KR20180130388A - Standard mechanical interface apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 스미프(ＳＭＩＦ: standard mechanical interface) 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 저장용기(박스, 파드(POD) 또는 카세트)를 자동으로 개폐하거나, 저장용기를 개방한 상태에서 저장된 자재를 반송하는 ＳＭＩＦ 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a standard mechanical interface (SMIF) apparatus, and more particularly, to a system and method for automatically opening and closing a storage container (a box, a POD or a cassette) The present invention relates to a SMIF apparatus that transports a substrate.
SMIF 장치는 파드에 수납된 웨이퍼, 레티클 등의 반도체 자재를 프로세스 챔버로 이송시켜주는 인터페이스 장치이다. The SMIF device is an interface device that transfers semiconductor materials such as wafers and reticles housed in pads to the process chamber.
SMIF 장치 중 마스크 스미프 파드(Mask SMIF POD)는 마스크가 놓이는 저장용기를 외부와 격리시켜 반도체 청정실과 동일한 환경으로 유지하려는 목적으로 만들어졌고, 이를 모든 관련 장치 및 부품회사가 공유하도록 규격화한 것이 스미프 로드 포트(SMIF Load port)(SEMI E117-1104규격)이다.The Mask SMIF POD in the SMIF device is designed to keep the storage container in which the mask is placed isolated from the outside and keep it in the same environment as the semiconductor clean room. It is a SMIF Load port (SEMI E117-1104 specification).
또한 Mask SMIF POD의 규격은 크기에 따라 RSP150(SEMI E111규격), MRSP150(SEMI E112규격), RSP200(SEMI E200규격)을 만족하여야 합니다.In addition, the specifications of Mask SMIF POD must satisfy RSP150 (SEMI E111 standard), MRSP150 (SEMI E112 standard) and RSP200 (SEMI E200 standard) according to size.
그러나 이러한 규격 제품을 사용하여도 종래에는 각 파드(POD) 제품이 크기, 락(Lock)부의 스프링탄성 등에 있어 약간의 차이가 있으며 이들의 차이가 큰 경우 SMIF 로더(loader)의 오동작이 발생하고, 이들이 장치 및 제품의 불량을 유발한다는 문제점이 있다.However, even if these standard products are used, there is a slight difference in the size of each POD product and the spring elasticity of the lock part, and when the difference is large, a malfunction of the SMIF loader occurs, There is a problem that these cause defective devices and products.
따라서 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 저장용기(박스, 파드 또는 카세트)를 자동으로 개폐하거나, 저장용기를 개방한 상태에서 저장된 자재를 반송함으로써, SMIF 로더의 오동작 발생을 억제하는 ＳＭＩＦ 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for automatically detecting a malfunction of a SMIF loader by automatically opening and closing a storage container (box, The present invention provides an SMIF device that suppresses the inconvenience.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 ＳＭＩＦ 장치는 저장용기에 저장된 자재를 프로세스 챔버로 이송시켜주는 인터페이스 장치에 있어서, 상기 저장용기를 안착시켜 수용하는 스테이지와, 상기 스테이지에 안착된 저장용기의 커버를 고정하는 탄성 가동부와, 상기 탄성 가동부에 의해 고정된 상기 커버로부터 상기 저장용기의 잠금 해제 및 잠금하는 저장용기를 고정시키는 저장용기 오픈/클로즈부와, 상기 스테이지를 상하 수직 방향으로 이동시키고, 상기 스테이지 및 상기 저장용기 오픈/클로즈부를 각각 회전시키는 동력부, 및 상기 저장용기와 분리된 상기 커버가 위치되는 부위와 상기 동력부 사이의 소정 공간에 배치되며, 상기 저장용기에 저장된 자재를 모니터링하는 모니터링부를 포함하며, 상기 동력부가 밀폐된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an interface device for transferring a material stored in a storage container to a process chamber, the interface device comprising: a stage for receiving and storing the storage container; A storage container opening / closing part for fixing the storage container to unlock and lock the storage container from the cover fixed by the elastic moving part; A power unit for rotating the stage and the opening / closing part of the storage container, and a monitoring part for monitoring the material stored in the storage container, the monitoring part being disposed in a predetermined space between a part where the cover separated from the storage container and a power part, And the power portion is sealed.
