KR100972506B1

KR100972506B1 - 센서 장치

Info

Publication number: KR100972506B1
Application number: KR1020100005951A
Authority: KR
Inventors: 다케시 우에무라
Original assignee: 파나소닉 주식회사
Priority date: 2009-02-05
Filing date: 2010-01-22
Publication date: 2010-07-26
Also published as: EP2216626B1; CN101819049A; JP2010181260A; ATE533030T1; CN101819049B; US8131507B2; US20100198557A1; EP2216626A1; JP4386143B1

Abstract

본 발명의 센서 장치는, 구동 회로부, 검지 소자, 검출 회로부, 및 처리 회로부 중 적어도 어느 하나를 피고장 진단부로 하고, 피고장 진단부가 정상인지 비정상인지를 판단하여, 비정상이라고 판단한 경우에는 고장 검지 신호를 제2 출력 단자로부터 출력하는 고장 진단 회로를 구비한다. 고장 진단 회로가, 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우에는, 제1 출력 단자로부터 통상의 출력 전압 범위 외의 값의 신호를 출력하는 구성으로 하여, 비정상 발생 시의 신뢰성을 향상시킨다.

Description

센서 장치{SENSOR DEVICE}

본 발명은, 자동차, 항공기, 선박, 로봇, 그 밖의 각종 전자기기 등에 이용되는 센서 장치에 관한 것이다.

이 종류의 종래의 센서 장치를 도면에 의해 설명한다. 도 5는, 종래의 센서 장치를 도시한 전기 회로도이다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 센서 장치는, 검지 소자(2)를 구동하는 구동 신호를 출력하는 구동 회로부(1A, 1B)와, 검지 소자(2)로부터 응답 신호를 취출하여 출력하는 검출 회로부(3A, 3B)를 구비한다. 센서 장치는 또한, 응답 신호로부터 센스 신호를 취출하여 제1 출력 단자(5A, 5B)로부터 센스 신호를 출력하는 처리 회로부(4A, 4B)와, 고장 검지 신호를 제2 출력 단자(7)로부터 출력하는 고장 진단 회로(6)를 구비하고 있다.

구동 회로부(1A, 1B), 검지 소자(2), 검출 회로부(3A, 3B), 및 처리 회로부(4A, 4B) 중, 적어도 어느 하나를 고장 진단의 대상으로 하고 피고장 진단부라고 부른다. 고장 진단 회로(6)는, 피고장 진단부가 정상인지 비정상인지를 판단하여, 비정상이라고 판단한 경우에는 고장 검지 신호를 제2 출력 단자(7)로부터 출력한다.

이 출원에 관한 선행 기술 문헌 정보로서는, 예를 들면, 일본국 특허공개 2004-301512호 공보(특허문헌 1)가 알려져 있다. 이러한 종래의 센서 장치에서는, 비정상 발생 시의 신뢰성의 향상이 문제가 되고 있었다.

즉, 상기 종래의 구성에 있어서는, 고장 진단 회로(6)에 의해 피고장 진단부의 비정상이 확인되고 있음에도 불구하고, 어떠한 문제점에 의해 제2 출력 단자(7)로부터의 고장 검지 신호의 출력이 늦어 버려, 비정상 시라고 판단된 센스 신호를 자동차 등의 제어 대상의 제어에 이용해 버릴 우려가 있다. 혹은, 자동차 등의 제어 대상측에 있어서, 어떠한 문제점에 의해 비정상 시라고 판단된 센스 신호를 잘못하여 당해 제어 대상의 제어에 이용해 버릴 가능성이 있으며, 그 결과로서 신뢰성의 향상이 문제가 되고 있었다.

본 발명의 센서 장치는, 시점 정보를 측정하여, 피고장 진단부로부터 출력되는 고장 검지 신호의 생성에 관한 출력 및 센스 신호의 생성에 관한 출력에 시점 정보를 부가하는 시점 측정 수단을 구비한다. 고장 진단 회로가, 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우에는, 고장 검지 신호와 시점 정보에 의해 대응된 센스 신호를, 제1 출력 단자로부터 통상의 출력 범위 외의 신호로서 출력한다.

