KR101023956B1 - 반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치 - Google Patents

반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치에 관한 것이다.
본 발명은 밀봉상태 검사부(1); 상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마친 캐니스터에 용액을 주입하고 캡핑하기 위하여 이송시키는 이송수단(2); 상기 이송수단에 의하여 운반된 캐니스터에 용액을 정량 투입하는 계량 주입부(3); 튜브 인서팅부(4); 상기 계량 주입부(3)에서 용액이 주입된 캐니스터(V)의 입구를 캡(C)으로 닫아주는 캡핑부(5); 상기 캡핑부(5)에 의하여 캡핑이 완료된 캐니스터(V)를 배출시키는 배출부(6)로 구성되어 내부 누설 검사를 마친 캐니스터에 화학용액을 자동으로 정량 주입하고 캡(cap)으로 입구를 밀봉시킨 다음 배출시킬 수 있게 되는 것이다.
Figure R1020080078853
반도체, 캐니스터, 화학약품

Description

반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치 {.}
본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서, 고순도 화학용액을 공정 툴에 공급할 수 있게 하는 캐니스터에 화학용액을 자동으로 정량 주입할 수 있는 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 테트라에틸오도실리케이트(TEOS), 알킬 실란, 디클로로에틸렌, 트리메틸보레이트(TMB), 트리메틸포스파이트(TMPI), 보론-포스포루스-실리콘 유리(BPSG) 등의 고순도 화학 약품 및 기타 화학 약품을 저장하기 위한 것으로, 내부 누설 검사를 마친 캐니스터에 화학용액을 자동으로 정량 주입하고 캡(cap)으로 입구를 밀봉시킨 다음 배출시킬 수 있는 반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치에 관한 것이다.
일반적으로 전자 부품을 제조할 때에는 제조 공정상 세정을 위해 액상이나 기상 상태의 고순도 화학약품을 다양한 크기의 캐니스터에 수용하여 공급될 것을 요구한다.
캐니스터 내장되는 고순도 화학약품은 독성과 부식성이 있어서 환경적으로 규제되므로, 부주의한 기체 배출 또는 액체 배출을 피하도록 화학 약품을 밀폐된 용기 내에 안전하게 수용하는 것이 중요하다.
반도체 제조 공정을 비롯한 기타 산업에서는 작업장의 공간이 부족하기 때문에 누설된 액상 화학 약품을 유출시키지 않고 또한 작업장에서 용기를 담고 있는 캐비넷이 차지하는 공간을 변화시키지 않으면서도 고순도 화학 약품의 캐니스터를 안전하고 효과적으로 저장하는 방법을 오랫동안 추구하여 다양한 카트와 트레이를 추구하여 왔다.
본 발명은 캐니스터를 컨베이어에서 이송시키면서 패킹팩이 밀봉된 상태를 검사하여 자동으로 이송시키고, 이송되는 캐니스터는 상기 컨베이어 측면에 마련되는 다수개의 계량주입장치에 분배 공급되어 용액이 충전된 다음 캡(cap)을 닫고 배출시키는 일련의 공정을 자동화 시스템에 의하여 처리함으로써 반도체 제조용 화학약품을 캐니스터에 주입하는 작업을 자동화하여 주입된 상태가 고품질 고생산성을 실현할 수 있는 주입장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 반도체 제조 공정에 사용하기 위하여 캐니스터를 화학약품의 종류, 용도, 색상 등의 분류에 따라 자동으로 분배하여 화학 약품을 저장하여 이송되도록 설계된다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 기술적인 특징은 캐니스터(V)가 공급되는 제1공급컨베이어(10)의 양쪽에 설치되는 제1공압실린더(12,12a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하면서 마주보는 한 쌍의 고정구(13,13a)가 설치되고, 제2공압실린더(15)로 승강하여 캐니스터(V) 내부에 공기압을 형성하는 블로우 유니트(14)를 구비하여 캐니스터(V)의 내측면에 설치되는 비닐팩의 파손여부를 검사하는 밀봉상태 검사부(1);
