KR100984363B1

KR100984363B1 - 액정 표시 장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR100984363B1
Application number: KR1020040022054A
Authority: KR
Inventors: 김장수; 추민형
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-03-31
Filing date: 2004-03-31
Publication date: 2010-09-30
Also published as: US20050231668A1; KR20050096617A; JP2005292833A; CN1680863B; US7515233B2; TW200606499A; CN1680863A

Abstract

본 발명의 액정 표시 장치는, 제1 베이스 기판, 상기 제1 베이스 기판 상에 형성된 게이트 배선, 상기 게이트 배선 위로 형성된 데이터 배선, 상기 게이트 배선의 일부 및 상기 데이터 배선의 일부와 연결된 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자와 전기적으로 연결된 화소 전극, 상기 화소 전극 상에 형성된 도메인 형성 수단, 상기 도메인 형성 수단 상에 형성된 제1 배향막을 포함하는 제1 기판과; 제2 베이스 기판, 상기 제2 베이스 기판 상에 형성된 공통 전극, 상기 공통 전극 상에 형성되며 서로 다른 높이를 갖는 제1 돌기 및 제2 돌기를 포함하는 돌기 패턴, 상기 돌기 패턴 상에 형성된 제2 배향막을 포함하는 제2 기판과; 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이에 개재된 액정을 포함한다.

수직 배향 모드, 광시야각, 도메인, 돌기, 슬릿 노광

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND FABRICATING METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명의 한 실시예에 다른 액정 표시 장치의 개략도.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치용 표시판에 형성된 돌기 및 이를 형성하기 위한 이중 마스크 패턴을 나타낸 단면도.

도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 이중 돌기를 포함하는 액정 표시 장치의 대비비(C/R)를 종래와 비교하여 도시한 그래프.

도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 이중 패턴 마스크로 형성된 돌기 패턴을 나타낸 평면도.

도 5는 본 발명의 액정 표시 장치에서 전극 상에 형성된 돌기 패턴의 어레이를 나타낸 평면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

20: 마스크 21: 제1 마스크 패턴

22: 제2 마스크 패턴 200: 베이스 기판

210: 대향 전극 220: 배향막

221: 제1 돌기 222: 제2 돌기

본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광시야각 액정 표시 장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치는 액정의 광학 이방성 및 유전율 이방성 특성을 이용하여 화상을 표시한다. 이러한 액정 표시 장치는 일반적으로 시야각에 따라 화상이 정면 대비 다르게 인식되는 경향이 있다.

이러한 시야각에 따른 화상 왜곡을 개선시키기 위한 액정 표시 모드로서, 수직 배향형(vertically aligned mode: VA mode) 액정 표시 장치가 주목받고 있다.

일반적으로 수직 배향형 액정 표시 장치는 상하 기판 사이에 개재된 액정이 전계 무인가시에는 기판 면에 수직으로 배향되고, 상하 기판 사이에 인가되는 수직 전계에 의해 액정 분자가 수평 방향으로 회전하도록 제어되어 화상을 표시하게 된다.

이러한 수직 배향형 액정 표시 장치의 광시야각 특성을 보다 향상시키기 위한 방법으로서 하나의 화소 영역을 복수의 도메인(domain)으로 분할하여 각 도메인마다 액정 분자의 배향 방향이 다르게 되도록 제어하여 광시야각을 구현하는 방법이 있다. 이러한 도메인을 분할하는 수단으로서는, 전극에 개구부를 형성하거나, 전극 상에 유기 재료 등으로 돌기를 형성하는 방법이 있다. 이 경우, 상하 기판 모두에 개구부 또는 돌기를 형성할 수도 있으며, 어느 한쪽에 개구부를 형성하고 다른 한쪽에는 돌기를 형성하는 방법이 있다.

도메인 분할 수단으로서 돌기를 사용하는 경우 기판 상에 돌기 형성용 감광재를 도포한 후 마스크를 사용하여 노광한다. 노광 후 식각 공정을 거치면, 마스크 패턴에 대응하는 부분의 감광재만이 남게 되며 이 부분이 돌기가 된다. 돌기 상에는 배향막이 도포된다.

그런데, 이러한 방법으로 형성된 돌기가 도메인 분할 수단으로 사용되는 경우에는 전계 무인가시 모든 액정 분자들이 정확히 수직 배향되지 못하고 돌기 주변에서 돌기를 따라 소정 각도 경사 배향되게 된다.

