KR100984941B1

KR100984941B1 - 동축 케이블의 이상 검지 시스템과 그 이상 검지 방법, 및그 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치

Info

Publication number: KR100984941B1
Application number: KR1020080047664A
Authority: KR
Inventors: 히로쿠니 아카마츠; 아츠시 미즈타니
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2007-06-12
Filing date: 2008-05-22
Publication date: 2010-10-01
Also published as: CN101324537A; CN101324537B; KR20080109612A; TW200905215A; JP2008309492A; TWI442068B; JP5013979B2

Abstract

좌굴이나 크랙과 같은 약간의 이상도 검지할 수 있고, 또한 약간의 이상을, 처리 장치를 정지시키지 않고 검지하는 것이 가능한 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

한쪽 단부를 RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 접속하고, 다른쪽 단부를 정합기(4)의 입력(41)에 접속한 동축 케이블(3)과, 동축 케이블(3)의 RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 있어서의 반사파 R을 검출하는 제 1 반사파 검출 수단(12)과, 동축 케이블(3)의 정합기(4)의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하는 제 2 반사파 검출 수단(43)과, 반사파 R과 반사파 r을 비교하여, 반사파 R과 반사파 r의 관계가 R>r 이고, 반사파 R과 반사파 r의 차분이 규정값을 넘을 때에 동축 케이블(3) 중의 이상 발생을 검지하는 검지기(6)를 구비한다.

Description

동축 케이블의 이상 검지 시스템과 그 이상 검지 방법, 및 그 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치{ABNORMALITY DETECTION SYSTEM AND METHOD FOR COAXIAL CABLE, AND PROCESSING APPARATUS EQUIPPED WITH SAID SYSTEM}

본 발명은 동축 케이블의 이상을 검지하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템과 그 이상 검지 방법, 및 그 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치에 관한 것이다.

플랫 패널 디스플레이나 반도체 장치의 제조에 있어서는 플라즈마 에칭 처리나 CVD 성막 처리 등, 고주파 전력을 사용하는 처리 장치를 이용한 공정이 존재한다. 고주파 전력은 RF 제네레이터에서 발생되고, 발생된 고주파 전력은 급전선으로서의 동축 케이블에 입력되어, 동축 케이블의 임피던스와 처리 장치의 임피던스를 정합시키는 정합기를 거친 후, 처리 장치에 공급된다.

플랫 패널 디스플레이나 반도체 장치의 제조에 사용되는 처리 장치는 커서, 처리 장치 본체에 설치된 정합기에서 RF 제네레이터까지의 거리도 멀어지는 일이 있다. 특히, 플랫 패널 디스플레이의 제조에 사용되는 처리 장치의 동축 케이블의 길이는 20m에서 30m에 이르는 경우가 많이 있다. 동축 케이블의 길이가 길어지면, 공장 내에의 장치 시공시나, 동축 케이블을 이동시켰을 때 등에 동축 케이블이 뜻하지 않게 꺾여져서, 동축 케이블 안의 내부 도체가 단선되어 버리는 일이 있다. 내부 도체가 단선되면, 고주파 전력을 처리 장치에 공급할 수 없게 되어, 처리 장치에서 플라즈마가 발생하지 않게 된다.

내부 도체가 단선된 동축 케이블은, 단선된 부분에서 특성 임피던스가 어긋나는 현상이 일어난다. 이 현상을 이용하여, 외부 측정 기기, 예컨대, 네트워크 애널라이저를 이용하여 동축 케이블의 특성 임피던스를 측정하면, 단선 발생의 유무, 및 단선된 부분을 검지할 수 있다.

이 측정 및 검지에 있어서는 동축 케이블을 RF 제네레이터 및 정합기로부터 분리하여, 동축 케이블의 한쪽 단부를 네트워크 애널라이저에 연결하고, 다른 단부를 종단 저항을 거쳐서 접지한다. 동축 케이블의 특성 임피던스가 50Ω이라면, 종단 저항을 50Ω로 해서 동축 케이블의 특성 임피던스를 측정한다. 이 때에, 특성 임피던스가 50Ω에서 크게 변화되는 부분이 보일 때가 있다. 이러한 동축 케이블은 내부 도체에 단선을 일으킨 것으로, 특성 임피던스가 크게 변화된 곳이 단선된 부분이다.