또한, 상기 탄성 가동부는 모터의 전류를 이용하여 가동 압력 관리되는 저장용기 고정용 모터에 의해 상기 커버를 고정할 수 있다.In addition, the elastic movable part can fix the cover by a motor for fixing the storage container, the movable pressure of which is controlled by using the current of the motor.
상기와 같은 본 발명에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 스테이지를 상하 수직 방향으로 이동시키고, 스테이지 및 저장용기 오픈/클로즈부를 각각 회전시키는 동력부가 밀폐되고, 스테이지를 상하 이동시키는 스테이지의 로더에 회전부가 설치되어 마스크 등의 저장용기에 저장된 자재의 회전이 SMIF 오프너(opener)인 ＳＭＩＦ 장치 내에서 이뤄지며, 자재의 이동부위가 에어플로(air flow) 하단에 있도록 구성되기 때문에, 이물 발생을 억제하여 저장용기에 저장된 자재 반송에 기인한 공정 불량률을 개선할 수 있는 효과를 제공한다.In the SMIF apparatus according to the present invention, the power unit for moving the stage vertically and vertically and rotating the stage and the open / close part of the storage container are hermetically sealed, and a rotary unit is provided on the stage loader for moving the stage up and down. Since the rotation of the material stored in the storage container of the SMIF is performed in the SMIF apparatus and the moving region of the material is located at the lower end of the air flow, The present invention provides an effect of improving the process failure rate caused by the process.
도 1은 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 평면도이다.
도 3은 도 1의 측면도이다.
도 4는 도 1의 밀폐된 동력부의 에어플로, 및 모니터링부를 나타낸 개략도이다.1 is a perspective view showing an SMIF apparatus according to an embodiment.
2 is a plan view of Fig.
3 is a side view of Fig.
Fig. 4 is a schematic view showing an air flow and a monitoring section of the enclosed power section of Fig. 1;
하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명은 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 명세서에서 단어 "예시적인" 은 "예로서, 일례로서, 또는 예증으로서 역할을 한다."라는 것을 의미하기 위해 이용된다. "예시적"으로서 본 명세서에서 설명된 임의의 양태들은 다른 양태들에 비해 반드시 선호되거나 또는 유리하다는 것으로서 해석되어야 하는 것만은 아니다.The embodiments according to the concept of the present invention can be variously modified and can take various forms, so that specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the specification or the application. It is to be understood, however, that the intention is not to limit the embodiments according to the concepts of the invention to the specific forms of disclosure, and that the invention includes all modifications, equivalents and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Also, the word "exemplary" is used herein to mean "serving as an example, instance, or illustration." Any aspect described herein as "exemplary " is not necessarily to be construed as preferred or advantageous over other aspects.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.It is to be understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, . On the other hand, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there are no other elements in between. Other expressions that describe the relationship between components, such as "between" and "between" or "neighboring to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, the terms "comprises ", or" having ", or the like, specify that there is a stated feature, number, step, operation, , Steps, operations, components, parts, or combinations thereof, as a matter of principle.
이하, 본 발명의 실시예를 나타내는 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention.
도 1은 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 평면도이며, 도 3은 도 1의 측면도이다. 그리고 도 4는 도 1의 밀폐된 동력부의 에어플로, 및 모니터링부를 나타낸 개략도이다.FIG. 1 is a perspective view showing an SMIF apparatus according to an embodiment, FIG. 2 is a plan view of FIG. 1, and FIG. 3 is a side view of FIG. And Fig. 4 is a schematic view showing the air flow and the monitoring unit of the enclosed power unit of Fig.
