KR100950789B1 - Conductive terminal unit and conductive terminal - Google Patents
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Abstract
본 발명은 배열간격의 협소화에 대응 가능하고, 신축 자유로운 탄성부를 구비한 도전성 접촉자의 특성을 손상하지 않고 도전성 접촉자를 유지한 도전성 접촉자 유닛을 실현하는 것이다.
이를 위하여 본 발명에서는 복수의 회로구조 사이의 전기적 접속에 이용되고, 길이방향으로 신축 가능한 구조로서, 판형상으로 형성된 복수의 도전성 접촉자(1)와, 도전성 접촉자(1)를 유지하는 기능을 가지고, 도전성 접촉자(1)에 대하여 폭방향 양쪽 끝에 배치된 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)를 구비한다. 제 1 가이드부재(2a), 제 2 가이드부재(2b)에는 각각 도전성 접촉자(1)의 신축방향으로 연신한 가이드홈이 형성되어 있고, 도전성 접촉자(1)의 폭방향 끝부는 가이드홈에 끼워 넣어진 상태로 유지되기 때문에, 신축동작을 행할 때에 신축방향과 수직한 방향에 관한 도전성 접촉자(1)의 변위인 좌굴, 비틀림의 발생이 회피된다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention can realize a conductive contact unit which can cope with narrowing of an array interval and which holds a conductive contact without impairing the characteristics of the conductive contact having an elastically free elastic portion.
To this end, the present invention is used for electrical connection between a plurality of circuit structures, and as a structure that can be stretched in the longitudinal direction, has a function of holding a plurality of conductive contacts (1) and conductive contacts (1) formed in a plate shape, A first guide member 2a and a second guide member 2b disposed at both ends in the width direction with respect to the conductive contact 1 are provided. The first guide member 2a and the second guide member 2b are formed with guide grooves extending in the stretching direction of the conductive contact 1, respectively, and the widthwise end of the conductive contact 1 is fitted into the guide groove. Since it is kept in the extended state, the occurrence of buckling and torsion, which is the displacement of the conductive contact 1 in the direction perpendicular to the stretching direction, is avoided when the stretching operation is performed.
Description
본 발명은 복수의 제 1 접속단자를 구비한 제 1 회로구조와, 복수의 제 2 접속단자를 구비한 제 2 회로구조와의 사이를 전기적으로 접속하는 도전성 접촉자 유닛 및 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자에 관한 것이다. The present invention provides a conductive contact unit and a conductive contact unit for electrically connecting a first circuit structure having a plurality of first connection terminals with a second circuit structure having a plurality of second connection terminals. It is about contact.
종래, 반도체 집적회로 등의 검사대상의 전기특성검사에 관한 기술분야에서 반도체 집적회로의 접속단자에 대응하여 복수의 도전성 접촉자를 설치하여 도전성 접촉자를 접속단자에 물리적으로 접촉시킴으로써 전기적 도통을 확보하는 기능을 가지는 도전성 접촉자 유닛에 관한 기술이 알려져 있다. 이와 같은 도전성 접촉자 유닛은 복수의 도전성 접촉자와, 도전성 접촉자를 유지하는 유지부를 적어도 구비한 구조를 가진다. 검사대상인 반도체 집적회로 등의 미세화 경향에 따르는 접속단자의 배열간격의 협소화에 대응하여 도전성 접촉자 유닛에서도 복수의 도전성 접촉자의 배열간격을 협소화할 필요가 있고, 배열간격의 협소화를 실현할 수 있는 도전성 접촉자 및 도전성 접촉자를 구비한 도전성 접촉자 유닛의 구성에 대하여 여러가지 것이 제안되어 있다. Conventionally, in the technical field related to the inspection of the electrical characteristics of an inspection object such as a semiconductor integrated circuit, a function of securing electrical conduction by installing a plurality of conductive contacts corresponding to the connection terminals of the semiconductor integrated circuit and physically contacting the conductive contacts with the connection terminals. The technique regarding the conductive contact unit which has is known. Such a conductive contact unit has a structure including at least a plurality of conductive contacts and a holding portion for holding the conductive contacts. In order to narrow the spacing of the connection terminals in accordance with the miniaturization tendency of the semiconductor integrated circuit to be inspected, the conductive contact unit also needs to narrow the spacing between the plurality of conductive contacts, and can realize the narrowing of the spacing. Various things are proposed about the structure of the conductive contact unit provided with a conductive contact.
예를 들면 배열간격의 협소화를 실현하는 도전성 접촉자로서, 검사대상 등과 접촉하는 접촉부 및 접촉부에 대하여 탄발 가세하는 탄성부를 판형상의 도전성부재에 의하여 일체적으로 형성한 구조가 제안되어 있다. 예를 들면 판형상의 도전성 접촉자를 판두께방향으로 배열함으로써 좁은 영역에 다수의 도전성 접촉자를 배치하는 것이 이론상 가능해져, 검사대상에 구비되는 접속단자의 배열간격의 협소화에 대응한 도전성 접촉자를 실현하는 것이 가능하다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). For example, as a conductive contact for realizing narrow arrangement intervals, there has been proposed a structure in which a contact portion in contact with an inspection object or the like and an elastic portion elastically added to the contact portion are integrally formed by a plate-shaped conductive member. For example, by arranging the plate-shaped conductive contacts in the plate thickness direction, it is theoretically possible to arrange a plurality of conductive contacts in a narrow area, thereby realizing the conductive contacts corresponding to the narrowing of the arrangement interval of the connection terminals provided in the inspection object. It is possible (for example, refer patent document 1).
[특허문헌 1][Patent Document 1]
일본국 특개2001-343397호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-343397
그러나 종래의 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 접촉자가 상기한 구성을 가짐 에도 불구하고, 검사대상의 접속단자의 배열간격의 협소화에 대응하는 것이 곤란하다는 과제를 가진다. 이하, 이와 같은 과제에 대하여 상세하게 설명한다. However, the conventional conductive contact unit has a problem that it is difficult to cope with narrowing of the arrangement interval of the connection terminals to be inspected even though the conductive contact has the above-described configuration. Hereinafter, such a subject will be described in detail.
특허문헌 1의 도 8을 참조하면 분명한 바와 같이 종래의 도전성 접촉자 유닛에서는 유지부[특허문헌 1에서는 절연기판(61)]에 가이드구멍이 형성되고, 이와 같은 가이드구멍에 도전성 접촉자를 수용하는 구조를 채용한다. 따라서 종래의 도전성 접촉자 유닛에서는 유지부에 대하여 도전성 접촉자의 개수에 대응한 가이드구멍의 배열간격에 의하여 도전성 접촉자의 배열간격이 규정되게 되나, 가이드구멍과 같은 관통구멍은 형성대상(유지부)의 물리적 강도 등에 의하여 형성간격의 최소값이 제한되게 된다. 이 때문에 종래의 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 접촉자 그것에 관해서는 배열간격을 협소화하는 것이 충분히 가능함에도 불구하고, 유지부의 구조에 관한 연구가 충분하지 않기 때문에 도전성 접촉자의 배열간격의 협소화가 곤란하다는 과제를 가진다. Referring to FIG. 8 of
또, 도전성 접촉자가 판형상구조를 가지는 경우에는, 탄성부에서의 신축동작시에, 좌굴 및 비틀림의 발생을 방지할 필요가 있다. 즉, 판형상으로 형성된 도전성 접촉자는 판형상이기 때문에 판 두께방향(특허문헌 1의 도 2에서의 지면 수직방향)의 길이(판 두께)가 다른 방향의 길이보다도 현저하게 작고, 물리적인 강도가 낮다는 문제를 가진다. 이 때문에 특히 탄성부가 수축하는 방향으로 외력이 작용한 경우에는, 도전성 접촉자는 탄성부의 수축에 따라 좌굴, 비틀림 등이 생길 염려가 있고, 이와 같은 좌굴 등에 의하여 탄성부의 스프링특성이 열화하는 등의 과제를 가진다. 또한 특허문헌 1에 기재된 도전성 접촉자 유닛에서는 가이드구멍은 좌굴을 어느 정도 완화하는 가능성을 가지나, 단면형상이 원형상이라고 생각되는 가이드구멍에 따라서는, 도전성 접촉자의 길이방향 중심축의 둘레 방향에 생길 수 있는 비틀림을 완화하는 것은 매우 곤란하다. In addition, in the case where the conductive contact has a plate-like structure, it is necessary to prevent the occurrence of buckling and torsion during the stretching operation in the elastic portion. That is, since the conductive contact formed in the shape of a plate has a plate shape, the length (plate thickness) in the plate thickness direction (the paper vertical direction in FIG. 2 of Patent Document 1) is significantly smaller than the length in the other direction, and the physical strength is low. Has a problem. For this reason, especially when an external force acts in the direction in which the elastic part contracts, the conductive contact may be buckled or twisted due to the contraction of the elastic part. Have In the conductive contact unit described in
본 발명은 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 배열간격의 협소화에 대응 가능하고, 신축 자유로운 탄성부를 구비한 도전성 접촉자의 특성을 손상하지 않고 도전성 접촉자를 유지한 도전성 접촉자 유닛 및 도전성 접촉자를 실현하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to realize a conductive contact unit and a conductive contact that hold a conductive contact without impairing the characteristics of the conductive contact having an elastically flexible portion, which can cope with narrowing of the spacing. do.
