KR101005885B1 - 베이크 장치 및 이를 사용한 베이크 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 베이크 장치에 있어서:기판 출입구를 갖는 케이스;상기 케이스 내부에 설치되며, 기판을 가열하는 가열 플레이트;상기 가열 플레이트와 나란하게 설치되는 냉각 플레이트;상기 냉각 플레이트와 상기 가열 플레이트 사이에 기판을 반송하는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되어 기판이 상기 케이스 외부로 반출되기 전까지 기판을 냉각하는 반송부재를 포함하되;상기 반송 부재는기판이 놓여지는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되는 칠 플레이트(chil plate)를 포함하고,상기 냉각 플레이트는 상기 칠 플레이트의 저면과 접촉하도록 승강되는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 베이크 장치에 있어서:기판 출입구를 갖는 케이스;상기 케이스 내부에 설치되며, 기판을 가열하는 가열 플레이트;상기 가열 플레이트와 나란하게 설치되는 냉각 플레이트;상기 냉각 플레이트와 상기 가열 플레이트 사이에 기판을 반송하는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되어 기판이 상기 케이스 외부로 반출되기 전까지 기판을 냉각하는 반송부재를 포함하되;상기 반송 부재는기판이 놓여지는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되는 칠 플레이트(chil plate); 상기 칠 플레이트가 얹혀지도록 상기 칠 플레이트의 가장자리를 지지하는 지지링을 갖는 아암; 및 상기 아암을 이동시키는 이동부를 포함하고,상기 칠 플레이트가 상기 지지링으로부터 들어 올려지도록 상기 냉각 플레이트를 승강시키는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 냉각 플레이트는냉각수 또는 열전소자와 같은 냉각체를 갖는 히트싱크인 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
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- 베이크 장치에 있어서:기판 출입구를 갖는 케이스;상기 케이스 내부에 설치되며, 기판을 가열하는 가열 플레이트;상기 가열 플레이트와 나란하게 설치되는 냉각 플레이트;상기 냉각 플레이트와 상기 가열 플레이트 사이에 기판을 반송하는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되어 기판이 상기 케이스 외부로 반출되기 전까지 기판을 냉각하는 반송부재를 포함하되;상기 반송 부재는기판이 놓여지는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되는 그리고 상기 가열 플레이트에 설치된 리프트 핀들을 수용하기 위한 홈들이 형성된 칠 플레이트(chil plate)를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 냉각 플레이트와 상기 가열 플레이트는 기판의 반입 방향을 기준으로 일직선상에 배치되며,상기 냉각 플레이트는상기 기판 출입구에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 기판에 도포공정을 수행하는 도포 유닛, 기판에 현상 공정을 수행하는 현상 유닛, 그리고 도포 공정 또는 현상 공정 수행하기 전 또는 후에 기판을 가열 및 냉각하는 베이크 유닛을 가지는 처리부; 및기판들이 수용된 카세트가 놓여지는 카세트 거치대 및 상기 카세트 거치대와 상기 처리부간 기판을 이송하는 반송로봇이 제공되는 로봇 이동부를 가지는 인덱스부를 포함하되;상기 베이크 유닛은기판을 가열하는 가열 플레이트;상기 가열 플레이트와 나란하게 설치되는 냉각 플레이트;상기 냉각 플레이트를 승강시키는 승강부재; 및상기 냉각 플레이트와 상기 가열 플레이트 사이에 기판을 반송하는 그리고 승강된 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되어 기판을 반송하는 동안 기판이 냉각되는 반송부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 반송 부재는기판이 놓여지는 그리고 상기 냉각 플레이트에 의해 냉각되는 칠 플레이트(chil plate);상기 칠 플레이트가 얹혀지도록 상기 칠 플레이트의 가장자리를 지지하는 지지링을 갖는 아암; 및상기 아암을 이동시키는 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 칠 플레이트는상기 냉각 플레이트에 의해 상기 지지링으로부터 들어 올려진 상태에서 냉각되는 것을 특징으로 하는 베이크 장치.
- 냉각 플레이트와 가열 플레이트 사이에서 기판을 반송하는 반송부재를 갖는 베이크 장치에서의 베이크 방법에 있어서:가열 플레이트에서 기판을 가열하는 단계;상기 가열 플레이트로부터 가열된 기판을 외부의 반송로봇이 가져갈 수 있는 상기 냉각 플레이트 상부로 반송하는 단계;상기 냉각 플레이트를 승강시켜 상기 반송부재를 냉각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 베이크 장치에서의 베이크 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 냉각 단계는상기 반송부재의 아암으로부터 기판을 지지하고 있는 플레이트가 상기 냉각 플레이트에 의해 들어 올려진 상태에서 냉각되는 것을 특징으로 하는 베이크 장치에서의 베이크 방법.
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