네트워크 애널라이저를 이용한 측정 및 검지에서는 동축 케이블의 내부 도체가 단선하는 등, 완전히 이상인 상태가 되지 않으면, 그 이상을 검지할 수가 없다.

동축 케이블의 꺾임은 내부 도체가 완전히 이상인 상태에 이르지 않는 것 같은 좌굴이나 크랙을 발생시키는 일이 있다. 내부 도체에 좌굴이나 크랙이 발생한 동축 케이블은 완전한 이상을 초래한 동축 케이블과는 달리, 정상적인 동축 케이블과 같이 처리 장치에 대하여 고주파 전력을 공급할 수 있다. 즉, 처리 장치에 있어서는 정상으로 플라즈마가 발생한다. 이 때문에, 내부 도체에 좌굴이나 크랙이 발생한 동축 케이블은 정상적인 동축 케이블과 구별이 되지 않는다.

좌굴이나 크랙은 약간의 이상일지도 모르지만, 좌굴이나 크랙은 동축 케이블에 있어서 특이점임은 틀림없다. 특이점을 갖은 동축 케이블을 계속 쓰고 있으면, 결국 동축 케이블에 불량을 발생시켜 버릴 가능성이 있다.

그러나, 좌굴이나 크랙은 동축 케이블의 특성 임피던스를 크게 변화시키지 않는다. 이 때문에, 좌굴이나 크랙은 네트워크 애널라이저로서는 검지하는 것이 곤란하다. 더구나, 네트워크 애널라이저와 같은 외부 측정 기기를 이용한 측정 및 검지에서는 동축 케이블을 RF 제네레이터 및 정합기로부터 분리하고, 다시 외부 측정 기기에 연결해야 한다. 이 때문에, 처리 장치는 정지하지 않을 수 없다.

본 발명은 좌굴이나 크랙과 같은 약간의 이상도 검지할 수 있고, 또한 약간의 이상을, 처리 장치를 정지시키지 않고 검지하는 것이 가능한 동축 케이블의 이 상 검지 시스템과 해당 이상 검지 방법, 및 해당 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 실시예 1에 관한 동축 케이블의 이상 검지 시스템은 한쪽 단부를 RF 제네레이터의 출력에 접속하고, 다른쪽 단부를 정합기의 입력에 접속한 동축 케이블과, 상기 동축 케이블의 상기 RF 제네레이터의 출력에 있어서의 반사파 R을 검출하는 제 1 반사파 검출 수단과, 상기 동축 케이블의 상기 정합기의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하는 제 2 반사파 검출 수단과, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r을 비교하여, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 관계가 R>r이고, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 차분이 규정값을 넘을 때에 상기 동축 케이블 중의 이상 발생을 검지하는 검지기를 구비한다.

또한, 본 발명의 실시예 2에 관한 동축 케이블의 이상 검지 방법은 동축 케이블의 한쪽 단부를 RF 제네레이터의 출력에 접속하고, 상기 동축 케이블의 다른쪽 단부를 정합기의 입력에 접속하며, 상기 동축 케이블의 상기 RF 제네레이터의 출력에 있어서의 반사파 R을 검출하고, 상기 동축 케이블의 상기 정합기의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하며, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r을 비교하여, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 관계가 R>r이고, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 차분이 규정값을 넘을 때에 상기 동축 케이블 중의 이상 발생을 검지한다.

또한, 본 발명의 실시예 3에 관한 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치는 고주파 전력을 발생하는 RF 제네레이터와, 피처리기체에 처리를 실시하는 처리 장치와, 상기 RF 제네레이터의 출력에 한쪽 단부를 접속한다, 상기 RF 제네레이터로부터의 고주파 전력을 상기 처리 장치에 급전하는 급전선으로서의 동축 케이블과, 입력을 상기 동축 케이블의 다른쪽 단부에 접속하여, 출력을 상기 처리 장치에 접속하는 상기 동축 케이블의 임피던스와 상기 처리 장치의 임피던스를 정합시키는 정합기와, 상기 정합기를 제어하는 컨트롤러와, 상기 동축 케이블의 상기 RF 제네레이터의 출력에 있어서의 반사파 R을 검출하는 제 1 반사파 검출 수단과, 상기 동축 케이블의 상기 정합기의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하는 제 2 반사파 검출 수단과, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r을 비교하여, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 관계가 R>r이고, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 차분이 규정값을 넘을 때에 상기 동축 케이블 중의 이상 발생을 검지하는 검지기를 구비한다.

