KR101035177B1 - Array substrate and the fabrication method for lcd - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조방법에 대해 개시된다. 개시된 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판은, 투명 기판상에 서로 교차되도록 형성된 데이터라인 및 게이트라인과; 상기 투명 기판의 가장자리 부분에 상기 데이터라인 및 상기 게이트라인과 같은 방향으로 각각 형성된 데이터쇼팅바 및 게이트쇼팅바와; 상기 데이터쇼팅바에서 다수개로 분기되어 형성된 데이터패드와 더미 데이터패드 및 상기 게이트쇼팅바에서 다수개로 분기되어 형성된 게이트패드와 더미 게이트패드와; 상기 데이터패드와 상기 데이터라인, 상기 게이트패드와 상기 게이트라인이 연결되며, 상기 더미 데이터패드와 연결되는 더미 데이터링크부 및 상기 더미 게이트패드와 연결되는 더미 게이트링크부를 포함하는 점에 그 특징이 있다. The present invention relates to an array substrate of a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same. An array substrate of a liquid crystal display according to the present invention includes: a data line and a gate line formed to cross each other on a transparent substrate; A data shorting bar and a gate shorting bar respectively formed at edges of the transparent substrate in the same direction as the data line and the gate line; A plurality of data pads and dummy data pads branched from the data shorting bar and a plurality of gate pads and dummy gate pads branched from the gate shorting bar; The data pad and the data line, the gate pad and the gate line is connected, characterized in that it comprises a dummy data link unit connected to the dummy data pad and a dummy gate link unit connected to the dummy gate pad. .

본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조방법은 액정표시장치의 어레이 기판상에 단차를 위해 형성된 더미 링크부에 남아있는 정전기를 제거함으로써 신뢰성이 향상될 수 있다. The array substrate of the liquid crystal display device and the manufacturing method thereof according to the present invention can be improved in reliability by removing the static electricity remaining in the dummy link portion formed for the step on the array substrate of the liquid crystal display device.

더미 데이터패드, 더미 데이터링크부, 더미 게이트패드, 더미 게이트링크부Dummy data pad, dummy data link part, dummy gate pad, dummy gate link part

Description

액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조방법{ARRAY SUBSTRATE AND THE FABRICATION METHOD FOR LCD}ARRAY SUBSTRATE AND THE FABRICATION METHOD FOR LCD

도 1은 종래에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 구조를 개략적으로 도시한 도면. 1 is a view schematically showing a structure of a conventional array substrate for a liquid crystal display device.

도 2는 상기 도 1의 A 부분을 확대한 도면.2 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1;

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판의 패드 구조를 개략적으로 도시한 도면.3 is a schematic view showing a pad structure of an array substrate of a liquid crystal display according to the present invention.

도 4는 상기 도 3의 B 부분을 확대한 도면. 4 is an enlarged view of a portion B of FIG. 3.

도 5는 상기 도 3의 C 부분을 확대한 도면.5 is an enlarged view of a portion C of FIG. 3.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of the code for the main part of the drawing>

301 --- 데이터쇼팅바 302 --- 게이트쇼팅바301 --- Data Shorting Bar 302 --- Gate Shorting Bar

401 --- 데이터패드 402 --- 더미 데이터패드401 --- Data Pad 402 --- Dummy Data Pad

403 --- 데이터라인 404 --- 더미 데이터링크부403 --- Data Line 404 --- Dummy Data Link Section

501 --- 게이트패드 502 --- 더미 게이트패드501 --- Gate Pad 502 --- Dummy Gate Pad

503 --- 게이트라인 504 --- 더미 게이트링크부503 --- Gate line 504 --- Dummy gate link

본 발명은 정전기 방지를 위한 액정표시장치에 대한 것으로, 특히 액정표시장치의 어레이기판상에 단차를 위해 형성된 더미 링크부에 남아있는 정전기를 제거함으로써 신뢰성이 향상될 수 있는 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display device for preventing static electricity, in particular an array substrate of a liquid crystal display device that can be improved in reliability by removing the static electricity remaining in the dummy link portion formed for the step on the array substrate of the liquid crystal display device and It relates to a manufacturing method.

최근 정보화 사회로 시대가 급진전함에 따라, 대량의 정보를 처리하고 이를 표시하는 디스플레이(display)분야가 발전하고 있다. Recently, as the information society has progressed rapidly, a display field for processing and displaying a large amount of information has been developed.

