, the substrate can be inverted and carried out. In addition, a substrate sensing device is installed inside the inverter to grasp the holding state.

다섯째, 서브스트레이트 반전 로봇부 내측에 공기 흡입 기능을 부가하여 처리로봇의 동작시 발생하는 분진을 외부로 유도하는 효과도 있다.Fifth, by adding an air suction function inside the substrate reversing robot unit, there is an effect of inducing dust generated during the operation of the processing robot to the outside.

여섯째, 동작 중에 운반 용기 커버가 제거된 경우 이를 감지하여 동작을 중단시킴으로써 개구부에서 발생할 수 있는 안전사고를 방지하는 효과도 있다.Sixth, there is an effect of preventing a safety accident that may occur in the opening by detecting the case when the transport container cover is removed during operation to stop the operation.

일곱째, 운반용기 베이스가 공정 중에 작동단 상에서 정상적인 안착 상태를 벗어 났을 때 이를 감지하여 부품 손상 또는 장비 운영상의 문제를 예방할 수 있는 효과도 있다. Seventh, it is also possible to detect when the container base is out of the normal seating state on the operating stage during the process to prevent component damage or equipment operation problems.

여덟째, 운반용기가 분리단 상에 안착된 후 용기에 부착된 정보를 인식하고 해독함으로써 용기의 종류 및 내부에 수납된 서브스트레이트에 대한 정보를 파악하여 통신 수단에 의해 외부기기로 전달할 수 있는 효과도 있다.Eighth, after the container is seated on the separation stage, by recognizing and decrypting the information attached to the container, it is possible to grasp information about the type of container and the substrate stored therein and transmit it to an external device by a communication means. have.

아홉째, 운반용기의 커버가 베이스로부터 분리된 후 수납된 서브스트레이트에 부착된 고유정보를 해독하고 그 정보를 통신 수단에 의해 외부기기로 전달할 수 있는 효과도 있다.Ninth, the cover of the container is separated from the base to decode the unique information attached to the stored substrate and the information can be transferred to the external device by the communication means.

열째, 분리단이 상하 동작 시에 장애물이 있을 경우 이를 감지하며 적절한 조치를 취할 수 있는데, 예를 들어 본장비에서 서브스트레이트를 반출하는 도중에 분리단이 동작하여 본장비의 반출기(엔드이펙터 등)와 근접할 때 이를 감지하여 동작을 중단시킴으로써 장비의 파손을 방지하는 효과도 있다.Tenth, if there is an obstacle while the separation stage is operating up and down, it can detect the appropriate action and take appropriate measures.For example, the separation stage operates during the export of the substrate from the equipment. It also has the effect of preventing equipment damage by detecting when it is close to and stopping operation.

열한번째, 바닥에는 미세설치조정판이 부착되어 본장비와 연결시 장치 위치 를 미세하게 조정할 수 있게 되는 효과도 있다.Eleventh, there is an effect that can be finely adjusted the position of the device when connected to the equipment is attached to the fine adjustment panel on the floor.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도1a, 도1b는 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐기의 전체 사시도이며 도1a는 초기 상태, 도1b는 분리단이 상승한 상태를 나타낸다.1A and 1B are an overall perspective view of a semiconductor substrate transport container automatic switchgear according to the present invention. FIG. 1A is an initial state, and FIG. 1B is a state where a separation end is raised.

도2a, 도2b는 본 발명에 따른 자동개폐기의 내부 구조를 도시한 도면이다.Figure 2a, Figure 2b is a view showing the internal structure of the automatic switchgear according to the present invention.

도 1a, 도 1b 및 도 2a, 도 2b를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐기는 크게 분류하면 본체(100), 분리단(200), 작동단(500)으로 구성되고, 보조 기능 부여를 위해 분리단 상하이송부(300), 서브스트레이트반전로봇부(470), 작동단 회전부(600)가 포함된다. 여기에 본장비와 본체 사이에 공기청정부(950)가 설치된다.1A, 1B and 2A, 2B, the semiconductor substrate transport container automatic switch according to the present invention is classified into a main body 100, separation stage 200, operating stage 500, In order to provide the auxiliary function, the separation end shanghai sending unit 300, the substrate inversion robot unit 470, the operating stage rotating unit 600 is included. An air cleaner 950 is installed between the apparatus and the main body.

상기 본장비는 마스크검사장비이나, 서브스트레이트를 처리할 수 있는 장비는 모두 해당될 수 있다.The apparatus may be a mask inspection apparatus, or any equipment capable of processing a substrate.

상기 본체(100)는 직육면체 형상이고 상부면 후단에 후면플레이트(150)가 설치되어 있다. The main body 100 has a rectangular parallelepiped shape and a rear plate 150 is installed at the rear end of the upper surface.

여기서 상기 후면플레이트(150)는 반도체 서브스트레이트(5; 또는 마스크)가 본장비의 이송장치(로봇 장치 등)에 의해 반출되도록 개구(151)를 포함한다.Here, the rear plate 150 includes an opening 151 so that the semiconductor substrate 5 (or mask) is carried out by the transfer device (robot device, etc.) of the equipment.

또한 바닥에는 미세설치조정판(190)이 부착되어 본장비와 연결시 장치 위치를 미세하게 조정한다.In addition, a fine installation adjustment plate 190 is attached to the bottom to finely adjust the device position when connected to the equipment.

상기 분리단(200)은 운반용기 커버(20)가 안착되는 부분으로서 중앙에 작동단(500)이 위치하도록 분리단 개구부(202)가 형성되어 있다. 또한 상부에는 운반용기(10)의 개방 동작을 개시하기 위한 동작 버튼(231) 및 동작 상태를 표시하는 상태 표시램프(232)가 설치된다. The separation end 200 has a separation end opening 202 is formed so that the operating end 500 is located in the center of the container container 20 is seated. In addition, an operation button 231 for starting the opening operation of the transport container 10 and a status display lamp 232 for displaying an operation state are installed at an upper portion thereof.

또한, 운반용기 커버(20)의 장착을 안내하는 운반용기 안착 가이드(241)가 분리단 개구부(202)의 각 코너에 설치되어 있고 상기 운반용기 안착 가이드(241)의 안쪽에는 운반용기 커버의 유무를 감지하는 용기커버 감지센서(242;도3)가 설치되어 있다. In addition, a transport container seating guide 241 for guiding the mounting of the transport container cover 20 is installed at each corner of the separation end opening 202, and there is a transport container cover inside the transport container seating guide 241. The vessel cover detecting sensor 242 (FIG. 3) is installed.

즉, 상기 분리단(200)은 운반용기커버를 감지하는 센서를 포함하되, 동작 중에 상기 운반 용기커버가 제거된 경우 상기 센서를 통해 감지하여 동작을 중단시킨다. That is, the separation stage 200 includes a sensor for detecting a transport container cover, and when the transport container cover is removed during operation, the separation unit 200 detects the transport container cover and stops the operation.

또한, 상기 분리단(200)은 외부 본장비에서 서브스트레이트(5)를 반출하는 경우 상기 엔드이펙터와 근접할 때 센서를 통해 감지하여 동작을 중단시킨다.In addition, the separation stage 200 detects through the sensor to stop the operation when approaching the end effector when carrying out the substrate (5) from the external main equipment.

또한 분리단 상단 일측에는 운반용기의 정보를 해독하는 바코드로 이루어진 용기정보인식기A(251;도6a)가 설치되어 있다. In addition, the upper end of the separation stage is provided with a container information recognizer A (251; Fig. 6a) consisting of a bar code for decoding the information of the transport container.

분리단 개구부(202)의 좌우 양측에는 안착된 운반용기 커버(20)를 움직이지 않도록 고정하는 운반용기고정구(260)가 설치되어 있다.The transport container fixing tool 260 is fixed to the left and right sides of the separation end opening 202 to fix the seated transport container cover 20 so as not to move.

상기 운반용기가 없는 상태에서는 용기누름판(266;도9a)은 돌출부가 운반용기측면과 수평방향에 위치하여 용기의 안착에 장애가 되지 않도록 위치한다.In the absence of the container, the container holding plate 266 (FIG. 9A) is positioned so that the protrusions are located in the horizontal direction with the side of the container, so as not to disturb the seating of the container.