상기한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위하여 청구항 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 복수의 접속단자를 구비한 회로구조에 대하여, 상기 접속단자와 물리적으로 접촉함으로써 전기적으로 접속하는 도전성 접촉자 유닛으로서, 사용 시에 상기 접속단자와 접촉하는 복수의 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와 전기적으로 접속된 복수의 제 2 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와 상기 제 2 접촉부의 사이에 형성되고, 길이방향으로 신축 자유로움과 동시에 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부에 대하여 탄발 가세하는 탄성부가 일체적으로 형성된 복수의 도전성 접촉자와, 상기 탄성부의 신축방향으로 연신(延伸)한 구조를 가지고, 상기 도전성 접촉자의 일부가 상기 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지는 복수의 가이드홈이 형성되고, 상기 가이드홈에 상기 도전성 접촉자의 일부를 끼워 넣은 상태에서 상기 도전성 접촉자를 유지하는 유지부를 구비한 것을 특징으로 한다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject and achieve the objective, the conductive contact unit which concerns on
이 청구항 1의 발명에 의하면, 도전성 접촉자의 일부가 유지부에 형성된 가이드홈에 끼워 넣어진 상태로 유지되고, 가이드홈은 도전성 접촉자의 신축방향으로 끼워 넣어진 일부가 슬라이딩 자유로워지도록 형성되기 때문에, 도전성 접촉자를 구성하는 탄성부가 수축할 때에, 가이드홈에 끼워 넣어진 도전성 접촉자의 일부는 신축방향으로만 이동하게 되고, 이와 같은 일부와 일체적으로 형성된 다른 부분도 신축방향으로만 이동하기 때문에, 신축방향과 수직한 방향에 관한 부분적 변위인 좌굴, 비틀림 등의 변형이 도전성 접촉자에 생기는 것을 회피할 수 있다. According to the invention of
또, 청구항 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은 상기한 발명에 있어서, 상기 도전성 접촉자는 판형상으로 형성되고, 상기 유지부는 상기 신축방향과 수직한 방향의 끝부의 한쪽이 상기 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지는 가이드홈이 형성된 제 1 가이드부재와, 상기 신축방향과 수직한 방향의 끝부의 다른쪽이 상기 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지는 가이드홈이 형성된 제 2 가이드부재를 구비한 것을 특징으로 한다. Further, in the above-described invention, in the conductive contact unit according to
또, 청구항 3에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기한 발명에 있어서, 상기 도전성 접촉자는 상기 신축방향과 수직한 방향으로 관통하고, 상기 신축방향과 평행한 방향의 폭이 상기 탄성부의 신축길이에 대응하여 정해지는 개구부가 형성되고, 상기 유지부는, 복수의 상기 도전성 접촉자의 일부에서의 상기 신축방향과 수직한 방향의 끝부의 한쪽이 상기 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지는 가이드홈이 형성된 제 1 가이드부재와, 복수의 상기 도전성 접촉자의 나머지부가 상기 신축방향과 수직한 방향의 끝부의 다른쪽이 상기 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지는 가이드홈이 형성된 제 2 가이드부재와, 복수의 상기 도전성 접촉자의 각각에 형성된 상기 개구부를 관통하는 막대형상부재에 의하여 형성되고, 상기 도전성 접촉자 중 상기 개구부의 바깥 가장자리를 형성하는 부분이 상기 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지는 가이드홈이 형성된 제 3 가이드부재를 구비한 것을 특징으로 한다. Further, in the above-described invention, in the conductive contact unit according to
또, 청구항 4에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기한 발명에 있어서, 상기 도전성 접촉자는, 상기 신축방향과 수직한 방향으로 관통하고, 상기 신축방향과 평행한 방향의 길이가 상기 탄성부의 신축길이에 대응한 개구부가 형성되고, 상기 유지부는 복수의 상기 도전성 접촉자가 배열되는 방향으로 연신하여 상기 개구부를 관통하는 막대 형상부재에 의하여 형성되고, 상기 가이드홈은, 상기 도전성 접촉자 중 상기 개구부의 바깥 가장자리를 형성하는 부분이 끼워 넣어지도록 형성된 것을 특징으로 한다.In the invention described above, in the conductive contact unit according to
또, 청구항 5에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 상기한 발명에 있어서, 상기 도전성 접촉자에 구비되는 제 2 접촉부와 물리적으로 접촉하는 단자를 구비하고, 상기 단자를 거쳐 상기 도전성 접촉자에 대하여 소정의 전기신호를 출력하는 신호출력회로를 더 구비한 것을 특징으로 한다.Moreover, in the said invention, the conductive contact unit which concerns on
또, 청구항 6에 관한 도전성 접촉자는, 복수의 회로구조의 사이를 전기적으로 접속하는 도전성 접촉자로서, 사용시에 복수의 회로구조의 한쪽에 대하여 물리적으로 접촉하는 제 1 접촉부와, 상기 제 1 접촉부와 전기적으로 접속되어, 사용시에 복수의 회로구조의 다른쪽에 대하여 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부와, 상기 제 1 접촉부 및 상기 제 2 접촉부에 대하여 탄성력을 공급하는 탄성부와, 사용시에 소정의 축을 회전중심으로 하여 회전 자유로워지도록 유지부에 의하여 유지되고, 상기 회전중심에 대하여 서로 대칭이 되는 영역에서 상기 제 1 접촉부와 상기 탄성부에 대하여 접속한 제 1 접속부와, 사용시에 소정의 축을 회전중심으로 하여 회전 자유로워지도록 유지부에 의하여 유지되고, 상기 회전중심에 대하여 서로 대칭이 되는 영역에서 상기 제 2 접촉부와 상기 탄성부에 대하여 접속한 제 2 접속부를 구비한 것을 특징으로 한다.The conductive contact according to
이 청구항 6의 발명에 의하면, 제 1 접속부는 소정의 회전중심에 대하여 서로 대칭의 영역에서 제 1 접촉부 및 탄성부와 접촉한 구조를 가지기 때문에 제 1 접촉부 및 탄성부는 길이방향에 대하여 서로 연동하여 역방향으로 운동하게 되고, 탄성부가 수축방향으로 변형될 때는, 제 1 접촉부가 탄성부의 신장방향으로 돌출하게 된다. 제 2 접촉부와 탄성부 사이의 관계도 마찬가지로서, 그 결과, 탄성부는 신장되었을 때에 제 1 접촉부 및 제 2 접촉부에 대하여 회로구조와 접촉하는 방향으로 탄성력을 공급하게 되고, 탄성부의 수축에 따르는 좌굴, 비틀림 등의 변형이 도전성 접촉자에 생기는 것을 회피하는 것이 가능하다. According to the invention of
본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 접촉자의 일부가 유지부에 형성된 가이드홈에 끼워 넣어진 상태로 유지되고, 가이드홈은 도전성 접촉자의 신축방향으로 끼워 넣은 일부가 슬라이딩 자유로워지도록 형성되기 때문에, 도전성 접촉자를 구성하는 탄성부가 수축할 때에, 가이드홈에 끼워 넣어진 도전성 접촉자의 일부는 신축방향으로만 이동하게 되고, 이와 같은 일부와 일체적으로 형성된 다른 부분도 신축방향으로만 이동하기 때문에, 신축방향과 수직한 방향에 관한 부분적 변위인 좌굴, 비틀림 등의 변형이 도전성 접촉자에 생기는 것을 회피할 수 있다는 효과를 가진다. Since the conductive contact unit according to the present invention is held in a state where a portion of the conductive contact is sandwiched in the guide groove formed in the holding portion, the guide groove is formed so that the portion inserted in the stretch direction of the conductive contact becomes free of sliding. When the elastic portion constituting the conductive contact shrinks, part of the conductive contact inserted into the guide groove moves only in the stretching direction, and other parts formed integrally with such part also move only in the stretching direction. Deformation such as buckling and torsion, which is a partial displacement with respect to the direction perpendicular to the direction, can be prevented from occurring in the conductive contact.
또, 본 발명에 관한 도전성 접촉자는, 제 1 접속부는 소정의 회전중심에 대하여 서로 대칭영역에서 제 1 접촉부 및 탄성부와 접촉한 구조를 가지기 때문에, 제 1 접촉부 및 탄성부는 길이방향에 관하여 서로 연동하여 역방향으로 운동하게 되고, 탄성부가 수축방향으로 변형될 때는, 제 1 접촉부가 탄성부의 신장방향으로 돌출하게 된다. 제 2 접촉부와 탄성부 사이의 관계도 마찬가지로서, 그 결과 탄성부는 신장되었을 때에 제 1 접촉부 및 제 2 접촉부에 대하여 회로구조와 접촉하는 방향으로 탄성력을 공급하게 되고, 탄성부의 수축에 따르는 좌굴, 비틀림 등의 변형이 도전성 접촉자에 생기는 것을 회피할 수 있다는 효과를 가진다. Further, the conductive contact according to the present invention has a structure in which the first contact portion is in contact with the first contact portion and the elastic portion in a symmetrical region with respect to a predetermined center of rotation, so that the first contact portion and the elastic portion interlock with each other with respect to the longitudinal direction. When the elastic portion is deformed in the contraction direction, the first contact portion protrudes in the stretching direction of the elastic portion. Similarly, the relationship between the second contact portion and the elastic portion is similar. As a result, the elastic portion supplies elastic force to the first contact portion and the second contact portion in the direction of contact with the circuit structure when the elastic portion is extended, and the buckling and torsion caused by the contraction of the elastic portion are caused. The deformation of the back and the like can be prevented from occurring in the conductive contact.
