KR101016391B1 - 평판 표시 소자 검사용 프로브 유닛, 그리고 이를 포함하는평판 표시 소자 검사 장치 - Google Patents

평판 표시 소자 검사용 프로브 유닛, 그리고 이를 포함하는평판 표시 소자 검사 장치 Download PDF

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Abstract

개시된 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛 및 이를 포함하는 전기 검사 장치는 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트의 일측에 설치되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되고, 상기 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉하여 상기 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가하는 접촉부와, 상기 고정부와 접촉부 사이에 위치하고, 상기 접촉부가 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 상기 고정부와 연결된 접촉부의 움직임을 안내하는 안내부, 그리고 상기 고정부를 향하여 프레싱함에 의해 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격되게 설치되고, 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킴으로써 상기 접촉부와 평판 표시 소자의 현재 상태를 확인하기 위한 프레싱부를 포함한다.

Description

평판 표시 소자 검사용 프로브 유닛, 그리고 이를 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치{Probe unit , and apparatus of inspecting electric condition having the same}
본 발명은 평판 표시 소자 검사용 프로브 유닛, 그리고 이를 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 평판 표시 소자의 전기적 상태를 검사할 때 사용하는 평판 표시 소자 검사용 프로브 유닛, 그리고 이를 포함하는 평판 표시 소자의 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 소자(LCD), 플라즈마 표시 소자(PDP), 유기EL 등과 같은 평판 표시 소자의 제조에서는 셀(cell)공정 중에 평판 표시 소자로 제조하기 위한 패널, 즉 글래스 패널(glass panel)에 대한 전기적 상태를 검사한다. 특히, 언급한 전기적 검사에서는 주로 상기 평판 표시 소자의 글래스 패널에 전기 신호를 인가함에 따라 디스플레이되는 패널의 결점 상태의 유무를 확인한다. 이에, 상기 평판 표시 소자의 검사에서는 주로 프로브 스테이션(probe station)으로 통칭되는 검사 장치를 사용한다. 그리고 언급한 평판 표시 소자의 검사에 이용되는 검사 장치는 평판 표시 소자와 전기 접촉하는 프로브 유닛을 구비한다.
그러나 언급한 프로브 유닛을 구비하는 검사 장치를 사용한 평판 표시 소자의 전기 검사에서는 프로브 유닛이 평판 표시 소자에 정확하게 전기 접촉하지 못하는 상황이 빈번하게 발생한다. 이에, 종래에는 평판 표시 소자에 전기 접촉된 상태에 있는 프로브 유닛을 작업자가 강제로 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시켜 프로브 유닛과 평판 표시 소자의 현재 상태를 확인하였다. 그러나 언급한 바와 같이 작업자가 강제로 프로브 유닛을 조작함으로써 프로브 유닛을 손상시키는 결과를 초래한다. 아울러, 종래에는 프로브 유닛에 충격을 가하는 조작 등을 통하여 프로브 유닛의 정렬 상태 등을 조절하고 있다. 이에, 프로브 유닛에 구비되는 엘엠 가이드(L/M guide) 등과 같은 부재가 손상되는 상황도 빈번하게 발생한다.
본 발명의 일 목적은 안정적인 취급이 가능한 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 언급한 프로브 유닛을 구비하는 평판 표시 소자 검사 장치를 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따른 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛은 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트의 일측에 설치되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되고, 상기 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉하여 상기 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가하는 접촉부와, 상기 고정부와 접촉부 사이에 위치하고, 상기 접촉부가 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 상기 고정부와 연결된 접촉부의 움직임을 안내하는 안내부, 그리고 상기 고정부를 향하여 프레싱(pressing)시킴으로써 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 상기 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 들어 올려지게 설치되고, 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 상측으로 들어 올림으로써 상기 접촉부와 평판 표시 소자의 현재 상태를 확인하기 위한 프레싱부를 포함한다.