상기 운반용기가 안착되고 나면 용기고정모터(262)가 회전하고 모터축(263)과 회전축(265)을 통해 구동이 전달되어 용기누름판(266)이 회전하여 운반용기측면과 수직하게 돌출하게 되고 이로 인해 용기누름판(266)이 운반용기의 운반용기커버(20)의 일단부를 누르게 되어서 용기의 커버가 분리 또는 결합 동작 중에 움직이지 않도록 작용한다.After the container is seated, the container fixing motor 262 rotates and the drive is transmitted through the motor shaft 263 and the rotating shaft 265 so that the container pressing plate 266 rotates to protrude perpendicularly to the side of the container. As a result, the container pressing plate 266 presses one end of the container container cover 20 of the container so that the container cover does not move during the separation or coupling operation.

상기 운반용기의 운반용기커버(20)가 베이스와 결합한 후에는 다시 용기고정모터(262)의 구동에 의해 용기누름판(266)이 원위치 되고 이로써 일련의 동작이 완료된다.After the transport container cover 20 of the transport container is combined with the base, the container press plate 266 is returned to its original position by driving the container fixing motor 262, thereby completing a series of operations.

여기서 상기 운반용기고정구(260)는 운반용기(10)가 분리단(200) 상에 정상적으로 안착되지 않아 고정을 위한 동작 시 운반용기고정구(260)에 일정 이상의 힘이 가해지는 경우 공회전하도록 하는 구조를 취하고 있으며, 이에 대해서는 추후 상세하게 설명하기로 한다. Here, the transport container fixture 260 has a structure that allows the transport container 10 to idle when a predetermined force or more is applied to the transport container fixture 260 when the transport container 10 is not normally seated on the separation end 200. This will be described in detail later.

또한 도2b에서 보는 바와 같이 가림판 하단에는 분리단이 상승 또는 하강 작동 시 장애물을 감지할 수 있는 수평장애물감지센서(281) 및 수직장애물감지센서(282)가 설치되어 있다.Also, as shown in FIG. 2B, a horizontal obstacle detecting sensor 281 and a vertical obstacle detecting sensor 282 are installed at the bottom of the shielding plate to detect an obstacle when the separating end is moved up or down.

상기 서브스트레이트 이송을 위하여 본장비측의 로봇암이 본체 내로 들어와 있는 상태에서는 로봇암이 수평장애물감지센서(281)(수광부(281'), 수직장애물감지센서(282)(수광부(282') 등의 수광부와 발광부 사이에 있는 빛(281-1 또는 282-1, 도 2b 참조)을 가리게 되고, 이에 의하여 로봇암을 감지하게 된다. 이 상태에서는 분리단이 움직이지 않도록 인터락(Interlock)이 걸리게 되고 만일 분리단이 움직이게 되는 경우에도 동작을 중지시키게 된다.In the state where the robot arm on the side of the main equipment enters the main body for transporting the substrate, the robot arm is placed in the horizontal obstacle detecting sensor 281 (light receiving unit 281 ′, vertical obstacle detecting sensor 282, light receiving unit 282 ', etc.). It covers the light (281-1 or 282-1, see Fig. 2b) between the light-receiving part and the light-emitting part of the robot arm, thereby detecting the robot arm. If the separation stage is moved it will stop working.

상기 분리단상하이송부(300)는 상기 분리단(200)을 수직으로 승강시키기 위한 장치로서, 분리단(200)의 양측에 한 쌍의 지지 측판(323)을 포함하고 상기 각 측판과 고정 브라켓(322)을 통해 결합되어 가로 방향으로 연결하는 가로연결블록(321), 상하이송의 구동원인 상하이송모터(311), 모터에 결합되어 수직방향으로 궤도회전하는 상하이송벨트(312) 및 상기 상하이송벨트(312)와 가로연결블록(321)을 결합시키는 벨트블록(313)으로 구성된다.The separation stage upper and lower conveyance unit 300 is a device for vertically lifting the separation stage 200, and includes a pair of support side plates 323 on both sides of the separation stage 200 and each side plate and the fixing bracket ( 322 is coupled to the horizontal connecting block 321 to connect in the horizontal direction, Shanghai Song motor 311 which is the driving source of Shanghai Song, Shanghai Song belt 312 coupled to the motor orbital rotation in the vertical direction and the Shanghai Song It is composed of a belt block 313 for coupling the belt 312 and the horizontal connection block 321.

본 실시예에서는 분리단(200)을 승강시키기 위한 수단으로서 벨트 구조를 예시하고 있으나, 본 발명은 이에 국한되지 않고 실린더 등의 각종 승강 수단이 사용될 수 있다. In this embodiment, the belt structure is illustrated as a means for elevating the separating end 200, but the present invention is not limited thereto, and various lifting means such as a cylinder may be used.

한편 작동단(500)은 본체(100)의 내부 일측에 설치되어 운반용기(10)의 저면부인 운반용기 베이스(50)가 안착되는 부분으로서 도7에서 상세하게 설명하기로 한다.Meanwhile, the operation stage 500 is installed at one side of the main body 100 and is described in detail with reference to FIG. 7 as a portion on which the transport container base 50, which is the bottom of the transport container 10, is seated.

상기 작동단(500)이 분리단(200)의 개구부(202)에 수용된 상태에서 운반용기(10)가 작동단(500) 상에 안착된다. The transport container 10 is seated on the operation stage 500 in a state where the operation stage 500 is accommodated in the opening 202 of the separation stage 200.

상기 운반용기(10)가 안착된 후 분리단(200) 상의 용기인식기A와 용기인식기B에 의해서 운반용기의 고유정보가 인식된다. After the transport container 10 is seated, the unique information of the transport container is recognized by the container recognizer A and the container recognizer B on the separation end 200.

상기 고유정보는 상기 운반용기의 생산자들에 의해 부여되는 정보로서, 태그(tag)로 이루어져 상기 용기 전면에 부착된다.The unique information is information given by the producers of the container, and consists of a tag and is attached to the front of the container.

상기 태그에는 BCR(Barcode reader) 또는 RFID(Radio frequency identification device)가 사용될 수 있고, 그 내부에는 용기별 일련번호(Serial number)가 저장된다.A bar code reader (BCR) or a radio frequency identification device (RFID) may be used for the tag, and a serial number for each container is stored therein.

이 상태에서 작업자가 동작 버튼(231)을 누르면 작동단(500) 상부에 위치한 걸쇠(511)가 동작하여 운반용기 커버(20)를 운반용기 베이스(50)로부터 분리시키게 되고, 상하 이송부의 작동에 의해 분리단(200)이 상방으로 이동하여 분리된 운반용기커버(20)를 상방으로 이동시키게 된다.In this state, when the operator presses the operation button 231, the latch 511 located at the upper end of the operation stage 500 is operated to separate the transport container cover 20 from the transport container base 50, and to operate As a result, the separating end 200 moves upward to move the separated transport container cover 20 upward.

상기 운반용기커버(20)가 운반용기베이스(50)로부터 완전히 분리된 후, 서브스트레이트인식부(380)의 서브스트레이트인식기지지대(382)가 회전하여 광학문자인식기로 될 수 있는 서브스트레이트인식기(381;도6a)를 서브스트레이트(5) 상으로 이동시킨다. After the transport container cover 20 is completely separated from the transport container base 50, the substrate recognition unit 382 of the substrate recognition unit 380 rotates to become an optical character recognizer 381. FIG. 6A is moved onto the substrate 5;

이러한 이동이 완료되면 서브스트레이트인식기(381)에 의해 서브스트레이트(5) 상에 부착된 공정기록정보가 해독된다. When this movement is completed, the process record information attached on the substrate 5 is decrypted by the substrate recognizer 381.

상기 공정기록정보는 실제 생산 과정에서 관리에 필요한 정보이다.The process record information is information necessary for management in the actual production process.

상기 공정기록정보의 해독이 완료된 후 서브스트레이트인식기지지대(382)가 복귀하여 서브스트레이트인식기(381)가 원위치로 돌아와 정지한다.After the decryption of the process record information is completed, the substrate recognizer support 382 returns, and the substrate recognizer 381 returns to its original position and stops.

상술한 문자인식 동작이 완료되면 본장비의 이송장치(로봇장치 등)가 운반용기베이스(50)에 수납된 서브스트레이트(5)를 본장비 내측으로 반출시키게 된다.When the above-described character recognition operation is completed, the transport device (robot device, etc.) of the equipment is carried out of the substrate 5 accommodated in the transport container base 50 to the inside of the equipment.