도 1은 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 전체구성을 나타내는 모식 도,BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic diagram which shows the whole structure of the conductive contact unit which concerns on
도 2는 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자의 구조를 나타내는 모식도,2 is a schematic diagram showing the structure of a conductive contact constituting a conductive contact unit;
도 3은 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 유지부의 구조를 나타내는 모식도,3 is a schematic diagram showing a structure of a holding part constituting a conductive contact unit;
도 4는 유지부에 의한 도전성 접촉자의 유지형태를 나타내는 모식도,4 is a schematic diagram showing the holding mode of the conductive contact by the holding unit;
도 5는 도전성 접촉자의 동작에 대하여 설명하기 위한 모식도,5 is a schematic view for explaining the operation of the conductive contact;
도 6은 도전성 접촉자의 특성에 관한 측정결과를 나타내는 그래프,6 is a graph showing a measurement result regarding the characteristics of a conductive contact;
도 7은 도전성 접촉자의 특성에 관한 측정결과를 나타내는 그래프,7 is a graph showing a measurement result regarding the characteristics of a conductive contact;
도 8은 도전성 접촉자의 특성에 관한 측정결과를 나타내는 그래프,8 is a graph showing measurement results regarding characteristics of a conductive contact;
도 9는 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 모식도,9 is a schematic diagram showing the configuration of a conductive contact unit according to a second embodiment;
도 10은 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 모식도,10 is a schematic diagram showing the configuration of a conductive contact constituting a conductive contact unit;
도 11은 유지부를 구성하는 제 3 가이드부재의 구성을 나타내는 모식도,11 is a schematic view showing the configuration of a third guide member constituting the holding portion;
도 12는 유지부를 구성하는 제 1, 제 2 및 제 3 가이드부재에 의한 도전성 접촉자의 유지형태를 나타내는 모식도,12 is a schematic diagram showing the holding mode of the conductive contact by the first, second and third guide members constituting the holding unit;
도 13은 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자의 구조를 나타내는 모식도,13 is a schematic diagram showing the structure of a conductive contact constituting the conductive contact unit according to the third embodiment;
도 14는 도전성 접촉자 유닛의 전체구성을 나타내는 모식도,14 is a schematic diagram showing an overall configuration of a conductive contact unit;
도 15는 도전성 접촉자의 동작에 대하여 설명하기 위한 모식도,15 is a schematic diagram for explaining the operation of a conductive contact;
도 16은 실시형태 3의 변형예를 나타내는 모식도이다. 16 is a schematic diagram illustrating a modification of the third embodiment.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 [Description of Drawings]
1, 5, 8 : 도전성 접촉자 1a, 8a : 제 1 접촉부1, 5, 8:
1b, 8b : 제 2 접촉부 1c, 8c : 탄성부 1b, 8b:
1d, 1e, 5a, 5c : 접속부 2, 6, 9 : 유지부1d, 1e, 5a, 5c:
2a, 6a : 제 1 가이드부재 2b, 6b : 제 2 가이드부재2a, 6a:
2c, 2d : 유지판 2e, 6e : 가이드홈2c, 2d: Retaining
3 : 신호출력회로 3a : 단자3:
5b, 5d : 개구부 6c : 제 3 가이드부재5b, 5d: opening 6c: third guide member
6d : 핀부재 8d : 제 1 접속부6d:
8e : 제 2 접속부 8f, 8g : 지점부8e:
8h, 8I : 간격 유지부재 9a, 9b : 회전축8h, 8I: spacing
11 : 회로구조 11a : 접속단자11:
이하에, 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛 및 도전성 접촉자를 실시하기 위한 최선의 형태(이하, 「실시형태」라고 한다)를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한 도면은 모식적인 것으로, 각 부분의 두께와 폭의 관계, 각각의 부분의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 것에 유의해야 하고, 도면의 상호간에 있어서도 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되어 있는 것은 물론이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the best form (henceforth "embodiment") for implementing the conductive contact unit and conductive contact which concern on this invention is demonstrated in detail, referring drawings. In addition, drawings are typical, and it should be noted that the relationship between the thickness and width of each part and the ratio of the thickness of each part is different from the actual ones. Of course it is included.
(실시형태 1) (Embodiment 1)
먼저, 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛에 대하여 설명한다. 도 1은 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 외관을 나타내는 모식도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 도 1에서 끝부만 표시된 복수의 도전성 접촉자(1)와, 복수의 도전성 접촉자(1)를 유지한 유지부(2)와, 도전성 접촉자(1)와 전기적으로 접속되고 도전성 접촉자(1)에 대하여 소정의 전기신호를 출력 가능한 신호출력회로(3)를 구비한다. First, the conductive contact unit according to the first embodiment will be described. FIG. 1: is a schematic diagram which shows the external appearance of the electroconductive contact unit which concerns on this
신호출력회로(3)는, 도전성 접촉자(1)를 거쳐 접속대상인 회로구조(예를 들면, 전기 특성검사에 있어서의 검사대상)에 대하여 소정의 전기신호를 출력하기 위한 것이다. 신호출력회로(3)의 구체적인 구성으로서는 전기신호생성기능을 구비하는 것으로 하여도 좋고, 다른 기기에 의하여 생성된 전기신호를 입력하고, 입력한 전기신호를 도전성 접촉자(1)에 대하여 출력하는 구성으로 하여도 좋다. The
도전성 접촉자(1)는 검사대상 등의 회로구조(예를 들면, 반도체 집적회로)와 신호출력회로(3) 사이를 전기적으로 접속하기 위한 것이다. 구체적으로는 도전성 접촉자(1)는 회로구조, 신호출력회로(3)의 각각에 대하여 접촉하는 접촉부 및 접촉부에 탄발 가세하는 탄성부가 판형상의 도전부재에 의하여 일체적으로 형성된 구조를 가진다.The
도 2는 도전성 접촉자(1)의 구조를 나타내는 모식도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이 도전성 접촉자(1)는 길이방향의 양쪽 끝에 소정의 회로구조와 물리적으로 접촉하기 위한 제 1 접촉부(1a)와, 신호출력회로(3)와 물리적으로 접촉하는 제 2 접촉부(1b)가 형성되고, 제 1 접촉부(1a)와 제 2 접촉부(1b)의 사이에는 길이방향으로 신축 자유롭고, 제 1 접촉부(1a) 및 제 2 접촉부(1b)에 대하여 탄발 가세하 는 기능을 구비한 탄성부(1c)를 구비한다. 또 도전성 접촉자(1)는, 제 1 접촉부(1a)와 탄성부(1c) 사이에 배치되고, 제 1 접촉부(1a)와 탄성부(1c) 사이를 접속하는 접속부(1d)와, 제 2 접촉부(1b)와 탄성부(1c) 사이에 배치되고, 제 2 접촉부(1b)와 탄성부(1c) 사이를 접속하는 접속부(1e)를 구비하며, 이상의 구성요소가 일체적으로 형성됨과 동시에 전체로서 판형상이 되도록 형성된다. 또한 이하의 설명에서는 이해를 용이하게 하기 위하여 도 2에서의 가로방향을「도전성 접촉자(1)의 신축방향」이라 하고, 도 2에 서의 세로방향을「도전성 접촉자(1)의 폭방향」이라 하고, 도 2에서의 대략 지면 수직방향을「도전성 접촉자(1)의 판두께방향」이라 부르기로 한다. 2 is a schematic diagram showing the structure of the