본 발명에 의하면, 좌굴이나 크랙과 같은 약간의 이상도 검지할 수 있고, 또한 약간의 이상을 처리 장치를 정지시키지 않고 검지하는 것이 가능한 동축 케이블 이상 검지 시스템과 해당 이상 검지 방법, 및 해당 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치를 제공할 수 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 지렛대의 발명의 일 실시예에 대하여 구체적으 로 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치의 일례를 나타내는 구성도이다.

도 1에 도시하는 바와 같이 일 실시예에 관한 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치는 고주파 전력을 발생하는 RF 제네레이터(1)와, 피처리기체에 처리를 실시하는 처리 장치(2)와, RF 제네레이터(1)로부터의 고주파 전력을 처리 장치(2)에 급전하는 급전선으로서의 동축 케이블(3)과, 동축 케이블(3)의 임피던스와 처리 장치(2)의 임피던스를 정합시키는 정합기(4)와, 이 정합기(4)를 제어하는 컨트롤러(5)와, 동축 케이블 중의 이상 발생을 검지하는 검지기(6)를 구비한다.

처리 장치(2)의 예로서는 플랫 패널 디스플레이나 반도체 장치의 제조에 사용되는 플라즈마 드라이 에칭 장치나 플라즈마 CVD 장치 등을 들 수 있다. 도 1에서는 일례로서 플랫 패널 디스플레이(FPD) 플라즈마 드라이 에칭 장치를 나타낸다. FPD 플라즈마 드라이 에칭 장치는 예컨대 피처리기체(21)인 유리 기판상의 박막을 제거하여, 회로 패턴을 에칭에 의해 형성하는 공정 등에 사용된다. 고주파 전력은 피처리기체(21), 본 예에서는 유리 기판이 탑재되는 탑재대(22)에 공급된다. 에칭 가스는 피처리기체(21)의 윗쪽에 마련된 샤워 헤드(23)로부터 챔버(24) 내부에 공급된다. 샤워 헤드(23)는 접지되어 있고, 탑재대(22)의 대향 전극으로서 기능한다.

동축 케이블(3)은 한쪽 단부를 RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 접속하고, 다 른쪽 단부를 정합기(4)의 입력(41)에 접속한다. 정합기(4)의 출력(42)은 처리 장치(2)에 접속된다.

검지기(6)는 동축 케이블(3)의 RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 있어서의 반사파 R과, 마찬가지로 동축 케이블(3)의 정합기(4)의 입력(41)에 있어서의 반사파 r을 비교한다. 검지기(6)는 반사파 R과 반사파 r의 관계가 R>r이고, 또한 반사파 R과 반사파 r의 차분이 규정값을 넘을 때에, 동축 케이블(3) 중에 이상이 발생한 것을 검지한다.

반사파 R 및 반사파 r은, 이들을 검출하는 반사파 검출 수단을 별도 마련하고 별도 마련한 검출 수단을 이용하여 검출해도 되지만, 본 예에서는 RF 제네레이터(1) 및 정합기(4)에 구비되어 있는 정재파비 검출 기판(VSWR(Voltage Standing Wave Ratio) 기판)이 검출한 반사파를 이용한다. 즉, 본 예에서는 반사파 R은 RF 제네레이터(1)에 구비된 정재파비 검출 기판(VSWR 기판)(12)이 검출한 반사파 R을 이용하고, 반사파 r은 정합기(4)에 구비된 정재파비 검출 기판(VSWR 기판)(43)이 검출한 반사파 r을 이용한다.

또한, 규정값의 일례는 다음과 같다.

동축 케이블(3)이 정상적인 상태에서는 반사파 R과 반사파 r의 관계는 "R≒r"이다. 반사파 R과 반사파 r의 차분은 동축 케이블(3)의 길이나 고주파 전력의 크기로 변하지만, 대략 100W 미만이다.

이에 반해, 동축 케이블(3)의 내부 도체에 이상이 있는 상태에서는 반사파 R과 반사파 r의 관계가 "R>r"로 된다. 또한, 반사파 R과 반사파 r의 차분이 동축 케이블(3)의 길이나 고주파 전력의 크기로 변하지만, 대략 100W 이상 200W 정도까지 확대한다. 따라서, 규정값은 100W 이상 200W 이하로 한다. 예컨대, 규정값을 101W로 설정한 경우에는 검지기(6)는 반사파 R과 반사파 r의 관계가 R>r로 되고, 반사파 R과 반사파 r의 차분이 101W 이상, 또는 101W를 넘을 때에 동축 케이블(3) 중에 이상이 발생했다고 검지한다.

