KR100928479B1 - SMIF loader device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 SMIF 로더장치에 관한 것으로서, 상면에 파드가 장착되는 본체부와, 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부 및 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 그립부를 포함하는 SMIF 로더장치에 있어서, 상기 그립부는, 상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와; 상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a SMIF loader device, which is housed in a main body portion on which a pod is mounted on an upper surface, a stage portion for detaching a pod cover mounted on the main body portion from the pod body, and the pod cover removed by the stage portion. A SMIF loader device comprising a grip portion for holding a semiconductor material, wherein the grip portion includes: a grip portion main body provided at the main body portion; A grip arm body horizontally movable on the grip unit body, a motor installed on one side of the grip arm body, a belt that is pulley-coupled to the motor and rotated, and one end is mounted on the belt to reverse the gripped semiconductor material And a SMIF loader device comprising a grip arm including a flip arm.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 반도체 자재를 반전할 수 있는 플립 기능이 구비되어 작업시간을 단축시키고, 작업 효율성을 향상시키는 효과가 있다.According to the present invention as described above, it is provided with a flip function that can reverse the semiconductor material has the effect of shortening the working time, improving the work efficiency.

파드, 착탈, 스테이지, 그립, 플립 Pod, Detachable, Stage, Grip, Flip

Description

ＳＭＩＦ 로더 장치{The loader for SMIF}SMIF loader device {The loader for SMIF}

본 발명은 SMIF 로더장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 자재를 반전할 수 있는 SMIF 로더장치를 제공하고자 하는 것이다.The present invention relates to a SMIF loader device, and more particularly, to provide a SMIF loader device capable of reversing a semiconductor material.

본 발명의 로더장치는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼(Wafer) 또는 레티클(Reticle)등의 자재의반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Meterials Interials International)에서 권고하는 표준안 중 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템을 구성하는 장비에 포함된다.The loader device of the present invention is an automated equipment related to the transport of materials such as wafers or reticles in a semiconductor manufacturing process, and is one of the standards recommended by SEMI (Semiconductor Equipment and Meterials International) International Included in the equipment that makes up the Standard Mechanical Interface (SMIF) system.

SMIF는 국부청정에 관한 것으로 웨이퍼 제조 공정 중 발생 가능한 공기 중의 미세 오염물질인 파티클의 차단을 위해 밀폐된 웨이퍼 저장 용기인 파드, 국부적인 공간만을 청정상태로 유지하는 ME(Mini-enviroment) 및 파드와 ME 혹은 공정장비간의 인터페이스를 위한 장치들에 대해 최소한의 공통규격을 제안하고 있다.SMIF is concerned with local cleanliness, which is an airtight wafer storage container, pods, ME-mini (enviroment) and pods that keep only local spaces clean to block particles, which are airborne contaminants, that can occur during the wafer manufacturing process. A minimum common standard is proposed for devices for interface between ME or process equipment.

SMIF 시스템 중에서 본 발명의 로더장치는 파드에 수납된 웨이퍼, 레티클 등의 반도체 자재를 다음 공정으로 넘겨주는 인터페이스 장치이다.Among the SMIF systems, the loader device of the present invention is an interface device for transferring semiconductor materials such as wafers and reticles stored in pods to the next step.

본 출원인은 특허출원 제10-2003-17298호에서 파드의 자동개폐 및 반송용 SMIF 로더장치를 제안한 바 있다.Applicant has proposed a SMIF loader device for automatic opening and closing of the pod in the patent application No. 10-2003-17298.

상기 SMIF 로더장치는 수직 이송 구조물이 부착된 메인 플레이트와, 상기 메인 플레이트와 수직으로 결합되고, 제어반, 팬, 청정기류 유입을 위한 커버가 안착되는 베이스, 상기 메인 플레이트의 수직 이송 구조물에 부착되며 상기 베이스에 고정 부착이 가능한 포트 플레이트, 상기 베이스에 고정 부착되며 상기 메인 플레이트의 수직 이송 구조물에 부착 가능한 스테이지 및 수평 이송 구조물에 고정되어 상기 메인 플레이트의 개구부를 통해 카세트를 연결 장비의 내부로 로딩하는 카세트 로딩장치를 포함한다.The SMIF loader device is attached to the main plate attached to the vertical transport structure, the base plate is vertically coupled to the main plate, the control panel, the fan, the cover for the inlet of the clean air flow is mounted, the vertical transport structure of the main plate A port plate that can be fixedly attached to a base, a stage fixedly attached to the base, a stage that can be attached to a vertical transport structure of the main plate, and a horizontal transport structure that is fixed to the cassette for loading the cassette into the connection equipment through the opening of the main plate. It includes a loading device.