다음에 유지부(2)에 대하여 설명한다. 도 1에 나타내는 바와 같이 유지부(2)는 소정의 가이드홈(도 1에서 도시 생략)이 각각 형성되고, 도전성 접촉자(1)에 대하여 폭방향 양쪽 끝에 배치된 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)와, 도전성 접촉자(1)에 대하여 신축방향 양쪽 끝에 배치되고, 도전성 접촉자(1)를 내부에 유지하기 위한 유지판(2c, 2d)을 구비한다. 또한 유지부(2)를 구성하는 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b) 및 유지판(2c, 2d)은, 도전성 접촉자(1)와 전기적으로 접속하여 단락이 발생하는 것을 방지하는 관점에서 절연재료에 의하여 형성되는 것이 바람직하나, 예를 들면 표면 중 도전성 접촉자(1)와 접촉할 수 있는 부분[예를 들면 뒤에서 설명하는 가이드홈(2e)]에만 절연도장을 실시하는 등의 구성으로 하여도 좋다. Next, the holding
유지판(2c, 2d)은, 각각 유지부(2)에 유지한 도전성 접촉자(1)가 탄성부(1c) 의 신축방향(길이방향)으로 위치 어긋남을 일으키는 것을 방지하기 위한 것이다. 구체적으로는 유지판(2c, 2d)은 각각 유지부(2)에 유지된 도전성 접촉자(1)의 접속부(1d, 1e)의 탄성부(1c) 신축방향 끝부에 접하는 위치에 배치됨과 동시에, 각각 제 1 접촉부(1a) 및 제 2 접촉부(1b)를 돌출시키기 위한 개구부가 형성된 구조를 가진다. The holding
제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)는 복수의 도전성 접촉자(1)를 신축방향과 수직한 면내방향에 관하여 위치결정하는 기능을 가짐과 동시에, 도전성 접촉자(1)의 신축동작시에 도전성 접촉자(1)를 가이드하는 기능을 가진다. 도 3은 제 1 가이드부재(2a)의 구조를 설명하기 위한 모식도이다. 또한 본 실시형태 1에서는 제 2 가이드부재(2b)는 제 1 가이드부재(2a)와 대략 동일한 구조를 가지기 때문에 이하의 제 1 가이드부재(2a)에 관한 설명은, 원칙으로서 제 2 가이드부재(2b)에 대해서도 해당하는 것으로 한다. The
도 3에 나타내는 바와 같이 제 1 가이드부재(2a)에는 유지부(2)에 유지하는 도전성 접촉자(1)의 개수와 동일한 수의 가이드홈(2e)이 형성되어 있다. 가이드홈(2e)은, 단면형상이 도전성 접촉자(1)의 신축방향에 대하여 수직한 방향, 더욱 구체적으로는 도전성 접촉자(1)의 폭방향의 끝부를 끼워 넣는 것이 가능한 형상을 가지고, 이와 같은 단면형상의 홈이 도전성 접촉자(1)의 신축방향으로 연신한 구조를 가진다. 본 실시형태 1에서는 도전성 접촉자(1)는 판형상으로 형성되어 있기 때문에, 가이드홈(2e)의 단면형상은 적어도 폭이 도전성 접촉자(1)의 판두께와 대략 같은 값이 되도록 형성되어 있다. 또 가이드홈(2e)은, 끼워 넣어진 도전성 접 촉자(1)의 끝부와의 사이의 슬라이딩저항이 작아지도록 형성되어 있고, 도전성 접촉자(1)는 신축방향에 관하여 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣어지게 된다.As shown in FIG. 3, the
또, 상기한 바와 같이 제 2 가이드부재(2b)는 제 1 가이드부재(2a)와 동일한 구조를 가지기 때문에 가이드홈(2e)은 제 2 가이드부재(2b)에도 동일하게 형성된다. 이 때문에 도전성 접촉자(1)는 도 4에 나타내는 바와 같이 폭방향의 양쪽 끝부가, 도전성 접촉자(1)의 신축방향 전체에 걸쳐 각각 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)에 각각 형성된 가이드홈(2e)에 항상 끼워 넣어진 상태에서 유지부(2)에 유지되게 된다. In addition, as described above, since the
또한 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)는, 예를 들면 저열팽창의 수지에 의하여 형성되고, 가이드홈(2e)은 예를 들면 다이싱에 의하여 형성된다. 이 밖에 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)의 구성으로서는, 수지 이외의 절연성재료, 예를 들면 Al2O3, SiO2 등의 세라믹스, Si 등에 의하여 모재를 형성하고, 에칭 등에 의하여 가이드홈(2e)을 형성하는 것으로 하여도 좋다. In addition, the
다음에 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)에 형성된 가이드홈(2e)의 작용에 대하여 설명한다. 도 5는 가이드홈(2e)의 작용을 설명하기 위한 모식도이다. 또한 도 5에서 도전성 접촉자(1)의 중심위치를 원점으로 하고, 폭방향을 x축, 판두께 방향을 y축, 신축방향을 z축으로 하여 적절하게 설명을 행한다. Next, the operation of the
상기한 바와 같이 가이드홈(2e)에는 도전성 접촉자(1)의 폭방향(x축방향) 양쪽 끝부가 끼워 넣어짐과 동시에, 도전성 접촉자(1)의 신축방향(z축방향)으로 연신 한 구조를 가지기 때문에, 끼워 넣어진 부분은 신축방향으로 슬라이딩 자유로운 상태로 유지되게 된다. 즉, 도 5에 나타내는 바와 같이 도전성 접촉자(1)의 폭방향 양쪽 끝부(사선으로 나타내는 부분)는, 가이드홈(2e)에 끼워 넣어짐으로써, z축 방향에 관한 자유도는 확보되는 한편으로, x축방향 및 y축방향에 관한 이동의 자유도를 잃게 된다.As described above, both ends of the widthwise (x-axis direction) of the
또, 상기한 바와 같이 도전성 접촉자(1)는 일체적으로 형성되기 때문에, 가이드홈(2e)에 의한 양쪽 끝부의 움직임의 규제의 영향은, 도전성 접촉자(1)의 다른 부분에도 미친다. 따라서 폭방향의 양쪽 끝부와 마찬가지로 도전성 접촉자(1) 전체는 z 축방향의 이동은 가능한 한편으로, x축 방향 및 y축 방향의 이동 자유도를 잃는다. 이 때문에 도전성 접촉자(1)는, 외력이 주어진 경우에는 z축 방향으로 변위함에 의한 형상 변화(즉, 수축 또는 신장)가 생길 뿐이며, x축 방향 및 y축 방향으로 변위함에 의한 형상변화는 생기지 않고 신축하게 된다. In addition, since the
다음에 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 이점에 대하여 설명한다. 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 신축방향으로 연신한 가이드홈(2e)에 일부를 끼워 넣은 상태에서 도전성 접촉자(1)를 유지하는 것으로 하였기 때문에, 사용시에 외력이 주어져도 좌굴 및 비틀림이 생기는 것을 방지하는 것이 가능하다. 도 5를 참조하면서 설명한 바와 같이 본 실시형태 1에서의 도전성 접촉자(1)는, x축 방향의 양쪽 끝부를 가이드홈(2e)에 끼워 넣은 상태로 유지함으로써, 도전성 접촉자(1)의 임의의 부분이 x축 방향 및 y축 방향으로 변위하지 않고, z축 방향에 대해서만 변위하게 된다. 판형상의 도전성 접촉자에서 현저하게 생길 수 있는 좌굴 및 비틀림은, 도전성 접촉자(1)의 일부 또는 전체에 관하여 x축 방향의 변위 또는/및 y축 방향의 변위가 따르는 형상변화이기 때문에 가이드홈(2e)을 사용하여 도전성 접촉자(1)를 유지함으로써, 본 실시형태 1에서는 사용시에 도전성 접촉자(1)의 좌굴 및 비틀림이 생기는 것을 방지할 수 있다는 이점을 가진다. Next, the advantages of the conductive contact unit according to the first embodiment will be described. Since the conductive contact unit according to the first embodiment holds the
또, 본 실시형태 1에서는 홈구조를 가지는 가이드홈(2e)을 이용하여 도전성 접촉자(1)를 유지하는 것으로 하였기 때문에, 도전성 접촉자(1)와 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b) 사이의 접촉면적을 저감하고, 제 1 가이드부재(2a) 등과의 사이에 생기는 슬라이딩 저항을 저감할 수 있다는 이점도 가진다. 예를 들면 종래와 같이 관통구멍 속에 도전성 접촉자(1)를 수용한 경우에는 도전성 접촉자의 외표면과, 관통구멍의 내표면이 전체 주위에 걸쳐 접촉하게 되고, 도전성 접촉자의 외표면과 관통구멍의 내표면 사이의 접촉면적이 증대하여, 슬라이딩저항의 저감은 곤란하다. 이것에 대하여, 본 실시형태 1에서는 도전성 접촉자(1)는 폭방향 끝부에서만 제 1 가이드부재(2a), 제 2 가이드부재(2b)에 대하여 접촉하기 때문에, 접촉면적이 대폭으로 저감하고, 슬라이딩저항을 저감할 수 있음으로써, 도전성 접촉자(1)의 신축동작을 원활하게 행하는 것이 가능하다. In the first embodiment, the
도 6 내지 도 8은, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자(1)에 관하여, 좌굴 등을 일으키지 않는 것 및 슬라이딩저항이 저감되는 것에 기인한 이점을 정량적으로 나타내는 그래프이다. 즉, 도 6은 가이드홈(2e)에 의하여 유지한 상태의 도전성 접촉자(1)에 주어지는 하중과 도전성 접촉자(1)의 신축길이의 관계를 나타내고, 도 7은 신축길이와 전기저항의 관계를 나타 내고, 도 8은 도전성 접촉자(1)에 주어지는 하중과 전기저항과의 관계를 나타낸다. 6 to 8 are graphs quantitatively showing advantages of the
먼저, 도 6에 나타내는 그래프에 대하여 설명한다. 도 6에서 곡선(l1)은 도전성 접촉자(1)가 수축하였을 때에 있어서의 측정결과를 나타내고, 곡선(l2)은 도전성 접촉자(1)가 신장하였을 때에 있어서의 측정결과를 나타내며, 곡선(l3)은 설계단계에서의 도전성 접촉자(1)의 특성으로서, 도전성 접촉자(1) 단체가 좌굴 및 비틀림을 일으키지 않고 신축하는 경우의 이론상의 특성을 나타내는 곡선이다. 도 6의 그래프에서도 분명한 바와 같이, 곡선(l1∼l1)은 모두 높은 정밀도로 일치하고 있고, 본 실시형태 1에서의 도전성 접촉자(1)는 대략 설계값과 같은 특성을 실현할 수 있는 것이 나타난다. 특히 종래는 좌굴, 비틀림 등의 영향에 의하여 수축시의 스프링특성이 설계값으로부터 일탈하는 경향이 현저하였으나, 본 실시형태 1에서는 오히려 수축시의 스프링 특성의 쪽이 신장시의 스프링 특성보다 설계값에 근접하고 있고, 가이드홈(2e)이 유효하게 기능함으로써, 좌굴 및 비틀림의 발생이 효과적으로 방지되어 있는 것이 분명하다. First, the graph shown in FIG. 6 is demonstrated. In FIG. 6, the curve l 1 represents the measurement result when the
