KR101018958B1

KR101018958B1 - 회전 속도 센서

Info

Publication number: KR101018958B1
Application number: KR1020067008016A
Authority: KR
Inventors: 우도-마틴 고메츠; 라인하르트 노일; 케어스텐 케어; 마르코 로슈닉
Original assignee: 로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date: 2003-10-27
Filing date: 2004-08-13
Publication date: 2011-03-02
Also published as: JP4277025B2; KR20060096063A; EP1682853B1; US20070234803A1; DE10350037A1; JP2006515928A; WO2005045368A1; EP1682853A1

Abstract

본 발명은 독립 청구항의 전제부의 특징들을 포함하는 회전 속도 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 회전 속도 센서는 힘 전달 수단을 구비한다. 본 발명의 핵심은, 상기 수단을 통해 전달된 힘 작용의 주파수가 x축에 대해 평행인 구동 요소의 진동 주파수의 정수배의 주파수라는 데 있다.

회전 속도 센서, 직교 보상, 전극, 회로, 승수기, 직류 전압

Description

회전 속도 센서{ROTATIONAL SPEED SENSOR}

본 발명은 독립 청구항의 전제부의 특징을 포함하는 회전 속도 센서에 관한 것이다.

독일 출원 제102 374 11.2호에 따른 회전 속도 센서는 직교 보상 구조체들(quadrature compensation structure)을 포함하는 선형 진동식 진동 자이로스코프이다. 이러한 유형의 회전 속도 센서는 두 개의 부분 구조체가 기판 표면에 대해 평행하게 구동되는 것을 특징으로 한다. 구동은, 부분 구조체들의 운동 방향이 각각 서로 반대방향이 되도록 수행된다. 두 부분 구조체는 결합 스프링을 통해 기계 역학적으로 서로 연결된다. 이러한 형태의 직교 보상식 회전 속도 센서의 코리올리 요소에는, 이상적인 경우 코리올리 가속도에 의해 발생하는 힘들만이 감지 방향으로 효과적으로 작용한다. 각각의 구동 프레임의 운동 방향에 대해 수직이며 기판의 평면에 놓이는 운동 방향을 감지 방향이라 한다. 그러나, 결합 스프링의 비선형성으로 인해 코리올리 요소에는 구동 프레임의 진동과 같은 위상에 위치하며 두 배의 주파수를 갖는, 바람직하지 않은 진동이 유발된다. 이러한 진동은 다음에서 2f 신호로 언급되는 간섭 신호를 나타낸다. 2f 신호가 코리올리 가속도에 의해 발생하는, 평가될 측정 신호보다 크기 때문에, 힘 보상식 회전 속도 센서의 측정 신호의 평가의 경우 2f 신호는 힘 피드백(feedback)의 설계의 제한을 의미한다. 따라서, 2f 신호를 억제하거나 보상하는 것이 필요하다.

본 발명은 독립 청구항의 전제부의 특징을 포함하는 회전 속도 센서에 관한 것이다. 회전 속도 센서에는 기판, 구동 요소 및 기판의 표면상에 배열된 코리올리 요소를가 제공된다. 코리올리 요소(2a, 2b)는 구동 요소를 통해 x축에 평행하게 진동을 유발시킬 수 있다. x축에 대해 실질적으로 수직으로 제공되는 y축에서의 코리올리 요소들의 편향을 알 수 있다. x축 및 y축은 기판의 표면에 대해 평행하게 되어있다. 본 발명에 따른 회전 속도 센서는 기판과 코리올리 요소 사이에서 동역학적 힘 작용을 전달하기 위한 힘 전달 수단을 포함한다. 본 발명의 핵심은, 상기 수단을 통해 전달된 힘 작용이 하나 이상의 주파수를 갖는데, 이 주파수는 전달된 힘 작용의 주파수가 x축에 대해 평행하는 구동 요소의 진동 주파수의 정수 배수가 되도록 한다. 이러한 유형의 회전 속도 센서를 통해 구동 진동 주파수의 정수 배의 주파수를 갖는 간섭 신호가 보상될 수 있다. 이러한 간섭 신호는 예를 들어, 2f 신호이다.