상기 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛의 일 실시예에서, 상기 프레싱부는 상기 고정부 및 접촉부의 측면 모두에 연결 설치되거나 상기 고정부 및 접촉부 중에서 어느 하나의 측면에 연결 설치되는 연결-바, 그리고 상기 연결-바와 연결됨과 아울러 상기 고정부를 향하여 프레싱이 가능하게 위치하는 레버를 포함할 수 있다. 또한, 상기 프레싱부는 상기 프레싱부의 레버와 상기 레버가 위치하는 고정부 각각에는 나사 결합이 가능한 홈을 갖고, 상기 프레싱부의 레버와 상기 레버가 위치하는 고정부 사이를 나사 결합하는 나사 결합부를 더 포함할 수도 있다.
상기 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛의 일 실시예에서, 외부 충격으로부터 상기 안내부를 보호하게 상기 안내부를 커버하는 보호부를 더 포함할 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따른 평판 표시 소자 검사 장치는 외부로부터 평판 표시 소자를 이송받아 지지하는 서브-테이블 유닛과, 상기 서브-테이블 유닛으로부터 상기 평판 표시 소자를 이송받아 지지하는 워크-테이블 유닛과, 상기 워크-테이블 유닛에 지지되고, 상기 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트, 및 상기 플레이트의 일측에 설치되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되고, 상기 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉하여 상기 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가하는 접촉부와, 상기 고정부와 접촉부 사이에 위치하고, 상기 접촉부가 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 상기 고정부와 연결된 접촉부의 움직임을 안내하는 안내부, 그리고 상기 고정부를 향하여 프레싱(pressing)시킴으로써 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 상기 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 들어 올려지게 설치되고, 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 상측으로 들어 올림으로써 상기 접촉부와 평판 표시 소자의 현재 상태를 확인하기 위한 프레싱부를 구비하는 프로브 유닛을 포함한다.
상기 평판 표시 소자 검사 장치의 일 실시예에서, 상기 서브-테이블 유닛과 상기 워크-테이블 유닛 사이에 위치하고, 상기 서브-테이블 유닛으로부터 상기 워크-테이블 유닛 또는 상기 워크-테이블 유닛으로부터 상기 서브-테이블 유닛으로 상기 평판 표시 소자를 이송하는 캐리어 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 평판 표시 소자 검사 장치의 일 실시예에서, 상기 프로브 유닛의 상기 프레싱부는 상기 고정부 및 접촉부의 측면 모두에 연결 설치되거나 상기 고정부 및 접촉부 중에서 어느 하나의 측면에 연결 설치되는 연결-바, 그리고 상기 연결-바와 연결됨과 아울러 상기 고정부를 향하여 프레싱이 가능하게 위치하는 레버를 포함할 수 있다.
상기 평판 표시 소자 검사 장치의 일 실시예에서, 상기 프로브 유닛은 외부 충격으로부터 상기 안내부를 보호하게 상기 안내부를 커버하는 보호부를 더 포함할 수 있다.
언급한 본 발명에 따른 프로브 유닛은 프레싱이 가능한 프레싱부를 구비함으로써 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 프로브 유닛을 평판 표시 소자로부터 안정적으로 이격시킬 수 있다. 이에, 작업자가 강제로 프로브 유닛을 취급함에 의해 발생하는 프로브 유닛의 손상을 충분하게 감소시킬 수 있다. 아울러, 본 발명에 따른 프로브 유닛은 외부 충격으로부터 프로브 유닛을 보호하는 보호부를 구비함으 로써 프로브 유닛의 정렬 상태 등의 조절을 위하여 프로브 유닛에 충격을 가하여도 프로브 유닛의 손상을 충분하게 감소시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 안정적인 취급이 가능한 프로브 유닛을 제공하여 프로브 유닛의 손상을 충분하게 감소시킴으로써 평판 표시 소자의 전기 검사를 보다 정확하게 수행할 수 있는 이점을 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또 는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛을 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 프로브 유닛이 플레이트에 설치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛(100)은 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트(21)의 일측에 설치된다. 특히, 언급한 프로브 유닛(100)은 다수개가 플레이트(21)의 일측에 설치된다. 여기서, 플레이트(21)는 사각형의 프레임 구조를 갖는다. 즉, 플레이트(21)는 사각의 테두리를 갖는 구조로 구비된다. 이는, 전기 검사를 위한 평판 표시 소자가 사각형의 구조를 갖기 때문이다. 이에, 전기 검사를 수행할 때 평판 표시 소자를 사각의 테두리 구조를 갖는 플레이트(21) 내부의 공간(A)에 위치시키고, 언급한 프로브 유닛(100)을 사용하여 평판 표시 소자에 전기 접촉시킨다.
