KR100927906B1 - 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법 - Google Patents

전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100927906B1
KR100927906B1 KR1020080097401A KR20080097401A KR100927906B1 KR 100927906 B1 KR100927906 B1 KR 100927906B1 KR 1020080097401 A KR1020080097401 A KR 1020080097401A KR 20080097401 A KR20080097401 A KR 20080097401A KR 100927906 B1 KR100927906 B1 KR 100927906B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electron beam
carbon nanotube
data recording
disk
electron gun
Prior art date
Application number
KR1020080097401A
Other languages
English (en)
Inventor
방국현
Original Assignee
(주)코셈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)코셈 filed Critical (주)코셈
Priority to KR1020080097401A priority Critical patent/KR100927906B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100927906B1 publication Critical patent/KR100927906B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/02—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using ferroelectric record carriers; Record carriers therefor
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/06—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using record carriers having variable electrical capacitance; Record carriers therefor
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • G11B9/1409—Heads
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • G11B9/1463—Record carriers for recording or reproduction involving the use of microscopic probe means

Landscapes

  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

본 발명은 전계방출 효과에 의한 전자빔을 정보저장매체에 데이터를 기록하기 위한 광원으로 이용하는 데이터 기록장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 CNT(탄소나노튜브)의 전계방출 효과에 의한 전자빔을 이용하여 광기록 매체에 정보를 기록하고, 기록된 정보에 대한 재생을 수행함으로써 정보 기록 밀도를 향상하는 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 방법에 관한 것이다.
전자총, FE-SEM, 탄소나노튜브, CNT, 제어회로

