KR100969234B1 - 금속수소화물 함유 배기가스 처리제 및 금속수소화물 함유 배기가스 처리방법 - Google Patents

금속수소화물 함유 배기가스 처리제 및 금속수소화물 함유 배기가스 처리방법 Download PDF

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Abstract

금속수소화물 함유 배기가스의 제해(除害) 처리에 있어 발열이 적고, 또한 고성능인 처리제로서, 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 중 적어도 1 종으로 이루어진 금속수소화물 함유 배기가스의 처리제에 있어서, 주기율표 제 Ⅷ 족의 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속을 더욱 담지하는 금속수소화물 함유 배기가스의 처리제를 제공한다. 이에 의해 금속수소화물 가스 함유 배기가스의 제해 성능은 현저하게 향상된다. 본 발명에 의한 처리제는, 그 성능이 우수하고, 저발열이기 때문에, 반도체 제조공업 등에서 발생하는 금속수소화물 함유 배기가스의 처리에 유용하다.
금속수소화물, 배기가스, 귀금속, 은, 제해

Description

금속수소화물 함유 배기가스 처리제 및 금속수소화물 함유 배기가스 처리방법{TREATING AGENT FOR EXHAUST GAS CONTAINING METAL HYDRIDE COMPOUND AND METHOD FOR TREATING EXHAUST GAS CONTAINING METAL HYDRIDE COMPOUND}
본 발명은 금속수소화물 함유 배기가스의 처리제 및 금속수소화물 함유 배기가스의 처리방법에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는, 반도체 제조공정에서 발생하는 금속수소화물 함유 배기가스의 처리제에 있어서, 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물에 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중에서 선택되는 적어도 1 종의 금속을 담지(擔持)시킨 처리제 및 이 처리제에 금속수소화물 함유 배기가스를 접촉시킴으로써 이루어지는 배기가스의 처리방법에 관한 것이다.
반도체 제조공장에서는, 그 제조 중에 각종 금속수소화물 가스, 할로겐화물 가스류가 사용되고 있다. 이들 가스는 가연성 및/또는 유해성이기 때문에, 이들을 함유하는 배기가스를 환경 보전상, 대기 중에 그대로 방출할 수 없고, 그 위험성, 유해성을 없애기 위한 처리가 필요하다.
배기가스 처리에는 습식법과 건식법이 있고, 전자는 약액으로 배기가스를 세 정처리하는 방법이다. 한편, 후자는 입상(粒狀) 고체 처리제의 충전탑에 배기가스를 유통시키고, 제해(除害) 대상 가스와 처리제와의 화학적 작용, 즉, 흡착 및/또는 화학반응에 의해, 위험성, 유해성 가스를 분리, 제해하는 방법이고, 금속수소화물 함유 배기가스 혹은 할로겐화물 가스 함유 배기가스의 처리에서 많이 행해지고 있다.
금속수소화물 함유 배기가스 처리제에는 많은 특허가 나타나고 있고, 예를 들면, 금속수산화물, 금속탄산염 혹은 염기성금속탄산염으로 이루어지는 처리제는, 특개평 05-284847호 공보, 특개평 06-319945호 공보, 특개평 08-192024호 공보, 특공평 05-61966호 공보, 등록특허 제 2604991호 공보 등에 나타나 있다.
그러나, 이들 처리제는, 금속수산화물, 금속탄산염 혹은 염기성 금속탄산염 단독으로도 우수한 제해 능력을 가지지만, 반응속도가 늦기 때문에, 배기가스 중의 유해 성분 농도가 높은 경우나, 배기가스의 유속이 빠른 경우에는 제해속도가 충분하지 않고, 처리 후의 배기가스 중의 유해성분의 농도 레벨이 높아지는 경우가 있다. 또, 게르만(germane)과 같은 반응성이 나쁜 일부의 금속수소화물 가스에 대해서는, 상기 처리제로는 충분한 제해 성능을 나타내지 않는다.
한편, 상기 배기가스의 처리에 수반되는 화학반응은 항상 발열성 반응이다. 따라서, 금속화합물류에 의한 배기가스 처리는 온도 상승이 필연적이고, 고농도의 금속수소화물을 함유하는 배기가스 처리나 대량의 배기가스 처리를 행하는 경우는, 대폭 온도 상승을 발생시킬 가능성이 있다. 그 때문에, 처리제는 고성능일 뿐만 아니라, 저발열성인 것이 요구된다.