본 발명에 따른 제1 구성에서 힘 전달 수단은 기판과 코리올리 요소 사이에서 동역학적인 힘 작용을 간접적으로 전달하도록 제공된다. 이는 기판과 감지 요소 사이에서 직접적인 힘 작용을 전달함으로써 수행된다. 이를 위해 감지 요소에서 추가 전극이 사용된다. 감지 요소가 스프링을 통해 코리올리 요소와 결합됨으로써, 기판과 코리올리 요소 사이에 원하는 동역학적 힘 작용이 전달된다.

본 발명의 특히 바람직한 구성에서, 힘 전달 수단은 기판과 코리올리 요소 사이에서 동역학적인 힘 작용을 직접 전달하도록 제공된다. 이는 2f 신호의 보상 시에 유리한데, 이는 상기 신호가 진동시 코리올리 요소에서 직접 형성되기 때문이다. 기판과 코리올리 요소 사이의 직접적인 동역학적 힘 작용을 통해 2f 신호는 그의 원점에서 보상될 수 있다. 이 경우, 힘 전달 수단으로서 직교 보상 구조체들이 사용된다. 이로써, 2f 신호 보상을 위한 추가 구조체가 제공될 필요가 없다.

바람직하게는, 구동 요소에 감지 수단이 제공되며, 이를 통해 구동 요소의 위치가 x축에 대해 평행하게 감지된다. 이를 통해 구동 진동의 정확한 위상 위치가 감지될 수 있다. 또한 바람직하게는, 전달된 힘 작용이 x축에 대해 평행하는 구동 요소의 진동에 대해 고정된 위상 관계를 가지며, 전달된 힘 작용의 위상은 x축에 대해 평행하는 구동 요소의 진동과 관련하여 세팅 가능하다. 이를 통해 2f 신호의 최상의 보상이 달성될 수 있다.

본 발명의 바람직한 다른 구성에서, 힘 전달 수단은, 힘 작용의 진폭이 y축에서의 감지 요소의 편향에 의해 결정되도록 구성된다. 이는 시간에 따라 2f 신호가 변동하여도 상기 신호가 보상될 수 있도록 보장하는 제어를 통해 가능하다. 이로써, 간섭 신호가 빠른 변화 뿐만 아니라 느린 변화에서도, 예를 들어 회전 속도 센서의 수명에 걸친 재료 변경 또는 재료 피로의 경우에도 적절한 진폭으로 보상될 수 있다.

본 발명의 바람직한 다른 구성에서, 서로 대칭으로 배열된 두 개의 코리올리 요소가 제공되며, 특히 코리올리 요소들 사이의 기계적 결합이 제공된다. 코리올리 요소들의 구성은 회전 속도 센서의 고유 기능을 위해서 바람직하다. 이러한 구성에서 본 발명의 장점이 특히 잘 나타난다. 결합은 특히 결합 스프링을 통해 제공된다. 이러한 결합 스프링은, 특히 구동 진동의 두 배의 주파수를 갖는 간섭 신호, 즉 2f 신호가 발생하도록 유도하는 비선형성을 갖는다. 본 발명에 따른 회전 속도 센서가 이러한 2f 신호를 보상할 수 있다.

특히 바람직한 것은, 전달된 힘 작용의 주파수가 구동 요소의 진동 주파수의 전자 기계 역학적 곱셈을 통해 스스로 위상 편이되어 발생한다는 점이다. 이는 예를 들어, 힘 작용이 기판과 코리올리 사이에서 직교 보상 구조체를 통해 직접 전달되는 경우이다. 이러한 결과가 코리올리 요소에 직접 작용함으로써, 신호 평가 회로가 2f 신호와는 상관없이 훨씬 더 고감도로 구성될 수 있다. 이런 방식의 신호 곱셈을 통해, 피승수는 직교 전극 중첩을 통해 기계 역학적 형태로 그리고 승수는 곱셈의 인가된 전압에 의해 전기적 형태로 표시된다. 이때, 힘 작용의 전달을 위해 추가 전극이 제공되지 않는 것이 바람직하다. 2f 신호는 발생 위치에서 직접 보상되며, 여기서 필요한 두 개의 신호 중 하나가 전기적 잡음의 영향을 받지 않고 직접 기계 역학에서 2f 신호의 보상을 위해 사용된다. 2f 신호가 회전 속도 센서를 통해 감지된 회전 속도의 평가를 위한 전자 장치에 관련되기 전에, 2f 신호가 보상된다.

특히 바람직한 것은, 전달된 힘 작용의 주파수가 구동 요소의 진동 주파수의 두 배인 것이다. 이로써, 전달된 힘 작용은 특히 2f 신호를 보상하기에 적합하다.