그러나, 종래의 로더장치는 파드에 반도체 자재가 뒤집어 수납된 경우 또는 반도체 자재의 하면을 가공해야 하는 경우에 반도체 자재를 반전시킬 수 있는 기능이 없어 후단공정에서 반도체 자재를 반전하여 작업을 수행해야 함으로 작업시간이 길어져 작업 효율성이 낮아지는 문제점이 있었다.However, the conventional loader device does not have the function of inverting the semiconductor material when the semiconductor material is stored upside down in the pod or when the lower surface of the semiconductor material needs to be processed. There was a problem that the working time is long and the working efficiency is low.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 자재를 반전할 수 있는 SMIF 로더장치를 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a SMIF loader device that can reverse the semiconductor material.

상기한 목적은 본 발명에 따라, 상면에 파드가 장착되는 본체부와, 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부 및 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 그립부를 포함하는 SMIF 로더장치에 있어서, 상기 그립부는, 상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와; 상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치에 의해 달성된다.According to the present invention, the above object is accommodated in the main body portion to which the pod is mounted on the upper surface, the stage portion for detaching the pod cover mounted on the main body portion from the pod body and the pod cover removed by the stage portion. An SMIF loader device comprising a grip portion for holding a semiconductor material, the grip portion comprising: a grip portion main body provided in the main body portion; A grip arm body horizontally movable on the grip unit body, a motor installed on one side of the grip arm body, a belt that is pulley-coupled to the motor and rotated, and one end is mounted on the belt to reverse the gripped semiconductor material It is achieved by the SMIF loader device characterized in that it comprises a grip arm comprising a flip arm.

그리고, 상기 벨트상에 서로 이격되도록 설치되는 한쌍의 센서플레이트와, 상기 벨트의 부근에 설치되어 상기 센서플레이트를 감지하는 플립감지센서를 더 포함할 수 있다.The sensor plate may further include a pair of sensor plates installed on the belt to be spaced apart from each other, and a flip sensor installed near the belt to sense the sensor plates.

또한, 상기 플립암은 관통공이 형성된 그립베이스와; 상기 그립베이스에 결합되고, 전면에 그립패드가 형성되며 후방으로 돌출되어 상기 그립베이스의 일측으로부터 상기 관통공으로 삽입되는 후방돌출부가 형성되는 그립플레이트와; 상기 그 립베이스와 상기 그립플레이트 사이에 개재되는 스프링부재 및 상기 후방돌출부와 대향되는 상기 그립베이스의 타측에 설치되어 상기 관통공을 통해 접근하는 상기 후방돌출부를 감지하는 그립감지센서를 포함하는 것이 바람직하다.The flip arm may include a grip base having a through hole formed therein; A grip plate which is coupled to the grip base and has a grip pad formed on a front surface thereof and protruding rearward so that a rear protrusion is inserted into the through hole from one side of the grip base; It is preferable to include a grip detection sensor for detecting the rear projection approaching through the through hole is provided on the other side of the grip base facing the rear member and the spring member interposed between the grip base and the grip plate. Do.

아울러, 상기 그립부는 상기 벨트에 상기 플립암이 취부되는 부근에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제1흡입부를 더 포함할 수 있다.In addition, the grip part may further include a first suction part installed on the belt in the vicinity where the flip arm is mounted to suck particles generated therein.

또한, 상기 그립부 본체는 내부 저면에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제2흡입부를 포함할 수 있다.In addition, the grip part main body may include a second suction part installed on the inner bottom surface to suck particles generated therein.

그리고 상기 제2흡입부는 상면에 복수개의 흡입공이 형성되고, 상기 흡입공을 통해 상기 그립부 본체의 내부에서 발생되는 파티클을 흡입하는 흡입관과; 상기 그립부 본체의 일측에 설치되어 상기 흡입관이 파티클을 흡입하도록 흡입력을 제공하는 펌프를 포함하는 것이 바람직하다.And a suction pipe having a plurality of suction holes formed on an upper surface of the second suction part, and sucking particles generated inside the grip part main body through the suction holes; It is preferable to include a pump which is provided on one side of the grip part body to provide a suction force so that the suction pipe sucks the particles.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 반도체 자재를 반전할 수 있는 플립 기능이 구비되어 작업시간을 단축시키고, 작업 효율성을 향상시키는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, a flip function for inverting a semiconductor material is provided, thereby reducing work time and improving work efficiency.

또한, 센서플레이트와 플립감지센서를 구비하여, 반도체 자재의 회전각도를 제어할 수 있게 되는 효과가 있다.In addition, the sensor plate and the flip sensor is provided, it is possible to control the rotation angle of the semiconductor material.

