KR101021227B1 - 에어 나이프 - Google Patents

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    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B05B1/04—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape in flat form, e.g. fan-like, sheet-like
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Abstract

본 발명은 에어 나이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 슬릿의 크기를 일정하게 유지할 수 있는 에어 나이프에 관한 것이다.
본 발명에 의한 에어 나이프는 길이방향으로 공간부가 형성되는 몸체 플레이트; 길이방향으로 공간부가 형성되며, 상기 몸체 플레이트와 마주보면서 결합하는 덮개 플레이트; 상기 몸체 플레이트와 덮개 플레이트 사이에 개재되어 일측에 공기를 분사하는 슬릿을 형성하는 스페이서; 및 상기 몸체 플레이트와 덮개 플레이트 사이에 개재되어 상기 슬릿의 크기를 유지시키는 중간부재;를 포함한다.
기판. 에어 나이프. 슬릿. 중간부재.

Description

에어 나이프{AIR KNIFE}
본 발명은 에어 나이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 슬릿의 크기를 일정하게 유지할 수 있는 에어 나이프에 관한 것이다.
평판디스플레이패널이나 반도체를 제조하기 위하여는 다양한 공정 및 장치가 요구되는데, 대표적으로 패턴형성을 위한 식각장치와 세정장치를 들 수 있다.
이 중에서 도 1 및 도 2를 참조하여 종래 세정장치를 설명한다. 도시된 바와 같이, 종래 세정장치는 로딩부(110), 세정부(120), 건조부(130) 및 언로딩부(140)로 이루어진다.
상기 로딩부(110)는 기판(S)에 기체를 분사하여 국부적으로 발생되는 음압으로 기립상태로 유지시키는 제1유지수단(10)과, 기립상태의 기판을 이송하는 이송수단으로서 컨베이어(150)가 구비된다.
상기 세정부(120)는 상기 로딩부(110)로부터 이송된 기판을 기립상태로 유지하면서 식각액을 분사하여 소정 패턴을 형성하는 구성요소로서, 기판에 식각액과 동일한 액체를 분사하여 액체의 부착력으로 기립상태로 유지시키는 제2유지수단(20)과, 기체를 분사하여 국부적으로 발생되는 음압으로 기립상태로 유지시키는 제1유지수단(10)과, 기립상태의 기판을 이송하는 컨베이어(150)가 구비된다. 또한 상기 세정부(120)는 스프레이부재(121,122,123)나 2유체노즐, 브러쉬부재 등이 구비된다.
상기 건조부(130)는 이송된 기판에 고압공기를 분사하여 기판 표면을 건조하는 구성요소로서, 기판에 공기를 분사하여 기립상태로 유지시키는 제1유지수단(10)과, 기립상태의 기판을 이송하는 컨베이어(150)가 구비된다. 또한 상기 기판을 사이에 두고 양측에는 에어나이프(200)가 구비된다.
상기 언로딩부(140)는 기판을 기립상태로 유지시키는 제1유지수단(10)과, 기립상태의 기판을 이송하는 컨베이어(150)가 구비된다.
이와 같이 에어 나이프는 세정장치 뿐 아니라 식각장치 등 다양한 공정에서 필수적으로 사용되는데, 도 3 및 도 4를 참조하여 종래 에어 나이프의 구성을 설명한다.
도 3을 참조하면, 종래의 에어 나이프(200)는 길이방향으로 공간부(211)가 형성되는 몸체 플레이트(210)와 덮개 플레이트(220)가 구비되며, 상기 몸체 플레이트(210)와 덮개 플레이트(220)는 이들 사이에 스페이서(230)를 개재한 상태에서 서로 마주보며 결합된다. 특히, 상기 스페이서(230)는 'ㄷ'자 형태로서 이에 의해 몸체 플레이트(210)와 덮개 플레이트(220)의 일측에 공기를 분사하는 슬릿(도 4의 240 참조)이 형성된다. 상기 공간부(211)의 구비로 인해, 공기를 균일하게 분사할 수 있게 된다.
상기 덮개 플레이트(220)에는 압축공기가 주입되는 홀(221)들이 형성되어 있 다.
