KR100977740B1 - 기판 이송 장치 및 이를 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 이송 장치 및 이를 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

기판 이송 장치는 이송 챔버, 지지 부재, 이송 부재, 실벨트 및 롤러를 포함한다. 상기 이송 챔버는 일측에 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된다. 상기 지지 부재는 상기 이송 챔버의 내부에 설치되고, 상기 기판을 지지한다. 상기 이송 부재는 상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고, 상기 지지 부재를 상하 이송시킨다. 상기 실벨트는 상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버한다. 상기 롤러는 상기 이송 부재에 장착되며, 상기 실벨트의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트에 힘을 인가하고, 상기 힘이 중앙 부위에 집중되도록 상기 실벨트와 접촉하는 면을 라운드지게 형성한 적어도 하나로 이루어질 수 있다. 따라서, 실벨트에 가해지는 힘을 중앙 부위에 집중시킴으로써, 실벨트가 편심될 경우 발생될 수 있는 이물질을 방지할 수 있다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 기판 처리 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING AND APPARATUS FOR PROCESSING A GLASS INCLUDING THE SAME}
본 발명은 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 기판을 상하 방향으로 이송시키기 위한 이송 장치 및 이를 포함하여 상기 기판을 처리하는 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시장치에서 영상을 표시하는 사용되는 디스플레이 소자는 투명한 유리 재질의 기판을 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 디스플레이 소자는 상기 기판을 대상으로 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정등을 수행하여 제조된다.
이러한 공정들 각각은 공정 챔버내에 이루어지며, 서로 다른 케미컬을 사용할 수 있다. 이에, 상기 공정들은 연속적으로 이루어짐에 따라 상기 공정 챔버들도 연속적으로 설치될 수 있다.
이에, 상기 공정 챔버들은 공간적 활용을 하기 위하여 두개의 층으로 나누어 진행될 수 있다. 이때, 상층에 위치한 상기 공정 챔버들에서 모든 공정들을 수행한 상기 기판은 별도의 기판 이송 장치를 통하여 하층에 위치한 상기 공정 챔버들로 이송된다.
상기 기판 이송 장치는 일측은 상층에 위치한 상기 공정 챔버들과 하층에 위치한 상기 공정 챔버들과 연결되고, 타측에는 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된 이송 챔버, 상기 이송 챔버의 내부에서 상기 기판을 지지하는 지지부, 상기 지지부와 연결되어 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고 상기 지지부를 상하 이송시키는 이송부를 포함한다.
이때, 상기 기판 이송 장치는 상기 개구부로 이물질이 유입될 수 있으므로, 상기 개구부는 별도의 실벨트(seal belt)에 의해 커버된다. 이럴 경우, 상기 이송 부재가 상기 개구부에서 상기 실벨트와 접촉함으로써, 상기 기판 이송 장치는 상기 이송 부재에 장착되면서 상기 실벨트의 장력을 유지하는 롤러를 더 포함한다.
그러나, 상기 실벨트가 상기 롤러에서 움직일 경우, 상기 실벨트가 상기 롤러의 중앙 부위를 이탈하게 됨으로써, 결론적으로 상기 실벨트가 상기 롤러로부터 분리되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 실벨트가 롤러로부터 분리되는 것을 방지하기 위한 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 기판 이송 장치를 포함하는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 이송 장치는 이송 챔버, 지지 부재, 이송 부재, 실벨트 및 롤러를 포함한다. 상기 이송 챔버는 일측에 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된다. 상기 지지 부재는 상기 이송 챔버의 내부에 설치되고, 상기 기판을 지지한다. 상기 이송 부재는 상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고, 상기 지지 부재를 상하 이송시킨다. 상기 실벨트는 상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버한다. 상기 롤러는 상기 이송 부재에 장착되며, 상기 실벨트의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트에 힘을 인가하고, 상기 힘이 중앙 부위에 집중되도록 상기 실벨트와 접촉하는 면을 라운드지게 형성한 적어도 하나로 이루어질 수 있다.
이에, 상기 접촉면은 상기 접촉면은 볼록 또는 오목하게 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 롤러는 상기 실벨트를 기준으로 양 단부에 상기 실벨트의 이탈을 방지하기 위한 돌출부가 형성될 수 있다.