아울러, 벨트와 플립암의 연결부위에서 발생되는 파티클을 흡입하는 제1흡입부와 그립암이 수평이동하면서 발생되는 파티클을 흡입하는 제2흡입부를 구비하여, 그립부의 내부를 청정상태로 유지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the first suction part for sucking particles generated at the connection portion between the belt and the flip arm and the second suction part for sucking particles generated while the grip arm is horizontally moved, thereby keeping the inside of the grip part clean. There is.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

설명에 앞서 본 발명의 일실시예에서 설명되는 마스크(M)는 반도체 자재의 한 일례로 할 뿐, 본 발명의 기술사상이 이에 한정되지 않으며, 웨이퍼 또는 레티클과 같은 반도체 자재를 포함 할 수 있음을 밝혀둔다. 또한, 본 발명의 설명되는 SMIF 로더장치는 포트플레이트가 상승하여 파드 본체와 파드 커버를 분리하는 업타입(uptype)방식을 설명하고 있으나, 스테이지부가 하강하여 파드 본체와 파드 커버를 분리하는 다운타입(downtype)의 방식에도 적용될 수 있음은 물론이다. 아울러, 본 발명의 반출기능이 없는 SMIF 로더장치로 설명되지만, 반출기능을 갖는 SMIF 로더장치에 적용이 가능함은 물론이다.Prior to the description, the mask M described in an embodiment of the present invention is merely an example of a semiconductor material, and the technical concept of the present invention is not limited thereto, and may include a semiconductor material such as a wafer or a reticle. Reveal. In addition, the SMIF loader device described in the present invention describes an uptype method of separating the pod body and the pod cover by raising the port plate, but the down type that separates the pod body and the pod cover by descending the stage part ( Of course, it can also be applied to the type (downtype). In addition, although described as a SMIF loader device without the export function of the present invention, it is, of course, applicable to the SMIF loader device having a export function.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치(1)의 전체사시도이다.1 is an overall perspective view of a SMIF loader device 1 according to an embodiment of the present invention.

도1에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치(1)는 본체부(1-1)와, 스테이지부(1-2)와, 그립부(1-3)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the SMIF loader device 1 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a main body 1-1, a stage part 1-2, and a grip part 1-3. do.

본체부(1-1)는 상부가 개방된 캐비넷형상으로 형성되는 메인플레이트(110)와, 메인플레이트(110)의 상부에 결합된 포트플레이트(120)를 포함하여 구성된다.The main body 1-1 is configured to include a main plate 110 formed in a cabinet shape having an upper portion and a port plate 120 coupled to an upper portion of the main plate 110.

메인플레이트(110)의 내부에는 수직으로 설치되는 이동레일(111a)과, 메인플레이트(110)의 내부 일측에 설치되는 모터(미도시)를 포함하는 포트플레이트 이송부(111)가 설치되어 있다. The inside of the main plate 110 is provided with a port plate conveying unit 111 including a vertical moving rail (111a) and a motor (not shown) installed on one side of the main plate (110).

또한, 마스크(M)의 표면에는 포토마스크 패턴을 형성하기 위해 크롬이 입혀진 크롬면이 형성되는데, 본체부(1-1)의 내외부에 마스크(M)의 크롬면을 감지할 수 있는 장치가 설치되어 있다.In addition, a chromium surface coated with chromium is formed on the surface of the mask M to form a photomask pattern. An apparatus capable of detecting the chromium surface of the mask M is installed inside and outside the main body 1-1. It is.

포트플레이트(120)는 수직이동되도록 포트플레이트 이송부(111)에 결합되어 상승하면서 스테이지(210)에 안착된 파드 커버와 파드 본체를 분리하는 것으로서, 상면에는 파드 본체와 파드 커버로 이루어진 파드(300)가 안착되는 상면 개구부(미도시)가 형성되고, 측면에는 마스크(M)를 반출하는 측면 개구부(122)가 형성되어 있다. 또한, 포트플레이트(120)의 내부에는 파드 커버에 적재된 마스크(M)를 파지하는 그립부(1-3)가 설치되어 있는데, 그립부(1-3)의 구조는 도3에서 상세히 설명하도록 한다.The port plate 120 separates the pod cover and the pod body seated on the stage 210 while being coupled to the port plate transfer unit 111 so as to vertically move, and the pod 300 including the pod body and the pod cover on the upper surface thereof. An upper surface opening (not shown) on which the side is seated is formed, and a side opening 122 for carrying out the mask M is formed on the side surface. In addition, a grip part 1-3 is provided inside the port plate 120 to grip the mask M loaded on the pod cover. The structure of the grip part 1-3 will be described in detail with reference to FIG. 3.

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 스테이지부(1-2)의 구성을 도시한 도면이다.2 is a diagram showing the configuration of the stage unit 1-2 according to an embodiment of the present invention.

스테이지부(1-2)는 상면 개구부(121)에 안착된 파드 본체로부터 파드 커버를 착탈시키는 것으로서, 도2에 도시된 바와 같이 스테이지(210)와, 구동부 및 스테이지 지지부(230)를 포함하여 구성된다.The stage unit 1-2 removes and detaches the pod cover from the pod main body seated in the upper surface opening 121. The stage unit 1-2 includes a stage 210, a driving unit, and a stage support unit 230 as shown in FIG. do.