그런데, 수직 배향형 액정 표시 장치는 일반적으로, 전계 무인가 시에 액정층을 통과한 빛이 차단되어 화면이 블랙 상태가 되는 소위 노멀리 블랙(Normally Black) 모드로 설계한다. 그러나 이와 같이 전계가 없는 상태에서 돌기 주변에서 경사 배향된 액정 분자들로 인해 빛이 누설되어 블랙 휘도가 증가하고, 이에 따라 화이트 휘도 대비 블랙 휘도의 비율인 대비비(contrast ratio: CR)가 감소한다. 이에 따라 표시 품질이 저하된다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 전계 무인가시, 즉 블랙 표시 상태에서 블랙 휘도를 감소시키고 대비비(CR)를 증가시킴으로서 액정 표시 장치의 표시 품질을 향상시키는 데 있다.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기한 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정 표시 장치는, 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 형성된 대향 전극, 상기 대향 전극 상에 형성되며 서로 다른 높이를 갖는 제1 돌기 및 제2 돌기를 포함하는 돌기 패턴, 및 상기 돌기 패턴 상에 형성된 배향막을 포함할 수 있다.

또한 본 발명의 액정 표시 장치는 상기 구성에 있어서 상기 제1 돌기 및 상기 제2 돌기는 서로 평행한 방향으로 형성될 수 있으며, 바람직하게는 상기 제1 돌기 및 제2 돌기는 각각 서로 다른 방향으로 뻗은 직선 돌기부를 포함할 수 있고, 상기 제2 돌기는 상기 제1 돌기를 중심으로 좌우로 형성되며, 상기 제2 돌기의 높이는 상기 제1 돌기의 높이보다 낮을 수 있다.

또한, 본 발명의 액정 표시 장치를 제조하는 방법은, 베이스 기판 상에 대향 전극을 형성하는 단계, 상기 대향 전극 상에 서로 다른 높이의 돌기 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 돌기 패턴 상에 배향막을 형성하는 단계를 포함한다.

또한, 바람직하게는 상기 제조 단계 중 상기 돌기 패턴을 형성하는 단계는

상기 대향 전극 상에 감광성 재료를 도포하는 단계, 및 이중 패턴 마스크를 이용하여 상기 감광성 재료를 노광하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 양태로서, 본 발명의 액정 표시 장치는, 베이스 기판 상에 형성된 게이트 배선, 상기 게이트 배선 위로 형성된 데이터 배선, 상기 게이트 배선의 일부 및 상기 데이터 배선의 일부와 연결된 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자와 전기적으로 연결된 화소 전극, 상기 화소 전극 상에 형성되며 서로 다른 높이를 갖는 제1 돌기 및 제2 돌기를 포함하는 돌기 패턴, 및 상기 돌기 패턴 상에 형성된 배향막을 포함한다.

상기 구성에 있어서, 상기 제1 돌기 및 상기 제2 돌기는 서로 평행한 방향으로 형성될 수 있으며, 또한 상기 제1 돌기 및 제2 돌기는 각각 서로 다른 방향으로 뻗은 직선 돌기부를 포함할 수 있으며, 또한 바람직하게는 상기 제2 돌기는 상기 제1 돌기를 중심으로 좌우로 형성되며, 상기 제2 돌기의 높이는 상기 제1 돌기의 높이보다 낮을 수 있다.

또한 본 발명의 또 다른 양태로서, 본 발명의 액정 표시 장치를 제조하는 방법은, 베이스 기판 상에 제1 배선을 형성하는 단계, 상기 제1 배선 상에 제1 절연막을 형성하는 단계, 상기 제1 절연막 상에 제2 배선을 형성하는 단계,

