KR20090124523A - 기판 이송 장치 및 이를 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 일측에 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된 이송 챔버;상기 이송 챔버의 내부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 지지 부재;상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이송시키는 이송 부재;상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버하는 실벨트(seal belt); 및상기 이송 부재에 장착되며, 상기 실벨트의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트에 힘을 인가하고, 상기 힘이 중앙 부위에 집중되도록 상기 실벨트와 접촉하는 면을 라운드지게 형성한 적어도 하나의 롤러를 포함하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접촉면은 볼록 또는 오목하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 실벨트를 기준으로 양 단부에 상기 실벨트의 이탈을 방지하기 위한 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이송 부재의 상부 및 하부에는 각각 한 쌍의 상기 롤러들이 장착되며, 상기 실벨트는 상기 한 쌍의 롤러들에 지그재그 형태로 감긴 것 을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
- 기판을 대상으로 제1 공정이 처리되는 제1 처리부;상기 제1 처리부의 하부에 설치되고, 상기 기판을 대상으로 제2 공정이 처리되는 제2 처리부; 및상기 제1 및 제2 처리부들 사이에서 상기 기판을 이송하기 위한 기판 이송부를 포함하고,상기 기판 이송부는일측에는 상기 제1 및 제2 처리부들이 상하 방향으로 연결되고, 타측에는 상하 방향으로 길게 개구부가 형성된 이송 챔버;상기 이송 챔버의 내부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 지지 부재;상기 지지 부재와 연결되면서 상기 개구부를 통해 외부로 연장되고, 상기 지지 부재를 상하 이송시키는 이송 부재;상기 이송 부재를 관통하면서 상기 이송 챔버의 개구부를 커버하는 실벨트(seal belt); 및상기 이송 부재에 장착되며, 상기 실벨트의 장력을 유지하기 위하여 상기 실벨트에 힘을 인가하고, 상기 힘이 중앙 부위에 집중되도록 상기 실벨트와 접촉하는 면을 라운드지게 형성한 적어도 하나의 롤러를 포함하는 기판 처리 장치.
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