여기서, 언급한 프로브 유닛(100)이 설치되는 플레이트(21)에 대한 일 예는 본 출원인이 대한민국 특허청에 2004년 12월 4일자 특허 출원번호 제2004-101520호로 출원하고, 2006년 4월 28일자 특허 등록번호 제576,947호로 등록받은 "평판디스플레이 패널 검사 장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법"에 개략적으로 개시되어 있다. 아울러 언급한 프로브 유닛(100)에 대한 일 예는 본 출원인이 대한민국 특허청에 2003년 12월 24일자 특허 출원번호 제2003-96903호로 출원하고, 2006년 7월 5일자 특허 등록번호 제599,989호로 등록받은 "프로브 유닛을 이용한 프로브 장 치"에 개략적으로 개시되어 있다.
구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(100)은 고정부(11), 접촉부(13), 안내부(15), 프레싱부(17) 등을 포함한다.
고정부(11)는 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트(21) 일측에 설치된다. 그리고 접촉부(13)는 고정부(11)와 연결되고, 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 평판 표시 소자와 전기 접촉하여 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가한다. 특히, 언급한 접촉부(13)의 경우에는 그 단부에 프로브 팁(13a)들이 구비된다. 즉, 접촉부(13)의 단부에는 평판 표시 소자의 패드와 직접 전기 접촉하는 프로브 팁(13a)들이 구비되는 것이다. 아울러, 안내부(15)는 고정부(11)와 접촉부(13) 사이에 위치하고, 접촉부(13)가 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 고정부(11)와 연결된 접촉부(13)의 움직임을 안내한다. 즉, 안내부(15)는 접촉부(13)가 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 고정부(11)의 상,하로 움직이는 움직임을 안내하는 것이다. 이에, 언급한 안내부(15)는 고정부(11)의 상,하로 접촉부의 움직임을 안내하는 엘/엠 가이드(L/M guide) 등을 포함할 수 있다. 이와 같이, 언급한 엘/엠 가이드 등과 같은 안내부(15)를 구비하는 것은 평판 표시 소자에 전기 접촉할 때 프로브 유닛(100)이 다소 가압되기 때문이다.
도 3은 도 1의 프로브 유닛에 구비되는 프레싱부를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 3을 참조하면, 프로브 유닛(100)에 구비되는 프레싱부(17)로써 언급한 프 레싱부(17)는 고정부(11)를 향하여 프레싱(pressing)함에 의해 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시키게 설치된다. 즉, 언급한 프레싱부(17)는 고정부(11)를 향하여 프레싱시킴으로써 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 들어 올려지게 설치되는 것이다. 즉, 프레싱부(17)는 지래대 원리를 응용하여 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 들어 올려지게 설치되는 것이다.
특히, 언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 프레싱부(17)는 레버(lever)(17a), 연결-바(17b) 및 부착부(17c)를 포함한다. 특히, 언급한 부착부(17c)는 주로 접촉부(13)와 결합된다. 이때, 부착부(17c)는 접촉부(13)의 한 지점과 결합될 수 있다. 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이 부착부(17c)에는 홈이 형성되고, 접촉부(13)에는 접촉부(13)의 일면으로부터 돌출되는 돌출부(13b)가 형성됨으로써, 언급한 부착부(17c)의 홈에 접촉부(13)의 돌출부(13b)가 끼워지게 결합하는 것이다. 그리고 부착부(17c)의 결합 구조에 대한 다른 예로서는 부착부(17c)를 접촉부(13)에 나사 결합시킬 수도 있다. 이와 같이, 부착부(17c)와 접촉부(13)에 대한 결합 구조는 언급한 예들에 한정되지 않는다.