상기 공기청정부(950)는 본장비와 본체 사이에 설치되어 상부의 FFU(fan filter unit)(960)에 의해 청정공기를 상기 공간에 채우면서 한편 하부의 청정부배기팬(968)에 의해 외부로 유도함으로써 공기를 순환시킨다.The air cleaner 950 is installed between the main unit and the main body to fill the air into the space by the upper FFU (fan filter unit) (960) while the outside by the clean exhaust fan (968) The air is circulated by induction.

도3은 운반용기커버감지센서의 형상 및 동작을 나타낸다. 도3에서와 같이 운반용기 안착가이드(241) 내부에 용기커버 감지센서(242)가 설치되고 용기커버가 안착되어 있을 때 이를 감지한다. Figure 3 shows the shape and operation of the transport container cover sensor. As shown in Figure 3, when the container cover sensor 242 is installed inside the transport container seating guide 241 and detects when the container cover is seated.

만일 본 발명의 동작 중에 상기 용기커버가 제거되는 경우가 발생하면 이를 감지하여 안전을 위한 적절한 조치(장비 동작 중지 등)를 취하게 된다. If the case of the container cover is removed during the operation of the present invention to detect it to take appropriate measures (such as stopping the operation of the equipment) for safety.

도4a 내지 도 4f 등은 분리단 측판의 일측에 설치된 서브스트레이트 반전 로봇부를 나타낸다.4A to 4F and the like show a substrate inversion robot unit provided on one side of the separating end side plate.

도4a는 전체 외관을 나타내는 사시도로서 상면에서 바라본 상태, 도4b는 동일 사시도로서 하면에서 바라본 상태이다. FIG. 4A is a perspective view showing the overall appearance and viewed from the top, and FIG. 4B is a same perspective view and viewed from the bottom.

도4c는 로봇팔 구동부의 상세구조를 나타낸 도면으로서 상부에서 바라본 상태, 도4d는 동일 도면으로서 하부에서 바라본 상태이다. Figure 4c is a view showing a detailed structure of the robot arm drive unit viewed from the top, Figure 4d is the same view as seen from the bottom.

도4e는 엔드이펙터의 회전(반전)구동부를 나타낸 도면으로서 원위치 상태를 나타낸다. Fig. 4E is a view showing the rotation (reverse) driving unit of the end effector, showing the original position.

이하 상기 도면을 참조하여 서브스트레이트의 반전동작을 설명한다.Hereinafter, the inversion operation of the substrate will be described with reference to the drawings.

상기 서브스트레이트(5)가 운반용기 베이스(50)에 수납된 상태에서 상기 분리단상하이송부(300)의 동작으로 반전로봇부 전체가 하강을 하여 엔드이펙터 본체(486) 및 엔드이펙터 파지부(487;도4e)의 중심높이가 서브스트레이트(5)와 동일한 높이가 되도록 한다.In the state in which the substrate 5 is accommodated in the transport container base 50, the whole of the reverse robot unit descends by the operation of the separating single phase transfer unit 300 so that the end effector main body 486 and the end effector gripper 487 The height of the center of FIG. 4E is the same as that of the substrate 5;

이 때 로봇팔모터(475)가 회전하면 로봇팔벨트(476)가 구동하게 된다. At this time, when the robot arm motor 475 rotates, the robot arm belt 476 is driven.

도4c에서 보는 바와 같이 로봇팔 좌, 우(471, 473)는 상기 로봇팔 벨트(476)의 로봇팔벨트브라켓 좌, 우(478, 479)에 의해 벨트의 일단이 고정된다.As shown in FIG. 4C, one end of the belt is fixed to the left and right sides 471 and 473 of the robot arm belt brackets 478 and 479 of the robot arm belt 476.

그리고 도4d에서 보는 바와 같이 상기 고정된 일단은 로봇팔안내부재(477)에 연결되어 수평방향으로 구동이 제한된다. And as shown in Figure 4d is fixed one end is connected to the robot arm guide member 477 is limited to drive in the horizontal direction.

상기 로봇팔벨트(476)가 움직이면 벨트의 양편은 각각 상대적으로 반대방향으로 움직이므로 벨트에 고정된 로봇팔 좌, 우(471, 473)도 서로 반대방향으로 구동되므로 그 사이의 거리가 좁아지거나 벌어지게 된다. When the robot arm belt 476 moves, both sides of the belt move in opposite directions, respectively, so that the left and right robot arms fixed to the belt (471, 473) are also driven in opposite directions, so that the distance between them narrows or opens. You lose.

상기 로봇팔 좌, 우(471, 473)의 위치는 파지센서(480) 및 해지센서(481)에 의해 결정되는데 이 위치로 서브스트레이트(5)를 파지하는 간격 및 해지하는 간격이 된다.The positions of the robot arms left and right 471 and 473 are determined by the gripping sensor 480 and the canceling sensor 481, which are intervals for gripping and canceling the substrate 5 to this position.

상기 로봇팔벨트(476)는 일단이 장력조절풀리(483)에 연결되어 있는데 이 풀리는 위치를 조정해서 벨트의 장력을 조정하는 기능도 갖게 된다.One end of the robot arm belt 476 is connected to the tension control pulley 483, and this pulley also has a function of adjusting the tension of the belt by adjusting the position of the pulley.

상기 로봇팔 좌, 우(471, 473)의 거리가 좁아지면 각 로봇팔에 부착되어 있는 한 쌍의 엔드이펙터파지부(487)가 서브스트레이트(5)의 양측면에 접하게 되고 압력을 가해 서브스트레이트(5)를 파지할 수 있게 된다. When the distance between the robot arms left and right (471, 473) is narrowed, a pair of end effector holding portions (487) attached to each robot arm is in contact with both sides of the substrate (5) and the pressure is applied to the substrate ( 5) can be gripped.

이 과정에서 엔드이펙터 파지부(487)와 엔드이펙터본체(486)의 사이에 설치된 엔드이펙터스프링(488;도4f)이 완충작용을 하여 서브스트레이트(5)에 가해질 수 있는 손상을 방지하게 된다.In this process, the end effector spring 488 (FIG. 4F) provided between the end effector gripping portion 487 and the end effector main body 486 buffers and prevents damage that may be applied to the substrate 5.

상기 서브스트레이트(5)를 파지한 상태에서 분리단상하이송부(300)가 상승하여 운반용기베이스(50)와의 사이에 반전동작이 가능한 거리를 만든다.In the state where the substrate 5 is gripped, the separated single-phase feed unit 300 rises to make a distance capable of inverting operation between the transport container base 50.

이 상태에서 반전구동모터(489)가 회전하면 반전구동벨트(490)가 구동하게 된다. In this state, when the inversion driving motor 489 rotates, the inversion driving belt 490 is driven.

상기 반전구동벨트(490)는 반전구동모터에서 방향전환풀리(492)에 의해 90로 방향이 아래쪽으로 전환되어 반전구동풀리(491)로 연결된다. The inversion driving belt 490 is turned downward by 90 in the inversion driving motor by the direction switching pulley 492 and is connected to the inversion driving pulley 491.

이렇게 방향이 전환되는 부분의 다른 편에는 반전장력조절풀리(493)가 설치되어 있어서 위치 조정에 의해 장력을 조절하게 된다.The reverse tension control pulley 493 is provided on the other side of the portion where the direction is changed to adjust the tension by adjusting the position.

상기 반전구동풀리(491)에는 엔드이펙터본체(486)가 직결되어 있어서 상기와 같은 반전구동모터가 회전하면 엔드이펙터 전체(엔드이펙터본체(486), 엔드이펙터파지부(487) 등이 포함된 전체)가 회전하게 되고 엔드이펙터에 파지되어 있는 서브스트레이트(5)도 회전된다.An end effector body 486 is directly connected to the inverting drive pulley 491, so that when the inverting drive motor rotates as described above, the entire end effector (end effector body 486, end effector holding part 487, etc.) is included. ) Is rotated, and the substrate 5 held by the end effector is also rotated.

상기 반전구동벨트(490)의 일부에는 반전위치센서브라켓(496)이 부착되어 있고, 한편 로봇팔 좌, 우(471, 473) 상에는 원위치센서(494) 및 반전위치센서(495)가 설치되어 있다.A part of the inversion driving belt 490 is attached to the inversion position sensor bracket 496, while the home position sensors 494 and the inversion position sensor 495 are installed on the left and right robot arms 471 and 473. .