최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 시대상에 부응하기 위해 평판표시장치(plate panel display)의 필요성이 대두되었다. 이에 따라 색 재현성이 우수하고 박형인 박막트랜지스터형 액정표시소자(Thin film transistor-liquidcrystal display ; 이하 TFT-LCD라 한다)가 개발되었다. Recently, the need for a flat panel display (plate panel display) has emerged in order to meet the era of thinning, light weight, low power consumption. Accordingly, a thin film transistor-liquid crystal display (hereinafter referred to as TFT-LCD) having excellent color reproducibility has been developed.

통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image corresponding to a data signal on a panel by adjusting light transmittance of liquid crystal cells arranged in a matrix form on a liquid crystal panel with a video data signal supplied thereto. do.

이를 위하여, 액정표시소자는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 절환하기 위한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 'TFT'라 함), 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 TFT의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등을 구비하게 된다. To this end, the liquid crystal display device includes electrodes for applying an electric field to the liquid crystal layer, a thin film transistor (hereinafter referred to as TFT) for switching data supply for each liquid crystal cell, and data supplied from the outside of the liquid crystal cell. And signal wiring for supplying control signals to TFTs and control signals for TFTs.

LCD는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다. 여기에서 하판의 제조공정은 기판상에 전극 물질, 반도체층 및 절연막의 도포와 에칭 작업을 통한 TFT의 형성과 기타 전극부의 형성 과정을 포함한다. The LCD is a manufacturing process of the upper and lower panels of the panel accompanied with the process of forming a liquid crystal cell forming a pixel unit, the formation and rubbing process of the alignment film for the alignment of the liquid crystal, the bonding process of the upper and lower plates, the bonded upper and It is completed through a number of processes, such as the process of injecting and encapsulating the liquid crystal between the lower plate. Here, the manufacturing process of the lower plate includes the formation of TFTs and the formation of other electrode portions by applying and etching electrode materials, semiconductor layers and insulating films on the substrate.

그리고, 액정 주입 및 봉지 공정을 거친 다음, 액정 패널의 IPT(In Process Test)를 수행하게 된다. 이는, 완성된 TFT-LCD 어레이의 단선 등으로 인한 불량 검사를 용이하게 하기 위하여 액정패널의 외곽부에 쇼팅바를 형성하여 검사를 수행하게 된다.After the liquid crystal injection and encapsulation process, an IPT (In Process Test) of the liquid crystal panel is performed. This is performed by forming a shorting bar on the outer portion of the liquid crystal panel in order to facilitate defect inspection due to disconnection of the completed TFT-LCD array.

또한, 쇼팅바는 액정표시장치의 공정 중에 발생되는 정전기가 TFT-LCD 어레이에 인가되어 내부 소자(박막트랜지스터 등)가 파괴되는 것을 방지하게 된다.In addition, the shorting bar prevents static electricity generated during the process of the liquid crystal display device from being applied to the TFT-LCD array to destroy internal elements (thin film transistors, etc.).

보다 상세히 설명하면, 쇼팅바는 각 게이트 라인에 연결되는 하나의 쇼팅바와 각 데이터 라인에 연결되는 다른 하나의 쇼팅바로 구성되어, 어레이 검사시 게이트 라인의 단락유무를 체크하기 위해 각 게이트 라인이 연결된 쇼팅바에 전원을 인가하고 각 게이트 라인의 반대쪽에서 체크하여 게이트 라인의 단락 유무를 체크하며, 데이터 라인도 마찬가지 방법으로 체크한다. In more detail, the shorting bar includes one shorting bar connected to each gate line and another shorting bar connected to each data line, and a shorting line to which each gate line is connected to check whether the gate line is shorted when inspecting the array. The power is applied to the bar and checked on the opposite side of each gate line to check whether the gate line is short-circuited, and the data line is checked in the same manner.

이와 같이 쇼팅바는 실제 TFT-LCD를 구동함에 있어서는 전혀 이용되지 않고, 상기와 같이 정전기 방지 및 어레이 검사시에 이용되는 것이므로 최종적으로는 제거된다.As described above, the shorting bar is not used at all in driving the actual TFT-LCD, but is used at the time of antistatic and array inspection as described above, and finally removed.