그리고 연결-바(17b)는 부착부(17a)와 연결되며, 특히 고정부(11)에 회동 가능하게 구비된다. 일 예로써, 도 3에 도시된 바와 같이 고정부(11)의 측면에 홀(hole)을 형성하고, 연결-바(17b)를 고정부(11)의 측면에 형성한 홀에 삽입하는 것이다. 다른 예로써, 측면에 홀을 갖는 별도의 부재를 고정부(11)에 마련하고, 그리고 연결-바(17b)를 언급한 별도의 부재에 형성된 홀에 삽입하는 것이다. 특히, 별도의 부재를 마련할 경우에는 고정부(11)에 홀을 형성할 필요는 없다.
또한, 레버(17a)는 연결-바(17b)와 연결되며, 고정부(11)의 상면을 향하여 프레싱이 가능하게 위치하도록 설치된다. 이와 같이, 레버(17a)가 고정부(11)의 상면을 향하여 프레싱될 경우 연결-바(17b)는 상기 고정부(11)를 중심으로 회동하고, 부착부(17c)가 상방으로 이동한다. 아울러, 부착부(17c)의 이동에 따라 부착부(17c)에 연결 고정된 접촉부(13)도 상방으로 이동한다. 이에, 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킬 수 있다.
이와 같이, 프레싱부(17)를 고정부(11)를 향하여 프레싱되면 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킬 수 있는 것이다.
아울러, 본 발명의 일 실시예에서는 언급한 연결-바(17b) 및 레버(17a)를 구비하는 프레싱부(17)에 대하여 설명하고 있으나, 고정부(11)를 향하여 프레싱함에 의해 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킬 수 있을 경우 프레싱부(17)는 연결-바(17a)만을 단독으로 구비하는 것도 가능하다. 즉, 언급한 프레싱부(17)는 고정부(11)를 향하여 프레싱하는 지래대 원리를 이용하여 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킬 수 있을 경우에는 그 구조에 한정되는 않는 것이다.
한편, 프레싱부(17)는 고정부(11) 및 접속부(13)의 일측을 커버하도록 구비 할 수 있으므로 고정부(11)와 접속부(13) 사이의 안내부(15)도 커버한다. 이에, 프레싱부(17)는 안내부(15)를 커버하여 외부의 충격으로부터 안내부(15)를 보호할 수도 있다. 또한, 프레싱부(17)는 고정부(11) 및 접속부(13)의 일측 뿐만 아니라 반대되는 타측을 커버하도록 연장될 수 있다. 따라서 프레싱부(17)는 안내부(15)의 양측을 모두 커버하여 안내부(15)를 보호할 수 있다.
이와 같이, 프레싱부(17)를 고정부와 접촉의 일측을 커버하는 구조로 구비하여 안내부(15)를 보호함으로써, 안내부(15)로 오염원 등이 유입되는 것을 방지할 수 있고, 프로브 유닛(100)의 정렬 상태 등을 조절하기 위하여 프로브 유닛(100)에 충격을 가하여도 안내부(15)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
따라서 프레싱부(17)를 이용하여 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시키는 것은 접촉부(13)와 평판 표시 소자의 현재 상태를 보다 적극적으로 확인하기 위함이다. 즉, 평판 표시 소자에 대한 전기 검사의 수행을 위하여 프로브 유닛(100)을 평판 표시 소자에 전기 접촉시킴에도 불구하고 전기 신호가 인가되지 않을 때 프레싱부(17)를 사용하여 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킴으로써 전기 신호가 인가되지 않는 원인 등을 분석하기 위함이다. 예를 들어, 접촉부(13), 평판 표시 소자의 패드 등에 오염원이 잔류함에 의해 프로브 유닛(100)을 평판 표시 소자에 전기 접촉시킴에도 불구하고 전기 신호가 인가되지 않을 경우 언급한 바와 같이 프레싱부(17)를 사용하여 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킨 후, 오염원 등을 제거하는 것이다. 즉, 종래에는 프로브 유닛(100)을 평판 표시 소자에 전기 접촉시킴에도 불구하고 전기 신호가 인가되지 않을 경우 작업자가 강제로 프로브 유닛(100)을 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시켜 전기 신호가 인가되지 않는 원인 등을 분석하였으나, 본 발명에서는 언급한 프레싱부(17)를 사용하여 프로브 유닛(100)의 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시켜 전기 신호가 인가되지 않는 원인 등을 분석하는 것이다. 이와 같이, 작업자가 강제로 프로브 유닛(100)을 취급하는 것과는 달리 본 발명의 일 실시예에 따른 프레싱부(17)를 이용할 경우에는 지래대 원리로 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 들어 올림으로써 작업자의 작은 힘만으로도 프로브 유닛을 안정하게 평판 표시소자로부터 들어 올릴 수 있고, 그 결과 프로브 유닛(100)에 가해지는 손상 등을 충분하게 줄일 수 있다. 언급한 프로브 유닛(100)에 가해지는 손상의 예로서는 프로브 팁(13a)들의 손상, 프로브 유닛(100)에 전기 인가를 위하여 연결되는 플랙시블-인쇄회로기판의 손상 등을 들 수 있다.