본 발명의 과제는, 반도체 제조공정에서 발생하는 금속수소화물 함유 배기가스의 제해처리에 있어서, 높은 처리능력을 나타내고, 또한, 저발열성인 처리제를 제공하는 것이다.
금속화합물류의 수소에 의한 환원은 발열반응이지만, 발열량은 화합물의 종류에 따라 달라지고, 예를 들어, 산화구리, 수산화구리를 예로 나타내면 다음과 같고, 수산화물인 수산화구리의 경우가 산화물인 산화구리 보다도 발열량이 적다.
CuO + H2 →Cu + H2O + 86KJ/mol
Cu(OH)2 + H2 → Cu + 2H2O + 34KJ/mol
금속화합물류에 의한 금속수소화물 함유 배기가스의 처리는, 개시 직후의 흡착작용 및/또는 화학반응으로부터, 시간이 경과해서 처리제 온도가 상승한 시점에서 지배적으로 되는 화학반응으로 이행하고, 그 이후로는 대부분의 금속 성분이 소비될 때까지 화학반응은 중심의 정상적 제해과정이 계속된다고 사료된다. 이 정상상태에서의 반응은 관점을 바꾸면 금속화합물류의 금속수소화물에 의한 환원이고, 금속화합물류의 수소에 의한 환원의 경우와 동일하게 수산화물의 경우가 산화물 보 다도 발열성은 적고, 또 염기성탄산염인 경우도 동일하다는 것이 추정된다. 즉, 환원성 배기가스 처리에서는 금속 성분의 수소에 의한 환원이 일어날 가능성이 높기 때문에, 발열성이 적은 금속수산화물, 금속탄산염, 염기성금속탄산염, 혹은 이들의 혼합물을 유효 금속성분으로 하는 것이 바람직하다고 추측된다.
이들 금속수산화물, 금속탄산염 혹은 염기성금속탄산염으로 이루어진 처리제에 의한 금속수소화물 함유 배기가스의 처리는, 상기한 대로 처리제와 제해 대상 가스와의 흡착 및/또는 화학반응에 기인하기 때문에, 처리제의 금속수소화물 가스 처리능력을 높이기 위해서는, 상기 흡착성, 흡착 용량, 반응성 등을 높이는 것이 유효하다.
본 발명자 등이, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 행한 검토 중에서, 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물에, 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속을 이들 화합물 혹은 화합물의 혼합물에 담지시킨 처리제는 고농도의 금속수소화물 함유 배기가스에 대해서 우수한 제해 처리속도를 가지고, 게다가 종래의 금속산화물계 처리제 보다도 저발열성을 나타내는 것을 발견했다. 이 지견에 기초하여, 더욱 상세하게 검토함으로써 본 발명을 완성했다.
본 발명은 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물에, 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속을 담지시킨 처리제에 관한 것이다. 여기서 처리제의 주체를 이루는 금속화합물로서는, 금속수산화물, 금속탄산염, 혹은 염기성금속탄산염 또는 이들의 혼합물에서, 안정하게 존재 할 수 있는 것이라면 어떠한 금속이어도 사용할 수 있지만, 통상 용이하게 입수할 수 있고, 또한 저가인 구리, 철, 코발트, 니켈, 망간, 아연, 크롬 등이 유리하게 사용될 수 있다.
금속화합물류는 시판되는 금속수산화물, 금속탄산염, 혹은 염기성금속탄산염을 사용할 수 있고, 또 금속염류를 수용액화한 후, 알칼리 화합물류 수용액과의 중화반응에 의해 제조할 수도 있다. 이 알칼리 화합물류로서는 나트륨, 칼륨의 수산화물, 탄산염, 혹은 암모니아수 등을 사용하는 것이 바람직하다. 중화반응에 의해서 얻어진 침전물은 수세한 후, 여과, 건조하여, 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속성분을 첨가하는 원료로 하지만, 경우에 따라서는 여과물을 그대로 원료로서 사용할 수도 있다.
