KR100983744B1 - 파라메트릭 어레이 응용을 위한 음파 발생기 - Google Patents

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Abstract

음파 발생기는 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환하는 트랜스듀서(transducer), 상기 트랜스듀서의 압전(piezo-electric)에서 발생된 진동을 기계적으로 증폭시키는 기계적 증폭부 및 상기 기계적 증폭부에서 증폭된 신호에서 음파를 방사시키는 방사판을 포함하되, 상기 방사판은 제1 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제1 요철 및 제2 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제2 요철을 구비한다. 제안된 음파 발생기는 구조가 간단한 단일 트랜스듀서로 구동되기 때문에 배열 트랜스듀서에 비해 낮은 비용으로 제작될 수 있으며, 낮은 전력으로 넓은 방사 면적을 통해 음파의 지향성 특성을 향상시킬 수 있다.

Description

파라메트릭 어레이 응용을 위한 음파 발생기{Sound wave generator for the application of the parametric array}
본 발명은 음파 발생기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공기 중에서 파라메트릭 어레이(parametric array) 현상을 구현하기 위해 두 개의 주파수 영역에서 고음압, 고지향성 음파를 발생할 수 있는 음파 발생기에 관한 것이다.
본 발명은 파라메트릭 어레이 기반의 초음파 거리센서와 같은 두 개의 고출력 지향성 음파가 요구되는 기기에의 적용될 수 있다.
본 발명은 파라메트릭 어레이 기반의 초음파 거리측정 트랜스듀서로 적용될 수 있다.
일반적으로 음파 발생기에 의해서 발생되는 음파의 지향성은 주파수(k)와 방사판 크기(a)의 함수로 표현된다. 도 1에 도시한 바와 같이, 음파의 주파수가 높을수록 방사판의 크기가 넓을수록 고지향성의 음파를 발생시킬 수가 있다. ka=1인 경우에 비해 ka=100인 경우 음파의 지향성이 높아지는 것을 볼 수 있다. 그러나 고지 향성을 확보하기 위해 주파수를 높일 경우 높은 감쇠효과에 의해 음파의 진행거리가 짧아진다. 방사판 크기를 키우는 데에도 물리적인 제약이 있다.
이와 같은 문제를 해결하기 위해서 제안된 방법이 수중 소나(SONAR)에 적용되었던 파라메트릭 어레이 현상을 이용한 음파 발생이다. 파라메트릭 어레이 현상은 고압의 음파가 진행하면서 발생하는 매질의 비선형 현상이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 고압의 f1, f2의 신호를 음파 발생기에서 발생시킬 경우 직접 발생시킨 f1, f2의 신호 이외에도 매질의 비선형 현상에 의해 2f1, 2f2, f2+f1, f2-f1,... 등의 다양한 하모닉스(harmonic) 신호들이 발생된다. 이때 fd=f2-f1 ≪ f1,f2 인 경우, 상대적으로 높은 주파수 신호인 f1, f2, 2f1, 2f2, f2+f1의 주파수 신호는 높은 감쇠효과에 의해서 빨리 사라지는 반면 상대적으로 낮은 주파수인 fd 주파수 신호만 남는다. 이러한 차주파수(fd) 신호의 경우 매질 속에서 라인형태의 음원(source)이 분포하므로 고주파수인 f1, f2와 비슷한 지향성을 얻을 수 있다. 따라서 파라메트릭 어레이 현상을 이용한 음파 발생기의 경우 낮은 주파수에서 높은 지향성의 음파를 발생할 수 있는 장점이 있다.
일반적으로 수중의 경우 공기 중에 비해 방사 임피던스(impedance)가 높아 고음압의 음파를 발생시키기 쉽고, 비선형 효과의 효율을 결정하는 비선형 상수(ex. 수중은 3.5, 공기 중은 1.2)도 큰 값을 가진다. 따라서 수중에서는 공기 중에 비해 높은 효율로 파라메트릭 어레이를 구현할 수 있다. 공기 중에서 파라메트 릭 어레이를 구현하기 위해서는 낮은 효율을 극복하기 위해 두 가지 주파수에서 강력한 음파발생이 필요하다. 일반적으로 공기 중 파라메트릭 구동기는 넓은 방사면적으로 구동이 가능한 배열을 이용한 방법으로 구동된다. 그러나 이 방법은 트랜스듀서를 제작하는데 비용이 많이 들고 전력소모도 심하다는 단점이 있다.
