KR100941447B1 - Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb - Google Patents

Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb Download PDF

Info

Publication number
KR100941447B1
KR100941447B1 KR1020070133325A KR20070133325A KR100941447B1 KR 100941447 B1 KR100941447 B1 KR 100941447B1 KR 1020070133325 A KR1020070133325 A KR 1020070133325A KR 20070133325 A KR20070133325 A KR 20070133325A KR 100941447 B1 KR100941447 B1 KR 100941447B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide
magazine
guide table
plasma
plate
Prior art date
Application number
KR1020070133325A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20090065819A (en
Inventor
백태일
노진명
이배진
박윤철
박남선
권기석
Original Assignee
주식회사제4기한국
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사제4기한국 filed Critical 주식회사제4기한국
Priority to KR1020070133325A priority Critical patent/KR100941447B1/en
Priority to PCT/KR2008/001060 priority patent/WO2009078503A1/en
Publication of KR20090065819A publication Critical patent/KR20090065819A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100941447B1 publication Critical patent/KR100941447B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H01L21/67781—Batch transfer of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
    • H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
    • H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치에 관한 것으로, 다수의 프레임이 조립되어 이루어지고, 상면에는 한쌍의 매거진안내레일이 설치된 제1가이드테이블과; 상기 제1가이드테이블의 매거진안내레일을 따라 이동되게 설치되며, 중앙부가 일정크기로 절개 형성된 제1,2대차와; 상기 제1,2대차를 구동시키도록 상기 제1가이드테이블의 양단부에 설치된 제1,2대차실린더와; 상기 제1가이드테이블의 길이 중앙부에 설치되고, 실린더에 의해 상기 제1,2대차중 어느 하나의 절개된 중앙부를 통해 상승되게 설치되는 반송용테이블과; 상기 제1,2대차상에 분리가능하게 안착고정되고, 내부에는 다수의 가이드슬롯을 가지며, 이 가이드슬롯에는 윈도우프레임이 실장되는 매거진과; 상기 반송용테이블이 설치된 부위에서 상기 제1가이드테이블과 직교되는 방향으로 동일평면을 이루며 연장설치된 제2가이드테이블과; 상기 제2가이드테이블상에 조립되고, 실린더에 의해 동작되며, 선단에는 상기 매거진의 양측면을 파지하는 클램프를 가진 작동프레임과; 상기 제1가이드테이블을 사이에 두고 상기 제2가이드테이블의 연장선상에 상기 반송용테이블과 대응되는 높이로 설치되며, 구동모터와 스크류샤프트에 의해 다단 승하강가능하게 설치된 제3가이드테이블과; 상기 제3가이드테이블 전방에 설치되고, 적치대에 적재된 PCB를 흡착이동시켜 상기 매거진에 실장된 윈도우프레임을 인출하여 상기 PCB를 세팅한 후 다시 인입시키는 PCB장착부와; 상기 제1가이드테이블의 일단과 이격설치된 진공 처리용 플라즈마 챔버와; 상기 플라즈마챔버의 전방에 상기 제1가이드테이블의 폭만큼 떨 어져 설치되고, 상기 매거진에 실장된 다수의 윈도우프레임을 한꺼번에 플라즈마챔버로 이동시키도록 다수의 로딩바를 갖는 로더로 구성된다.The present invention relates to a plasma continuous automatic processing apparatus of a PCK, comprising: a first guide table having a plurality of frames assembled thereon, and having a pair of magazine guide rails disposed on an upper surface thereof; First and second trolleys installed to be moved along the magazine guide rails of the first guide table and having a central portion cut in a predetermined size; First and second bogie cylinders installed at both ends of the first guide table to drive the first and second bogies; A conveying table which is provided at a central portion of a length of the first guide table and is mounted to be lifted through a central portion cut out of one of the first and second carts by a cylinder; A magazine which is detachably mounted on the first and second bogies and has a plurality of guide slots therein, the guide slots having a window frame mounted thereon; A second guide table extending in the same plane in a direction orthogonal to the first guide table at a portion where the transport table is installed; An operating frame assembled on the second guide table and operated by a cylinder, the operating frame having a clamp at its front end that grips both sides of the magazine; A third guide table disposed on an extension line of the second guide table with the first guide table interposed therebetween, the third guide table being provided to be moved up and down by a drive motor and a screw shaft; A PCB mounting unit installed at the front of the third guide table and drawing out the window frame mounted on the magazine by suction moving the PCB loaded on the loading rack and setting the PCB again; A plasma chamber for vacuum treatment spaced apart from one end of the first guide table; It is installed in the front of the plasma chamber apart from the width of the first guide table, it is composed of a loader having a plurality of loading bars to move a plurality of window frames mounted in the magazine at one time to the plasma chamber.

본 발명에 따르면, 비교적 두께가 얇은 PCB를 비롯한 각종 평판디스플레이 제조용 유리 혹은 플렉시블기판 등의 표면을 세정, 개질, 에칭함에 있어 연속적으로 처리가능함으로써 대량생산이 용이하고 작업효율이 향상되며, 자동화를 통한 인력절감, 제조비용 절감은 물론 기판의 구김이나 번트(Burnt)의 문제를 방지하는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to continuously process in cleaning, modifying and etching surfaces of glass or flexible substrates for manufacturing various flat panel displays including relatively thin PCBs, thereby facilitating mass production and improving work efficiency, and through automation. In addition to reducing manpower and manufacturing costs, the board is also effective in preventing wrinkles and burnts.

PCB, 플라즈마, 연속, 자동, 구김, 번트 PCB, Plasma, Continuous, Automatic, Crease, Burnt

Description

ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치{AUTO PLASMA CONTINUOUS TREATMENT APPARATUS OF PCB}Plasma Continuous Automatic Processing Equipment of PCC {AUTO PLASMA CONTINUOUS TREATMENT APPARATUS OF PCB}

본 발명은 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 ＰＣＢ의 플라즈마처리시 윈도우프레임과 분리 합체를 용이하게 하고 자동 로딩 및 언로딩 기능을 보유토록 하여 특히 두께가 얇은 ＰＣＢ의 처리시 발생되는 기판의 구김, 전극접촉에 따라 태워지는 불량 등을 방지할 수 있도록 개선된 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma continuous automatic processing apparatus of a PCX, and more particularly, to facilitate separation and coalescence of a window frame and to have an automatic loading and unloading function during a plasma processing of a PCX, especially when processing a thin PCC. The present invention relates to an apparatus for continuously processing plasma of a PCC which is improved to prevent wrinkles of substrates generated and defects burned by electrode contact.

잘 알려진 바와 같이, 플라즈마는 전기가 통하는 국부적 전리상태의 가스로 이온, 전자, 중성입자 및 래디칼로 이루어져 있으며, 기체, 액체 및 고체와는 다른 성질을 가지는 제4의 물질상태를 말한다.As is well known, plasma is a locally energized gas which is composed of ions, electrons, neutral particles, and radicals, and refers to a fourth material state having properties different from gases, liquids, and solids.

이러한 플라즈마는 높은 온도 또는 전기장을 가하여 얻을 수 있으며, 화학적, 또는 물리적으로 반응성이 대단히 강하다. Such a plasma can be obtained by applying a high temperature or an electric field, and is extremely chemically or physically responsive.

이와 같은 플라즈마는 금속, 폴리머, 나일론 등의 각종 재료의 표면에너지를 변화시켜 접합강도를 높이기 위한 분야를 비롯하여 수 많은 분야에 유용하게 응용되어 활용되고 있다.Such plasma is usefully applied to a number of fields, including a field for increasing the bonding strength by changing the surface energy of various materials such as metal, polymer, nylon, and the like.

예컨대, LCD, PDP, FED 등의 평판 디스플레이 제조용 유리의 표면을 세정하거나 PCB, MLB 등의 강체 혹은 플렉시플기판의 표면을 개질하는 등에 유용하게 활용되고 있다.For example, it is useful for cleaning the surface of glass for manufacturing flat panel displays, such as LCD, PDP, and FED, or for modifying the surface of rigid or flexible substrates such as PCB and MLB.

그런데, 상기와 같은 피처리물들중, 특히 두께가 얇은 PCB의 경우는 PCB를 플라즈마 처리하기 위해 장입, 이송하는 중에 구김이 발생되거나 전극접촉시 정전기 등에 의해 PCB의 주요부가 타버리는(Burnt) 문제가 발생되어 생산성이 급격히 떨어지는 단점을 가진다.However, among the above-described workpieces, particularly in the case of a thin PCB, wrinkles are generated during charging and transferring of the PCB for plasma treatment, or a major part of the PCB burns out due to static electricity when the electrode is touched. Has a disadvantage in that productivity is sharply dropped.

또한, PCB에 플라즈마를 가하여 그 표면을 세정하거나 개질할 때 전기가 통하는 국부적 전리상태의 가스인 플라즈마의 특성상 밀폐된 일정공간상에서 플라즈마 발생장치를 통해 발생된 플라즈마를 단독 혹은 일정한 반응가스와 함께 피처리물의 표면에 조사토록 함으로써 작업이 수행되게 되므로 피처리물을 연속적으로 처리하기 곤란한 점이 있다.In addition, due to the characteristics of the plasma, which is a local ionized gas that is energized when the plasma is applied to the PCB to clean or modify its surface, the plasma generated by the plasma generator in a closed space is treated alone or with a constant reaction gas. Since the work is performed by irradiating the surface of the water, it is difficult to continuously process the workpiece.

따라서, 기존에는 플라즈마 방사가 가능한 밀폐된 일정공간상으로 피처리물을 낱장공급하여 일일이 처리하여야 하는 불편함이 있었고, 이로 인해 피처리물 처리에 따른 시간과 비용이 증대되고 생산량이 저하되는 단점이 있었다.Therefore, conventionally, there was an inconvenience of supplying the workpieces individually in a closed space capable of plasma radiation, and thus processing them daily, thereby increasing the time and cost according to the treatment of the workpieces, and reducing the yield. there was.

본 발명은 전술한 바와 같은 종래 기술이 갖는 제반 문제점을 감안하여 이를 해결하기 위해 창출된 것으로, PCB를 비롯한 각종 평판디스플레이 제조용 유리 혹은 MLB 등의 기판 표면에 플라즈마를 조사하여 에칭, 세정, 개질 등의 처리작업을 수행할 때에 일정한 시간간격을 두고 피처리물이 적층, 이송, 로딩, 처리, 언로딩, 이송, 탈거의 순서로 자동 연속처리되게 하여 생산성 향상을 극대화시키고, 처리시 기판의 구김이나 타버리는 등의 문제도 방지할 수 있도록 한 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치를 제공함에 그 주된 해결 과제가 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and the present invention has been developed to solve such problems, such as etching, cleaning, modifying, etc. by irradiating a plasma on a substrate surface such as glass or MLB for manufacturing various flat panel displays including PCB. When performing the processing work, the processed materials are automatically processed continuously in the order of lamination, transfer, loading, processing, unloading, transfer and removal at a certain time interval to maximize the productivity improvement, and to wrinkle or other substrates during processing. There is a main problem to provide a plasma continuous automatic processing apparatus of a PCX which can prevent problems such as discarding.

본 발명은 상기한 해결 과제를 달성하기 위한 수단으로, 다수의 프레임이 조립되어 이루어지고, 상면에는 한쌍의 매거진안내레일이 설치된 제1가이드테이블과; 상기 제1가이드테이블의 매거진안내레일을 따라 이동되게 설치되며, 중앙부가 일정크기로 절개 형성된 제1,2대차와; 상기 제1,2대차를 각각 구동시키도록 상기 제1가이드테이블의 양단부에 설치된 제1,2대차실린더와; 상기 제1가이드테이블의 길이방향 중앙부에 설치되고, 실린더에 의해 상기 제1,2대차중 어느 하나의 절개된 중앙부를 통해 상승되게 설치되는 반송용테이블과; 상기 제1,2대차상에 분리가능하게 안착고정되고, 내부에는 다수의 가이드슬롯을 가지며, 이 가이드슬롯에는 윈도우프레임이 실장되는 매거진과; 상기 반송용테이블이 설치된 부위에서 상기 제1가이드테이블과 직교되는 방향으로 동일평면을 이루며 연장설치된 제2가이드테이블과; 상기 제2가이드테이블상에 조립되고, 실린더에 의해 동작되며, 선단에는 상기 매거진의 양측면을 파지하는 클램프를 가진 작동프레임과; 상기 제1가이드테이블을 사이에 두고 상기 제2가이드테이블의 연장선상에 상기 반송용테이블과 대응되는 높이로 설치되며, 구동모터와 스크류샤프트에 의해 다단 승하강가능하게 설치된 제3가이드테이블과; 상기 제3가이드테이블 전방에 설치되고, 적치대에 적재된 PCB를 흡착이동시켜 상기 매거진에 실장된 윈도우프레임을 인출하여 상기 PCB를 세팅한 후 다시 인입시키는 PCB장착부와; 상기 제1가이드테이블의 일단과 이격설치된 진공 처리용 플라즈마 챔버와; 상기 플라즈마챔버의 전방에 상기 제1가이드테이블의 폭만큼 떨어져 설치되고, 상기 매거진에 실장된 다수의 윈도우프레임을 한꺼번에 플라즈마챔버로 이동시키도록 다수의 로딩바를 갖는 로더로 구성된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치를 제공한다.The present invention is a means for achieving the above problems, a plurality of frames are assembled, the first guide table is provided with a pair of magazine guide rails on the upper surface; First and second trolleys installed to be moved along the magazine guide rails of the first guide table and having a central portion cut in a predetermined size; First and second bogie cylinders provided at both ends of the first guide table to drive the first and second bogies, respectively; A conveying table which is provided at a central portion in the longitudinal direction of the first guide table and is mounted to be lifted through the cut center portion of any one of the first and second carts by a cylinder; A magazine which is detachably mounted on the first and second bogies and has a plurality of guide slots therein, the guide slots having a window frame mounted thereon; A second guide table extending in the same plane in a direction orthogonal to the first guide table at a portion where the transport table is installed; An operating frame assembled on the second guide table and operated by a cylinder, the operating frame having a clamp at its front end that grips both sides of the magazine; A third guide table disposed on an extension line of the second guide table with the first guide table interposed therebetween, the third guide table being provided to be moved up and down by a drive motor and a screw shaft; A PCB mounting unit installed at the front of the third guide table and drawing out the window frame mounted on the magazine by suction moving the PCB loaded on the loading rack and setting the PCB again; A plasma chamber for vacuum treatment spaced apart from one end of the first guide table; Plasma of the PC is installed in front of the plasma chamber by a width of the first guide table, the loader having a plurality of loading bars to move a plurality of window frames mounted in the magazine to the plasma chamber at once Provides a continuous automatic processing device.