그 외의 바람직한 실시예는 종속 청구항에 나타난다. 본 발명의 실시예들은 도면에 도시되며 다음에서 더욱 상세히 설명된다.

도1은 종래 기술에 따른 직교 보상 구조체를 포함하는 마이크로 공학적 회전 속도 센서를 도시하는 도면이다.

도2는 추가 전극 및 전자 회로를 통한 동역학적으러 2f 신호를 억제하는 본 발명에 따른 회전 속도 센서를 도시한 개략도이다.

도3은 2f 보상 전압이 고정된 경우 전자 기계 역학적 곱셈을 통해 동역학적으로 2f 신호를 억제하는 본 발명에 따른 회전 속도 센서를 도시한 개략도이다.

도4는 2f 보상 전압이 조정되는 경우 전자 기계 역학적 곱셈을 통해 동역학적으로 2f 신호를 억제하는 본 발명에 따른 다른 회전 속도 센서를 도시한 개략도이다.

도5는 2f 보상 전압 및 직교 보상 전압이 조정되는 경우 전자 기계 역학적 곱셈을 통해 동역학적으로 2f 신호를 억제하는 본 발명에 따른 또 다른 회전 속도 센서를 도시한 개략도이다.

이하에는 실시예를 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도1은 독일 특허 출원 제102 374 11.2호에 설명된 바와 같은, 종래 기술에 따른 직교 보상 구조체를 포함하는 마이크로 공학적 회전 속도 센서를 도시한다. 마이크로 공학적 회전 속도 센서는 복수의 부분 요소, 즉 구동 요소(1a, 1b), 코리올리 요소(2a, 2b) 및 감지 요소(3a, 3b)로 구성된다. 이러한 세가지 요소들은 각각 두 개의 대칭적 부분 요소들로 구성된다. 여기서 설명되는 실시예에서는, 구동 요소(1a, 1b)가 개방된 프레임으로서 형성된다. 구동 요소는 U자 형태의 스프링(4)을 통해 고정 지점(5)과 연결되며, 이 고정 지점은 다시 기판과 고정 연결된다. 구동 요소(1a, 1b)의 내측에는 폐쇄된 프레임을 형성하는 코리올리 요소(2a, 2b)가 구비된다. 코리올리 요소(2a, 2b)는 구동 요소(1a, 1b)와 U자 형태의 스프링(4)을 통해 연결된다. 마찬가지로 폐쇄된 프레임으로 형성되며 감지 수단에 장착되는 감지 요소(3a, 3b)가 코리올리 요소(2a, 2b)의 내측에 구비된다. 감지 요소(3a, 3b)는 코리올리 요소(2a, 2b)와 역시 U 스프링(4)을 통해 연결된다. 구동 요소(1a, 1b)의 서로 대면하여 놓인 양 측면에 빗 모양 구동부(6)가 구동 요소(1a, 1b)를 제1축(X)에 대해 평행하는 진동을 여기할 수 있는 형태로 배열된다. 빗 모양의 구동부(6)는 커패시터 장치이며, 구동부의 전극들(6a, 6b) 사이에 전압의 인가를 통해 힘 작용이 야기된다. 제1 전극(6a)은 구동 요소(1a, 1b)와 견고히 연결된다. 제2 전극(6b)은 기판과 견고히 연결된다. 코리올리 요소(2a, 2b)의 두 부분은 서로 결합 스프링(7)을 통해 연결된다. 도시된 구성에 의해, 구동 요소(1a, 1b)의진동 및 2개의 부분 구조로 된 코리올리 요소(2a, 2b)의 진동이 기계 역학적으로, 회전 속도 신호의 평가를 위해 바람직한 진동 특성을 가질 수 있도록 서로 결합된다. 코리올리 요소(2a, 2b)에는 독일 특허 공보 제102 374 11.2호에 설명된 바와 같은 직교 보상 구조체(8, 9)가 구비된다. 상기 직교 보상 구조체(8, 9)는 부분 요소(2a, 2b)에 여러 형태로 배열될 수 있다. 도1은 단순히 하나의 실시예만 도시한 것이다. 상기 구조체들(8, 9)은, 실질적으로 힘 작용을 제2축(Y)에 대해 평행하게 가할 수 있는 판형 커패시터 구조로 되어있다.

