KR100968869B1 - Substrate transfer robot - Google Patents
Substrate transfer robot Download PDFInfo
- Publication number
- KR100968869B1 KR100968869B1 KR1020080066337A KR20080066337A KR100968869B1 KR 100968869 B1 KR100968869 B1 KR 100968869B1 KR 1020080066337 A KR1020080066337 A KR 1020080066337A KR 20080066337 A KR20080066337 A KR 20080066337A KR 100968869 B1 KR100968869 B1 KR 100968869B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- end effector
- drive
- driving
- shaft
- rotated
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
- B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
- B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
본 발명은 다수의 구동암이 각각 관절 운동을 하도록 상호 회전 가능하게 연결되고, 다수의 구동암중 말단부 구동암에 장착되는 엔드 이펙터에 의해 기판을 반송하도록 이루어진 기판 반송 로봇에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제1, 제2 엔드 이펙터 및 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제3, 제4 엔드 이펙터로 이루어지고, 상기 말단부 구동암에 상기 제1 및 제2 엔드 이펙터를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되 상기 제1 및 제2 엔드 이펙터중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하고, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하는 엔드 이펙터 작동 모듈을 구비하며, 상기 제1 엔드 이펙터와 제3 엔드 이펙터는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되며, 상기 제2 엔드 이펙터와 제4 엔드 이펙터는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되는 것을 특징으로 한다.In the present invention, a plurality of drive arms are rotatably connected to each other for joint motion, and the substrate transfer robot is configured to carry a substrate by an end effector mounted on a distal end drive arm of the plurality of drive arms, wherein the end effectors are left and right. And a pair of first and second end effectors spaced apart from each other, and a pair of third and fourth end effectors spaced apart from each other to the left and right, and the first and second ends of the distal drive arm. By interlocking the effectors with each other so that the rotational direction is synchronously reversed, one of the first and second end effectors is rotated to drive the other, and the other is rotated, and the third and fourth end effectors are interlocked with each other. On the contrary, the synchronous operation is performed, but one of the third and fourth end effectors is rotationally driven to rotate the other. De-effector operation module, wherein the first end effector and the third end effector are disposed up and down to rotate independently about a common central axis, and the second end effector and the fourth end effector are moved up and down. It is characterized in that it is disposed so as to be independently rotated based on a common central axis.
기판, 반송, 로봇, 엔드이펙터, 트윈 공정 챔버 Board, Transfer, Robot, End Effector, Twin Process Chamber
Description
본 발명은 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이 패널, 디스크 드라이브의 단위 디스크의 기판에 대한 반도체 공정 처리를 위하여 기판을 공통 반송실내에서 반송하기 위한 기판 반송 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 반송하기 위해 반송 로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다. 여기서, 기판은 반도체 웨이퍼(Semiconductor Wafer)나 액정 디스플레이 패널(LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL), 디스크 드라이브(DISK DRIVE)의 단위 디스크 등을 지칭한다. Robots are used for various purposes in various industries, for example, the use of a transfer robot to transport the substrate in the semiconductor manufacturing field. Here, the substrate refers to a semiconductor wafer, a liquid crystal display panel, a unit disk of a disk drive, or the like.
이와 같은 기판은 일반적으로 카세트(CASSETTE)라고 불리는 반송 용기에 상하로 이격되게 적재된 상태로 공통 반송실의 측변에 마련된 로드 록(Load Lock)챔버(Chamber)내로 배송된 후, 공통 반송실 내부에 설치된 반송 로봇을 이용하여 로드록 챔버내의 카세트로부터 기판을 꺼내어 공통 반송실의 측변에 마련된 공정 챔버로 투입하여 해당 공정의 처리 과정을 수행한 다음, 공정 챔버내의 기판을 꺼내어 공통 반송실에 측변에 마련된 언로드 록(Unload Lock) 챔버(Chamber)내에 마련 된 카세트로 투입되는 것이다.Such a substrate is generally placed in a load lock chamber provided on the side of the common transport chamber in a state of being spaced up and down in a transport container called a cassette (CASSETTE), and then inside the common transport chamber. The substrate is removed from the cassette in the load lock chamber by using the installed transfer robot and introduced into the process chamber provided on the side of the common transfer chamber to perform the process of the process. Unload Lock It is fed into a cassette provided in a chamber.
상기와 같은 기능을 수행하는 반송 로봇에 대한 종래 기술의 일례로, 일본 특개평7-142551호(이하, '종래 기술 1'이라 함)에 개시된 것으로, 도 12에 도시된 바와 같이, 선회 가능하게 설치된 제1의 암(6)과, 이 제1의 암(6)의 선단에 굴신(屈伸) 가능하게 설치된 제2의 암(8)과, 이 제2의 암(8)의 선단에 중앙부가 회전 가능하게 설치됨과 아울러 양단부를 통해 피처리체의 일례로 웨이퍼(Wafer;W)의 하면을 지지하여 이를 떠받치는 역할을 하는 피처리체 재치부(58A,58B)를 가지는 피크 암(10)으로 구성되어 있다.As an example of the prior art for a transfer robot that performs the above functions, disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-142551 (hereinafter referred to as "
그러나, 상기와 같은 종래 기술 1은, 1개의 긴 피크 암(10)을 이용하기 때문에 제1,2 암(6,7)의 길이를 줄이더라도 반송 로봇의 최소 선회 반경이 크고, 로봇이 공통 반송실내에서 차지하는 면적이 커지는 문제점이 있었다.However, in the above-described
그리고, 전술한 종래 기술1은 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)내로 2개의 기판을 동시에 투입할 수 없기 때문에 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 없는 문제점도 있었다.In addition, the above-described
이에, 종래 기술1에서 내포하고 있던 문제점을 해소할 수 있는 다른 종래 기술로 동일한 작동 방식으로 기판을 반송할 수 있도록 구성된 다수의 일본 특개2002-184834호, 일본 특개2006-205264호, 일본 특개2008-16815호(이하,'종래 기술2'이라 함)가 있다.Accordingly, a number of Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2002-184834, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-205264, and Japanese Patent Laying-Open No. 2008-2008, which are designed to convey a substrate in the same operation manner as another conventional technology, which can solve the problems inherent in the
종래 기술 2에 언급한 특허 문헌중 일본 특개 2002-184834호를 대표로 도 13 를 참조하여 설명하기로 한다. 여기서, 도 13에 도시된 부재번호는 도 13에만 한정된다는 것을 언급한다.In the patent document referred to in the
도 13에 도시된 바와 같이, 고정 베이스(2)와, 이 고정 베이스에 선회 가능하게 연결되는 제1 암(3)과, 이 제1 암(3)에 선회 가능하게 연결되는 제2 암(4)과, 제2 암(4)에 선회 가능하게 연결되는 포크를 갖는 기판 반송용 로봇(1)에 있어서, 포크를, 각각 독립한 제1 포크(5) 및 제2 포크(6)로 되는 복수의 포크로 구성하고, 제1 포크(5) 및 제2 포크(6)를 제2 아암(4)의 선단부에 상하 2단에 동축에서, 각각 독립적으로 선회 가능하게 설치함과 동시에, 제1 포크 구동용 모터 및 제2 포크 구동용 모터를 로봇의 내부에 설치하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 13, a
상기와 같은 종래 기술은 제1 포크(5)와 제2 포크(6)가 동심축을 중심으로 하여 각각 독립적으로 회전되는 구조로 이루어져 있기 때문에 기판의 반송시 고정 베이스(2)에 대해 최소 회전 반경을 축소할 수 있음과 아울러 반송 로봇(1)이 공통 반송실내에서 차지하는 면적을 감소시키는 장점이 있었다.The prior art as described above has a structure in which the
그러나, 종래 기술 2는 제1 포크(5)와 제2 포크(6)를 회전 구동시키기 위해 2개의 개별 구동모터에 의한 2축 구동 구조이기 때문에 구동 소비 전력의 상승 및 고가의 구동 모터를 2개 사용함에 따른 제조 원가가 상승되는 문제점 및 구동 소비 전력이 낭비되는 문제점이 있었다.However, since the
그리고, 종래 기술 2는, 제1 및 제2 포크(5)(6)는 2개의 구동 모터에 의해 개별 구동되기 때문에 트윈 공정 챔버에 대응하여 기판을 동시에 반입 및 반출하기 위해서는, 제1 포크(5)와 제2 포크(6)가 트윈 공정 챔버에 정확하게 위치하도록 2개의 구동 모터를 정밀하게 제어해야 하는 문제점도 있었다.In the
이에, 본 발명의 바람직한 실시예는, 다수의 구동암이 각각 관절 운동을 하도록 상호 회전 가능하게 연결되고, 다수의 구동암중 말단부 구동암에 장착되는 엔드 이펙터에 의해 기판을 반송하도록 이루어진 기판 반송 로봇에 있어서, 상기 엔드 이펙터는 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제1, 제2 엔드 이펙터 및 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제3, 제4 엔드 이펙터로 이루어지고, 상기 말단부 구동암에 상기 제1 및 제2 엔드 이펙터를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되 상기 제1 및 제2 엔드 이펙터중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하고, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하는 엔드 이펙터 작동 모듈을 구비하며, 상기 제1 엔드 이펙터와 제3 엔드 이펙터는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되며, 상기 제2 엔드 이펙터와 제4 엔드 이펙터는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되는 것을 특징으로 한다.Accordingly, a preferred embodiment of the present invention is a substrate transfer robot which is rotatably connected to each other so that each of the plurality of drive arms are articulated, and transports the substrate by an end effector mounted on the distal end drive arm of the plurality of drive arms. The end effector may include a pair of first and second end effectors spaced apart from each other to the left and right, and a pair of third and fourth end effectors spaced apart from each other to the left and right. By interlocking the first and second end effector with each other so that the rotation direction is synchronously reversed, any one of the first and second end effectors is rotationally driven to rotate the rest, and the third and fourth end effectors are rotated. Interlock with each other so that the rotation direction is synchronously reversed, and rotates any one of the third and fourth end effectors to rotate the rest. And an end effector operation module configured to be rotationally driven, wherein the first end effector and the third end effector are disposed up and down to rotate independently about a common central axis, and the second end effector and the fourth end. The effector is disposed up and down, characterized in that it is installed to rotate independently with respect to a common central axis.
본 발명에 의한 기판 반송 로봇에 따르면, 다음과 같은 효과를 기대할 수 있게 된다.According to the substrate transfer robot according to the present invention, the following effects can be expected.