미국등록특허 US 5299175 (1993.1.19) "Electroacoustic unit for generating high sonic and ultra-sonic intensities in gases and interphases" 에서 공기 중에서 매우 높은 효율과 출력을 가지는 요철 트랜스듀서(stepped plate transducer)가 제안되었다. 도 3에서 요철이 없는 방사판에서 변형진동에 의한 방사 특성이 좋지 않음을 볼 수 있다. 도 4에 도시한 바와 같이 요철 트랜스듀서는 방사판에 공기 중 소리의 반 파장에 해당하는 높이의 요철(step)을 줌으로서 방사판의 진동 모드에 의한 위상 차이를 보상하는 방식이다. 요철 트랜스듀서는 넓은 방사 면적을 가지므로 기존의 트랜스듀서에 비해 고효율, 고음압, 고지향성의 음파를 발생시킬 수 있다. 그리고 요철 트랜스듀서의 구조도 간단하므로 값싼 비용으로 제작할 수 있다. 종래의 요철 트랜스듀서는 한 가지 주파수에 대해서만 위상 차이를 보상할 수 있기 때문에 한 가지 주파수 신호만 강하게 발생시킬 수 있다. 그러나 파라메트릭 어레이 현상이 발생하기 위해서는 두 가지 이상의 주파수에서 고음압의 음파가 필요하기 때문에 종래의 요철 트랜스듀서는 파라메트릭 어레이 현상을 적용하기에는 어려움이 있다.
한편, 초음파 거리센서는 도 5에 도시한 바와 같이 초음파를 발생시키는 송신부(actuator), 반사된 음파를 수신하는 수신부(sensor)로 구성된다. 초음파 거리 센서는 공기 중에서 수 m 이상의 거리를 측정하기 위하여 대부분 20-60kHz 대역의 초음파 펄스를 이용한다. 초음파 거리센서는 송신부에서 발생된 초음파가 물체에 반사되어 수신부에 감지되기까지의 시간을 계산하여 거리를 측정한다. 일반적으로 초음파 거리센서의 공간분해능은 초음파의 지향성에 비례한다. 초음파의 지향각이 좁을수록 높은 공간분해능을 나타낸다. 초음파 거리 센서는 넓은 지향각에 의해 공간분해능이 떨어지는 단점이 있다.
초음파 거리센서는 구동 방식에 따라 정전용량형, 압전형 트랜스듀서가 있다. 일반적으로 압전형 방식은 송신용 액츄에이터와 수신용 센서를 분리하는 경우가 많고, 정전용량형 방식은 송수신을 겸하는 형태가 많다.
기존의 초음파 거리센서의 경우 일반적으로 D1-5cm의 크기에서 20°-50° 정도의 지향각(HPBW: Half Power Beam Width)을 가진다. 지향각이 20°-50°일 경우 공간 분해능도 이와 비슷한 크기를 가진다. 이와 같은 초음파 거리센서의 분해능이 떨어지는 문제를 해결하기 위해 파라메트릭 어레이를 이용한 거리센서가 제안된 바 있다. 파라메트릭 어레이 현상의 경우 낮은 주파수 신호로도 높은 지향성을 확보할 수 있기 때문에 D1-3cm 정도의 크기에서 20-60kHz 신호로 약 3-5 °정도의 지향각을 확보할 수 있다.