도 1은 종래에 따른 액정표시장치용 어레이 기판의 구조를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 상기 도 1의 A 부분을 확대한 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조 로 하여 설명하기로 한다.1 is a view schematically showing a structure of a conventional array substrate for a liquid crystal display device, and FIG. 2 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1. This will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

상기 도 1 및 상기 도 2에 도시한 바와 같이, 액정표시장치의 어레이 기판(100)은 투명기판의 일측 가장자리부분에 데이터쇼팅바(101: data Shorting bar)가 형성되고, 상기 데이터쇼팅바(101)에서 분기하여 데이터패드(201) 및 더미 데이터패드(202)가 다수개 형성되고, 상기 데이터패드(201)에 연결되는 데이터라인(203)이 일체형으로 형성된다. 1 and 2, in the array substrate 100 of the liquid crystal display, a data shorting bar 101 is formed at one edge of the transparent substrate, and the data shorting bar 101 is formed. ), A plurality of data pads 201 and dummy data pads 202 are formed, and a data line 203 connected to the data pads 201 is integrally formed.

또한, 상기 투명기판의 또 다른 일측 가장자리부분에 게이트쇼팅바(102: gate shorting bar)와 상기 게이트쇼팅바(102)에서 분기하여 게이트패드(gate pad:미도시) 및 더미 게이트패드(미도시)가 복수개 형성되며, 상기 게이트패드에 연결되는 게이트라인(미도시)이 상기 데이터라인(203)과 교차하여 매트릭스 상으로 형성된다. In addition, the gate shorting bar 102 and the gate shorting bar 102 branch to another edge portion of the transparent substrate to form a gate pad (not shown) and a dummy gate pad (not shown). Is formed in plurality, and a gate line (not shown) connected to the gate pad crosses the data line 203 to form a matrix.

상기 데이터 라인(203)은 상기 데이터패드(201)를 통해 상기 데이터쇼팅바(101)로 연결된다. 그리고, 상기 더미 데이터패드(202)는 상기 데이터쇼팅바(101)와 연결되어 있다. 이때, 상기 데이터패드(201)와 또 다른 데이터패드(201)사이에는 상기 데이터 라인(203)이 연결되는 부분을 제외한 부분에 기판의 단차를 극복하기 위해 형성된 더미 링크부(204)가 형성되어 있다. The data line 203 is connected to the data shorting bar 101 through the data pad 201. The dummy data pad 202 is connected to the data shorting bar 101. In this case, a dummy link portion 204 is formed between the data pad 201 and the other data pad 201 to overcome the step difference of the substrate except for the portion where the data line 203 is connected. .

상기 데이터쇼팅바(101), 상기 데이터패드(201), 상기 더미 데이터패드(202), 상기 데이터 라인(203) 및 더미 링크부(204)는 금속막을 증착한 후, 동시에 패터닝하여 형성된다. The data shorting bar 101, the data pad 201, the dummy data pad 202, the data line 203, and the dummy link part 204 are formed by depositing a metal film and then patterning the same.

한편, 상기 데이터쇼팅바(101)가 형성된 부분을 중심으로 설명하였으나, 상 기 게이트쇼팅바, 상기 게이트패드, 상기 더미 게이트패드, 상기 게이트 라인 및 상기 더미 게이트링크부도 금속막을 증착한 후, 동시에 패터닝하여 형성하게 된다.In the meantime, although the data shortening bar 101 is formed in the center, the gate shorting bar, the gate pad, the dummy gate pad, the gate line, and the dummy gate link part also deposit a metal film and simultaneously pattern the same. To form.

상기와 같이 액정표시장치에 형성된 상기 데이터쇼팅바(101) 및 상기 게이트쇼팅바(102)를 통해 제조공정시 IPT 검사(In Process Test)를 하고, 정전기 발생으로 인한 패널의 파손 방지 역할을 하게 된다.Through the data shorting bar 101 and the gate shorting bar 102 formed in the liquid crystal display as described above, an IPT test (In Process Test) is performed during the manufacturing process, and the panel is prevented from being damaged due to static electricity. .

그러나, 상기 단차를 극복하기 위해 형성된 더미 데이터링크부 및 더미 게이트링크부내에 발생된 정전기는 루프가 형성되지 않아 글래스 및 액정패널내에 정전기가 남아 있게 되어 액정패널의 불량의 요인이 되는 문제점이 발생된다. However, the static electricity generated in the dummy data link unit and the dummy gate link unit formed to overcome the step may cause static electricity to remain in the glass and the liquid crystal panel because a loop is not formed. .