그리고 상기 반전위치센서브라켓(496)의 움직임을 감지하여 윈위치 및 반전위치를 결정하게 된다. The win position and the reverse position are determined by detecting the movement of the reversal position sensor bracket 496.

여기에서 상기 반전위치센서(495)는 반전위치센서브라켓(496)이 상기 반전위치센서(495)의 홈에 들어감으로써 감지동작이 이루어지는 광센서이다.Here, the inversion position sensor 495 is an optical sensor in which a sensing operation is performed by the inversion position sensor bracket 496 entering the groove of the inversion position sensor 495.

또한 엔드이펙터본체(486) 부근에는 서브스트레이트감지센서(498)가 설치되어 있어서 서브스트레이트(5)의 파지 상태를 감지하게 되면 만일 동작중에 서브스트레이트(5)의 상태가 변하면 이를 감지하여 적절한 동작을 취할 수 있게 된다.In addition, a substrate detecting sensor 498 is installed near the end effector body 486. If a sensing state of the substrate 5 is detected, if the state of the substrate 5 changes during operation, the substrate 5 detects a proper operation. You can take it.

상기 엔드이펙터파지부(487)가 서브스트레이트(5)의 반전을 위하여 파지하면 상기 서브스트레이트감지센서(498)가 이를 감지한다.When the end effector gripping portion 487 grips the substrate 5 for inversion, the substrate detection sensor 498 detects this.

여기에서 상기 서브스트레이트감지센서(498)는 엔드이펙터파지부(487)가 접근하면 엔드이펙터파지부(487)의 금속성분(487')에 의해 감지동작이 이루어지는 근접센서이다.Here, the substrate detecting sensor 498 is a proximity sensor in which a sensing operation is performed by the metal component 487 'of the end effector gripping portion 487 when the end effector gripping portion 487 approaches.

그리고 이러한 감지센서는 상기 반전을 위해 여러가지 동작을 실행하는 중에 상기 서브스트레이트(5)가 떨어지는 경우이거나 위험한 상황인 경우 장비를 멈추고 경보음을 발생시키는 추가적인 동작을 하도록 외부 장비에 알리는 역할을 한다.In addition, the sensing sensor serves to inform external equipment to perform an additional operation of stopping the equipment and generating an alarm sound when the substrate 5 falls or is in a dangerous situation while performing various operations for the inversion.

상기 동작에 의해 도4e와 같이 엔드이펙터본체(486)가 180도 회전하면서 서브스트레이트(5)를 반전시키게 된다. By the above operation, as shown in FIG. 4E, the end effector body 486 is rotated 180 degrees, thereby inverting the substrate 5.

이 상태에서 다시 분리단상하이송부(300)가 하강하면서 서브스트레이트(5)를 운반용기 베이스(50)에 다시 수납시킨다. In this state, while the separated single-phase feed unit 300 descends, the substrate 5 is stored in the transport container base 50 again.

또한 서브스트레이트반전로봇부(470) 내에는 공기흡입기(484)가 설치되어 있어서 작동시 발생하는 분진을 외부로 유도함으로써 내부의 청정도를 유지하게 된다. In addition, the substrate inversion robot unit 470 is provided with an air suction 484 to maintain the cleanliness of the interior by inducing dust generated during operation to the outside.

여기에서 상기 공기흡입기(484)는 일단이 배관으로 연결되어 버큠펌프(진공펌프)로 강제 배기된다.In this case, one end of the air intake 484 is connected to a pipe and forcedly exhausted into a vacuum pump (vacuum pump).

구체적으로 도4f에서 보는 바와 같이 서브스트레이트 감지기능을 보여주는 엔드이펙터의 단면도를 보면, 최종적으로 서브스트레이트를 파지하는 부분은 엔드이펙터파지부(487)이고, 상기 엔드이펙터파지부(487)와 엔드이펙터 본체(486) 사이 에 유격이 있으며 그 사이에 스프링이 있다.Specifically, as shown in FIG. 4F, a cross-sectional view of the end effector showing the substrate sensing function is the end effector gripping portion 487 and the end effector gripping portion 487 and the end effector. There is a play between the body 486, there is a spring between.

상기 서브스트레이트를 파지하면 엔드이펙터파지부(487)가 서브스트레이트감지센서(498) 쪽으로 이동하고 엔드이펙터파지부(487)의 부분인 487’가 상기 서브스트레이트감지센서(498)에 감지된다.When the substrate is held, the end effector holding portion 487 is moved toward the substrate detecting sensor 498, and 487 ', which is a part of the end effector holding portion 487, is detected by the substrate detecting sensor 498.

로봇부가 서브스트레이트를 반전하는 동작은 도5a 내지 도 5c 등에 다시 표현되어 있다.The operation of inverting the substrate by the robot unit is represented again in FIGS. 5A to 5C and the like.

도5a는 서브스트레이트반전로봇부(470)가 서브스트레이트(5)를 반전하기 위해 파지한 상태, 도5b는 서브스트레이트(5)를 일정 높이로 들어올린 상태 그리고 도5c는 반전중인 상태(90도 반전)를 나타낸다.5A is a state in which the substrate inversion robot 470 is gripped to invert the substrate 5, FIG. 5B is a state in which the substrate 5 is raised to a predetermined height, and FIG. 5C is in an inverted state (90 degrees). Inversion).

도6a,b는 서브스트레이트인식부(380)의 동작을 나타낸다. 도6a에서는 인식부가 동작하지 않는 상태를 나타낸다. 도6b는 인식부가 동작하는 상태를 나타내는데, 서브스트레이트인식기지지대(382)가 90도 회전하여 서브스트레이트인식기(381)를 서브스트레이트(5) 상부로 옮기면 인식기에 의해 서브스트레이트(5) 상에 부착된 정보를 읽게 된다.6A and 6B show the operation of the substrate recognition unit 380. 6A illustrates a state in which the recognition unit does not operate. Fig. 6B shows a state in which the recognizer is operated. The substrate recognizer support 382 is rotated 90 degrees to move the substrate recognizer 381 above the substrate 5, and is attached on the substrate 5 by the recognizer. Read the information.

본 발명에 따른 각 부분의 외부와의 통신 방법은 다음과 같은 일반적인 방법을 따른다.The communication method with the outside of each part according to the present invention follows the general method as follows.

도6c에서 보는 바와 같이 RS-232 C 방식을 사용하는 데, 먼저 호스트(host)에서 command 명령을 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 내린다.As shown in FIG. 6C, the RS-232 C method is used. First, a command command is issued from the host to the semiconductor substrate container automatic opening and closing device according to the present invention.

그리고, 상기 command 명령에 따른 ACK/NAK 신호를 상기 반도체 서브스트레 이트 운반용기 자동개폐장치가 전달한다.The ACK / NAK signal according to the command command is delivered by the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device.

계속하여 상기 command 명령에 따른 작동이 진행되고 이에 따른 Response를 상기 호스트에 전달한다.Subsequently, the operation according to the command command proceeds and the response is transmitted to the host.

도7은 작동단(500) 및 작동단 회전부(600)의 구조를 도시한 도면이다.7 is a view showing the structure of the operating stage 500 and the operating stage rotating part 600.

도7에 도시된 바와 같이, 작동단(500) 상에는 상기 운반용기(10)의 운반용기베이스(50)가 안착된다.As illustrated in FIG. 7, the transport container base 50 of the transport container 10 is seated on the operation stage 500.

상기 운반용기 베이스(50)의 하단에는 위치 확인용 홀이 형성되어 있어서 안착시 작동단 상의 용기위치확인핀(523)이 이 홀에 삽입됨으로써 안착위치가 확인된다.Positioning hole is formed at the lower end of the container base 50, the container positioning pin 523 on the operating end is inserted into this hole when the seating position is confirmed.

즉 운반용기 등이 안착될 때 운반용기 베이스(50)의 하단에 있는 확인핀홀에 삽입됨으로써 최종 위치를 확인할 수 있는 것이다.That is, the final position can be confirmed by being inserted into the confirmation pin hole at the bottom of the transport container base 50 when the transport container is seated.

상기 작동단(500) 상부에는 용기안착감지센서(522)가 설치되어 있어서 운반용기베이스(50)가 안착되었음을 감지한다.The container seat detection sensor 522 is installed on the operation stage 500 to detect that the transport container base 50 is seated.