파라메트릭 어레이 현상을 구현하기 위해서는 두 가지 주파수 신호를 고음압, 고지향성으로 발생시켜야한다. 최근의 공기 중 파라메트릭 어레이 구동기는 큰 방사면적을 가지기 위해 압전 필름이나 배열을 이용한 형태로 구성되고 있다. 배열 트랜스듀서의 경우, 서로 다른 공진주파수를 가지는 유닛 트랜스듀서를 다수 배열 하여 두 가지 주파수 영역에서 공진주파수를 갖도록 설계된다. 그러나 배열 트랜스듀서의 경우 각각의 유닛 트랜스듀서를 제작하는데 많은 비용이 들고 전력소모도 매우 크다는 단점이 있다.
파라메트릭 어레이 현상을 보다 효율적으로 구현할 수 있는 음파 발생기가 요구된다.
본 발명은 파라메트릭 어레이 현상을 보다 효율적으로 구현할 수 있는 음파 발생기를 제공함에 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기는 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환하는 트랜스듀서(transducer), 상기 트랜스듀서의 압전(piezo-electric)에서 발생된 진동을 기계적으로 증폭시키는 기계적 증폭부 및 상기 기계적 증폭부에서 증폭된 신호에서 음파를 방사시키는 방사판을 포함하되, 상기 방사판은 제1 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제1 요철 및 제2 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제2 요철을 구비한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 음파 발생 구동 시스템은 파라메트릭 어레이 현상을 발생시키기 위한 신호를 변조하는 신호 발생부, 상기 신호 발생부에서 변조 된 신호를 증폭하는 신호 증폭부 및 상기 신호 증폭부에서 증폭된 신호를 음파로 변환하는 음파 발생기를 포함하되, 상기 음파 발생기는 음파를 방사시키는 방사판을 포함하고, 상기 방사판은 제1 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제1 요철 및 제2 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제2 요철을 구비한다.
제안된 음파 발생기는 구조가 간단한 단일 트랜스듀서로 구동되기 때문에 배열 트랜스듀서에 비해 낮은 비용으로 제작될 수 있으며, 낮은 전력으로 넓은 방사 면적을 통해 음파의 지향성 특성을 향상시킬 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생 구동 시스템을 나타낸다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 구조를 나타낸다.
도 6 및 7을 참조하면, 음파 발생 구동 시스템(100)은 신호 발생부(110), 신호 증폭부(120) 및 음파 발생기(130)를 포함한다. 신호 발생부(110)는 파라메트릭 어레이 현상을 발생시키기 위한 신호를 변조한다. 신호 증폭부(120)는 변조된 신호를 증폭하여 음파 발생기(130)에 인가한다. 음파 발생기(130)는 증폭된 신호를 음파로 변환한다. 음파 발생 구동 시스템(100)을 두 가지 공진 주파수의 음파를 발생시키는 요철 트랜스듀스의 구동 시스템이라 할 수 있다.
음파 발생기(130)는 트랜스듀서(210), 구동 물질(215), 기계적 증폭부(220) 및 방사판(230)을 포함한다. 트랜스듀서(210)는 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환한다. 구동 물질(215)로 압전 세라믹(piezo ceramics)이 사용될 수 있고, 트랜스듀서(210)로 압전(piezo-electric)을 볼트로 조인 랑주뱅 형(Langevin type) 트랜스듀서가 사용될 수 있다. 기계적 증폭부(220)는 압전에서 발생된 진동을 혼의 형태를 이용하여 기계적으로 증폭시킨다. 기계적 증폭부(220)로 스텝 혼(stepped horn), 선형 혼(linear horn), 익스포넨셜 혼(exponential horn)등의 다양한 구조의 혼으로 제작될 수 있다. 방사판(230)은 증폭된 신호로부터 음파를 방사시킨다. 기계적 증폭부(220) 및 방사판(230)은 탄성이 있는 금속, 고분자 화합물 등 다양한 재질로 제작될 수 있다. 방사판(230)은 제안하는 추가된 요철(added step)을 이용하여 파라메트릭 에레이 현상의 구현을 위해 두 가지 주파수 신호를 고음압, 고지향성 음파를 발생시킬 수 있는 구조를 가진다. 요철을 구비하는 방사판(230)을 이용하는 음파 발생기(130)를 요철 트랜스듀서라 할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 방사판에서의 보상 원리를 나타낸다.