이때, 상기 제1,2대차중 상기 제1대차는 초기 진입된 상기 매거진을 싣고 상기 제1가이드테이블의 일단으로부터 중앙부의 반송용테이블까지만 왕복이동되게 설치되고, 상기 제2대차는 PCB를 실장한 매거진을 싣고 상기 제1가이드테이블의 중앙부에 설치된 반송용테이블로부터 플라즈마챔버가 설치된 제1가이드테이블의 타단까지만 왕복이동되게 설치된 것에도 그 특징이 있다.At this time, the first bogie of the first bogie and the second bogie loads the magazine initially entered, and is installed to reciprocate only from one end of the first guide table to the transfer table in the center, and the second bogie is mounted with a PCB. It is also characterized in that the magazine is mounted so as to reciprocate only from the transport table provided at the center of the first guide table to the other end of the first guide table provided with the plasma chamber.

또한, 상기 제1,2대차에 안착되는 상기 매거진은 사각형상의 바닥판과, 상기 바닥판의 네모서리로부터 세워고정된 측판과, 상기 측판의 상단에 고정된 상판으로 형성되되 상판은 'ㄷ' 형상으로 절개부를 갖고, 측판은 상기 상판의 'ㄷ' 형상 절개부 방향으로 전후양쪽이 개방되며, 측판의 내부에는 개방된 방향으로 배열된 가이드슬롯이 상하로 다수 설치된 구성으로 이루어진 것에도 그 특징이 있다.In addition, the magazine seated on the first and second bogies is formed of a rectangular bottom plate, a side plate fixed from the corners of the bottom plate, and a top plate fixed to the top of the side plate, the top plate having a 'c' shape. It has a cutout, the side plate is characterized in that the front and rear both sides open in the direction of the 'c'-shaped cutout of the upper plate, the inside of the side plate consists of a plurality of guide slots arranged in the open direction up and down. .

뿐만 아니라, 상기 매거진의 네모서리에는 상판과 가이드슬롯을 관통하여 고정바가 설치되고, 상기 고정바는 그 길이방향으로 상기 가이드슬롯의 폭에 대응되는 홈이 요철형태로 교대 반복되며, 상기 상판에는 상기 고정바가 끼워져 유동될 수 있는 공간을 갖는 상부캡이 고정되고, 상기 상판과 고정바의 상단 사이에는 스프링이 개재되며, 상기 고정바의 하단에는 하부캡이 끼워지되 상기 하부캡은 상기 매거진의 바닥판상에 형성된 홈에 끼워지고, 상기 홈에는 하부캡보다 작은 직경의 구멍이 뚫리며, 상기 제1,2대차에는 상기 구멍을 관통하여 해제핀실린더에 의해 승하강되면서 상기 고정바를 밀어올리는 해제핀이 설치된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the four corners of the magazine is provided with a fixing bar penetrating through the upper plate and the guide slot, the fixing bar is a groove corresponding to the width of the guide slot in the longitudinal direction is alternately repeated in the irregular shape, the upper plate is An upper cap having a space in which a fixing bar is inserted and flowable is fixed, and a spring is interposed between the upper plate and an upper end of the fixing bar, and a lower cap is inserted at a lower end of the fixing bar, but the lower cap is on the bottom plate of the magazine. Fitted into a groove formed in the groove, a hole of a diameter smaller than the lower cap is drilled, and the first and second bogies are provided with a release pin for pushing up the fixing bar while being raised and lowered by a release pin cylinder through the hole. It also has its characteristics.

아울러, 상기 매거진의 바닥판에 설치된 하부캡들 사이에는 적어도 하나 이상의 고정공이 더 형성되고, 상기 제1,2대차에는 상기 고정공을 관통하여 고정핀실린더에 의해 승하강되면서 상기 매거진을 고정시키는 고정핀이 더 설치된 것에도 그 특징이 있다.In addition, at least one fixing hole is further formed between the lower caps installed on the bottom plate of the magazine, and the first and second bogies are fixed to the magazine while being moved up and down by a fixing pin cylinder through the fixing hole. More pins are also featured.

또한, 상기 윈도우프레임은 그 4변에 내부의 개구에 안착된 PCB를 고정하는 고정구가 설치되고, 상기 4변중 어느 한변 중앙에는 입구가 좁고 입구 뒷부분부터 좌우양측으로 확장된 걸림홈이 형성된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the window frame is provided with a fixture for fixing the PCB seated in the inner opening on its four sides, and even in the center of any one of the four sides is formed in the center of one of the four sides is formed in the locking groove extending from the rear side to the left and right sides There is a characteristic.

그리고, 상기 작동프레임에는 프레임아암실린더가 설치되고, 상기 프레임아암실린더에는 프레임아암이 연결되며, 상기 프레임아암의 선단에는 상기 클램프가 고정된 것에도 그 특징이 있다.In addition, a frame arm cylinder is installed in the working frame, a frame arm is connected to the frame arm cylinder, and the clamp is fixed to the front end of the frame arm.

나아가, 상기 제3가이드테이블에는 상기 매거진에 끼워져 이를 고정하기 위한 고정핀과, 상기 고정핀을 승하강시키는 고정핀실린더가 더 설치된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the third guide table is characterized in that the fixing pin is inserted into the magazine for fixing it, and the fixing pin cylinder for raising and lowering the fixing pin is further installed.

뿐만 아니라, 상기 제3가이드테이블의 일측에는 고정블럭이 고정되고, 상기 고정블럭에는 고정로드가 연결되며, 상기 고정로드의 단부에는 내경에 나사산을 갖 는 타임벨트풀리박스가 고정되고, 상기 타임벨트풀리박스에는 상기 스크류샤프트가 치결합되며, 상기 스크류샤프트의 양단은 베이스프레임의 상하단에 자회전가능하게 베어링고정되고, 상기 스크류샤프트의 하단부에는 타임벨트풀리가 고정되며, 상기 타임벨트풀리는 상기 베이스프레임상에 고정된 구동모터와 타이밍벨트로 연결되는 것에도 그 특징이 있다.In addition, a fixing block is fixed to one side of the third guide table, a fixing rod is connected to the fixing block, and a time belt pulley box having a thread in an inner diameter is fixed to an end of the fixing rod, and the time belt is fixed. The screw shaft is coupled to the pulley box, both ends of the screw shaft are fixed to the upper and lower ends of the base frame to be rotatable, and a time belt pulley is fixed to the lower end of the screw shaft, and the time belt pulley is fixed to the base frame. It is also characterized by being connected to a driving motor and a timing belt fixed on the phase.

또한, 상기 타임벨트풀리박스에는 위치결정센서가 부착되어 스크류샤프트의 피치홈을 센싱하여 일정한 간격으로 상기 제3가이드테이블을 업/다운시키는 것에도 그 특징이 있다.In addition, the time belt pulley box is characterized in that the positioning sensor is attached to sense the pitch groove of the screw shaft to up / down the third guide table at regular intervals.

아울러, 상기 PCB장착부는 제3가이드테이블과 간격을 두고 설치된 가이드판과, 상기 가이드판의 상면 중앙에 설치되고 매거진을 향해 배열된 안내레일과, 상기 안내레일의 최후단에 고정된 전후진실린더와, 상기 전후진실린더에 연결되고 또다른 실린더에 의해 벌어지고 닫히면서 윈도우프레임을 쇄정 및 해정할 수 있도록 구비된 파지편과, 상기 파지편의 선단 상면에 돌출형성된 파지돌기로 구성된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the PCB mounting portion is provided with a guide plate spaced from the third guide table, the guide rail is installed in the center of the upper surface of the guide plate and arranged toward the magazine, and the front and rear cylinders fixed to the end of the guide rail and And a gripping piece connected to the forward and backward cylinders and provided to lock and unlock the window frame while being opened and closed by another cylinder, and a gripping protrusion protruding from the top surface of the gripping piece. .

그리고, 상기 PCB장착부에는 제1가이드테이블과 평행하게 배열설치된 안내빔과, 상기 가이드판의 양측에 구비된 PCB 적치대와, 상기 안내빔을 따라 이동되는 이동판과, 상기 이동판상에 설치된 승하강실린더와, 상기 승하강실린더에 고정되고 상기 적치대에 적재된 PCB를 흡착하는 파지대가 더 포함되는 것에도 그 특징이 있다.In addition, the PCB mounting unit includes a guide beam arranged in parallel with the first guide table, a PCB holder provided on both sides of the guide plate, a moving plate moving along the guide beam, and a lifting plate installed on the moving plate. It is also characterized in that it further comprises a gripper fixed to the cylinder and the lifting cylinder and the PCB loaded on the loading rack.

덧붙여, 상기 파지대는 진공패드인 것에도 그 특징이 있다.In addition, the gripping zone is also characterized by being a vacuum pad.

또한, 상기 로더는 로딩실린더와, 상기 로딩실린더에 연결고정되고 장변 양측 일부가 절개되어 홈을 갖는 유동판과, 상기 유동판의 홈 속으로 인출입되는 스토퍼를 갖고 상기 유동판의 전방에 구비되는 한쌍의 로딩바고정판과, 상기 유동판에 고정되고 상기 스토퍼에 연결된 폭가변실린더와, 상기 로딩바고정판에 각각 상하로 다수 고정된 로딩바와, 상기 로딩바의 선단에 상향돌출되어 윈도우프레임을 쇄정 및 해정하는 걸림구로 구성된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the loader is provided in front of the flow plate having a loading cylinder, a fluid plate fixed to the loading cylinder and a portion of both sides of the long side is cut and has a groove, and a stopper drawn in and out into the groove of the fluid plate. A pair of loading bar fixing plate, a variable width cylinder fixed to the fluid plate and connected to the stopper, a loading bar fixed up and down on the loading bar fixing plate, respectively, and upwardly protruding at the tip of the loading bar to lock and unlock the window frame. It is also characterized by its composition.

뿐만 아니라, 상기 로더의 상단에는 가이드프레임이 플라즈마챔버를 향해 배열설치되고, 상기 가이드프레임에는 상기 유동판의 상단과 연결된 가이더가 더 설치된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the guide frame is arranged on the upper end of the loader toward the plasma chamber, the guide frame is characterized in that the guider is further connected to the upper end of the flow plate is installed.

또한, 상기 PCB장착부에는, 가이드판을 중심으로 일측에 설치되는 제1,2적치대 및 타측에 제1,2적치대와 대칭되도록 설치되는 제3,4적치대와, 상기 제1,2적치대 및 제3,4적치대의 상면에 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 이동되는 트레이운송대와, 상기 트레이운송대의 상면에 실린더를 통해 높이조절되게 설치되며 빈 트레이를 파지하는 트레이파지대와, 상기 제1,2적치대 및 제3,4적치대의 배면에 상하방향으로 이동가능하게 설치되는 승강부재와, 상기 승강부재에 의해 다단 승하강되며 이동대차상에 안착되고 피처리물을 수납한 트레이로 이루어진 대차부가 더 설치된 것에도 그 특징이 있다.In addition, the PCB mounting portion, the first and second mounting brackets installed on one side with respect to the guide plate and the third and fourth mounting brackets installed to be symmetrical with the first and second mounting brackets on the other side, and the first and second mounting blocks. A guide rail installed on the upper surface of the guide and the third and fourth stackers, a tray carriage moving along the guide rail, a tray gripper installed on the upper surface of the tray transportation height through a cylinder and holding an empty tray; And a lifting member which is installed on the back of the first and second mounting brackets and the third and fourth mounting brackets so as to be movable in an up and down direction, and being lifted up and down in multiple stages by the lifting member and seated on a moving cart and storing a workpiece. It is also characterized by the fact that the cart is made of a tray.

그리고, 상기 승강부재는 그 일측이 연결대와 고정되어지고, 상기 연결대는 상기 제1,2적치대 및 제3,4적치대 배면에 상하방향으로 자회전되게 설치된 스크류샤프트와 치결합되어지고, 상기 스크류샤프트는 승하강모터와 타이밍벨트로 연결되어진 것에도 그 특징이 있다.And, one side of the elevating member is fixed to the connecting rod, the connecting rod is engaged with the screw shaft installed to be rotated in the vertical direction on the back of the first, second and third loading posts, The screw shaft is also characterized by being connected by a lifting motor and a timing belt.

나아가, 상기 스크류샤프트와 결합되는 타임벨트풀리박스에는 위치결정센서가 부착되어 피치홈을 센싱하여 일정 간격으로 상기 스크류샤프트가 업/다운 될 수 있도록 위치결정센서 1개, 상하한센서 2개 등이 설치되는 것에도 그 특징이 있다.Furthermore, a positioning sensor is attached to the time belt pulley box coupled with the screw shaft, and a positioning sensor is installed so that the screw shaft can be up / down at a predetermined interval by sensing a pitch groove. It also has its characteristics.

마지막으로, 상기 이동대차는 저면에 다수 설치된 캐스터와, 상부 일측에 구비되어 밀 수 있도록 된 손잡이와, 상기 트레이가 거치되는 트레이안착면상에 이 트레이를 붙잡아주도록 세워설치된 다수의 가이드포스트와, 상기 승강부재와 대응되는 형상과 크기로 상기 트레이안착면상에 절개 형성된 절개홈으로 구성된 것에도 그 특징이 있다.Finally, the movable trolley is provided with a plurality of casters on the bottom surface, a handle provided to push on one side of the upper side, a plurality of guide posts installed to hold the tray on the tray seating surface on which the tray is mounted, and the lifting and lowering It is also characterized in that it consists of an incision groove formed on the tray seating surface in a shape and size corresponding to the member.

본 발명에 따르면, 비교적 두께가 얇은 PCB를 비롯한 각종 평판디스플레이 제조용 유리 혹은 플렉시블기판 등의 표면을 세정, 개질, 에칭함에 있어 연속적으로 처리가능함으로써 대량생산이 용이하고 작업효율이 향상되며, 자동화를 통한 인력절감, 제조비용 절감은 물론 기판의 구김이나 번트(Burnt)의 문제를 방지하는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to continuously process in cleaning, modifying and etching surfaces of glass or flexible substrates for manufacturing various flat panel displays including relatively thin PCBs, thereby facilitating mass production and improving work efficiency, and through automation. In addition to reducing manpower and manufacturing costs, the board is also effective in preventing wrinkles and burnts.