동축 케이블(3)의 내부 도체에 이상이 있으면, 반사파 R과 반사파 r의 관계가 "R>r"가 되고, 또한 반사파 R과 반사파 r의 차분이 100W 이상으로 확대하는 이유 중 하나를 이하에 나타낸다.

도 2(a)는 동축 케이블(3)이 정상적인 상태일 때의 반사파 R과 반사파 r의 관계를 도시한 도면, 도 2(b)는 동축 케이블(3)의 내부 도체에 이상이 있을 때의 반사파 R과 반사파 r의 관계를 도시하는 도면이다.

도 2(a)에 도시하는 바와 같이 동축 케이블(3)이 정상적인 상태일 때에는 RF 제네레이터(1)로부터의 고주파 전력은 거의 그대로 정합기(4)의 입력(41)에 입력된다. 이 때, 입력(41) 부분에서 반사파 r가 생기지만, 이 반사파 r도 거의 그대로 RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 도달한다. 이 때문에, RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 있어서의 반사파 R과, 정합기(4)의 입력에 있어서의 반사파 r은 거의 같아진다. 즉, RF 제네레이터(1) 측의 정재파비 검출 기판(VSWR 기판)(12)이 검출하는 반사파 R과, 정합기(4)측의 정재파비 검출 기판(43)이 검출하는 반사파 r의 관계는 "R≒r"이 된다.

이에 반해서, 동축 케이블(3)의 내부 도체에 이상이 있을 때에는 도 2(b)에 도시하는 바와 같이 RF 제네레이터(1)로부터의 고주파 전력의 일부가, 이상 부분(7)에서 반사한다. 이 때문에, 정합기(4)의 입력(41)에 입력되는 고주파 전력은 정상적인 상태인 경우에 비해서 감소한다. 그 결과, 반사파 r도 정상적인 상태의 경우에 비해서 감소한다.

또한, RF 제네레이터(1)의 출력(11)에는 반사파 r에 더해서, 이상 부분(7)에서 반사한 반사파 r'가 도달한다. 그 결과, RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 있어서의 반사파 R은 반사파 r보다 커진다. 따라서, RF 제네레이터(1)측의 정재파비 검출 기판(VSWR 기판)(12)이 검출하는 반사파 R과, 정합기(4)측의 정재파비 검출 기판(43)이 검출하는 반사파 r의 관계는 "R>r"가 되고, 반사파 R과 반사파 r의 차분도 예컨대, 100W 이상으로 확대한다.

이와 같이, 본 일 실시예에서는 도 2(a) 및 도 2(b)에 나타낸 관계를 이용하여, 동축 케이블(3)의 내부 도체에 이상이 발생했는지 여부를 검지한다.

또한, 도 2(b)에 나타낸 이상 부분(7)에 있어서의 반사 현상은 내부 도체에 발생한 약간의 이상, 예컨대 좌굴이나 크랙으로도 나타나기 때문에, 좌굴이나 크랙과 같은 약간의 이상이라도 검지할 수 있다.

검지기(4)에 이상이 검지된 때에는 예컨대, RF 제네레이터(1) 및 처리 장치(2)를 정지시켜 동축 케이블(3)을 교환한다. RF 제네레이터(1), 및 처리 장치(2)는 검지기(6)로부터의 직접의 명령에 의해서 정지시켜도 되고, 예컨대 처리 장치(2)를 조작하는 조작 장치(8)의 디스플레이(81)에 "이상의 발생"을 표시하거나, 또는 경보기(10)를 울려서 "이상의 발생"을 통지하기도 해서, "이상의 발생"을 조작자에게 알려서, 조작자 자신에 의해 RF 제네레이터(1) 및 처리 장치(2)를 정 지시키도록 해도 된다.

상기 "이상의 발생"의 표시나, 상기 "이상의 발생"의 통보는 필요에 따라서 채용되면 되고, 채용하는 경우에는 어느 하나만, 또는 쌍방을 채용해도 된다.