상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마치고 제1공급컨베이어(10)의 배출단부로 이동된 캐니스터(V)에 용액을 주입하고 캡핑할 수 있도록 이동시키기 위하여 제3공압실린더(200)로 작동하는 푸셔(201)로 되는 측방향 이송부(20)와, 수평방향으로 설치되는 제4공압실린더(210)에 고정되면서 상기 측방향 이송부(20)의 푸셔(201)에 의하여 이송된 캐니스터(V)를 협지하여 이동시킬 수 있도록 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(211,211a)와, 상기 고정구(211,211a)에 의하여 협지된 캐니스터(V)를 상승시키기 위하여 수직 방향으로 설치되어 상기 고정구(211,211a)를 승강시키는 제5공압실린더(213)와, 상기 제5공압실린더(213) 및 고정구(211,211a)에 의하여 상승된 캐니스터(V)를 수평방향으로 이송시키는 제6공압실린더(214)로 되는 상부 이송부(21)와, 상기 제6공압실린더(214)에 의하여 이송된 캐니스터를 다수의 계량주입부(3)에 선별적으로 이송시키기 위하여 제2공급컨베이어(220) 상에 직각 방향으로 설치되는 가이드레일(221)에 안내되는 트레이(222)와, 상기 트레이(222)를 가이드 레일(221) 상에서 이동시키는 제7공압실린더(223)와, 상기 트레이(222) 상에서 캐니스터(V)를 향하여 양쪽에 설치되는 제8공압실린더(241,241a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(242,242a)와, 캐니스터(V)를 부양시키기 위하여 회전 가능하게 고정되면서, 한쪽 단부는 수직 방향으로 설치되는 제9공압실린더(243,243a)에 선회 가능하게 고정축(245,245a)으로 고정되고, 다른 한쪽의 단부는 캐니스터(V)의 상부를 지지하는 레버(244,244a)가 상기 고정구(242,242a)의 상부에서 캐니스터(V)의 양쪽에 배치되는 부양이동기구(24)로 되는 분배 이송부(22)와, 상기 트레이(222)를 가이드레일(221) 상에서 왕복 이동시키는 제10공압실린더(247,247a)로 되어 캐니스터(V)를 이송시키는 이송수단(2);
삭제
삭제
삭제
상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)에 화학용액을 정량 투입하기 위하여 제11공압실린더(300) 상에 설치되는 로드셀(301,301a)과, 수평상으로 설치되는 제12공압실린더(302,302a)와, 수직 방향으로 설치되는 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 좌우상하로 이동하는 노즐(304,304a)로 구성되어 상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)가 로드셀(301,301a)에 안착되어 계량되는 상태에서 화학용액을 정량 투입하는 계량 주입부(3);
상기 계량 주입부(3)에 의하여 화학용액이 주입된 캐니스터의 입구측에 딥튜브(40)를 삽입하기 위하여 서버모터(41)에 의하여 회전 가능하게 되어 딥튜브(40)가 방사상으로 설치되는 원판(42)과, 상기 원판(42)에 설치된 딥튜브(40)를 핑거(43)가 파지하여 캐니스터에 주입하기 위하여 수평방향으로 구동하는 제20공압실린더(44)에 고정되어 상하구동하는 제21공압실린더(45)와, 상기 제21공압실린더(45)의 피스톤 로드에 고정되어 수평방향으로 구동하는 제22공압실린더(46)로 구성되는 튜브 인서팅부(4);
상기 계량 주입부(3)와 상기 튜브 인서팅부(4)를 경유한 캐니스터(V)가 부양이동기구(24)에 의하여 공급되면 적재대(500) 내에 적층되는 캡(C)이 제14공압실린더(501)에 의하여 배출될 때마다 단계적으로 상승할 수 있게 되고, 상부에서 제15공압실린더(502)에 의하여 승강하는 유압모터(503)에 회동구(504)가 설치되어 적재대(500)로부터 하나의 캡을 파지하여 인출시킨 다음 회동구(504)의 회전 반경 내에 있는 캐니스터(V)의 입구에 내려놓게 되고, 이러한 캐니스터(V)가 캡핑을 완료할 수 있도록 일측에는 부양이동기구(24)에 의하여 이송된 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(505)이 제16공압실린더(506)에 지지되어 설치되며, 상부에는 가이드레일(507)에 안내되어 제17공압실린더(510)으로 승강이동하는 유압모터(508)에 의하여 회전하면서 캐니스터(V)에 캡이 닫혀지게 하는 회전편(509)이 형성되는 캡핑부(5);
상기 튜브 인서팅부(4)에서 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(600)이 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드레일(602)에 안내되어 승강이동할 수 있게 되어 있고, 하부에는 상기 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드 레일(602,602a)에 안내되어 하강한 테이블(600)상의 캐니스터를 배출구 쪽으로 밀어주기 위하여 제19공압실린더(603)에 고정되는 푸셔(604)가 가이드 레일(605)의 안내되어 수평 방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있고, 상기 푸셔(604)에 의하여 이동된 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키는 제20공압실린더(607)로 되는 배출부(6)로 구성되는 것이다.