첫째, 기판의 반송시 로봇 본체에 대해 최소 회전 반경을 축소할 수 있음과 아울러 반송 로봇이 공통 반송실내에서 차지하는 면적을 감소시킬 수 있으며, 1개의 구동 모터를 이용하여 2개의 엔드 이펙터를 동시에 구동시킴으로써 공통 반송실에 구비된 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)내로 2개의 기판을 동시에 투입할 수 있어 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있음과 아울러 구동 소비 전력의 감소 및 제조 원가를 절감할 수 있으며, 단일의 구동 모터에 의해 한쌍의 제1 및 제2 엔드 이펙터가 동기 회전 작동되기 때문에 이들간의 작동 오차가 발생되지 않음과 아울러 제1 엔드 이펙터와 제2 엔드 이펙터를 이용하여 2매의 기판을 트윈 챔버에 동시에 투입시 제1 엔드 이펙터와 제2 엔드 이펙터의 위치를 각각 트윈 챔버에 대응하여 위치시키는 작업을 용이하게 실시할 수 있게 된다.First, it is possible to reduce the minimum rotation radius with respect to the robot body when transporting the substrate, and to reduce the area occupied by the transport robot in the common transport chamber. By driving two end effectors simultaneously using one drive motor, Two substrates can be simultaneously introduced into two twin process chambers provided in a common transfer chamber, thereby improving substrate throughput per unit time and reducing driving power consumption. The manufacturing cost can be reduced, and since a pair of first and second end effectors are synchronously rotated by a single drive motor, there is no operation error between them, and the first end effector and the second end effector are used. When the two substrates are simultaneously introduced into the twin chamber, the positions of the first end effector and the second end effector correspond to the twin chambers, respectively. The task of value is possible to easily conduct.
둘째, 기판을 반송하는 엔드 이펙터의 개수를 종래 기술2에 비해 2배 증가하 도록 구성하여 기판의 반송 능력을 2배로 배가시킬 수 있으면서도 기판의 반송시 로봇 본체에 대해 최소 회전 반경을 축소할 수 있음과 아울러 반송 로봇이 공통 반송실내에서 차지하는 면적을 감소시킬 수 있으며, 공통 반송실에 구비된 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)내로 2개의 기판을 동시에 투입할 수 있어 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있음과 아울러 구동 소비 전력의 감소 및 제조 원가를 절감할 수 있으며, 단일의 구동 모터에 의해 한쌍의 제1 및 제2 엔드 이펙터가 동기 회전 작동됨과 아울러 또 다른 구동 모터에 의해 한쌍의 제3 및 제4 엔드 이펙터가 동기 회전 작동하기 때문에 이들간의 작동 오차가 발생되지 않게 된다. 따라서, 제1 엔드 이펙터와 제2 엔드 이펙터를 이용하여 2매의 기판을 트윈 챔버에 동시에 투입시 제1 엔드 이펙터와 제2 엔드 이펙터의 위치를 각각 트윈 챔버에 대응하여 위치시키는 작업을 용이하게 실시할 수 있고, 제3 엔드 이펙터와 제4 엔드 이펙터를 이용하여 트윈 공정 챔버내에서 처리 완료된 2매의 기판을 반출하여 언로드록 챔버내에 마련된 카세트내에 적재할 수 있게 된다.Second, the number of end effectors carrying the substrate can be doubled compared to the
셋째, 그리고, 본 발명은 엔드 이펙터 작동 모듈을, 상기 말단부 구동암에 대해 회전 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하며, 이렇게 함으로써, 기판 처리를 위한 공통 반송실 및 이 주변에 형성되는 공정 챔버 및 로드록 챔버와 언로드록 챔버의 레이 아웃을 자유롭게 설계할 수 있게 된다.Third, and the present invention is characterized in that the end effector operation module is rotatably installed with respect to the distal drive arm, whereby a common transport chamber for processing the substrate and a process chamber and load lock formed therein are provided. The layout of the chamber and the unload lock chamber can be freely designed.
넷째, 본 발명은 로드록 챔버에 구비된 4매의 미처리된 기판을 동시에 꺼내어 반송한 후, 이 기판에 대해 공정 처리한 다음, 언로드록 챔버내로 처리된 기판을 다시 적재하는데 소요되는 시간을 최대한 단축시킬 수 있어, 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있다.Fourthly, the present invention simultaneously removes and transports four unprocessed substrates provided in the loadlock chamber, processes the substrates, and shortens the time required to reload the processed substrates into the unload lock chamber. The substrate throughput per unit time can be improved.
이하, 본 발명에 의한 기판 반송 로봇의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a substrate transfer robot according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원통좌표형 타입의 기판 반송 로봇의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 지시선 "A-A"부의 단면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 지시선 "B-B"부의 단면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 지시선 "C-C"부의 단면도이며, 도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 기판 반송 로봇에 의한 기판이 반송되는 과정의 일 실시예를 나타낸 도면이며, 도 8은 도 1에 도시된 기판 반송 로봇에 의한 기판이 반송되는 과정의 다른 실시예를 나타낸 도면이며, 도 9는 본 발명의 다른 실시예로 수평 다관절형 타입의 기판 반송 로봇을, 도 1에 지시선 "A-A"부 방향으로 절단한 단면을 나타낸 것으로, 엔드 이펙터 작동 모듈을 말단부 구동암에 대해 회전 가능하게 설치하기 위한 기반 반송 로봇의 내부 구성을 도시한 단면도이며, 도 10은 도 9에 도시된 실시예에 따른 기판 반송 로봇을 적용하였을 때, 구현할 수 있는 공통 반송실의 구조 및 기판 반송 동작을 나타낸 도면이며, 도 11은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 요부 사시도이다.1 is a plan view of a cylindrical transfer robot of a cylindrical coordinate type according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of the leader line "AA" shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a leader line "BB" shown in FIG. 4 is a cross-sectional view of the section “CC” of the leader line shown in FIG. 1, and FIGS. 5 to 7 are views illustrating an embodiment of a process of transferring a substrate by the substrate transfer robot shown in FIG. 1. FIG. 8 is a view illustrating another embodiment of a process of transferring a substrate by the substrate transfer robot shown in FIG. 1, and FIG. 9 illustrates a substrate transfer robot of a horizontal articulated type according to another embodiment of the present invention. Fig. 10 is a cross-sectional view showing the internal structure of the base conveying robot for installing the end effector operation module rotatably with respect to the distal end driving arm, showing a cross section cut in the direction of the “AA” portion in Fig. 10. Substrate according to the embodiment When the transfer robot is applied, it is a view showing the structure of the common transfer chamber and the substrate transfer operation that can be implemented, Figure 11 is a perspective view of the main portion showing another embodiment of the present invention.
본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 구동암(arm)(100)(200)이 각각 관절 운동을 하도록 상호 회전 가능하게 연결되고, 다수의 구동암(100)(200)중 말단부(末端部) 구동암(200)에 장착되는 엔드 이펙터(End Effector)에 의해 기판을 반송하도록 이루어진 기판 반송 로봇(800)에 관한 것이다.As shown in FIG. 1, the plurality of driving
상기 다수의 구동암(100)(200)은 일례로 2단으로 구성할 수 있는바, 이중 기단부 구동암(100)은 로봇 본체(810)의 축중심(R1)을 중심으로 하여 오른쪽 방향(시계방향) 또는 왼쪽 방향(반시계방향)으로 회전 구동되도록 설치되어 있다.The plurality of driving
그리고, 말단부 구동암(200)의 일단부가 기단부(基壇部) 구동암(100)의 끝단부측 상면에 상하로 중첩되게 배치되어 축중심(R2)을 중심으로 하여 오른쪽 방향(시계 방향) 또는 왼쪽 방향(반시계 방향)으로 회전 구동되도록 설치되어 있다. 즉, 로봇 본체(810)에 대해 기단부 구동암(100)을 일정 각도로 회전시킨 후, 이 기단부 구동암(100)에 대해 말단부 구동암(200)의 회전 각도에 따라 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)이 설정된 임의의 방향으로 서로 일직선이 되도록 펼쳐져 로봇 본체(810)로부터 엔드 이펙터를 최대한 멀리 위치시킬 수 있으며, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)이 서로 상하로 완전히 또는 일부 중첩된 상태가 되게 하면 로봇 본체(810)에 대해 기단부 구동암(100)을 회전시킬 때 축중심(R1)으로 엔드 이펙터의 최소 회전 반경을 축소할 수 있게 된다.One end of the distal
본 발명의 실시예는 도 1에 도시된 바와 같이, 엔드 이펙터는 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)로 이루어진다.1, the end effector includes a pair of first and
그리고, 말단부 구동암(200)에 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 서로 연동시켜 회전 방향이 반대로 동기 동작되도록 하되, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하는 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을 구비한 것이다.The first and
즉, 본 발명은 엔드 이펙터를 이루는 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)가 좌우로 서로 이격되게 배치된 상태에서 이중 어느 하나를 단일의 구동원인 구동모터의 동력을 전달받아 회전시킴과 아울러 나머지 하나를 반대의 회전 방향으로 동기 동작되게 회전하도록 구성하였기 때문에 종래 기술2와는 달리 2개의 개별 구동모터를 사용하지 않고 2개의 기판을 동시에 반송시킬 수 있어 제조 원가를 절감할 수 있으며, 구동 소비 전력의 낭비를 막을 수 있다.That is, the present invention is the first and second end effector (300, 400) constituting the end effector is rotated by receiving the power of the driving motor of any one of them in a state in which the left and right are spaced apart from each other. In addition, since the other one is configured to rotate synchronously in the opposite rotation direction, unlike the