Description

전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법{Data recording apparatus}
본 발명은 전계방출 효과에 의한 전자빔을 정보저장매체에 데이터를 기록하기 위한 광원으로 이용하는 데이터 기록장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 CNT(탄소나노튜브)의 전계방출 효과에 의한 전자빔을 이용하여 광기록 매체에 정보를 기록하고, 기록된 정보에 대한 재생을 수행함으로써 정보 기록 밀도를 향상하는 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 방법에 관한 것이다.
오늘날, 정보저장장치 관련 분야는 그 시장 및 기술 분야에 있어 급속한 속도로 발전되고 있다. 그리고 원자 해상도를 가지는 대용량 정보저장장치는 점점 수요가 늘어날 전망이며, 앞으로의 대세는 CD-RW에서 DVD-RW로 옮겨가, 점점 정보 기록 밀도와 정보 저장 용량과 속도에 대한 사용자의 요구가 강해지고 있다.
일반적으로, 정보저장매체는 반복 기록의 가능 여부에 따라서 읽기 전용의 롬(ROM:Read Only Memory)형과, 1회 기록 가능한 웜(WORM:Write Once Read Many)형 및 반복적으로 기록할 수 있는 재기록 가능형 등으로 크게 3종류로 분류된다.
여기서, ROM형 정보저장매체는 컴팩트 디스크(CD:Compact Disc) ROM과 디지 털 다기능 디스크(DVD:Digital Versatile Disc) ROM 등이 있으며, WORM형 정보저장매체는 1획 기록 가능한 컴팩트 디스크(CD-R:Recodable Compact Disc)와 1회 기록 가능한 디지털 다기능 디스크(DVD-R:Recodable Digital Versatile Disc) 등이 있다.
또한, 자유롭게 반복적으로 재기록 가능한 디스크로는 재기록 가능한 컴팩트 디스크(CD-RW)와 재기록 가능한 디지털 디스크(DVD-RW) 등이 있다.
이러한 정보저장장치는, 데이터를 광기록 디스크에 기록하거나 재생을 수행함에 있어, 레이저 다이오드 및 포토 다이오드로 구성된 광픽업을 이용하여 광을 집광시켜 광기록 디스크의 변형을 유도하여 데이터를 기록하며, 광기록 디스크로부터 반사되는 광을 수광하여 광기록 디스크에 기록되어 있는 데이터를 해독하게 된다.
그러나, 레이저 다이오드를 광원으로 사용하는 정보저장장치의 경우, 정보 저장 밀도 면에서 그 한계가 뚜렷하다, 이는 빛의 회절 한계(diffraction limit)라는 물리적인 현상에 기인한 것으로서, 빛의 파장이 350~400nm 정도라는 점과, 그 이하로 포커싱(focusing)이 어렵다는 점, 아주 좁은 크기의 그레이팅(grating)이 존재할 경우 빛은 회절되어 초점으로 맺히지 못하고 퍼져 버린다는 점 때문이다.
이러한 정보저장장치의 원리적인 한계를 극복하기 위하여 시도되고 있는 다양한 기술로는, 근접장을 이용하는 방법과, 비선형 매질을 이용하는 방법과, 홀로그라피를 이용하는 방법과, 기록 매체의 표면 모양을 렌즈 기능으로 하도록 바꾸는 방법과, 다중 파장을 사용하는 방법과, 다중 레이어(layer)를 사용하는 방법 및 보 다 짧은 파장을 가지는 광원을 이용하는 방법 등이 있으나, 모두 아직까지는 기술적인 해결점을 찾지 못하고 있는 상황이다.
일반적으로 전자빔 리소그래피(Electron Beam Lithography)장비나 주사터널현미경(Scanning Tunneling Microscopy: STM) 또는 전계방출표시소자(Field Emission Display: FED)등과 같이 집광된 전자빔이 요구되는 장비에서는 본 발명과 같은 전자총이 필요하다.
전자총은 주사터널 현미경이나 결함 검출장치, VLSI 검사장비, 전계방출표시소자 및 전자빔 리소그래피를 포함하는 여러분야에서 이용되고 있다. 도 1은 이와 같은 전자총 중에서 주사터널현미경에 사용되는 전자빔소스 모듈의 단면을 도시한 도면으로, 주사터널현미경에 정렬된 전계방출(STM Aligned Field Emisson: SAFE) 전자빔 소스의 단면을 보여주고 있다.
본 발명의 목적은 전자빔을 이용하여 데이터를 기록하기 위해서, 특정 물질의 디스크를 일정한 진공상태를 유지하는 진공챔버 내에 장착하고, 이를 일정속도로 회전시키고, 또한, 디스크에 전자빔을 조사하도록 전자빔 조사장치와 진공챔버를 도킹하는 도킹장치와, 진공챔버 내의 디스크에 데이터를 기록하도록 진공챔버를 회전시키는 구성 및 진공챔버를 X축으로 이송하는 구성을 포함하는 본 발명에 따른 전자빔을 이용한 데이터 기록장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 전자빔을 이용한 데이터 기록방법을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 전계방출 효과에 의한 전자빔을 정보저장매체에 데이터를 기록하기 위한 광원으로 이용하는 데이터 기록장치에 있어서, 전계방출 효과로 