삭제
본 발명에 의하면 캐니스터에 화학용액을 주입하는 작업을 자동화할 수 있게 되며, 계량주입부가 다수개로 구성되어 있어서 이종의 용액이 수용되는 캐니스터를 동시에 이송시키고 자동 선별하여 주입 작업을 할 수 있어서 불순물이 주입될 수 있는 우려를 방지하고, 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면에 의하여 설명하면 다음과 같다.
다음의 실시예에서 각 과정별로 이송되는 캐니스터는 작업 위치에 도달하였음을 감지하여 전기적 신호를 출력하는 센서에 의하여 시스템이 구동되는데, 이러한 센서의 감지에 따르는 시스템의 구동은 통상적이고 센서의 위치가 측별히 제한되는 것이 아님으로 도면과 이하의 설명에서는 센서의 도시를 생략하여 설명한다.
본 발명은 밀봉상태 검사부(1); 상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마친 캐니스터에 용액을 주입하고 캡핑하기 위하여 이송시키는 이송수단(2); 상기 이송수단에 의하여 운반된 캐니스터에 용액을 정량 투입하는 계량 주입부(3); 상기 계량 주입부(3)에 의하여 화학용액이 주입된 캐니스터의 입구측에 딥튜브(40)를 삽입는 튜브 인서팅부(4); 상기 계량 주입부(3)에서 용액이 주입되고, 튜브 인서팅부(4)에서 딥튜브(40)가 삽입된 캐니스터(V)의 입구를 캡(C)으로 닫아주는 캡핑부(5); 상기 캡핑부(5)에 의하여 캡핑이 완료된 캐니스터(V)를 배출시키는 배출부(6)를 포함하여 구성된다.
밀봉상태 검사부(1)는 도 4에서 보는 바와 같이 캐니스터(V)가 공급되는 제1공급컨베이어(10)의 양쪽에 설치되는 프레임(11)에 각각 제1공압실린더(12,12a)가 고정되어, 피스톤로드에 고정되어 가이드레일에 안내되는 고정구(13,13a)가 캐니스터(V)를 향하여 서로 마주보며 설치되어 있고, 상부에는 블로우 유니트(14)가 수직 방향으로 고정되는 제2공압실린더(15)의 피스톤로드에 고정되어 승강할 수 있게 되 어 있다.
이송수단(2)은 측방향 이송부(20), 상부 이송부(21), 분배이송부(22)로 구성된다.
측방향 이송부(20)는 도 5에서 보는 바와 같이 상기 제1공급컨베이어(10)의 후단부 상에 설치되는데, 제3공압실린더(200)에 고정된 푸셔(201)가 가이드 레일(202)에 안내되어 푸셔(201)가 캐이스터를 상부 이송부(21)로 밀어서 이송시킬 수 있게 되어 있다.
상부 이송부(21)는 도 6에서 보는 바와 같이 제4공압실린더(210,210a)로 작동하는 한 쌍의 고정구(211,211a)가 가이드레일(212)에 승강 가능하게 설치되고, 상기 고정구(211,211a)의 측면에 수직으로 설치되는 하나의 제5공압실린더(213)와 상부에 수평으로 설치되는 제6공압실린더(214)로 구성되어 캐니스터(V)를 협지하여 상승시킨 다음 수평 방향으로 이송시켜 분배 이송부(22)로 공급할 수 있게 한다.
분배이송부(22)는 도 7에서 보는 바와 같이 제2공급컨베이어(220) 상부에 설치되어 이동하는 가이드레일(221)에 안내되어 제2공급컨베이어(220)의 진행방향에 직각으로 이동하는 트레이(222)와, 제7공압실린더(223)가 설치되고, 상기 트레이(222) 상에 놓여진 캐니스터(V)를 계량주입부(3)와 캡핑부(5)로 이송시키는 부양이동기구(24)로 구성된다.