먼저, 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 마스크 핸들링(Mask handling)용 미니 인바이런먼트(Mini Environment)인 SMIF 로더로서, 반도체 웨이퍼, 래티클, 포토마스크(photo mask), 유리기판 등의 자재를 저장하고 있는 저장용기(박스, 파드(POD) 또는 카세트)를 자동으로 개폐하거나, 저장용기를 개방한 상태에서 내부의 자재 반송을 포함하는 자재 저장용기 자동 개방장치이다.First, the SMIF device according to the embodiment is a Mini Environment (SMIF) loader for mask handling, and stores materials such as a semiconductor wafer, a reticle, a photo mask, and a glass substrate Which automatically opens and closes a storage container (box, pad (POD), or cassette), or transports the inside of the container with the storage container opened.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 스테이지(Stage)(100), 저장용기 오픈/클로즈부(200), 저장용기 가이드 라인(300), 저장용기 고정용 모터(400), 탄성 가동부(410), 저장용기 오픈/클로즈용 모터(500), RFID 리더기(reader)(600), 저장용기 고정핀(700), 센서(800), 모니터링부(C)를 포함한다. 여기서, 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 다양한 SMIF POD에 대응하여 원활한 작업이 진행되도록 각 고정/회전 핀들의 동작에 +(-) 1mm 이상의 여유도를 갖도록 구성한다. 또한, 저장용기 오픈/클로즈용 모터(500) 등이 포함된 동력부를 구성한다. 상기 동력부는 스테이지(100)를 상하 수직 방향으로 이동시키고, 스테이지(100) 및 저장용기 오픈/클로즈부(200)를 각각 회전시킨다. 이때, 상기 동력부는 이물의 전이를 방지하기 위해 밀폐된다. 도시하지 않았으나, 전장부도 밀폐된다.1 to 4, the SMIF apparatus according to the embodiment includes a
스테이지(100)는 저장용기를 올려놓는 선반구조로 저장용기를 안착시켜 수용하며, 커버(cover)가 열린 저장용기를 내려주는 부위이다. 여기서, 스테이지(100)를 상하 이동시키는 스테이지(100)의 로더 즉 베이스는 스테이지(100)를 고정 혹은 이송하는 프레임 구조물 형태의 메인 플레이트와 제어기를 포함한다. 또한, 베이스는 두 개의 전동기와 베큠(vacuum)으로 두 가지 종류의 저장용기의 커버를 열 수 있는 오픈(open)부를 더 포함 할 수 있다. The
또한, 스테이지(100)는 메인 플레이트에 고정된 엑츄에이터로 상하 수직 방향으로 운동을 하게 되며 엑츄에이터와 스테이지(100) 사이에 있는 전동기로 스테이지(100)를 회전해줄 수 있도록 구성되어 있다. 이때, 상하 구동의 정밀도는 40 ~ 60㎛ 이내이다.The
이러한 동력 전달 장치에서 발생하는 공기 중의 오염원인 파티클(particle)을 제거하기 위해 로더장치인 베이스에 배기장치가 부착된다. 또한, 오픈부에 회전하는 기능을 위한 전동기가 있다. 또한, 저장용기 안에 있는 반도체 래티클 자재를 들어 올려주는 그리퍼가 부착된 형태가 있다.An exhaust device is attached to the base, which is a loader device, to remove particles which are pollutants in the air generated in such power transmission devices. There is also an electric motor for the function of rotating in the open part. In addition, there is a type in which a gripper for lifting the semiconductor reticule material in the storage container is attached.
이에 따라, 스테이지(100)를 고정 또는 이송하는 엑츄에이터, 및 엑츄에이터와 스테이지(100) 사이에 배치되며, 스테이지(100)를 회전시키는 전동기를 포함하는 스테이지(100)의 로더(loader) 즉 베이스가 구성된 장치는 저장용기를 안착시켜 수용하는 스테이지가 상하 수직 방향으로 이동 되며 또한 회전되어 저장용기를 자동으로 개폐하거나, 저장용기를 개방한 상태에서 저장된 자재를 반송한다.Thereby, an actuator for fixing or transferring the
또한, 스테이지(100)를 상하 이동시키는 스테이지(100)의 로더에 회전부가 설치되어 마스크 등의 저장용기에 저장된 자재의 회전이 SMIF 오프너(opener)인 ＳＭＩＦ 장치 내에서 이뤄지기 때문에, 자재의 이동부위는 에어플로(air flow)(P) 하단에 있도록 구성된다.In addition, since the rotation unit is provided on the loader of the
저장용기 오픈/클로즈부(200)은 2개의 기둥으로 이루어지며, 기둥이 회전을 하여 탄성 가동부(410)에 의해 고정된 저장용기의 커버로부터 저장용기의 잠금 해제 및 잠금을 한다.The storage container opening /
저장용기 가이드라인(300)은 저장용기가 잘 놓일 수 있도록 가이드 하는 가이드라인으로써, 저장용기 오픈/클로즈용 모터(500)에서의 파티클 발생을 막기 위해 차단되었다.The
저장용기 고정용 모터(400)는 탄성 가동부(410)를 구동하기 위한 것으로서, 모터의 전류를 이용하여 가동 압력 관리된다.The storage
탄성 가동부(410)는 높이가 서로 다른 저장용기들의 각 높이 차이를 자체 보정하도록 저장용기 고정용 모터(400)에 의해 구동되어, 스테이지(100)에 안착된 저장용기의 커버를 고정한다.The elastic moving
저장용기 오픈/클로즈용 모터(500)는 저장용기 오픈/클로즈부(200)가 회전되도록 저장용기 오픈/클로즈부(200)를 회전 구동한다.The storage container open /
RFID(radio frequency identification) 리더기(reader)(600)는 저장용기의 정보를 읽는다.A radio frequency identification (RFID)
저장용기 고정핀(700)은 3개의 기둥으로 이루어지며, 저장용기를 고정시킨다.The storage container fixing
센서(800)는 저장용기의 유무를 센싱한다. 여기서, 센서(800)는 작은 기둥 형태로 설치될 수 있다.The