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치와; 디스크가 수용되는 회전판과 상기 회전판의 중심으로부터 수직 상하방향으로 연장되는 샤프트를 내부에 구비하고, 상부는 좌,우측으로 개폐되는 슬라이딩 도어가 구비되며, 외부의 하측으로는 상기 샤프트와 동일한 중심을 갖는 1기어를 구비하여 상측이 상기 전자빔 조사장치의 하부 일측과 맞물려 일측으로 슬라이딩되어 결합되는 진공챔버와; 상기 1기어의 측면과 맞물리는 2기어를 상부에 구비하고 2기어를 회전시키는 스핀들모터를 구비하며, 내측에는 이송라인을 형성하여 구동축을 삽입하고, 구동축과 연결된 구동모 터의 회전으로 구동축이 회전되어 X축 방향으로 이송되는 이송부와; 상기 2기어가 1기어의 측면과 맞물리도록 이송부를 수직으로 이송하는 도킹장치;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 데이터 기록장치에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 방법에 의하면, CNT(탄소나노튜브)의 전계방출 효과에 의한 전자빔을 이용하여 광기록 매체에 정보를 기록하고, 기록된 정보에 대한 재생을 수행함으로써 정보 기록 밀도를 향상하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 전자빔 조사장치는 CNT에서 방출된 전자들에 의해 발생되는 온도를 2차 아노드측에서 체크하고 온도변화에 따른 CNT물질의 소모량을 측정하여 CNT에 가하는 전원의 공급을 적절히 조정함으로써 CNT물질의 최적수명에 대한 전원양을 도출할 수 있어, CNT물질의 수명을 최대한 연장하도록 CNT물질에 가하는 전원을 온도변화에 따라 제어함으로써 CNT물질의 수명을 연장하는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 양호한 실시예를 도시한 첨부도면들과 관련하여 상세히 설명한다.
본 발명은 전계방출 효과에 의한 전자빔을 정보저장매체에 데이터를 기록하기 위한 광원으로 이용하는 데이터 기록장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 전계방출 효과로 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치(10)와; 디스크(50)가 수용되는 회전판(33)과 상기 회전판(33)의 중심으로부터 수직 상하방향으로 연장되는 샤프트(32)를 내부에 구비하고, 상부는 좌,우측으로 개폐되는 슬라이딩 도어(31)가 구비되며, 외부의 하측으로는 상기 샤프트(32)와 동일한 중심을 갖는 1기어(61)를 구비하여 상측이 상기 전자빔 조사장치(10)의 하부 일측과 맞물려 일측으로 슬라이딩되어 결합되는 진공챔버(30)와; 상기 1기어(61)의 측면과 맞물리는 2기어(62)를 상부에 구비하고 2기어(62)를 회전시키는 스핀들모터(43)를 구비하며, 내측에는 이송라인을 형성하여 구동축(41)을 삽입하고, 구동축(41)과 연결된 구동모터(42)의 회전으로 구동축(41)이 회전되어 X축 방향으로 이송되는 이송부와; 상기 2기어((62)가 1기어(61)의 측면과 맞물리도록 이송부를 수직으로 이송하는 도킹장치를 포함하여 구성된다.
전자빔 조사장치(10)는 전원을 공급하는 전원부(3)와, 전원부(3)로부터 전원을 공급받아 가변하는 변압기(2)와, 변압기로(2)부터 가변된 전압을 공급받는 전극부(1)로 구성되는 전원공급부와; 상기 전극부(1)에 연결되어 전자를 방출하는 탄소나노튜브 전자총(100)과; 상기 탄소나노튜브 전자총(100)의 하방향에 위치되어 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들의 속도를 세밀하게 조정하기 위한 1차 아노드(5a)와; 상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들을 가속시키기 위해 1차 아노드(5a)의 하방향에 위치되는 2차 아노드(5b)와; 상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 발생하는 전자빔을 집속하는 콘덴서 렌즈부와; 상기 전자빔의 초점거리를 조절하는 대물렌즈를 포함하며,
상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들의 온도를 측정하는 온도센서(6)와, 상기 온도센서(6)의 신호를 기초로 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급 되는 전원을 제어하는 제어장치를 더 구비하여 구성된다.
여기서, 도 1 내지 도 5에 표기된 (A)부분은 탄소나노튜브 전자총(100)과, 1차아노드(5a)와, 2차아노드(5b)와, 온도센서(6)와, 제어장치와, 전원공급부와, 콘덴서로 구성될 수 있다.
전원공급부는 전원을 공급하는 전원부(3)와, 전원부(3)로부터 전원을 공급받아 가변하는 변압기(2)와, 변압기(2)로부터 가변된 전압을 공급받는 전극부(1)로 구성된다.
탄소나노튜브 전자총(100)은 상기 전극부(1)에 연결되어 전자를 방출하기 위해 구비된다.