이하에서는, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 자동화장치의 전체 설비를 예시적으로 보인 개략 사시도이고, 도 2 내지 도 7은 본 발명에 따른 자동화장치의 요부 구성을 보인 예시도이다.1 is a schematic perspective view showing the entire installation of the automation device according to the present invention by way of example, Figures 2 to 7 is an exemplary view showing the main configuration of the automation device according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 ＰＣＢ의 플라즈마처리 자동화장치는 크게 플라즈마챔버(100), 매거진(Magazine)(200), 제1가이드테이블(300), 제2가이드테이블(360), 제3가이드테이블(380), PCB장착부(400), 대차부(500) 및 작동부(600)로 구분된다.As shown in FIG. 1, the plasma processing automation apparatus of the PCC according to the present invention is largely classified into a plasma chamber 100, a magazine 200, a first guide table 300, a second guide table 360, The third guide table 380, the PCB mounting portion 400, the balance portion 500 and the operation unit 600 are divided.

먼저, 플라즈마챔버(100)는 내부에 슬롯형태의 수납대(110)가 상하방향으로 다단 형성되어 있어 피처리물, 예컨대 다수의 PCB가 다단 적층되는 형태로 수납되게 된다.First, the plasma chamber 100 has a slot-shaped receiving table 110 formed therein in multiple directions in the vertical direction so that the object to be processed, for example, a plurality of PCBs, is stored in a multi-stacked manner.

또한, 상기 플라즈마챔버(100)는 진공상태에서 플라즈마를 발생시키는 공지된 플라즈마처리기로 도시 생략되었지만 플라즈마챔버(100)의 전면에 밀폐용 도어가 개폐가능하게 구비된다.In addition, the plasma chamber 100 is not shown as a known plasma processor for generating a plasma in a vacuum state, but the sealing door is provided on the front of the plasma chamber 100 to be opened and closed.

뿐만 아니라, 도 2 내지 도 3에서와 같이, 상기 밀폐용 도어의 전방에는 상기 매거진(200)의 폭보다 더 큰 간격을 두고 프레임 형태의 로더(Loader)(120)가 설치되며, 상기 로더(120)에는 유동판(122)이 다수의 로딩실린더(126)에 의해 전후진될 수 있도록 고정되고, 상기 유동판(122)의 전면에는 로딩바고정판(124)이 접촉 지지된다.In addition, as shown in Figures 2 to 3, the front of the sealing door is provided with a frame loader (120) in a space larger than the width of the magazine 200, the loader 120 The fluid plate 122 is fixed to be forward and backward by a plurality of loading cylinders 126, the loading bar fixing plate 124 is in contact with the front of the fluid plate 122.

이때, 상기 유동판(122)의 외측 장변 일부는 절개되어 홈(123)이 형성되고, 상기 홈(123) 속으로 인출입되는 판형상의 스토퍼(125)가 구비되는데 상기 스토퍼(125)는 로딩바고정판(124)의 외측 장변에 고정된다.In this case, a portion of the outer long side of the flow plate 122 is cut and a groove 123 is formed, and a plate-shaped stopper 125 is drawn out into and out of the groove 123, and the stopper 125 has a loading bar fixing plate. It is fixed to the outer long side of 124.

그리고, 상기 유동판(122)에는 상기 스토퍼(125)와 연결된 폭가변실린더(128)가 고정되고, 상기 로딩바고정판(124)에는 상하 길이방향으로 간격을 두고 대략 15-20매의 PCB를 한번에 동시 처리가능한 다수의 로딩바(130)가 상기 플라즈마챔버(100)를 향해 배열 설치된다.The variable width cylinder 128 connected to the stopper 125 is fixed to the flow plate 122, and the loading bar fixing plate 124 simultaneously holds about 15-20 PCBs at a time in the vertical direction. A plurality of loadable loading bars 130 are arranged to be arranged toward the plasma chamber 100.

여기에서, 상기 로딩바(130)는 좌우 대칭되게 한쌍이 구비되며, 상기 로딩바고정판(124) 및 폭가변실린더(128)도 마찬가지다.Here, the loading bar 130 is provided with a pair of symmetrical symmetry, the loading bar fixing plate 124 and the variable width cylinder 128 is the same.

아울러, 상기 로더(120)의 상단에는 가이드프레임(132)이 고정될 수 있고, 상기 가이드프레임(132)의 상면 양측에는 가이드레일(134)이 설치될 수 있으며, 이 가이드레일(134)을 따라 이동가능하고 상기 유동판(122)의 상단과 일체로 고정된 가이더(136)가 더 설치될 수 있다.In addition, the guide frame 132 may be fixed to the upper end of the loader 120, the guide rail 134 may be installed on both sides of the upper surface of the guide frame 132, along the guide rail 134 A guider 136 that is movable and fixed integrally with the top of the flow plate 122 may be further installed.

뿐만 아니라, 상기 가이드프레임(132)의 폭 중앙에는 그 길이방향으로 길게 별도의 안내빔(140)이 더 설치될 수 있는데, 이를 통해 상기 로딩바(130)를 더욱 원활하고 안정감있게, 즉 유동없이 플라즈마챔버(100) 쪽으로 이동시킬 수 있게 된다.In addition, a separate guide beam 140 may be further installed in the center of the width of the guide frame 132 in the longitudinal direction, thereby making the loading bar 130 smoother and more stable, that is, without plasma. It can be moved toward the chamber 100.

나아가, 상기 로딩바(130)의 선단 상면 혹은 하면중 어느 한쪽면에는 각각 걸림구(131)가 형성될 수 있다.In addition, a locking hole 131 may be formed on one surface of the top or bottom surface of the loading bar 130, respectively.

이때, 상기 걸림구(131)는 도시와 같이 로딩바(130)의 선단 상면에 돌출 형성됨이 바람직하고, 돌출된 형상이면 어느 것이나 무방하나 가능하면 자회전 가능한 롤, 즉 아이들롤(Idle Roll) 형태가 좋다.At this time, the latch 131 is preferably formed to protrude on the front end surface of the loading bar 130, as shown in the figure, any of the protruding shape is possible, but if possible rolls, that is, the idle roll (Idle Roll) form is possible good.

또한, 상기 걸림구(131)는 앞서 설명하였듯이, 로딩바(130)가 좌우 한쌍이므로 양쪽 모두에 똑같이 구비되어야 한다.In addition, the locking hole 131, as described above, because the loading bar 130 is a pair of left and right should be provided on both sides equally.

다음, 매거진(200)은 일종의 트레이 혹은 반도체 설비에서 사용되는 카세트 나 보트와 같은 기능을 수행하는 PCB 운반수단으로서 본 발명에서는 연속처리의 효율성 향상을 위해 다수개가 구비된다.Next, the magazine 200 is a PCB transport means for performing a function such as a cassette or a boat used in a kind of tray or semiconductor equipment is provided in the present invention in order to improve the efficiency of the continuous processing.

이러한 매거진(200)은 도 2에 도시된 바와 같이, 대략 사각틀 형상으로 형성되고, 내부에는 상하방향으로 일정간격을 두고 대략 15-20매의 윈도우프레임(210)을 탑재할 수 있는 가이드슬롯(220)이 형성된다.The magazine 200 is formed in a substantially rectangular frame shape, as shown in Figure 2, the inside of the guide slot 220 that can be mounted to the window frame 210 of about 15-20 sheets at regular intervals in the vertical direction ) Is formed.

이때, 상기 윈도우프레임(210)에는 PCB를 비롯한 각종 디스플레이용 유리기판 등이 거치되게 되며, 상기 가이드슬롯(220)에는 상기 윈도우프레임(210)이 인출입되는 형태로 끼워지게 된다.At this time, the window frame 210 is mounted with a variety of glass substrates for display, such as a PCB, and the window slot 210 is inserted into the guide frame 220 in the form of drawing out.

따라서, 앞서 설명한 로더(120)의 로딩바(130)는 상기 가이드슬롯(220)에 대응되게 구비되며, 이 로딩바(130)의 동작에 의해 상기 가이드슬롯(220)에 장착된 윈도우프레임(210)들이 플라즈마챔버(100)로 장입되거나 플라즈마처리후 플라즈마챔버(100)로부터 다시 매거진(200)으로 수납되게 된다.Accordingly, the loading bar 130 of the loader 120 described above is provided to correspond to the guide slot 220, and the window frames 210 mounted on the guide slot 220 are operated by the loading bar 130. Charged into the plasma chamber 100 or after the plasma treatment is stored in the magazine 200 from the plasma chamber 100 again.

아울러, 상기 매거진(200)은 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 사각형상의 바닥판(230)과, 상기 바닥판(230)의 상면 네모서리에 세워 고정된 측판(232)과, 상기 측판(232)의 상단에 고정되고 대략 'ㄷ' 형상을 갖는 상판(234)으로 구성되며, 앞서 설명한 가이드슬롯(220)은 상기 측판(232)의 내면에 고정설치되되, 바람직하기로는 상기 상판(234)의 'ㄷ'형으로 개구된 방향으로 배열 설치된다.In addition, the magazine 200, as shown in Figures 2 and 4, the rectangular bottom plate 230, the side plate 232 fixed to stand on the top corner of the bottom plate 230 and the side plate The top plate 234 is fixed to the upper end of the (232) and has a substantially 'c' shape, the guide slot 220 described above is fixed to the inner surface of the side plate 232, preferably the top plate 234 ) Is arranged in the opening direction of the 'c' shape.

그리고, 상기 매거진(200)은 상기 'ㄷ' 형상으로 개구된 앞,뒤 방향으로 개방된 상태로 유지된다.In addition, the magazine 200 is maintained in an open state in the front and rear directions opened in the 'c' shape.

이는 상기 윈도우프레임(210)이 상기 가이드슬롯(220)을 따라 상기 매거 진(200)을 관통할 수 있도록 구성된다는 의미이며, 앞서 설명한 플라즈마챔버(100)로 상기 윈도우프레임(210)이 삽입될 때 그와 같은 동작이 일어나게 된다.This means that the window frame 210 is configured to penetrate the magazine 200 along the guide slot 220. When the window frame 210 is inserted into the plasma chamber 100 described above, Such action will occur.

또한, 상기 상판(234)과 가이드슬롯(220)의 일부를 관통하여 고정바(236)가 설치되는데, 상기 고정바(236)의 하단이 거치되는 바닥판(230)의 지점은 상기 고정바(236)의 직경보다 작은 구멍이 뚫려 있고 그 주변에는 상기 고정바(236)의 직경보다 약간 큰 홈이 형성되어 상기 고정바(236)의 하단이 직접 상기 홈에 끼워지는 형태로 배치되거나 혹은 하부캡(244)이 고정된 채 상기 하부캡(244)이 상기 홈에 끼워지는 형태로 구비될 수도 있다.In addition, a fixing bar 236 is installed through a portion of the upper plate 234 and the guide slot 220, and a point of the bottom plate 230 on which the lower end of the fixing bar 236 is mounted is the fixing bar ( A hole smaller than the diameter of the 236 is drilled and a groove slightly larger than the diameter of the fixing bar 236 is formed around the lower end of the fixing bar 236 so that the lower end of the fixing bar 236 is directly inserted into the groove or the lower cap is formed. The lower cap 244 may be provided to be fitted into the groove while the 244 is fixed.

특히, 상기 고정바(236)에는 그 길이방향을 따라 일정간격을 두고 요철형태로 다수의 홈(238)이 형성된다.In particular, the fixing bar 236 is formed with a plurality of grooves 238 in a concave-convex shape at regular intervals along its longitudinal direction.

상기 홈(238)은 상기 가이드슬롯(220)과 동일간격을 두고 상기 가이드슬롯(220)의 상하폭에 대응되는 크기를 갖는다.The groove 238 has a size corresponding to the upper and lower widths of the guide slot 220 at the same interval as the guide slot 220.

이때, 상판(234)에는 상부캡(240)이 고정되고, 상기 고정바(236)의 상단은 단차가공된 후 상기 상판(234)을 관통하여 상기 상부캡(240)에 수납가능하게 유동성을 갖고, 배치되며, 상기 고정바(236)와 상판(234) 사이에는 스프링(242)이 개재되어 상기 고정바(236)에 탄성복귀력을 제공할 수 있도록 구성된다.At this time, the upper cap 240 is fixed to the upper plate 234, the upper end of the fixing bar 236 has a fluidity to be accommodated in the upper cap 240 through the upper plate 234 after the step is processed. Is disposed, the spring 242 is interposed between the fixing bar 236 and the upper plate 234 is configured to provide an elastic return force to the fixing bar 236.

따라서, 상기 고정바(236)는 스프링(242)의 탄성에 의해 평상시에는 상기 가이드슬롯(220)과 어긋나 있어 이를 폐쇄하고 있다가 상기 고정바(236)의 하단에서 외력(핀으로 상기 하부캡(244)이 끼워진 매거진(200)의 바닥판(230)에 형성된 구멍에 삽입하여 고정바(236)를 밀어 올리는 힘)이 가해졌을 때 가이드슬롯(220)과 고 정바(236)의 홈(238)이 서로 일치되면서 윈도우프레임(210)을 삽입할 수 있는 상태에 놓이게 되며, 윈도우프레임(210) 삽입후 외력을 제거하게 되면 상기 스프링(242)의 탄성복귀력에 의해 고정바(236)의 홈(238)과 가이드슬롯(220) 간의 어긋남에 의해 상기 가이드슬롯(220)에 삽입된 윈도우프레임(210)을 견고히 고정할 수 있게 된다.Therefore, the fixing bar 236 is normally shifted from the guide slot 220 by the elasticity of the spring 242 to close it, but the external force at the lower end of the fixing bar 236 (pin the lower cap ( The groove 238 of the guide slot 220 and the fixing bar 236 when a force applied to the fixing bar 236 is inserted into the hole formed in the bottom plate 230 of the magazine 200 into which the 244 is inserted. The coincidence is placed in the state that can be inserted into the window frame 210, and when the external force is removed after the window frame 210 is inserted, the groove of the fixing bar 236 by the elastic return force of the spring 242 ( By the misalignment between the 238 and the guide slot 220, it is possible to firmly fix the window frame 210 inserted into the guide slot 220.