이 구성에 의해, 자동차 등의 제어 대상이, 제1 출력 단자로부터 출력된 센스 신호가 정상 시의 것인지, 혹은 비정상 시의 것인지를 판단할 필요가 없으며, 당해 제어 대상측에 있어서, 비정상 시의 센스 신호를 잘못하여 제어에 사용해 버릴 가능성을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 신뢰성의 향상이 도모된다.

도 1은, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치를 도시한 전기 회로도이다.
도 2는, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치의 시점 정보가 부가된 응답 신호를 도시한 도면이다.
도 3은, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치의 시점 정보가 부가된 고장 검지 신호를 도시한 도면이다.
도 4는, 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 센서 장치를 도시한 전기 회로도이다.
도 5는, 종래의 센서 장치를 도시한 전기 회로도이다.

(제1 실시 형태)

이하, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치를 도시한 전기 회로도이다.

본 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 구동 신호를 출력하는 제1, 제2 구동 회로부(11A, 11B)와, 구동 회로부(11A, 11B)로부터의 구동 신호가 입력되는 검지 소자(12)로서의 각속도 검지 소자(12A), 가속도 검지 소자(12B)와, 검지 소자(12)로부터 응답 신호를 취출하여 출력하는 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)를 구비하고 있다. 센서 장치는, 또한 응답 신호로부터 센스 신호를 취출하여 제1 출력 단자(15A, 15B)로부터 센스 신호를 출력하는 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)와, 고장 검지 신호를 제2 출력 단자(16A)로부터 출력하는 고장 진단 회로(16)를 구비하고 있다. 구동 회로부(11A, 11B), 검지 소자(12), 검출 회로부(13A, 13B), 및 처리 회로부(14A, 14B) 중 적어도 어느 하나를 피고장 진단부로 하고, 고장 진단 회로(16)는 피고장 진단부가 정상인지 비정상인지를 판단하여, 비정상이라고 판단한 경우에는 고장 검지 신호를 제2 출력 단자(16A)로부터 출력한다.

고장 진단 회로(16)가, 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우에는, 제1 출력 단자(15A, 15B)로부터 통상의 출력 전압 범위 외의 신호를 출력한다.

구체적으로는, 고장 진단 회로(16)가, 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우, 고장 진단 회로(16)가 그 정보를, 예를 들면 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)에 전달한다. 정보 전달을 받은 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)는, 제1 출력 단자(15A, 15B)로부터 출력하는 값을, 통상의 출력 전압 범위 외의 값으로서 출력한다. 여기에서, 고장 진단 회로(16)가 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)에 전달하는 정보를, 이하 「비정상 전압치 출력 명령 신호」라고 한다.

또한, 상술한 「통상의 출력 전압 범위」란, 예를 들면 감도가 6mV/deg/s이고, 다이내믹 레인지가 ±300deg/s인 것으로 하면, 0점 전압으로부터 ±1.8V의 범위를 의미한다. 즉, 0점 전압이 2.5V±0.15V이면, 1.55V∼4.45V가 통상의 출력 전압 범위가 된다.

이러한 구성으로 함으로써, 자동차 등의 제어 대상이, 제1 출력 단자(15A, 15B)로부터 출력된 센스 신호가 정상 시의 것인지 비정상 시의 것인지를 특별히 판단할 필요가 없다. 당해 제어 대상 측에 있어서, 비정상 시의 센스 신호를 잘못하여 제어에 사용해 버릴 가능성을 보다 한층 저감시킬 수 있으며, 그 결과로서 보다 한층 신뢰성 향상을 도모할 수 있다.

또한 도 1에 나타낸 바와 같이, 시점 정보를 측정하여, 피고장 진단부로부터의 출력에 시점 정보를 부가하는 시점 측정 수단(17)을 센서 장치에 설치하여, 고장 검지 신호와 센스 신호를 시점 정보에 의해 대응시킨 구성으로 함으로써, 보다 한층 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.