상기 부양이동기구(24)는 도 8에서 보는 바와 같이 가이드레일(240,240a)에 안내되어 이동하는 프레임(241)에 수평상으로 고정되는 한 쌍의 제8공압실린더(241,241a)에 고정되는 고정구(242,242a)가 캐니스터(V)를 향하여 대향 설치되고, 상부에는 제10공압실린더(247,247a)로 이동하는 각각의 레버(244,244a)가 고정축(245,245a)으로 회전 가능하게 고정되고, 부양이동기구(24)를 구성하는 프레임(241)을 이동시키기 위한 공압이송기구(246)를 구비한다. 상기 레버(244,244a)의 한쪽 단부는 캐니스터(V)의 상단부를 받쳐서 들어 올릴 수 있는 위치에 놓여지고, 다른 한쪽은 단부는 수직 방향으로 고정되는 한 쌍의 제9공압실린더(243,243a)의 피스톤 로드에 힌지축(245,245a)으로 선회가능하게 고정되어 캐니스터(V)를 들어 올려서 계량주입부(3)와 캡핑부(5)로 이송시킬 수 있게 된다.
계량주입부(3)는 도 9에서 보는 바와 같이 제11공압실린더(300) 상에 설치되는 로드셀(301,301a)과, 수평상으로 설치되는 제12공압실린더(302,302a)와, 수직 방향으로 설치되는 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 좌우상하로 이동하는 노즐(304,304a)로 구성되어 상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)가 로드셀(301,301a)에 안착되어 계량되는 상태에서 화학용액을 정량 투입한다.
화학용액이 정량 투입된 캐니스터(V)는 부양이동기구(24)에 의하여 튜브 인서팅부(4)로 이동될 수 있다.
도 10은 튜브 인서팅부(4)를 나타내고 있다.
튜브 인서팅부(4)로 이송되는 캐니스터(V)는 후술하는 배출부(6)의 테이블(600)에 올려놓여진다.
튜브 인서팅부(4)는 계량 주입부(3)에 의하여 화학용액이 주입된 캐니스터의 입구측에 딥튜브(40)를 삽입하기 위하여 서버모터(41)에 의하여 회전 가능하게 되어 딥튜브(40)가 방사상으로 설치되는 원판(42)과, 상기 원판(42)에 설치된 딥튜브(40)를 핑거(43)가 파지하여 캐니스터에 주입하기 위하여 수평방향으로 구동하는 제20공압실린더(44)에 고정되어 상하구동하는 제21공압실린더(45)와, 상기 제21공압실린더(45)의 피스톤 로드에 고정되어 수평방향으로 구동하는 제22공압실린더(46)로 구성된다.
캡핑부(5)는 상기 계량 주입부(3) 및 튜브 인서팅부(4)를 경유한 캐니스터(V)가 부양이동기구(24)에 의하여 공급되는데, 도 11에서 보는 바와 같이 적재대(500) 내에 적층되는 캡(C)이 제14공압실린더(501)에 의하여 배출될 때마다 단계적으로 상승할 수 있게 되고, 상부에서 제15공압실린더(502)에 의하여 승강하는 유압모터(503)에 회동구(504)가 설치되어 적재대(500)로부터 하나의 캡을 파지하여 인출시킨 다음 회동구(504)의 회전 반경 내에 있는 캐니스터(V)의 입구에 내려놓게 되고, 이러한 캐니스터(V)가 캡핑을 완료할 수 있도록 일측에는 도 12에서 보는 바와 같이 부양이동기구(24)에 의하여 이송된 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(505)이 제16공압실린더(506)에 지지되어 설치되며, 상부에는 가이드레일(507)에 안내되어 제17공압실린더(510)으로 승강이동하는 유압모터(508)에 의하여 회전하면서 캐니스터(V)에 캡이 닫혀지게 하는 회전편(509)이 형성되어 있다.
배출부(6)는 도 13에서 보는 바와 같이 튜브 인서팅부(4)에서 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(600)이 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드레일(602)에 안내되어 승강이동할 수 있게 되어 있고, 하부에는 상기 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드 레일(602,602a)에 안내되어 하강한 테이블(600)상의 캐니스터를 배출구 쪽으로 밀어주기 위하여 제19공압실린더(603)에 고정되는 푸셔(604)가 가이드 레일(605)의 안내되어 수평 방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있고, 상기 푸셔(604)에 의하여 이동된 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키는 제20공압실린더(607)로 구성된다.