한편, 상기 이송 부재의 상부 및 하부에는 각각 한 쌍의 상기 롤러들이 장착되며, 상기 실벨트는 상기 한 쌍의 롤러들에 지그재그 형태로 감긴 것을 특징으로 할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 기판 처리 장치는 제1 처리부, 제2 처리부 및 기판 이송부를 포함한다. 상기 제1 처리부에서는 기판을 대상으로 제1 공정이 처리된다. 상기 제2 처리부는 상기 제1 처리부의 하부에 설치되고, 상기 기판을 대상으로 제2 공정이 처리된다. 상기 기판 이송부는 상기 제1 및 제2 처리부들 사이에서 상기 기판을 이송한다. 이에, 상기 기판 이송부는 일측에는 상기 제1 및 제2 처리부들이 상하 방향으로 연결되고 타측에는 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된 이송 챔버, 상기 이송 챔버의 내부에 설치되고 상기 기판을 지지하는 지지 부재, 상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고 상기 지지 부재를 상하 이송시키는 이송 부재, 상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버하는 실벨트 및 상기 개구부에서 상기 이송 부재에 결합되면서 상기 실벨트와 체결하고, 상기 이송 부재가 상기 지지 부재의 이송을 위하여 상하 방향으로 이동할 때 상기 실벨트를 따라 회전하면서 상하 방향으로 이동하며, 상기 실벨트를 따라 회전할 때 상기 실벨트가 중심 위치를 유지하도록 하기 위하여 상기 실벨트와 접촉하는 접촉면을 라운드지게 형성한 롤러를 포함한다.
이러한 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 따르면, 이송 챔버의 개구부에서 이송 부재와 결합되는 롤러의 실벨트와 접촉하는 접촉면을 라운드지게 형성하여 상기 실벨트에 가해지는 힘을 중앙 부위로 집중시킴으로써, 상기 실벨트가 상기 롤러로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
즉, 지지 부재를 상하 이송시키는 상기 이송 부재의 동작 불량을 방지하여 상기 기판의 처리 효율을 향상시킴으로써, 전체적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지 다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1의 A부분의 확대도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 이송 챔버(10), 지지 부재(20), 구동 부재(30), 이송 부재(40), 실벨트(50) 및 롤러(60)를 포함한다.
상기 이송 챔버(10)는 기판(G)을 상하 방향으로 이송시키기 위한 공간을 제공한다. 여기서, 상기 기판(G)은 일 예로, 액정을 이용하여 영상을 표시하는 액정표시장치(LCD)를 제조하는데 사용되는 유리 재질의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 기판 또는 컬러 필터(Color Filter; CF) 기판일 수 있다. 이와 달리, 상기 기판(G)은 반도체 소자를 제조하는데 사용되는 반도체 기판일 수 있다.
상기 이송 챔버(10)의 일측에는 상하 방향으로 길게 형성된 개구부(12)가 형성된다. 상기 개구부(12)의 길이는 상기 기판(G)의 상하 방향으로의 이송 거리에 대응된다.
상기 지지 부재(20)는 상기 이송 챔버(10)의 내부에 설치된다. 상기 지지 부재(20)는 상부에 놓여지는 상기 기판(G)을 지지한다. 이때, 상기 지지 부재(20)는 상기 기판(G)을 보다 안정적으로 지지하기 위하여 상기 기판(G)의 면적보다 넓은 플레이트(22)를 포함한다.
상기 구동 부재(30)는 상기 이송 챔버(10)의 외부에 설치된다. 상기 구동 부재(30)는 회전력을 발생하는 모터(32) 및 상기 모터(32)의 중심축에 연결된 볼 스크류(34)를 포함한다. 상기 볼 스크류(34)는 실질적으로, 상기 기판(G)이 이송하는 레일 역할을 하므로, 상기 개구부(12)에 대응하여 상하 방향을 길게 설치된다.
상기 이송 부재(40)는 상기 지지 부재(20)와 연결된다. 상기 이송 부재(40)는 상기 개구부(12)를 통해 외부로 연장되어 상기 볼 스크류(34)에 나사 결합된다. 즉, 상기 이송 부재(40)는 상기 볼 스크류(34)의 회전에 의해 상하 방향으로 이동한다. 이로써, 상기 이송 부재(40)는 상기 지지 부재(20)를 상하 방향으로 이송시킨다.
이때, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 지지 부재(20)와 상기 이송 부재(40)의 연결된 위치를 기준으로 상기 이송 챔버(10)의 타측에 상기 지지 부재(20)와 연결되어 상기 지지 부재(20)의 이송을 가이드하기 위한 가이드 레일(70) 을 더 포함할 수 있다.
상기 실벨트(50)는 상기 이송 부재(40)의 개구부(12)를 커버하며, 띠 형상으로 이루어진다. 구체적으로, 상기 실벨트(50)는 상기 개구부(12)를 통해 외부로부터의 이물이 유입되는 것을 방지하기 위하여 상기 개구부(12)의 전면적을 커버한다. 여기서, 상기 실벨트(50)의 양 단부는 상기 개구부(12)의 상단과 하단에서 별도의 고정 블록(80)을 통해 고정된다.