한편, 상기 윈도우프레임(210)은 도 2 및 도 4에서와 같이, 사각틀 형태로 형성되고, 그 테두리를 따라 PCB를 고정하기 위한 경첩형 고정구(212)가 다수 구비되어 상기 PCB를 상기 윈도우프레임(210)에 손쉽고 간단히 장탈착할 수 있도록 유도하게 된다.On the other hand, the window frame 210 is formed in a rectangular frame shape, as shown in Figures 2 and 4, a plurality of hinged fixtures 212 for fixing the PCB along the edge is provided to the PCB to the window frame ( 210) can be easily and simply induced to be removable.

또한, 상기 윈도우프레임(210)의 전면, 즉 앞서 설명한 매거진(200)의 'ㄷ'형 개구부 측에 위치되는 변 중앙에는 걸림홈(214)이 형성된다.In addition, a locking groove 214 is formed at the front of the window frame 210, that is, at the center of the side of the magazine 200, which is located at the 'c'-type opening side.

상기 걸림홈(214)은 입구가 좁고, 입구를 지난 뒷부분은 좌우방향으로 넓어진 형태를 갖는데 이는 앞서 설명한 로딩바(130)의 걸림구(131)가 좁은 입구로 진입하여 들어간 후 로딩바(130)가 좌우로 벌어지면서 상기 걸림구(131)가 상기 걸림홈(214)에 걸려 이 윈도우프레임(210)을 완전히 걸어 고정할 수 있도록 하기 위함이다.The locking groove 214 has a narrow entrance, and the rear portion passing through the entrance has a form widened in the left and right direction. This is because the locking bar 131 of the loading bar 130 described above enters the narrow entrance and then the loading bar 130 is left and right. In order to be able to completely hang the window frame 210 is caught by the locking hole 131 is caught in the locking groove 214.

그리고, 상기 매거진(200)은 도 1과 같이, 제1가이드테이블(300)에 안착된다.Then, the magazine 200 is seated on the first guide table 300, as shown in FIG.

이때, 상기 제1가이드테이블(300)은 빔형상을 갖는 다수의 프레임이 조립되어 제작되는 형태가 바람직하고, 그 상면에는 서로 간격을 두고 제1가이드테이블(300)의 길이방향으로 긴 한쌍의 매거진안내레일(310)이 설치되며, 이 제1가이드테이블(300)의 내부는 비어 있고, 또 상기 플라즈마챔버(100)의 도어 전방까지 연장배열된다.In this case, the first guide table 300 is preferably a form in which a plurality of frames having a beam shape are assembled, the upper surface of the first guide table 300 in a pair of long magazines spaced apart from each other The guide rail 310 is installed, and the interior of the first guide table 300 is empty and extends to the front of the door of the plasma chamber 100.

아울러, 상기 매거진안내레일(310)에는 도 5에 도시된 바와 같은 형상의 제1,2대차(320,330)가 안착되어 제1,2대차실린더(340,350)의 실린더로드(도면부호 생략)에 의해 좌우이동 가능하게 설치된다.In addition, the magazine guide rail 310 is seated on the first and second bogies 320 and 330 having a shape as shown in FIG. 5 and left and right by cylinder rods (not shown) of the first and second bogie cylinders 340 and 350. It is installed to be movable.

특히, 상기 제1,2대차(320,330)는 중간부가 대략 'ㄷ' 형상으로 절개되어 있어 그 빈공간상으로 다른 대차의 승하강시 간섭되지 않도록 구성된다.In particular, the first and second trolleys 320 and 330 have an intermediate portion cut in a substantially 'c' shape so that they do not interfere with each other when moving up and down on the empty space.

그리고, 상기 제1,2대차(320,330)는 상기 제1가이드테이블(300)의 대략 길이방향 중앙부까지만 운행(제1,2대차실린더의 스트로크 범위)되고, 그 중앙부에서 서로 교대로 운전된다.The first and second bogies 320 and 330 travel only to a substantially longitudinal center portion of the first guide table 300 (stroke range of the first and second bogie cylinders), and are alternately driven at the center portions thereof.

뿐만 아니라, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1가이드테이블(300)의 길이방향중앙과 직교되는 방향에는 제2가이드테이블(360)이 설치된다.In addition, as illustrated in FIGS. 4 and 5, the second guide table 360 is installed in a direction orthogonal to the longitudinal center of the first guide table 300.

상기 제2가이드테이블(360)도 상기 제1가이드테이블(300)과 마찬가지로 다수의 프레임이 조립되어 구성되며, 그 상면에는 작동프레임안내레일(362)이 배열 설치된다.Similarly to the first guide table 300, the second guide table 360 includes a plurality of frames assembled thereon, and an operating frame guide rail 362 is arranged on the upper surface of the second guide table 360.

그리고, 상기 작동프레임안내레일(362)에는 작동프레임(364)이 안착되고, 상기 작동프레임(364)은 상기 제2가이드테이블(360)상에 설치된 작동프레임실린더(366)에 의해 전후진 가능하게 설치된다.In addition, an operation frame 364 is mounted on the operation frame guide rail 362, and the operation frame 364 is moved forward and backward by an operation frame cylinder 366 installed on the second guide table 360. Is installed.

아울러, 상기 작동프레임(364)의 내부에는 프레임아암(미도시)이 프레임아암 실린더(미도시)에 의해 전후진 가능하게 설치되고, 상기 프레임아암의 선단에는 상술한 매거진(200)의 양측면을 파지할 수 있도록 실린더에 의해 동작되는 한쌍의 클램프(368)가 고정된다.In addition, a frame arm (not shown) is installed in the operating frame 364 so as to be moved forward and backward by a frame arm cylinder (not shown), and both sides of the magazine 200 described above are gripped at the front end of the frame arm. A pair of clamps 368, which are operated by the cylinders, are fixed so as to be able to do so.

이를 위해, 상기 매거진(200)의 측판(232)에는 상기 클램프(368)가 클램핑될 수 있도록 편상의 파지브라켓(233)이 돌출 형성됨이 바람직하다.To this end, the side plate 232 of the magazine 200 is preferably formed in the grip gripping bracket 233 protruding so that the clamp (368) can be clamped.

따라서, 상기 클램프(368)는 상기 작동프레임(364)이 1단 전진한 후 다시 프레임아암이 2단 전진한 후 동작되게 구성됨으로써 실린더의 스트로크 제한을 받지 않고 충분하고 원활하게 동작될 수 있도록 구성된다.Therefore, the clamp 368 is configured to be operated after the frame arm is advanced two stages again after the operation frame 364 is advanced one step, and is configured to be operated sufficiently and smoothly without being restricted by the stroke of the cylinder. .

그리고, 도 1 및 도 4에서와 같이, 상기 제1가이드테이블(300)을 사이에 두고 상기 제2가이드테이블(360)의 연장선상에는 제3가이드테이블(380)이 설치된다.1 and 4, a third guide table 380 is installed on an extension line of the second guide table 360 with the first guide table 300 interposed therebetween.

이때, 상기 제3가이드테이블(380)은 앞서 설명한 제1가이드테이블(300)보다 높게 배치되어 매거진(200)이 상기 제1가이드테이블(300)로부터 제3가이드테이블(380)로 이동될 때에 간섭됨 없이 원활하게 반송될 수 있도록 하여 줌이 바람직하다.In this case, the third guide table 380 is disposed higher than the first guide table 300 described above, and thus interference occurs when the magazine 200 moves from the first guide table 300 to the third guide table 380. It is desirable to zoom so that it can be conveyed smoothly and smoothly.

또한, 상기 매거진(200)의 제3가이드테이블(380)로의 원활한 반송을 위해 상술한 제1,2대차(320,330)들의 'ㄷ' 형상으로 절개되어 비어 있는 공간을 통해 승하강되는 반송용테이블(370)이 도 4 및 도 5에서와 같은 형태로 구비된다.In addition, the conveying table is cut in the 'c' shape of the first and second trucks 320 and 330 described above to be smoothly conveyed to the third guide table 380 of the magazine 200 and lifted up and down through the empty space ( 370 is provided as shown in FIGS. 4 and 5.

상기 반송용테이블(370)은 구체적으로 도시하지 않았지만 그 하면에 설치된 다수의 프레임들과, 기어들, 이를테면 래크와 피니언 같은 공지된 수단들의 조합에 의해 필요시에는 상기 제1,2대차(320,330)보다 높게 상승하였다가 불필요시에는 하 강하여 상기 제1,2대차(320,330)보다 낮게 위치되도록 제어된다.The conveying table 370 is not shown in detail, but the first and second bogies 320 and 330, if necessary, by a combination of a plurality of frames and gears, such as racks and pinions, are provided. Ascending higher and lowering when unnecessary, it is controlled to be lower than the first and second carts 320 and 330.

또한, 상기 제1,2대차(320,330)의 상면 적소에는 상세히 도시되지 않았으나 상술한 매거진(200)의 고정바(236) 하부에 구비된 하부캡(244)과 접촉되는 다수의 해제핀(미도시)이 설치된다.In addition, although not shown in detail in the upper surface of the first and second bogies (320,330), a plurality of release pins (not shown) in contact with the lower cap 244 provided below the fixing bar 236 of the magazine 200 described above. ) Is installed.

이때, 상기 해제핀은 해제핀실린더(미도시)에 의해 상기 매거진(200)의 바닥판(230)에 형성된 구멍을 관통하여 상승될 수 있도록 구성된다.In this case, the release pin is configured to be lifted through a hole formed in the bottom plate 230 of the magazine 200 by a release pin cylinder (not shown).

뿐만 아니라, 상기 매거진(200)의 바닥판(230)상의 테두리 부근에는 상기 고정바(236)가 끼워지는 구멍 이외에 별도의 고정공(231)이 형성되는데, 이의 용도는 상기 매거진((200)의 반송시 이 매거진(200)이 유동되지 않도록 고정시키는 역할을 수행하게 되며, 상기 해제핀과 인접위치에 구비된 고정핀과 이를 구동시키는 고정핀실린더에 의해 동작되어 상기 매거진(200)을 고정하게 된다.In addition, a separate fixing hole 231 is formed near the edge of the bottom plate 230 of the magazine 200 in addition to the hole into which the fixing bar 236 is fitted. The magazine 200 serves to fix the magazine 200 so as not to flow, and is operated by a fixing pin provided at a position adjacent to the release pin and a fixing pin cylinder for driving the magazine 200 to fix the magazine 200. .

따라서, 상기 매거진(200)이 상기 제1,2대차(320,330)에 안착되면 상기 제1,2대차(320,330)의 하면에 설치된 고정핀실린더가 동작하여 고정핀을 상승시킴으로써 상기 매거진(200)을 상기 제1,2대차(320,330)중 해당 위치의 대차상에 견고히 고정시켜 쉽게 유동되지 않도록 고정하게 되며, 상기 매거진(200)의 가이드슬롯(220)에 윈도우프레임(210)이 실장되어 있고 만약 그것의 고정상태를 해제하고자 할 경우에는 해제핀실린더가 동작하여 해제핀을 상승시킴으로써 상기 고정바(236)를 상승시켜 윈도우프레임(210)의 고정상태를 해제할 수 있게 된다.Therefore, when the magazine 200 is seated on the first and second trolleys 320 and 330, a fixing pin cylinder installed on the lower surfaces of the first and second trolleys 320 and 330 is operated to raise the fixing pin to raise the magazine 200. The first and second carts 320 and 330 are firmly fixed on the bogies of the corresponding positions so that they are not easily flown, and the window frame 210 is mounted in the guide slot 220 of the magazine 200 and if When to release the fixed state of the release pin cylinder is operated to raise the release pin by raising the fixing bar 236 it is possible to release the fixed state of the window frame 210.

결국, 상기 윈도우프레임(210)은 평상시 항상 고정상태를 유지하고 있다가 필요시에만 해제핀실린더의 동작에 의해 그 고정상태가 해제되게 된다.As a result, the window frame 210 is always kept in a fixed state at all times, and the fixed state is released by the operation of the release pin cylinder only when necessary.

이는 앞서 설명하였듯이, 상부캡(240)이 설치된 매거진(200)의 상판(234)과 고정바(236) 사이에 개재된 스프링(242)의 힘에 의한 것이다.This is due to the force of the spring 242 interposed between the upper plate 234 and the fixing bar 236 of the magazine 200, the upper cap 240 is installed as described above.

그리고, 이들 해제핀과 고정핀 및 해제핀실린더와 고정핀실린더는 상기 제3가이드테이블(380)에도 동일하게 적용된다.In addition, these release pins, the fixed pin, and the release pin cylinder and the fixed pin cylinder are similarly applied to the third guide table 380.

한편, 상기 제3가이드테이블(380)은 도 6과 같은 형태로 승하강 가능하게 구성된다.On the other hand, the third guide table 380 is configured to move up and down in the form as shown in FIG.

즉, 도 6에서와 같이, 상기 제3가이드테이블(380)의 외테두리 일부에 고정블럭(381)이 고정되고, 상기 고정블럭(381)에는 고정로드(382)가 연결고정되며, 상기 고정로드(382)의 단부에는 내경에 나사산이 형성된 타임벨트풀리박스(383)가 고정된다.That is, as shown in Figure 6, the fixed block 381 is fixed to a part of the outer edge of the third guide table 380, the fixed rod 382 is fixed to the fixed block 381, the fixed rod At the end of 382, a time belt pulley box 383 having a thread formed in its inner diameter is fixed.

그리고, 상기 타임벨트풀리박스(383)를 관통하여 치결합된 스크류샤프트(384)가 수직하게 설치되고, 상기 스크류샤프트(384)의 양단은 베어링에 의해 자회전 가능하게 고정된다.In addition, a screw shaft 384 toothed through the time belt pulley box 383 is vertically installed, and both ends of the screw shaft 384 are rotatably fixed by a bearing.