여기서, 금속화합물류는 시판되는 것, 침전법에 의한 것을 동시에 단일화합물로 사용하는 것 뿐만 아니라, 화합물의 혼합물을 만들어서 사용해도 좋다. 침전법에 의한 화합물류의 경우, 혼합물로서의 사용에 있어서는 화합물을 단독으로 침전시킨 것을 혼합해도 좋지만, 공침법(共沈法)에 의해 복수 성분을 포함하는 침전물을 얻는 것에 의한 방법이 바람직하다.
본 처리제는 또한 첨가성분으로서 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속성분이 금속화합물류에 가해진다. 여기서 제 Ⅷ 족 귀금속으로는 팔라듐, 백금, 로듐, 루테늄 등이 사용된다. 이들 성분은 단독으로 가하는 것 뿐만 아니라, 복수 성분을 합해서 가하여도 좋다. 이들 성분을 금속화합물류에 담지하는 경우, 금속화합물류가 시판품이라면 분상물, 그 성형물, 혹은 성형후 파쇄한 과립 이 바람직하고, 침전법에 의한 금속화합물류라면 분상물, 그 성형물, 혹은 성형후의 파쇄물이 바람직하다. 또, 침전법에 의한 금속화합물류를 사용하는 경우는, 금속화합물류의 전구체로서의 금속염류 수용액에 첨가성분 염류를 미리 용해시켜 둠으로써 가할 수 있다. 이들을 정리하여 일람표로서 나타내면 하기 [표 1]과 같다.
[표 1]
주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속성분의 금속화합물류에 대한 첨가 조건
귀금속류 또는 은첨가법 금속화합물류 적요
혼련법 시판품 분말을 사용하고, 첨가성분 화합물류와 혼련하고, 그 다음에 성형처리한다.
침전법에 의한 제조 건조분말 혹은 여과물을 사용하고, 첨가성분 화합물류와 혼련후, 성형처리한다.
함침 또는 침지법(dipping method) 시판품 금속화합물류 성형물 혹은 그 파쇄물을 첨가성분 염류 수용액에 담근다.
침전법에 의한 제조
스프레이법 시판품 금속화합물류 성형물 혹은 그 파쇄물에 첨가성분 염류 수용액을 스프레이한다.
침전법에 의한 제조
금속화합물류와의 공침
-		 금속화합물류를 침전시킬 때, 미리 그 전구체 수용액 중에 첨가성분 염류를 용해해 둔다.
상기 첨가성분의 함유량은, 처리제 전체 중량에 대한 금속량으로 나타내면 0.002중량%~3.0중량%의 범위가 바람직하고, 그 함유량이 0.002중량% 이하에서는 금속수소화물 처리 속도의 향상이 불충분하고, 또 그 양이 3중량% 이상에서는 처리 성능 향상 효과를 인식할 수 없어질 뿐만 아니라, 첨가성분은 고가이기 때문에 경제적으로 바람직하지 않다.
또한, 상기 첨가성분으로 되는 금속화합물에 첨가하는 방법에 대해서 하기에 서 보충 설명한다. 우선, 첨가성분이 혼련법으로 가해지는 경우는, 분말상의 금속화합물류와 첨가성분 화합물류의 혼련(混練) 종료후, 압출하고, 혹은 타정(打錠)에 의해 성형물로 한다. 이 때, 처리제에는 사용에 견딜 수 있는 기계적 강도를 확보하기 위해서, 필요에 따라 실리카, 알루미나, 마그네시아, 혹은 그 외의 강도 개선에 유효한 무기 바인더(inorganic binder)류를 가할 수 있다. 배기가스의 처리방법은, 충전탑에 채워넣은 처리제에 처리 대상 가스를 유통하는 것에 의하기 때문에, 성형처리는 압력 손실을 저감하기 위해서 필수이고, 필요에 따라서 이들 성형물을 파쇄처리하여, 과립상으로 만들어서 사용해도 좋다.
한편, 함침법, 침지법 또는 스프레이법에 의해 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속이 첨가되는 경우에는, 미리 금속화합물류는 압출되거나, 또는 타정성형되어, 필요에 따라서 파쇄, 과립화된 후, 첨가성분류가 가해진다. 이들 성분이 금속화합물류와의 공침에 의해 가해지는 경우는, 금속화합물류 염수용액에 첨가성분 염류를 용해시켜 두고, 알칼리와의 중화반응에 의해 공침시키고, 침전 생성에서 여과에 이르는 일련의 처리 종료후, 압출하고, 혹은 타정성형하며, 나아가 필요에 따라서 파쇄하고, 과립화한다.