또, 도 6에 나타내는 그래프는 도전성 접촉자(1)와 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b) 사이의 마찰력이 작은 값이 되는 것도 나타내고 있다. 곡선(l3)에 나타낸 설계값은 도전성 접촉자(1)가 단체로 동작하는 경우, 즉 유지부(2)에 유지되어 있지 않은 상태에서의 도전성 접촉자의 특성을 나타내는 것이다. 이와 같은 특성을 나타내는 곡선(l3)에 대하여 가이드홈(2e)에 끝부가 끼워 넣어진 상 태에서의 특성을 나타내는 곡선(l2, l3)이 정밀도 좋게 일치하기 때문에, 도전성 접촉자(1)의 신축동작에 대한 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)에 기인한 슬라이딩 마찰을 대략 무시할 수 있는 정도로 까지 억제되는 것이 분명하다.6 also shows that the frictional force between the
다음에, 도 7에 나타내는 그래프에 대하여 설명한다. 도 7에 나타내는 그래프는 도전성 접촉자(1)의 신축길이와, 도전성 접촉자(1)를 거쳐 전기적으로 접속되는 신호출력회로(3)와 회로구조 사이의 전기저항과의 관계를 나타내는 그래프이다. 상기한 바와 같이 도전성 접촉자(1)는 각각 제 1 접촉부(1a) 및 제 2 접촉부(1b)가 회로구조에 구비되는 접속단자 및 신호출력회로에 구비되는 단자와 물리적으로 접촉함으로써 전기적 접속을 실현한다. 이 때문에 그래프에 표시되는 전기저항값은, 도전성 접촉자(1)에서의 제 1 접촉부(1a)와 제 2 접촉부(1b) 사이의 전기저항에 더하여 회로구조의 접속단자 및 신호출력회로의 단자와의 접촉부분에서의 전기적인 접촉저항과의 합에 의하여 나타내는 값이 된다. 또한 도 7에서의 곡선(l4)은 도전성 접촉자(1)의 수축시의 결과를 나타내는 곡선이고, 곡선(l5)은 도전성 접촉자(1)의 신장시의 결과를 나타내는 곡선이다. Next, the graph shown in FIG. 7 will be described. The graph shown in FIG. 7 is a graph showing the relationship between the expansion and contraction length of the
도 7에 나타내는 바와 같이 본 실시형태 1에서의 도전성 접촉자(1)는 수축시 및 신장시의 어느 것에서도 자연길이로부터의 신축량이 대략 0이 되는 경우를 제외하고 안정된 전기저항값이 얻어지는 것이 표시된다. 또 도 6의 경우와 마찬가지로 도 7에 나타내는 그래프에서도 수축시의 값 및 신장시의 값이 대략 일치하기 때문에 수축시에 있어서 현저하게 생길 수 있는 좌굴, 비틀림이라는 현상을 효과적으로 방지할 수 있는 것이 분명하다. As shown in Fig. 7, the
제일 마지막으로 도 8에 나타내는 그래프에 대하여 설명한다. 도 8에 나타내는 그래프는 도전성 접촉자(1)에 대하여 주어지는 외력과 전기저항과의 관계를 나타내는 것이다. 또한 도 8에서의 전기저항은 도 7과 마찬가지로 정의되고, 곡선(l6)은 도전성 접촉자(1)의 수축시의 결과를 나타내는 곡선이고, 곡선(l7)은 도전성 접촉자(1)의 신장시의 결과를 나타내는 곡선이다. 도 8에 나타내는 바와 같이 외력과 전기저항의 관계에서도, 본 실시형태 1에서의 도전성 접촉자(1)는 신장시와 수축시에서 대략 동등한 특성을 나타내고 있고, 외력에 대하여 안정된 전기저항을 실현하는 것이 표시된다. Finally, the graph shown in FIG. 8 will be described. The graph shown in FIG. 8 shows the relationship between the external force given to the
이상, 도 6 내지 도 8을 참조하면서 설명한 바와 같이, 본 실시형태 1에서는 도전성 접촉자(1)가 판형상으로 형성되었기 때문에 단체에서는 판두께 방향의 물리적 강도가 뒤떨어짐에도 불구하고, 가이드홈(2e)을 사용함으로써, 우수한 특성을 실현할 수 있다는 이점을 가진다. 구체적으로는 본 실시형태 1에서는 가이드홈(2e)을 구비한 제 1 가이드부재(2a), 제 2 가이드부재(2b)를 구비함으로써, 도전성 접촉자(1)에 있어서의 좌굴 및 비틀림의 발생이 억제되고, 도전성 접촉자(1)의 신축동작에 따르는 슬라이딩 마찰도 저감할 수 있기 때문에, 도전성 접촉자(1)가 우수한 스프링 특성 및 전기 특성을 실현할 수 있다는 이점을 가진다. As described above with reference to FIGS. 6 to 8, in the first embodiment, since the
또, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 접촉자(1)의 배열간격을 용이하게 협소화할 수 있다는 이점을 가진다. 즉, 본 실시형태 1에서는 도 전성 접촉자(1)의 유지기능을 가지는 가이드홈(2e)의 폭(도 5에서의 y축 방향의 폭)은, 도전성 접촉자(1)의 판두께와 동일한 정도의 값으로 충분하고, 서로 인접하는 가이드홈(2e) 사이의 간격은 인접하는 도전성 접촉자(1) 사이의 절연성을 충분히 확보할 수 있는 값이면 임의의 작은 값으로 하는 것이 가능하다. 따라서 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은 복수의 도전성 접촉자(1)를 판두께 방향으로 적층함으로써 도전성 접촉자(1)의 배열간격을 협소화하는 것이 가능하고, 접속대상인 회로구조에 구비되는 접속단자의 배열간격의 협소화에 충분히 대응하는 것이 가능하다. In addition, the conductive contact unit according to the first embodiment has an advantage that the arrangement intervals of the
또, 본 실시형태 1에서는 상기한 바와 같이 판형상으로 형성된 도전성 접촉자(1)가 신축할 때에 좌굴 또는 비틀림의 발생을 효과적으로 억제하는 것이 가능하다. 따라서 인접하는 것 끼리의 절연성의 확보에 충분한 도전성 접촉자(1)의 배열간격을 도출할 때에는 좌굴 또는 비틀림에 의하여 생기는 도전성 접촉자(1)의 변형을 고려할 필요가 없다. 이 때문에 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛에서는 배열간격을 결정할 때에 각각의 도전성 접촉자(1)는 판두께 방향(도 5에서의 y축 방향)에 관하여 가이드홈(2e)의 폭에 의하여 규정되는 영역에 항상 위치하는 것을 전제로 하여 구조를 설계하는 것이 가능하다. 즉, 본 실시형태 1에서는 비틀림 등이 생긴 경우에도 인접하는 도전성 접촉자(1) 사이의 절연성을 확보하기 위하여 배열간격에 여유를 가지게 할 필요성이 없어, 그 만큼 배열간격을 협소화하는 것이 가능하다. In addition, in the first embodiment, it is possible to effectively suppress the occurrence of buckling or torsion when the
또한 본 실시형태 1에서는, 관통구멍이 아니라 가이드홈(2e)에 의하여 도전 성 접촉자(1)를 유지하기로 한 것에 기인한 배열간격의 협소화가 가능하다. 즉, 종래와 같이 관통구멍에 의하여 도전성 접촉자(1)를 유지하기로 한 경우에는 관통구멍을 형성하는 기판 등의 물리적 강도를 유지하기 위하여 인접하는 관통구멍의 간격을 어느 정도 확보할 필요가 있다. 이것에 대하여 판형상부재에 홈을 형성하는 경우에는 관통구멍을 형성하는 경우와 비교하여 모재의 물리적 강도에 주는 영향은 낮고, 가이드홈(2e)을 고밀도로 형성한 경우에도 제 1 가이드부재(6a), 제 2 가이드부재(6b)의 물리적 강도의 저하는 대략 무시하는 것이 가능하다. 따라서 본 실시형태 1에서는 관통구멍을 형성하는 경우와 비교하여 가이드홈(2e)의 형성에 관한 유지부(2)측의 제약이 낮아지기 때문에, 간격을 협소화한 가이드홈(2e)을 형성 가능하다는 이점을 가진다. In the first embodiment, it is possible to narrow the arrangement interval due to the holding of the
또, 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 제작이 용이하다는 이점을 가진다. 상기한 바와 같이 본 실시형태 1에서는 관통구멍을 형성할 필요가 없고, 관통구멍보다 제작이 용이한 가이드홈(2e)을 이용한 구조를 가진다. 따라서 유지부(2)를 구성하는 제 1 가이드부재(6a), 제 2 가이드부재(6b)를 용이하게 제작하는 것이 가능하다. 또 조립공정 중, 도전성 접촉자(1)를 유지부(2)에 수용하는 공정은, 끝부를 가이드홈(2e)에 끼워 넣음으로써 완료된다. 따라서 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛의 조립시에는 미세한 관통구멍에 도전성 접촉자를 삽입한다는 복잡한 공정을 거칠 필요가 없고, 용이하게 조립하는 것이 가능하다. 이상의 것으로부터 본 실시형태 1에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 가이드홈(2e)에 의하여 도전성 접촉자(1)를 유지하는 구성을 채용하였기 때문에 제작이 용이하고, 제조비 용을 저감할 수 있는 등의 이점을 가지게 된다. Moreover, the electroconductive contact unit which concerns on this
(실시형태 2) (Embodiment 2)
다음에 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛에 대하여 설명한다. 본 실시 형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은 기본적인 구조가 실시형태 1와 공통되는 한편으로, 도전성 접촉자의 유지형태가 실시형태 1과 다른 구성을 가진다. 또한 이하의 설명에서 실시형태 1과 동일한 부호, 명칭을 붙인 구성요소는, 특별히 언급하지 않는 한에 있어서 실시형태 1과 동일한 구조, 기능을 가지는 것으로 한다. Next, the conductive contact unit according to the second embodiment will be described. The conductive contact unit according to the second embodiment has a basic structure common to that of the first embodiment, and has a structure different from that of the first embodiment. In addition, in the following description, the same code | symbol and naming component as
도 9는 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은 한쪽 끝이 검사대상 등의 회로구조와 접촉하는 도전성 접촉자(5)와, 도전성 접촉자(5)를 유지하는 유지부(6)와, 도전성 접촉자(5)를 거쳐 회로구조에 대하여 소정의 전기신호를 출력하는 신호출력회로(3)에 의하여 구성된다. 9 is a schematic diagram showing the configuration of the conductive contact unit according to the second embodiment. As shown in Fig. 9, the conductive contact unit according to the second embodiment includes a