모니터링부(C)는 저장용기와 분리된 커버가 위치되는 부위와 상기 동력부 사이의 소정 공간(예를 들어, 사이벽 등)에 배치되며, 저장용기에 저장된 자재의 정상 상태 유무 등을 모니터링한다. 여기서, 모니터링부(C)는 라이형 레이저(line laser)와 카메라(camera)를 이용할 수 있다.The monitoring unit C monitors the presence or absence of a steady state of the material stored in the storage container, and is disposed in a space (for example, a side wall or the like) between the portion where the cover separated from the storage container and the power unit is located . Here, the monitoring unit C may use a line laser and a camera.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 스테이지를 상하 수직 방향으로 이동시키고, 스테이지 및 저장용기 오픈/클로즈부를 각각 회전시키는 동력부가 밀폐되고, 스테이지를 상하 이동시키는 스테이지의 로더에 회전부가 설치되어 마스크 등의 저장용기에 저장된 자재의 회전이 SMIF 오프너(opener)인 ＳＭＩＦ 장치 내에서 이뤄지며, 자재의 이동부위가 에어플로(air flow) 하단에 있도록 구성되기 때문에, 이물 발생을 억제하여 저장용기에 저장된 자재 반송에 기인한 공정 불량률을 개선할 수 있다.The SMIF apparatus according to the present invention moves the stage vertically and vertically, and the power unit for rotating the stage and the storage vessel open / close unit is hermetically closed, and the rotation unit is provided on the stage loader for moving the stage up and down Since the rotation of the material stored in the storage container such as the mask is performed in the SMIF apparatus as the SMIF opener and the moving region of the material is located at the lower end of the air flow, It is possible to improve the process failure rate due to the material conveyance.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 다양한 SMIF POD에 대응하여 원활한 작업이 진행되도록 각 고정/회전 핀들의 동작에 +(-) 1mm 이상의 여유도를 갖도록 구성함으로써, 마스크의 회전이 가능하며, 마스크의 로딩(Loading)이 잘못된 것을 감지하며, 작업 도중 마스크의 전도를 검출하며, 파티클 유무를 검출하도록 구성하여 불량률 제로(zero)가 되도록 할 수 있다.Further, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention is configured to have a clearance of + (-) 1 mm or more for the operation of each fixed / rotating pin so as to smoothly work corresponding to various SMIF PODs, , It is detected that the loading of the mask is wrong, the conduction of the mask is detected during the operation, and the presence or absence of the particle is detected so that the defect rate is zero.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 마스크 파드(Mask POD) 별 차이에 따른 로더(Loader) 오동작이 발생되는 종래 문제점을 해결하기 위해 커버 고정 장치에 탄성 가동부를 추가하여 파드(POD) 높이 차이를 자체 보정토록 하고, 락 모터(lock motor)인 저장용기 고정용 모터 가동 시 모터의 전류를 이용한 가동 압력 관리하며, 오동작 발생 시, 발생 상태에 따른 추가 동작 프로그램을 할 수 있다.In order to solve the conventional problem of a loader malfunction due to a difference between mask pods, an SMIF device according to an embodiment of the present invention includes an elastic moving part added to a cover fixing device, It can manage the operation pressure by using the current of the motor when the motor for fixing the storage container, which is a lock motor, operates, and can perform an additional operation program according to the occurrence state when a malfunction occurs.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 SMIF 로더와 외부장치 인터페이스(interface) 중 에러(Error)(통신)에 의한 오동작의 종래의 문제점을 해결하기 위해 I/O와 통신 제어의 이중 관리, 모드버스(MODBUS)를 적용한 인터페이스로 장치의 동작과 장치의 모니터링(monitoring) 프로그램의 이중화로 오동작을 방지할 수 있다.Also, in order to solve the conventional problem of malfunction due to an error (communication) among the SMIF loader and the external device interface, the SMIF device according to the embodiment of the present invention performs dual management of I / O and communication control, It is possible to prevent malfunction due to the operation of the device and the duplication of the monitoring program of the device using the MODBUS interface.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 마스크의 높은 투과율에 기인한 투과광 검출 센서의 마스크 유무검출의 실패현상의 종래 문제점을 해결하기 위해 레이저(laser)를 이용해 마스크 측면에서 반사된 빛을 센서로 검출하여 SMIF POD내의 마스크 유무 센서의 오동작에 의한 불량을 방지할 수 있다.In order to solve the conventional problem of the mask failure detection of the transmitted light detection sensor due to the high transmittance of the mask, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention uses a laser to detect light reflected from the mask side, It is possible to prevent defects due to malfunction of the mask presence sensor in the SMIF POD.