또한 본 발명은, 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물에 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속을 담지시킨 금속수소화물을 포함하는 배기가스의 처리제에 배기가스를 접촉시킴으로써 금속수소화물을 포함하는 배기가스의 처리방법에 관한 것이다.
금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물에 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속을 담지시킴으로써 얻어진 처리제는, 실제의 사용에 있어서는 유통식의 충전탑에 채워지고, 다음으로 금속수소화물을 함유하는 배기가스와 접촉시킴으로써 금속수소화물 가스의 제해를 목적으로 사용된다. 본 발명 처리제에 의해 제해할 수 있는 금속수소화물 가스류로서는, 실란, 아르신, 포스핀, 디실란, 디보란, 셀렌화수소, 게르만, 디클로르실란 등이 있다. 본 발명 처리제는 금속수산화물, 금속탄산염 혹은 염기성금속탄산염을 주체로 하고 있고, 이들은 금속수소화물 가스류와의 접촉에 의한 흡착 및/또는 화학반응에 의해 변색하기 때문에, 그 색조변화 상황을 목시, 관찰함으로써 잔존하는 처리성능을 확인할 수 있는 장점이 있다.
본 발명자등은 일련의 조작에 의해 얻어진 처리제를, 스텐레스제 유통식 반응장치에 충전하고, 금속수소화물 가스로서, 실란, 포스핀 및 게르만을 함유하는 환원성 가스를 반응기에 유통시켜, 처리제층의 온도측정을 행하면서, 출구가스 중의 금속수소화물 가스 누설량을 브레이크 모니터(break monitor)(일본 바이오닉스사제)에 의해 측정, 감시함으로써, 상온에서 금속수소화물 함유가스의 제해 성능 측정 시험을 행하였다.
그 결과, 종래기술의 범주인 산화물계 처리제의 경우는, 폭주반응에 의한 처리제층의 온도상승이 시험개시후 현저하여, 성능 측정 시험의 계속이 곤란함에 비하여, 본 발명 처리제의 경우는 충전층의 온도 상승을 인식할 수는 있었지만, 시험 중단을 초래하는 것과 같은 격한 발열은 없었다. 또, 그 성능에 관해서는, 주기율표 제 Ⅷ 족 귀금속 및 은 중 적어도 1 종의 금속성분을 함유하지 않은 금속수산화 물, 금속탄산염, 염기성금속탄산염계 처리제와 비교해서 제해 능력(L/kg)에서 우수하고, 또한 장시간에 걸쳐서 출구가스 중에 금속수소화물은 검출되지 않는 것을 확인하여 본 발명을 완성하였다.
본 발명에 의한 금속수소화물의 제해처리제는, 그 처리능력이 높고, 또한, 저발열이기 때문에, 반도체 제조공업 등에서 발생하는 금속수소화물 함유 배기가스의 처리에 유용하다.
다음으로 본 발명의 내용을 실시예에 의해 더욱 상세하게 설명한다. 여기서, 본 발명 처리제의 성능 평가는 수소 가스 중에 포함되는 금속수소화물 가스의 제해성능을 측정함으로써 행했다. 측정은 상압유통식의 반응장치에 의해 행하고, 그 측정장치, 측정조건, 측정조작법은 다음과 같다.
(금속수소화물 가스의 제해 성능 측정장치 및 측정조건)
제해 성능 측정장치 : 상압유통식 반응장치
반응관의 사이즈 : 내경 50mm, 길이 1200mm
측정조건
사용처리제 양 : 590cc(충전 높이 300mm)
GHSV : 320hr-1
압력 : 상압
반응온도 : 상온
반응가스 조성 : SiH4(실란), 또는 PH3(포스핀),
또는 GeH4(게르만)을 1%
H2 밸런스
(금속수소화물 가스의 제해 성능 측정 조작방법 및 제해 성능 계산법)
처리제 590cc를 충전 높이가 300mm가 되도록 반응관 내에 채워 측정장치에 설치하고, 이어서 수소로 희석한 금속수소화물 가스를 처리제 충전층에 유통한다. 가스 유통 개시후, 처리제층의 온도 측정을 행하면서, 반응관 출구가스 중에의 금속수소화물 가스 누설을 브레이크 모니터(일본 바이오닉스제)로 측정, 감시하고, 그 출구 농도가 5ppm에 도달할 때까지 유입한 실란, 포스핀, 게르만의 적산량(積算量)을 구해서, 그 양을 처리제 1kg당으로 환산한다. 구체적으로는 금속수소화물 가스의 제해 성능은 측정 결과로부터 다음 식에 의해 계산된다.