본 발명은 액정표시장치의 어레이 기판상에 단차를 위해 형성된 더미 링크부에 남아있는 정전기를 제거함으로써 신뢰성이 향상될 수 있는 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an array substrate of a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, which may improve reliability by removing static electricity remaining on a dummy link portion formed for a step on the array substrate of the liquid crystal display device.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판은, In order to achieve the above object, the array substrate of the liquid crystal display device according to the present invention,

투명 기판상에 서로 교차되도록 형성된 데이터라인 및 게이트라인과; A data line and a gate line formed to cross each other on the transparent substrate;

상기 투명 기판의 가장자리 부분에 상기 데이터라인 및 상기 게이트라인과 같은 방향으로 각각 형성된 데이터쇼팅바 및 게이트쇼팅바와; A data shorting bar and a gate shorting bar respectively formed at edges of the transparent substrate in the same direction as the data line and the gate line;

상기 데이터쇼팅바에서 다수개로 분기되어 형성된 데이터패드와 더미 데이터패드 및 상기 게이트쇼팅바에서 다수개로 분기되어 형성된 게이트패드와 더미 게이 트패드와; A plurality of data pads and dummy data pads branched from the data shorting bar and a plurality of gate pads and dummy gate pads branched from the gate shorting bar;

상기 데이터패드와 상기 데이터라인, 상기 게이트패드와 상기 게이트라인이 연결되며, 상기 더미 데이터패드와 연결되는 더미 데이터링크부 및 상기 더미 게이트패드와 연결되는 더미 게이트링크부를 포함하는 점에 그 특징이 있다. The data pad and the data line, the gate pad and the gate line is connected, characterized in that it comprises a dummy data link unit connected to the dummy data pad and a dummy gate link unit connected to the dummy gate pad. .

여기서, 상기 더미 데이터패드와 상기 더미 데이터링크부 및 상기 더미 게이트패드와 상기 더미 게이트링크부가 연결되는 하나의 패턴으로 형성되는 점에 그 특징이 있다. In this case, the dummy data pad and the dummy data link unit and the dummy gate pad and the dummy gate link unit are formed in one pattern.

또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법은,In addition, in order to achieve the above object, a method of manufacturing an array substrate of a liquid crystal display device according to the present invention,

투명기판상에 금속막을 증착한 후, 게이트라인, 게이트패드, 게이트쇼팅바가 연결되며, 상기 게이트쇼팅바, 더미 게이트패드, 더미 게이트링크부가 연결되도록 패턴을 형성하는 단계와;Depositing a metal film on a transparent substrate, and forming a pattern to connect a gate line, a gate pad, and a gate shorting bar, and to connect the gate shorting bar, the dummy gate pad, and the dummy gate link part;

상기 결과물상에 절연막을 형성하는 단계와;Forming an insulating film on the resultant product;

상기 절연막상에 금속막을 증착한 후, 데이터라인, 데이터패드, 데이터쇼팅바가 연결되며, 상기 데이터쇼팅바, 더미 데이터패드, 더미 데이터링크부가 연결되도록 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다. After depositing a metal film on the insulating film, a data line, a data pad, and a data shorting bar are connected to each other, and the data shortening bar, a dummy data pad, and a dummy data link part include forming a pattern to be connected. have.

여기서, 특히 상기 절연막상에 형성된 상기 결과물상에 박막트랜지스터 및 화소전극이 더 형성되는 점에 그 특징이 있다. In particular, a thin film transistor and a pixel electrode are further formed on the resultant material formed on the insulating film.

여기서, 특히 상기 절연막상에 형성된 상기 결과물상에 박막트랜지스터, 화소전극 및 공통전극이 더 형성되는 점에 그 특징이 있다. In particular, a thin film transistor, a pixel electrode and a common electrode are further formed on the resultant formed on the insulating film.                     

이와 같은 본 발명에 의하면, 액정표시장치의 어레이 기판상에 단차를 위해 형성된 더미 링크부에 남아있는 정전기를 제거함으로써 신뢰성이 향상될 수 있다. According to the present invention, the reliability can be improved by removing the static electricity remaining in the dummy link portion formed for the step on the array substrate of the liquid crystal display device.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판의 패드 구조를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4 및 도 5은 상기 도 3의 일부분을 확대한 도면이다. 3 is a diagram schematically illustrating a pad structure of an array substrate of a liquid crystal display according to the present invention, and FIGS. 4 and 5 are enlarged views of a portion of FIG. 3.