상기 제2 배선 상에 제2 절연막을 형성하는 단계, 상기 제2 절연막 상에 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 상에 서로 다른 높이의 돌기 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 돌기 패턴 상에 배향막을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 단계 중 상기 돌기 패턴을 형성하는 단계는, 상기 대향 전극 상에 감광성 재료를 도포하는 단계, 및 이중 패턴 마스크를 이용하여 상기 감광성 재료를 노광하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 제1 베이스 기판, 상기 제1 베이스 기판 상에 형성된 게이트 배선, 상기 게이트 배선 위로 형성된 데이터 배선, 상기 게이트 배선의 일부 및 상기 데이터 배선의 일부와 연결된 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자와 전기적으로 연결된 화소 전극, 상기 화소 전극 상에 형성된 도메인 형성 수단, 상기 도메인 형성 수단 상에 형성된 제1 배향막을 포함하는 제1 기판과; 제2 베이스 기판, 상기 제2 베이스 기판 상에 형성된 대향 전극, 상기 대향 전극 상에 형성되며 서로 다른 높이를 갖는 제1 돌기 및 제2 돌기를 포함하는 돌기 패턴, 상기 돌기 패턴 상에 형성된 제2 배향막을 포함하는 제 2 기판과; 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이에 개재된 액정을 포함한다.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 개략도이다.

도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치는 서로 마주 보고 있는 하부 표시판(1)과 상부 표시판(2) 및 그 사이에 들어 있는 액정층(3)을 포함한다.

하부 표시판(1)은 교차하는 복수의 게이트선(121) 및 데이터선(171)과 이들에 연결되어 있는 복수의 박막 트랜지스터(Q), 그리고 박막 트랜지스터(Q)에 연결되어 있는 복수의 화소 전극(19)을 포함한다.

상부 표시판(2)은 하부 표시판(1)의 화소 전극(19)과 마주 보는 복수의 색필터(23) 및 전면에 깔려 있으며 공통 전압을 인가 받는 공통 전극(27)을 포함한다.

액정층(3)은 음의 유전율 이방성을 가지며 표시판(1, 2)의 표면에 대하여 수직으로 배향되어 있는 것이 바람직하다. 따라서 액정층(3)의 액정 분자들은 화소 전극(19)과 공통 전극(27)에 인가된 전압의 차이로 인하여 표시판(1, 2)의 표면에 대하여 수직인 전계가 생성될 경우 전계에 대하여 수직인 방향으로 배열하고자 한다.

한편, 하부 표시판(1)의 화소 전극(19)과 상부 표시판(2)의 공통 전극(270) 및 그 사이의 액정층(3)은 액정 축전기(C_LC)를 이룬다. 화소 전극(19)은 또한 하부 표시판(1)에 구비된 별개의 신호선(도시하지 않음)과 중첩되어 유지 축전기(C_ST)를 이루며 이 별개의 신호선에는 공통 전압 따위의 정해진 전압이 인가된다. 그러나 유지 축전기(C_ST)는 화소 전극(19)이 절연체를 매개로 바로 위의 전단 게이트선과 중첩되어 이루어질 수 있다.

색 표시를 구현하기 위한 색필터(23)는 하부 표시판(1)의 화소 전극(190) 위 또는 아래에 형성할 수도 있다.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치용 표시판에 형성된 돌기 및 이를 형성하기 위한 마스크를 도시한 단면도이다.

도 2를 참고하면, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치용 표시판은 베이스 기판(200)과 그 위에 차례대로 형성되어 있는 절연막(205), 전계 생성 전극(210), 제1 및 제2 돌기(221, 222) 및 배향막(220)을 포함한다. 제1 돌기(221)는 제2 돌기(222)보다 높이가 높은 것이 바람직하며, 제2 돌기(222)는 제1 돌기(221)의 둘레에 형성되어 있다. 제1 돌기(221)의 너비는 약 4μm 내지 약 6μm이고, 제2 돌기(222)의 너비는 약 1.5μm 내지 약 2.5μm이며, 제1 돌기(221)의 봉우리와 제2 돌기(222)의 봉우리 사이의 거리는 약 5μm 내지 약 6μm인 것이 바람직하다. 배향막(220)은 액정 분자들을 표면에 대하여 수직으로 배향하는 수직 배향막인 것이 바람직하며, 절연막(205)은 생략할 수도 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 마스크(20)는 투명한 기판(25)과 그 위에 형성되어 있는 돌기 형성용 제1 및 제2 패턴(21, 22)을 포함한다. 여기에서 제1 및 제2 패턴(21, 22)은 각각 표시판의 제1 및 제2 돌기(221, 222)에 대응하며, 제1 패턴(21)의 너비는 제2 패턴(22)의 너비보다 큰 것이 바람직하다. 제1 패턴(21)의 너비는 약 4μm 내지 약 6μm이고, 제2 패턴(22)의 너비는 약 1.5μm 내지 약 2.5μm이며, 제1 패턴(21)과 제2 패턴(22) 사이의 거리는 약 1.5μm 내지 약 2.5μm인 것이 바람직하다.