구체예로서, 피고장 진단부를 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)로 한 경우를 설명한다. 우선, 시점 측정 수단(17)을 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)에 전기적으로 접속함과 더불어, 측정된 시점 정보를 전달한다. 도 2는, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치의 시점 정보가 부가된 응답 신호를 도시한 도면이다. 도 3은, 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 센서 장치의 시점 정보가 부가된 고장 검지 신호를 도시한 도면이다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)로부터, 응답 신호(r011∼r998)를 출력할 때, 시점 정보(t01∼t99)를 부가한다. 시점 정보(t01∼t99)가 부가된 응답 신호(r011∼r998)는, 도 1에 나타낸 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)를 경유하여, 제1 출력 단자(15A, 15B)로부터 센스 신호로서 출력될 때에도, 시점 정보(t01∼t99)가 부가된 상태로 되어 있다. 한편, 피고장 진단부인 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)가 정상인지 비정상인지를, 고장 진단 회로(16)가 판단하고 있고, 그 결과에 의거한 고장 검지 신호를 고장 진단 회로(16)가 출력한다. 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)가 고장 진단 회로(16)를 향해 고장 검지에 관한 정보를 출력할 때, 도 3에 나타낸 바와 같이, 응답 신호(r011∼r998)와 동일한 시점 정보(t01∼t99)가 부가되어 있다. 고장 진단 회로(16)에서 고장 검지에 관한 정보로부터 고장 검지 신호(f011∼f998)가 생성되고, 출력될 때에도, 시점 정보(t01∼t99)가 부가된 상태로 되어 있다.

이러한 구성으로 함으로써, 고장 검지 신호(f011∼f998)와 센스 신호를, 시점 정보(t01∼t99)를 이용하여 시점적으로 대응시키는 것이 가능해진다. 비정상 시라고 판단된 센스 신호를 보다 정확하게 통상의 출력 전압 범위 외의 값의 신호로서 출력하는 것이 가능해지고, 그 결과로서, 보다 한층 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.

본 실시 형태 1에 있어서는, 검지 소자(12)로서 각속도 검지 소자(12A)와 가속도 검지 소자(12B)의 2개를 이용하고, 이것에 대응하는 회로 구성으로서, 제1, 제2 구동 회로부(11A, 11B), 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B), 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)를 갖는 구성을 이용하여 설명하였다. 그러나, 검지 소자(12)를 1개로 하고, 이것에 대응하는 회로 구성으로서, 구동 회로부, 검출 회로부, 처리 회로부를 각각 1개씩만 설치하는 구성으로 해도 상관없다.

본 실시 형태 1에서는, 검지 소자(12)를 센서 장치의 구성 요건으로 하였지만, 검지 소자(12)를 센서 장치의 외부로 옮겨도 본 발명을 구성할 수 있다. 요컨대, 센서 장치의 외부에 설치한 검지 소자(12)와 신호의 교환을 행하는, 구동 회로부, 검출 회로부, 처리 회로부, 고장 진단 회로, 시점 측정 수단을 구비함으로써, 본 발명의 센서 장치를 구성할 수 있다.

본 실시 형태 1에서는 피고장 진단부를 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)로 하고, 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서의 동일 부분을 피고장 진단부로 하는 예를 설명하였다. 그러나, 제1 피고장 진단부를 제1 검출 회로부(13A)로 하고, 제2 피고장 진단부를 제2 처리 회로부(14B)로 하는 바와 같이, 2개의 피고장 진단부를 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서 동일 부분으로 하지 않는 구성으로 해도 상관없다. 그 때, 제1 검출 회로부(13A)로부터의 센스 신호에 관한 정보와, 제1 검출 회로부(13A)가 고장 진단 회로(16)를 향해 출력하는 고장 검지에 관한 정보의 양쪽에, 공통되는 제1 시점 정보를 부가함과 더불어, 제2 처리 회로부(14B)로부터의 센스 신호와, 제2 처리 회로부(14B)가 고장 진단 회로(16)를 향해 출력하는 고장 검지에 관한 정보의 양쪽에, 공통되는 제2 시점 정보를 부가할 필요가 있다.