그리고, 본 발명은, 제1 및 제2 포크를 2개의 구동 모터로 개별 구동시키기 방식의 종래 기술과는 달리 1개의 구동모터의 두 개의 2매의 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 동기 작동시키기 때문에 기판을 공통 반송실(900)의 트윈 공정 챔버(930)(940)로 동시에 반입 및 반출하기 위해서 제1 포크(5;종래기술)와 제2 포크(6;종래기술)가 트윈 공정 챔버에 정확하게 위치하도록 2개의 구동 모터를 정밀하게 제어해야 하는 종래 문제점을 해소할 수 있다는 것이다.In addition, the present invention, unlike the prior art of driving the first and second forks separately with two drive motors, two two first and
부언하면, 본 발명은 1개의 구동 모터를 가동시켜도 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)가 서로 동기 동작되어 회전되는 관계로, 2매의 미처리 기판을 반출할 수 있도록 공통 반송실(900)의 로드록 챔버(910)에 대하여 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 아주 용이하게 위치시킬 수 있고, 로드록 챔버(910)에서 반출한 2매의 기판을 트윈 공정 챔버(930)(940)에 다시 투입할 수 있도록 트윈 공정 챔버(930)(940)에 대하여 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 아주 용이하게 위치시킬 수 있으며, 2매의 처리 완료된 기판을 트윈 공정 챔버(930)(940)에서 다시 꺼낸 후 언로드록 챔버(920))내로 반입하기 위해 이 언로드록 챔버(920)에 대해 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 아주 용이하게 위치시킬 수 있는 장점이 있다.In other words, in the present invention, the first and
한편, 본 발명은, 1개의 긴 피크 암(10)을 이용하는 종래 기술1에서 달리 제1,2 암(6,7)의 길이를 줄이더라도 반송 로봇의 최소 선회 반경이 크고, 로봇이 공통 반송실(900)내에서 차지하는 면적이 커지는 종래 기술1에서 발생되는 문제점인 최소 선회 반경을 축소할 수 있게 된다.On the other hand, in the present invention, unlike the
그리고, 본 발명은 두개의 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 1개의 구동모터를 이용하여 서로 동기 동작되어 회전시키도록 구성되어 있기 때문에 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)(930)(940)간의 이격 거리에 대응하여 제1,제2 엔드 이펙터(300)(400)의 간격 피치(Pitch)를 플렉시블(Flexible)하게 가변시킬 수 있다. 이와 같은 작용 효과로 인해 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)(930)(940)내로 2개의 기판을 동시에 투입하는 것을 아주 원활하게 실시할 수 있으며, 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있다.In addition, since the present invention is configured to rotate the two first and
그리고, 본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 엔드 이펙터는 좌우로 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 더 포함하여 구비한다.In addition, as shown in FIG. 1, the end effector further includes a pair of third and
상기 엔드 이펙터 작동 모듈(500)은 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 서로 연동시켜 회전 방향이 서로 반대로 동기 동작되도록 하되, 상기 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)중 어느 하나를 회전 구동시켜 나머지가 회전 구동되도록 하며, 상기 제1 엔드 이펙터(300)와 제3 엔드 이펙터(600)는 상하로 배치되어 공통 의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 설치되며, 상기 제2 엔드 이펙터(400)와 제4 엔드 이펙터(700)는 상하로 배치되어 공통의 중심축을 기준으로 하여 독립적으로 회전되도록 구성된다.The end
따라서, 본 발명은 종래 기술 2와 비교하여 볼 때, 구동 모터를 2개를 구비하여 개별적으로 구동시키는 것은 동일하지만, 기판을 반송하는 엔드 이펙터의 개수를 종래 기술2에 비해 2배 증가하도록 구성하여 기판의 반송 능력을 2배로 배가시킬 수 있으면서도 기판의 반송시 최소 회전 반경을 축소할 수 있음과 아울러 반송 로봇이 공통 반송실(900)내에서 차지하는 면적을 감소시킬 수 있다.Therefore, in the present invention, compared to the
그리고, 공통 반송실에 구비된 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)(930)(940)내로 2개의 기판을 동시에 투입할 수 있어 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 2배로 향상시킬 수 있음과 아울러 구동 소비 전력의 감소 및 제조 원가를 절감할 수 있다.In addition, two substrates can be simultaneously introduced into two
그리고, 단일의 구동 모터에 의해 한쌍의 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)가 동기 회전 작동됨과 아울러 또 다른 구동 모터에 의해 한쌍의 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)가 동기 회전 작동되기 때문에 제1, 제2 엔드 이펙터(300)(400)간의 작동 오차 및 제3, 제4 엔드 이펙터(600)(700)간의 작동 오차가 발생되지 않게 된다.In addition, the pair of first and
따라서, 제1 엔드 이펙터와 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 이용하여 2매의 기판을 트윈 공정 챔버(930)(940)에 동시에 투입시 제1 엔드 이펙터(300)와 제2 엔드 이펙터(400)의 위치를 각각 트윈 공정 챔버(930)(940)에 대응하여 위치시키는 작업 을 용이하게 실시할 수 있음과 아울러 제3 엔드 이펙터(600)와 제4 엔드 이펙터(700)를 이용하여 트윈 공정 챔버(930)(940)내에서 처리 완료된 2매의 기판을 반출하여 언로드록 챔버(920)내에 마련된 카세트내에 적재할 수 있기 때문에 기판에 대한 단위 시간당 처리량(Throughput)을 최대한 향상시킬 수 있다.Therefore, the
즉, 그리고, 본 발명은 두개의 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 1개의 구동모터를 이용하여 서로 동기 동작되어 회전시키도록 구성되고, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 1개의 구동모터를 이용하여 서로 동기 작동되어 회전시키도록 구성되어 있기 때문에 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)(930)(940)간의 이격 거리에 대응하여 제1,제2 엔드 이펙터(300)(400)의 간격 피치(Pitch)를 플렉시블(Flexible)하게 가변시킬 수 있음과 아울러 제3, 제4 엔드 이펙터(600)(700)의 간격 피치(Pitch)를 플렉시블하게 가변시킬 수 있다. 이와 같은 작용 효과로 인해 내로 두 개의 트윈(twin) 공정(process) 챔버(chamber)(930)(940)내로 2개의 기판을 동시에 투입하는 것을 아주 원활하게 실시할 수 있으며, 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있다.That is, the present invention is configured to rotate the two first and
이하부터는, 본 발명에 의한 기판 반송 로봇의 상세 구성을 설명하기로 한다.Hereinafter, the detailed structure of the board | substrate conveyance robot by this invention is demonstrated.
먼저, 본 발명의 기판 반송 로봇의 상세한 구성을 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.First, the detailed configuration of the substrate transfer robot of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4.
본 발명에 의한 기판 반송 로봇(800)은 크게 로봇 본체(810)와, 로봇 본 체(810)의 중심을 기준으로 회전 가능하게 설치되는 기단부 구동암(100)과, 이 기단부 구동암(100)에 대해 회전 가능하게 설치되는 말단부 구동암(200)과, 이 말단부 구동암(200)에 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)를 설치하기 위한 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을 포함하여 이루어진다.The
로봇 본체(810)는 상부가 개방된 대략 원통체 형상으로 이루어진다.The
로봇 본체(810)내에는 4개의 구동축(811)(812)(813)(814)이 동심상이 되도록 배치되어 있다.Four
4개의 구동축(811)(812)(813)(814)중 최외곽에 위치한 제1 구동축(811)은 원통체 형상으로 형성됨과 아울러 그 상단부는 로봇 본체(810)의 상측 개구부를 지나 돌출되어 기단부 구동암(100)의 하면과 고정 연결되어 있다.The outermost first driving
여기서, 로봇 본체(810)의 내벽면에는 수직으로 가이드 레일(810a)이 형성되어 있고, 가이드 레일(810a)과 제1 구동축(811) 사이에는 가이드 부재(810b)가 배치되어 가이드 레일(810a)과 승하강 가능하게 결합되어 있다.Here, the
그리고, 가이드 부재(810b)는 제1 구동축(811)의 외부를 둘러싸는 하우징(820)의 외면에 고정 설치되어 있고, 로봇 본체(810)의 바닥부에는 가이드 부재(810b)가 가이드 레일(810a)을 따라 승하강하도록 승하강용 구동 모터(821)가 고정 설치되어 있다. 그리고, 하우징(820)의 하측에는 상하 이동 스크류(822)가 나사 결합되어 있고, 상하 이동 스크류(822)의 하단부에는 풀리(822a)가 고정 설치되어 있다.The
상하 이동 스크류(822)의 풀리(822a)는 승하강용 구동 모터(821)의 모터 축(821c)에 고정 설치된 풀리(821a)와 벨트(821b)를 매개로 하여 동력 전달이 되도록 설치되어 상하 이동 스크류(822)를 회전시키게 된다.The
따라서, 승하강용 구동 모터(821)가 구동되면, 상하 이동 스크류(822)는 회전이 되고, 이 상하 이동 스크류(822)의 회전 운동을 전달받은 하우징(820)은 가이드 레일(810a)에 대한 가이드 부재(810b)의 직선 안내의 도움을 받아 로봇 본체(810)내에 상하 운동된다.Therefore, when the driving
그리고, 상기 제1 구동축(811)은 하우징(820)의 내부에 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되어 있는데, 그 하단부에 풀리(811a)가 일체로 형성되어 있으며, 이 풀리(811a)는 제1 구동 모터(M1)의 모터축에 설치된 풀리(P1)와 벨트(811b)를 매개로 설치되어, 제1 구동 모터(M1)가 구동되면 제1 구동축(811)은 하우징(820)의 내부에 회전 가능하게 되며, 그 결과 기단부 구동암(100)을 로봇 본체(810)의 중심을 기준으로 회전시킬 수 있게 된다.The
그리고, 상기 제1 구동축(811)은 상기 승하강용 구동 모터(821)의 구동에 의해 하우징(820)과 함께 로봇 본체(810)에 대해 상하 방향으로 이동되어, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200) 전체를 상하로 승하강 동작되게 할 수 있으며, 이로 인해 로드록 챔버(910)내에 배치된 카세트에 상하로 이격되게 적층 배치된 상하 기판의 하면을 엔드 이펙터로 지지한 채로 들어올린 후 기판을 반출할 수 있게 된다. 아울러, 로드록 챔버(910)뿐만 아니라 트윈 공정 챔버(930)(940) 및 언로드록 챔버(920)에서 마찬가지로 기판을 투입하거나 반출할 때 기판을 들어 올리거나, 기 판의 하면을 지지한 상태로 반송할 수 있게 된다.The
다음으로, 4개의 구동축(811)(812)(813)(814)중 제1 구동축(811)의 내부에 위치한 제2 구동축(812)은 제1 구동축(811)과 마찬가지로 원통체 형상으로 형성된 것으로, 상단부는 기단부 구동암(100)의 내부에 위치되고, 하단부는 제1 구동축(811)의 하단부로부터 돌출되는 길이를 가지고 있다.Next, the
제1 구동축(811)과 제2 구동축(812) 사이에는 상호 회전 가능하도록 안내하는 베어링(B)이 설치되어 있다.A bearing B is provided between the
제2 구동축(812)의 하단부에는 풀리(812a)가 형성되어 있으며, 이 풀리(812a)는 제2 구동 모터(M2)의 모터축에 설치된 풀리(P2)와 벨트(812b)를 매개로 설치되어, 제2 구동 모터(M2)가 구동되면 제2 구동축(812)은 제1 구동축(811)의 내부에서 베어링(B)을 매개로 하여 회전 동작된다. 그리고, 제2 구동축(812)의 상단부에는 풀리(812c)가 설치된다.A