전계 생성 전극(210)은 도 1에 도시한 화소 전극(19) 또는 공통 전극(27)이며, 이 경우 절연막(205)은 오버코트막이다.

그러면 이러한 마스크를 사용하여 공통 전극 표시판 측의 돌기를 형성하는 과정에 대하여 간단히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 유리 기판 등의 베이스 기판(200) 상에 화소 전극(19) 사이의 빛샘을 막기 위한 차광막(도시 생략) 및 컬러 필터(23)를 형성한 후, 필요에 따라 오버코트막(205)을 형성한다. 그 후, 오버코트막(205) 상에 공통 전극(210)을 형성하고 돌기 형성용의 감광재를 도포한다.

다음으로, 도 2에 도시된 마스크 패턴을 사용하여 감광재를 노광하면 제1 패턴(21)에 대응하는 부분에는 제1 돌기(221)가, 제2 패턴(22)에 대응하는 부분에는 제2 돌기(222)가 형성된다.

다음에, 제1 돌기(221) 및 제2 돌기(222) 상에 폴리이미드(polyimide) 수지 등으로 이루어진 배향막(220)을 도포한다.

이와 같이, 도 2의 제1 패턴(21) 및 그 둘레의 제2 패턴(22)을 동시에 갖는 이중 패턴 마스크로 돌기(21, 22)가 형성되기 때문에 전체적인 돌기(21, 22)의 경사도가 개선되며, 이에 따라서 전계가 인가되지 않은 상태에서 수직 배향시 돌기(21, 22)의 부근의 액정 분자들이 수직에 가깝게 완만하게 배열된다. 따라서, 노멀리 블랙 모드의 수직 배향형 액정 표시 장치에서 도메인 형성 수단으로서 돌기를 사용하는 경우 돌기 부근에 배향된 액정으로 인한 블랙 표시 상태의 빛샘 현상이 완화되며, 이에 따라 대비비(CR)가 현저히 개선된다.

아래의 표 1에는 이러한 이중 패턴 마스크를 적용한 경우의 블랙 휘도, 화이트 휘도, 및 CR의 실험 데이터를, 오버코트막을 적용한 경우와 적용하지 않은 경우를 나누어 각각 종래와 비교하여 나타내었다. 도 3은 종래의 단일 패턴 마스크를 사용한 경우와 이중 패턴 마스크를 사용한 경우의 대비비(CR)를 도시한 그래프이다. 본 데이터는 도 2의 이중 패턴 마스크에서 제1 패턴(21)의 너비(CD, critical dimension)를 5㎛, 제2 패턴(22)의 너비를 2㎛, 제1 패턴(21)과 제2 패턴(22) 간의 간격을 2㎛로 하고, 단일 패턴을 갖는 종래의 마스크를 사용할 때 패턴의 CD를 14㎛로 하여 얻었다.

	오버코트막 적용			오버코트막 미적용
	B	W	CR	B	W	CR
이중 패턴	0.58	446.4	764.4	0.56	451.5	803.4
단일 패턴	0.72	424.4	586.2	1.10	418.3	380.6

표 1 및 도 3을 참조하면, 오버코트막을 적용하거나 또는 적용하지 않은 경 우 공히 이중 패턴을 사용할 때 블랙 휘도가 현저히 감소하고 대비비(C/R)가 현저히 증가됨을 확인할 수 있다.

도 4는 이중 패턴 마스크로 형성된 돌기의 예를 나타낸 평면도로서, 너비가 넓은 제1 돌기(221)와 너비가 좁은 제2 돌기(222)가 서로 평행하게 뻗어 있다. 도시한 바와 같이 제2 돌기(22)는 제1 돌기(221)의 양쪽 가장자리 모두에 존재할 수도 있고, 한 쪽 가장자리에만 존재할 수도 있다.

도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도이다.

도 1 및 도 5에 도시한 바와 같이 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 하부 표시판(1)의 화소 전극(19)에는 사선의 형태로 비스듬하게 뻗은 절개부(191)가 형성되어 있고, 상부 표시판(2)의 공통 전극(27) 위에는 복수의 크고 작은 돌기(223, 224)가 형성되어 있다. 각 돌기(223, 224)는 도 4에 도시한 바와 같이 높이가 높은 주 돌기와 그 주변에 위치하며 높이가 낮은 부 돌기로 이루어진다.