직교 보상 구조체(8, 9)는 마이크로 공학적 구조체의 제조 결함으로 야기되는 직교 신호를 저감시킨다. 상기 전극들을 통해 직류 전압을 인가함으로써 구동 프레임의 운동과 같은 위상에서 주기적인 힘 작용을 코리올리 요소에 가할 수 있다. 이를 통해, 결함으로 인해 야기되는 직교력을 동역학적으로 보상할 수 있다.

도2는 추가 전극 및 전자 회로를 이용하여 동역학적으로 2f 신호를 억제하는 회전 속도 센서의 본 발명에 따른 실시예를 도시한 개략도이다. 구동 요소의 빗 모양 구동부(6)와 코리올리 요소의 직교 보상 구조체(8, 9)가 도시된다. 또한, 축(X)에 대해 평행하는 구동 요소의 편향을 감지하여 하나의 신호로 변환시키도록 구현된 감지 수단(20a, 20b)이 제공된다. 감지 수단(20a, 20b)은 예를 들어, 커패시터 구조체의 판 쌍(20a, 20b)일 수 있다. 또한, 판형 커패시터의 모양으로 형성되고, 정전기적 힘 작용을 감지 요소에 제2축(Y)에 대해 평행하게 가할 수 있는 전극 쌍(21, 22)이 제공된다. 감지 요소는 스프링(4)을 통해 코리올리 요소와 결합된다. 이를 통해 기판과 코리올리 요소 사이에서 힘 작용이 간접적으로 전달된다. 2f 신호의 보상을 위해 전극 쌍(21, 22)에는 적합한 위상으로 신호가 인가되며, 이 신호의 주파수는 구동 요소(1a, 1b)의 진동 주파수보다 두 배 크다. 이를 위해, 감지 수단(20a, 20b)에서 먼저 구동 요소(1a, 1b)의 편향이 검출되며, 평가 회로(200)에서, 주파수 생성기(211)에 의해 생성된 고주파 신호(211a)를 이용하여, 전압 신호(200a) 즉, 구동 진동 신호로 변환된다. 구동 요소 진동의 주파수를 갖는 전압 신호(200a)는 위상 제어 회로(201; phase locked loop-PLL)에 입력된다. 위상 제어 회로는 공지된 회로 배열이며, 그의 출력 신호는 입력 신호에 대해 고정되거나 조정 가능한 비율을 갖고, 그 출력 주파수는 입력 주파수의 배수로 나타난다. 출력 신호(201a)의 위상 관계(202)는 위상 비교기와 루프 필터 사이에 있는 PLL에서 직접 조정된다. 신호(201a)는 신호(200a)의 두 배의 주파수를 갖고, 승수기(204)의 입력단, 즉 조정 가능한 증폭도를 갖는 증폭기의 입력단에 입력된다. 승수기(204)의 다른 입력단에 2f 진동 보상 전압(203a)이 인가된다. 전압(203a)은 직류 전압 공급원으로부터 공급되며, 2f 신호를 가능한 한 완전히 보상하도록 고정 설정된다. 승수기(204)의 출력단에 2f 보상 신호(204a)가 공급된다. 신호(204a)는 두 개의 신호 경로로 나뉘며, 예를 들어, 커패시터(205, 206), 직류 전압 공급원(207), 인버터(208) 및 저항(209, 210)으로 이루어지는 전자 회로를 거쳐 전극쌍(21, 22)으로 유도된다. 전극쌍(21, 22)을 통해, 구동 요소의 두 배의 진동 주파수의 힘 작용이 전달된다. 주기적인 힘 작용과 구동 진동 간의 위상 관계는 위상 조정기(202)를 통해 2f 신호가 보상되도록 조정된다.

상술된 방식으로 2f 신호를 보상하는 회전 속도 센서를 위해 추가적인 전극쌍이 필요하다. 선택적으로, 기존의 전극쌍은 시분할 다중화하여 또는 다른 방법으로 분할하여 사용될 수 있다. 그러나, 어느 경우라도 PLL 및 경우에 따라 시분할 다중화 회로는 회로 기술적으로 비용 부담이 크다. 따라서 회로 기술적으로 비용 부담이 적고, 추가적인 전극쌍이 필요없는, 본 발명에 따른 회전 속도 센서가 이하에서 설명된다.