스테이지(210)는 방향식별이 가능하도록 3개의 레지스트레이션 핀(211) 및 파드가 정상적으로 장착되었는지 여부를 감지하기 위한 3개의 센서(212)가 설치되어 있다. 스테이지(210)의 중앙측에는 파드 커버를 파드 본체로부터 탈거 또는 장착시키기 위한 2개의 래치키(211)가 위치한다. 2개의 래치키(211)는 파드 커버의 하면에 형성된 홈에 결합한 후 회전하면 파드 커버가 파드 본체로부터 탈거된다. 래치키(211)의 우측에는 파드의 장착 유무를 감지하기 위한 파드 감지 센서(212)가 설치되어 있다.The stage 210 is provided with three registration pins 211 and three sensors 212 for detecting whether or not the pod is normally mounted to allow direction identification. Two latch keys 211 are located at the center of the stage 210 to remove or mount the pod cover from the pod body. When the two latch keys 211 are engaged with the grooves formed on the bottom surface of the pod cover and rotate, the pod cover is removed from the pod body. The right side of the latch key 211 is provided with a pod detection sensor 212 for detecting the presence of the pod.

구동부(220)는 스테이지 지지부(230)를 회전시키기 위한 것으로서, 회전력을 제공하는 모터(221)를 설치하고, 벨트(222)를 스테이지 지지부(230)와 구동부(220)에 풀리결합하여 구성된다.The driver 220 is configured to rotate the stage supporter 230, and installs a motor 221 that provides a rotational force, and is configured to pulley the belt 222 to the stage supporter 230 and the driver 220.

스테이지 지지부(230)는 원통형 지주로서, 상면이 스테이지(210)의 하면부에 결합되어 스테이지(210)를 지지한다.The stage supporter 230 is a cylindrical support, the upper surface of which is coupled to the lower surface of the stage 210 to support the stage 210.

도3은 본 발명의 일실시예에 따른 그립부(1-3)의 분해사시도이다.3 is an exploded perspective view of the grip unit 1-3 according to an embodiment of the present invention.

그립부(1-3)는 마스크(M)를 파지하여 다음 공정으로 마스크(M)를 반출하는 것으로서, 도3에 도시된 바와 같이 본체부(1-1)의 내부 측벽에 설치되는 그립부 본체(10)와 그립부 본체(10)에 수평이동가능하게 설치되는 한쌍의 그립암(20)을 포함하여 구성된다.The grip part 1-3 holds the mask M and carries out the mask M in the following process, and as shown in FIG. 3, the grip part main body 10 provided on the inner side wall of the main body part 1-1. And a pair of grip arms 20 installed horizontally on the grip part main body 10.

그립부 본체(10)는 그립부 본체(10)의 상면 일측에는 회전력을 제공하는 회전구동부(11)가 설치되고, 회전구동부(11)에 벨트(12)가 풀리결합되어 있다. 아울러, 그립부 본체(10)는 내부에서 발생되는 파티클을 흡입하여 외부로 배출하는 제2흡입부(13)가 설치되어 있다.The grip part main body 10 is provided with a rotation driving unit 11 that provides a rotational force on one side of the upper surface of the grip unit main body 10, and the belt 12 is pulley-coupled to the rotation driving unit 11. In addition, the grip part main body 10 is provided with a second suction part 13 which sucks particles generated therein and discharges them to the outside.

제2흡입부(13)는 그립부 본체(10)의 내부 저면에 설치되는 제2흡입관(13a)과 그립부 본체(10)의 외부 측벽에 배치되는 제2배출부(13b) 및 그립부 본체(10)의 일측에 설치되는 제2펌프(미도시)를 포함하여 구성된다. The second suction part 13 includes a second suction part 13a provided on the inner bottom surface of the grip part main body 10 and a second discharge part 13b and a grip part main body 10 disposed on an outer sidewall of the grip part main body 10. It is configured to include a second pump (not shown) installed on one side of the.

제2펌프(미도시)로부터 흡입력을 제공받는 제2흡입관(13a)은 상면에 복수개의 흡입공(13aa)이 형성되어 후술되는 그립암(20)이 수평이동하면서 발생되는 파티 클을 흡입하는 역할을 한다. 여기서 제2펌프(미도시)는 제2흡입관(13a)에 흡입력을 제공할 수 있는 펌프면 어느 것이든 적용가능하다.The second suction pipe 13a provided with the suction force from the second pump (not shown) has a plurality of suction holes 13aa formed on an upper surface thereof to suck particles generated while the grip arm 20 to be described later moves horizontally. Do it. The second pump (not shown) is applicable to any pump that can provide a suction force to the second suction pipe (13a).