또한, 프레싱부(17)는 결합 나사부(17d)를 더 구비할 수 있다. 아울러, 언급한 바와 같이 프레싱부(17)가 결합 나사부(17d)를 구비할 경우에는 결합 나사부(17d)가 나사 결합 가능하게 프레싱부(17)의 레버(17a)와 레버(17a)가 위치하는 고정부(11) 각각에 홈(18a, 18b)을 형성하는 것이 적절하다. 이와 같이, 프레싱부(17)가 결합 나사부(17d)를 더 구비함으로써, 결합 나사부(17d)는 레버(17a)에 형성된 홈(18a)과 고정부(11)에 형성된 홈(18b) 각각의 사이에서 나사 결합하게 된다. 이에, 작업자는 결합 나사부(17d)를 조절함에 의해 레버(17a)를 고정부(11) 상 측 방향으로 가압할 수 있고, 아울러 결합 나사부(17d)의 회전수에 따라 프로브 유닛(100)이 평판 표시소자로부터 들어 올려지는 이동 거리도 조절 가능할 수 있고, 프레싱부(17)에 의해 프로브 유닛(100)을 평판 표시소자로부터 들어 올려진 이후 레버(17a)와 고정부(11) 사이의 이격 위치도 고정할 수도 있다. 아울러 레버(17a)와 고정부(11) 사이를 나사 결합부(17d)를 사용하여 나사 결합시키는 구조 이외에도 다양하게 마련할 수도 있다.
또한, 언급한 프로브 유닛(100)은 다수개가 플레이트(21)의 일측에 설치되기 때문에 프로브 유닛(100) 각각에 프레싱부(17)를 각각 구비한다. 이와 같이, 플레이트(21)의 일측에 다수개의 프로브 유닛(100)이 설치될 경우 프로브 유닛(100) 각각에 프레싱부(17)를 각각 구비시킴으로써 프로브 유닛(100) 각각에 대한 개별 조작이 가능하다.
따라서 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(100)은 프레싱부(17)를 구비함으로써 작업자의 강제적 동작이 아니더라도 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부(13)를 평판 표시 소자로부터 상측으로 이격시킬 수 있고, 이를 통하여 프로브 유닛(100)에 가해지는 손상을 충분하게 감소시킬 수 있다.
도 4는 도 1의 프로브 유닛에 구비되는 보호부를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 4를 참조하면, 프로브 유닛(100)에 구비되는 보호부(41)로써 언급한 보호부(41)는 안내부(15)를 보호하게 설치된다. 즉, 보호부(41)는 외부 충격으로부터 안내부(15)를 보호하게 안내부(15)를 커버하는 구조를 갖는다. 여기서, 보호부(41) 는 안내부(15)가 노출되는 일측에 설치될 수 있다. 즉, 프로브 유닛(100)의 정렬 상태 등을 조절하기 위하여 프로브 유닛(100)에 충격을 가하는 일측에 설치되는 것이다. 이에, 보호부(41)는 안내부(15)를 포함하는 그 주변에 위치하는 패널 등과 같은 부재(41a) 및 패널 등과 같은 부재(41a)를 프로브 유닛(100)에 고정시키는 고정-핀 등과 같은 부재(41b) 포함할 수 있다.