도3은 2f 보상 전압이 고정된 상태에서 동역학적으로 2f 신호를 억제하는 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 실시예를 개략 도시한다. 2f 신호 보상을 위한 힘 작용은 실시예에서 직교 보상 구조체(8, 9)를 통해 기판과 코리올리 요소 사이에서 직접 전달된다. 구동 전압의 주파수를 갖는 전압 신호(200a)는 승수기(204)에 직접 입력된다. 승수기(204)의 다른 입력단에는 도2에 설명된 바와 같이 2f 진동 보상 전압(203a)이 인가된다. 승수기(204)의 출력단은 위상 보정 회로(300)의 입력단과 연결된다. 이러한 회로(300)의 출력단에는 구동 진동의 주파수와, 적합한 위상과 진폭을 갖는 신호(300a), 즉 2f 보상 신호(300a)가 2f 신호를 억제시키기 위해 인가된다. 신호(300a)는 커패시터(301)를 통해 직교 보상 구조체(8, 9)에 입력된다. 또한 직류 전압 공급원(302)으로부터 직교 보상 전압(302a)이 저항(303)을 통해 직교 보상 구조체(8, 9)에 인가된다. 도3에 도시된 본 발명에 따른 회전 속도 센서는 힘을 코리올리 요소로 전달시키기 위해 직교 보상 구조체(8, 9)를 사용한다. 직교 보상 구조체(8, 9)의 원래의 사용 목적은 직류 전압(302a)의 인가를 제공하기 위한 것이며, 이 직류 전압은 시간에 따라 변하는 직교 전극들(8, 9)의 중첩을 통해 시간에 따라 변하는 힘 작용이 코리올리 요소에 미치게 한다. 본 발명의 이러한 실시예에 따르면, 설명된 회로 구성에 의해, 상기 직류 전압(302a)에, 그 주파수가 구동 프레임 진동의 주파수에 일치하는 적합한 형태의 교류 전압(300a)이 가산된다. 구동 진동 신호(200a)를 기준으로 2f 신호 보상을 발생시키기에 적합한, 보상 신호(300a)의 위상 위치를 세팅하기 위해, 예를 들어 올패스(all-pass) 필터 또는 디지털 지연 부재와 같은 위상 시프트 회로(300)가 제공된다. 도2에 도시된 회로 구성의 경우와 같이, 필요한 2f 신호 보상의 정도는 직류 전압(203a)에 의해 세팅된다.

도4는 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 동역학적 2f 신호 억제를 행하는 회전 속도 센서를 개략 도시한다. 도3에 따른 구성과는 다르게 이 실시예에서는 2f 보상 신호의 진폭이 조절된다. 회전 속도 센서는 예를 들어, 판형 커패시터 형태의 전극쌍으로 구성될 수 있는 감지 수단(40, 41)을 포함한다. 감지 수단(40, 41)에서 먼저 축(Y)에 대해 평행하는 방향으로의 감지 요소의 편향이 감지되며, 평가 회로(200)에서 주파수 생성기(211)에 의해 생성된 고주파 신호(211a)에 의해 전압 신호(400a) 즉, 감지 진동 신호(400a)로 변환된다. 구동 진동 신호(200a)가 위상 제어 회로(401)에 공급된다. 위상 제어 회로(401)의 출력단에 구동 진동 신호(200a)의 두 배의 주파수를 갖는 신호(401a)가 제공된다. 신호(401a) 및 감지 진동 신호(400a)는 승수기(402)의 입력단들에 인가된다. 이러한 회로를 통해, 감지 진동 신호(400a)가 구동 진동 신호(200a)의 두 배의 주파수와 동기하여 복조된다. 승수기(402)의 출력단에 있는 복조된 신호(402a)는 출력단에 신호(403a)를 생성하는 비례-적분-미분-제어기(PID 제어기)에 공급된다. 이러한 PID 제어기는 출력단에서 2f 신호의 보상을 위해 필요한 전압이 항상 정확하게 세팅되도록 구성된다. 그 외의 신호 경로 및 작동 방식은 도3에 도시된 실시예에 상응한다.