다음으로, 4개의 구동축(811)(812)(813)(814)중 제2 구동축(812)의 내부에 위치한 제3 구동축(813)은 제2 구동축(812)과 마찬가지로 원통체 형상으로 형성된 것으로, 상단부는 기단부 구동암(100)의 내부에 위치되어 제2 구동축(812)으로부터 돌출되는 길이를 가지고, 하단부는 제2 구동축(812)의 하단부로부터 돌출되는 길이를 가지고 있다.Next, the
제2 구동축(812)과 제3 구동축(813) 사이에는 상호 회전 가능하도록 안내하는 베어링(B)이 설치되어 있다.A bearing B is provided between the
제3 구동축(813)의 하단부에는 풀리(813a)가 형성되어 있으며, 이 풀리(813a)는 제3 구동 모터(M3)의 모터축에 설치된 풀리(P3)와 벨트(813b)를 매개로 설치되어, 제3 구동 모터(M3)가 구동되면 제3 구동축(813)은 제2 구동축(812)의 내부에서 베어링(B)을 매개로 하여 회전 동작된다. 그리고, 제3 구동축(813)의 상단부에는 풀리(813c)가 형성되어 있다.A
다음으로, 4개의 구동축(811)(812)(813)(814)중 제3 구동축(813)의 내부에 위치한 제4 구동축(814)은 상단부는 기단부 구동암(100)의 내부로 연장되어 상측 내벽면에 회전 가능하게 결합되고, 하단부는 제3 구동축(813)의 하단부로부터 돌출되는 길이를 가지고 있다.Next, the
제3 구동축(813)과 제4 구동축(814) 사이에는 상호 회전 가능하도록 안내하는 베어링(B)이 설치되어 있다.A bearing B is provided between the
제4 구동축(814)의 하단부에는 풀리(814a)가 형성되어 있으며, 이 풀리(814a)는 제4 구동 모터(M4)의 모터축에 설치된 풀리(P4)와 벨트(814b)를 매개로 설치되어, 제4 구동 모터(M4)가 구동되면 제4 구동축(814)은 제3 구동축(813)의 내부에서 베어링(B)을 매개로 하여 회전 동작된다. 그리고, 제4 구동축(814)의 상단부측에는 풀리(814c)가 형성되어 있다.A
한편, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)간의 상호 회전 연결 관계를 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the relationship between the rotational connection between the proximal
기단부 구동암(100)의 단부 상측에는 원통 형상의 힌지축(830)이 상측으로 돌출 형성되어 있으며, 힌지축(830)의 상단부는 말단부 구동암(200)의 일단부 하면에 관통 형성된 설치공(201)을 통해 내부로 인입되어 있다. A
말단부 구동암(200)의 내부로 위치한 힌지축(830)의 상단부에는 풀리(830a)가 형성되어 있고, 힌지축(830)과 상기 설치공(201) 사이에는 베어링(B)이 설치되어 있다.A
따라서, 이 힌지축(830)에 의해 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)은 서로 상대 회전이 가능한 조건을 형성할 수 있어, 서로 상하로 중첩되거나 일직선상으로 펼쳐진 상태를 구현할 수 있게 된다.Therefore, by the
상기 힌지축(830)의 내부에는 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되는 원통 형상의 제1 동력전달 회전축(831)이 설치되어 있는데, 이 제1 동력전달 회전축(831)의 상단부는 힌지축(830)의 상단부로부터 돌출되고, 하단부는 기단부 구동암(100)의 내부에 위치하게 된다.The inside of the
제1 동력전달 회전축(831)의 상단부에는 풀리(831a)가 형성되고, 하단부에는 제4 구동축(814)의 상단부에 형성된 풀리(814c)와 벨트(BT)에 의해 동력 전달되는 풀리(831b)가 형성되어 있으며, 이로 인해, 제4 구동축(814)이 회전되면, 제1 동력전달 회전축(831)이 회전 작동하게 되는 것이다.A
상기 제1 동력전달 회전축(831)의 내부에는 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되는 원통 형상의 제2 동력전달 회전축(832)이 설치되어 있는데, 이 제2 동력전달 회전축(832)의 상단부는 제1 동력전달 회전축(831)의 상단부로부터 돌출되 고, 하단부는 제1 동력전달 회전축(831)의 하단부로부터 돌출된다. Inside the first
제2 동력전달 회전축(832)의 상단부에는 풀리(832a)가 형성되고, 하단부에는 제3 구동축(813)의 상단부에 형성된 풀리(813c)와 벨트(BT)에 의해 동력 전달되는 풀리(832b)가 형성되어 있으며, 이로 인해, 제3 구동축(813)이 회전되면, 제2 동력전달 회전축(832)이 회전 작동하게 되는 것이다.A
상기 제2 동력전달 회전축(832)의 내부에는 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 제3 동력전달 회전축(833)이 설치되어 있는데, 제3 동력전달 회전축(833)의 상단부는 말단부 구동암(200)의 천정 벽면에 고정 설치되고, 하단부에는 제2 구동축(812)의 상단부에 형성된 풀리(812c)와 벨트(BT)에 의해 동력 전달되는 풀리(833b)가 형성되어 있으며, 이로 인해, 제2 구동축(812)이 회전되면, 제3 동력전달 회전축(833)이 회전 작동하게 되는 것이며, 이로 인해 기단부 구동암(100)에 대해 말단부 구동암(200)이 회전되어 이들이 서로 상하로 중첩되거나 일직선상으로 펼쳐진 상태를 구현할 수 있게 된다.A third power
한편, 말단부 구동암(200)과 엔드 이펙트 작동 모듈(500)간의 연결 관계를 설명하면 다음과 같다.Meanwhile, the connection relationship between the distal
말단부 구동암(200)의 단부 상측에 관통 형성된 관통공(202)에 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되는 원통 형상의 제4 동력전달 회전축(844)이 설치되는데, 이 제4 동력전달 회전축(844)의 상단부는 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을 구성하는 작동 모듈 케이스(500A)의 일단부 하면에 관통 형성된 설치공(500A-1)을 통해 내부로 인입되고, 하단부는 말단부 구동암(200)의 내부로 인입되어 있다.A fourth
제4 동력전달 회전축(844)의 상단부에는 풀리(844a)가 형성되고, 하단부에는 제2 동력전달 회전축(832)의 상단부에 형성된 풀리(832a)와 벨트(BT)에 의해 동력 전달되는 풀리(844b)가 형성되어 있으며, 이로 인해, 제2 동력전달 회전축(832)이 회전되면, 제4 동력전달 회전축(844)이 회전 작동하게 되는 것이다.A
제4 동력전달 회전축(844)의 내부에는 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 제5 동력전달 회전축(845)이 설치되어 있는데, 제5 동력전달 회전축(845)의 상단부에는 풀리(845a)가 형성되고, 하단부에는 제1 동력전달 회전축(831)의 상단부에 형성된 풀리(831a)와 벨트(BT)를 매개로 연결되는 풀리(845b)가 형성되어 있다. 이로 인해 제1 동력전달 회전축(831)이 회전되면, 제5 동력전달 회전축(845)이 회전 작동하게 되는 것이다.A fifth power
상기 제5 동력전달 회전축(845)의 내부에는 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되는 제6 동력전달 회전축(846)이 설치되어 있는데, 제6 동력전달 회전축(846)의 상단부는 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을 구성하는 작동 모듈 케이스(500A)의 천정 내벽면에 설치되고, 하단부는 힌지축(830)의 상단부에 형성된 풀리(830a)와 벨트(BT)를 매개로 연결되는 풀리(846b)가 형성되어 있다.Inside the fifth
한편, 상기 엔드 이펙터 작동 모듈(500)은, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 전술한 바와 같이 작동 모듈 케이스(500A)를 구비하고 있다.On the other hand, the end
작동 모듈 케이스(500A)의 내부중 제4 동력전달 회전축(844)으로부터 이격된 일측에는 원통 형상의 엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)이 베어링(B)을 매개로 축방향을 중심으로 하여 회전 가능하게 설치되어 있는데, 이 엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)의 상단부는 작동 모듈 케이스(500A)의 상부로 돌출되고, 하단부는 작동 모듈 케이스(500A)의 내부에 위치한다.On one side of the
엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)의 상단부에는 제1 엔드 이펙터(300)가 형성되고, 하단부에는 기어타입으로 된 제1 회전력 전달기어(511a)가 형성된다.The
그리고, 엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)으로부터 좌우로 이격된 위치의 작동 모듈 케이스(500A)에는 원통 형상의 엔드 이펙터용 제2 구동 회전축(512)이 베어링(B)을 매개로 축방향을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있는데, 이 엔드 이펙터용 제2 구동 회전축(512)의 상단부는 작동 모듈 케이스(500A)의 상부로 돌출되고, 하단부는 작동 모듈 케이스(500A)의 내부에 위치한다.In addition, in the
엔드 이펙터용 제2 구동 회전축(512)의 상단부에는 제2 엔드 이펙터(400)가 형성되고, 하단부에는 기어타입으로 된 제2 회전력 전달기어(512a)가 상기 제1 회전력 전달기어(511a)와 치차 결합되도록 형성된다.A
상기 엔드 이펙터용 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)중 어느 하나의 외면에는 동력전달 기어부(512c)가 형성되며, 작동 모듈 케이스(500A)의 일측 수직벽에 형성된 브라케트(Braket)(500A-2)에 상하로 회전 가능하게 결합되는 회전축부(512d)가 설치되고, 이 회전축부(512d)의 상단부에는 상기 동력전달 기어부(512c)와 벨트(BT)를 매개로 연결되는 풀리(512e)가 형성되며, 회전축부(512d)의 하단부에는 제5 동력전달 회전축(845)의 상단부에 형성된 풀리(845a)와 벨트(BT)를 매개로 동력 전달이 가능하게 연결되는 풀리(512f)가 형성된다.A power
따라서, 상기 제5 동력전달 회전축(845)이 회전됨에 따라 회전축부(512d)가 회전되며, 이 회전축부(512d)의 회전력을 전달받아 치차 결합으로 서로 맞물려 회전되는 제1 회전력 전달기어(511a)와 제2 회전력 전달기어(512a)에 의해 제1,제2 엔드 이펙터(300)(400)용 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)중 어느 하나가 오른쪽 방향(시계 방향) 또는 왼쪽 방향(반시계 방향)으로 회전되며, 나머지도 동기 작동에 의해 반대 방향으로 회전되는 것이다.Accordingly, as the fifth power
이로 인해, 좌우로 배치된 엔드 이펙터용 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)이 서로 연동되어 동기 동작됨에 따라 제1 엔드 이펙터(300)와 제2 엔드 이펙터(400)는 서로 반대 방향으로 회전되어 이들 간의 각도를 확장 또는 축소시킬 수 있게 된다.As a result, the
한편, 엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)의 내부에는 엔드 이펙터용 제3 구동 회전축(513)이 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되는데, 이 엔드 이펙터용 제3 구동 회전축(513)의 상단부는 엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)의 상부로부터 돌출되고, 하단부는 엔드 이펙터용 제1 구동 회전축(511)의 하부로부터 돌출된다.On the other hand, the third drive
상기 엔드 이펙터용 제3 구동 회전축(513)의 상단부에는 제3 엔드 이펙터(600)가 형성되고, 하단부에는 기어타입으로 된 제3 회전력 전달기어(513a)가 형 성된다.A
그리고, 엔드 이펙터용 제3 구동 회전축(513)으로부터 좌우로 이격된 위치의 엔드 이펙터용 제2 구동 회전축(512)의 내부에는 엔드 이펙터용 제4 구동 회전축(514)이 베어링(B)을 매개로 회전 가능하게 설치되는데, 이 엔드 이펙터용 제4 구동 회전축(514)의 상단부는 엔드 이펙터용 제2 구동 회전축(512)의 상부로부터 돌출되고, 하단부는 엔드 이펙터용 제2 구동 회전축(512)의 하부로부터 돌출된다.In addition, the fourth drive
상기 엔드 이펙터용 제4 구동 회전축(514)의 상단부에는 제4 엔드 이펙터(700)가 형성되고, 하단부에는 기어타입으로 된 제4 회전력 전달기어(514a)가 제3 회전력 전달기어(513a)와 치차 결합되도록 형성된다.A
여기서, 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)의 높이를 모두 다르게 형성되도록 엔드 이펙터용 제1,2,3,4 구동 회전축(511)(512)(513)(514)이 작동 모듈 케이스(500A)로부터 돌출되는 높이를 모두 다르게 형성하는 것이 바람직하다.Here, the first, second, third, and
한편, 상기 엔드 이펙터용 제3 및 제4 구동 회전축(513)(514)의 하단부에 각각 형성되는 제3 및 제4 회전력 전달기어(513a)(514a)중 어느 하나의 하면에는 풀리(513c)가 형성되며, 작동 모듈 케이스(500A)의 타측 수직벽에 형성된 브라케트(Braket)(500A-3)에 상하로 회전 가능하게 결합되는 회전축부(513d)가 설치되고, 이 회전축부(513d)의 상단부에는 상기 풀리(513c)와 벨트(BT)를 매개로 연결되는 풀리(513e)가 형성되며, 회전축부(513d)의 하단부에는 제4 동력전달 회전축(844)의 상단부에 형성된 풀리(844a)와 벨트(BT)를 매개로 동력 전달이 가능하게 연결되는 풀리(513f)가 형성된다.On the other hand, the