아울러, 상기 보호부(41)를 도 3에 도시된 프레싱부(17)와 연결되게 일체로도 구비시킬 수도 있다. 따라서, 상기 보호부(41)와 상기 프레싱부(17)를 이용하여 상기 안내부(15)의 양측면 모두를 보호할 수 있다.
이와 같이, 보호부(41)는 구비하여 안내부(15)를 보호하는 것은 안내부(15)로 오염원 등이 유입되는 것을 방지하기 위함이고, 더불어 프로브 유닛(100)의 정렬 상태 등을 조절하기 위하여 프로브 유닛(100)에 충격을 가하여도 안내부(15)가 손상되는 것을 방지하기 위함이다. 이에, 언급한 보호부(41)를 구비하여 안내부(15)를 보호함으로써 안내부(15)에 의해 그 움직임이 안내되는 접촉부(13)의 초기 세팅 상태를 계속적으로 유지시킬 수 있고, 그 결과 프로브 유닛(100)과 평판 표시 소자의 정확한 전기 접촉을 계속적으로 유지할 수 있다.
따라서 본 발명의 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛(100)은 언급한 프레싱부(17)와 보호부(41)를 구비시킴으로써 프로브 유닛(100)과 평판 표시 소자의 접촉 상태를 정확하고 계속적으로 유지할 수 있고, 이에 평판 표시 소자의 전기 검사에 따른 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.
이하, 언급한 프로브 유닛을 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 5는 도 1의 프로브 유닛을 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 5를 참조하면, 평판 표시 소자 검사 장치(500)는 서브-테이블 유닛(51), 워크-테이블 유닛(53) 그리고 캐리어 유닛(55) 등을 포함한다.
구체적으로, 서브-테이블 유닛(51)은 로더(loader) 등과 같은 부재를 사용하여 외부로부터 이송되는 평판 표시 소자를 수용하여 지지하는 부재로써, 이송이 이루어진 평판 표시 소자의 각도 등을 평판 표시 소자의 결점 유무 상태의 검사를 위한 위치에 적합하게 틸팅(tilting)시킨다. 여기서, 언급하고 있는 평판 표시 소자의 결점 유무 상태를 검사하기 위한 것으로써, 완성된 평판 표시 소자 자체를 표현하는 것이 아니라 평판 표시 소자로 제조하기 위한 글래스 패널로 이해할 수 있다.
그리고 워크-테이블 유닛(53)은 서브-테이블 유닛(51)으로부터 이송된 평판 표시 소자를 수용하여 지지하는 부재로써, 이송이 이루어진 평판 표시 소자의 결점 유무 상태의 검사를 위한 위치에 적합하게 정렬시킨다. 여기서, 워크-테이블 유닛(53)에서 이루어지는 평판 표시 소자의 정렬은 주로 평판 표시 소자의 얼라인 마크(주로 '+'로 표시됨)를 이용한다. 아울러, 워크-테이블 유닛(53)에는 평판 표시 소자와 접촉함에 의해 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가하여 평판 표시 소자의 전기적 상태를 검사하기 위한 프로브 유닛(100)이 설치된다. 또한, 워크-테이블 유닛(53)에는 플레이트(21)도 함께 위치한다.
여기서, 언급한 프로브 유닛(100), 플레이트(21)의 경우에는 도 1 및 도 2의 프로브 유닛(100), 플레이트(21)와 동일하기 때문에 동일 부호를 사용하고, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한, 캐리어 유닛(55)은 서브-테이블 유닛(51)과 워크-테이블 유닛(53) 사이를 이동하는 부재로써, 전기 검사의 수행을 위한 평판 표시 소자를 지지한 상태에서 서브-테이블 유닛(51)으로부터 워크-테이블 유닛(53) 또는 워크-테이블 유닛(53)으로부터 서브-테이블 유닛(51) 사이를 이동한다.