이때, 상기 실벨트(50)는 상기 이송 부재(40)에 의해 간섭됨으로써, 상기 이송 부재(40)에는 상기 실벨트(50)가 관통되도록 하기 위한 홀(미도시)이 형성될 수 있다. 이와 달리, 상기 실벨트(50)에 상기 이송 부재(40)가 관통되도록 할 수 있는 홀(미도시)이 형성될 수 있다.
상기 롤러(60)는 상기 개구부(12)에서 상기 이송 부재(40)에 장착된다. 상기 롤러(60)는 상기 실벨트(50)의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트(50)에 힘을 가한다. 이러한 상기 롤러(60)는 상기 이송 부재(40)가 상하 방향으로 이동할 때 상기 이송 부재(40)와 같이 상기 실벨트(50)를 상하 방향으로 이동한다.
상기 롤러(60)는 상기 이송 부재(40)의 상부 및 하부에 각각 한 쌍이 장착될 수 있다. 이럴 경우, 상기 실 벨트(50)는 한 쌍의 상기 롤러(60)들에 지그재그 형태로 감길 수 있다.
한편, 상기 롤러(60)는 상기 이송 부재(40)와 같이 이동하면서 상기 실벨트(50)는 상기 롤러(60)를 타고 움직이게 된다. 이럴 경우, 만약 상기 실벨트(50)에 양 측으로 힘이 가해져 상기 롤러(60)를 이탈할 수 있다.
이하, 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)로부터 이탈하는 것을 방지하는 상기 롤러(60)의 형상을 도 3 및 도 4를 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 롤러의 실시예들을 나타낸 도면들이다.
도 3 및 도 4를 추가적으로 참조하면, 상기 롤러(60)의 상기 실벨트(50)와 접촉하는 접촉면(62)은 정점이 중앙 부위와 일치하도록 라운드지게 형성된다.
본 실시예들에서는 상기 접촉면(62)의 형상이 다르지만, 서로 동일한 효과를 가짐에 따라, 동일한 참조 번호를 사용하기로 한다.
즉, 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)에서 움직일 때, 상기 실벨트(50)에 가해지는 힘을 상기 접촉면(62)의 라운드진 형상에 따라 중앙 부위로 집중시킨다.
구체적인 예로, 상기 접촉면(62)을 도 3에서와 같이 중심 위치를 볼록하게 형성하면, 상기 실벨트(50)는 상기 중앙 부위에서 주위보다 더 강한 힘으로 상기 실벨트(50)에 인가함으로써, 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
반대로, 상기 접촉면(62)을 도 4에서와 같이 중심 위치를 오목하게 형성하면, 상기 실벨트(50)는 상기 주위에서 가해지는 힘도 모두 상기 중앙 부위로 전달됨으로써, 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 상기 롤러(60)들은 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)로부터 이탈하는 불량을 보다 안정적으로 방지하기 위하여 상기 실벨트(50)를 기준으로 양 단부에 형성된 돌출부(64)를 포함한다.
여기에 있어서도, 상기 실벨트(50)는 우선적으로 상기 롤러(60)의 접촉면(62) 형상으로 인해 상기 중심 위치를 그대로 유지함에 따라 상기 돌출부(64)와 접촉하는 경우는 발생되기 힘들기 때문에, 상기 실벨트(50)와 상기 돌출부(64)와 마찰로 인하여 이물질이 발생될 우려는 배제시킬 수 있다. 즉, 상기 롤러(60)에 상기 돌출부(64)를 형성하는 이유는 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)로부터 이탈하는 것을 방지하기 위한 안전 장치로 해석될 수 있다.
결론적으로, 상기 이송 챔버(10)의 개구부(12)에서 상기 이송 부재(40)와 결합되는 상기 롤러(60)의 상기 실벨트(50)와 접촉하는 접촉면(62)을 라운드진 다양한 형상으로 제작하여 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)의 중앙 부위에 위치하도록 상기 실벨트(50)에 힘을 가함으로써, 상기 실벨트(50)가 상기 롤러(60)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 즉, 상기 지지 부재(20)를 상하 이송시키는 상기 이송 부재(40)의 동작 불량을 방지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
본 실시예에서, 기판 이송부는 도 1 내지 도 4에 도시된 기판 이송 장치와 동일한 구성을 가짐으로써, 그 중복되는 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 적재부(200), 제1 처리부(300), 제2 처리부(400) 및 기판 이송부(100)를 포함한다.
상기 적재부(200)에는 여러 공정들을 수행하기 위한 다수의 기판(G)들이 적재된다. 상기 제1 처리부(300)는 상기 적재부(200)로부터 상기 기판(G)을 공급받아 제1 공정을 수행한다. 상기 제1 처리부(300)에는 상기 제1 공정을 수행하기 위한 다수의 공정 챔버(미도시)들이 수평 방향을 따라 연속적으로 형성될 수 있다.