한쌍의 그립암(20)은 스테이지부(1-2)상의 파드 커버에 장착된 마스크(M)를 파지하기 위한 것으로서, 한쌍의 그립암 본체(21)와, 각각의 그립암 본체(21)에 설치되는 모터(22)와, 모터(22)와 풀리결합되는 벨트(23)와, 벨트(23)에 취부되는 플립암(24)과, 플립암(24)의 마스크(M) 파지여부를 감지하는 그립 감지 센서(25)와, 벨트(23)에 설치되는 센서플레이트(26)와 센서플레이트(26)를 감지하는 플립감지센서(27) 및 그립암 본체(21) 내부의 파티클을 흡입하는 제1흡입부(28)를 포함하여 구성된다.The pair of grip arms 20 are for holding the mask M mounted on the pod cover on the stage part 1-2, and the pair of grip arms main body 21 and each of the grip arm main bodies 21 are provided. Detects whether the motor 22 to be installed, the belt 23 to be pulley-coupled with the motor 22, the flip arm 24 attached to the belt 23, and the mask M of the flip arm 24 are gripped. And a particle for sucking particles inside the grip arm main body 21 and the grip detection sensor 25 to detect the sensor plate 26 and the sensor plate 26 installed on the belt 23. It comprises a one suction unit 28.

한쌍의 그립암 본체(21)는 상부에 형성된 연결브라켓(21a)을 통해 그립부 본체(10)에 설치된 벨트(23)에 각각 취부되어 회전구동부(11)의 구동력에 의해 수평이동된다.The pair of grip arm bodies 21 are mounted on the belts 23 installed on the grip body 10 through the connection brackets 21a formed on the upper portions thereof, and are horizontally moved by the driving force of the rotation driving unit 11.

벨트(23)는 모터(22)로부터 회전력을 제공받아 회전되는 것으로서, 벨트(23)의 일측에는 텐션부(23a)가 설치되어 벨트(23)가 회전하는 동안 벨트(23)의 긴장을 유지하는 것이 바람직하다. The belt 23 is rotated by receiving rotational force from the motor 22, and a tension part 23a is installed at one side of the belt 23 to maintain tension of the belt 23 while the belt 23 rotates. It is preferable.

그리고, 플립암(24)은 벨트에 풀리결합에 의해 취부되어 벨트가 회전동작함에 따라 회전하여, 파지되는 마스크(M)를 반전한다. 플립암(24)과 그립 감지 센서(25)의 구체적인 구성은 도3에서 상세히 설명하도록 한다.Then, the flip arm 24 is attached to the belt by the pulley coupling and rotates as the belt rotates, thereby inverting the mask M to be gripped. Detailed configurations of the flip arm 24 and the grip detection sensor 25 will be described in detail with reference to FIG. 3.

제1흡입부(28)는 마스크(M)를 반전할 경우 그립암 본체(21)에 설치되는 벨트(23)와 플립암(24)의 연결영역 부근에서 발생되는 파티클을 흡입하기 위한 제1흡 입관(28a)과 제1흡입부(28)로부터 유입된 파티클을 배출하기 위한 제1배출부(28b), 및 그립암(20)의 일측에 설치되는 제1펌프(미도시)를 갖고 있다.The first suction part 28 sucks particles generated in the vicinity of a connection area between the belt 23 and the flip arm 24 installed on the grip arm body 21 when the mask M is inverted. It has a 1st discharge part 28b for discharging the particle | grains which flowed in from the entrance tube 28a, the 1st suction part 28, and the 1st pump (not shown) provided in one side of the grip arm 20. As shown in FIG.

그립암 본체(21)에 설치되는 벨트(23)와 플립암(24)의 연결영역 부근에 설치되어 발생되는 파티클을 제1흡입관(28a)에서 흡입하면, 제1배출부(28b)는 제1펌프(미도시)로부터 흡입력을 제공받아 제1흡입부(28)로부터 유입된 파티클을 그립부 본체(10)의 저부에서 집진하여 배출한다.When the particle generated in the vicinity of the connection region between the belt 23 and the flip arm 24 provided on the grip arm main body 21 is sucked through the first suction pipe 28a, the first discharge portion 28b receives the first discharge portion 28b. The suction force is supplied from the pump (not shown), and the particles introduced from the first suction part 28 are collected at the bottom of the grip part main body 10 and discharged.

도4는 본 발명의 일실시예에 따른 센서플레이트(26)와 플립감지센서(27)를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating a sensor plate 26 and a flip sensor 27 according to an embodiment of the present invention.

도4에 도시된 바와 같이 센서플레이트(26)는 블록형상으로 형성되고, 벨트(23)상에 설치되어 벨트(23) 회전시 벨트(23)의 회전방향으로 이송된다.As shown in FIG. 4, the sensor plate 26 is formed in a block shape, and is installed on the belt 23 to be transferred in the rotational direction of the belt 23 when the belt 23 rotates.