도5는 동역학적으로 2f 신호를 억제하는 회전 속도 센서의 또다른 실시예를 도시하는 개략도이다. 도5에 도시된 실시예는 도4에 도시된 실시예에 상응하나, 직교 보상 제어기 추가로 제공된다. 먼저, 구동 진동 신호(200a)가 위상 제어 회로(500)에 공급된다. 위상 제어 회로(500)의 출력단에서 구동 진동 신호(200a)의 주파수를 갖는 신호(500a)가 생성된다. 신호(500a) 및 감지 진동 신호(400a)가 승수기(501)의 입력단들에 인가된다. 이러한 회로를 통해 감지 진동 신호(400a)가 구동 진동 신호(200a)의 주파수와 기하여 복조된다. 승수기(501)의 출력단에 있는 복조된 신호(501a)는, 출력단에서 신호(502a)를 생성하는 PID 제어기(502)에 입력된다. 이러한 PID 제어기(502)는, 출력단에서 직교 신호의 보상에 필요한 직류 전압(502a)이 항상 정확하게 세팅되도록 구성된다. 이러한 제어된 전압(502a)은 도3과 유사하게, 고정된 직류 전압(302a) 대신 직교 보상 구조체(8, 9)에 공급된다. 그 외의 신호 경로 및 작동 방식은 도4에 도시된 실시 형태에 상응한다.

도3, 도4 및 도5에 도시된, 본 발명에 따른 회전 속도 센서의 실시예의 경우, 회로 기술적으로 직교 보상 구조체(8, 9)에 인가되는 직류 전압이 2f 보상 신호의 진폭보다 크게 되어있는 것에 대해 주의해야 한다. 이러한 경우가 아니라면, 도2에서처럼, 서로 대면하여 놓이는 전극에 상응하는 직류 전압을 인가함으로써 적합한 직교 보상이 수행될 수 있다.

Claims

기판, 구동 요소(1a, 1b), 및 기판의 표면상에 배열된 코리올리 요소(2a, 2b)를 포함하는 회전 속도 센서이며,

상기 코리올리 요소(2a, 2b)는 구동 요소(1a, 1b)를 이용하여 제1축(X)에 대해 평행하는 진동을 유발할 수 있으며,

제1축(X)에 대해 실질적으로 수직인 제2축(Y)에서의 코리올리 요소들(2a, 2b)의 편향이 감지 가능하며,

제1축 및 제2축(X, Y)이 기판의 표면에 대해 평행하게 되어있고, 기판과 코리올리 요소(2a, 2b) 사이에서 동역학적 힘 작용을 전달하기 위한 힘 전달 수단(8, 9, 21, 22)이 제공되는 회전 속도 센서에 있어서,

상기 수단(8, 9, 21, 22)을 통해 전달된 힘 작용은, 제1축(X)에 대해 평행하는 구동 요소의 진동 주파수의 정수 배수인 하나 이상의 주파수를 갖는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 상기 수단(8, 9)은 기판과 코리올리 요소(2a, 2b) 사이에서 동역학적인 힘 작용을 직접 전달하도록 제공되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 상기 수단(21, 22)은 기판과 코리올리 요소(2a, 2b) 사이에서는 동역학적인 힘 작용을 간접적으로 전달하고, 기판과 감지 요소(3a, 3b) 사이에서는 직접적인 힘 작용이 전달되도록 제공되며, 감지 요소(3a, 3b)는 코리올리 요소와 스프링(4)에 의해 연결되어 있어서 기판과 코리올리 요소(2a, 2b) 사이에서 동역학적 힘 작용이 전달되도록 되어있는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 제1축(X)에 대해 평행하게 구동 요소의 위치를 감지하는 감지 수단(20a, 20b)이 제공되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 전달된 상기 힘 작용은 제1축(X)에 대해 평행하는 구동 요소의 진동에 대해 고정된 위상 관계를 갖는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 상기 수단을 통해 전달된 힘 작용의 위상은 제1축(X)에 대해 평행하는 구동 요소의 진동과 관련하여 세팅 가능한 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 상기 수단(8, 9)은, 힘 작용의 진폭이 제2축(Y)에서의 감지 요소(2a, 2b)의 편향에 의해 결정되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 서로 대칭으로 배열된 두 개의 코리올리 요소(2a, 2b)가 제공되며, 상기 코리올리 요소들(2a, 2b) 사이가 결합되는 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제8항에 있어서, 상기 결합은 기계 역학적 결합인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 전달된 힘 작용의 주파수는 전자 기계 역학적 승산의 합이며, 피승수는 구동 요소(1a, 1b)의 진동 주파수를 갖는 신호이며, 승수는 피승수에 대해 위상 편이된 구동 요소(1a, 1b)의 진동 주파수를 갖는 신호인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.
제1항에 있어서, 전달된 힘 작용의 주파수가 구동 요소(1a, 1b)의 진동 주파수의 두 배인 것을 특징으로 하는 회전 속도 센서.