상기 제2 처리부(400)는 상기 제1 처리부(300)의 하부에 설치된다. 상기 제2 처리부(400)에는 상기 제1 처리부(300)에서 상기 제1 공정을 수행한 상기 기판(G)이 공급된다.
이에, 상기 제2 처리부(400)에서는 상기 제1 공정에 연속적인 제2 공정이 상기 제1 처리부(300)로부터 공급 받은 상기 기판(G)을 대상으로 처리한다. 또한, 상기 제2 처리부(400)에는 상기 제2 공정을 수행하기 위한 다수의 공정 챔버(미도시)들이 수평 방향을 따라 연속적으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 제1 및 제2 처리부(300, 400)들을 통해 상기 기판(G)으로부터 영상을 표시하기 위한 디스플레이 소자를 제조하고자 할 경우에, 상기 제1 및 제2 공정들은 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정 및 세정 공정 들 중 어느 하나일 수 있다.
이렇게 상기 기판(G)을 대상으로 상기 제1 및 제2 공정들을 수행하게 되면, 다시 상기 제2 처리부(400)로부터 상기 적재부(200)로 언로딩될 수 있다.
상기 기판 이송부(100)는 상기 제1 및 제2 처리부(300, 400)들 사이에서 상기 기판(G)을 상기 제1 처리부(300)로부터 상기 제2 처리부(400)로 이송한다. 경우에 따라, 상기 기판 이송부(100)는 상기 기판(G)을 상기 제2 처리부(400)로부터 상기 제1 처리부(300)로 이송할 수도 있다.
이때, 상기 기판 이송부(100)의 이송 챔버(도 1의 10)는 일측에 상기 제1 및 제2 처리부(300, 400)들이 상하 방향으로 연결되고, 타측에는 개구부(도 1의 12)가 형성된다.
이와 같은 상기 기판 처리 장치(1000)에 있어서, 상기 기판 이송부(100)가 도 1 내지 도 4를 참조한 설명에서와 같이, 이송 동작의 불량을 제거함으로써, 상기 기판(G)의 처리 효율을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 전체적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 이송 챔버의 개구부에서 이송 부재와 결합되는 롤러의 실벨트와 접촉하는 접촉면을 라운드지게 형성하여 상기 실벨트가 상기 롤러의 중심 위치를 유지하도록 함으로써, 상기 실벨트가 상기 롤러로부터 이탈하는 것을 방지하기 위한 장치에 이용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1의 A부분의 확대도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 롤러의 실시예들을 나타낸 도면들이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
G : 기판 10 : 이송 챔버
12 : 개구부 20 : 지지 부재
40 : 이송 부재 50 : 실벨트
60 : 롤러 62 : 접촉면
70 : 가이드 레일 100 : 기판 이송 장치
200 : 적재부 300 : 제1 처리부
400 : 제2 처리부 1000 : 기판 처리 장치

Claims (5)

  1. 일측에 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된 이송 챔버;
    상기 이송 챔버의 내부에 설치되고, 기판을 지지하는 지지 부재;
    상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이송시키는 이송 부재;
    상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버하는 실벨트(seal belt); 및
    상기 이송 부재에 장착되며, 상기 실벨트의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트에 힘을 인가하고, 상기 힘이 중앙 부위에 집중되도록 상기 실벨트와 접촉하는 면을 라운드지게 형성한 적어도 하나의 롤러를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접촉하는 면은 볼록 또는 오목하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 실벨트를 기준으로 양 단부에 상기 실벨트의 이탈을 방지하기 위한 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 이송 부재의 상부 및 하부에는 각각 한 쌍의 상기 롤러들이 장착되며, 상기 실벨트는 상기 한 쌍의 롤러들에 지그재그 형태로 감긴 것 을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 기판을 대상으로 제1 공정이 처리되는 제1 처리부;
    상기 제1 처리부의 하부에 설치되고, 상기 기판을 대상으로 제2 공정이 처리되는 제2 처리부; 및
    상기 제1 및 제2 처리부들 사이에서 상기 기판을 이송하기 위한 기판 이송부를 포함하고,
    상기 기판 이송부는
    일측에는 상기 제1 및 제2 처리부들이 상하 방향으로 연결되고, 타측에는 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된 이송 챔버;
    상기 이송 챔버의 내부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 지지 부재;
    상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고, 상기 지지 부재를 상하 이송시키는 이송 부재;
    상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버하는 실벨트(seal belt); 및
    상기 이송 부재에 장착되며, 상기 실벨트의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트에 힘을 인가하고, 상기 힘이 중앙 부위에 집중되도록 상기 실벨트와 접촉하는 면을 라운드지게 형성한 적어도 하나의 롤러를 포함하는 기판 처리 장치.
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