따라서, 상기 제4 동력전달 회전축(844)이 회전됨에 따라 회전축부(513d)가 회전되며, 이 회전축부(513d)의 회전력을 전달받아 치차 결합으로 서로 맞물려 회전되는 제3 회전력 전달기어(513a)와 제4 회전력 전달기어(514a)에 의해 제3,4 엔드 이펙터(600)(700)용 제3 및 제4 구동 회전축(513)(514)중 어느 하나가 오른쪽 방향(시계 방향) 또는 왼쪽 방향(반시계 방향)으로 회전되며, 나머지도 동기 작동에 의해 반대 방향으로 회전되는 것이다.Accordingly, as the fourth power
이로 인해, 좌우로 배치된 엔드 이펙터용 제3 및 제4 구동 회전축(513)(514)이 서로 연동되어 동기 동작됨에 따라 제3 엔드 이펙터(600)와 제4 엔드 이펙터(700)는 서로 반대 방향으로 회전되어 이들 간의 각도를 확장 또는 축소시킬 수 있게 된다.As a result, the
한편, 이제까지 설명한 본 발명에 의한 제1, 제2 엔드 이펙터(300)400)는, 암부(310)(410)와, 상기 암부(310)(410)에 각각 연장 형성되어 기판을 지지하는 핸드부(320)(420)로 이루어지며, 이 핸드부(320)(420)는 상기 암부(310)(320)의 단부에 일정 각도로 절곡 형성된다. 여기서, 핸드부(320)(420)와 암부(310)(320)의 각도는 한정되는 것이 아니며 다양하게 변경할 수 있다.Meanwhile, the first and
이렇게 함으로써, 미처리된 기판을 로드록 챔버(910)내에 배치된 카세트로부터 반출하기 용이하며, 반출된 2매의 기판에 대한 공정 처리를 하기 위해 트윈 공정 챔버(930)(940)와 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)의 핸드부(320)(420)를 일 대일 대응시켜 2매의 기판을 투입하는 작업을 용이하게 실시할 수 있다.By doing so, it is easy to take out the unprocessed substrate from the cassette disposed in the
그리고, 상기 제3, 제4 엔드 이펙터(600)(700)는, 암부(610)(710)와; 상기 암부(610)(710)에 각각 연장 형성되어 기판을 지지하는 핸드부(620)(720)로 이루어지며, 상기 핸드부(620)(720)는 상기 암부(610)(710)의 단부에 일정 각도로 절곡되게 형성된다. 여기서, 핸드부(620)(720)와 암부(610)(710)의 각도는 한정되는 것이 아니며 다양하게 변경할 수 있다.The third and
이렇게 함으로써, 트윈 공정 챔버(930)(940)와 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)의 핸드부(610)(710)를 일대일 대응시켜 처리 완료된 2매의 기판을 트윈 공정 챔버로부터 다시 꺼내는 작업을 용이하게 실시할 수 있고, 처리 완료된 기판 언로드록 챔버내로 반입하여 카세트에 상하로 다시 적재할 수 있게 된다.By doing so, the two substrates which have been processed by one-to-one correspondence of the
여기서, 제1, 제2 엔드 이펙터(300)400)를 암부(310)(410)와; 상기 암부(310)(410)에 각각 연장 형성되어 기판을 지지하는 핸드부(320)(420)로 이루어지도록 구성하고, 상기 제3, 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 암부(610)(710)와; 상기 암부(610)(710)에 각각 연장 형성되어 기판을 지지하는 핸드부(620)(720)로 이루어도록 구성하게 되면 암부(310)(410)(610)(710)에 대해 일직선이되게 핸드부(320)(420)(620)(720)를 형성하였때 보다 기판의 반송시 로봇 본체(810)에 대해 최소 회전 반경을 축소할 수 있음과 아울러 반송 로봇 전체 어셈블리(Assembly)가 공통 반송실내에서 차지하는 면적을 감소시킬 수 있다. 아울러 트윈 공정 챔버(930)(940)이 좌우로 병렬 배치되어 있는 경우에 탄력적으로 대응하여 챔 버(930)(940)의 내부로 엔드 이펙터가 진출입할 수 있게 엔드 이펙터의 작동 모션을 최적으로 구현할 수 있게 된다.Here, the first and second end effector (300) 400 and the arm (310, 410); Each of the
한편, 본 발명은 제1,제2 엔드 이펙터(300)(400)용 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)중 어느 하나가 오른쪽 방향(시계 방향) 또는 왼쪽 방향(반시계 방향)으로 회전되도록 함과 아울러 나머지는 동기 작동에 의해 반대 방향으로 회전되도록 하기 위하여, 제1 회전력 전달기어(511a)와 제2 회전력 전달기어(512a)를 서로 치차 결합되도록 한 구성 이외에도, 도 (11)에 도시된 바와 같이, 제1 회전력 전달기어(511a)와 제2 회전력 전달기어(512a)를 기어 타입으로 구성하지 않고 풀리와 같은 타입으로 구성하되, 이들을 일정 간격 이격되도록 배치한 후, 벨트(BT)를 엇갈리게 배치되게 설치할 수 있다.Meanwhile, in the present invention, any one of the first and second driving
그리고, 본 발명은 제3,4엔드 이펙터(600)(700)용 제3 및 제4 구동 회전축(513)(514)중 어느 하나가 오른쪽 방향(시계 방향) 또는 왼쪽 방향(반시계 방향)으로 회전되도록 함과 아울러 나머지는 동기 작동에 의해 반대 방향으로 회전되도록 하기 위하여, 제3 회전력 전달기어(513a)와 제4 회전력 전달기어(514a)를 서로 치차 결합되도록 한 구성 이외에도, 도 (11)에 도시된 바와 같이, 제3 회전력 전달기어(513a)와 제4 회전력 전달기어(514a)를 기어 타입으로 구성하지 않고 풀리와 같은 타입으로 구성하되, 이들을 일정 간격 이격되도록 배치한 후, 벨트(BT)를 엇갈리게 배치되게 설치할 수 있다.In addition, in the present invention, any one of the third and fourth
이상 설명한 본 발명의 반송 로봇의 상세한 구성에 대한 작동 과정을 기능별로 구분하여 설명하면 다음과 같다.The operation process for the detailed configuration of the transfer robot of the present invention described above will be described as follows.
(I)핸드부의 상면에 올려진 기판을 반입 및 반출하기 위해 기판을 들어올리는 과정(I) The process of lifting the substrate to carry in and take out the substrate placed on the upper surface of the hand portion
승하강용 구동 모터(821)를 구동시키면, 이 구동 모터(821)의 풀리(821a)의 회전력은 풀리(821b)를 통해 상하 이동 스크류(822)의 하단부에 형성된 풀리(822a)로 전달되어, 상하 이동 스크류(822)를 회전시키게 된다. 이 상하 이동 스크류(822)의 회전력에 의해 하우징(820)은 회전되지 않고, 가이드 레일(810a)을 따라 상방향으로 직선 운동하는 가이드 부재(810b)와 함께 상향 이동된다. 따라서, 로드록 챔버(910) 및 트윈 공정챔버(930)(940)에 배치된 기판의 하면을 지지한 상태로 기판을 소정 높이 들어올수 있는 상태가 된다.When driving the elevating
(Ⅱ)엔드 이펙터에 올려진 기판을 트윈 공정챔버(930)(940) 또는 언로드록 챔버(920)에 다시 투입하는 과정(II) Process of putting the substrate mounted on the end effector back to the
승하강용 구동 모터(821)를 (I)과정에서의 구동 방향과 반대 반향으로 구동시키면, 이 구동 모터(821)의 풀리(821a)의 회전력은 풀리(821b)를 통해 상하 이동 스크류(822)의 하단부에 형성된 풀리(822a)로 전달되어, 상하 이동 스크류(822)를 회전시키게 된다. 이 상하 이동 스크류(822)의 회전력에 의해 하우징(820)은 회전되지 않고, 가이드 레일(810a)을 따라 하방향으로 직선 운동하는 가이드 부재(810b)와 함께 하향 이동된다. 따라서, 언로드록 챔버(920) 및 트윈 공정챔버(930)(940)에 기판을 투입할 수 있게 된다.When driving the elevating driving
(Ⅲ)기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200) 및 엔드 이펙터 작동 모듈(500) 전체를 로봇 본체(810)에 대해 회전시키는 과정(III) a process of rotating the proximal
제1 구동 모터(M1)를 구동시켜 벨트(811b) 및 풀리(811a)를 통해 제1 구동축(811)을 회전시키면, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200) 및 엔드 이펙터 작동 모듈(500) 전체가 로봇 본체(810)에 대해 제4 구동축(814)를 축중심으로 회전될 수 있게 된다. When the first drive motor M1 is driven to rotate the
(Ⅳ)기단부 구동암(100)에 대해 말단부 구동암(200)을 회전시키는 과정(IV) a process of rotating the distal
제2 구동모터(M2)를 구동시켜, 제2 구동축(812)를 회전시키면, 제2 구동축(812)의 상단부에 형성된 풀리(812c)가 회전되고, 이 풀리(812c)의 회전력은 벨트(BT)를 통해 풀리(833b)로 전달되어 제3 동력전달 회전축(833)가 회전된다. 여기서, 제3 동력전달 회전축(833)의 상단부가 말단부 구동암(200)의 천장내벽면에 고정되어 있기 때문에 말단부 구동암(200)은 기단부 구동암(100)에 대해 제3 동력전달 회전축(833)을 축중심으로 회전되며, 상기 제2 구동모터의 구동량에 따라 말단부 구동암(200)은 기단부 구동암(100)의 상부에서 완전히 중첩된 상태가 될 수 있고, 서로 일직선 상태가 될 수 있고, 소정 각도를 이루는 절곡된 상태가 될 수 있다.When the second drive motor M2 is driven to rotate the
결국, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)은 서로 관절 운동하면서 엔드 이펙터 작동 모듈(500) 전체를 로봇 본체(810)에 근접되게 위치시킬 수 있음과 아울러 로봇 본체(810)로부터 최대한 이격되도록 할 수 있게 된다.As a result, the proximal
(Ⅴ)제1 엔드 이펙터와 제2 엔드 이펙터를 구동시키는 과정(V) Process of driving the first end effector and the second end effector
제4 구동 모터(M4)를 구동시키면, 제4 구동축(814)이 회전되며, 이 제4 구동축(814)의 회전력은 그 상단부에 형성된 풀리(814c), 벨트(BT) 및 풀리(831b)를 통해 제1 동력전달 회전축(831)을 회전시키게 되며, 이 제1 동력전달 회전축(831)의 회전력은 그 상단부에 형성된 풀리(831a), 벨트(BT) 및 풀리(845b)를 통해 제5 동력전달 회전축(845)를 회전시키게 되며, 이 제5 동력전달 회전축(845)의 회전력은 그 상단부에 형성된 풀리(845a), 벨트(BT) 및 풀리(512f), 회전축부(512d), 풀리(512e), 벨트(BT), 동력전달 기어부(512c)로 최종적으로 전달되어 엔드 이펙터용 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)중 어느 하나를 회전시키게 된다. When the fourth driving motor M4 is driven, the
이후, 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)중 어느 하나가 회전됨에 따라 나머지도 연동되어 동기 동작되어 서로 반대 방향으로 회전되는 것이다.Subsequently, as one of the first and second driving
따라서, 제4 구동 모터(M4)의 구동 방향에 따라 제1 및 제2 구동 회전축(511)(512)에 설치된 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)의 상호 각도를 기판의 반송에 필요한 각도로 가변시키면 된다.Accordingly, the mutual angles of the first and
(Ⅵ)제3 엔드 이펙터와 제4 엔드 이펙터를 구동시키는 과정(VI) Driving the third end effector and the fourth end effector
제3 구동 모터(M3)를 구동시키면, 제3 구동축(813)이 회전되며, 이 제3 구동축(813)의 회전력은 그 상단부에 형성된 풀리(813c), 벨트(BR) 및 풀리(832b)를 통해 제2 동력전달 회전축(832)을 회전시키게 되며, 이 제2 동력전달 회전축(832)의 회전력은 그 상단부에 형성된 풀리(832a), 벨트(BT) 및 풀리(844b)를 통해 제4 동력전달 회전축(844)을 회전시키게 되며, 이 제4 동력전달 회전축(844)의 회전력은 그 상단부에 형성된 풀리(844a), 벨트(BT) 및 풀리(513f), 회전축부(513d), 풀 리(513e), 벨트(BT), 동력전달 기어부(513c)로 최종적으로 전달되어 엔드 이펙터용 제3 및 제4 구동 회전축(513)(514)중 어느 하나를 회전시키게 된다. When the third drive motor M3 is driven, the
이후, 제1 및 제2 구동 회전축(513)(514)중 어느 하나가 회전됨에 따라 나머지도 연동되어 동기 동작되어 서로 반대 방향으로 회전되는 것이다.Subsequently, as one of the first and second
따라서, 제3 구동 모터(M3)의 구동 방향에 따라 제3 및 제4 구동 회전축(513)(514)에 설치된 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)의 상호 각도를 기판의 반송에 필요한 각도로 가변시키면 된다.Accordingly, the mutual angles of the third and
상기와 같이 도 1에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송 동작을 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명하기로 한다.As described above, the substrate transfer operation according to the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 5 to 7.