도 8을 참조하면, 종래의 요철 트랜스듀서는 한 가지 주파수에서 고음압의 음파 출력이 가능하였으나, 제안하는 음파 발생기는 방사판 요철의 높이와 위치를 수정하여 두 가지 공진 모드에서 보상이 가능하다.
요철을 이용한 두 가지 공진 모드의 보상 방법은 다음과 같다.
방사판의 공진 주파수를 m kHz, n kHz라고 가정한다. 공진 주파수가 m일 때를 m 모드, 공진 주파수가 n일 때를 n 모드라 한다. n 모드의 공기 중 음파의 파장 을 λ라고 할 때, m 모드의 공기 중 음파의 파장은 (n/m)λ이다. 보상을 위해서 필요한 요철의 높이는 공기 중 음파의 반 파장의 홀수 배이므로, 각각의 모드에서 위상 보상시에 필요한 요철의 높이는 m 모드에서 (n/2m)λ, (3n/2m)λ, (5n/2m)λ,...이고, n 모드에서 (1/2)λ, (3/2)λ, (5/2)λ,... 이다.
m 모드의 진동은 (n/2m)λ 높이의 요철로 보상할 수 있다. n 모드의 보상을 위한 요철의 높이를 m 모드의 공기 중 파장 (n/m)λ의 x배(x는 정수)로 정하면, m 모드의 보상 방식에 영향을 주지 않으면서 n 모드의 진동을 보상할 수 있다.
n 모드의 보상을 위한 요철 높이는 수학식 1에 따라 (y/2)λ로 정해질 수 있다.
Figure 112008053028651-pat00001
여기서, x=1,2,3,...이고, y=1,3,5,... 이다. n, m은 공진 주파수이고, λ는 공기 중 음파의 파장이다. 수학식 1을 만족하도록 x 및 y를 결정하면, m 모드의 진동에 간섭 없이 n 모드의 진동을 보상할 수 있다. 따라서 m 모드는 (n/2m)λ 높이의 요철, n 모드는 (y/2)λ 높이의 요철을 이용하여 진동 모드를 보상할 수 있다.
보상 순서는 다음과 같다. 먼저 m kHz의 진동 모드를 (n/2m)λ 높이의 요철로 완전 보정한다. 다음으로 n kHz의 진동 모드를 (y/2)λ 높이의 요철로 부분 보정을 한다. (y/2)λ 높이의 요철의 경우 n kHz의 파장과 길이가 같기 때문에 n kHz의 공진 주파수에서 발생되는 음파에 영향을 끼치지 않으면서 m kHz의 진동 모드를 보상할 수 있다.
따라서 제안된 요철 트랜스듀서의 경우 두 가지 주파수에서 고음압/고출력의 음파를 방사할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 추가된 요철(added step) 방사판이 적용된 음파 발생기를 나타낸다.
도 9를 참조하면, 균일한 방사판에 제1 요철(310) 및 제2 요철(320)이 추가됨으로써 두 가지 공진 주파수의 공진 모드를 보상할 수 있다. 제1 요철(310) 및 제2 요철(320)은 도시한 바와 같이 방사판 전체적으로 함께 구비될 수 있고, 또는 방사판의 영역을 나누어 구비될 수도 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 음파 발생기의 방사판에서의 보상 원리를 나타낸다.
도 10을 참조하면, m kHz 및 n kHz의 두 가지 공진 주파수에서 보상을 수행하기 위해 방사판을 m kHz의 공진 주파수에 대한 보상 영역 및 n kHz의 공진 주파수에 대한 보상 영역으로 나눌 수 있다. m kHz의 공진 주파수에 대한 보상 영역에는 (n/2m)λ 높이의 요철을 생성시켜 진동 모드를 보상한다. n kHz의 공진 주파수에 대한 보상 영역에는 (y/2)λ 높이의 요철을 생성시켜 진동 모드를 보상한다. 즉, 각 영역에 해당 공진 모드의 반파장에 해당하는 요철을 생성시켜 동일한 위상의 음파가 발생할 수 있도록 한다.