또한, 작동단(500) 상부에는 용기유무감지센서(521)가 설치되어 있어서 일정 높이 이하에 운반용기베이스(50)가 위치할 경우 이를 감지하게 된다.In addition, the container presence sensor 521 is installed on the upper operation stage 500 to detect this when the transport container base 50 is located below a predetermined height.

또한 작동단(500)에는 운반용기의 정보를 해독하는 RFID로 이루어진 용기정보인식기B(531)가 설치되어 있다.In addition, the operation stage 500 is provided with a container information recognizer B 531 made of RFID for decoding the information of the transport container.

상기 작동단(500)의 하단에는 작동단을 회전시키는 작동단 회전부(600)가 위치하여 운반용기 베이스(50)에 수납된 서브스트레이트(5)의 반출 방향을 조정할 수 있게 되어 있다. At the lower end of the operation stage 500, an operation stage rotation part 600 for rotating the operation stage is positioned to adjust the carrying out direction of the substrate 5 accommodated in the container base 50.

이를 위해 작동단 회전부(600)는 회전력을 제공하는 작동단 회전 모터(612)와 이 모터에 의해 구동되는 작동단 회전 벨트(613)로 구성된다.To this end, the operating stage rotating unit 600 is composed of an operating stage rotating motor 612 to provide a rotational force and the operating stage rotating belt 613 driven by the motor.

상기 작동단(500)의 하면에는 위치 고정용 홀(미도시)이 형성되어 있고, 작동단(500) 하부에는 작동단 고정 핀(621)이 승강 가능하도록 설치되어 있어 이에 의해 작동단(500)의 위치가 고정되도록 되어 있다.Position lowering hole (not shown) is formed on the lower surface of the operation stage 500, the operation stage 500 is installed in the lower operation stage 500 so that the operation end fixing pin 621 can be lifted by this operation stage 500 The position of is fixed.

도8a 내지 도 8b 등은 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐기의 후면 사시도로서, 도8a는 가림판(210)이 분리단(200) 전체와 함께 하강한 상태이고 도8b는 상기 가림판(210)이 상승한 상태를 나타낸 것이다.8A to 8B and the like is a rear perspective view of the semiconductor substrate transport container automatic switchgear according to the present invention, Figure 8a is a screen plate 210 is lowered with the entire separation stage 200 and Figure 8b is the screen plate The state in which 210 is raised is shown.

도8a에 도시된 바와 같이, 분리단(200)의 후단에는 가림판(210)이 수직방향으로 설치되어 분리단(200)의 승하강에 따라 본체의 후면플레이트(150)에 형성되어 있는 개구(151)를 개폐하도록 되어 있다. As shown in Figure 8a, the rear end of the separating end 200, the shielding plate 210 is installed in the vertical direction, the opening formed in the rear plate 150 of the main body as the lifting and lowering of the separating end 200 ( 151 is opened and closed.

상기 가림판(210)의 하단에는 공기 유입구(212)가 형성되어 있다. An air inlet 212 is formed at the bottom of the shield plate 210.

이러한 공기 유입구(212)는 가림판(210)과 일체로 형성하거나 별도의 부품으로 제작되는 것도 가능하다.The air inlet 212 may be formed integrally with the shielding plate 210 or may be manufactured as a separate component.

구체적으로 살펴보면, 초기 상태에서는 분리단(200)이 하강한 상태이므로 가림판(210)이 개구(151)를 막고 있는 상태가 되며, 가림판(210) 하단의 공기 유입구(212)를 통해 후단의 청정공기가 본체(100)의 내부로 유입되게 된다. 장치 내부로 유입된 청정공기는 본체(100)의 하단에 설치된 본체배기팬(161)(도 2a 참조)에 의해 외부로 유도되며, 이러한 청정공기의 순환작용에 의해 본체(100) 내부를 청정상태로 유지할 수 있게 된다. Specifically, in the initial state, since the separating end 200 is in a descending state, the blocking plate 210 becomes a state of blocking the opening 151, and through the air inlet 212 at the bottom of the blocking plate 210 of the rear end. Clean air is introduced into the body (100). The clean air introduced into the apparatus is guided to the outside by the main body exhaust fan 161 (see FIG. 2A) installed at the bottom of the main body 100, and the inside of the main body 100 is cleaned by the circulation of the clean air. It can be maintained.

도8b에 도시된 바와 같이, 분리단(200)이 상승하면 가림판(210)이 동반 상승하여 개구(151)를 개방하게 되어 후단의 청정공기가 작동단(500)으로 유입되어 서브스트레이트(5)를 청정상태로 유지하게 된다.As shown in FIG. 8B, when the separation end 200 is raised, the shielding plate 210 is raised together to open the opening 151 so that the clean air at the rear end flows into the operation stage 500 so that the substrate 5 ) Will be kept clean.

도 9a 내지 도 9c 등은 본 발명에 따른 운반용기고정구(260)의 구조를 도시한 도면으로서 도9a는 전체 조립사시도, 도9b는 용기고정구의 분해 사시도, 도9c는 용기고정구의 동작을 설명하기 위한 단면도이다.Figure 9a to 9c and the like is a view showing the structure of the container holding fixture 260 according to the present invention, Figure 9a is an overall assembly perspective view, Figure 9b is an exploded perspective view of the container fixture, Figure 9c to explain the operation of the container fixture It is a section for.

도 9a 내지 도 9c 등에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 운반용기고정구(260)는 상단에 수직방향으로 면취부(264)가 형성된 모터축(263)을 갖는 용기 고정 모터(262), 내부가 개방된 원통 형상으로서 모터축(263)이 수용되고 일측에 홀(미도시)이 형성된 회전축(265), 홀에 삽입된 일단부에 반구(273)가 탄성적으로 취부되어 모터축(263)의 면취부(264)에 결합되는 모터축 고정재(270) 및 회전축(265)의 상단부에 설치되어 운반용기(10)를 눌러서 고정하는 용기누름판(266)을 포함하여 구성된다.As shown in Figure 9a to 9c, etc., the container holding fixture 260 according to the present invention is a container fixing motor 262 having a motor shaft 263 formed with a chamfer 264 in the vertical direction at the top, the interior is open The motor shaft 263 is accommodated as a cylindrical shape, the rotating shaft 265 has a hole (not shown) on one side, the hemisphere 273 is elastically mounted on one end inserted into the hole to the surface of the motor shaft 263 It is configured to include a container pressing plate 266 is installed on the upper end of the motor shaft fixing member 270 and the rotating shaft 265 coupled to the mounting portion 264 by pressing the container 10 is fixed.

따라서, 용기고정모터(262)의 회전에 의해 원통형의 회전축(265)이 연동되어 회전하고, 회전축(265)의 상단부에 결합된 용기누름판(266)이 동반 회전하여 운반용기(10)를 눌러서 고정하게 된다. Accordingly, the cylindrical rotating shaft 265 is rotated by the rotation of the container fixing motor 262, and the container pressing plate 266 coupled to the upper end of the rotating shaft 265 rotates together to press and fix the container 10. Done.

또한 본 발명에서는 운반용기(10)가 분리단(200) 상에 정상적으로 안착되지 않아 용기고정을 위한 동작 시에 운반용기고정구(260)에 무리한 힘이 가해져 용기고정구가 파손되는 것을 방지하기 위해 도 9a, 도 9b, 도 9c 등에서와 같은 모터축고정재(270)의 구조를 취한다.In addition, in the present invention, the transport container 10 is not normally seated on the separation end 200, so that an excessive force is applied to the transport container fixture 260 during the operation for fixing the container to prevent the container fixture from being damaged. The structure of the motor shaft fixing member 270 as shown in Figs. 9B, 9C, and the like is taken.

즉, 모터축고정재(270)는 개방된 내부에 스프링(272)이 설치되고 선단부에 반구(273)의 일부가 외부로 돌출된 구조이며, 모터축(263)이 용기고정모터(262)에 의해 회전하면 면취부(264)가 반구(273)에 접하여 용기고정모터(262)의 회전력이 반구(273)에 전달되어 모터축고정재(270)가 회전하고, 그에 따라 모터축고정재(270)와 결합된 회전 축(265) 및 용기누름판(266)이 회전하게 된다. That is, the motor shaft fixing member 270 is a structure in which a spring 272 is installed in the open interior and a part of the hemisphere 273 protrudes outward from the front end, and the motor shaft 263 is formed by the container fixing motor 262. When rotating, the chamfering portion 264 is in contact with the hemisphere 273, the rotational force of the container fixing motor 262 is transmitted to the hemisphere 273, the motor shaft fixing member 270 rotates, accordingly coupled with the motor shaft fixing member 270 The rotating shaft 265 and the container pressing plate 266 rotate.