도 3 내지 도 5을 참조로 하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판에 대해 설명한다.An array substrate of a liquid crystal display according to the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 5.

도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 액정표시장치의 어레이 기판(300)은, 투명 기판상에 서로 교차되도록 형성된 데이터라인(403) 및 게이트라인(503)과; 상기 투명 기판의 가장자리 부분에 상기 데이터라인(403) 및 상기 게이트라인(503)과 같은 방향으로 각각 형성된 데이터쇼팅바(301) 및 게이트쇼팅바(302)와; 상기 데이터쇼팅바(301)에서 다수개로 분기되어 형성된 데이터패드(401)와 더미 데이터패드(402) 및 상기 게이트쇼팅바(302)에서 다수개로 분기되어 형성된 게이트패드(501)와 더미 게이트패드(502)와; 상기 데이터패드(401)와 상기 데이터라인(403), 상기 게이트패드와 상기 게이트라인이 연결되며, 상기 더미 데이터패드(402)와 연결되는 더미 데이터링크부(404) 및 상기 더미 게이트패드와 연결되는 더미 게이트링크부를 포함하는 점에 그 특징이 있다. 3 to 5, the array substrate 300 of the liquid crystal display device includes: a data line 403 and a gate line 503 formed to cross each other on a transparent substrate; A data shorting bar 301 and a gate shorting bar 302 formed at edges of the transparent substrate in the same direction as the data line 403 and the gate line 503, respectively; A plurality of data pads 401 and a dummy data pad 402 branched from the data shorting bar 301 and a plurality of gate pads 501 and dummy gate pads 502 branched from the gate shorting bar 302. )Wow; The data pad 401 and the data line 403, the gate pad and the gate line are connected to each other, and are connected to the dummy data link unit 404 and the dummy gate pad connected to the dummy data pad 402. Its feature is that it includes a dummy gate link portion.

여기서, 특히 상기 게이트쇼팅바(302) 및 상기 데이터쇼팅바(301)는 상기 투명기판의 가장자리 부분에서 서로 수직이 되도록 형성되어 있다. In particular, the gate shorting bar 302 and the data shorting bar 301 are formed to be perpendicular to each other at the edge portion of the transparent substrate.

또한, 상기 게이트쇼팅바(302)에서 다수개로 분기되어 있는 상기 게이트패드(501)는 어레이기판에 형성된 상기 게이트라인(503)과 연결되어 있으며, 상기 데이터쇼팅바(301)에서 다수개로 분기되어 있는 상기 데이터패드(401)는 상기 데이터라인(403)과 연결되어 있다. In addition, the gate pads 501 branched from the gate shorting bar 302 are connected to the gate line 503 formed on the array substrate and branched from the data shorting bar 301. The data pad 401 is connected to the data line 403.

따라서, 어레이 기판내에 발생된 정전기는 상기 데이터라인(403) 및 상기 게이트라인(503)과 연결된 상기 데이터쇼팅바(301) 및 상기 게이트쇼팅바(302)를 통해 방전된다.Accordingly, the static electricity generated in the array substrate is discharged through the data shorting bar 301 and the gate shorting bar 302 connected to the data line 403 and the gate line 503.

그리고, 상기 더미 데이터패드(402)와 상기 더미 데이터링크부(404)는 일체형 패턴으로 형성되어 상기 데이터쇼팅바(301)와 연결되어 있다. 또한, 상기 더미 게이트패드(503)와 상기 더미 게이트링크부(504)도 일체형 패턴으로 형성되어 있으며, 상기 게이트쇼팅바(302)와 연결되어 있다. The dummy data pad 402 and the dummy data link unit 404 are formed in an integrated pattern and connected to the data shorting bar 301. In addition, the dummy gate pad 503 and the dummy gate link unit 504 are also formed in an integrated pattern and are connected to the gate shorting bar 302.

이는, 상기 더미 게이트패드(502), 더미 게이트링크부(504), 더미 데이터패드(402) 및 더미 데이터링크부(404)에 남아 있는 정전기를 방전시키기 위해 상기 데이터쇼팅바(301) 및 상기 게이트쇼팅바(302)와 연결되어 있다.The data shorting bar 301 and the gate may discharge the static electricity remaining in the dummy gate pad 502, the dummy gate link unit 504, the dummy data pad 402, and the dummy data link unit 404. It is connected to the shorting bar 302.