여기서, 본 발명의 기판 반송 동작을 설명하기에 앞서, 공통 반송실(900)의 트윈 공정 챔버(930)(940) 각각에는 처리할 기판(W)(실선으로 표시한 원)이 한매씩 투입된 상태이고, 로드록 챔버(910)내에 배치된 카세트에 미처리 기판(2점 쇄선으로 표시된 원)이 적재된 상태를 전제로 하여 설명한다.Here, before describing the substrate conveyance operation of the present invention, each of the
먼저, 도 5(a)에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 반송 로봇(800)을 원점 상태로 설정한다. 즉, 제1 및 제3 엔드 이펙터(300)(600)를 상하로 일치되게 함과 아울러 제2 및 제4 엔드 이펙터(400)(700)를 상하로 일치되게 하고, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)을 각각 회동 작동시켜 상호간의 각도를 최소로 하여 로봇 본체(810)에 가까워지도록 위치시킴으로, 최소 회전 각도 조건인 원점 상태로 설정한다. 그리고, 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)가 향하는 방 향을 공통 반송실(900)의 로드록 챔버(910)를 향하도록 기단부 구동암(100)을 로봇 본체(810)에 대해 회전시킨다.First, as shown in Fig. 5 (a), the
이후, 도 5(b)에 도시된 바와 같이, 로봇 본체(810)에 대해 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)이 로드록 챔버(910)쪽으로 펼쳐지도록 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)을 회전 구동시킴과 아울러 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 상호 동기 작동되도록 단일의 구동모터를 작동시켜 로드록 챔버(910)내에 배치된 카세트의 미처리 기판(2점 쇄선으로 표시된 원)의 하면을 지지하도록 한다.Subsequently, as shown in FIG. 5 (b), the proximal
이렇게 되면, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)에 의해 카세트에 상하로 수납된 2매의 미처리 기판을 로드록 챔버(910)로부터 반출할 수 있는 상태가 된다.In this case, two unprocessed substrates stored up and down in the cassette by the first and
이때, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)는 또 다른 단일의 구동모터의 구동에 의해 상호 동기 작동되어 로드록 챔버(910)내부로 인입되지 않고 공통 반송실(900)의 내부에 위치되는 상태가 된다.In this case, the third and
다음으로, 도 5(c)에 도시된 바와 같이, 제1 및 제3 엔드 이펙터(300)(600)를 상하로 일치되게 함과 함과 아울러 제2 및 제4 엔드 이펙터(400)(700)를 상하로 일치되게 하고, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)을 각각 회동 작동시켜 상호간의 각도를 최소로 하여 로봇 본체(810)에 가까워지도록 위치시킴으로, 최소 회전 각도 조건인 원점 상태로 다시 설정한다.Next, as shown in FIG. 5C, the first and
이렇게 되면, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)에 의해 2매의 기판이 로드록 챔버(910)로부터 반출되어 로봇 본체(810)에 최대한 근접된 상태가 된다.In this case, the two substrates are taken out from the
이후, 도 5(d)에 도시된 바와 같이, 로봇 본체(810)를 중심으로 하여 기단부 구동암(100)을 회전시켜 제1,2,3,4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)가 트윈 공정 챔버(930)(940)를 향하도록 위치시킨다.Subsequently, as shown in FIG. 5 (d), the proximal
한편, 도 5(a)(b)(c)(d) 과정을 진행하면서, 트윈 공정 챔버(930)(940)에 투입된 기판(W)에 대해 소정의 반도체 공정 처리를 실시하게 된다.Meanwhile, while performing the processes of FIGS. 5A, 5B, and 5D, a predetermined semiconductor process is performed on the substrate W introduced into the
다음으로, 도 5(e)(f)에 도시된 바와 같이, 트윈 공정 챔버(930)(940)에서 기판에 대한 반도체 공정 처리가 완료되면, 단일의 구동 모터의 구동에 의해 트윈 공정 챔버(930)(940)에 일대일 대응되도록 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 서로 동기 작동시킴과 아울러 또 다른 단일의 구동 모터의 구동에 의해 미처리 기판(W)이 각각 1매씩 탑재된 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)가 서로 대향되는 위치가 되도록 서로 동기 작동 회전시킨다.Next, as shown in FIG. 5E, when the semiconductor process processing for the substrate is completed in the
이후, 도 6(g)에 도시된 바와 같이, 로봇 본체(810)에 대해 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)이 트윈 공정 챔버(930)(940)쪽으로 펼쳐지도록 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)을 회전 구동시켜, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)가 트윈 공정 챔버(930)(940)의 내부로 인입되어 각각 처리 완료된 기판의 하면을 지지하도록 한다.Thereafter, as shown in FIG. 6G, the proximal
다음으로, 도 6(h)에 도시된 바와 같이, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)을 각각 회동 작동시켜 상호간의 각도를 최소로 하여 로봇 본체(810)에 가 까워지도록 위치시킴으로써, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 트윈 공정 챔버(930)(940)으로부터 꺼낸다.Next, as shown in Figure 6 (h), by rotating the proximal
이렇게 되면, 도 6(h)에 도시된 공통 반송실(900)에는 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)에는 미처리 기판(W)이 각각 1 매씩 탑재되어 있는 상태임과 아울러 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)에는 처리 완료된 기판(W)(빗금친 원으로 표시)이 각각 1매씩 탑재되어 있는 상태가 된다.In this case, each of the unprocessed substrates W is mounted on the first and
이후, 도 6(i)(j)의 과정을 거쳐 미처리 기판(W)을 지지한 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)의 방향을 트윈 공정 챔버(930)(940)측으로 향하도록 하고, 처리 완료된 기판을 지지한 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 트윈 공정 챔버(930)(940)의 반대 방향으로 향하도록 한다.Thereafter, the first and
다음으로, 도 6(k)에 도시된 바와 같이, 미처리된 상태로 처리할 기판(W)(실선으로 표시한 원)을 지지한 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 트윈 공정 챔버(930)(940)의 내부로 투입되도록 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)이 펼쳐지도록 작동시킨다.Next, as shown in FIG. 6 (k), the first and
이후, 도 6(l)에 도시된 바와 같이, 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)이 상호 최소 회전 각도로 중첩되도록 작동시켜 트윈 공정 챔버(930)(940)내에 미처리된 상태로 처리할 기판 기판(W)(실선으로 표시한 원)을 투입한 후, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)가 트윈 공정 챔버(930)(940)로부터 퇴출되도록 한다.Thereafter, as shown in FIG. 6 (1), the proximal
다음으로, 도 7(m)(n)의 과정을 거쳐 기단부 구동암(100)과 말단부 구동 암(200)을 각각 회동 작동시켜 상호간의 각도를 최소로 하여 로봇 본체(810)에 가까워지도록 위치시킴과 아울러 제1,제3 엔드 이펙터(300)(600)이 상하로 충첩되게 하고, 제2,제4 엔드 이펙터(400)(700)가 상하로 충접되게 하되, 제1,2,3,4 엔드 이펙터(300)(400)(500)(600)가 트윈 공정 챔버(930)(940)측을 향하도록 한다.Next, the proximal
이때, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)에는 처리 완료된 기판(W)(빗금친 상태의 원)이 탑재되어 있는 상태이다.At this time, the processed substrate W (circled circle) is mounted on the third and
이후, 도 7(o)에 도시된 바와 같이, 로봇 본체(810)에 대해 기단부 구동암(100)을 대략 180°(도) 정도 회전시켜 제1,2,3,4 엔드 이펙터(300)(400)(500)(600)가 언로드록 챔버(920)측을 향하도록 한다.Subsequently, as shown in FIG. 7 (o), the proximal
다음으로, 도 7(p)에 도시된 바와 같이, 로봇 본체(810)에 대해 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200)을 회전 구동시켜 언로드록 챔버(920)쪽으로 펼쳐지도록 함과 아울러 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 상호 동기 작동되도록 단일의 구동모터를 작동시켜 언로드록 챔버(920)내에 배치된 카세트내에 처리된 기판(W)(비금친 상태의 원)적재한다. 이때, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)는 언로드록 챔버(920)내에 투입되지 않고 공통 반송실(900)의 내부로 후퇴되어 있는 상태이다.Next, as shown in FIG. 7 (p), the proximal
이후, 도 7(p)의 상태에서 도 7(o)와 동일한 상태가 되도록 기단부 구동암(100)과 말단부 구동암(200) 및 제1,2,3,4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)을 구동시켜 도 5(q)에 도시된 상태로 변경한 후, 로본 본체(810)를 중심으로 하여 기단부 구동암(100)을 소정 각도 회동 구동시켜 최초의 상태인 도 3(a)와 같이 제 1,2,3,4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)가 언로드록 챔버(910)측을 향하도록 변경한다.Subsequently, the proximal
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예는 도 5 내지 도 6에 도시된 기판 반송 과정에 의해 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)는 로드록 챔버(910)의 미처된 기판을 반송한 후, 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 투입할 수 있고, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)는 트윈 공정 챔버(930)(940)내에서 처리 완료된 기판을 꺼내어 언로드록 챔버(920)내로 투입할 수 있다.As described above, in the embodiment of the present invention, the first and
그리고, 본 발명의 실시예는 트윈 공정 챔버(930)(940)내에서 기판에 대해 소정의 공정 처리 과정이 진행되는 동안에 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)는 로드록 챔버(910)의 미처된 기판을 반송한 후, 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 투입하기 위한 대기 상태에서, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 이용하여 트윈 공정 챔버(930)(940)내에서 처리 완료된 기판을 꺼낸직후 곧바로 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 미처리 기판을 투입하는 과정으로 진행되기 때문에 기판에 대한 단위 시간당 기판 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있게 된다.In addition, in the exemplary embodiment of the present invention, the first and