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 마스크가 파드(POD)에서 떨어져 있는 상태의 검출 오동작의 종래의 문제점을 해결하기 위해 선형 레이저(line laser)를 이용해 마스크 면에서 반사된 빛을 3개 위치 이상의 복수의 센서로 검출하여 SMIF POD내의 마스크 정상 상태 유무 검출 오동작에 의한 불량 방지 할 수 있다.Further, in order to solve the conventional problem of the detection malfunction in the state where the mask is separated from the POD, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention uses a linear laser to irradiate light reflected from the mask surface to three It is possible to prevent defects due to the malfunction of the mask normal state detection in the SMIF POD.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 구조상 마스크의 초기 로딩(loading)시 90도 또는 180도 회전되어 로딩 되었거나, 마스크 로테이션(mask rotation)이 필요한 경우에 대응하지 못하는 종래의 문제점을 해결하기 위해, 로더의 파드(POD) 고정부를 회전할 수 있도록 설계하고, 회전 정밀도를 0.01도 이내로 하며 (-)10도에서 290도 회전할 수 있게 하여 다양한 환경에 대응할 수 있다.In addition, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention solves the conventional problem that when the mask is initially loaded, the SMIF apparatus is not rotated when the mask is rotated by 90 degrees or 180 degrees when the mask is initially loaded, or when mask rotation is required (POD) fixed part of the loader, the rotation accuracy can be set within 0.01 degree, and the rotation angle can be rotated from 10 degrees to 290 degrees, so that it can cope with various environments.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 SMIF POD가 오픈(open)된 이후 장치로부터 이물(부유 파티클 등) 유입에 따른 마스크에 이물 증착 문제(air flow의 관리 문제)의 종래 문제점을 해결하기 위해 개폐 시의 기압 변동에 의한 공기흐름의 변화를 방지하기 위한 소프트 오픈/클로즈(Soft open/close) 적용하고, 기구부의 동력부와 전장부를 밀폐하여 이물의 전이를 방지하는 구조이고, 오픈(open)시 전체 면적의 10%정도에 공기 흐름을 강제하며, 마스크 위치 밑으로 동작부를 250mm 이하에 배치하여 이물 전이 방지하는 구조이다.In addition, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention solves the conventional problem of foreign matter deposition (airflow management problem) in the mask due to the inflow of foreign matter (floating particles, etc.) after the SMIF POD is opened (Soft open / close) is applied to prevent air flow change due to air pressure fluctuation at the time of opening and closing to prevent foreign matter from being transferred by closing the power part and the electric part of the mechanism part. ), The air flow is forced to about 10% of the total area, and the moving part is disposed below the mask position to prevent foreign matter from being transferred.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 저장용기의 아랫부분을 래티클의 방향에 맞도록 회전 할 수 있다.Further, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention can rotate the lower part of the storage container to fit the direction of the reticle.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 구동부를 알루미늄파이프와 커버를 통하여 파티클이 밖으로 나가지 않도록 챔버가 분리되도록 만든 형태이며 파티클을 진공 흡입하여 외부로 배출하는 배기장치가 부착되고, 바닥을 없앰으로 장착 및 탈부착이 간단하다.In addition, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention has a structure in which the chamber is separated so that the particles do not come out through the aluminum pipe and the cover, and the exhaust unit for discharging the particles by vacuum suction is attached, It is easy to mount and detach.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 저장용기의 종류에 따라 커버를 열어주는 장치가 나누어 진 종래의 문제점을 해결하기 위해 한 장치에 두 가지 저장용기를 열어주는 기능이 가능할 수 있다.In addition, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention may be capable of opening two storage containers to one device in order to solve the conventional problem of dividing the device for opening the cover according to the type of storage container.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 ＳＭＩＦ 장치는 저장용기 오프너 후 마스크 등의 저장용기에 저장된 자재를 들어 올려주는 그리퍼 장착 할 수 있으며, 저장용기 커버 오픈부가 회전을 하여 저장용기를 놓는데 영향이 없도록 할 수 있다.In addition, the SMIF apparatus according to the embodiment of the present invention can be mounted with a gripper for lifting a material stored in a storage container such as a mask after a storage container opener, so that the opening of the storage container cover will not affect the storage container .