이 상태에서 운반용기(10)가 분리단(200) 상에 정상적으로 안착되지 않은 경우에는 회전 시 용기누름판(266)이 운반용기(10)의 일측에 부딪혀 정지하게 된다.In this state, when the container 10 is not normally seated on the separating end 200, the container pressing plate 266 is stopped by hitting one side of the container 10 during rotation.

이 경우 계속 회전하는 모터축(263)의 회전력에 의해 모터축(263)의 면취부(264)가 반구(273)를 눌러 반구(273)의 돌출된 부분이 모터축고정재(270)의 내부로 삽입되면서 모터축(263)이 공회전하게 되어 운반용기고정구(260)의 손상을 방지할 수 있게 된다.In this case, the chamfered portion 264 of the motor shaft 263 presses the hemisphere 273 by the rotational force of the motor shaft 263 which continues to rotate so that the protruding portion of the hemisphere 273 is moved into the motor shaft fixing member 270. As the motor shaft 263 is idling while being inserted, it is possible to prevent damage to the transport container fixture 260.

도10은 본 발명에 따른 공기청정부(950)를 포함하는 본체의 내부구조를 나타낸다.10 shows the internal structure of a body including an air cleaner 950 according to the present invention.

공기청정부본체(951)의 상단에는 FFU(960)이 설치되어 있다. An FFU 960 is installed at the upper end of the air cleaner main body 951.

상기 FFU(960)는 FFU본체(961), FFU팬(965) 및 필터(966)로 이루어져 있고 공기청정부본체(951)의 하단에는 청정부배기팬(968)이 설치되어 있다. The FFU 960 includes an FFU body 961, an FFU fan 965, and a filter 966, and a clean exhaust fan 968 is installed at the lower end of the air cleaner main body 951.

따라서 상기 FFU와 청정부배기팬(968)이 동작하면 FFU팬(965)에 의해 유도된 외부공기가 필터(966)를 거치면서 청정한 상태로 공기청정부(950)의 내부로 들어오게 되고, 공기청정부(950) 내부의 공기는 하단의 청정부배기팬(968)에 의해 외부로 배출된다. Accordingly, when the FFU and the clean exhaust fan 968 operate, external air induced by the FFU fan 965 passes through the filter 966 and enters the inside of the air cleaner 950 in a clean state. The air inside the cleaner 950 is discharged to the outside by the cleaner exhaust fan 968 at the bottom.

이때 공기청정부(950) 내부의 압력은 FFU팬(965) 및 청정부배기팬(968)의 속도조절에 의해 제어되게 된다. At this time, the pressure inside the air cleaner 950 is controlled by the speed control of the FFU fan 965 and the clean exhaust fan 968.

즉 상기 본체와 본장비 사이에 공기청정부를 설치하되, 상기 공기청정부는, 그 내부에 구비되고 속도 조절로 내부압력을 조절할 수 있는 FFU팬(965)과, ULPA 필터로 이루어지고 상기 팬의 하부에 설치되는 필터(966)로 구성되어 상기 FFU팬(965)에 의해 유도된 내부 공기가 상기 공기청정부 하단에 위치한 청정부배기팬(968)에 의해 다시 외부로 배출된다.That is, the air cleaner is installed between the main body and the main equipment, and the air cleaner comprises an FFU fan 965 which is provided therein and is capable of adjusting internal pressure by speed control, and an ULPA filter, The internal air induced by the FFU fan 965 is composed of a filter 966 is installed is discharged back to the outside by the clean exhaust fan 968 located at the bottom of the air cleaner.

다시 말하여, 상기 공기청정부(950)는 본체(100) 사이에 공기청정부본체(951)의 유도공간을 형성하고 상부의 FFU팬(965)에 의한 청정공기를 하부의 청정부배기팬(968)을 통해 외부로 유도하는 기능을 갖는다.In other words, the air cleaner 950 forms an induction space of the air cleaner main body 951 between the main body 100 and the clean air exhaust fan of the lower part of the clean air by the FFU fan 965 in the upper part ( 968) to the outside to guide.

상기 ULPA(Ultra Low Penetration Air) 필터는 HEPA 필터보다 한단계 진보한 필터로 1.2~1.7㎛ 크기의 미세먼지를 99.9999% 이상 여과할 수 있는 초고효율 필터이다.The ULPA (Ultra Low Penetration Air) filter is an advanced filter that is one step higher than the HEPA filter and is an ultra high efficiency filter capable of filtering 99.9999% or more of fine particles having a size of 1.2 to 1.7 μm.

구체적으로 일반적인 공기청정부를 사용하지 않은 장비에서는 세제곱미터당 0.1 마이크로미터의 파티클은 129개, 0.2 마이크로미터의 파티클은 78개, 0.3 마이크로미터의 파티클은 9개가 도10의 P 위치에서 감지되었다.Specifically, 129 particles of 0.1 micrometers per cubic meter, 78 particles of 0.2 micrometers, and 9 particles of 0.3 micrometers were detected at the P position in FIG. 10.

그러나 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 공기청정부를 사용한 장비는 세제곱미터당 0.1 마이크로미터의 파티클은 9개, 0.2 마 이크로미터의 파티클은 3개, 0.3 마이크로미터의 파티클은 0개가 P 위치에서 감지되었다.However, the equipment using the air cleaner of the semiconductor substrate carrier automatic switchgear according to the present invention is nine particles of 0.1 micrometers per cubic meter, three particles of 0.2 micrometers, zero particles of 0.3 micrometers P Detected at location.

즉 본 발명에 따른 공기청정부를 부착함으로써 장치 내부로 청정 공기를 유입시켜 장치 내부를 청정상태로 유지할 수 있게 된다.That is, by attaching the air cleaner according to the present invention, it is possible to keep the inside of the device clean by introducing clean air into the device.

도 10은 또한 본 발명인 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 내부 공기 흐름도를 나타내고 있다. 상기와 같은 흐름을 형성하고 장치 내부의 압력을 적정한 수준으로 유지함으로써 외부의 분진유입을 방지하고 내부의 분진을 외부로 유도하여 결과적으로 서브스트레이트(5)에 주어지는 분진의 영향을 제거하게 된다.Fig. 10 also shows an internal air flow diagram of the semiconductor substrate container automatic opening and closing device of the present invention. By forming the flow as described above and maintaining the pressure inside the apparatus at an appropriate level, it prevents the inflow of dust from the outside and guides the dust inside to the outside, and consequently eliminates the influence of dust on the substrate 5.

이하 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐방법 중에서 공기청정 방법에 대하여 자세히 설명한다.Hereinafter, the air cleaning method in the automatic opening and closing method of the semiconductor substrate transport container according to the present invention will be described in detail.

먼저 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치의 공기청정부에 포함되는 팬을 통하여 속도를 증감하여 내부압력을 조절한다.First, the internal pressure is adjusted by increasing and decreasing the speed through the fan included in the air cleaning unit of the semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention.

그리고 상기 팬의 하부에 설치되는 필터를 통하여 상기 팬을 통해 유입된 공기를 필터링한다.The air introduced through the fan is filtered through a filter installed at the bottom of the fan.

계속하여 상기 공기청정부는 본체 사이에 유도공간을 형성하여 상기 필터링에 의한 청정공기를 하부의 청정부배기팬으로 유도한다.Subsequently, the air cleaner forms an induction space between the main bodies and guides the clean air by the filtering to the lower clean exhaust fan.

그리고 상기 공기가 공기청정부 하단에 위치한 청정부배기팬에 의해 다시 외부로 배출된다.And the air is discharged to the outside again by the clean exhaust fan located at the bottom of the air cleaner.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims are intended to cover such modifications or changes as fall within the scope of the invention.

도 1a, 도 1b는 본 발명에 따른 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치 전면 사시도이며 도1a는 초기 상태, 도1b는 분리단이 상승한 상태를 나타낸다.1A and 1B are front perspective views of a semiconductor substrate transport container automatic opening and closing device according to the present invention. FIG. 1A is an initial state, and FIG. 1B is a state where a separation end is raised.