(처리제의 금속수소화물 가스 제해 성능 계산법)
제해 성능(L/kg) = A×(B/100)×(C/E)
여기서, A : 측정 가스 유량 (L/min.)
B : 금속수소화물 가스 농도(용적 %)
C : 금속수소화물 가스의 출구 농도가 소정의 농도에 도달할 때
까지의 누적 가스 유통시간(min.)
E : 처리제 충전량(kg)
[ 실시예 1]
금속화합물로서 시판되는 염기성 탄산구리를 사용하여, 니더(kneader)속에서의 성형에 적정량의 순수(純水)를 가하여 충분히 혼합한 후, 직경 3mm의 사이즈로 압출성형하고, 120℃에서 건조했다. 이 성형물의 흡수량을 측정하고, 이에 상응하는 순수에 처리제 중의 팔라듐 함유량이 0.5중량%가 되도록 염화팔라듐을 칭취(秤取)하여 용해했다. 이 용액을 상기 성형물에 함침하고, 120℃에서 건조한 것을 처리제로 했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 2] 내지 [ 실시예 4]
[실시예 1]에서, 처리제 중의 팔라듐 함유량이 각각 0.005중량%, 0.02중량%, 1.0중량%가 되도록 염화팔라듐의 사용량을 변화시킨 이외는, [실시예 1]과 완전히 동일하게 해서 [실시예 2] 내지 [실시예 4]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 5] 내지 [ 실시예 7]
[실시예 1]에서, 첨가성분으로서의 팔라듐 대신에, 은, 백금 및 루테늄을 담지하고, 그 화합물로서 초산은, 염화백금산 및 염화루테늄을 사용한 이외는, [실시예 1]과 완전히 동일하게 해서 [실시예 5] 내지 [실시예 7]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 은, 백금, 루테늄 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 8] 내지 [ 실시예 10]
[실시예 1]에서, 금속화합물로서 시판되는 염기성 탄산구리 대신에 같이 시판되는 염기성 탄산니켈, 염기성 탄산아연 및 수산화구리를 각각 사용한 이외는 [실시예 1]과 완전히 동일하게 해서 [실시예 8] 내지 [실시예 10]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 11]
초산구리를 수용액으로 만들고, 이에 맞춰 준비한 탄산나트륨과의 중화반응에 의해 염기성 탄산구리의 침전물을 얻었다. 이어서 수세함으로써 불순물류를 충분히 제거한 후 여과, 건조하여, 금속화합물로서의 염기성 탄산구리를 조제했다. 얻어진 건조물을 3mm(직경)×3mm(높이)의 정제로 성형하고, 흡수량을 측정했다. 이 흡수량의 30중량%에 상당하는 순수에, 처리제 중의 함유량이 0.5중량%가 되는 양의 초산팔라듐을 칭취하여 용해했다. 이 수용액을 스프레이 장치내에서 유동상태인 타정물에 스프레이하고, 나아가 120℃에서 건조함으로써 [실시예 11]의 처리제를 얻었다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 12]
[실시예 11]에서, 염기성 탄산구리의 침전물을 여과 단계까지 진행하여, 이 여과 종료물에 건조제 처리제로서의 팔라듐 함유량이 0.5중량%가 되도록 준비한 초산팔라듐 수용액을 가한 후, 니더속에서 충분히 혼련하였다. 얻어진 혼련물을 건조하여, 습식 성형에 적당한 수분상태로 한 후, 3mm(직경)의 사이즈로 압출성형하고, 120℃에서 건조해서 [실시예 12]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 13]
[실시예 1]에서, 금속화합물을 염기성 탄산구리 대신에 염기성 탄산니켈과 염기성 탄산구리의 등량 혼합물로 한 이외는 [실시예 1]과 완전히 동일하게 해서 [실시예 13]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속 수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 14]
시판되는 염기성 탄산구리를 6mm(직경)×6mm(높이)로 타정 성형하고, 이어서 2~4mm 사이즈로 파쇄, 정립(整粒)하였다. 이 파쇄물의 흡수량을 측정하고, 이에 상응하는 순수에 처리제 중의 팔라듐 함유량이 0.5중량%가 되도록 초산팔라듐을 칭취하여 용해하고, 파쇄물에 함침하여, 120℃에서 건조한 것을 처리제로 했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었 다.