또, 본 실시 형태 1에 있어서는, 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서 1개의 부분을 피고장 진단부로 하였지만, 고장 진단 회로(16)가 복수의 피고장 진단부를 갖는 구성으로 해도 상관없다. 구체적으로는, 예를 들면 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B), 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)의 모두에 고장 진단 회로(16)를 전기적으로 접속하고, 각각의 고장 검지 신호를 출력하는 구성으로 하는 것이 가능하다. 이러한 구성에 의해, 1개의 피고장 진단부로는 검지할 수 없었던 고장을 복수의 피고장 진단부로 고장 진단함으로써 검지할 수 있으며, 고장 검지의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

본 실시 형태 1에 있어서는, 각속도 검지 소자(12A), 가속도 검지 소자(12B) 등을 이용하여 설명하였지만, 그 밖에 압력 센서 등, 각종 센서 장치에 대해서도 본 발명을 실시하는 것이 가능하다.

(제2 실시 형태)

이하, 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 센서 장치에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 실시 형태 1과 동일한 구성을 갖는 것에 대해서는, 동일 부호를 붙여, 그 설명을 생략하고, 상이점에 대해 상술한다.

도 4는, 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 센서 장치를 도시한 전기 회로도이다. 본 실시 형태에 있어서의 센서 장치는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 구동 신호를 출력하는 구동 회로부(11A, 11B)와, 구동 회로부(11A, 11B)로부터의 구동 신호가 입력되는 검지 소자(12)로서의 각속도 검지 소자(12A), 가속도 검지 소자(12B)와, 검지 소자(12)로부터 응답 신호를 취출하여 출력하는 검출 회로부(13A, 13B)를 구비한다. 센서 장치는 또한, 응답 신호로부터 센스 신호를 취출하여 출력하는 처리 회로부(14A, 14B)와, 고장 검지 신호를 출력하는 고장 진단 회로(16)와, 처리 회로부(14A, 14B)로부터의 센스 신호와 고장 진단 회로(16)로부터의 고장 검지 신호를 시분할 방식에 의해 출력 단자(18A)로부터 출력하는 출력 회로부(18)를 구비하고 있다. 구동 회로부(11A, 11B), 검지 소자(12), 검출 회로부(13A, 13B), 및 처리 회로부(14A, 14B) 중, 적어도 어느 하나를 피고장 진단부로 하고, 고장 진단 회로(16)는 피고장 진단부가 정상인지 비정상인지를 판단하여, 비정상이라고 판단한 경우에는 고장 검지 신호를 출력한다.

고장 진단 회로(16)가, 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우에는, 출력 회로부(18)가 센스 신호의 출력으로서 통상의 출력 전압 범위 외의 신호를 출력하는 구성으로 하고 있다.

구체적으로는, 고장 진단 회로(16)가, 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우, 고장 진단 회로(16)가 그 정보를, 예를 들면 출력 회로부(18)에 전달하고, 이 정보 전달을 받은 출력 회로부(18)가 그 출력 단자(18A)로부터 출력하는 값을, 통상의 출력 전압 범위 외의 값으로서 출력한다. 여기에서, 고장 진단 회로(16)가 출력 회로부(18)에 전달하는 신호를, 이하 「비정상 전압치 출력 명령 신호」라고 한다.

또한, 상술한 「통상의 출력 전압 범위」란, 예를 들면 감도가 6mV/deg/s이고, 다이내믹 레인지가 ±300deg/s라고 하면, 0점 전압으로부터 ±1.8V의 범위를 의미한다. 즉, 0점 전압이 2.5V±0.15V이면, 1.55V∼4.45V가 통상의 출력 전압 범위가 된다.

이러한 구성으로 함으로써, 자동차 등의 제어 대상이, 출력 회로부(18)의 출력 단자(18A)로부터 출력된 센스 신호가 정상 시의 것인지 비정상 시의 것인지를 특별히 판단할 필요가 없다. 당해 제어 대상 측에 있어서, 비정상 시의 센스 신호를 잘못하여 제어에 사용해 버릴 가능성을 보다 한층 저감시킬 수 있으며, 그 결과로서 보다 한층 신뢰성 향상을 도모할 수 있다.

또, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)로부터의 센스 신호와 고장 진단 회로(16)로부터의 고장 검지 신호를 출력하는 출력 단자를 18A로서 공통화하고, 센스 신호와 고장 검지 신호를 시분할 방식으로 디지털 출력하는 구성으로 함으로써, 출력 단자의 수를 삭감하여, 소형화를 실현할 수 있다.

또한, 실시 형태 1에서 상술한 바와 같이, 도 4에 나타낸 바와 같이, 시점 정보를 측정하여, 피고장 진단부로부터의 출력에 시점 정보를 부가하는 시점 측정 수단(17)을 설치하고, 고장 검지 신호와 센스 신호를 시점 정보에 의해 대응시킨 구성으로 함으로써, 보다 한층 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.

즉, 이러한 구성으로 함으로써, 고장 검지 신호와 센스 신호를, 시점 정보를 이용하여 시점적으로 대응시키는 것이 가능해지므로, 비정상 시라고 판단된 센스 신호를 보다 정확하게 통상의 출력 전압 범위 외의 값의 신호로서 출력하는 것이 가능해지고, 그 결과로서, 보다 한층 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.

또, 출력 회로부(18)에 있어서, 시점 정보에 의거하여 대응된 센스 신호와 고장 검지 신호를, 시분할 방식으로 연결시켜 출력하는 구성으로 함으로써, 제어 대상 측에 있어서, 시점 정보에 의거하여 대응된 센스 신호와 고장 검지 신호를 연결시키는 처리를 생략할 수 있다.

본 실시 형태 2에 있어서는, 검지 소자(12)로서 각속도 검지 소자(12A)와 가속도 검지 소자(12B)의 2개를 이용하고, 이것에 대응하는 회로 구성으로서, 제1, 제2 구동 회로부(11A, 11B), 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B), 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)를 갖는 구성을 이용하여 설명하였다. 그러나, 검지 소자(12)를 1개로 하고, 이것에 대응하는 회로 구성으로서, 구동 회로부, 검출 회로부, 처리 회로부를 각각 1개씩만 설치하는 구성으로 해도 상관없다.

본 실시 형태 2에서는, 검지 소자(12)를 센서 장치의 구성 요건으로 하였지만, 검지 소자(12)를 센서 장치의 외부로 옮겨도 본 발명을 구성할 수 있다.

본 실시 형태 2에서는, 피고장 진단부를 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B)로 하고, 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서의 동일 부분을 피고장 진단부로 하는 예를 설명하였다. 그러나, 제1 피고장 진단부를 제1 검출 회로부(13A)로 하고, 제2 피고장 진단부를 제2 처리 회로부(14B)로 하는 바와 같이, 2개의 피고장 진단부를 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서 동일 부분으로 하지 않는 구성으로 해도 상관없다. 그 때, 제1 검출 회로부(13A)로부터의 센스 신호에 관한 출력과, 제1 검출 회로부(13A)가 고장 진단 회로(16)를 향해 출력하는 고장 검지에 관한 출력의 양쪽에, 공통되는 제1 시점 정보를 부가함과 더불어, 제2 처리 회로부(14B)로부터의 센스 신호와, 제2 처리 회로부(14B)가 고장 진단 회로(16)를 향해 출력하는 고장 검지에 관한 정보의 양쪽에, 공통되는 제2 시점 정보를 부가할 필요가 있다.