각 돌기(223, 224)는 쐐기 모양의 굴절부와 그 양단에 연결되어 있는 세로부로 이루어진다. 굴절부는 거의 수직을 이루는 두 개의 사선부로 이루어지며, 세로부는 굴절부로부터 둔각을 이루며 꺾어져 화소 전극(19)의 가장자리 부분과 거의 일치한다.

큰 돌기(223)의 굴절부와 작은 돌기(224)의 굴절부의 굴절 방향은 서로 반대이며, 큰 돌기(223)의 굴절부는 화소 전극(19) 하나의 폭 전체를 비스듬하게 가로지르고 작은 돌기(224)의 굴절부는 화소 전극(19)의 반 정도의 폭을 비스듬하게 가 로지른다.

화소 전극(19)의 열 방향을 따라서 보면 큰 돌기(223)와 작은 돌기(224)가 번갈아 배치되어 있고 큰 돌기(223)의 굴절부와 이에 인접한 작은 돌기(224)의 굴절부는 서로 평행하며 둘 사이에는 역시 이들과 평행한 절개부(191)가 위치한다. 도 5에는 인접한 화소 전극(19) 열의 큰 돌기(223)의 세로부와 작은 돌기(224)의 세로부가 연결되는 것으로 도시되어 있으나 그렇지 않고 떨어져 있을 수도 있다.

화소 전극(19)의 절개부(191)는 돌기와 대체될 수 있다.

이와 같은 절개부(191)와 돌기(223, 224)는 화소 전극(19)과 공통 전극(27) 사이에 생성되는 수직 방향의 전계에 수평 방향의 성분을 만들어 액정층(3)의 액정 분자들이 넘어지는 방향을 결정해 준다. 절개부(191)와 돌기(223, 224)를 중심으로 양쪽의 액정 분자들이 반대 방향으로 넘어지며, 절개부(191)와 돌기(223, 224)들이 서로 수직을 이루는 부분들을 가지므로 액정 분자들이 모두 4 방향으로 기울어지며 이에 따라 시야각이 넓어진다.

한편, 이상에서는 공통 전극 표시판 측에 차광막 및 색필터가 형성된 경우를 예시하였지만, 이들은 대향 전극 기판 측이 아닌 화소 전극 표시판 측에 형성될 수 있다. 또한 오버코트막은 필요에 따라 생략될 수 있다.

또한, 본 실시예의 경우 공통 전극이 있는 공통 전극 표시판 측에 돌기를 형성하는 경우를 예시하였으나, 화소 전극 표시판 측의 화소 전극 상에 이러한 이중 돌기를 형성할 수 있다.

이 경우, 화소 전극 상에 마찬가지로 도 2의 마스크 패턴을 사용하여 돌기를 형성하고 화소 전극 측 배향막을 도포한다.

또한, 본 발명은 화소 전극 기판 및 대향 전극 기판 모두에 돌기를 적용하는 경우뿐만 아니라, 어느 한쪽에는 돌기를 적용하고, 다른 기판 측에는 다른 종류의 도메인 형성 수단, 가령 화소 전극 또는 대향 전극 상에 개구부를 형성하는 방식에도 적용될 수 있다.

이상에서는 실시예를 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

본 발명에 따르면, 수직 배향형 액정 표시 장치의 도메인 제어 수단으로서 사용되는 돌기의 경사도가 개선되어 블랙 휘도가 감소되고 대비비(CR)가 증가됨으로써, 화면이 표시 품질이 향상된다.

Claims

베이스 기판,

상기 베이스 기판 상에 형성된 적어도 하나의 전계 생성 전극,

상기 전계 생성 전극 상에 형성되며 서로 다른 높이를 갖는 제1 돌기 및 제2 돌기를 포함하는 돌기부, 그리고

상기 돌기부 상에 형성된 배향막

을 포함하는 액정 표시 장치용 표시판.
제1항에서,

상기 제1 돌기 및 상기 제2 돌기는 서로 평행하게 뻗어 있는 액정 표시 장치용 표시판.
제2항에서,

상기 돌기부는 서로 다른 방향으로 뻗은 복수의 직선부를 포함하는 액정 표시 장치용 표시판.
제2항에서,

상기 제2 돌기는 상기 제1 돌기에 인접하며, 상기 제2 돌기의 높이는 상기 제1 돌기의 높이보다 낮은 액정 표시 장치용 표시판.
제1항에서,

상기 제2 돌기는 상기 제1 돌기에 인접하게 형성되며, 상기 제2 돌기의 너비는 상기 제1 돌기의 너비보다 좁은 액정 표시 장치용 표시판.
제5항에서,