이때, 상기 스크류샤프트(384)의 양단은 베이스프레임(385)의 상,하부에 고정된 브라켓(386)에 의해 견고히 지지되며, 특히 상기 스크류샤프트(384)의 하단에는 타임벨트풀리(387)가 일체로 고정되고, 상기 타임벨트풀리(387)는 구동모터(388)의 회전축과 연결되어 동력전달가능하게 설치된다.At this time, both ends of the screw shaft 384 is firmly supported by brackets 386 fixed to the upper and lower portions of the base frame 385, and in particular, a time belt pulley 387 is provided at the lower end of the screw shaft 384. It is integrally fixed and the time belt pulley 387 is connected to the rotating shaft of the drive motor 388 is installed to be power transmission.

여기에서, 상기 구동모터(388)는 베이스프레임(385)상에 고정되고, 위치결정센서(미도시)를 설치, 예컨대 일정간격의 홈을 파놓고 승,하강시 위치결정센서에 의해 한단씩 제어할 수 있도록 위치결정센서 1개, 상하한 센서 2개를 구비하여 상 기 구동모터(388)의 브레이크 제어를 통해 상기 매거진(200)의 각 단, 즉 각 가이드슬롯(220)이 한단 한단 차례로 하강되어 총 15-20매의 윈도우프레임(210)이 모두 안전하게 실장될 수 있도록 하여줌이 바람직하다.Here, the driving motor 388 is fixed on the base frame 385, and installed a positioning sensor (not shown), for example, by stepping the grooves at a predetermined interval and controlled by the positioning sensor when moving up or down. One positioning sensor and two upper and lower sensors are provided so that each stage of the magazine 200, that is, each of the guide slots 220, is lowered one by one through the brake control of the driving motor 388. In this case, it is preferable that the total 15-20 window frames 210 can be safely mounted.

다음, PCB장착부(400)는 도 1의 도시와 같이, 앞서 설명한 제3가이드테이블(380)과 간격을 두고 설치된 가이드판(410)을 포함한다.Next, as illustrated in FIG. 1, the PCB mounting unit 400 includes a guide plate 410 installed at a distance from the third guide table 380 described above.

그리고, 상기 가이드판(410)의 상면 중앙에는 상기 매거진(200)을 향하여 안내레일(440)이 설치되고, 상기 안내레일(440)의 최후단에는 전후진실린더(450)가 고정되며, 상기 전후진실린더(450)에는 실린더로드(미도시)를 통해 파지편(460)이 연결되는데 상기 파지편(460)은 상기 안내레일(440)을 따라 이동되게 설치되고, 상기 파지편(460)의 선단 상면에는 파지돌기(462)가 돌출형성된다.In addition, the guide rail 440 is installed toward the magazine 200 at the center of the upper surface of the guide plate 410, and the front and rear cylinders 450 are fixed at the last end of the guide rail 440. The gripper 450 is connected to the grip piece 460 through a cylinder rod (not shown), the grip piece 460 is installed to be moved along the guide rail 440, the tip of the grip piece 460 The holding protrusion 462 is formed on the upper surface.

이때, 상기 파지편(460) 및 파지돌기(462)는 앞서 설명한 도 2의 로딩바(130)의 구조와 동일하게 구성되어 동일한 동작이 일어나도록 구성되어 PCB가 안착되는 윈도우프레임(210)의 선단에 형성된 걸림홈(214)에 맞물려 상기 윈도우프레임(210)을 밀거나 당길 수 있도록 동작하게 된다.At this time, the gripping piece 460 and the gripping protrusion 462 are configured in the same way as the structure of the loading bar 130 of FIG. 2 described above to be the same operation occurs at the tip of the window frame 210 is seated PCB It is operated to be pushed or pulled the window frame 210 is engaged with the formed engaging groove 214.

다른 한편, 상기 가이드판(410)의 좌우측에는 각각 동일형태의 대차부(500)가 구비된다.On the other hand, left and right sides of the guide plate 410 is provided with a cart 500 of the same type, respectively.

상기 대차부(500)는 도 1의 경우 설명의 편의상 모식화하여 개략적으로 도시한 것이고, 도 7에 구체화되어 있다.In the case of FIG. 1, the cart 500 is schematically illustrated for convenience of description and embodied in FIG. 7.

즉, 개략적으로 모식화된 도 1은 개념적인 설명을 위한 것이며, 이에 따르면 상기 가이드판(410)과 동일 높이를 유지한 채 구비되는 적치대(510)를 포함하며, 각각 PCB와 같은 피처리물(520)을 적재하기 위한 공간이며, 여기에는 보통 작업자가 직접 다수매의 피처리물(520)을 쌓아 놓도록 함이 바람직하다.That is, schematically illustrated in FIG. 1 is for conceptual description, and accordingly, includes a loading stand 510 which is provided while maintaining the same height as the guide plate 410, and each to-be-processed object such as a PCB. 520 is a space for loading, and it is preferable that an operator usually directly stacks a plurality of workpieces 520.

또다른 한편, 상기 대차부(500)의 상측에는 그 길이방향으로 긴 한쌍의 안내빔(610)이 설치된다.On the other hand, a pair of guide beams 610 long in the longitudinal direction are provided above the trolley 500.

그리고, 상기 안내빔(610)에는 각각 거리를 두고 동일 구조로 된 한쌍의 작동부(600)가 설치된다.In addition, the guide beam 610 is provided with a pair of operation units 600 having the same structure at a distance from each other.

상기 작동부(600)는 상기 안내빔(610)을 따라 모터와 같은 구동원에 의해 이동되는 이동판(620)이 설치되고, 상기 이동판(620)에는 승하강실린더(630)가 고정되며, 상기 승하강실린더(630)에는 파지대(640)가 연결된다.The operation unit 600 is provided with a moving plate 620 which is moved by a driving source such as a motor along the guide beam 610, the lifting cylinder 630 is fixed to the moving plate 620, The lifting cylinder 630 is connected to the gripper 640.

이때, 상기 파지대(640)는 피처리물(520)을 흡착할 수 있도록 구성되는데, 이를테면 진공패드를 이용하는 것이 바람직하다.At this time, the gripper 640 is configured to adsorb the object 520, for example, it is preferable to use a vacuum pad.

보다 구체적으로, 도 7에서와 같이, 상기 대차부(500)는 가이드판(410)을 중심으로 좌우 양쪽에 서로 대칭되게 구성된다.More specifically, as shown in FIG. 7, the trolley portion 500 is configured to be symmetrical with each other on both sides of the guide plate 410.

그리고, 적치대(510)는 프레임들이 조립된 형태로 이루어지고, 이 적치대(510)의 상면에는 가이드레일(512)이 설치된다.In addition, the loading stand 510 is formed of frames assembled, and a guide rail 512 is installed on an upper surface of the placing stand 510.

상기 가이드레일(512)에는 피처리물(도 1의 '520')이 이송되고 남은 빈 트레이(522)를 운반하기 위한 트레이운송대(524)가 안착되어 이를 따라 좌우 이동가능하게 설치된다.The guide rail 512 is provided with a tray carriage 524 for transporting the object to be processed ('520' in FIG. 1) and the remaining empty tray 522, and is installed to be moved left and right along the guide rail 512.

또한, 상기 트레이운송대(524)의 상면에는 트레이파지대(526)가 설치되는데, 상기 트레이파지대(526)는 상술한 진공흡착형 파지대(640)와 별도로 피처리물(520) 이 빠져나가고 남은 빈 트레이(522)를 옆으로 옮기기 위한 것이다.In addition, a tray gripper 526 is installed on the upper surface of the tray carrier 524, the workpiece 520 is separated from the vacuum suction gripper 640 described above. It is for moving the left and left empty trays 522 to the side.

즉, 상기 파지대(640)는 피처리물(520) 자체를 가이드판(410)상으로 이동시키는 수단이고, 상기 트레이파지대(526)는 피처리물(520)이 빠져 나가고 남은 빈 트레이(522)를 옮기기 위한 수단으로서 높이조절실린더(528)에 의해 상기 트레이운송대(524)상에 설치되어 높이 조절이 가능하게 구비된다.That is, the gripper 640 is a means for moving the workpiece 520 itself onto the guide plate 410, and the tray gripper 526 is an empty tray remaining after the workpiece 520 is removed. As a means for moving the 522 is provided on the tray carrier 524 by a height adjustment cylinder 528 is provided to enable height adjustment.

아울러, 상세히 도시되지는 않았으나 상기 트레이파지대(526)의 하단에는 다수의 실린더에 의해 상기 트레이(522)의 양측을 파지할 수 있는 공지의 클램프가 설치된다.In addition, although not shown in detail, a known clamp may be installed at a lower end of the tray holder 526 to hold both sides of the tray 522 by a plurality of cylinders.

뿐만 아니라, 상기 적치대(510)는 상기 가이드판(410)을 기준으로 어느 일측에서부터 타측을 향해 제1,2,3,4적치대로 구분되는데, 도 7에는 제1,2적치대(501,502)만이 도시되어 있고, 동일한 구조로 상기 가이드판(410) 건너편에 제3,4적치대(도시생략)가 더 구비된다.In addition, the loading stand 510 is divided into first, second, third, and fourth loading places from one side toward the other side based on the guide plate 410, and the first and second mounting places 501 and 502 in FIG. 7. Only the bay is shown, and the third and fourth loading posts (not shown) are further provided on the opposite side of the guide plate 410 with the same structure.

이때, 상기 가이드판(410)의 양측면에 접하도록 배치된 제2적치대(502)에는 피처리물(520)이 수납된 트레이(522)를 갖는 이동대차(540)가 삽입되고, 제1적치대(501)에는 비어 있는 이동대차(540)가 삽입된다.In this case, a moving cart 540 having a tray 522 in which the workpiece 520 is accommodated is inserted into the second mounting table 502 disposed to contact both side surfaces of the guide plate 410. An empty moving cart 540 is inserted into the tooth 501.

상기 이동대차(540)는 상기 트레이(522)를 싣고 운반할 수 있는 대차 수단으로 이동의 편의성을 위해 저면에는 4개의 캐스터(542)가 설치되고, 일측에는 잡고 밀 수 있도록 손잡이(544)가 구비되며, 트레이(522)를 싣는 트레이안착면에는 트레이(522)를 안정적으로 지지하기 위한 다수의 가이드포스트(546)가 세워 설치되고, 상기 트레이(522)를 싣는 트레이안착면에는 선단, 즉 상기 제1,2적치대(501,502)를 향하여 그 중앙부가 대략 'U'형상으로 제거된 절개홈(548)이 형성된다.The trolley 540 is a trolley means for carrying and transporting the tray 522, and four casters 542 are installed on the bottom thereof for convenience of movement, and a handle 544 is provided at one side thereof to hold and push. A plurality of guide posts 546 for stably supporting the tray 522 are installed upright on the tray seating surface on which the tray 522 is loaded, and the tip, that is, the first guide plate, is installed on the tray seating surface on which the tray 522 is loaded. The inlet grooves 548 are formed in the center of the first and second loading zones 501 and 502 with their center portions substantially removed in a 'U' shape.

그리고, 상기 제1,2적치대(501,502)의 이동대차(540) 맞은편 면에는 그 면을 따라 상하이동되는 승강부재(550)가 설치된다.Then, the lifting members 550 which are moved up and down along the surface are provided on the opposite surface of the moving cart 540 of the first and second mounting brackets 501 and 502.

상기 승강부재(550)는 상기 절개홈(548)에 대응되는 크기로 형성되어 이 승강부재(550)가 상기 절개홈(548) 속으로 충분히 수납될 수 있도록 구성됨이 바람직하다.The lifting member 550 is preferably formed to have a size corresponding to the cutting groove 548 so that the lifting member 550 can be sufficiently received into the cutting groove 548.

아울러, 상기 승강부재(550)는 상기 제1,2적치대(501,502)의 배면에 구비된 구동수단에 의해 상하방향으로 승강 또는 하강될 수 있도록 구성된다.In addition, the elevating member 550 is configured to be elevated or lowered in the vertical direction by the drive means provided on the back surface of the first and second mounting brackets (501,502).

이때, 상기 구동수단은 상기 제1,2적치대(501,502)의 상하길이방향으로 자회전가능하게 설치되는 스크류샤프트(560)와, 상기 스크류샤프트(560)에 치결합되는 연결대(562)와, 상기 스크류샤프트(560)로 동력전달가능하게 타이밍벨트로 결합되는 승하강모터(564)로 구성되며, 특히 상기 연결대(562)에는 앞서 설명한 승강부재(550)의 일부가 일체로 고정된다.At this time, the driving means is a screw shaft 560 is installed to be rotatable in the vertical direction of the first and second mounting brackets (501,502), the connecting table 562 is coupled to the screw shaft 560, The lifting motor 564 is coupled to the timing shaft to enable power transmission to the screw shaft 560. Particularly, a part of the lifting member 550 described above is integrally fixed to the connecting table 562.

따라서, 상기 승하강모터(564)의 구동에 의해 스크류샤프트(560)가 회전되면서 상기 연결대(562)를 승하강시키게 되는데, 이때 이 연결대(562)에는 상기 승강부재(550)가 일체로 고정되어 있으므로 결국 상기 승강부재(550)가 승하강되게 된다.Accordingly, the screw shaft 560 is rotated by the driving of the elevating motor 564 to elevate the connecting table 562. At this time, the elevating member 550 is integrally fixed to the connecting table 562. Therefore, the lifting member 550 is raised and lowered in the end.

아울러, 상기 승강부재(550)의 승하강을 일정한 폭으로 다단 유동시키기 위해 상기 승하강모터(564)에는 엔코더가 설치됨이 특히 바람직하다.In addition, it is particularly preferable that an encoder is installed in the elevating motor 564 to multi-flow the elevating member of the elevating member 550 to a predetermined width.

한편, 앞서 언급한 제3,4적치대(미도시)도 상기 제1,2적치대(501,502)와 동 일한 구성으로 이루어지는데, 다만 제1,2적치대(501,502)가 아직 플라즈마 처리되지 않은 피처리물(520)을 매거진(200)에 장입(실장)하기 위해 사용되는 것인 반면, 상기 제3,4적치대는 매거진(200)에 실장된 피처리물(520)이 플라즈마챔버(100)를 경유하여 최종 플라즈마처리된 후 다시 매거진(200)으로부터 하역되기 위해 사용된다는 용도면에서만 상이할 뿐이다.Meanwhile, the above-mentioned third and fourth mounting brackets (not shown) also have the same configuration as the first and second mounting brackets 501 and 502, except that the first and second mounting brackets 501 and 502 have not yet been plasma treated. While the object 520 is used to load (mount) the magazine 200, the third and fourth loading posts are the object 520 mounted in the magazine 200 is the plasma chamber 100 It is only different in terms of use that it is used to be unloaded from the magazine 200 after the final plasma treatment via.