또, 본 실시 형태 2에 있어서는, 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서 1개의 부분을 피고장 진단부로 하였지만, 고장 진단 회로(16)가 복수의 피고장 진단부를 갖는 구성으로 해도 상관없다. 구체적으로는, 예를 들면 제1, 제2 검출 회로부(13A, 13B), 제1, 제2 처리 회로부(14A, 14B)의 모두에 고장 진단 회로(16)를 전기적으로 접속하고, 각각의 고장 검지 신호를 출력하는 구성으로 하는 것이 가능하다. 이러한 구성에 의해, 1개의 피고장 진단부로는 검지할 수 없었던 고장을 복수의 피고장 진단부로 고장 진단함으로써 검지할 수 있으며, 고장 검지의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 도 4에 나타낸 실시예에 있어서도, 피고장 진단부는, 각속도 검지계, 가속도 검지계 각각에 있어서 1개의 부분을 피고장 진단부로 해도 되고, 또, 복수의 피고장 진단부를 갖는 구성으로 해도 상관없다. 복수의 피고장 진단부를 갖는 구성으로 함으로써, 1개의 피고장 진단부로는 검지할 수 없었던 고장을 복수의 피고장 진단부로 고장 진단함으로써 검지할 수 있으며, 고장 검지의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태 2에 있어서는, 각속도 검지 소자(12A), 가속도 검지 소자(12B) 등을 이용하여 설명하였지만, 그 밖에 압력 센서 등, 각종 센서 장치에 대해서도 실시하는 것이 가능하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 센서 장치는, 비정상 발생 시의 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 효과를 갖고, 자동차, 항공기, 선박, 로봇, 그 밖의 각종 전자기기 등에 있어서 유용하다.

Claims

구동 신호를 출력하는 구동 회로부와,
상기 구동 회로부로부터의 구동 신호가 입력되는 검지 소자와,
상기 검지 소자로부터 응답 신호를 취출하여 출력하는 검출 회로부와,
상기 응답 신호로부터 센스 신호를 취출하여, 제1 출력 단자로부터 상기 센스 신호를 출력하는 처리 회로부와,
상기 구동 회로부, 상기 검지 소자, 상기 검출 회로부, 및 상기 처리 회로부 중 적어도 어느 하나를 피고장 진단부로 하고, 상기 피고장 진단부가 정상인지 비정상인지를 판단함과 더불어, 비정상이라고 판단한 경우에는 고장 검지 신호를 제2 출력 단자로부터 출력하는 고장 진단 회로와,
시점 정보를 측정하여, 상기 피고장 진단부로부터 출력되는 상기 고장 검지 신호의 생성에 관한 출력 및 상기 센스 신호의 생성에 관한 출력에 상기 시점 정보를 부가하는 시점 측정 수단을 구비하고,
상기 고장 진단 회로가, 상기 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우에는, 상기 고장 검지 신호와 상기 시점 정보에 의해 대응된 상기 센스 신호를, 상기 제1 출력 단자가 통상의 출력 범위 외의 신호로서 출력하는 센서 장치.
구동 신호를 출력하는 구동 회로부와,
상기 구동 회로부로부터의 구동 신호가 입력되는 검지 소자와,
상기 검지 소자로부터 응답 신호를 취출하여 출력하는 검출 회로부와,
상기 응답 신호로부터 센스 신호를 취출하여 출력하는 처리 회로부와,
상기 구동 회로부, 상기 검지 소자, 상기 검출 회로부, 및 상기 처리 회로부 중 적어도 어느 하나를 피고장 진단부로 하고, 상기 피고장 진단부가 정상인지 비정상인지를 판단함과 더불어, 비정상이라고 판단한 경우에는 고장 검지 신호를 출력하는 고장 진단 회로와,
상기 처리 회로부로부터의 센스 신호와 상기 고장 진단 회로로부터의 고장 검지 신호를 시분할 방식에 의해 출력하는 출력 회로부와,
시점 정보를 측정하여, 상기 피고장 진단부로부터 출력되는 상기 고장 검지 신호의 생성에 관한 출력 및 상기 센스 신호의 생성에 관한 출력에 상기 시점 정보를 부가하는 시점 측정 수단을 구비하고,
상기 고장 진단 회로가, 상기 피고장 진단부가 비정상이라고 판단한 경우에는, 상기 고장 검지 신호와 상기 시점 정보에 의해 대응된 상기 센스 신호를, 상기 출력 회로부가 통상의 출력 범위 외의 신호로서 출력하는 센서 장치.