[ 실시예 15]
초산구리와 초산팔라듐의 혼합수용액을 조제했다. 초산팔라듐은 처리제 전체 중량 중의 팔라듐 함유량이 0.5중량%로 되는 양을 칭취하여 사용했다. 이어서, 이에 맞게 준비한 탄산나트륨의 중화반응에 의해 팔라듐과 염기성 탄산구리의 공침전물을 얻었다. 이것을 수세함으로써 불순물류를 충분히 제거한 후 여과, 건조하고, 3mm(직경)×3mm(높이)의 정제로 타정성형함으로써 [실시예 15]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 팔라듐 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 실시예 16]
[실시예 1]에서, 염화팔라듐 대신에 염화팔라듐과 염화루테늄의 혼합수용액을 사용했다. 수용액 중의 팔라듐, 루테늄은 등량이고, 이들을 합한 중량이 처리제 전량에 대해서 0.5중량%가 되도록 했다. 그 외는 [실시예 1]과 완전히 동일하게 해서 [실시예 16]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 팔라듐, 루테늄 함유량 및 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 비교예 1]
[실시예 1]에서, 처리제 조제를 염기성 탄산구리의 압출성형 단계에서 멈추 고, 염화팔라듐 수용액 함침을 행하지 않고, 첨가성분을 함유하지 않은 처리제를 조제하여 [비교예 1]로 했다. 얻어진 처리제의 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 비교예 2] 내지 [ 비교예 4]
[비교예 1]에서, 염기성 탄산구리 대신에 염기성 탄산니켈, 염기성 탄산아연, 수산화구리를 사용한 이외는 [비교예 1]과 완전히 동일하게 해서 [비교예 2] 내지 [비교예 4]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[ 비교예 5]
[실시예 1]에서, 첨가성분으로서의 염화팔라듐 함침후, 건조 대신에 350℃ 소성을 행하여, 금속화합물을 산화물로 만든 [비교예 5]의 처리제를 조제했다. 얻어진 처리제의 금속수소화물의 제해 성능 결과를 [표 2]에 나타내었다.
[표 2]
금속수소화물 함유 배기가스 처리제의 성능 시험 결과
처리제의 종류 제해성능(L/kg)
 발열상황
(상승온도:℃)
Ⅰ Ⅱ Ⅲ
실시예 1 Pd(0.5중량%)
/염기성탄산구리		 45 90 15 30~40
실시예 2 Pd(0.005중량%)
/염기성탄산구리		 30 70 10 30~40
실시예 3 Pd(0.02중량%)
/염기성탄산구리		 35 75 12 30~40
실시예 4 Pd(1.0중량%)
/염기성탄산구리		 60 110 18 30~40
실시예 5 Ag(0.5중량%)
/염기성탄산구리		 50 90 14 30~40
실시예 6 Pt(0.5중량%)
/염기성탄산구리		 45 90 16 30~40
실시예 7 Ru(0.5중량%)
/염기성탄산구리		 43 94 16 30~40
실시예 8 Pd(0.5중량%)
/염기성탄산니켈		 47 91 15 30~40
실시예 9 Pd(0.5중량%)
/염기성탄산아연		 40 80 14 30~40
실시예 10 Pd(0.5중량%)
/수산화구리		 50 100 13 30~40
실시예 11
①		 Pd(0.5중량%)
/침전법염기성탄산구리		 58 110 19 30~40
실시예 12
②		 Pd(0.5중량%)
/침전법염기성탄산구리		 52 103 16 30~40
실시예 13
③		 Pd(0.5중량%)
/구리, 니켈의 염기성탄산염 등량 혼합		 50 95 15 30~40
실시예 14
④		 Pd(0.5중량%)
/염기성탄산구리		 63 114 20 30~40
실시예 15
⑤		 Pd(0.5중량%)
/염기성탄산구리(Pd와 공침)		 55 100 13 30~40
실시예 16 Pd, Ru(각각 0.25중량%)/염기성탄산구리 45 92 17 30~40
비교예 1 염기성탄산구리 25 50 0.4 30~40
비교예 2 염기성탄산니켈 20 40 0.3 30~40
비교예 3 염기성탄산아연 10 20 0.2 30~40
비교예 4 수산화구리 15 35 0.2 30~40
비교예 5 Pd(0.5중량%)
/산화구리		 폭주 반응에 의해 측정 중지
여기서, 제해 성능(L/kg)란의 Ⅰ, Ⅱ, Ⅲ은 각각 다음과 같다.