상기 제1 돌기의 너비는 4μm 내지 6μm이고, 상기 제2 돌기의 너비는 1.5μm 내지 2.5μm이며, 상기 제1 돌기의 봉우리와 상기 제2 돌기의 봉우리 사이의 거리는 5μm 내지 6μm인 액정 표시 장치용 표시판.
제1항에서,

상기 전계 생성 전극은 상기 베이스 기판의 전면에 걸쳐 있는 액정 표시 장치.
제1항에서,

상기 전계 생성 전극의 수효는 둘 이상인 액정 표시 장치.
제8항에서,

상기 베이스 기판 상에 형성된 복수의 게이트선,

상기 게이트 배선 위에 형성된 데이터선,

상기 게이트선, 및 상기 데이터선, 및 상기 전계 생성 전극과 연결된 스위칭 소자

를 더 포함하는 액정 표시 장치.
베이스 기판 상에 전계 생성 전극을 형성하는 단계,

상기 전계 생성 전극 상에 서로 다른 높이의 돌기를 형성하는 단계, 그리고

상기 돌기 상에 배향막을 형성하는 단계

를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제10항에 있어서,

상기 돌기를 형성하는 단계는,

상기 전계 생성 전극 상에 감광성 재료를 도포하는 단계, 그리고

이중 패턴 마스크를 이용하여 상기 감광성 재료를 노광하는 단계

를 포함하는

액정 표시 장치의 제조 방법.
제11항에서,

상기 베이스 기판 상에 제1 배선을 형성하는 단계,

상기 제1 배선 상에 제1 절연막을 형성하는 단계,

상기 제1 절연막 상에 제2 배선을 형성하는 단계, 그리고

상기 제2 배선 상에 제2 절연막을 형성하는 단계

를 더 포함하며,

상기 전계 생성 전극은 상기 제2 절연막 위에 위치하는

액정 표시 장치의 제조 방법.
제11항에 있어서,

상기 이중 패턴 마스크는 서로 떨어져 있는 제1 및 제2 패턴을 포함하며 상기 제2 패턴은 상기 제1 패턴보다 너비가 작은 액정 표시 장치의 제조 방법.
제13항에 있어서,

상기 제1 패턴의 너비는 4μm 내지 6μm이고, 상기 제2 패턴의 너비는 1.5μm 내지 2.5μm이며, 상기 제1 패턴과 제2 패턴 사이의 거리는 1.5μm 내지 2.5μm인 액정 표시 장치의 제조 방법.
제1 베이스 기판, 상기 제1 베이스 기판 상에 형성된 게이트선, 상기 게이트선 위에 형성된 데이터선, 상기 게이트선 일부 및 상기 데이터선과 연결된 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자와 전기적으로 연결된 화소 전극, 상기 화소 전극 상에 형성된 도메인 형성 수단, 상기 도메인 형성 수단 상에 형성된 제1 배향막을 포함하는 제1 기판,

제2 베이스 기판, 상기 제2 베이스 기판 상에 형성된 대향 전극, 상기 대향 전극 상에 형성되며 서로 다른 높이를 갖는 제1 돌기 및 제2 돌기를 포함하는 돌기부, 상기 돌기부 상에 형성된 제2 배향막을 포함하는 제2 기판, 그리고

상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재된 액정층

을 포함하는 액정 표시 장치.
제15항에서,

상기 제1 돌기 및 상기 제2 돌기는 인접한 액정 표시 장치.
제16항에서,

상기 제2 돌기의 높이는 상기 제1 돌기의 높이보다 낮은 액정 표시 장치.
제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에서,

상기 제1 및 제2 배향막은 수직 배향막이고 상기 액정층은 음의 유전율 이방성을 가지는 액정 표시 장치.
제18항에서,

상기 액정 표시 장치는 노멀리 블랙 모드인 액정 표시 장치.