도 2a, 도 2b는 본 발명에 따른 자동개폐장치의 내부 구조를 도시한 도면이며, 도2a는 전면에서 본 모습, 도2b는 후면에서 본 모습이다.Figure 2a, Figure 2b is a view showing the internal structure of the automatic switching device according to the present invention, Figure 2a is a front view, Figure 2b is a view from the rear.

도3은 용기커버감지센서를 나타낸 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing a container cover detection sensor.

도 4a 내지 도 4f는 서브스트레이트 반전 로봇부를 도시한 도면이고, 도4a는 하면에서 본 상태, 도4b는 하면에서 본 상태이다.4A to 4F are views showing the substrate inversion robot unit, FIG. 4A is a view from the bottom, and FIG. 4B is a view from the bottom.

도4c는 로봇팔구동부의 상세구조를 상부에서 본 상태, 도4d는 동일부를 하부에서 본 상태이다.Figure 4c is a state in which the detailed structure of the robot arm drive unit viewed from the top, Figure 4d is a state seen from the bottom.

도4e는 엔드이펙터 구동부의 상세구조로서 엔드이펙터가 90도 회전한 모습과 상기 엔드이펙터 구동부의 상세구조로서 엔드이펙터가 180도 회전(반전)한 모습을 나타낸다.4E shows a detailed structure of the end effector drive unit in which the end effector is rotated 90 degrees and a detailed structure of the end effector drive unit in which the end effector is rotated 180 degrees (inverted).

도4f는 도4a의 감지센서의 상세 모습을 나타낸다.Figure 4f shows a detailed view of the sensor of Figure 4a.

도 5a 내지 도 5c는 도 4a 내지 도 4f의 로봇부가 서브스트레이트를 반전하는 동작을 나타내는 일련의 사시도이며, 도5a는 서브스트레이트를 잡는 상태, 도5b는 들어 올린 상태, 도5c는 90도 반전한 상태를 나타낸다.5A to 5C are a series of perspective views showing the operation of the robot unit inverting the substrate of FIGS. 4A to 4F. FIG. 5A is a state in which the substrate is held, FIG. 5B is in a raised state, and FIG. 5C is inverted by 90 degrees. Indicates the state.

도 6a 내지 도 6c 등은 광학문자인식부의 동작을 나타내는 일련의 사시도이며, 도6a는 동작전의 상태, 도6b는 동작중인 상태를 나타내고 도 6c는 각 부분의 외부와의 통신 방법을 나타낸다.6A to 6C and the like are a series of perspective views showing the operation of the optical character recognition unit, FIG. 6A shows a state before operation, FIG. 6B shows a state in operation, and FIG. 6C shows a communication method with the outside of each part.

도7은 작동단과 작동단 회전부 및 운반용기 베이스를 도시한 도면이다.7 is a view showing the operating stage, the operating stage rotating portion and the container base.

도 8a, 도 8b 등은 장치의 후면 사시도로서, 도8a는 가림판이 하강한 상태이고 도8b는 가림판이 상승한 상태를 나타낸 것이다.8A, 8B and the like are rear perspective views of the apparatus, in which FIG. 8A shows the shield plate in a lowered state and FIG. 8B shows the shield plate in a raised state.

도 9a 내지 도 9c 등은 본 발명에 따른 운반용기 고정구의 구조를 도시한 도면이며, 도9a는 전체 사시도, 도9b는 분해 사시도, 도9c는 고정구의 동작을 설명하기 위한 단면도를 나타낸다.9A to 9C and the like is a view showing the structure of the container holding fixture according to the present invention, Figure 9a is an overall perspective view, Figure 9b is an exploded perspective view, Figure 9c is a cross-sectional view for explaining the operation of the fixture.

도10은 공기청정부의 내부 구조와 공기의 흐름을 도시한 도면이다.10 is a view showing the internal structure of the air cleaner and the flow of air.

<주요도면부호에 관한 설명><Description of main drawing code>


5 : 서브스트레이트
10 : 운반용기
20 : 운반용기 커버
50 : 운반용기 베이스
58 : 통기구멍
59 : 서브스트레이트 받침
100 : 본체
5: substrate
10: transport container
20: transport container cover
50: container base
58: vent hole
59: substrate support
100: main body

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150 : 후면 플레이트150: back plate

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151 : 개구
161 : 본체배기팬151: opening
161: main body exhaust fan

190 : 미세설치조정판
200 : 분리단190: Fine installation adjustment plate
200: separation stage

202 : 분리단 개구부
210 : 가림판202: separation opening
210: blind plate

212 : 공기유입구
231 : 동작 버튼212: air inlet
231: Action Button

232 : 상태 표시 램프
241 : 운반용기 안착 가이드232: Status display lamp
241: Carrying container seating guide

242 : 용기커버감지센서
251 : 용기정보인식기A242: container cover detection sensor
251: Container Information Recognizer A

260 : 운반용기고정구
262 : 용기 고정 모터260: transport container fixture
262: Canister Fixed Motor

263 : 모터축
264 : 면취부263: motor shaft
264: Chamfer

265 : 회전축
266 : 용기 누름판265: axis of rotation
266: container holding plate

267 : 누름판 베어링
268 : 용기 고정 커버267: press plate bearing
268: Container Fixing Cover

270 : 모터 축 고정재
271 : 고정재 본체270: motor shaft fixing material
271: fixing material body

272 : 스프링
273 : 반구272: spring
273: hemisphere

281 : 수평장애물감지센서281: horizontal obstacle detection sensor

282 : 수직장애물감지센서
300 : 분리단 상하이송부282: vertical obstacle detection sensor
300: Shanghai Songbu Division

311 : 상하이송 모터
312 : 상하이송 벨트311: Shanghai Song Motor
312 Shanghai Song Belt

313 : 벨트 블록313: Belt Block

321 : 가로연결블록321: horizontal connection block

322 : 고정브라켓
323 : 측판322: fixing bracket
323: side plate

380 : 서브스트레이트인식부
381 : 서브스트레이트인식기380: substrate recognition unit
381: substrate recognizer

382 : 서브스트레이트인식기지지대
470 : 서브스트레이트 반전 로봇부382: substrate recognition support
470: substrate inversion robot unit

471 : 로봇팔-좌
473 : 로봇팔-우471: robot arm-left
473: robot arm-right

475 : 로봇팔 모터
476 : 로봇팔 벨트475: robot arm motor
476: Robot Arm Belt

477 : 로봇팔 안내부재
478 : 로봇팔 벨트브라켓-좌477: robot arm guide member
478: robot arm belt bracket-left

479 : 로봇팔 벨트브라켓-우
480 : 파지 센서479: Robot arm belt bracket-right
480: grip sensor

481 : 해지 센서
482 : 센서 브라켓481: revocation sensor
482: Sensor Bracket

483 : 팔장력조절 풀리
484 : 공기흡입기483: arm tension control pulley
484: air suction

486 : 엔드이펙터 본체
487 : 엔드이펙터 파지부486: end effector body
487: end effector grip

488 : 엔드이펙터 스프링
489 : 반전구동모터488: End Effector Spring
489: reverse drive motor

490 : 반전구동벨트
491 : 반전구동풀리490: reverse drive belt
491: Reverse Drive Pulley

492 : 방향전환풀리
493 : 반전장력조절풀리492: turn pulley
493: reverse tension control pulley

494 : 원위치센서
495 : 반전위치센서494: home position sensor
495: reverse position sensor

496 : 반전위치센서브라켓
498 : 서브스트레이트감지센서496: Reverse position sensor bracket
498: substrate detection sensor

500 : 작동단
511 : 걸쇠500: operating stage
511: clasp

521 : 용기 유무 감지 센서
522 : 용기 안착 감지 센서521: container presence sensor
522: container seat detection sensor

523 : 용기 위치 확인핀
531 : 용기정보인식기B523: container positioning pin
531: Container Information Recognizer B

600 : 작동단 회전부
605 : 작동단 베이스600: operating stage rotating part
605: operating stage base

611 : 작동단 회전체
612 : 작동단 회전 모터611: working stage rotating body
612: working stage rotary motor

613 : 작동단 회전 벨트
621 : 작동단 고정 핀
950 : 공기청정부613: working stage rotating belt
621: working stage fixing pin
950: Air Government

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951 : 청정부 본체
960 : FFU(Fan Filter Unit)951: cleaner unit body
960: FFU (Fan Filter Unit)

961 : FFU본체
965 : 팬961: FFU body
965: fan

966 : 필터
968 : 청정부배기팬966 Filter
968: Clean Exhaust Fan

Claims (15)