보다 상세히 설명하면, 상기 더미 게이트패드(502), 더미 게이트링크부(504), 더미 데이터패드(402) 및 더미 데이터링크부(404)는 상기 어레이기판상에 패턴된 상기 게이트라인(503), 게이트패드(501), 데이터라인(403) 및 데이터패드(401)와의 단차를 극복하기 위해 형성된다. In more detail, the dummy gate pad 502, the dummy gate link unit 504, the dummy data pad 402, and the dummy data link unit 404 may include the gate line 503 patterned on the array substrate, It is formed to overcome the step with the gate pad 501, the data line 403, and the data pad 401.

즉, 상기 어레이기판상에 상기 게이트라인(503), 게이트패드(501), 데이터라인(403) 및 데이터패드(401)를 패터닝하여 형성하게 되면, 나머지 부분들의 단차에 의해 액정패널상에 얼룩으로 나타나게 된다. That is, when the gate line 503, the gate pad 501, the data line 403, and the data pad 401 are formed on the array substrate, the gate lines 503, the gate pad 501, the data line 403, and the data pad 401 are formed on the array substrate. Will appear.                     

따라서, 이를 제거하기 위해 상기 더미 게이트패드(502), 더미 게이트링크부(504), 더미 데이터패드(402) 및 더미 데이터링크부(404)를 더 형성하게 된다.Therefore, the dummy gate pad 502, the dummy gate link unit 504, the dummy data pad 402, and the dummy data link unit 404 are further formed to remove this.

한편, 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법에 대해 설명하기로 한다. 본 발명에 다른 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법은, 먼저, 투명기판상에 금속막을 증착한 후, 게이트라인(503), 게이트패드(501), 게이트쇼팅바(302)가 연결되며, 상기 게이트쇼팅바(302), 더미 게이트패드(502), 더미 게이트링크부(504)가 연결되도록 패턴을 형성하게 된다. Meanwhile, a method of manufacturing the array substrate of the liquid crystal display device according to the present invention will be described. According to the method of manufacturing an array substrate of a liquid crystal display device according to the present invention, first, a metal film is deposited on a transparent substrate, and then a gate line 503, a gate pad 501, and a gate shorting bar 302 are connected. A pattern is formed to connect the gate shorting bar 302, the dummy gate pad 502, and the dummy gate link unit 504.

보다 상세히 설명하면, 상기 게이트쇼팅바(302), 상기 게이트패드(501), 상기 게이트라인(503), 더미 게이트패드(502) 및 더미 게이트링크부(504)는 상기 투명기판 위에 금속막을 증착한 후, 상기 금속막 위에 포토레지스트(photo-resist)를 도포하고, 소정의 패턴을 갖는 노광 마스크를 이용하여 노광 및 현상을 한다. 상기 현상된 패턴에 따라 금속막을 소정의 에천트를 사용하여 에칭한 후 금속막위에 남아있는 포토레지스트를 제거함으로써 만들어진다. In more detail, the gate shorting bar 302, the gate pad 501, the gate line 503, the dummy gate pad 502, and the dummy gate link part 504 are formed by depositing a metal film on the transparent substrate. Then, a photoresist is applied on the metal film, and exposure and development are performed using an exposure mask having a predetermined pattern. According to the developed pattern, the metal film is etched using a predetermined etchant and then removed by removing the photoresist remaining on the metal film.

그리고, 상기 결과물상에 절연막을 형성하게 된다. An insulating film is formed on the resultant product.

그 다음, 상기 절연막상에 다시 금속막을 증착한 후, 데이터라인(403), 데이터패드(401), 데이터쇼팅바(301)가 연결되며, 상기 데이터쇼팅바(301), 더미 데이터패드(402), 더미 데이터링크부(404)가 연결되도록 패턴을 형성하게 된다. Then, after depositing a metal film on the insulating film again, the data line 403, the data pad 401, the data shorting bar 301 is connected, the data shorting bar 301, the dummy data pad 402 The dummy data link unit 404 is connected to form a pattern.

여기서, 상기 데이터라인(403), 상기 데이터패드(401), 상기 데이터쇼팅바(301), 상기 더미 데이터패드(402), 상기 더미 데이터링크부(404)는 상기 게이트쇼팅바(302), 상기 게이트패드(501), 상기 게이트라인(503), 더미 게이트패드(502) 및 더미 게이트링크부(504)를 형성하는 방법과 같이 형성하게 된다.Here, the data line 403, the data pad 401, the data shorting bar 301, the dummy data pad 402, and the dummy data link unit 404 are the gate shorting bar 302 and the The gate pad 501, the gate line 503, the dummy gate pad 502, and the dummy gate link unit 504 may be formed in the same manner as the method of forming the gate pad 501, the gate line 503, the dummy gate link 502, and the dummy gate link unit 504.