한편, 본 발명은 전술한 설명에서와 같이, 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)의 높이를 모두 다르게 형성되도록 엔드 이펙터용 제1,2,3,4 구동 회전축(511)(512)(513)(514)이 작동 모듈 케이스(500A)로부터 돌출되는 높이를 모두 다르게 형성함으로써, 도 8(a)에 도시된 바와 같이, 미처리 기판이 상하로 복수층이 되게 배치되어 있는 로드록 챔버(910)내로 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)를 진입시켜 4개의 기판을 동시에 반송하여, 로드록 챔버(910)로부터 꺼낼 수 있다.On the other hand, the present invention, as described above, the first, second, third,
이후, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)이 서로 동기 작동되도록 회동 구동함과 아울러 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)이 서로 동기 작동되도록 회동 구동하여 도 8(b)에 도시된 바와 같은 상태로 전환한다.Subsequently, the first and
이렇게 되면, 4개의 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)의 핸드부(320(420)(620)(720)에는 각각 미처리 된 기판이 올려져 있는 상태가 된다.In this case, each of the four first, second, third, and
다음으로, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)이 서로 동기 작동되도록 회동 구동함과 아울러 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)이 서로 동기 작동되도록 회동 구동하여 도 8(c)에 도시된 바와 같은 상태로 전환하되, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)의 핸드부(620)(720)를 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 진입되도록 하여 2매의 기판을 로딩시킨다. 이때, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)는 공통 반송실(900)내에서 대기 상태로 있게 된다.Next, the first and
이후, 도면상에는 도시하지는 않았지만 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 트윈 공정 챔버(930)(940)로부터 후퇴시킨 다음 트윈 공정 챔버(930)(940)에서 2매의 기판에 대한 공정 처리를 진행한다.Thereafter, although not shown in the drawing, the third and
다음으로, 2매의 기판에 대한 공정 처리가 완료된 후에는 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 다시 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 전진시켜 공정 처리 완료된 2매의 기판을 꺼낸후 언로드록 챔버(920)내로 진입시킨다.Next, after the processing of the two substrates is completed, the third and
이후, 대기 상태로 되어 있던 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 트윈 공 정 챔버(930)(940)내로 진입되도록 하여 2매의 기판을 로딩시킨 후, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 트윈 공정 챔버(930)(940)로부터 후퇴시킨 다음 트윈 공정 챔버(930)(940)에서 2매의 기판에 대한 공정 처리를 진행한다.Thereafter, the first and
다음으로, 2매의 기판에 대한 공정 처리가 완료된 후에는 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 다시 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 전진시켜 공정 처리 완료된 2매의 기판을 꺼낸후 언로드록 챔버(920)내로 진입시킨다.Next, after the processing of the two substrates is completed, the first and
따라서, 본 발명은 도 8(a)(b)(c)에 도시된 바와 같이, 로드록 챔버(910)내로 제1,제2,제3,제4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)를 진입시켜 4개의 기판을 동시에 꺼내어 반송하여 트윈 공정 챔버(930)(940)에서 공정 처리한 후, 언로드록 챔버(920)내로 반송하는데 소요되는 시간을 최대한 단축시킬 수 있으며, 아울러 기판의 처리량(Throughput)을 향상시킬 수 있게 된다.Accordingly, the present invention provides the first, second, third and
한편, 본 발명은 전술한 실시예의 구성에서, 상기 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을 별도의 구동 모터를 이용하여 말단부 구동암(200)에 대해 회전 가능하게 설치하는 다른 실시예를 구성할 수 있다.On the other hand, the present invention, in the configuration of the above-described embodiment, it is possible to configure another embodiment in which the end
이와 같은 본 발명의 다른 실시예로 인해, 도 9에 도시된 바와 같이, 공통 반송실(900)의 상부 측변(901)에 2조의 트윈 공정 챔버(930)(940)를 구성하고, 공통 반송실(900)의 하부 측변(902)에 2조의 트윈 공정 챔버(930)(940)를 구성할 수 있고, 상하부 측변(901)(902)과 직각인 측변(903)에는 2개의 로드록 챔버(910)를 구성할 수 있으며, 2개의 로드록 챔버(910)와 마주하는 측변(904)에는 언로드록 챔 버(920)를 구성할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 9, two sets of
즉, 도 9에 도시된 본 발명의 실시예에 의하면, 공통 반송실(900)을 인 라인(In-LINE) 형태로 구성하여 기판의 처리량을 향상시킬 수 있게 된다.That is, according to the exemplary embodiment of the present invention illustrated in FIG. 9, the throughput of the substrate may be improved by configuring the
본 발명의 도 9에 도시된 실시예에서는, 엔드 이펙터 작동 모듈(500)이 별도의 구동 모터에 의해 말단부 구동암(200)에 의해 회전 가능하게 설치되는 구조이기 때문에 도 9에 도시된 바와 같이, 제2 및 제4 엔드 이펙터(400)(700)를 상하로 일치되게 중첩하여 2개의 로드록 챔버(910)중 어느 한 로드록 챔버(910)내에 배치된 카세트로부터 기판을 2매 반출할 수 있고, 제1 및 제3 엔드 이펙터(300)(600)를 상하로 일치되게 중첩하여 나머지 로드록 챔버(910)내에 배치된 카세트로부터 기판을 2매 반출할 수 있게 된다. 즉, 제2 및 제4 엔드 이펙터(400)(700)를 이용하여 2매의 기판을 반출하는 과정과, 제1 및 제3 엔드 이펙터(300)(600)를 이용하여 2매의 기판을 반출하는 과정을 동시에 실시하게 되면, 4매의 미처리된 기판이 동시에 반출될 수 있게 된다.In the embodiment shown in Figure 9 of the present invention, as shown in Figure 9, because the end
따라서, 본 발명은 4매의 기판을 동시에 반출하여, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 이용하여 2매의 미처리된 기판(W)을 공통 반송실(900)의 상부 측변(901)에 2조의 트윈 공정 챔버(930)(940)중 1조의 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 투입한 후, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 이용하여 나머지 한조의 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 투입한다.Therefore, according to the present invention, the four substrates are simultaneously taken out, and the two untreated substrates W are processed by using the first and
그리고, 본 발명은 4매의 기판을 동시에 반출하여, 제1 및 제2 엔드 이펙터(300)(400)를 이용하여 2매의 미처리된 기판(W)을 공통 반송실(900)의 상하 측 변(902)에 2조의 트윈 공정 챔버(930)(940)중 1조의 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 투입한 후, 제3 및 제4 엔드 이펙터(600)(700)를 이용하여 나머지 한조의 트윈 공정 챔버(930)(940)내로 투입할 수 있다.In addition, according to the present invention, four substrates are simultaneously taken out, and two untreated substrates W are disposed on the upper and lower sides of the
그리고, 본 발명은 공통 반송실(900)의 상부 측변(901)에 구성된 2조의 트윈 공정 챔버(930)(940)와, 공통 반송실(900)의 하부 측변(902)에 구성된 2조의 트윈 공정 챔버(930)(940)를 서로 다른 반도체 처리를 하는 공정 챔버로 구성할 수 있다.And this invention is two sets of
이제까지는 본 발명의 실시예에 따른 작동 원리 및 기판 반송 과정을 설명하였다.So far, the operating principle and the substrate conveying process according to the embodiment of the present invention have been described.
한편, 도 9에 도시된 도면은 본 발명의 구성인 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을, 상기 말단부 구동암(200)에 대해 회전 가능하게 설치하여, 도 10에 도시된 공통 반송실(900)에 적용하기 위한 구성을 나타낸 것이다.9 shows that the end
도 2에 도시된 도면은 4개의 제1,2,3,4 엔드 이펙터(300)(400)(600)(700)을 구동시키기 위해 승하강용 구동 모터(821)와, 제1 구동 모터(M1),제2 구동 모터(M2), 제3 구동 모터(M3), 제4 구동 모터(M4)로 최소 개수인 5개의 구동 모터를 이용하여 구성한 것이다.2 shows a
도 9에 도시된 본 발명의 구성은 1개의 구동 모터(M5)를 더 추가하여 6개의 구동 모터를 채용함으로써, 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을, 상기 말단부 구동암(200)에 대해 회전 가능하도록 구성한 것이다.The configuration of the present invention shown in FIG. 9 adds one drive motor M5 and employs six drive motors so that the end
즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 제3 구동축(813)과 제4 구동축(814) 사이에 제5 구동축(815)을 더 설치하고, 제5 구동축(815) 하단부측의 풀리(813a)(814a) 사이에 풀리(815a)를 설치하며, 제5 구동축(815) 상단부측의 풀리(813c)(814c) 사이에 풀리(815c)를 설치한다.That is, as shown in FIG. 9, a
그리고, 제5 구동축(815)의 하단부에 설치된 풀리(815a)는 제5 구동 모터(M5)의 모터축에 설치된 풀리(P5)와 벨트(815b)를 매개로 설치되어, 제5 구동 모터(M5)가 구동되면 제5 구동축(815)은 제3 구동축(813)의 내부에서 베어링(B)을 매개로 하여 회전 동작된다. In addition, the
그리고, 제5 구동축(815)의 상단부에 설치된 풀리(815c)는 제1 동력전달 회전축(831)의 하단부에 형성된 풀리(831b)에 벨트(BT)를 매개로 연결되고, 풀리(813c)는 제2 동력전달 회전축(832)의 하단부에 형성된 풀리(832b)에 벨트(BT)를 매개로 연결되며, 풀리(812c)는 제3 동력전달 회전축(833)의 하단부에 형성된 풀리(833b)에 벨트(BT)를 매개로 연결된다.In addition, the
그리고, 힌지축(830)을 도 (2)와 같이 기단부 구동암(100)의 상측에 일체로 고정되게 설치하지 않고, 베어링(B)을 매개로 기단부 구동암(100)에 회전 가능하게 설치한 후 그 하단부에 벨트(BT)를 통해 풀리(814c)의 회전력을 전달받아 회전되도록 풀리(830b)를 설치한다.The
그리고, 힌지축(830)의 상단부에 설치된 풀리(830a)는 도 (2)에서와 마찬가지로 풀리(846b)에 벨트(BT)를 매개로 동력 전달되도록 구성함으로써, 힌지축(830)의 상단부에 설치된 풀리(830a)의 회전력을 전달받아 회전되는 풀리(846b)는 제6 동력전달 회전축(846)과 함께 회전되며, 이로 인해 작동 모듈 케이스(500A)에 제6 동력전달 회전축(846)의 상단부가 고정되어 있기 때문에 제4 구동축(814)를 회전시키게 되면 이 회전력은 힌지축(830)을 회전시키게 되며, 힌지축(830)의 회전력은 풀리(830a)(836b)를 통해 제6 동력전달 회전축(846)이 회전됨으로써 엔드 이펙터 작동 모듈(500)을 구성하는 작동 모듈 케이스(500A)는 말단부 구동암(200)에 대해 회전 작동되는 것이다.In addition, the
이하, 도 (10)에 도시된 나머지 구성은 도 (2)에 도시된 구성과 동일하다.Hereinafter, the remaining configuration shown in FIG. 10 is the same as the configuration shown in FIG.