즉, 플라즈마처리가 완료된 피처리물(520)은 다시 매거진(200)에 실장된 후 초기 피처리물(520)을 실장할 때와 동일 위치로 회귀되어 온 후 상기 제1,2적치대(501,502)를 통해 실장할 때와 반대동작을 통해 제3,4적치대로 하역되고, 동시에 이동대차(540)로 역실장되어 후속공정으로 이동되게 된다.That is, after the plasma treatment is completed, the workpiece 520 is again mounted in the magazine 200 and then returned to the same position as when the initial workpiece 520 is mounted. ) And unloaded according to the third and fourth loads through the reverse operation and at the same time is reverse mounted to the mobile truck 540 and moved to the subsequent process.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 작동관계는 다음과 같다.The operating relationship of the present invention made of such a configuration is as follows.

작업자가 대차부(500)의 적치대(510), 바람직하기로 제시된 예에 따르면, 제2적치대(502)에 피처리물(520)을 적치하게 되면 본 발명 장치가 동작하게 된다.According to the example presented by the operator of the loading stand 510 of the cart 500, preferably, the device of the present invention operates when the workpiece 520 is placed on the second loading stand 502.

즉, 상기 적치대(510)에 피처리물(520)이 적치될 때에는 1개의 매거진(200)은 제3가이드테이블(380)상에 위치되어 있고, 다른 하나는 제1가이드테이블(300)상의 제1대차(320)에 안착되어 대기된 상태를 유지하게 된다.That is, when the workpiece 520 is placed on the loading stand 510, one magazine 200 is positioned on the third guide table 380, and the other is placed on the first guide table 300. It is seated on the first cart 320 to maintain a standby state.

이때, 상기 제3가이드테이블(380)상에 안착된 매거진(200)은 먼저, 고정핀실린더가 동작하여 고정핀이 상승함과 동시에 매거진(200)상의 고정공(231)에 끼워져 상기 매거진(200)이 유동없이 상기 제3가이드테이블(380)상에 견고히 안착된 상태를 유지하도록 하게 된다.At this time, the magazine 200 seated on the third guide table 380 first, the fixed pin cylinder is operated to raise the pin and at the same time inserted into the fixing hole 231 on the magazine 200 to the magazine 200 ) Is firmly seated on the third guide table 380 without flow.

이어, 해제핀실린더가 동작하여 해제핀이 상승하면서 매거진(200)의 바닥 판(230)에 형성된 구멍속으로 삽입되게 되면 이 구멍속에 위치하고 있던 하부캡(244)이 접촉된 후 밀려 상승되면서 고정바(236)를 상승시키게 된다.Subsequently, when the release pin cylinder is operated to be inserted into the hole formed in the bottom plate 230 of the magazine 200 while the release pin is raised, the lower cap 244 located in the hole is pushed up and pushed up to be fixed. (236) is raised.

따라서, 상기 고정바(236)는 그 상단부에 구비된 스프링(242)을 압축시키면서 그 상단이 상부캡(240) 속의 여유공간으로 밀려 올라가게 된다.Accordingly, the fixing bar 236 is pushed up to the free space in the upper cap 240 while compressing the spring 242 provided at the upper end.

이와 같은 동작에 의해 결국, 가이드슬롯(220)과 고정바(236)에 형성된 홈(238)이 일치되면서 가이드슬롯(220)은 열리게 되어 윈도우프레임(210)이 인출입될 수 있는 상태에 놓이게 된다.As a result, the guide slot 220 is opened while the guide slot 220 coincides with the groove 238 formed in the guide slot 220 and the fixed bar 236, so that the window frame 210 can be drawn out. .

이 상태에서 피처리물(520)의 적치가 완료되면 작업지시에 의해 작업이 시작되게 되는데, 먼저 전후진실린더(450)의 전진동작으로 파지편(460)이 안내레일(440)을 따라 전진된다.In this state, when the loading of the workpiece 520 is completed, the work is started by the work instruction. First, the grip piece 460 is advanced along the guide rail 440 by the forward and backward movement of the cylinder 450. .

이에 따라, 파지돌기(462)는 상기 윈도우프레임(210)의 걸림홈(214)으로 들어가게 되고, 이어 파지편(460)이 확장됨으로 인해 파지돌기(462)가 벌어지면서 상기 걸림홈(214)에 걸리게 된다.Accordingly, the gripping protrusion 462 enters the locking groove 214 of the window frame 210, and then the gripping protrusion 462 is opened due to the expansion of the gripping piece 460 to the locking groove 214. I get caught.

이 상태에서, 상기 파지편(460)이 후진하게 되면 상기 파지돌기(462)는 상기 윈도우프레임(210)을 파지한 채 후진되게 되고, 이로 인해 상기 윈도우프레임(210)은 상기 가이드슬롯(220)으로부터 인출되게 된다.In this state, when the gripping piece 460 is reversed, the gripping protrusion 462 is retracted while holding the window frame 210, so that the window frame 210 is the guide slot 220. Will be withdrawn from.

이후, 인출된 윈도우프레임(210)은 가이드판(410)상에 대기되고, 이어 승하강실린더(630)가 동작하여 적치대(510)에 적재되어 있던 피처리물(520)을 4개의 흡착수단(진공흡착)으로 흡착한 후 안내빔(610)을 따라 이동된 후 윈도우프레임(210)상에 안착시킨다.Subsequently, the drawn window frame 210 is waited on the guide plate 410, and then the lifting cylinder 630 operates to absorb the workpiece 520 loaded on the loading rack 510 by four suction means. After adsorption (vacuum adsorption) is moved along the guide beam 610 and seated on the window frame 210.

피처리물(520)이 윈도우프레임(210)상에 정확히 안착되면 윈도우프레임(210)에 구비된 경첩형 고정구(212)가 닫혀 피처리물(520)이 상기 윈도우프레임(21)상에 견고히 고정되게 된다.When the workpiece 520 is correctly seated on the window frame 210, the hinge-type fastener 212 provided in the window frame 210 is closed, so that the workpiece 520 is firmly fixed on the window frame 21. Will be.

이어, 승하강실린더(630)는 다시 상승한 후 적치대(510)로 이동하여 다른 피처리물(520)을 흡착하는 동작을 수행하기 위해 이동하여 대기하게 된다.Subsequently, the lifting cylinder 630 moves up to again and then moves to the loading rack 510 to perform the operation of adsorbing another object 520.

동시에, 전후진실린더(450)가 동작하면서 인출하였던 윈도우프레임(210)을 다시 원래 위치의 매거진(200)내 가이드슬롯(220)으로 다시 인입시키게 된다.At the same time, the window frame 210, which has been drawn out while the front and rear cylinders 450 are operated, is brought back into the guide slot 220 in the magazine 200 at the original position.

윈도우프레임(210)의 인입이 완료되면 파지편(360)은 상술한 파지시의 역순으로 진행하여 윈도우프레임(210)의 걸림홈(214)으로부터 벗어나게 되고, 초기 위치로 복귀하여 다음 동작을 위해 대기하게 된다.When the insertion of the window frame 210 is completed, the gripping piece 360 proceeds in the reverse order of the above-described gripping to move away from the locking groove 214 of the window frame 210, and returns to the initial position to wait for the next operation. Done.

이렇게 하여, 피처리물(520)이 안착된 윈도우프레임(210)의 인입이 완료되면 제3가이드테이블(380)은 가이드슬롯(220)의 상하높이만큼 하강하여 피처리물(520)을 수납한 윈도우프레임(210)의 직상방에 위치된 비어있는 윈도우프레임이 상기 파지편(460)과 수평이 되게 위치된다.In this way, when the insertion of the window frame 210 on which the workpiece 520 is seated is completed, the third guide table 380 descends by the vertical height of the guide slot 220 to store the workpiece 520. An empty window frame positioned directly above the window frame 210 is positioned to be horizontal to the gripping piece 460.

이러한 과정은 앞서 도 6에서 설명한 구동모터(388)의 구동에 따라 스크류샤프트(384)가 회전되면서 일어나게 된다.This process occurs as the screw shaft 384 is rotated according to the driving of the driving motor 388 described above with reference to FIG. 6.

이와 같은 과정을 수차례 반복하여 15-20매의 피처리물(520)이 모두 매거진(200)에 실장되게 되면 상기 제3가이드테이블(380)은 원래 위치로 다시 상승하고 반송을 위해 대기하게 된다.When the above process is repeated several times and all 15-20 workpieces 520 are mounted in the magazine 200, the third guide table 380 is raised back to its original position and waits for transportation. .

대기상태의 매거진(200)을 제1가이드테이블(300)로 반송하기 위해 작동프레 임(364)이 전진하고, 그에 부속된 프레임아암이 또다시 전진, 즉 2단 전진하여 클램프(368)가 상기 매거진(200)의 파지브라켓(233)을 클램핑하게 된다.The operation frame 364 is advanced to convey the magazine 200 in the standby state to the first guide table 300, and the frame arm attached thereto is advanced again, that is, two steps forward, so that the clamp 368 The gripping bracket 233 of the magazine 200 is clamped.

이때, 상기 제1가이드테이블(300)상의 길이방향 중앙부에는 제2대차(330)가 대기중이고, 상기 제2대차(330)의 비어 있는 중앙에는 반송용테이블(370)이 상기 제3가이드테이블(380)과 동일 높이를 유지한 채 상승되어 있는 상태이다.In this case, a second cart 330 is waiting in the longitudinal center portion of the first guide table 300, and a transport table 370 is located in the empty center of the second guide 330 in the third guide table ( 380) is being raised while maintaining the same height.

이 상태에서, 상기 작동프레임(364)이 후진하게 되면 상기 매거진(200)은 제3가이드테이블(380)상의 레일을 따라 이동하다가 상기 반송용테이블(370)의 반송용레일(372)로 넘어와 반송용테이블(370)상에 정위치되게 된다.In this state, when the operation frame 364 is retracted, the magazine 200 moves along the rail on the third guide table 380 and is transferred to the transport rail 372 of the transport table 370. It is brought into position on the conveying table 370.

이 과정에서, 상기 매거진(200)이 반송되기 전에 고정핀과 해제핀은 하강하여 매거진(200)의 바닥판(230)을 모두 고정하지 않게 된다.In this process, the fixing pin and the release pin are lowered before the magazine 200 is conveyed so as not to fix all the bottom plates 230 of the magazine 200.

따라서, 매거진(200)은 이동이 자유로운 대신 해제핀이 하강하는 순단 스프링(242)의 탄성복귀력에 의해 고정바(236)가 하강하면서 가이드슬롯(220)을 밀폐하여 그 내부에 실장되어 있는 윈도우프레임(210)이 유동되지 않도록 견실하게 고정하게 된다.Therefore, the magazine 200 is freely moved, but the window fixed to the guide slot 220 while the fixing bar 236 is lowered by the elastic return force of the step spring 242 in which the release pin is lowered and mounted therein. The frame 210 is firmly fixed so as not to flow.

덧붙여, 상술한 과정을 수행할 때에 피처리물(520)이 1매씩 실장됨과 동시에 빈 트레이(522)는 트레이파지대(526)에 의해 제1적치대(501)로 이동된 후 이동대차(540)상에 안착되게 된다.In addition, when performing the above-described process, the workpiece 520 is mounted one by one, and the empty tray 522 is moved to the first loading table 501 by the tray holder 526, and then the moving cart 540. ) Will be seated.

이렇게 하여, 상기 윈도우프레임(210)을 다수매 실장하고 있는 매거진(200)이 반송용테이블(370)로 안전하게 반송되어 정위치되게 되면, 상기 반송용테이블(370)은 하강하게 되고, 동시에 상기 매거진(200)은 제2대차(330)상에 안착되게 된다.In this way, when the magazine 200 mounting a plurality of window frames 210 is safely transported to the transport table 370 and is positioned correctly, the transport table 370 is lowered, and at the same time the magazine 200 is seated on the second bogie 330.

상기 매거진(200)이 제2대차(330)상에 안착되면 매거진(200) 자체의 유동을 방지하도록 고정하게 되고, 또한 해제핀실린더는 동작하지 않도록 하여 가이드슬롯(220)이 고정바(236)에 의해 여전히 폐쇄된 상태로 윈도우프레임(210)을 여전히 고정하게 된다.When the magazine 200 is seated on the second trolley 330, the magazine 200 is fixed to prevent the flow of the magazine 200 itself, and the guide pin 220 is fixed to prevent the release pin cylinder from operating. The window frame 210 is still fixed in the closed state.

이어, 제2대차실린더(350)가 동작하여 상기 제2대차(330)를 플라즈마챔버(100)의 도어 전방까지 이동시킨 후 다음 작업을 위해 대기하게 되고, 동시에 제1대차(320)에는 또다른 매거진이 안착되어 상술한 과정의 역순으로 제3가이드테이블(380)까지 안내되어 피처리물(520)을 실장하는 작업이 수행되게 된다.Subsequently, the second bogie cylinder 350 operates to move the second bogie 330 to the front of the door of the plasma chamber 100 and then wait for the next operation, and at the same time, the first bogie 320 has another The magazine is seated and guided to the third guide table 380 in the reverse order of the above-described process so that the work to be mounted 520 is performed.

한편, 매거진(200)이 플라즈마챔버(100)의 전방에 정위치되면 로더(120)에 구비된 로딩실린더(126)가 전진하여 로딩바(130)를 전진시킨다.On the other hand, when the magazine 200 is positioned in front of the plasma chamber 100, the loading cylinder 126 provided in the loader 120 is advanced to advance the loading bar 130.

로딩바(130)는 전진됨과 동시에 그 선단에 상향돌출된 걸림구(131)가 각 윈도우프레임(210)의 걸림홈(214)에 삽입되고, 이 상태에서 폭가변실린더(128)가 동작하여 상기 로딩바(130)를 벌어지게 함으로써 상기 걸림구(131)가 상기 걸림홈(214)에 견고히 걸릴 수 있도록 하여 준다.The loading bar 130 is advanced and at the same time, the locking hole 131 protruded upward at its tip is inserted into the locking groove 214 of each window frame 210, and in this state, the variable width cylinder 128 is operated to operate the loading bar. The opening 130 allows the locking hole 131 to be firmly caught in the locking groove 214.