이와 같이, 언급한 평판 표시 소자 검사 장치(500)의 경우에는 도 1에서의 프레싱부(17) 그리고 도 4에서의 보호부(41)를 구비하는 프로브 유닛(100)을 포함한다. 이에, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사 장치(500)를 이용할 경우에는 프로브 유닛(100)과 평판 표시 소자의 접촉 상태를 정확하고 계속적으로 유지할 수 있고, 그 결과 평판 표시 소자의 전기 검사에 따른 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛을 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 프로브 유닛이 플레이트에 설치된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 프로브 유닛에 구비되는 프레싱부를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1의 프로브 유닛에 구비되는 보호부를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 5는 도 1의 프로브 유닛을 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

Claims (8)

  1. 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트의 일측에 설치되는 고정부;
    상기 고정부와 연결되고, 상기 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉하여 상기 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가하는 접촉부;
    상기 고정부와 접촉부 사이에 위치하고, 상기 접촉부가 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 상기 고정부와 연결된 접촉부의 움직임을 안내하는 안내부; 및
    상기 고정부를 향하여 프레싱(pressing)시킴으로써 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 상기 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 들어 올려지게 설치되고, 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 상측으로 들어 올림으로써 상기 접촉부와 평판 표시 소자의 현재 상태를 확인하기 위한 프레싱부를 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 프레싱부는 상기 고정부 및 접촉부의 측면 모두에 연결 설치되거나 상기 고정부 및 접촉부 중에서 어느 하나의 측면에 연결 설치되는 연결-바, 그리고 상기 연결-바와 연결됨과 아울러 상기 고정부를 향하여 프레싱이 가능하게 위치하는 레버(lever)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 프레싱부는 상기 프레싱부의 레버와 상기 레버가 위치하는 고정부 각각에는 나사 결합이 가능한 홈을 갖고, 상기 프레싱부의 레버와 상기 레버가 위치하는 고정부 사이를 나사 결합하는 나사 결합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛.
  4. 제1 항에 있어서, 외부 충격으로부터 상기 안내부를 보호하게 상기 안내부를 커버하는 보호부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 검사 장치용 프로브 유닛.
  5. 외부로부터 평판 표시 소자를 이송받아 지지하는 서브-테이블 유닛(sub-table unit);
    상기 서브-테이블 유닛으로부터 상기 평판 표시 소자를 이송받아 지지하는 워크-테이블 유닛(work-table unit);
    상기 워크-테이블 유닛에 지지되고, 상기 평판 표시 소자의 주변에 위치하는 플레이트; 및
    상기 플레이트의 일측에 설치되는 고정부와, 상기 고정부와 연결되고, 상기 평판 표시 소자에 대한 전기 검사를 수행할 때 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉하여 상기 평판 표시 소자에 전기 신호를 인가하는 접촉부와, 상기 고정부와 접촉부 사이에 위치하고, 상기 접촉부가 상기 평판 표시 소자와 전기 접촉할 때 상기 고정부와 연결된 접촉부의 움직임을 안내하는 안내부, 그리고 상기 고정부를 향하여 프레싱(pressing)시킴으로써 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 상기 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 들어 올려지게 설치되고, 상기 평판 표시 소자에 접촉된 상태에 있는 접촉부를 상기 평판 표시 소자로부터 상측으로 들어 올림으로써 상기 접촉부와 평판 표시 소자의 현재 상태를 확인하기 위한 프레싱부를 구비하는 프로브 유닛을 포함하는 평판 표시 소자 검사 장치.
  6. 제5 항에 있어서, 상기 서브-테이블 유닛과 상기 워크-테이블 유닛 사이에 위치하고, 상기 서브-테이블 유닛으로부터 상기 워크-테이블 유닛 또는 상기 워크-테이블 유닛으로부터 상기 서브-테이블 유닛으로 상기 평판 표시 소자를 이송하는 캐리어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 검사 장치.
  7. 제5 항에 있어서, 상기 프로브 유닛의 프레싱부는 상기 고정부 및 접촉부의 측면 모두에 연결 설치되거나 상기 고정부 및 접촉부 중에서 어느 하나의 측면에 연결 설치되는 연결-바, 그리고 상기 연결-바와 연결됨과 아울러 상기 고정부를 향하여 프레싱이 가능하게 위치하는 레버(lever)를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 검사 장치.
  8. 제5 항에 있어서, 상기 프로브 유닛은 외부 충격으로부터 상기 안내부를 보호하게 상기 안내부를 커버하는 보호부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자 검사 장치.
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