도전성 접촉자(5)는 기본적인 구조로서는 실시형태 1에서의 도전성 접촉자(1)와 동일한 구성을 가지고 있고, 구체적으로는 도 10에 나타내는 구조를 가진다. 도 10에 나타내는 바와 같이 도전성 접촉자(5)는 실시형태 1의 도전성 접촉자(1)와 마찬가지로 제 1 접촉부(1a), 제 2 접촉부(1b) 및 탄성부(1c)를 구비하는 한편으로, 제 1 접촉부(1a)와 탄성부(1c)를 접속하는 접속부(5a)에는 개구부(5b)가 형성되고, 제 2 접촉부(1b)와 탄성부(1c)를 접속하는 접속부(5c)에는 개구부(5d)가 형성된다. 또한 접속부(5a, 5c)는 개구부가 형성되는 이외의 점에 대해서는 실시형태 1에서의 접속부(1d, 1e)와 각각 동일한 구조를 가지는 것으로 한다. The
개구부(5b)는, 유지부(6)에 유지되었을 때에 뒤에서 설명하는 핀부재(6d)를 관통시키기 위한 것이다. 또 개구부(5d)는 뒤에서 설명하는 제 3 가이드부재(6c)를 삽입하기 위한 것이고, 도전성 접촉자(5)가 가장 신장한 시점 및 가장 수축한 시점의 양쪽에서 제 3 가이드부재(6c)가 삽입된 상태를 유지하도록, 개구부(5d)는 도전성 접촉자(5)의 신축방향에 관하여 신축길이에 대응한 폭을 가지도록 형성된다. The
유지부(6)는 실시형태 1에서의 유지부(2)와 마찬가지로 도전성 접촉자(5)를 신축방향으로 슬라이딩 자유로운 상태로 유지하기 위한 것이다. 구체적으로는 유지부(6)는 도전성 접촉자(5)에 대하여 폭방향 양쪽 끝에 배치된 제 1 가이드부재(6a), 제 2 가이드부재(6b)와, 복수의 도전성 접촉자(5)의 각각에 형성된 개구부(5d)에 삽입된 제 3 가이드부재(6c)와, 도전성 접촉자(5)의 각각에 형성된 개구부(5b)에 삽입된 핀부재(6d)를 구비한다. 이들 구성요소는 도시를 생략한 소정의 고정부재에 의하여 서로의 위치관계가 고정되어 있고, 이것은 도전성 접촉자(5)가 신장 또는 수축할 때도 마찬가지이다. The holding
제 1 가이드부재(6a) 및 제 2 가이드부재(6b)는 각각 실시형태 1과 마찬가지로 도전성 접촉자(5)의 폭방향 끝부를 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 끼워 넣는 가이드홈(2e)이 형성되어 있는 한편으로, 가이드홈(2e)의 배열간격이 도전성 접촉자(5)의 배열간격의 대략 2배가 됨과 동시에, 제 1 가이드부재(6a)에 형성되는 가이드홈(2e)과 제 2 가이드부재(6b)에 형성되는 가이드홈(2e)이 판두께방향[도전성 접촉자(5)가 배열되는 방향, 도 5에서의 y축 방향]으로 교대로 위치하도록 형성된 다. Each of the
제 3 가이드부재(6c)는, 도전성 접촉자(5)에 형성된 개구부(5d)를 삽입하도록 막대형상의 부재에 의하여 형성된다. 또 제 3 가이드부재(6c)에는 제 1 가이드부재(6a) 및 제 2 가이드부재(6b)와 마찬가지로 소정의 가이드홈(6e)이 형성되고, 도전성 접촉자(5)의 일부를 가이드홈(6e)에 끼워 넣은 상태로 유지함으로써, 도전성 접촉자(5)를 신축방향으로 슬라이딩 자유로운 상태로 유지하는 기능을 가진다.The
도 11은 제 3 가이드부재(6c)의 구조를 나타내는 모식도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이 전체로서 막대형상으로 형성된 제 3 가이드부재(6c)의 측면에는 도전성 접촉자(5)의 신축방향과 평행한 방향으로 연신한 가이드홈(6e)이 형성되어 있다. 도 11에 모식적으로 나타내는 바와 같이 이와 같은 가이드홈(6e)에는 도전성 접촉자(5) 중 개구부(5d)의 바깥 가장자리를 형성하는 부분이 끼워 넣어지고, 이와 같은 부분이 끼워 넣어짐으로써 도전성 접촉자(5)는 신축방향으로 신축 자유롭게 슬라이딩 가능한 상태로 유지되게 된다. FIG. 11: is a schematic diagram which shows the structure of the
핀부재(6d)는, 도전성 접촉자(5)에 형성된 개구부(5b)를 삽입하도록 막대형상의 부재에 의하여 형성된다. 핀부재(6d)는 제 3 가이드부재(6c)와 달리 외경이 개구부(5b)의 지름과 대략 동일한 구조를 가지고, 도전성 접촉자(5)는 핀부재(6d)에 의하여 신축방향 및 폭방향에 관하여 고정되게 된다. 또한 이와 같은 핀부재(6d)는 실시형태 1에서의 유지판(2c, 2d)의 대체물로서 기능하는 것이고, 적어도 이론상은 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛에 필수적인 것이 아니다. The
도 12는 제 1 가이드부재(6a), 제 2 가이드부재(6b) 및 제 3 가이드부재(6c) 에 의한 도전성 접촉자(5)의 유지형태를 나타내는 모식도이고, 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛을 검사대상 등의 회로구조측에서 본 모식도이다. 도 12에 나타내는 바와 같이 판두께방향으로 배열된 복수의 도전성 접촉자(5)는, 각각이 개구부(5d)에서 제 3 가이드부재(6c)와, 제 1 가이드부재(6a) 또는 제 2 가이드부재(6b)에 의하여 유지된다. 즉, 본 실시형태 2에서는 유지되는 복수의 도전성 접촉자(5)는 일부가 제 3 가이드부재(6c)와 제 1 가이드부재(6a)의 각각에 형성된 가이드홈(6e, 2e)에 의하여 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 유지되는 한편으로, 나머지부가 제 3 가이드부재(6c)와 제 2 가이드부재(6b)의 각각에 형성된 가이드홈(6e, 2e)에 의하여 신축방향으로 슬라이딩 자유롭게 유지된 구성을 가진다. FIG. 12: is a schematic diagram which shows the holding form of the
또한 도전성 접촉자(5)에 관하여 제 1 가이드부재(6a)와 제 3 가이드부재(6c)에 의하여 유지되는 것과, 제 2 가이드부재(6b)와 제 3 가이드부재(6c)에 의하여 유지되는 것으로 다른 구조의 것을 채용하여도 좋으나, 본 실시형태 1에서는 동일구조의 것을 사용하는 것으로 한다. 도 10에도 나타낸 바와 같이 도전성 접촉자(5)는 개구부(5b, 5d)를 폭방향에 관하여 미리 편심된 위치에 형성하고 있다. 이 때문에 제 3 가이드부재(6c)와 제 1 가이드부재(6a), 제 2 가이드부재(6b) 사이의 거리를 적절하게 설정하여 둠으로써, 제 1 가이드부재(6a)에 의하여 유지되는 도전성 접촉자(5)에 대하여 제 2 가이드부재(6b)에 의하여 유지되는 도전성 접촉자(5)는 개구부(5b, 5d)를 지나는 신축방향의 축을 중심으로 하여 180°회전시켜 배치함으로써 동일구조의 것을 사용하였음에도 불구하고 제 2 가이드부재(6b) 및 제 3 가이드부재(6c)에 의하여 유지되게 된다. 말하자면 편심된 개구부(5b, 5c)에 관하여 서로 반대로 한 상태에서 판두께방향으로 배열함으로써, 예를 들면 판두께방향의 홀수번째에 위치하는 도전성 접촉자(5)는 제 1 가이드부재(6a)와 제 3 가이드부재(6c)에 의하여 유지되고, 짝수번째에 위치하는 도전성 접촉자(5)는 제 2 가이드부재(6b)와 제 3 가이드부재(6c)에 의하여 유지되게 된다. It is also different from that held by the
다음에 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛의 이점에 대하여 설명한다. 먼저, 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 실시형태 1과 마찬가지로 도전성 접촉자(5)를 가이드홈(2e, 6e)에 끼워 넣은 상태로 유지부(6)에 유지하는 구성을 채용함으로써, 도전성 접촉자(5)는 비틀림 및 좌굴을 일으키지 않고, 슬라이딩 마찰을 저감한 상태에서 신축하는 것이 가능하다. 또 가이드홈(2e, 6e)에 끼워 넣음으로써 도전성 접촉자(5)를 유지하는 구성을 채용하기 때문에, 관통구멍에 의하여 도전성 접촉자를 유지한 경우와 비교하여, 도전성 접촉자(5)의 배열간격을 협소화하는 것이 가능하다. Next, the advantages of the conductive contact unit according to the second embodiment will be described. First, the electroconductive contact unit which concerns on this
또, 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 접촉자(5)의 배열간격을 더욱 협소화하는 것이 가능하다. 실시형태 1에서도 설명한 바와 같이 가이드홈(2e) 등에 의하여 도전성 접촉자(5)를 유지하는 것으로 한 경우에는, 관통구멍에 의하여 유지한 경우보다 도전성 접촉자(5)의 배열간격을 협소화하는 것이 가능하다. 그러나 가이드홈(2e)을 사용한 경우에도 배열간격을 무한하게 협소화할 수 있다는 것이 아니라, 가이드홈(2e)의 형성간격의 한계에 의하여 도전성 접촉자(5)의 배열간격의 최소값이 규정되게 된다. In the conductive contact unit according to the second embodiment, the arrangement intervals of the
이것에 대하여 본 실시형태 2에서는 제 1 가이드부재(6a) 및 제 2 가이드부 재(6b)는 각각 유지하는 복수의 도전성 접촉자(5)의 일부 및 나머지부에만 대응한 가이드홈(2e)을 형성한 구조를 가지기 때문에, 도전성 접촉자(5)의 모두에 대응하여 가이드홈(2e)을 형성한 경우와 비교하여 동일한 정도의 배열간격의 경우에 인접하는 가이드홈(2e)의 간격을 넓히는 것이 가능하다. 이와 같은 구성을 채용함으로써 예를 들면 도 12에 나타낸 바와 같이 도전성 접촉자(5)의 배열방향에 관하여 교대로 가이드홈(2e)을 형성한 경우에는 제 1 가이드부재(6a) 및 제 2 가이드부재(6b)의 각각에 형성되는 가이드홈(2e)의 간격은, 실시형태 1에서의 제 1 가이드부재(2a) 및 제 2 가이드부재(2b)와 비교하여 대략 2배의 값으로 하는 것이 가능하다. 따라서 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 실시형태 1의 도전성 접촉자 유닛보다 더욱 도전성 접촉자(5)의 배열간격을 협소화할 수 있다는 이점을 가지게 된다. 또한 제 3 가이드부재(6c)는 도전성 접촉자(5)의 배열간격과 같은 배열간격의 가이드홈(6e)이 형성되나, 막대형상부재에 의하여 형성되는 제 3 가이드부재(6c)는 예를 들면 사출성형에 의하여 가이드홈(6e)을 포함하는 형상을 실현하는 것이 가능하기 때문에, 판형상체에 대한 에칭처리 등에 의하여 형성된 가이드홈(2e)과 비교하여 협소화가 용이하기 때문에 실질상 문제가 되는 것은 없다. In contrast, in the second embodiment, the
또한 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 제 1 가이드부재(6a) 및 제 2 가이드부재(6b)가, 도전성 접촉자(5)의 배열간격보다 넓은 간격의 가이드홈(2e)을 구비함으로써, 유지부(6)의 제작이 용이하다는 이점도 가진다. 즉, 도전성 접촉자(5)의 배열간격이 동일한 정도의 경우에는, 본 실시형태 2에서는 가이드홈(2e)을 예를 들면 2배의 간격으로 형성하면 충분하기 때문에, 에칭처리의 경우에 마스크 패턴의 형성이 용이하게 됨으로써, 유지부(6)의 제작이 용이해진다는 이점을 가진다. In the conductive contact unit according to the second embodiment, the