이와 같은 상태가 유지되면 상기 걸림홈(214) 대향측 변에 설치된 해제핀실린더가 동작하여 해제핀이 상승함으로써 상기 매거진(200)의 후방측, 다시 말해 플라즈마챔버(100)의 도어측 가이드슬롯(220)을 개방하게 된다.When such a state is maintained, the release pin cylinder installed on the opposite side of the engaging groove 214 operates to release the release pin, so that the rear side of the magazine 200, that is, the door side slot of the plasma chamber 100 ( 220) is opened.

상기와 같은 과정을 거쳐 매거진(200)의 뒤쪽 가이드슬롯(220)이 개방되면 로딩실린더(126)가 다시 전진하면서 상기 다수매의 윈도우프레임(210)을 매거 진(200)으로부터 상기 플라즈마챔버(100)의 수납대(110)로 이동되면서 실장되게 된다.When the rear guide slot 220 of the magazine 200 is opened through the above process, the loading cylinder 126 moves forward and the plurality of window frames 210 are moved from the magazine 200 to the plasma chamber 100. It will be mounted while moving to the storage rack (110).

상기 윈도우프레임(210)의 실장이 완료되면 상술한 역순으로 동작하여 로딩바(130)는 윈도우프레임(210)으로부터 분리되어 초기 위치로 복귀되고, 플라즈마챔버(100)의 도어는 밀폐되며, 플라즈마챔버(100) 내부는 적절히 진공된 후 플라즈마처리기가 동작하여 실장된 피처리물(520)을 플라즈마 처리하게 된다.When the mounting of the window frame 210 is completed, the loading bar 130 is separated from the window frame 210 by returning to the initial position, the door of the plasma chamber 100 is sealed, and the plasma chamber ( The inside of the 100 is properly vacuumed, and then a plasma processor operates to plasma-process the mounted object 520.

즉, 15-20매의 피처리물(520)을 동시에 플라즈마 처리할 수 있게 되는 것이다.That is, it is possible to plasma-process 15-20 sheets to be processed 520 at the same time.

물론, 이 과정에서 플라즈마챔버(100)의 도어가 미리 개방되어야 함은 당연하고, 윈도우프레임(210) 실장후에는 또 당연히 도어가 폐쇄되어야 함은 물론이다.Of course, in this process it is obvious that the door of the plasma chamber 100 must be opened in advance, and of course, after the window frame 210 is mounted, the door must of course be closed.

이렇게 하여 피처리물(520)의 플라즈마 처리가 완료되면 다시 도어가 개방되고, 앞서 설명하였던 로딩바(130)의 동작이 그대로 수행되어 플라즈마챔버(100)의 수납대(110)에 수납되었던 다수의 윈도우프레임(210)이 다시 매거진(200)에 실장되게 된다.In this way, when the plasma processing of the object 520 is completed, the door is opened again, and the operation of the loading bar 130 described above is performed as it is and a plurality of windows received in the storage 110 of the plasma chamber 100. The frame 210 is again mounted in the magazine 200.

실장이 완료되면 해제핀실린더가 하강하여 다시 윈도우프레임(210)은 고정바(236)에 의해 고정된 상태를 유지하고, 진행되어 왔던 역순으로 매거진(200)채 다시 이동하여 처음 피처리물(520) 실장 위치인 가이드판(410)으로 재위치된 후 제3,4적치대 쪽으로 플라즈마처리된 피처리물(520)들이 하역되게 되며, 이동대차(540)로 하역이 완료되면 작업자에 의해 후속처리를 위한 공정으로 이동되게 된다.When the mounting is completed, the release pin cylinder is lowered and the window frame 210 is maintained again by the fixing bar 236, and the magazine 200 is moved again in the reverse order that was in progress. After being relocated to the mounting plate 410 which is a mounting position, the plasma-treated objects 520 are unloaded toward the third and fourth loading zones, and the unloading is completed by the operator when the loading to the moving cart 540 is completed. The process is moved to.

여기에서, 필요한 경우 상기 매거진(200)이 초기 제1대차(320)에 실리기 전에 드라이오븐을 거치도록 하여 윈도우프레임(210)을 미리 예열시킴으로써 그 처리효율을 더욱 높일 수도 있을 것이다.Here, if necessary, the magazine 200 may be subjected to a dry oven before being loaded on the initial first cart 320, thereby preheating the window frame 210 to further increase the processing efficiency.

이와 같은 과정을 거침으로서, 매거진 입장에서는 각 매거진 단위로 단속처리되는 것처럼 보이지만 피처리물(520)의 입장에서는 한꺼번에 대량으로 연속처리되는 효과를 갖게 된다.By going through such a process, it seems that the magazine is to be intermittently processed by each magazine unit, but the processing object 520 has the effect of being continuously processed in large quantities at once.

이로써, 특히 얇은 PCB와 같은 피처리물(520)을 구김이나 파손없이 보다 효율적이고 생산적으로 플라즈마처리할 수 있게 된다.As a result, the target object 520, such as a thin PCB, may be more efficiently and productively plasma-processed without being wrinkled or damaged.

도 1은 본 발명에 따른 자동화장치의 전체 설비를 예시적으로 보인 개략 사시도,1 is a schematic perspective view illustrating an entire installation of an automation apparatus according to the present invention;

도 2 내지 도 7은 본 발명에 따른 자동화장치의 요부 구성을 보인 예시도.2 to 7 is an exemplary view showing the main configuration of the automation device according to the present invention.

♧ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♧♧ description of the symbols for the main parts of the drawing ♧

100....플라즈마챔버 200....매거진100 .... Plasma Chamber 200 .... Magazine

300....제1가이드테이블 360....제2가이드테이블300 .... 1st guide table 360 .... 2nd guide table

380....제3가이드테이블 400....PCB장착부3rd guide table 400 .... PCB mounting part

500....대차부 600....작동부500 .... Loan 600 ....

Claims (19)