상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술적 분야의 통상의 지식을 가진자라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
100 : 스테이지 200 : 저장용기 오픈/클로즈부
300 : 저장용기 가이드 라인 400 : 저장용기 고정용 모터
410 : 탄성 가동부 500 : 저장용기 오픈/클로즈용 모터
600 : RFID 리더기 700 : 저장용기 고정핀
800 : 센서100: Stage 200: Storage container open / close part
300: Storage container guide line 400: Storage container storage motor
410: Elastic moving part 500: Motor for opening / closing storage container
600: RFID reader 700: storage container holding pin
800: Sensor
Claims (2)
상기 저장용기를 안착시켜 수용하는 스테이지;
상기 스테이지에 안착된 저장용기의 커버를 고정하는 탄성 가동부;
상기 탄성 가동부에 의해 고정된 상기 커버로부터 상기 저장용기의 잠금 해제 및 잠금하는 저장용기를 고정시키는 저장용기 오픈/클로즈부;
상기 스테이지를 상하 수직 방향으로 이동시키고, 상기 스테이지 및 상기 저장용기 오픈/클로즈부를 각각 회전시키는 동력부; 및
상기 저장용기와 분리된 상기 커버가 위치되는 부위와 상기 동력부 사이의 소정 공간에 배치되며, 상기 저장용기에 저장된 자재를 모니터링하는 모니터링부; 를 포함하며,
상기 동력부가 밀폐된 ＳＭＩＦ 장치.An interface device for transferring a material stored in a storage container to a process chamber,
A stage for receiving and storing the storage container;
An elastic moving part for fixing the cover of the storage container seated on the stage;
A storage container open / close part for fixing the storage container to unlock and lock the storage container from the cover fixed by the elastic moving part;
A power unit for moving the stage in the vertical direction and for rotating the stage and the storage container open / close unit, respectively; And
A monitoring unit disposed in a predetermined space between a portion where the cover is separated from the storage container and the power unit and which monitors the material stored in the storage container; / RTI >
Wherein the power section is hermetically sealed.
모터의 전류를 이용하여 가동 압력 관리되는 저장용기 고정용 모터에 의해 상기 커버를 고정하는 ＳＭＩＦ 장치.2. The slide fastener according to claim 1,
The SMIF device fixes the cover by a motor for fixing the storage container to which the movable pressure is controlled by using the current of the motor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170066421A KR20180130388A (en) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | Standard mechanical interface apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170066421A KR20180130388A (en) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | Standard mechanical interface apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20180130388A true KR20180130388A (en) | 2018-12-07 |
Family
ID=64669758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020170066421A KR20180130388A (en) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | Standard mechanical interface apparatus |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20180130388A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210049512A (en) * | 2019-10-25 | 2021-05-06 | 주식회사 선반도체 | Semiconductor photomask handling device |
| KR20210118561A (en) * | 2020-03-23 | 2021-10-01 | 주식회사 선반도체 | Dual pod SMIF Open Device |
| EP3937217A1 (en) * | 2020-07-09 | 2022-01-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | System for a semiconductor fabrication facility |
-
2017
- 2017-05-29 KR KR1020170066421A patent/KR20180130388A/en not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20210118561A (en) * | 2020-03-23 | 2021-10-01 | 주식회사 선반도체 | Dual pod SMIF Open Device |
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