또, 본 실시형태 2에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 인접하는 도전성 접촉자(5)끼리가 서로 반대가 되도록 배치한 것에 의하여 배열방향으로 겹치는 면적을 저감할 수 있다. 이 때문에 인접하는 도전성 접촉자(5) 사이에 가령 기생용량이 생길 정도로 배열간격이 작은 경우이어도 겹침면적이 작기 때문에 용량값을 저감할 수 있다는 이점을 가진다. Moreover, the conductive contact unit which concerns on this
(실시형태 3) (Embodiment 3)
다음에 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛에 대하여 설명한다. 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 도전성 접촉자 자체의 구조를 연구함으로써 사용시에 있어서의 도전성 접촉자의 비틀림 및 좌굴의 발생을 억제한 구성을 가진다. Next, the conductive contact unit according to the third embodiment will be described. The electroconductive contact unit which concerns on this
도 13은 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자의 구성을 나타내는 모식도이다. 도 13에 나타내는 바와 같이 도전성 접촉자 유닛을 구성하는 도전성 접촉자(8)는 실시형태 1, 2와 마찬가지로 각각 검사대상 등의 회로구조에 구비되는 접속단자와 접촉하는 제 1 접촉부(8a)와, 신호출력회로(3)와 전기적으로 접속하기 위한 제 2 접촉부(8b)와, 실시형태 1, 2와 마찬가지로 제 1 접촉부(8a)와 제 2 접촉부(8b) 사이에 형성되고, 제 1 접촉부(8a) 및 제 2 접촉부(8b)에 대하여 탄발 가세하는 탄성부(8c)를 구비한다. 또 도전성 접촉자(8)는 제 1 접촉부(8a)와 탄성부(8c)의 사이를 접속하는 제 1 접속부(8d)와, 제 2 접촉 부(8b)와 탄성부(8c)의 사이를 접속하는 제 2 접속부(8e)를 구비하고, 각 부가 일체적으로 형성됨과 동시에 전체로서 판형상의 형상을 가진다. FIG. 13: is a schematic diagram which shows the structure of the conductive contact which comprises the conductive contact unit which concerns on this
제 1 접속부(8d, 8e)는, 각각 제 1 접촉부(8a)와 탄성부(8c), 제 2 접촉부(8b)와 탄성부(8c)의 사이를 접속한다는 점에서 실시형태 1, 2에서의 접속부(1d, 1e)와 동일한 구성을 가지나, 접속형태는 실시형태 1, 2와 다르다. 구체적으로는 제 1 접속부(8d)는 탄성부(8c)의 신축방향과 비평행한 방향, 예를 들면 자연상태[탄성부(8c)의 길이가 자연길이의 상태]일 때에 신축방향과 수직한 방향(도 13에서는 폭방향)으로 소정거리만큼 연신한 구조를 가짐과 동시에, 뒤에서 설명하는 유지부(9)에 의하여 유지되었을 때에 소정의 회전축을 중심으로 하여 회전 자유로워지도록 형성된다. In the first and second embodiments, the first connecting
구체적으로는 제 1 접속부(8d)는, 유지되었을 때에 유지부(9)를 구성하는 회전축(9a)(뒤에서 설명)의 측면과 맞닿기 위한 원호형상의 노치구조인 지점부(8f)가 형성되고, 지점부(8f)가 회전축(9a)의 측면과 맞닿은 상태에서 회전축(9a)의 중심에 대하여 회전 자유로운 상태로 유지부(9)에 유지되게 된다. 그리고 제 1 접속부(8d)는 소정거리만큼 연신한 부분 중, 회전중심에 대하여 서로 대칭이 되는 영역에서 탄성부(8c) 및 제 1 접촉부(8a)에 대하여 접속한 구조를 가진다. 회전중심에 대하여 대칭이 되는 영역에서 양자와 접속한 구조를 가짐으로써, 예를 들면 제 1 접속부(8d)가 시계회전방향으로 회전한 경우에는, 탄성부(8c)는 도 13에서의 우방향으로 신장하고, 제 1 접촉부(8a)는 좌방향으로 이동하게 된다. 이것은 예를 들면 제 1 접촉부(8a)에 대하여 도면 좌방향에 가압력이 주어진 경우에 제 1 접속 부(8d)가 회전중심에 대하여 시계회전방향으로 이동하여 탄성부(8c)가 도면 우방향으로 신장하는 것을 의미한다. 또 탄성부(8c)가 자연길이보다 신장한 경우에는, 탄성부(8c)의 수축방향(도면 좌방향)으로의 탄성력이 제 1 접속부(8d)에 주어짐으로써 제 1 접속부(8d)는 반시계회전방향으로의 우력(couple of forces)을 받고, 이와 같은 우력에 의거하여 제 1 접촉부(8a)는 돌출하는 방향(도면 우방향)으로 압력을 받는 것을 의미한다. Specifically, when the first connecting
이와 같은 구조는 제 2 접속부(8e)에 대해서도 마찬가지이다. 즉, 제 2 접속부(8e)는 탄성부(8c)의 신축방향과 비평행, 예를 들면 수직한 방향으로 소정길이만큼 연신한 구조를 가짐과 동시에, 유지부(9)에 유지된 경우에 소정의 회전축(9b)(뒤에서 설명)의 중심에 대하여 회전 자유로운 상태가 되도록, 회전축(9b)의 측면부와 맞닿는 원호형상의 노치 구조인 지점부(8g)가 형성된 구조를 가진다. 그리고 제 2 접속부(8e)는 회전중심에 대하여 대칭인 영역에서 탄성부(8c) 및 제 2 접촉부(8b)의 각각과 접속한 구조를 가지고, 도전성 접촉자(8)의 신축방향(즉, 폭방향 및 판두께방향에 대하여 수직한 방향으로서, 도 13에서의 가로방향)에 관하여 탄성부(8c)의 변형방향과 제 2 접촉부(8b)의 변위방향이 반대방향이 되도록 작용한다. This structure is the same also about the
또, 도전성 접촉자(8)는 지점부(8f, 8g) 근방에 판두께방향에 관하여 소정의 두께를 가지는 간격 유지부재(8h, 8i)가 배치된 구조를 가진다. 간격 유지부재(8h, 8i)는 복수의 도전성 접촉자(8)를 유지부(9)에 의하여 유지하였을 때에, 인접하는 도전성 접촉자(8) 사이의 간격을 유지하기 위한 것이다. 즉, 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛에서는 실시형태 1, 2와 마찬가지로 복수의 도전성 접촉자(8)를 판두께방향(도 13의 지면 대략 수직방향)으로 적층한 상태로 유지하는 구성을 채용하나, 인접하는 도전성 접촉자(8) 사이의 간격은, 검사대상 등의 회로구조에 형성된 접속단자의 배열간격에 대응하여 소정의 값으로 할 필요가 있다. 본 실시형태 3에서는 인접하는 도전성 접촉자(8) 사이의 간격을 규정하기 위하여 예를 들면 절연성부재에 의하여 구성된 간격 유지부재(8h, 8i)를 지점부(8f, 8g) 근방에 배치한 구조를 채용한다. In addition, the
다음에 도 13에 나타낸 도전성 접촉자(8)를 포함하는 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 전체구성에 대하여 설명한다. 도 14는 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 전체구성을 나타내는 모식도이다. 도 14에 나타내는 바와 같이 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 도 13에 나타낸 도전성 접촉자(8)를 판두께방향으로 복수 배열한 상태로 유지하는 구성을 채용하고, 구체적으로는 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛은, 판두께방향으로 배열한 복수의 도전성 접촉자(8)와, 각각의 도전성 접촉자(8)에 형성된 지점부(8f)인 노치구조의 바깥 가장자리와 맞닿은 회전축(9a)과, 지점부(8g)인 노치구조의 바깥 가장자리와 맞닿은 회전축(9b)을 구비한 유지부(9)에 의하여 형성된다. 또한 도 14에서는 구조를 단순화하기 위하여 유지부(9)가 회전축(9a, 9b)에 의해서만 구성된 예를 나타내었으나, 회전축(9a, 9b)에 더하여 복수의 도전성 접촉자(8)를 내부에 수용하는 소정의 외장구조 등을 구비하는 것으로 하여도 좋다. 또 도 14에서는 도시를 생략하였으나, 본 실시형태 3에서도 실시형태 1, 2와 마찬가지로 도전성 접촉자(8)와 전기적으로 접속한 신호출력회로(3)를 구비하는 것으로 한다. Next, the overall configuration of the conductive contact unit according to the third embodiment including the
회전축(9a, 9b)은, 제 1 접속부(8d, 8e)의 각각을 회전 자유로운 상태에서 복수의 도전성 접촉자(8)를 유지하는 기능을 가진다. 구체적으로는 회전축(9a, 9b)은 각각 도전성 접촉자의 판두께방향으로 길이방향을 가지는 원주형상의 부재에 의하여 형성되어 있고, 측면에서 지점부(8f, 8g)의 각각과 슬라이딩 자유롭게 맞닿은 상태에서 도전성 접촉자(8)를 유지하는 기구를 가진다. 이 때문에 도전성 접촉자(8)는 회전축(9a, 9b)의 축을 중심으로 하여, 각각 제 1 접속부(8d, 8e)가 회전 자유로운 상태로 유지부(9)에 유지된다. 또한 회전축(9a, 9b)은 서로가 도시를 생략한 고정부재에 의하여 위치관계가 고정되어 있고, 이와 같은 위치관계는 도전성 접촉자(8)의 동작의 유무에 관계없이 유지되는 것으로 한다. The
다음에 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 동작에 대하여 설명한다. 이미 설명한 바와 같이, 도전성 접촉자 유닛은 검사대상 등의 회로구조에 형성된 접속단자에 대하여 도전성 접촉자(8)가 물리적으로 접촉함으로써 회로구조에 대한 전기적 접속을 실현하는 것이다. 그리고 회로구조의 접속단자에 대하여 양호한 전기적 접속을 실현하기 위해서는 도전성 접촉자(8)에 구비되는 제 1 접촉부(8a)가 소정의 가압력으로 접속단자와 접촉함으로써 전기적인 접촉저항을 저감할 필요가 있고, 이와 같은 가압력을 공급하는 구조가 도전성 접촉자(8)에는 필요하게 된다. 본 실시형태 3에서는 이와 같은 가압력의 공급원리가 실시형태 1, 2와 다른 것으로 되어 있다. Next, the operation of the conductive contact unit according to the third embodiment will be described. As described above, the conductive contact unit realizes electrical connection to the circuit structure by bringing the