본장비에 연결된 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치에 있어서,In the automatic opening and closing device of semiconductor substrate transport container connected to the equipment, 후면 일측에 개구(151)가 형성된 본체(100)와,The main body 100 has an opening 151 formed on one side of the rear surface, 상기 본체(100)의 상단에 설치되어 수직으로 승강시키기 위한 상하이송부를 포함하고, 서브스트레이트(5)가 수납된 운반용기(10)가 안착되는 분리단(200)과,A separation end 200 installed at an upper end of the main body 100 and including a shanghai transport unit for vertically elevating, the transport container 10 in which the substrate 5 is accommodated is seated; 상기 분리단(200)의 후단에 결합되어 상기 분리단(200)의 승하강에 따라 상기 개구를 개폐하는 가림판(210)과,Is coupled to the rear end of the separation end 200 and the shielding plate 210 for opening and closing the opening in accordance with the lifting and lowering of the separation end 200, 하기 작동단(500)이 수용가능하도록 상기 분리단(200) 상부면에 형성된 분리단 개구부(202)와,A separation end opening 202 formed in an upper surface of the separation end 200 to accommodate the operation stage 500; 상기 분리단(200)의 개구부(202)에 위치하여 서브스트레이트(5)에 대한 회전 또는 고정이 이루어지는 작동단(500)과,An operation stage 500 positioned in the opening 202 of the separation stage 200 to rotate or fix the substrate 5; 상기 분리단(200) 상에 설치되고 운반용기(10)를 고정시키는 운반용기고정구(260)와,A transport container fixture 260 installed on the separation end 200 and fixing the transport container 10, 상기 본체(100)와 본장비 사이에 공기청정부(950)가 포함되어지되,The air cleaner 950 is included between the main body 100 and the main equipment, 상기 분리단(200)에는 서브스트레이트(5)를 반전시키는 서브스트레이트반전로봇부(470)가 설치되고,The separation stage 200 is provided with a substrate inversion robot unit 470 for inverting the substrate 5, 상기 서브스트레이트반전로봇부(470)는 서브스트레이트(5)를 감지하는 엔드이펙터본체(486)를 통해 서브스트레이트(5)의 파지 상태를 검출하도록 구비되며,The substrate inversion robot unit 470 is provided to detect the holding state of the substrate 5 through the end effector body 486 for sensing the substrate 5, 상기 서브스트레이트반전로봇부(470) 내부의 공기를 외부로 유도하는 공기흡입기(484)가 포함되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치.Automatic opening and closing device of the semiconductor substrate transport container, characterized in that the air intake 484 for inducing the air inside the substrate inverting robot unit 470 is included. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분리단(200)에는 안착된 운반용기(10)에 부착된 용기별 일련번호를 포함하는 고유정보를 인식 및 해독하며 상기 고유정보를 통신 수단에 의해 외부기기로 전달할 수 있는 기능을 갖는 용기정보인식기A(251)와,The separation stage 200, the container information having the function to recognize and decode the unique information including the serial number for each container attached to the transport container 10 seated and to transmit the unique information to the external device by a communication means Recognizer A 251, 운반용기(10) 내에 수납된 서브스트레이트(5)에 부착된 공정기록정보를 인식 및 해독하며 상기 공정기록정보를 통신 수단에 의해 외부기기로 전달할 수 있는 기능을 갖는 서브스트레이트인식기(381)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치.The substrate recognizer 381 further has a function of recognizing and decrypting process record information attached to the substrate 5 stored in the container 10 and transferring the process record information to an external device by a communication means. Semiconductor substrate transport container automatic switching device characterized in that it is included. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가림판(210)의 하단에는 공기 유입구(212)가 형성되고,An air inlet 212 is formed at the bottom of the screen plate 210, 상기 본체(100)는 외부 본장비와 연결할 경우 바닥에 미세설치조정판(190)을 부착하여 상기 본체(100)의 위치를 미세하게 조정할 수 있도록 구비되며,When the main body 100 is connected to the external main equipment, the micro installation adjusting plate 190 is attached to the bottom so that the position of the main body 100 can be finely adjusted. 상기 상하이송부는,The Shanghai Songbu, 상기 분리단(200)의 일측에 결합되어 상기 분리단(200)을 지지하는 한 쌍의 측판(323)과,A pair of side plates 323 coupled to one side of the separation end 200 to support the separation end 200; 상기 각 측판을 가로 방향으로 연결하는 가로연결블록(321)과,Horizontal connecting block 321 for connecting the side plates in the horizontal direction, 상하 이송의 구동원인 상하이송 모터(311)와,Shanghai Song motor 311 which is the driving source of the up and down feed, 상기 분리단(200) 상하이송 모터에 결합되어 수직방향으로 궤도운동하는 상하이송 벨트(312)와,A shanghai song belt 312 coupled to the separation stage 200 and a shanghai song motor to orbitally move in a vertical direction; 상기 상하이송 벨트(312)와 상기 가로연결블록(321)을 결합시키는 벨트블록(313)가 포함되어 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치.And a belt block (313) for coupling the shanghai conveying belt (312) and the horizontal connecting block (321). 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 작동단(500)의 하단에는 상기 작동단(500)을 회전시키는 작동단 회전부(600)가 위치하고,The lower end of the operating stage 500 is located operating stage rotating unit 600 for rotating the operating stage 500, 상기 작동단(500)의 하면에는 위치를 고정하기 위한 홀이 형성되고,The lower surface of the operation stage 500 is formed with a hole for fixing the position, 상기 작동단(500)의 하부에는 작동단고정핀(621)이 승강 가능하도록 설치되어 상기 작동단(500)의 위치가 상기 홀을 통해 고정되며,The lower end of the operating stage 500 is installed so that the operation stage fixing pin 621 is liftable, the position of the operating stage 500 is fixed through the hole, 상기 작동단(500)은,The operation stage 500, 상면에 운반용기베이스의 안착 상태를 감지하는 용기안착감지센서(522)와,Container seating detection sensor 522 for detecting the mounting state of the container base on the upper surface, 운반용기베이스를 감지하는 용기유무감지센서(521)와,Container presence sensor (521) for detecting the container base, 운반용기의 정보를 해독하는 용기정보인식기B(531)가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치.Container substrate automatic opening and closing device characterized in that it further comprises a container information recognizer B (531) for decoding the information of the container. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공기청정부(950)는,The air cleaner 950, 속도 증감으로 내부압력을 조절할 수 있는 FFU팬(965)과,FFU fan (965) that can adjust the internal pressure by increasing and decreasing the speed, 상기 FFU팬(965)의 하부에 설치되는 필터(966)로 구성되어,Consists of a filter 966 installed in the lower portion of the FFU fan 965, 상기 FFU팬(965)에 의해 유도된 내부 공기가 상기 공기청정부(950) 하단에 위치한 청정부배기팬(968)에 의해 다시 외부로 배출되고,The internal air induced by the FFU fan 965 is discharged to the outside again by the clean exhaust fan 968 located at the bottom of the air cleaner 950, 상기 공기청정부(950)는 본체(100) 사이에 유도공간을 형성하고 상부의 FFU팬(965)에 의한 청정공기를 하부의 청정부배기팬(968)을 통해 외부로 유도하는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치.The air cleaner 950 forms an induction space between the main body 100 and guides the clean air by the upper FFU fan 965 to the outside through the lower clean exhaust fan 968. Automatic opening and closing device for semiconductor substrate carrier. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분리단(200)은 운반용기커버를 감지하는 센서를 포함하되, 동작 중에 운반 용기커버가 제거된 경우 상기 센서를 통해 감지하여 동작을 중단시키도록 구비되고,The separation stage 200 includes a sensor for detecting a transport container cover, provided to stop the operation by detecting through the sensor when the transport container cover is removed during operation, 상기 분리단(200)은 외부 본장비에서 서브스트레이트(5)를 반출하는 경우 분리단의 움직임이 발생하여 본장비의 엔드이펙터와 근접할 때 센서를 통해 감지하여 동작을 중단시키도록 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 서브스트레이트 운반용기 자동개폐장치.The separation stage 200 is provided to stop the operation by detecting through the sensor when the movement of the separation stage is generated and close to the end effector of the equipment when the substrate (5) is carried out from the external main equipment Semi-conductor substrate carrying container automatic opening and closing device. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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