1차 아노드(5a)는 상기 탄소나노튜브 전자총(100)의 하방향에 위치되어 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들의 속도를 세밀하게 조정하기 위해 구성되며, 2차 아노드(5b)는 상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들을 가속시키기 위해 1차 아노드(5a)의 하방향에 위치된다.
온도센서(6)는 상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들의 온도를 측정하기 위해 구비되며, 제어장치는 상기 온도센서(6)의 신호를 기초로 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 전원을 제어하기 위해 구비된다.
한편, 온도센서(6)는 2차 아노드(5b)에 장착되고, 제어장치는 온도센서(6)와 전기적으로 연결되어 온도센서(6)의 신호를 기초로 탄소나노튜브(100)에 공급되는 전원을 제어하기 위하여 전극부(1)와 변압기(2) 사이에 구비되는 콘덴서(7)를 포함한다.
구체적으로, 전자는 탄소나노튜브 전자총(100)과 방출용 1차 아노드(5a)를 통해 방출되며 가속용 2차 아노드(5b)를 경유하면 가속된다. 이때 2차 아노드(5b)측에는 방출된 전자에 의해 열이 발생하는데 이러한 열은 2차 아노드(5b)측에 구비된 온도센서(6)에서 센싱된다.
또한, 온도센서(6)에서 감지한 열신호는 제어부(9)에 입력되고, 입력된 신호를 기초로 콘덴서(7)(예컨대, 가변 콘덴서)를 제어하면 변압기(2)에서 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 전원을 가감하거나 증폭하여 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급한다.
따라서, 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 전원은 2차 아노드(5b)측에서 측정한 온도변화에 따라 가변되는 것이나, 탄소나노튜브 전자총(100)의 최적 수명에 대한 온도는 미리 파악할 수 있어, 이러한 온도를 기초로 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 최적 전원을 예측할 수 있다. 그러므로 최적 전원을 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급하기 위해서는 미리 예측된 온도의 오차범위 내에 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 최적 전원을 제어장치에 의해 제어한다.
한편, 미설명부호 (4)는 1차 아노드(5a)의 측벽에 전하가 충전(charging)되면 전자빔이 통과하는 내부의 전위가 달라져 오동작을 일으킬 수 있으므로 (4)를 통해 방전하거나 제어부(9)의 제어를 통해 콘덴서(7)측으로 유입시킬 수 있다.
그리고, 전원부(3)의 전원은 변압기(3)에 공급되고 변압기(3)는 콘덴서(7)를 통해 가변되어 전극부(1)에 전원을 공급된다. 전극부(1)에 전원이 공급되면 탄소나 노튜브 전자총(100)은 1차 아노드(5a)와 2차 아노드(5b)를 경유해 전자가 방출된다.
이때 2차 아노드(5b)측에 구비된 온도센서(6)는 2차 아노드(5b)를 경유한 전자의 열을 센싱하여 제어부(9)에 온도신호를 보내고 제어부(9)는 온도신호를 기초로 콘덴서(7)를 제어함으로써 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 전원을 탄소나노튜브 전자총(100)의 최적 수명이 되는 전원으로 공급한다.
한편, 콘덴서 렌즈부는 도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이 탄소나노튜브 전자총(100)의 하부측에 구비되어 상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 발생하는 전자빔을 집속한다. 이러한 콘덴서 렌즈부는 도 1과 같이 1콘덴서 렌즈(11)와 2콘덴서 렌즈(12)를 구비하여 구성되고, 대물렌즈(13)는 탄소나노튜브 전자총(100)에서 발생하는 전자빔의 초점거리를 조절한다.
즉, 대물렌즈(13)의 승강으로 회전판(33)의 상부에 안착된 디스크(50)에 조사되는 전자빔의 초점거리를 조절할 수 있다.
이상 전자빔 조자장치(10)에 관한 것이고, 진공챔버(30)는 디스크(50)가 안착되는 회전판(33)과 상기 회전판(33)의 중심으로부터 수직 상하방향으로 연장되는 샤프트(32)를 내부에 구비하고, 상부는 좌,우측으로 개폐되는 슬라이딩 도어(31)가 구비되며, 외부의 하측으로는 상기 샤프트(32)와 동일한 중심을 갖는 1기어(61)를 구비하여 상측이 상기 전자빔 조사장치(10)의 하부 일측과 맞물려 일측으로 슬라이딩되어 결합된다.