Ⅰ : 출구 가스 중에 SiH4가 5ppm 누설될 때까지의 SiH4 가스 적산 제해량
Ⅱ : 출구 가스 중에 PH3가 5ppm 누설될 때까지의 PH3 가스 적산 제해량
Ⅲ : 출구 가스 중에 GeH4가 5ppm 누설될 때까지의 GeH4 가스 적산 제해량
또, 실시예 표시란의 ①~④는 각각 다음과 같다.
① : 침전법 염기성 탄산구리의 타정 성형물에 팔라듐을 스프레이법으로 담지한다.
② : 침전법 염기성 탄산구리의 여과물에 팔라듐을 혼련시켜 담지한다.
③ : 염기성 탄산구리, 염기성 탄산니켈의 등량 혼합성형물에 팔라듐을 함침 담지한다.
④ : 염기성 탄산구리 타정 성형품의 파쇄물에 팔라듐을 함침 담지한다.
⑤ : 염기성 탄산구리와 팔라듐을 공침한다.
[표 2]의 결과로부터, [비교예 1] 내지 [비교예 4]는 실시예와 비교해서 처리능력이 낮고, 특히, GeH4(게르만)의 처리성능에 있어서 현저하게 낮은 처리능력이었다. 시험 도중에 격렬한 발열이 관측되어, 시험은 도중에 중지하였다.

Claims (3)

  1. 금속수소화물을 포함하는 배기가스의 처리제로서, 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물에 팔라듐, 백금, 로듐 및 은 중에서 적어도 1 종의 금속을 담지시키고,
    상기 금속수산화물, 금속탄산염, 금속염기성탄산염 또는 이들 화합물의 혼합물의 금속성분은, 구리, 철, 코발트, 니켈, 망간, 아연, 크롬 중 적어도 1 종으로 이루어지며,
    상기 팔라듐, 백금, 로듐 및 은 중 적어도 1 종의 금속의 담지 중량은, 처리제 전체 중량에 대해서 0.002중량% 내지 3.0중량%인 것을 특징으로 하는 금속수소화물을 포함하는 배기가스의 처리제.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 의한 처리제에 금속수소화물 함유 배기가스를 접촉시키는 것을 특징으로 하는 배기가스의 처리방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7591985B2 (en) * 2007-05-31 2009-09-22 Metaloid Precursors, Inc. Method for purifying germanium hydrides
FR2937630B1 (fr) * 2008-10-24 2011-05-06 Commissariat Energie Atomique Systeme catalytique pour la generation d'hydrogene par la reaction d'hydrolyse des borohydrures metalliques

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05161841A (ja) * 1991-12-12 1993-06-29 Nippon Chem Ind Co Ltd 空気浄化剤及びその製造方法
JPH08192024A (ja) * 1995-01-20 1996-07-30 Mitsui Toatsu Chem Inc 排ガスの処理剤及び処理方法
US20040049584A1 (en) * 2000-09-11 2004-03-11 Jorgen Bjorkner Method and system for information distribution

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2179454A (en) * 1937-06-17 1939-11-07 Trico Products Corp Windshield wiper
US2927141A (en) * 1957-03-04 1960-03-01 Engelhard Ind Inc Catalyst for the selective hydrogenation of acetylene
US3513109A (en) * 1967-04-19 1970-05-19 Du Pont Process for applying catalytic coatings
US3579569A (en) * 1967-10-06 1971-05-18 Grace W R & Co Preparation of vinyl acetate
US3844981A (en) * 1969-12-23 1974-10-29 Exxon Research Engineering Co Method for preparation of olefin oxidation catalyst
US3775352A (en) * 1971-03-22 1973-11-27 Shell Oil Co Metal-polymer matrices and their preparation
US3900342A (en) * 1971-05-03 1975-08-19 Siemens Ag Silver catalyst and a method of its manufacture
GB1385403A (en) * 1971-07-14 1975-02-26 Unilever Ltd Process for preparing oxidised carbohydrates
DE2502894C3 (de) * 1975-01-24 1981-12-03 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Ruthenium-Trägerkatalysator
US3979332A (en) * 1975-02-03 1976-09-07 Shell Oil Company High temperature methanation with molten salt-based catalyst systems
JPS63200820A (ja) 1987-02-17 1988-08-19 Kikuchi:Kk 半導体製造中の排ガス処理方法