삭제
이와 같이 구성되는 본 발명이 구동되어 캐니스터가 자동적으로 이송되는 과정에서 밀봉검사와 화학약품의 자동 투입, 캡 밀봉 및 배출 작업이 자동적으로 진행되는 과정을 설명한다.
통상적으로 캐니스터(V)는 내부의 부식을 방지하기 위하여 내주면이 비닐팩(P)으로 감싸여지게 되는데, 상기 비닐팩은 화학약품이 주입되기 전에 누설 여부를 확인하여야 한다.
이러한 밀봉상태 검사부(1)는 캐니스터(V)가 캡(cap)이 없는 상태로 제1공급컨베이어(10)를 타고 이송되어 오면 센서가 감지하여 제1공급 컨베이어(10)가 정지한 다음 제1공압실린더(12,12a)가 구동하여 고정구(13,13a)가 전진하면서 캐니스터(V)의 중심을 정렬시켜주게 된다.
이후 제2공압실린더(15)가 구동하면 블로우 유니트(14)가 하강하여 캐니스터(V) 내부에 공압을 불어넣어서 비닐팩(P)의 누설여부를 검사한다. 여기서 불량상태가 발견된 캐니스터는 작업자에 의하여 이송 라인에서 분리되고, 이상이 없는 캐니스터(V)는 제1공압실린더(12,12a)의 역구동으로 고정구(13,13a)가 후진한 다음 제1이송컨베이어(10)가 재구동함에 따라 후단부로 보내지면 센서에 의하여 다시 제1이송컨베이어(10)가 정지한 다음 이송수단(2)에 의하여 이송되기 위한 대기 상태 에 있게 된다.
이후 측방향 이송부(20)의 제3공압실린더(200)가 구동하면 푸셔(201)가 전진하여 캐니스터(V)를 상부이송부(21)로 이송시킨다.
상부이송부(21)로 이송된 캐니스터(V)는 제4공압실린더(210,210a)가 작동하여 고정구(211,211a)가 캐니스터(V)를 협지한 다음 제5공압실린더(212)가 작동하여 가이드레일(212)에 안내되어 상승한 후 제6공압실린더(214)에 의하여 분배 이송부(22)의 트레이(222) 상부로 이송된다.
분배 이송부(22)의 트레이(222)는 계량 주입부(3)가 설치되는 각 라인까지 선택적으로 이동하여 정지하고, 제7공압실린더(223)에 의하여 가이드레일(221)에 안내되어 부양이동기구(24)가 캐니스터(V)를 인수할 수 있게 한다.
분배이송공급부(22)의 트레이(222)로부터 캐니스터(V)를 인계받은 부양이동기구(24)는 제8공압실린더(241,241a)에 의하여 캐니스터(V)를 협지하여 정렬시킬 수 있게 되고, 제9공압실린더(243,243a)가 작동하여 승강하는 피스톤로드에 의하여 고정축(245,245a)을 중심으로 시소운동을 하는 레버(244,244a)에 의하여 캐니스터(V)를 들어올린 다음 공압이송기구(246)가 작동하여 프레임(241)이 가이드레일(240,240a)에 안내되어 이동함에 따라 캐니스터(V)를 계량주입부(3)와 캡핑부(5)로 이송시킬 수 있게 된다.
이렇게 부양이동기구(24)에 의하여 계량주입부(3)에 공급되는 캐니스터(V)는 로드셀(301,301a) 위에 내려 놓여지게 되고, 이후 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 노즐(304,304a)이 하강하여 캐니스터(V)에 화학용액을 정량 투입한 다음 상승 한다. 이때 제11공압실린더(300,300a)는 로드셀(301,301a) 및 캐니스터(V)를 적정한 위치에 도달하도록 상승시킨다.
계량주입이 완료된 캐니스터(V)는 다시 부양이동기구(24)에 의하여 튜브 인서팅부(4)로 이송되어 딥 튜브 삽입 작업을 마친 다음 캡핑부(5)에 의하여 캡이 고정된다.