한편, 진공챔버(30)는 슬라이딩 도어(31)의 개폐로 회전판(33)에 디스크(50) 를 안착하고, 진공챔버(30)의 내부를 진공상태를 만들며, 전자빔 조사장치(10)의 일측과 맞물려 좌,우 이동으로 전자빔 조사장치(10)와 동일 중심선상에 위치될 수 있다. 이때 진공챔버(30)의 좌,우 이동은 수동이거나, 자동으로 이동되도록 구축될 수 있다.
이송부는 도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이 상기 1기어(61)의 측면과 맞물리는 2기어(62)를 상부에 구비하고 2기어(62)를 회전시키는 스핀들모터(43)를 구비하며, 내측에는 이송라인을 형성하여 구동축(41)을 삽입하고, 구동축(41)과 연결된 구동모터(42)의 회전으로 구동축(41)이 회전되어 X축 방향으로 이송되는 구성이다.
이송라인의 내주연은 나사산이 형성되고, 구동축(41)의 외주면 또한 나사산이 형성되어 결국 구동축(41)이 회전하면 이송부는 X축 방향으로 이송될 수 있다.
스핀들모터(43)는 상부에 회전축(43a)이 구비되고 회전축(43a)의 상부와 2기어(62)의 중심부를 연결하여 2기어(62)를 회전시키는 구성이다.
도킹장치는 상기 2기어((62)가 1기어(61)의 측면과 맞물리도록 이송부를 수직으로 이송하는 구성으로, 구동부(70)와 수직축(71)을 포함한다.
구동부(70)는 수직축(71)을 승강시키는 구성이고, 수직축(71)은 이송부의 하부와 연결되어 있어 결국 구동부(70)의 동작으로 이송부를 승강시킬 수 있다.
따라서, 구동부(70)가 이송부를 승강하면 2기어(62)의 측면은 1기어(61)의 측면과 맞물리게 된다.
한편, 본 발명의 다른 카테고리로서, 전자빔을 이용한 데이터 기록방법은 광 기록원이며 초점조절이 가능한 전자빔 조사장치의 하부와 내부에 디스크를 안착한 진공형 진공챔버의 상부를 도킹하는 단계(S10)와; 진공챔버 내의 디스크를 회전시키고, 디스크를 X축 방향으로 이송하도록 하는 이송부의 상부와 진공챔버의 하부를 도킹하는 단계(S20)와; 상기 디스크에 전자빔이 도달하도록 진공챔버의 상부측을 슬라이딩 타입으로 개방하는 단계(S30)와; 상기 디스크를 회전시키고 전자빔을 조사하여 데이터를 기록하는 데이터 기록 단계(S40)와; 상기 디스크의 내측 지름으로부터 외측 지름까지 일정간격으로 데이터가 기록되도록 디스크를 X축 방향으로 이송하고 데이터 기록 단계(S40)를 반복하는 단계(S50)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 전자빔 조사장치와 진공챔버의 도킹 단계(S10)는 도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이 슬라이딩 형태로 도킹되거나, 비록 도시하지는 않았지만 전자빔 조사장치가 상부에 위치하고 진공챔버가 하부에 위치되어 수직으로 도킹될 수 있다.
이때, 진공챔버 내의 디스크에 이물질의 유입을 방지하도록 진공챔버의 내부는 진공상태로 유지된 채 도킹되며, 도킹된 이후에는 전자빔이 디스크에 도달해야 함으로 진공챔버의 상부측을 개방해야 한다. 즉, 도 3에 도시한 바와 같이 슬라이딩 타입으로 진공챔버의 상부측이 개방된다.
한편, 진공챔버 내의 디스크에 전자빔을 통하여 데이터를 기록하도록 디스크의 회전과, 디스크의 X축 방향으로의 이송을 요구한다. 따라서, 본 발명에서는 디스크를 회전하는 구성과 디스크를 X축 방향으로 이송하는 구성으로 이루어진 이송부를 진공챔버와 도킹한다.
그런 다음 이송부를 통해 상기 디스크를 회전시키고 전자빔을 조사하여 데이터를 기록하며, 상기 디스크의 내측 지름으로부터 외측 지름까지 일정간격으로 데이터가 전부 기록되도록 디스크를 X축 방향으로 이송하고 전자빔을 조사하는 방식을 반복적으로 실행하면 디스크에 데이터를 기록할 수 있다.
이상 본 발명이 양호한 실시예와 관련하여 설명되었으나, 본 발명의 기술 분야에 속하는 자들은 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에 다양한 변경 및 수정을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 진정한 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 전자빔을 이용한 데이터 기록장치를 나타낸 개략적인 도면,
도 2 내지 도 5는 본 발명에 따른 전자빔을 이용한 데이터 기록장치의 동작관계를 나타낸 도면,
도 6은 도 1 내지 도 5의 A부분의 구성을 구체적으로 도시한 도면,
도 7은 본 발명에 따른 전자빔을 이용한 데이터 기록방법의 순서를 나타낸 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1: 전극부 2: 변압기
3: 전원부 5a: 1차 아노드
5b: 2차 아노드 6: 온도센서
7: 콘덴서 9: 제어부
10: 전자빔 조사장치 11: 1콘덴서렌즈
12: 2콘덴서렌즈 13: 대물렌즈
14: 개구부 30: 진공챔버
31: 슬라이딩도어 32: 샤프트
33: 회전판 41: 구동축
42: 구동모터 43: 스핀들모터
43a: 회전축 50: 디스크
61: 1기어 62: 2기어
70: 구동부 71: 수직축
100: 탄소나노튜브 전자총