또한, 본 예의 검지기(6)는 정합기(4)를 제어하는 컨트롤러(5)에, 검지기(6)의 기능을 부가하고, 검지기(6)를 컨트롤러(5)에 내장하도록 했지만, 검지기(6)는 예컨대, 컨트롤러(5)의 외부 부착 기기여도 된다.

도 1에 나타내는 장치에 있어서는 동축 케이블의 이상 검지 시스템(100)으로서 기능하는 부분은 동축 케이블(3), 동축 케이블(3)의 RF 제네레이터(1)의 출력(11)에 있어서의 반사파 R을 검출하는 제 1 반사파 검출 수단(본 예에서는 정재파비 검출 기판(VSWR 기판)(12)), 동축 케이블(3)의 정합기(4)의 입력(41)에 있어서의 반사파 r을 검출하는 제 2 반사파 검출 수단(본 예에서는 정재파비 검출 기판(VSWR 기판)(43)), 및 반사파 R과 반사파 r을 비교하여, 반사파 R과 반사파 r의 관계가 R>r이고, 반사파 R과 반사파 r의 차분이 규정값을 넘을 때에 동축 케이블(3) 중의 이상 발생을 검지하는 검지기(6)의 부분이다.

이러한 이상 검지 시스템(100)에는 상술한 바와 같이 "이상의 발생"을 표시하는 디스플레이(81)나, "이상의 발생"을 통보하는 경보기(10)를 필요에 따라서 부착할 수 있다.

다음으로, 이상 검지 시스템(100)의 조작 순서의 일례에 대하여 설명한다.

도 3은 이상 검지 시스템(100)의 조작순서의 일례를 나타내는 플로우 차트이 다.

우선, RF 제네레이터(1)의 온에서부터의 딜레이 시간을 설정한다(ST. 1).

이 딜레이 시간은 RF 제네레이터(1)가 온하고, 고주파 전력이 안정되서 정합기(4)에 공급되기까지의 대기 시간이다. 딜레이 시간은 동축 케이블(3)의 길이나 고주파 전력의 크기에 따라 변하지만, 일례를 들면 10초이다.

다음으로, 반사파 R과 반사파 r의 차분, 즉 규정값을 설정한다(ST. 2).

규정값은 상술한 바와 같이, 동축 케이블(3)의 길이나 고주파 전력의 크기에 따라 변하지만 일례를 들면 100W 이상 200W 이하다.

다음으로, 검출 시간을 설정한다(ST. 3).

검출 시간은 반사파 R과 반사파 r을 비교하여, 반사파 R과 반사파 r의 관계가 R>r이고, 반사파 R과 반사파 r의 차분이 규정값을 넘는지 여부를 모니터하는 시간이다. 이 검출 시간도 동축 케이블(3)의 길이나 고주파 전력의 크기에 따라 변하지만, 일례를 들면 대략 5초 이상 10초 이하다.

이러한 순서 ST. 1∼ST. 3를 밟음으로써 이상 검지 시스템(100)에, 딜레이 시간, 규정값 및 검출 시간의 검지 데이터가 세트된다. 이들 데이터는 예컨대, 도 1에 나타내는 조작 장치(8)의 입력 수단(예컨대 키보드)(82)으로부터 입력되어, 이상 검지 시스템(100)의 검지기(6)에 세트된다.

또한, 검지 데이터의 설정 순서는 도 3에 나타내는 순서에 한하지 않고 임의여도 된다.

또한, 설정된 검지 데이터를 컨트롤러(5), 또는 주사 장치(8)에 기억시킴으 로써, 데이터의 변경이 없는 한, 순서 ST. 1∼ST. 3는 한번의 실시로 좋다.

검지 데이터를 세트한 후, RF 제네레이터(1)를 온하고(ST. 4), 고주파 전력을 처리 장치(2)에 공급하여, 피처리기체(21)에 대한 처리를 시작한다(ST. 5). 또한, RF 제네레이터(1)가 온한 후, 딜레이 시간 경과 후에, 동축 케이블(3)에 대한 이상 검지를 시작한다(ST. 6). 본 일 실시예에서는 동축 케이블(3)에 대한 이상 검지가, 피처리기체(21)에 대한 처리와 병행하여 실행된다.