JPH02126936A (ja) * 1988-11-07 1990-05-15 Chiyoda Corp 水素化物系有毒ガスの吸着剤及びそれを用いる排ガスの浄化方法
US5182088A (en) * 1990-09-07 1993-01-26 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Removal of gaseous hydrides
US5378673A (en) * 1992-12-23 1995-01-03 Exxon Research And Engineering Company Method for atomically dispersing catalytic metals into support materials
US5853678A (en) * 1993-03-17 1998-12-29 Nipon Sanso Corporation Method for removing hydrides, alkoxides and alkylates out of a gas using cupric hydroxide
US5849662A (en) * 1993-10-21 1998-12-15 Chulalongkorn University Catalyst comprising of element from group 1B and VIIIB activated by oxygen or oxygen containing compound
JP3516471B2 (ja) * 1993-11-29 2004-04-05 株式会社コキャット 排ガス浄化材及び排ガス浄化方法
US5451558A (en) * 1994-02-04 1995-09-19 Goal Line Environmental Technologies Process for the reaction and absorption of gaseous air pollutants, apparatus therefor and method of making the same
US5488024A (en) * 1994-07-01 1996-01-30 Phillips Petroleum Company Selective acetylene hydrogenation
US5625084A (en) * 1996-01-31 1997-04-29 Arco Chemical Technology, L.P. Vapor phase oxidation of propylene to propylene oxide
US5763630A (en) * 1996-03-18 1998-06-09 Arco Chemical Technology, L.P. Propylene oxide process using alkaline earth metal compound-supported silver catalysts
US5953911A (en) * 1998-02-04 1999-09-21 Goal Line Environmental Technologies Llc Regeneration of catalyst/absorber
CN1145526C (zh) * 1998-09-14 2004-04-14 国际壳牌研究有限公司 制备具有改进催化性能的催化剂的方法
US6417136B2 (en) * 1999-09-17 2002-07-09 Phillips Petroleum Company Hydrocarbon hydrogenation catalyst and process
US7005404B2 (en) * 2000-12-20 2006-02-28 Honda Motor Co., Ltd. Substrates with small particle size metal oxide and noble metal catalyst coatings and thermal spraying methods for producing the same
US6797669B2 (en) * 2000-12-29 2004-09-28 China Petroleum & Chemical Corporation Catalyst for selective hydrogenation, its preparation process and application
US6392066B1 (en) * 2001-02-22 2002-05-21 Sri International Epoxidation of olefins using lanthanide-promoted silver catalysts

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05161841A (ja) * 1991-12-12 1993-06-29 Nippon Chem Ind Co Ltd 空気浄化剤及びその製造方法
JPH08192024A (ja) * 1995-01-20 1996-07-30 Mitsui Toatsu Chem Inc 排ガスの処理剤及び処理方法
US20040049584A1 (en) * 2000-09-11 2004-03-11 Jorgen Bjorkner Method and system for information distribution

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Publication number Publication date
KR20050008675A (ko) 2005-01-21
EP1493486A1 (en) 2005-01-05
JPWO2003084659A1 (ja) 2005-08-11
DE60225189T2 (de) 2009-06-18
KR20090057303A (ko) 2009-06-04
EP1493486A4 (en) 2006-08-09
WO2003084659A1 (fr) 2003-10-16
US7476373B2 (en) 2009-01-13
JP4430948B2 (ja) 2010-03-10
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