그리고, 상기 절연막상에 금속막을 증착한 후, 상기 형성된 결과물상에는 박막트랜지스터 및 화소전극을 순차적으로 더 형성하게 된다. After depositing a metal film on the insulating film, a thin film transistor and a pixel electrode are sequentially formed on the formed resultant.

보다 자세히 설명하면, 상기 액정표시장치의 액정구동모드가 TN 모드일 경우 화소 전극은 어레이기판상에 형성되며, 공통전극은 상판에 형성된다. In more detail, when the liquid crystal driving mode of the liquid crystal display device is the TN mode, the pixel electrode is formed on the array substrate, and the common electrode is formed on the upper plate.

한편, 상기 액정표시장치의 액정구동모드가 IPS 모드일 경우, 화소전극과 공통전극이 동일 기판상에 형성되므로 상기 절연막상에 금속막을 증착한 후, 상기 형성된 결과물상에 박막트랜지스터, 화소전극 및 공통전극을 더 형성하게 된다. On the other hand, when the liquid crystal driving mode of the liquid crystal display device is the IPS mode, since the pixel electrode and the common electrode are formed on the same substrate, after depositing a metal film on the insulating film, the thin film transistor, the pixel electrode and the common on the formed resultant Further electrodes are formed.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 제조방법은 액정표시장치의 어레이 기판상에 단차를 위해 형성된 더미 링크부에 남아있는 정전기를 제거함으로써 신뢰성이 향상될 수 있다. As described above, the array substrate of the liquid crystal display device and the method of manufacturing the same according to the present invention may improve reliability by removing static electricity remaining in the dummy link portion formed for the step on the array substrate of the liquid crystal display device.

Claims (6)