이와 같이, 본 실시예에 관한 이상 검지 시스템(100)은 동축 케이블(3)에 대한 이상 검지를, 피처리기체(21)의 처리와 병행하여 실행할 수 있기 때문에, 좌굴이나 크랙과 같은 약간의 이상을 검지할 수 있을 뿐만 아니라, 이 약간의 이상을 처리 장치(2)를 정지시키지 않고 검지할 수 있다. 더구나, 동축 케이블(3)에 대한 이상 검지를, 피처리기체(21)에 대한 처리와 병행하여 실행하기 때문에, 처리 장치(2)의 스루풋도 방해하지 않는다.

또한, 이상 검지 시스템(100)은 피처리기체(21)에 대한 처리간, 검지를 반복하면서 상시 가동시켜도 되고, 간헐적으로, 예컨대, 수 분 사이들 두고 가동시켜도 된다.

다음으로, 동축 케이블(3)의 일례에 대하여 설명한다.

도 4는 동축 케이블(3)의 일례를 나타내는 사시도이다.

플랫 패널 디스플레이나 반도체 장치의 제조에 사용되는 플라즈마 드라이 에칭 장치나 플라즈마 CVD 장치에 사용하는 동축 케이블(3)의 하나로서, 경량화를 위해, 내부 도체(31)를 중공(中空) 형상으로 한 동축 케이블(3')이 있다. 이 동축 케이블(3')의 일례를 도 4에 나타낸다. 중공 형상의 도체로서는 동파이프나, 알루미늄파이프 등이 사용된다.

그러나, 내부 도체(31)를 중공 형상의 도체로 한 동축 케이블(3')은 도 5(a)에 도시하는 바와 같이 극단적으로 꺾어 버리면, 도 5(b)에 도시하는 바와 같이 꺾여진 부분에 좌굴(32)이 일어나기 쉽다. 좌굴(32)이 일어나 버리면, 본래의 상태에 되돌아가는 것은 거의 생각할 수 없기 때문에, 동축 케이블(3') 중의 특이점으로서, 거의 영구적으로 남아 버린다.

이러한 내부 도체(31)가 좌굴하기 쉬운 동축 케이블(3')에 있어서도, 본 실시예에 관한 이상 검지 시스템(100)을 이용하면, 좌굴(32)이 발생했는지 여부를 간단히 검지할 수 있기 때문에, 좌굴하기 쉬운 동축 케이블(3)'이여도 안전하게 사용할 수 있다.

이상, 본 발명을 일 실시예에 의해 설명했지만, 본 발명은 상기 일 실시예에 한정되지 않고 여러가지 변형이 가능하다. 또한, 본 발명의 실시예는 상기 일 실시예가 유일한 실시예도 아니다.

예컨대, 상기 일 실시예에서는 처리 장치(2)로서, 플랫 패널디스플레이나 반도체 장치의 제조에 사용되는 플라즈마 드라이 에칭 장치나 플라즈마 CVD 장치를 설명했지만, 고주파 전력을 사용하는 처리 장치라면, 상기 장치에 한정되는 것이 아니다.

그 외에, 상기 일 실시예는 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변형이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치의 일례를 나타내는 구성도,

도 2(a)는 동축 케이블(3)이 정상적인 상태일 때의 반사파 R과 반사파 r의 관계를 도시한 도면, 도 2(b)는 동축 케이블(3)의 내부 도체에 이상이 있을 때의 반사파 R과 반사파 r의 관계를 도시한 도면,

도 3은 이상 검지 시스템(100)의 조작 순서의 일례를 나타내는 플로우차트,

도 4는 동축 케이블(3)의 일례를 나타내는 사시도,

도 5(a)는 동축 케이블(3')이 꺾여진 상태를 나타내는 단면도, 도 5(b)는 꺾여진 동축 케이블(3')에 좌굴(32)이 발생한 상태를 나타내는 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : RF 제네레이터 2 : 처리 장치

3,3' : 동축 케이블 4 : 정합기

5 : 컨트롤러 6 : 검지기

8 : 조작 장치 10 : 경보기

11 : RF 제네레이터의 출력 12 : 정재파비 검출 기판

31 : 내부 도체 32 : 좌굴된 부분

41 : 정합기의 입력 42 : 정합기의 출력

43 : 정재파비 검출 기판

Claims

한쪽 단부를 RF 제네레이터의 출력에 접속하고, 다른쪽 단부를 정합기의 입력에 접속한 동축 케이블과,

상기 동축 케이블의 상기 RF 제네레이터의 출력에 있어서의 반사파 R을 검출하는 제 1 반사파 검출 수단과,

상기 동축 케이블의 상기 정합기의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하는 제 2 반사파 검출 수단과,