이러한 딥튜브 삽입 작업은 상하로 구동하는 제21공압시린더(45)가 하강한 다음 제22공압실린더(46)가 전진하여 핑거(43)가 딥튜브(43)를 파지한 다음 후퇴하면 제21공압실린더(45)가 상승한 다음 제20공압실린더(44)가 수평방향으로 구동하여 캐브스터 상부에 위치한 다음 핑거(43)가 해제되어 딥튜브(40)를 캐니스터에 투입하게 된다.
그 다음, 도 11에서 보는 바와 같이 유압모터(503)가 구동하여 회동구(504)가 적재대(500) 상부로 회전 이동한 다음 제15공압실린더(502)가 하강 및 상승하여 적재대(500)로부터 하나의 캡(C)을 집어올린 다음, 다시 유압모터(508)에 의하여 회전하여 테이블(600) 위에 위치하고 있는 캐니스터(V) 상부로 회전 이동하고, 제7공압실린더(510)가 다시 하강 및 상승하여 캡(C)을 캐니스터(V)의 입구에 안착시킨 다음 원위치로 복귀하게 된다.
이후에 부상이동기구(24)에 의하여 캐니스터(V)가 테이블(505)에 안착되면 제17공압실린더(510)가 구동하여 가이드 레일(507)에 안내되어 하강하는 유압모터(508)가 구동하여 회전편(509)이 회전하면서 캡을 회전시켜서 캡핑작업을 완료하게 된다.
이렇게 캡핑작업이 완료된 캐니스터(V)는 다시 부상이동기구(24)에 의하여 배출부(6)의 테이블(600)에 옮겨 놓여지고, 테이블(601)은 제16공압실린더(601)가 구동하여 가이드 레일(602)에 안내되어 아래쪽으로 내려가게 된다.
이후에 제19공압실린더(603)가 구동하여 푸셔(604)가 가이드레일(605)에 안 내되면서 캐니스터(V)를 배출위치로 이송시키고 원위치하면, 제20공압실린더(607)가 구동하여 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키게 됨으로써 작업을 완료하게 된다.
도 1은 본 발명의 평면도
도 2는 본 발명의 정면도
도 3은 본 발명의 측면도
도 4는 본 발명의 밀봉 상태 검사부
도 5는 본 발명의 측방향 이송부
도 6은 본 발명의 상부 이송부
도 7은 본 발명의 분배 이송부
도 8은 본 발명의 부양 이동 기구
도 9는 본 발명의 계량 주입부
도 10은 본 발명의 튜브 인서팅부
도 11은 본 발명의 캡핑부
도 12는 본 발명의 캡핑부
도 13은 본 발명의 배출부

Claims (1)

  1. 캐니스터(V)가 공급되는 제1공급컨베이어(10)의 양쪽에 설치되는 제1공압실린더(12,12a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하면서 마주보는 한 쌍의 고정구(13,13a)가 설치되고, 제2공압실린더(15)로 승강하여 캐니스터(V) 내부에 공기압을 형성하는 블로우 유니트(14)를 구비하여 캐니스터(V)의 내측면에 설치되는 비닐팩의 파손여부를 검사하는 밀봉상태 검사부(1);
    상기 밀봉상태 검사부(1)에서 밀봉 검사를 마치고 제1공급컨베이어(10)의 배출단부로 이동된 캐니스터(V)에 용액을 주입하고 캡핑할 수 있도록 이동시키는 측방향 이송부(20)와, 수평방향으로 설치되는 제4공압실린더(210)에 고정되면서 상기 측방향 이송부(20)의 푸셔(201)에 의하여 이송된 캐니스터(V)를 협지하여 이동시킬 수 있도록 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(211,211a)와, 상기 고정구(211,211a)에 의하여 협지된 캐니스터(V)를 상승시키기 위하여 수직 방향으로 설치되어 상기 고정구(211,211a)를 승강시키는 제5공압실린더(213)와, 상기 제5공압실린더(213) 및 고정구(211,211a)에 의하여 상승된 캐니스터(V)를 수평방향으로 이송시키는 제6공압실린더(214)로 되는 상부 이송부(21)와, 상기 제6공압실린더(214)에 의하여 이송된 캐니스터를 다수의 계량주입부(3)에 선별적으로 이송시키기 위하여 제2공급컨베이어(220) 상에 직각 방향으로 설치되는 가이드레일(221)에 안내되는 트레이(222)와, 상기 트레이(222)를 가이드 레일(221) 상에서 이동시키는 제7공압실린더(223)와, 