방사판의 효과는 레일리 적분(Rayleigh integral)을 통해 확인할 수 있다. 레일리 적분은 방사판의 모드 형상에 따른 빔 패턴을 구하기 위한 방법으로, 방사 판의 미소 면적을 심플 소스(simple source)로 보고 방사 면적에 대하여 적분하는 것이다.
도 11은 균일한 방사판에서 레일리 적분을 통한 방사 특성을 나타낸다. 도 12는 종래의 요철 방사판에서 레일리 적분을 통한 방사 특성을 나타낸다. 도 13은 제안된 요철 방사판에서 레일리 적분을 통한 방사 특성을 나타낸다. 공진 주파수 80 kHz 및 120 kHz가 사용된 경우이다.
도 11 내지 13을 참조하면, 요철이 없는 균일한 방사판의 경우 80 kHz, 120 kHz의 진동 모드에서 모두 좋지 않은 지향성 특성을 볼 수 있다. 종래의 요철 방사판의 경우 위상 보정이 일어나는 80 kHz의 진동 모드에서는 좋은 방사 특성을 보이는 반면 위상 보정이 되지 않는 120 kHz의 진동 모드에서는 좋지 않은 지향성 특성을 보인다. 제안된 요철 방사판의 경우 80 kHz, 120 kHz의 두 가지 진동 모드에서 모두 좋은 지향성 특성을 볼 수 있다. 따라서 본 발명에서 제안된 요철 방사판의 경우 두 가지 공진 주파수 영역에서 고음압 고지향성의 음파를 발생시킬 수 있음을 확인할 수 있다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 지향성 특성을 나타낸다. 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 거리에 따른 음압 분포 특성을 나타낸다.
도 14 및 15를 참조하면, 제안된 음파 발생기를 제작하여 지향성 특성을 실험한 결과이다. 두 가지 주파수 대역(f1, f2)에서 지향각 5°정도의 고지향성 초음 파 발생을 확인할 수 있으며 130 dB 이상의 높은 음압을 확보할 수 있다. 그리고 공기 중 파라메트릭 현상을 통해 차음(fd=f2-f1)이 발생하였으며, 차음의 지향각은 3.5°, 음압은 95 dB 정도의 고지향성 저주파 신호(40kHz)로 발생되었다.
본 발명에서는 파라메트릭 현상을 구현하기 위한 음파 발생기를 제안하였다. 제안된 음파 발생기는 파라메트릭 현상을 구현하는 가장 보편적으로 쓰이는 수중 소나 또는 해저 물체 탐지에 적용되어 적은 면적으로도 공간 분해능이 높은 소나 시스템에 적용될 수 있다. 또한, 제안된 음파 발생기는 공기 중 초음파 거리센서에 적용될 수 있으며, 초음파 거리센서의 공간 분해능을 높일 수 있을 것이다. 또한 제안된 음파 발생기는 지향성을 요구하는 초음파 스피커에 적용될 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형 또는, 변경하여 실시할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 앞으로의 실시예들의 변경은 본 발명의 기술을 벗어날 수 없을 것이다.
도 1은 일반적인 음파의 지향성 특성을 나타낸다.
도 2는 주파수 축에서 파라메트릭 어레이 현상을 나타낸다.
도 3은 요철이 없는 방사판에서 변형진동에 의한 방사 특성을 나타낸다.
도 4는 요철 트랜스듀서의 변형진동의 보상원리를 나타낸다.
도 5는 초음파 거리센서의 측정 원리를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생 구동 시스템을 나타낸다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 구조를 나타낸다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 방사판에서의 보상 원리를 나타낸다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 추가된 요철(added step) 방사판이 적용된 음파 발생기를 나타낸다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 음파 발생기의 방사판에서의 보상 원리를 나타낸다.