이와 같이 구성된 종래의 에어 나이프는 기판 사이즈에 따라 상당한 길이의 슬릿(240)이 구비되는데, 이에 반하여 슬릿(240)은 양단부에 스페이서(230)로 지지될 뿐이다.
따라서 중심으로 갈수록 슬릿(240)의 크기가 일정하게 유지되지 못하고, 작아지거나 또는 커지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 슬릿의 크기를 일정하게 유지할 수 있는 에어 나이프를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 에어 나이프는 길이방향으로 공간부가 형성되는 몸체 플레이트; 길이방향으로 공간부가 형성되며, 상기 몸체 플레이트와 마주보면서 결합하는 덮개 플레이트; 상기 몸체 플레이트와 덮개 플레이트 사이에 개재되어 일측에 공기를 분사하는 슬릿을 형성하는 스페이서; 및 상기 몸체 플레이트와 덮개 플레이트 사이에 개재되어 상기 슬릿의 크기를 유지시키는 중간부재;를 포함한다.
또한 상기 몸체 플레이트 및 덮개 플레이트에는 각각의 상기 공간부를 분할하는 적어도 1 이상의 격벽이 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 중간부재는 상기 몸체 플레이트 및 덮개 플레이트에 형성된 격벽들 사이에 개재되는 것이 바람직하다.
또한 상기 중간부재는 상기 스페이서와 일체형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 슬릿의 크기를 일정하게 유지할 수 있는 효가가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예의 구성 및 작용을 설 명한다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 에어 나이프(300)는 길이방향으로 공간부(311)가 형성되는 몸체 플레이트(310)와 덮개 플레이트(320)가 구비되며, 상기 몸체 플레이트(310)와 덮개 플레이트(320)는 이들 사이에 스페이서(330)를 개재한 상태에서 서로 마주보며 결합된다. 특히, 상기 스페이서(330)는 'ㄷ'자 형태로서 이에 의해 몸체 플레이트(310)와 덮개 플레이트(320)의 일측에 공기를 분사하는 슬릿(도 6의 340 참조)이 형성된다. 상기 공간부(311)의 구비로 인해, 공기를 균일하게 분사할 수 있게된다.
또한 상기 몸체 플레이트(310)와 덮개 플레이트(320)에는 각각에 형성된 공간부(311)를 복수개로 분할하는 격벽(312)들이 복수개 구비되고, 상기 스페이서(330)에는 상기 몸체 플레이트(310)와 덮개 플레이트(320)의 격벽(312)들 사이에 개재되어 상기 슬릿의 크기를 유지시키는 중간부재(331)가 일체로 형성되어 있음을 알 수 있다.
상기 덮개 플레이트(320)에는 압축공기가 주입되는 홀(321)들이 형성되어 있다.
도 6을 참조하면, 상기 슬릿(340) 사이에는 복수의 중간부재(331)들이 개재되어 슬릿(340)의 크기를 일정하게 유지된다.
도 1 및 도 2는 종래 세정장치의 개략도이다.
도 3 및 도 4는 종래 에어나이프를 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 의한 에어 나이프를 나타낸 것이다.

Claims (4)

  1. 길이방향으로 공간부가 형성되는 몸체 플레이트;
    길이방향으로 공간부가 형성되며, 상기 몸체 플레이트와 마주보면서 결합하는 덮개 플레이트;
    상기 몸체 플레이트와 덮개 플레이트 사이에 개재되어 일측에 공기를 분사하는 슬릿을 형성하는 스페이서; 및
    상기 몸체 플레이트와 덮개 플레이트 사이에 개재되어 상기 슬릿의 크기를 유지시키는 중간부재;를 포함하며,
    상기 몸체 플레이트 및 덮개 플레이트에는 각각의 상기 공간부를 분할하는 적어도 1 이상의 격벽이 형성되고, 상기 중간부재는 상기 몸체 플레이트 및 덮개 플레이트에 형성된 격벽들 사이에 개재되는 것을 특징으로 하는 에어 나이프.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 중간부재는 상기 스페이서와 일체형성되는 것을 특징으로 하는 에어 나이프.
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