도 15는 도전성 접촉자 유닛의 동작을 설명하기 위한 모식도이다. 도 15에 나타내는 바와 같이 도전성 접촉자 유닛의 사용시에는 도전성 접촉자(8)는, 제 1 접촉부(8a)에서 회로구조(11)에 구비되는 접속단자(1h)와 물리적으로 접촉하고, 제 2 접촉부(8b)에서 신호출력회로(3)에 구비되는 단자(3a)와 물리적으로 접촉한다. 그리고 접속단자(11a) 및 단자(3a)의 각각으로부터 제 1 접촉부(8a) 및 제 2 접촉부(8b)에 대하여 가압력이 인가되기 때문에, 도 15에 나타내는 바와 같이 제 1 접속부(8d, 8e)는 각각 시계회전방향, 반시계회전방향으로 소정의 각도만큼 회전한다. 이 때문에 탄성부(8c)는 길이방향의 길이가 자연길이보다 신장하게 되고, 길이방향 길이가 신장됨으로써 탄성부(8c)는 압축방향으로 탄성력을 일으키게 된다.It is a schematic diagram for demonstrating operation | movement of a conductive contact unit. As shown in FIG. 15, when the conductive contact unit is used, the
이 때문에 제 1 접속부(8d, 8e)는 탄성부(8c)와의 접속부분에서 탄성부(8c)로부터의 탄성력에 의거하여 각각 반시계회전방향, 시계회전방향에 우력을 받게 된다. 이와 같은 우력은 제 1 접속부(8d, 8e)를 거쳐 제 1 접촉부(8a) 및 제 2 접촉부(8b)에 전달되고, 제 1 접촉부(8a) 및 제 2 접촉부(8b)는 각각 접속단자(1h), 단자(3a)에 대하여 근접하는 방향으로 가압력을 받는다. 이 때문에 접촉단자(11a), 단자(3a)에 대하여 소정의 가압력을 인가한 상태에서 물리적으로 접촉하게 되고, 접속단자(11a), 단자(3a)에 대한 전기적인 접촉저항이 저감된 상태에서 전기적으로 접속하게 된다.For this reason, the first connecting
이와 같이 본 실시형태 3에는 도전성 접촉자(8)는 실시형태 1, 2와는 달리 접속단자(1h), 단자(3a)와의 접촉에 의하여 제 1 접촉부(8a) 및 제 2 접촉부(8b)가 변위하였을 때에 탄성부(8c)가 신장하고, 탄성부(8c)가 자연길이로 되돌아가려고 하기 때문에 생기는 탄발력에 의하여 제 1 접촉부(8a) 및 제 2 접촉부(8b)에 대하 여 탄발 가세하는 구조를 가진다. 이와 같은 작용의 상위에 기인한 본 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 이점에 대하여 이하에 설명한다. As described above, in the third embodiment, unlike the first and second embodiments, the
처음부터 종래 문제가 된 좌굴, 비틀림 등은 길이방향의 길이가 수축하도록 외력이 작용한 경우에, 예를 들면 판형상으로 형성된 도전성 접촉자에서는 수축방향의 외력을 길이방향의 변형에 의해서만 흡수할 수 없고, 판형상체의 판두께방향 등으로도 변형함으로써 생기는 것이다. 따라서 본래적으로 좌굴 등은 도전성 접촉자의 구성요소인 탄성부를 수축시켰을 때에 생길 수 있는 현상이다. 이것에 대하여 본 실시형태 3에서는 도 15에도 나타내는 바와 같이 사용시에는 탄성부(8c)가 신장한 상태가 되기 때문에, 애당초 좌굴 등이 생기는 전제 조건을 해소하게 된다. 따라서 제 1 접속부(8d, 8e)가 회전 자유로운 상태로 유지되고, 회전중심에 대하여 대칭의 위치가 되도록 제 1 접촉부(8a), 제 2 접촉부(8b)와 탄성부(8c)가 배치됨으로써, 도전성 접촉자(8)는 사용시에 탄성부(8c)가 수축하는 것을 회피하는 것이 가능하게 되어 탄성부(8c)의 수축에 따라 생길 수 있는 좌굴, 비틀림 등의 발생을 억제 또는 방지할 수 있다는 이점을 가지게 된다. In the case of buckling, torsion, etc., which have become a problem in the past from the beginning, when the external force acts to contract the length in the longitudinal direction, for example, in the conductive contact formed in the plate shape, the external force in the contraction direction cannot be absorbed only by the deformation in the longitudinal direction. And deformation in the plate thickness direction of the plate-shaped body. Therefore, inherently, buckling or the like is a phenomenon that can occur when the elastic portion that is a component of the conductive contact is contracted. On the other hand, in the third embodiment, as shown in FIG. 15, the
또, 본 실시형태 3에서는 도전성 접촉자(8) 자체가 좌굴 등을 일으키기 어려운 구조가 됨으로써, 도전성 접촉자 유닛을 간이한 구조로 형성할 수 있다는 이점도 가진다. 즉, 실시형태 1, 2에서는 도전성 접촉자에 좌굴, 비틀림 등이 생기는 일이 없도록 가이드홈(2e) 등을 형성한 구성이 필요하였으나, 본 실시형태 3에서는 도전성 접촉자(8)를 물리적으로 유지함과 동시에 제 1 접속부(8d, 8e)가 회전 자유로워지도록 회전축(9a, 9b)을 최저한 배치함으로써 유지부(9)를 실현하는 것이 가 능하다. 따라서 간이한 구성에 의하여 유지부(9)를 형성하는 것이 가능하고, 전체로서 간이한 구조의 도전성 접촉자 유닛을 실현할 수 있다는 이점을 가지게 된다. Moreover, in
또한 본 실시형태 3은 도전성 접촉자(8)의 유지형태로서 가이드홈을 이용한 형태를 부정하는 것은 아니고, 예를 들면 도전성 접촉자(8)를 유지함에 있어서 실시형태 1, 2에 나타낸 유지부를 유용한 구조도 유용하다. 예를 들면 도전성 접촉자(8)에서 간격 유지부재(8h, 8i)를 생략하는 한편으로, 회전축(9a, 9b) 대신에 실시형태 2에서 사용한 제 3 가이드부재를 지점부(8f, 8g)의 각각에 대하여 맞닿은 상태에서 사용하는 것도 유효하다. 실시형태 2에서도 설명한 바와 같이 제 3 가이드부재는 도전성 접촉자의 배열방향으로 연신한 막대형상부재에 의하여 형성됨과 동시에 측면상에 도전성 접촉자의 신축방향으로 연신한 가이드홈이 형성된 구조를 가지고, 이와 같은 가이드홈에 도전성 접촉자의 일부를 끼워 넣음으로써 슬라이딩 자유로운 상태를 유지하면서 도전성 접촉자를 유지하는 것이 가능하다. 이와 같은 원리를 응용하여 지점부(8f, 8g)의 회전방향으로 연신한 가이드홈을 설치하고, 이와 같은 가이드홈에 대하여 지점부(8f, 8g)를 끼워 넣은 상태에서 도전성 접촉자(8)를 유지함으로써 상기한 이점을 누리면서 가이드홈을 사용한 것에 의한 이점도 누리는 것이 가능하다. In addition, this
또, 실시형태 2에서 나타낸 바와 같이 인접하는 도전성 접촉자(8)끼리가 서로 반대가 되는 상태로 유지하는 것도 유효하다. 도 16은 실시형태 3에 관한 도전성 접촉자 유닛의 변형예의 구성을 나타내는 모식도이다. 예를 들면 도전성 접촉자(8)의 구조에 관하여 길이방향 중심축으로부터 어긋난 위치에 지점부(8f, 8g)를 형성하여 둠으로써, 인접하는 도전성 접촉자(8)끼리가 지점부(8f, 8g)를 지나는 직선을 축으로 하여 서로 180°회전한 상태로 유지됨으로써 도 16에 나타내는 도전성 접촉자 유닛을 실현하는 것이 가능하다. 이와 같은 구조를 채용함으로써, 실시형태 2에서도 설명한 바와 같이 예를 들면 인접하는 도전성 접촉자(8) 사이에서 생길 수 있는 기생용량의 값을 저감할 수 있는 등의 효과를 기대할 수 있다. Moreover, as shown in
이상, 실시형태 1 내지 3에 걸쳐 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시형태 1 내지 3에만 한정하여 해석하여야 하는 것은 아니고, 당업자이면 여러가지 실시예, 변형예에 상도하는 것이 가능하다. 예를 들면 실시형태 1 내지 3을 통하여 도전성 접촉자는 판형상의 부재에 의하여 형성하는 것으로 하였으니, 이와 같은 구조로 한 것은 단체에서는 통상 좌굴, 비틀림 등이 생기기 쉬운 것을 예로 하였기 때문으로서, 예를 들면 원주형상의 도전성 접촉자에 대하여 본 발명을 적용하여도 좋다. 또 예를 들면 실시형태 1에서는 도전성 접촉자(1)의 폭방향 양쪽 끝부를 전체에 걸쳐 가이드홈(2e)에 끼워 넣은 구성으로 하였으나, 더욱 단순한 구조로 하여 예를 들면 도전성 접촉자의 외표면상에 돌기를 형성하여 두고 이와 같은 돌기를 가이드홈에 끼워 넣는 구성으로 하여도 좋다. 즉, 가이드홈에 끼워 넣는 부분으로서는 도전성 접촉자의 어느 부분으로 하여도 상기한 이점을 누리는 가능하다. As mentioned above, although this invention was demonstrated through Embodiment 1-3, this invention is not limited to only said Embodiment 1-3 and it should be interpreted by those skilled in the art to various examples and modifications. For example, in the first to third embodiments, the conductive contact is formed by a plate-shaped member. The reason for such a structure is that a single member usually causes buckling, torsion, and the like. The present invention may be applied to the conductive contact of. For example, in
이상과 같이 본 발명에 관한 도전성 접촉자 유닛 및 도전성 접촉자는, 반도체 집적회로 등의 검사대상의 전기특성검사에 유용하고, 특히 검사대상인 반도체 집적회로 등의 미세화경향에 따르는 접속단자의 배열간격의 협소화에 대응한 전기 특성검사를 행하는 데 적합하다. As described above, the conductive contact unit and the conductive contact according to the present invention are useful for inspecting electrical characteristics of inspection targets such as semiconductor integrated circuits, and in particular, for narrowing the spacing of the connection terminals according to the miniaturization tendency of the inspection target semiconductor integrated circuits and the like. It is suitable for conducting corresponding electrical property tests.
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