도 11은 균일한 방사판에서 레일리 적분을 통한 방사 특성을 나타낸다.
도 12는 종래의 요철 방사판에서 레일리 적분을 통한 방사 특성을 나타낸다.
도 13은 제안된 요철 방사판에서 레일리 적분을 통한 방사 특성을 나타낸다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 지향성 특성을 나타낸다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 음파 발생기의 거리에 따른 음압 분포 특성을 나타낸다.

Claims (11)

  1. 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환하는 트랜스듀서(transducer);
    상기 트랜스듀서의 압전(piezo-electric)에서 발생된 진동을 기계적으로 증폭시키는 기계적 증폭부; 및
    상기 기계적 증폭부에서 증폭된 신호에서 음파를 방사시키는 방사판을 포함하되,
    상기 방사판은 제1 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제1 요철 및 제2 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제2 요철을 구비하고,
    상기 제2 요철의 높이는 상기 제1 공진 주파수일 때의 공기 중 파장의 정수배인 것을 특징으로 하는 음파 발생기.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 공진 주파수를 m, 상기 제2 공진 주파수를 n, 상기 제2 공진 주파수의 공기 중 파장을 λ라고 할 때, 상기 제1 요철의 높이는 (n/2m)λ이고, 제2 요철의 높이 (y/2)λ는
    Figure 112008053028651-pat00002
    와 같이 정해지는 것을 특징으로 하는 음파 발생기. 여기서, x=1,2,3,...이고, y=1,3,5,... 이다.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 트랜스듀서는 압전을 볼트로 조인 랑주뱅 형(Langevin type) 트랜스듀서인 것을 특징으로 하는 음파 발생기.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 기계적 증폭부는 스텝 혼(stepped horn), 선형 혼(linear horn), 익스포넨셜 혼(exponential horn) 중 적어도 하나의 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 음파 발생기.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 방사판은 탄성 재질로 마련되는 것을 특징으로 하는 음파 발생기.
  6. 제1 항에 있어서, 상기 제1 요철 및 상기 제2 요철은 상기 방사판 전체에 함께 구비되는 것을 특징으로 하는 음파 발생기.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 방사판은 제1 요철이 구비되는 영역 및 제2 요철이 구비되는 제2 영역으로 나뉘는 것을 특징으로 하는 음파 발생기.
  8. 파라메트릭 어레이 현상을 발생시키기 위한 신호를 변조하는 신호 발생부;
    상기 신호 발생부에서 변조된 신호를 증폭하는 신호 증폭부; 및
    상기 신호 증폭부에서 증폭된 신호를 음파로 변환하는 음파 발생기를 포함하되,
    상기 음파 발생기는 음파를 방사시키는 방사판을 포함하고,
    상기 방사판은 제1 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제1 요철 및 제2 공진 주파수를 보상하는 높이를 가지는 제2 요철을 구비하고,
    상기 제2 요철의 높이는 상기 제1 공진 주파수일 때의 공기 중 파장의 정수배인 것을 특징으로 하는 음파 발생 구동 시스템.
  9. 제8 항에 있어서, 상기 제1 공진 주파수를 m, 상기 제2 공진 주파수를 n, 상기 제2 공진 주파수의 공기 중 파장을 λ라고 할 때, 상기 제1 요철의 높이는 (n/2m)λ이고, 제2 요철의 높이 (y/2)λ는
    Figure 112008053028651-pat00003
    와 같이 정해지는 것을 특징으로 하는 음파 발생 구동 시스템. 여기서, x=1,2,3,...이고, y=1,3,5,... 이다.
  10. 제8 항에 있어서, 상기 제1 요철 및 상기 제2 요철은 상기 방사판 전체에 함께 구비되는 것을 특징으로 하는 음파 발생 구동 시스템.
  11. 제8 항에 있어서, 상기 방사판은 제1 요철이 구비되는 영역 및 제2 요철이 구비되는 제2 영역으로 나뉘는 것을 특징으로 하는 음파 발생 구동 시스템.
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