투명 기판상에 서로 교차되도록 형성된 다수의 데이터라인 및 다수의 게이트라인과; A plurality of data lines and a plurality of gate lines formed to cross each other on the transparent substrate; 상기 투명 기판의 가장자리 부분에 상기 데이터라인 및 상기 게이트라인과 같은 방향으로 각각 형성된 데이터쇼팅바 및 게이트쇼팅바와; A data shorting bar and a gate shorting bar respectively formed at edges of the transparent substrate in the same direction as the data line and the gate line; 상기 데이터쇼팅바에서 다수개로 분기되어 형성되고, 각각 사각 형상을 갖는 제1 및 제2 데이터패드와 더미 데이터패드와;A plurality of first and second data pads and dummy data pads formed in a plurality of branches in the data shorting bar, each having a rectangular shape; 상기 게이트쇼팅바에서 다수개로 분기되어 형성되고, 각각 사각 형상을 갖는 제1 및 제2 게이트패드와 더미 게이트패드와; A plurality of first and second gate pads and a dummy gate pad formed on a plurality of branches in the gate shorting bar, each having a quadrangular shape; 상기 제1 데이터패드에 연결된 데이터라인과 상기 제2 데이터패드에 연결된 데이터라인 사이에 배치되고, 상기 더미 데이터패드와 전기적으로 연결된 더미 데이터링크부와;A dummy data link unit disposed between the data line connected to the first data pad and the data line connected to the second data pad and electrically connected to the dummy data pad; 상기 제1 게이트패드에 연결된 게이트라인과 상기 제2 게이트패드에 연결된 게이트라인 사이에 배치되고, 상기 더미 게이트패드에 전기적으로 연결된 더미 게이트링크부를 포함하고, A dummy gate link unit disposed between the gate line connected to the first gate pad and the gate line connected to the second gate pad and electrically connected to the dummy gate pad; 상기 더미 데이터패드는 상기 제1 및 제2 데이터패드 사이에 상기 더미 데이터링크부와 적어도 동일한 폭을 가지고,The dummy data pad has at least the same width as the dummy data link unit between the first and second data pads. 상기 더미 게이트패드는 상기 제1 및 제2 게이트패드 사이에 상기 더미 게이트링크부와 적어도 동일한 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판. And the dummy gate pad has at least the same width as the dummy gate link portion between the first and second gate pads. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 더미 데이터패드와 상기 더미 데이터링크부 또는 상기 더미 게이트패드와 상기 더미 게이트링크부가 연결되는 하나의 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판. And the dummy data pad and the dummy data link unit or a pattern in which the dummy gate pad and the dummy gate link unit are connected to each other. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 더미 데이터링크부 및 상기 더미 데이터패드는 상기 데이터쇼팅바와 연 결되어 있고, 상기 더미 게이트링크부 및 상기 더미 게이트패드는 상기 게이트쇼팅바와 연결되어 있어 기판상의 정전기가 제거되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판. The dummy data link unit and the dummy data pad are connected to the data shorting bar, and the dummy gate link part and the dummy gate pad are connected to the gate shorting bar, thereby eliminating static electricity on a substrate. Array substrate of the device. 투명기판상에 금속막을 증착한 후, 다수의 게이트라인, 상기 다수의 게이트 라인에 연결된 제1 및 제2 게이트패드와 더미 게이트패드, 상기 제1 및 제2 게이트패드에 연결된 게이트쇼팅바 및 상기 제1 게이트패드에 연결된 게이트라인과 상기 제2 게이트패드에 연결된 게이트라인 사이의 더미 게이트링크부를 형성하는 단계와;After depositing a metal film on the transparent substrate, a plurality of gate lines, first and second gate pads and dummy gate pads connected to the plurality of gate lines, gate shorting bars connected to the first and second gate pads and the first Forming a dummy gate link portion between the gate line connected to the first gate pad and the gate line connected to the second gate pad; 상기 게이트라인, 제1 및 제2 게이트패드, 더미 게이트패드, 게이트쇼팅바 및 더미 게이트링크부 상에 절연막을 형성하는 단계와;Forming an insulating film on the gate line, the first and second gate pads, the dummy gate pad, the gate shorting bar, and the dummy gate link part; 상기 절연막상에 금속막을 증착한 후, 다수의 데이터라인, 상기 다수의 데이터라인에 연결된 제1 및 제2 데이터패드와 더미 데이터패드, 상기 제1 및 제2 데이터패드에 연결된 데이터쇼팅바 및 상기 제1 데이터패드에 연결된 데이터라인과 상기 제2 데이터패드에 연결된 데이터라인 사이의 더미 데이터링크부를 형성하는 단계를 포함하고,After depositing a metal film on the insulating layer, a plurality of data lines, first and second data pads and dummy data pads connected to the plurality of data lines, data shorting bars connected to the first and second data pads, and the first data pads. Forming a dummy data link unit between a data line connected to the first data pad and a data line connected to the second data pad; 상기 더미 게이트링크부는 상기 더미 게이트패드에 전기적으로 연결되고,The dummy gate link unit is electrically connected to the dummy gate pad, 상기 더미 데이터링크부는 상기 더미 데이터패드에 전기적으로 연결되고,The dummy data link unit is electrically connected to the dummy data pad, 상기 제1 및 제2 게이트패드, 상기 더미 게이트패드, 상기 제1 제2 데이터패드 및 상기 더미 데이터패드는 각각 사각 형상을 가지고, The first and second gate pads, the dummy gate pad, the first second data pad and the dummy data pad each have a quadrangular shape. 상기 더미 데이터패드는 상기 제1 및 제2 데이터패드 사이에 상기 더미 데이터링크부와 적어도 동일한 폭을 가지고,The dummy data pad has at least the same width as the dummy data link unit between the first and second data pads. 상기 더미 게이트패드는 상기 제1 및 제2 게이트패드 사이에 상기 더미 게이트링크부와 적어도 동일한 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법. And the dummy gate pad has at least the same width as the dummy gate link portion between the first and second gate pads. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 데이터라인, 상기 제1 및 제2 데이터패드, 상기 더미 데이터패드, 상기 데이터쇼팅바 및 상기 더미 데이터링크부 상에 화소전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법.And forming a pixel electrode on the data line, the first and second data pads, the dummy data pad, the data shorting bar, and the dummy data link unit. Manufacturing method. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 데이터라인, 상기 제1 및 제2 데이터패드, 상기 더미 데이터패드, 상기 데이터쇼팅바 및 상기 더미 데이터링크부 상에 화소전극 및 공통전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법.And forming a pixel electrode and a common electrode on the data line, the first and second data pads, the dummy data pad, the data shorting bar, and the dummy data link unit. Method for producing an array substrate.
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