상기 트레이(222) 상에서 캐니스터(V)를 향하여 양쪽에 설치되는 제8공압실린더(241,241a)의 피스톤로드에 고정되어 캐니스터(V)를 향하여 마주보는 한 쌍의 고정구(242,242a)와, 캐니스터(V)를 부양시키기 위하여 회전 가능하게 고정되면서, 한쪽 단부는 수직 방향으로 설치되는 제9공압실린더(243,243a)에 선회 가능하게 고정축(245,245a)으로 고정되고, 다른 한쪽의 단부는 캐니스터(V)의 상부를 지지하는 레버(244,244a)가 상기 고정구(242,242a)의 상부에서 캐니스터(V)의 양쪽에 배치되는 부양이동기구(24)로 되는 분배 이송부(22)와, 상기 트레이(222)를 가이드레일(221) 상에서 왕복 이동시키는 제10공압실린더(247,247a)로 되어 캐니스터(V)를 이송시키는 이송수단(2);
    상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터에 용액을 정량 투입하기 위하여 제11공압실린더(300) 상에 설치되는 로드셀(301,301a)과, 수평상으로 설치되는 제12공압실린더(302,302a)와, 수직 방향으로 설치되는 제13공압실린더(303,303a)에 의하여 좌우상하로 이동하는 노즐(304,304a)로 구성되어 상기 이송수단(2)에 의하여 운반된 캐니스터(V)가 로드셀(301,301a)에 안착되어 계량되는 상태에서 화학용액을 정량 투입하는 계량 주입부(3);
    상기 계량 주입부(3)에 의하여 화학용액이 주입된 캐니스터의 입구측에 딥튜브(40)를 삽입하기 위하여 서버모터(41)에 의하여 회전 가능하게 되어 딥튜브(40)가 방사상으로 설치되는 원판(42)과, 상기 원판(42)에 설치된 딥튜브(40)를 핑거(43)가 파지하여 캐니스터에 주입하기 위하여 수평상으로 구동하는 제20공압실린더(44)에 고정되어 상하구동하는 제21공압실린더(45)와, 상기 제21공압실린더(45)의 피스톤 로드에 고정되어 수평상으로 구동하는 제22공압실린더(46)로 구성되는 튜브 인서팅부(4);
    상기 계량 주입부(3)와 상기 튜브 인서팅부(4)를 경유한 캐니스터(V)가 부양이동기구(24)에 의하여 공급되면 적재대(500) 내에 적층되는 캡(C)이 제14공압실린더(501)에 의하여 배출될 때마다 단계적으로 상승할 수 있게 되고, 상부에서 제15공압실린더(502)에 의하여 승강하는 유압모터(503)에 회동구(504)가 설치되어 적재대(500)로부터 하나의 캡을 파지하여 인출시킨 다음 회동구(504)의 회전 반경 내에 있는 캐니스터(V)의 입구에 내려놓게 되고, 이러한 캐니스터(V)가 캡핑을 완료할 수 있도록 일측에는 부양이동기구(24)에 의하여 이송된 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(505)이 제16공압실린더(506)에 지지되어 설치되며, 상부에는 가이드레일(507)에 안내되어 제17공압실린더(510)으로 승강이동하는 유압모터(508)에 의하여 회전하면서 캐니스터(V)에 캡이 닫혀지게 하는 회전편(509)이 형성되는 캡핑부(5);
    상기 튜브 인서팅부(4)에서 캐니스터(V)가 놓여지는 테이블(600)이 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드레일(602)에 안내되어 승강이동할 수 있게 되어 있고, 하부에는 상기 제18공압실린더(601)에 의하여 가이드 레일(602,602a)에 안내되어 하강한 테이블(600)상의 캐니스터를 배출구 쪽으로 밀어주기 위하여 제19공압실린더(603)에 고정되는 푸셔(604)가 가이드 레일(605)의 안내되어 수평 방향으로 이동할 수 있게 설치되어 있고, 상기 푸셔(604)에 의하여 이동된 캐니스터(V)를 배출컨베이어(606)로 이송시키는 제20공압실린더(607)로 되는 배출부(6)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 화학약품 자동 주입 장치.
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