플립감지센서(27)는 센서플레이트(26)의 하방에 설치되어 벨트(23)에 의해 이송되는 센서플레이트(26)를 감지하고, 모터(22)의 회전을 제어한다. 즉, 센서플레이트(26)와 플립감지센서(27)의 이격거리에 상응하여 벨트(23)를 이송한 후 모터(22)를 제어함으로서, 벨트(23)에 체결된 플립암(24)의 회전각도를 제어하게 되는 것이다. 이때, 회전각도는 180°인 것이 바람직하나, 작업자의 필요에 따라 센서플레이트(26)의 위치를 변경하여 임의의 회전각도를 설정할 수 있다.The flip sensor 27 is installed below the sensor plate 26 to detect the sensor plate 26 transferred by the belt 23, and controls the rotation of the motor 22. That is, by rotating the flip arm 24 fastened to the belt 23 by controlling the motor 22 after transferring the belt 23 corresponding to the separation distance between the sensor plate 26 and the flip sensor 27. To control the angle. At this time, the rotation angle is preferably 180 °, but may be set to any rotation angle by changing the position of the sensor plate 26 as required by the operator.

도5는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암(24)의 분해사시도이다. 5 is an exploded perspective view of the flip arm 24 according to an embodiment of the present invention.

도5에 도시된 바와 같이, 플립암(24)은 그립베이스(24a), 그립베이스(24a)의 일측에 결합되는 그립플레이트(24b), 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b)을 결합하는 고정핀(24c) 및 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b) 사이에 개재되는 스프링부재(24d)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 5, the flip arm 24 has a grip base 24a, a grip plate 24b coupled to one side of the grip base 24a, and a grip base 24a and a grip plate 24b. And a spring member 24d interposed between the fixing pin 24c and the grip base 24a and the grip plate 24b.

그립베이스(24a)는 전면에 한쌍의 관통공(24aa)이 형성되어 있고, 상부에는 고정핀(24c)이 결합되는 고정공(24ab)이 형성되어 있다.The grip base 24a has a pair of through holes 24aa formed on the front surface thereof, and a fixing hole 24ab through which the fixing pin 24c is coupled to the grip base 24a.

그립플레이트(24b)는 전면에 실리콘 재질의 그립패드(24ba)가 부착되고, 그립플레이트(24b)의 후방으로 돌출형성된 후방돌출부(24bb)가 관통공(24aa)에 삽입되며, 후방돌출부(24bb)의 상면에는 고정공(24ab)과 상응하는 위치에 결합공(24bb')이 형성되어 있다.The grip plate 24b has a silicon grip pad 24ba attached to the front surface thereof, a rear protrusion 24bb protruding to the rear of the grip plate 24b is inserted into the through hole 24aa, and a rear protrusion 24bb. The upper surface of the coupling hole 24bb 'is formed at a position corresponding to the fixing hole 24ab.

고정핀(24c)은 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b)가 스프링 부재(24d)에 의해 분리되는 것을 방지하는 것으로서, 고정공(24ab)과 결합공(24bb')을 통해 삽입된다.The fixing pin 24c prevents the grip base 24a and the grip plate 24b from being separated by the spring member 24d and is inserted through the fixing hole 24ab and the coupling hole 24bb '.

스프링부재(24d)는 마스크(M) 파지시 마스크의 압력을 가하여 마스크(M) 파지를 견고하게 하기 위한 것으로서, 코일스프링이 사용될 수 있다.The spring member 24d is used to firmly hold the mask M by applying a pressure to the mask when the mask M is gripped, and a coil spring may be used.

그립 감지 센서(25)는 근접감지센서를 사용하여 관통공(24aa)을 통해 접근하는 후방돌출부(24bb)를 감지하는 것으로서, 후방돌출부(24bb)와 대향하도록 설치된다.The grip detection sensor 25 detects the rear protrusion part 24bb approaching through the through hole 24aa by using the proximity sensor, and is installed to face the rear protrusion part 24bb.

도6a 및 도6b는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암(24)과 그립 감지 센서(25)의 동작상태를 도시한 도면이다.6A and 6B illustrate an operating state of the flip arm 24 and the grip detection sensor 25 according to an exemplary embodiment of the present invention.

도6a는 플립암(24)이 마스크(M) 파지하는 초기단계를 도시한 도면으로서, 도 5a에 도시된 바와 같이 플립암(24)의 초기상태는 그립플레이트(24b)가 그립베이스에서 이격된 상태로 그립패드(24ba)가 스테이지(210)상의 파드 커버에 장착된 마스크(M)의 측부에 밀착하게 된다. 이때, 그립패드(24ba)가 사용되는 이유는 마스크(M)를 파지하기 위해 압박을 가할 시 압력에 의해 마스크(M)가 손상되는 것을 방지하기 위함이다.FIG. 6A illustrates an initial stage in which the flip arm 24 grips the mask M. As shown in FIG. 5A, the initial state of the flip arm 24 is that the grip plate 24b is spaced apart from the grip base. In this state, the grip pad 24ba comes into close contact with the side of the mask M mounted on the pod cover on the stage 210. In this case, the reason why the grip pad 24ba is used is to prevent the mask M from being damaged by the pressure when a pressure is applied to hold the mask M. FIG.

