KR101007685B1 - 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 - Google Patents
평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101007685B1 KR101007685B1 KR1020080114659A KR20080114659A KR101007685B1 KR 101007685 B1 KR101007685 B1 KR 101007685B1 KR 1020080114659 A KR1020080114659 A KR 1020080114659A KR 20080114659 A KR20080114659 A KR 20080114659A KR 101007685 B1 KR101007685 B1 KR 101007685B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- coating material
- plate
- slit coater
- transfer
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
Description
Claims (3)
- 기판이 이송되는 이송 경로를 제공하고, 상기 이송 경로 중에서 적어도 한 군데에서는 끊어지는 제1 너비의 불연속 구간을 갖도록 배치되는 플레이트;상기 기판을 부양시키고, 상기 플레이트에 의해 제공되는 이송 경로를 따라 상기 기판을 이송하는 기판 이송부;상기 이송이 이루어지는 기판 상부에 위치하고, 상기 기판 표면으로 코팅 물질을 도포하는 슬릿 코터;상기 플레이트의 불연속 구간에서 상기 기판의 이송 경로 아래에 위치하고, 상기 코팅 물질을 도포하기 이전에 상기 슬릿 코터에 잔류하는 코팅 물질을 소비시키는 예비 토출부;상기 슬릿 코터와 연결되고, 상기 슬릿 코터를 예비 토출부로 하강시키고, 상기 슬릿 코터를 상기 코팅 물질의 도포하는 위치로 승강시키는 제1 리프터; 및상기 플레이트와 연결되고, 상기 슬릿 코터를 상기 코팅 물질을 도포하는 위치로 승강시킬 때 상기 제1 너비의 불연속 구간을 상기 제1 너비보다 좁은 제2 너비의 불연속 구간을 갖도록 상기 플레이트를 이송시키는 플레이트 이송부를 포함하며,상기 슬릿 코터는 상기 기판이 부양되고 이송되는 과정에서 상기 예비 토출부로 하강하여 상기 슬릿 코터에 잔류하는 코팅 물질을 소비하고 다시 상승하여 상기 기판 표면으로 코팅 물질을 도포하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 플레이트가 상기 기판 이면으로 에어의 제공이 가능한 다공 플레이트를 포함할 때,상기 기판 이송부는상기 플레이트를 통하여 상기 기판 이면으로 에어를 제공하는 에어 제공부;상기 에어 제공부에 의해 상기 부양된 기판을 파지하는 파지부; 및상기 파지부를 상기 이송 경로를 따라 이송시키는 파지 이송부를 포함하는 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 예비 토출부와 연결되고, 상기 예비 토출부를 상기 기판의 이송 경로 아래인 정-위치로부터 보다 아래로 하강 및 승강시키는 제2 리프터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080114659A KR101007685B1 (ko) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080114659A KR101007685B1 (ko) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100055787A KR20100055787A (ko) | 2010-05-27 |
KR101007685B1 true KR101007685B1 (ko) | 2011-01-13 |
Family
ID=42280062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080114659A KR101007685B1 (ko) | 2008-11-18 | 2008-11-18 | 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101007685B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101052463B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2011-07-28 | 주식회사 케이씨텍 | 부상식 기판 코터 장치 |
KR101952703B1 (ko) | 2019-01-11 | 2019-02-27 | 이영식 | 디스플레이 글래스 표면 도포용 인샤워 나이프 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030011463A (ko) * | 2001-08-03 | 2003-02-11 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 슬릿 코터의 예비토출장치 및 예비토출방법 |
JP2007190483A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム |
JP2007268391A (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 予備吐出装置及び予備吐出方法 |
JP2008000643A (ja) | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、二次電池の製造方法 |
-
2008
- 2008-11-18 KR KR1020080114659A patent/KR101007685B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030011463A (ko) * | 2001-08-03 | 2003-02-11 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 슬릿 코터의 예비토출장치 및 예비토출방법 |
JP2007190483A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 塗布方法及び塗布装置及び塗布処理プログラム |
JP2007268391A (ja) | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 予備吐出装置及び予備吐出方法 |
JP2008000643A (ja) | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、液状体の吐出方法、二次電池の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100055787A (ko) | 2010-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4049751B2 (ja) | 塗布膜形成装置 | |
KR101577481B1 (ko) | 기판 반송장치 및 기판 반송방법 | |
WO2006090619A1 (ja) | ステージ装置および塗布処理装置 | |
KR101845090B1 (ko) | 도포막 형성 장치 및 도포막 형성 방법 | |
KR101603343B1 (ko) | 기판 반송 처리 장치 | |
JP2007238287A (ja) | ワーク搬送装置およびワーク搬送方法 | |
JP2010034309A (ja) | 塗布装置および基板処理システム | |
TWI462215B (zh) | 基板處理裝置、轉換方法、及轉移方法 | |
KR101007685B1 (ko) | 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 | |
KR20130044172A (ko) | 도포 처리 장치 | |
KR101859279B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP4353530B2 (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
JP2007176631A (ja) | 基板搬送システム | |
JP4069980B2 (ja) | 塗布膜形成装置 | |
KR20110081494A (ko) | 기판 이송 장치 | |
KR101946701B1 (ko) | 기판 유지 장치 및 기판 처리 장치 | |
KR20070082243A (ko) | 평판 디스플레이 기판용 코팅장치 | |
KR101431146B1 (ko) | 약액도포장치 | |
JP5334674B2 (ja) | プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のマスク装着方法、及び表示用パネル基板の製造方法 | |
JP2005026554A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP3892327B2 (ja) | 基板処理装置 | |
CN111822234B (zh) | 涂布装置及涂布方法 | |
KR101020681B1 (ko) | 평판 디스플레이 소자 제조용 코팅 물질 도포 장치 | |
KR101857821B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
KR101098982B1 (ko) | 기판 처리 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140106 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150106 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151230 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161229 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180104 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190104 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200106 Year of fee payment: 10 |