다수의 프레임이 조립되어 이루어지고, 상면에는 한쌍의 매거진안내레일이 설치된 제1가이드테이블과;A first guide table having a plurality of frames assembled and provided with a pair of magazine guide rails on an upper surface thereof; 상기 제1가이드테이블의 매거진안내레일을 따라 이동되게 설치되며, 중앙부가 일정크기로 절개 형성된 제1,2대차와;First and second trolleys installed to be moved along the magazine guide rails of the first guide table and having a central portion cut in a predetermined size; 상기 제1,2대차를 각각 구동시키도록 상기 제1가이드테이블의 양단부에 설치된 제1,2대차실린더와;First and second bogie cylinders provided at both ends of the first guide table to drive the first and second bogies, respectively; 상기 제1가이드테이블의 길이방향 중앙부에 설치되고, 실린더에 의해 상기 제1,2대차중 어느 하나의 절개된 중앙부를 통해 상승되게 설치되는 반송용테이블과;A conveying table which is provided at a central portion in the longitudinal direction of the first guide table and is mounted to be lifted through the cut center portion of any one of the first and second carts by a cylinder; 상기 제1,2대차상에 분리가능하게 안착고정되고, 내부에는 다수의 가이드슬롯을 가지며, 이 가이드슬롯에는 윈도우프레임이 실장되는 매거진과;A magazine which is detachably mounted on the first and second bogies and has a plurality of guide slots therein, the guide slots having a window frame mounted thereon; 상기 반송용테이블이 설치된 부위에서 상기 제1가이드테이블과 직교되는 방향으로 동일평면을 이루며 연장설치된 제2가이드테이블과;A second guide table extending in the same plane in a direction orthogonal to the first guide table at a portion where the transport table is installed; 상기 제2가이드테이블상에 조립되고, 실린더에 의해 동작되며, 선단에는 상기 매거진의 양측면을 파지하는 클램프를 가진 작동프레임과;An operating frame assembled on the second guide table and operated by a cylinder, the operating frame having a clamp at its front end that grips both sides of the magazine; 상기 제1가이드테이블을 사이에 두고 상기 제2가이드테이블의 연장선상에 상기 반송용테이블과 대응되는 높이로 설치되며, 구동모터와 스크류샤프트에 의해 다단 승하강가능하게 설치된 제3가이드테이블과;A third guide table disposed on an extension line of the second guide table with the first guide table interposed therebetween, the third guide table being provided to be moved up and down by a drive motor and a screw shaft; 상기 제3가이드테이블 전방에 설치되고, 적치대에 적재된 PCB를 흡착이동시켜 상기 매거진에 실장된 윈도우프레임을 인출하여 상기 PCB를 세팅한 후 다시 인입시키는 PCB장착부와;A PCB mounting unit installed at the front of the third guide table and drawing out the window frame mounted on the magazine by suction moving the PCB loaded on the loading rack and setting the PCB again; 상기 제1가이드테이블의 일단과 이격설치된 진공 처리용 플라즈마 챔버와;A plasma chamber for vacuum treatment spaced apart from one end of the first guide table; 상기 플라즈마챔버의 전방에 상기 제1가이드테이블의 폭만큼 떨어져 설치되고, 상기 매거진에 실장된 다수의 윈도우프레임을 한꺼번에 플라즈마챔버로 이동시키도록 다수의 로딩바를 갖는 로더;A loader installed in front of the plasma chamber by a width of the first guide table and having a plurality of loading bars to move a plurality of window frames mounted in the magazine to the plasma chamber at one time; 로 구성된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.Plasma continuous automatic processing apparatus of the PC, characterized in that consisting of. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 제1,2대차중 상기 제1대차는 초기 진입된 상기 매거진을 싣고 상기 제1가이드테이블의 일단으로부터 중앙부의 반송용테이블까지만 왕복이동되게 설치되고, 상기 제2대차는 PCB를 실장한 매거진을 싣고 상기 제1가이드테이블의 중앙부에 설치된 반송용테이블로부터 플라즈마챔버가 설치된 제1가이드테이블의 타단까지만 왕복이동되게 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.Among the first and second bogies, the first bogie carries the initially entered magazine and is installed to reciprocate only from one end of the first guide table to the transfer table in the center, and the second bogie carries a magazine mounted with a PCB. A plasma processing apparatus for automatic plasma processing of a PC, characterized in that it is installed so as to reciprocate only from the transport table provided at the center of the first guide table to the other end of the first guide table provided with the plasma chamber. 청구항 2에 있어서;The method according to claim 2; 상기 제1,2대차에 안착되는 상기 매거진은 사각형상의 바닥판과, 상기 바닥판의 네모서리로부터 세워고정된 측판과, 상기 측판의 상단에 고정된 상판으로 형성되되 상판은 'ㄷ' 형상으로 절개부를 갖고, 측판은 상기 상판의 'ㄷ' 형상 절개부 방향으로 전후양쪽이 개방되며, 측판의 내부에는 개방된 방향으로 배열된 가이 드슬롯이 상하로 다수 설치된 구성으로 이루어진 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The magazine seated on the first and second bogies is formed of a rectangular bottom plate, a side plate fixed from the corners of the bottom plate, and a top plate fixed to an upper end of the side plate, and the top plate is cut into a 'c' shape. The side plate has a front and rear both sides in the direction of the 'c'-shaped incision of the upper plate, the inside of the side plate is formed of a plurality of guide slots arranged in the open direction up and down the plasma of the PCC Continuous automatic processing unit. 청구항 3에 있어서;The method according to claim 3; 상기 매거진의 네모서리에는 상판과 가이드슬롯을 관통하여 고정바가 설치되고, 상기 고정바는 그 길이방향으로 상기 가이드슬롯의 폭에 대응되는 홈이 요철형태로 교대 반복되며, 상기 상판에는 상기 고정바가 끼워져 유동될 수 있는 공간을 갖는 상부캡이 고정되고, 상기 상판과 고정바의 상단 사이에는 스프링이 개재되며, 상기 고정바의 하단에는 하부캡이 끼워지되 상기 하부캡은 상기 매거진의 바닥판상에 형성된 홈에 끼워지고, 상기 홈에는 하부캡보다 작은 직경의 구멍이 뚫리며, 상기 제1,2대차에는 상기 구멍을 관통하여 해제핀실린더에 의해 승하강되면서 상기 고정바를 밀어올리는 해제핀이 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.Fixing bars are installed in the four corners of the magazine through the upper plate and the guide slot, and the fixing bar alternately repeats grooves corresponding to the width of the guide slot in the longitudinal direction in the form of irregularities, and the fixing bar is inserted into the upper plate. An upper cap having a space that can flow is fixed, and a spring is interposed between the upper plate and the upper end of the fixing bar, and the lower cap is fitted to the lower end of the fixing bar, and the lower cap is a groove formed on the bottom plate of the magazine. It is inserted into the groove, a hole of a diameter smaller than the lower cap is drilled, the first and second bogie is characterized in that the release pin for pushing up the fixing bar while being raised and lowered by the release pin cylinder through the hole Plasma continuous automatic processing device of PCX. 청구항 4에 있어서;The method according to claim 4; 상기 매거진의 바닥판에 설치된 하부캡들 사이에는 적어도 하나 이상의 고정공이 더 형성되고, 상기 제1,2대차에는 상기 고정공을 관통하여 고정핀실린더에 의해 승하강되면서 상기 매거진을 고정시키는 고정핀이 더 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.At least one fixing hole is further formed between the lower caps installed on the bottom plate of the magazine, and the first and second bogies have a fixing pin for fixing the magazine while being lowered by a fixing pin cylinder through the fixing hole. Plasma continuous plasma processing apparatus of the PC, characterized in that further installed. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 윈도우프레임은 그 4변에 내부의 개구에 안착된 PCB를 고정하는 고정구가 설치되고, 상기 4변중 어느 한변 중앙에는 입구가 좁고 입구 뒷부분부터 좌우양측으로 확장된 걸림홈이 형성된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치. The window frame is provided with a fixture for fixing the PCB seated in the inner opening on its four sides, the center of any one of the four sides is characterized in that the inlet is narrow and the engaging grooves are formed extending from the rear side to the left and right sides Plasma continuous automatic processing device. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 작동프레임에는 프레임아암실린더가 설치되고, 상기 프레임아암실린더에는 프레임아암이 연결되며, 상기 프레임아암의 선단에는 상기 클램프가 고정된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The frame arm cylinder is installed in the operation frame, the frame arm is connected to the frame arm cylinder, the plasma continuous automatic processing apparatus of the PCC, characterized in that the clamp is fixed to the front end of the frame arm. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 제3가이드테이블에는 상기 매거진에 끼워져 이를 고정하기 위한 고정핀과, 상기 고정핀을 승하강시키는 고정핀실린더가 더 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The third guide table is a plasma pin automatic processing apparatus of the PCP, characterized in that the fixing pin is inserted into the magazine for fixing it, and a fixed pin cylinder for raising and lowering the fixing pin. 청구항 1 또는 청구항 8에 있어서;The method according to claim 1 or 8; 상기 제3가이드테이블의 일측에는 고정블럭이 고정되고, 상기 고정블럭에는 고정로드가 연결되며, 상기 고정로드의 단부에는 내경에 나사산을 갖는 타임벨트풀리박스가 고정되고, 상기 타임벨트풀리박스에는 상기 스크류샤프트가 치결합되며, 상기 스크류샤프트의 양단은 베이스프레임의 상하단에 자회전가능하게 베어링고정되고, 상기 스크류샤프트의 하단부에는 타임벨트풀리가 고정되며, 상기 타임벨트풀리는 상기 베이스프레임상에 고정된 구동모터와 타이밍벨트로 연결되는 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.A fixing block is fixed to one side of the third guide table, a fixing rod is connected to the fixing block, and a time belt pulley box having a screw thread in an inner diameter is fixed to an end of the fixing rod, and the time belt pulley box is attached to the fixing block. The screw shaft is tooth-coupled, both ends of the screw shaft are fixed to the upper and lower ends of the base frame to be rotatable, the lower end of the screw shaft is fixed to the time belt pulley, the time belt pulley is fixed on the base frame Plasma continuous automatic processing apparatus of the PCK, characterized in that connected to the drive motor and the timing belt. 청구항 9에 있어서;The method of claim 9; 상기 구동모터에는 회전수에 따라 상기 제3가이드테이블의 승하강높이를 조절하는 위치결정센서가 더 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.And a positioning sensor for adjusting the raising and lowering height of the third guide table in accordance with the rotational speed of the driving motor. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 PCB장착부는 제3가이드테이블과 간격을 두고 설치된 가이드판과, 상기 가이드판의 상면 중앙에 설치되고 매거진을 향해 배열된 안내레일과, 상기 안내레일의 최후단에 고정된 전후진실린더와, 상기 전후진실린더에 연결되고 또다른 실린더에 의해 벌어지고 닫히면서 윈도우프레임을 쇄정 및 해정할 수 있도록 구비된 파지편과, 상기 파지편의 선단 상면에 돌출형성된 파지돌기로 구성된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The PCB mounting portion is provided with a guide plate spaced apart from the third guide table, a guide rail installed in the center of the upper surface of the guide plate and arranged toward the magazine, the front and rear cylinders fixed to the end of the guide rail, and Plasma continuous plasma of the PC, characterized in that the gripping piece is connected to the forward and backward cylinders and is opened and closed by another cylinder, the gripping piece is provided for locking and unlocking the window frame, and the gripping protrusion protruding from the top surface of the gripping piece. Automatic processing unit. 청구항 11에 있어서;The method of claim 11; 상기 PCB장착부에는 제1가이드테이블과 평행하게 배열설치된 안내빔과, 상기 가이드판의 양측에 구비된 PCB 적치대와, 상기 안내빔을 따라 이동되는 이동판과, 상기 이동판상에 설치된 승하강실린더와, 상기 승하강실린더에 고정되고 상기 적치대에 적재된 PCB를 흡착하는 파지대가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The PCB mounting portion includes a guide beam arranged in parallel with the first guide table, a PCB mounting stand provided on both sides of the guide plate, a moving plate moving along the guide beam, and a lifting cylinder installed on the moving plate. And a gripper fixed to the elevating cylinder and adsorbing the PCB loaded on the loading rack. 청구항 12에 있어서;The method of claim 12; 상기 파지대는 진공패드인 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The gripping zone is a plasma continuous automatic processing apparatus of the PCK, characterized in that the vacuum pad. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 로더는 로딩실린더와, 상기 로딩실린더에 연결고정되고 장변 양측 일부가 절개되어 홈을 갖는 유동판과, 상기 유동판의 홈 속으로 인출입되는 스토퍼를 갖고 상기 유동판의 전방에 구비되는 한쌍의 로딩바고정판과, 상기 유동판에 고정되고 상기 스토퍼에 연결된 폭가변실린더와, 상기 로딩바고정판에 각각 상하로 다수 고정된 로딩바와, 상기 로딩바의 선단에 상향돌출되어 윈도우프레임을 쇄정 및 해정하는 걸림구로 구성된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The loader has a loading cylinder, a fluidized plate connected to the loading cylinder and partially cut at both sides of the long side and having a groove, and a stopper drawn into and out of the groove of the fluidized plate, and a pair provided in front of the fluidized plate. A loading bar fixing plate, a variable width cylinder fixed to the fluid plate and connected to the stopper, a loading bar fixed up and down on the loading bar fixing plate, respectively, and a locking mechanism for upwardly protruding from the tip of the loading bar to lock and unlock the window frame. Plasma continuous automatic processing apparatus of the PCK, characterized in that. 청구항 14에 있어서;The method of claim 14; 상기 로더의 상단에는 가이드프레임이 플라즈마챔버를 향해 배열설치되고, 상기 가이드프레임에는 상기 유동판의 상단과 연결된 가이더가 더 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.Guide frame is arranged on the upper end of the loader toward the plasma chamber, the guide frame plasma continuous automatic processing apparatus of the PCC, characterized in that the guider is further connected to the upper end of the flow plate. 청구항 1에 있어서;The method according to claim 1; 상기 PCB장착부에는, 가이드판을 중심으로 일측에 설치되는 제1,2적치대 및 타측에 제1,2적치대와 대칭되도록 설치되는 제3,4적치대와, 상기 제1,2적치대 및 제3,4적치대의 상면에 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 이동되는 트레이운송대와, 상기 트레이운송대의 상면에 실린더를 통해 높이조절되게 설치되며 빈 트레이를 파지하는 트레이파지대와, 상기 제1,2적치대 및 제3,4적치대의 배면에 상하방향으로 이동가능하게 설치되는 승강부재와, 상기 승강부재에 의해 다단 승하강되며 이동대차상에 안착되고 피처리물을 수납한 트레이로 이루어진 대차부가 더 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The PCB mounting portion, the first and second mounting brackets installed on one side with respect to the guide plate, and the third and fourth mounting brackets installed on the other side to be symmetrical with the first and second mounting brackets, A guide rail installed on an upper surface of the third and fourth loading racks, a tray carriage moved along the guide rails, a tray gripper installed on the upper surface of the tray carriage so as to be height-adjusted through a cylinder, and holding an empty tray; A lifting member which is installed on the back of the first and second loading rods and the third and fourth loading rods so as to be movable in the vertical direction; A plasma continuous automatic processing apparatus of a PCK, characterized in that a cart is provided. 청구항 16에 있어서;The method of claim 16; 상기 승강부재는 그 일측이 연결대와 고정되어지고, 상기 연결대는 상기 제1,2적치대 및 제3,4적치대 배면에 상하방향으로 자회전되게 설치된 스크류샤프트와 치결합되어지고, 상기 스크류샤프트는 승하강모터와 타이밍벨트로 연결되어진 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.One side of the elevating member is fixed to the connecting rod, the connecting rod is engaged with the screw shaft is installed to rotate in the vertical direction on the back of the first, second and third loading posts, the screw shaft, Plasma continuous automatic processing apparatus of the PC, characterized in that connected to the elevating motor and the timing belt. 청구항 17에 있어서;The method of claim 17; 상기 승하강모터에는 위치결정센서가 더 설치된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.Plasma continuous automatic processing apparatus of the PCP, characterized in that the positioning sensor is further installed in the lifting motor. 청구항 16에 있어서;The method of claim 16; 상기 이동대차는 저면에 다수 설치된 캐스터와, 상부 일측에 구비되어 밀 수 있도록 된 손잡이와, 상기 트레이가 거치되는 트레이안착면상에 이 트레이를 붙잡아주도록 세워설치된 다수의 가이드포스트와, 상기 승강부재와 대응되는 형상과 크기로 상기 트레이안착면상에 절개 형성된 절개홈으로 구성된 것을 특징으로 하는 ＰＣＢ의 플라즈마 연속 자동 처리장치.The movable trolley has a plurality of casters provided on the bottom surface, a handle provided on one side of the upper side, a plurality of guide posts installed to hold the tray on the tray seating surface on which the tray is mounted, and the elevating member. Plasma continuous automatic processing apparatus of the PCK, characterized in that consisting of an incision groove formed on the tray seating surface in a shape and size.
KR1020070133325A 2007-12-18 2007-12-18 Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb KR100941447B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070133325A KR100941447B1 (en) 2007-12-18 2007-12-18 Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb
PCT/KR2008/001060 WO2009078503A1 (en) 2007-12-18 2008-02-22 Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070133325A KR100941447B1 (en) 2007-12-18 2007-12-18 Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090065819A KR20090065819A (en) 2009-06-23
KR100941447B1 true KR100941447B1 (en) 2010-02-11

Family

ID=40795612

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070133325A KR100941447B1 (en) 2007-12-18 2007-12-18 Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100941447B1 (en)
WO (1) WO2009078503A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102699749A (en) * 2012-06-19 2012-10-03 河北工业大学 Automatic loading and unloading device
KR102446066B1 (en) * 2021-04-22 2022-09-23 주식회사 삼에스코리아 Tray installed in the panel storage container

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101354062B1 (en) * 2012-07-20 2014-01-24 주식회사제4기한국 Apparatus for supplying window frame into plasma chamber of plasma processing machine
KR101380865B1 (en) * 2012-09-13 2014-04-02 주식회사 테크아이 Vision press clamp moving structure
KR101479766B1 (en) * 2013-08-23 2015-01-07 비전세미콘 주식회사 Plazma cleaning Apparatus for manufactring semiconductor package
CN106206389B (en) * 2014-10-17 2018-10-09 兴化市联富食品有限公司 A kind of wafer disk pusher
CN104619159B (en) * 2015-02-03 2017-05-17 苏州博众精工科技有限公司 Flat cable shifting mechanism
CN105129354B (en) * 2015-09-16 2017-08-04 苏州听毅华自动化设备有限公司 A kind of left and right transfer mechanism
KR102707382B1 (en) 2020-06-10 2024-09-13 삼성전자주식회사 A equipment supporting a magazine and a equipment manufacturing semiconductor including the same
CN114916143A (en) * 2021-02-08 2022-08-16 柏承科技股份有限公司 Cabin system with continuous processing
CN113492425B (en) * 2021-07-15 2022-09-20 深圳信测标准技术服务有限公司 Food detects with supplementary cutting device of alternative of can stereotyping
CN113753495A (en) * 2021-09-28 2021-12-07 昆山振顺电子科技有限公司 Full-automatic intelligent conveyor and conveying method for carrier plate cache
CN114430621B (en) * 2021-12-01 2023-06-27 珠海安普特科技有限公司 PCB plasma processing apparatus and control method thereof
CN114056945B (en) * 2021-12-10 2024-05-28 苏州策林智能科技有限公司 Material tray stacking equipment
CN116072576B (en) * 2023-03-24 2023-08-08 广州雅量商业智能技术有限公司 Integrated circuit board packaging device and packaging method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010109401A (en) * 2000-05-31 2001-12-10 백태일 Continuous type plasma cleaning method
JP2003318518A (en) 2002-04-26 2003-11-07 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Film board transfer mechanism and plasma cleaning unit equipped therewith
KR20060125301A (en) * 2005-06-02 2006-12-06 비전세미콘 주식회사 Plazma cleaning apparatus for a semiconductor panel
KR20070013866A (en) * 2005-07-27 2007-01-31 주식회사 아이피에스 Plasma processing system of cluster type and processing method thereby

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100410796B1 (en) * 2001-11-13 2003-12-18 주식회사 선비테크 Supplying and carrying out and examing device for PCB plate board

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010109401A (en) * 2000-05-31 2001-12-10 백태일 Continuous type plasma cleaning method
JP2003318518A (en) 2002-04-26 2003-11-07 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd Film board transfer mechanism and plasma cleaning unit equipped therewith
KR20060125301A (en) * 2005-06-02 2006-12-06 비전세미콘 주식회사 Plazma cleaning apparatus for a semiconductor panel
KR20070013866A (en) * 2005-07-27 2007-01-31 주식회사 아이피에스 Plasma processing system of cluster type and processing method thereby

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102699749A (en) * 2012-06-19 2012-10-03 河北工业大学 Automatic loading and unloading device
KR102446066B1 (en) * 2021-04-22 2022-09-23 주식회사 삼에스코리아 Tray installed in the panel storage container

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009078503A1 (en) 2009-06-25
KR20090065819A (en) 2009-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100941447B1 (en) Auto plasma continuous treatment apparatus of pcb
CN110027899B (en) Production line, feeding device and connection mechanism
KR200480692Y1 (en) Machining apparatus of plate
CN113071887A (en) IC carrier plate placing machine
CN112117220A (en) Plasma cleaning machine
JPH0717602A (en) Chip supply device
KR100633848B1 (en) Substrate installation/removal device, substrate installation/removal method, substrate carrier device, and substrate carrier method
CN108861625A (en) Control method for material containing pallet bunching device
CN112782415A (en) Test pretreatment device, medical equipment and detection method
CN115246503B (en) Boxing equipment
CN213378294U (en) Plasma cleaning machine
CN215543380U (en) Plasma cleaning equipment
CN214794839U (en) Pretreatment device for testing and medical equipment
CN214421761U (en) Automatic feeding and discharging equipment
CN213701066U (en) Circulation mechanism of material supporting jig
KR0124820Y1 (en) Electronic parts mounting apparatus
JP3705699B2 (en) Thin plate holding and conveying method
JPH05178413A (en) Stocker
JP3702681B2 (en) Automatic workpiece loading device
CN116715009B (en) Plate conveying device and method
JP3909597B2 (en) Board loading / unloading device
CN220702335U (en) Polar plate flattening device
CN221564390U (en) Soft plate blanking device
CN219044624U (en) Disc disassembling and distributing mechanism for transfer disc
JPH06163673A (en) Substrate processing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121231

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140129

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150129

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160201

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170126

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190131

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200203

Year of fee payment: 11