한편, 이제까지 설명한 본 발명에 의한 기판 반송 로봇은, 기판을 진공 상태에서 반송하여 처리하여야 할 경우에 공통 반송실(900)의 내/외부간의 상호 공기의 소통이 가능하지 않는 조건이 되도록 구현하여야 한다.On the other hand, the substrate transfer robot according to the present invention described above should be implemented so as to be a condition in which communication between the inside and the outside of the
이하, 그 구성을 설명한다.The configuration will be described below.
도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이, 부재 번호 950은 공통 반송실(900)의 바닥부로서, 로봇 본체(810)의 상측 개방부보다 직경이 약간 작은 크기의 관통공(951)이 형성된다.As shown in FIGS. 2 and 9, the
이 공통 반송실(900)의 바닥부(950)를 기준으로 상부측은 공통 반송실(900)의 내부 공간에 해당되고, 이 공통 반송실(900)의 바닥부(950)를 기준으로 하부측은 공통 반송실(900)의 외부 공간에 해당된다.The upper side corresponds to the internal space of the
상기 공통 반송실(900)의 바닥부(950)의 하면에는 로봇 본체(810)가 고정 설치된다.The
이에, 본 발명은 공통 반송실(900)의 내/외부간의 상호 공기의 소통이 가능하지 않는 조건이 되도록 구현하기 위하여, 제1 구동축(811)과 하우징(820) 사이, 제1 구동축(811)과 제2 구동축(812) 사이, 제2 구동축(812)와 제3 구동축(813) 사이, 제3 구동축(813)과 제4 구동축(814) 사이에 자성유체 실(Seal)(magnetic fluid seal)(960)을 설치하여, 제1 구동축(811)과 하우징(820) 사이로 공기의 소통이 되는 것을 방지한다.Thus, the present invention is implemented between the
여기서, 자성유체 실(magnetic fluid seal)(960)은 공통 반송실(900)을 고진공 상태로 유지할 필요가 있을 경우에 설치하며, 공통 반송실(900)을 저진공 상태로 유지할 필요가 있을 경우에는 자성유체 실(960) 대신에 리프 실(Lip Seal)을 설치하면 된다.Here, the
그리고, 하우징(820)의 외측과 공통 반송실(900)의 바닥부(950)의 하면을 연결하여 설치되는 신축성있는 자바라타입의 벨로우즈관(961)을 설치하여, 하우징(820)과 로봇 본체(810) 사이의 공간을 통해 공통 반송실(900)의 내부 공간과 공기의 소통이 되는 것을 방지한다.Then, an
여기서, 벨로우즈관(961)은 하우징(820)이 상방향으로 이동하게 되면 신축성있게 압축되고, 하우징(820)이 하방향으로 이동하게 되면 신축성있게 펼쳐지게 된다.Here, the
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 자성유체 실(960)과 벨로우즈(961)을 별도로 더 구비함으로써 기판을 진공 상태에서 반송하여 처리하여야 할 경우에 적용할 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 하지 않고 대기 상태에서 기판을 반송 처리 하는 경우에 적용할 경우에는 전술한 자성유체 실(960)과 벨로우즈관(961)의 구성을 적용하지 않으면 된다.Accordingly, the present invention can be applied to the case where the substrate is to be transported and processed in a vacuum state by further providing the
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원통좌표형 타입의 기판 반송 로봇의 평면도.1 is a plan view of a substrate transfer robot of cylindrical coordinate type according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 지시선 "A-A"부의 단면도.2 is a cross-sectional view of the leader line "A-A" shown in FIG.
도 3은 도 1에 도시된 지시선 "B-B"부의 단면도.3 is a cross-sectional view of the leader line "B-B" shown in FIG.
도 4는 도 1에 도시된 지시선 "C-C"부의 단면도.4 is a cross-sectional view of the leader line "C-C" shown in FIG.
도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 기판 반송 로봇에 의한 기판이 반송되는 과정의 일 실시예를 나타낸 도면.5 to 7 is a view showing an embodiment of the process of the substrate is transferred by the substrate transfer robot shown in FIG.
도 8은 도 1에 도시된 기판 반송 로봇에 의한 기판이 반송되는 과정의 다른 실시예를 나타낸 도면.8 is a view showing another embodiment of the process of the substrate is transferred by the substrate transfer robot shown in FIG.
도 9는 본 발명의 다른 실시예로 수평 다관절형 타입의 기판 반송 로봇을, 도 1에 지시선 "A-A"부 방향으로 절단한 단면을 나타낸 것으로, 엔드 이펙터 작동 모듈을 말단부 구동암에 대해 회전 가능하게 설치하기 위한 기반 반송 로봇의 내부 구성을 도시한 단면도.FIG. 9 is a cross-sectional view of the horizontal articulated type substrate transfer robot cut in the direction of the “AA” portion in FIG. 1 according to another embodiment of the present invention. Sectional view showing the internal configuration of the base carrier robot for installation.
도 10은 도 9에 도시된 실시예에 따른 기판 반송 로봇을 적용하였을 때, 구현할 수 있는 공통 반송실의 구조 및 기판 반송 동작을 나타낸 도면.10 is a view showing the structure and the substrate transfer operation of the common transfer chamber that can be implemented when the substrate transfer robot according to the embodiment shown in FIG.
도 11은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 요부 사시도.Figure 11 is a perspective view of the main portion showing another embodiment of the present invention.
도 12 및 도 13은 종래 기술1,2의 개략적인 구성을 나타낸 도면.12 and 13 show a schematic configuration of the
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for main parts of the drawings>
100 : 기단부 구동암 200 : 말단부 구동암100: proximal end driving arm 200: distal end driving arm
300 : 제1 엔드 이펙터 400 : 제2 엔드 이펙터300: first end effector 400: second end effector
500 : 엔드 이펙터 작동 모듈 600 : 제3 엔드 이펙터500: end effector operation module 600: third end effector
700 : 제4 엔드 이펙터 810 : 로봇 본체700: fourth end effector 810: robot body
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080066337A KR100968869B1 (en) | 2008-07-09 | 2008-07-09 | Substrate transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080066337A KR100968869B1 (en) | 2008-07-09 | 2008-07-09 | Substrate transfer robot |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100006207A KR20100006207A (en) | 2010-01-19 |
KR100968869B1 true KR100968869B1 (en) | 2010-07-09 |
Family
ID=41815401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020080066337A KR100968869B1 (en) | 2008-07-09 | 2008-07-09 | Substrate transfer robot |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100968869B1 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101110118B1 (en) * | 2010-06-29 | 2012-02-15 | 두산중공업 주식회사 | The core semi-stacking device of the Generator Stator |
CN110505945B (en) * | 2017-02-15 | 2024-01-19 | 柿子技术公司 | Material handling robot with multiple end effectors |
US10629472B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
US11569111B2 (en) * | 2019-12-02 | 2023-01-31 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
WO2023074962A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | 주식회사 라온테크 | In-chamber wafer conveyance robot |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000042952A (en) | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Hitachi Ltd | Conveyer device and conveying method |
KR20040022315A (en) * | 2002-09-05 | 2004-03-12 | 엘지전자 주식회사 | Network management data store method for internet protocol phone |
JP2004288720A (en) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | Substrate carrying system and substrate processing system |
KR200422315Y1 (en) | 2006-04-28 | 2006-07-25 | 주식회사 싸이맥스 | Dual arm robot |
JP2007005582A (en) | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Asm Japan Kk | Substrate transfer apparatus and semiconductor substrate manufacturing apparatus mounted with the same |
-
2008
- 2008-07-09 KR KR1020080066337A patent/KR100968869B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000042952A (en) | 1998-07-27 | 2000-02-15 | Hitachi Ltd | Conveyer device and conveying method |
KR20040022315A (en) * | 2002-09-05 | 2004-03-12 | 엘지전자 주식회사 | Network management data store method for internet protocol phone |
JP2004288720A (en) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | Substrate carrying system and substrate processing system |
JP2007005582A (en) | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Asm Japan Kk | Substrate transfer apparatus and semiconductor substrate manufacturing apparatus mounted with the same |
KR200422315Y1 (en) | 2006-04-28 | 2006-07-25 | 주식회사 싸이맥스 | Dual arm robot |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100006207A (en) | 2010-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100968869B1 (en) | Substrate transfer robot | |
US20210023698A1 (en) | Dual arm robot | |
US11640919B2 (en) | Robot having arm with unequal link lengths | |
US9202733B2 (en) | Robot system with independent arms | |
KR101887110B1 (en) | Compact substrate transport system with fast swap robot | |
US6547510B1 (en) | Substrate transport apparatus with coaxial drive shafts and dual independent scara arms | |
US7306423B2 (en) | Linear moving mechanism and transfer robot using the same | |
US20230032442A1 (en) | Robot Arm With Unequal Link Lengths And Variable Non-Linear Wrist Orientation | |
KR20100089107A (en) | Vacuum processing apparatus and vacuum transfer apparatus | |
JP2011199121A (en) | Conveying apparatus | |
KR20150131117A (en) | Substrate deposition systems, robot transfer apparatus, and methods for electronic device manufacturing | |
JP2000306978A (en) | Substrate treatment apparatus, substrate transfer apparatus, and substrate treatment method | |
JP5627599B2 (en) | Transfer arm and transfer robot including the same | |
KR100479494B1 (en) | Board conveyance robot | |
US20080237172A1 (en) | Transfer apparatus | |
KR20080096418A (en) | Industrial robot and set processor | |
TW201425189A (en) | System, architecture and method for simultaneous transfer and process of substrates | |
KR102244352B1 (en) | Substrate transfer mechanism, substrate processing apparatus, and substrate transfer method | |
CN105448767B (en) | Realize the vacuum carrying device and its method for carrying of the orthogonal transmission of substrate | |
KR102483600B1 (en) | Conveying system, conveying method and conveying device | |
WO2007004551A1 (en) | Container transporting apparatus and container transporting system | |
KR20200026745A (en) | Substrate transfer mechanism, substrate processing apparatus, and substrate processing method | |
JP2005150575A (en) | Double arm type robot | |
JP2005294662A (en) | Carrying device, method of controlling the same, and vacuum processing device | |
KR20100006763A (en) | Transfer apparatus, transfer chamber having the same and vacuum processing system including the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130627 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140630 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150626 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160610 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170619 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180618 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190625 Year of fee payment: 10 |