도6b는 플립암(24)의 마스크(M) 파지동작이 완료된 상태를 도시한 도면으로서, 그립베이스(24a)와 그립플레이트(24b) 사이에 개재되는 스프링부재(24d)가 수축하면서 그립베이스(24a)가 그립플레이트(24b)로 접근하게 됨과 동시에 후방돌출부(24bb)는 관통공(24aa)에 삽입된 상태로 그립 감지 센서(25)에 접근하게 되며, 그립 감지 센서(25)에서는 접근하는 후방돌출부(24bb)를 감지하고 마스크(M)가 안전하게 파지 되었는지 여부를 검사하게 되는 것이다.FIG. 6B is a view showing a state in which the gripping operation of the mask M of the flip arm 24 is completed, and the spring base 24d interposed between the grip base 24a and the grip plate 24b contracts and the grip base ( 24a approaches the grip plate 24b and at the same time, the rear protrusion 24bb approaches the grip detection sensor 25 while being inserted into the through hole 24aa, and the grip detection sensor 25 approaches the rear. The protrusion 24bb is detected and the mask M is inspected whether it is safely held.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치(1)의 동작방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation method of the SMIF loader device 1 according to an embodiment of the present invention having such a configuration step by step as follows.

파드의 장착 단계Mounting Steps of the Pod

우선, 작업자 또는 자동화된 무인반송대차(AGV : Automatic Guided Vehicle)등에 의해 파드 커버가 결합된 파드 본체가 포트플레이트(120)의 상면 개구부(121)를 통해 스테이지(210)에 장착된다.First, a pod body having a pod cover coupled by an operator or an automated guided vehicle (AGV) is mounted to the stage 210 through the top opening 121 of the port plate 120.

이때, 파드 커버에 형성된 결합홈(미도시)이 스테이지(210)에 형성된 래치키(211)와 결합되어 진다.At this time, the coupling groove (not shown) formed in the pod cover is coupled to the latch key 211 formed in the stage 210.

파드 커버 개방 단계 및 포트플레이트 상승 단계Pod cover opening step and pot plate rising step

스테이지부(1-2)는 파드 감지 센서(212), 레지스트레이션 핀(211) 및 위치 센서(212)에 의해 파드가 정상적으로 장착되었는지를 확인한 후 래치키(211)를 회전하여 파드 커버를 파드 본체로부터 결합을 해제시킨다.The stage unit 1-2 checks whether the pod is normally mounted by the pod detection sensor 212, the registration pin 211, and the position sensor 212, and then rotates the latch key 211 to remove the pod cover from the pod body. Release the bond.

다음, 포트플레이트(120)는 포트플레이트 이송부(111)의 이송레일(111a)을 따라 상면에 안착된 파드 본체와 함께 소정의 위치까지 상승되어 파드 본체와 파드 커버를 분리한다.Next, the port plate 120 is raised to a predetermined position along with the pod body seated on the upper surface along the conveying rail 111a of the port plate conveying unit 111 to separate the pod body and the pod cover.

마스크 파지 및 마스크 파지 검사 단계Mask Phage and Mask Phage Check Steps

포트플레이트(120)이 소정의 위치까지 상승되면, 그립부(1-3)는 그립암(20)을 수평이동하여 플립암(24)으로 스테이지상의 파드 커버에 적재된 마스크(M)를 파지한다. 이때, 그립 감지 센서(25)에서 마스크(M)가 정상적으로 파지 되었는지 여부를 확인한다.When the pot plate 120 is raised to a predetermined position, the grip part 1-3 horizontally moves the grip arm 20 to hold the mask M loaded on the pod cover on the stage by the flip arm 24. At this time, the grip detection sensor 25 checks whether the mask M is normally gripped.

가공면 검사 단계Machining surface inspection step

마스크(M) 파지 동작을 완료하면, 마스크(M)의 크롬면을 감지하는 장치에 의해 마스크(M)의 일면에 크롬면이 형성되어 있는지 여부를 검사하여 마스크(M)가 정상적으로 파지되어있는지 여부를 확인한다.After the mask (M) gripping operation is completed, the device for detecting the chrome surface of the mask (M) is inspected to determine whether the chrome surface is formed on one surface of the mask (M), and whether the mask (M) is normally held. Check it.