상기 반사파 R과 상기 반사파 r을 비교하여, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 관계가 R>r이고, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 차분이 미리 정해진 규정값을 초과했을 때에 상기 동축 케이블 중의 좌굴 또는 크랙의 이상 발생을 검지하는 검지기

를 구비하는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 반사파 검출 수단은 상기 RF 제네레이터에 구비된 정재파비 검출 기판이고,

상기 제 2 반사파 검출 수단은 상기 정합기에 구비된 정재파비 검출 기판이며,

상기 반사파 R은 상기 RF 제네레이터에 구비된 정재파비 검출 기판이 검출한 반사파를 이용하고,

상기 반사파 r은 상기 정합기에 구비된 정재파비 검출 기판이 검출한 반사파를 이용하는 것

을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 검지기가 상기 동축 케이블 중의 이상 발생을 검지했을 때에, 이 이상 발생을 표시하는 디스플레이 및 이 이상 발생을 통지하는 경보기 중 적어도 어느 하나를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 미리 정해진 규정값은 100W 이상 200W 이하인 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 동축 케이블은 내부 도체로서 중공 형상의 도체가 이용되고 있는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 동축 케이블의 이상 검지는 상기 RF 제네레이터로부터의 고주파 전력을 사용하는 플라즈마 처리 장치에 의한 피처리기체로의 플라즈마 처리와 동시에 실행되는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템.
동축 케이블의 한쪽 단부를 RF 제네레이터의 출력에 접속하고,

상기 동축 케이블의 다른쪽 단부를 정합기의 입력에 접속하며,

상기 동축 케이블의 상기 RF 제네레이터의 출력에 있어서의 반사파 R을 검출하고,

상기 동축 케이블의 상기 정합기의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하며,

상기 반사파 R과 상기 반사파 r을 비교하여, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 관계가 R>r이고, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 차분이 미리 정해진 규정값을 넘을 때에 상기 동축 케이블 중의 좌굴 또는 크랙의 이상 발생을 검지하는 것

을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 미리 정해진 규정값은 100W 이상 200W 이하인 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 방법.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,

상기 동축 케이블의 이상 검지는 상기 RF 제네레이터로부터의 고주파 전력을 사용하는 플라즈마 처리 장치에 의한 피처리기체로의 플라즈마 처리와 동시에 실행되는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 방법.
고주파 전력을 발생하는 RF 제네레이터와,

피처리기체에 플라즈마 처리를 실시하는 플라즈마 처리 장치와,

상기 RF 제네레이터의 출력에 한쪽 단부를 접속하여, 상기 RF 제네레이터로부터의 고주파 전력을 상기 처리 장치에 급전하는 급전선으로서의 동축 케이블과,

입력을 상기 동축 케이블의 다른쪽 단부에 접속하고, 출력을 상기 처리 장치에 접속하여, 상기 동축 케이블의 임피던스와 상기 처리 장치의 임피던스를 정합시키는 정합기와,

상기 정합기를 제어하는 컨트롤러와,

상기 동축 케이블의 상기 RF 제네레이터의 출력에 있어서의 반사파 R을 검출하는 제 1 반사파 검출 수단과,

상기 동축 케이블의 상기 정합기의 입력에 있어서의 반사파 r을 검출하는 제 2 반사파 검출 수단과,

상기 반사파 R과 상기 반사파 r을 비교하여, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 관계가 R>r이고, 상기 반사파 R과 상기 반사파 r의 차분이 미리 정해진 규정값을 넘을 때에 상기 동축 케이블 중의 좌굴 또는 크랙의 이상 발생을 검지하는 검지기

를 구비하는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치.
제 10 항에 있어서,

상기 미리 정해진 규정값은 100W 이상 200W 이하인 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,

상기 동축 케이블의 이상 검지는 상기 RF 제네레이터로부터의 고주파 전력을 사용하는 상기 플라즈마 처리 장치에 의한 피처리기체로의 플라즈마 처리와 동시에 실행되는 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,

상기 플라즈마 처리 장치는 플라즈마 드라이 에칭 장치 또는 플라즈마 CVD 장치인 것을 특징으로 하는 동축 케이블의 이상 검지 시스템을 구비한 처리 장치.