마스크 반전 및 반출 단계Mask reversal and export steps

크롬면 감지센서(112)에 의해 감지된 마스크(M)가 뒤집어서 적재되었을 경우 또는 마스크(M)의 후면가공이 필요할 경우에는 플립암(24)에 의해 마스크(M)가 반전되어 다음 공정으로 반출된다.When the mask M sensed by the chrome surface sensor 112 is loaded upside down, or when the back side of the mask M is required, the mask M is inverted by the flip arm 24 and then carried out to the next process. do.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims will cover such modifications and variations as fall within the spirit of the invention.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 로더장치의 전체사시도,1 is an overall perspective view of a SMIF loader device according to an embodiment of the present invention,

도2는 본 발명의 일실시예에 따른 스테이지부의 구성을 도시한 도면,2 is a view showing a configuration of a stage unit according to an embodiment of the present invention;

도3은 본 발명의 일실시예에 따른 그립부의 분해사시도,3 is an exploded perspective view of a grip part according to an embodiment of the present invention;

도4는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암의 분해사시도,4 is an exploded perspective view of a flip arm according to an embodiment of the present invention;

도5a 및 도5b는 본 발명의 일실시예에 따른 플립암의 동작상태를 도시한 도면,5A and 5B illustrate an operating state of a flip arm according to an embodiment of the present invention;

도6은 본 발명의 일실시예에 따른 그립암의 제1흡입부를 도시한 도면,6 is a view showing a first suction part of a grip arm according to an embodiment of the present invention;

도7는 본 발명의 일실시예에 따른 센서플레이트와 플립감지센서를 도시한 도면.7 is a view showing a sensor plate and a flip sensor according to an embodiment of the present invention.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of symbols for main parts of drawing

1 : SMIF 로더장치1: SMIF loader device

1-1 : 본체부1-1: main body

1-2 : 스테이지부1-2: stage part

1-3 : 그립부1-3: grip part

Claims (6)

상면에 파드가 장착되는 본체부; A main body on which the pod is mounted on an upper surface; 상기 본체부에 장착된 파드 커버를 상기 파드 본체로부터 착탈시키는 스테이지부;A stage part for attaching and detaching a pod cover mounted on the main body from the pod body; 상기 스테이지부에 의해 탈거된 상기 파드 커버에 수납된 반도체 자재를 파지하는 것으로서, 상기 본체부에 설치되는 그립부 본체와, 상기 그립부 본체에 수평이동가능하게 설치되는 그립암 본체와, 상기 그립암 본체의 일측에 설치되는 모터와 상기 모터에 풀리결합되어 회전하는 벨트와 상기 벨트에 일단이 취부되어 상기 파지된 반도체 자재를 반전하는 플립암을 포함하는 그립암을 포함하는 그립부;A grip part main body provided in the pod cover removed by the stage unit, the grip unit main body is provided in the main body portion, the grip arm main body is provided to be horizontally movable on the grip unit main body, and the grip arm main body of the A grip part including a motor installed at one side, a grip arm coupled to the motor, and a grip arm including a flip arm having one end mounted on the belt and inverting the gripped semiconductor material; 상기 벨트상에 서로 이격되도록 설치되는 한쌍의 센서플레이트; 및A pair of sensor plates installed on the belt to be spaced apart from each other; And 상기 벨트의 부근에 설치되어 상기 센서플레이트를 감지하는 플립감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.SMIF loader device installed in the vicinity of the belt comprising a flip sensor for sensing the sensor plate. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 플립암은,The flip arm, 관통공이 형성된 그립베이스와;A grip base having a through hole formed therein; 상기 그립베이스에 결합되고, 전면에 그립패드가 형성되며 후방으로 돌출되어 상기 그립베이스의 일측으로부터 상기 관통공으로 삽입되는 후방돌출부가 형성되는 그립플레이트와;A grip plate which is coupled to the grip base and has a grip pad formed on a front surface thereof and protruding rearward so that a rear protrusion is inserted into the through hole from one side of the grip base; 상기 그립베이스와 상기 그립플레이트 사이에 개재되는 스프링부재 및A spring member interposed between the grip base and the grip plate; 상기 후방돌출부와 대향되는 상기 그립베이스의 타측에 설치되어 상기 관통공을 통해 접근하는 상기 후방돌출부를 감지하는 그립감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.And a grip detection sensor installed on the other side of the grip base opposite to the rear protrusion to detect the rear protrusion approaching through the through hole. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 그립부는 상기 벨트에 상기 플립암이 취부되는 부근에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제1흡입부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.And the grip part further comprises a first suction part installed near the flip arm to which the belt arm is mounted to suck particles generated therein. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 그립부 본체는 내부 저면에 설치되어 내부에 발생되는 파티클을 흡입하는 제2흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.The grip part main body is installed on the inner bottom SMIF loader device, characterized in that it comprises a second suction unit for sucking the particles generated therein. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제2흡입부는,The second suction unit, 상면에 복수개의 흡입공이 형성되고, 상기 흡입공을 통해 상기 그립부 본체의 내부에서 발생되는 파티클을 흡입하는 흡입관과;A suction pipe having a plurality of suction holes formed on an upper surface thereof, and sucking particles generated inside the grip part main body through the suction holes; 상기 그립부 본체의 일측에 설치되어 상기 흡입관이 파티클을 흡입하도록 흡입력을 제공하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 SMIF 로더장치.SMIF loader device is provided on one side of the grip unit body to provide a suction force for the suction pipe to suck the particles.
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