Claims (4)

  1. 전계방출 효과에 의한 전자빔을 정보저장매체에 데이터를 기록하기 위한 광원으로 이용하는 데이터 기록장치에 있어서,
    전계방출 효과로 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치(10)와;
    디스크(50)가 수용되는 회전판(33)과 상기 회전판(33)의 중심으로부터 수직 상하방향으로 연장되는 샤프트(32)를 내부에 구비하고, 상부는 좌,우측으로 개폐되는 슬라이딩 도어(31)가 구비되며, 외부의 하측으로는 상기 샤프트(32)와 동일한 중심을 갖는 1기어(61)를 구비하여 상측이 상기 전자빔 조사장치(10)의 하부 일측과 맞물려 일측으로 슬라이딩되어 결합되는 진공챔버(30)와;
    상기 1기어(61)의 측면과 맞물리는 2기어(62)를 상부에 구비하고 2기어(62)를 회전시키는 스핀들모터(43)를 구비하며, 내측에는 이송라인을 형성하여 구동축(41)을 삽입하고, 구동축(41)과 연결된 구동모터(42)의 회전으로 구동축(41)이 회전되어 X축 방향으로 이송되는 이송부와;
    상기 2기어((62)가 1기어(61)의 측면과 맞물리도록 이송부를 수직으로 이송하는 도킹장치;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 데이터 기록장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 전자빔 조사장치는, 전원을 공급하는 전원부(3)와, 전원부(3)로부터 전원을 공급받아 가변하는 변압기(2)와, 변압기로(2)부터 가변된 전압을 공급받는 전극부(1)로 구성되는 전원공급부와;
    상기 전극부(1)에 연결되어 전자를 방출하는 탄소나노튜브 전자총(100)과;
    상기 탄소나노튜브 전자총(100)의 하방향에 위치되어 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들의 속도를 세밀하게 조정하기 위한 1차 아노드(5a)와;
    상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들을 가속시키기 위해 1차 아노드(5a)의 하방향에 위치되는 2차 아노드(5b)와;
    상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 발생하는 전자빔을 집속하는 콘덴서 렌즈부와;
    상기 전자빔의 초점거리를 조절하는 대물렌즈를 포함하며,
    상기 탄소나노튜브 전자총(100)에서 방출되는 전자들의 온도를 측정하는 온도센서(6)와, 상기 온도센서(6)의 신호를 기초로 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 전원을 제어하는 제어장치를 더 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 데이터 기록장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 온도센서(6)는 2차 아노드(5b)에 장착되고, 상기 제어장치는 온도센서(6)와 전기적으로 연결되어 온도센서(6)의 신호를 기초로 탄소나노튜브 전자총(100)에 공급되는 전원을 제어하기 위하여 전극부(1)와 변압기(2) 사이에 콘덴 서(7)를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 데이터 기록장치.
  4. 광기록원이며 초점조절이 가능한 전자빔 조사장치의 하부와 내부에 디스크를 안착한 진공형 진공챔버의 상부를 도킹하는 단계(S10)와;
    진공챔버 내의 디스크를 회전시키고, 디스크를 X축 방향으로 이송하도록 하는 이송부의 상부와 진공챔버의 하부를 도킹하는 단계(S20)와;
    상기 디스크에 전자빔이 도달하도록 진공챔버의 상부측을 슬라이딩 타입으로 개방하는 단계(S30)와;
    상기 디스크를 회전시키고 전자빔을 조사하여 데이터를 기록하는 데이터 기록 단계(S40)와;
    상기 디스크의 내측 지름으로부터 외측 지름까지 일정간격으로 데이터가 기록되도록 디스크를 X축 방향으로 이송하고 데이터 기록 단계(S40)를 반복하는 단계(S50);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 데이터 기록방법.
KR1020080097401A 2008-10-02 2008-10-02 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법 KR100927906B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080097401A KR100927906B1 (ko) 2008-10-02 2008-10-02 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080097401A KR100927906B1 (ko) 2008-10-02 2008-10-02 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100927906B1 true KR100927906B1 (ko) 2009-11-23

Family

ID=41605281

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080097401A KR100927906B1 (ko) 2008-10-02 2008-10-02 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100927906B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030008274A (ko) * 2001-07-19 2003-01-25 엘지전자 주식회사 탄소나노튜브를 이용한 전자빔 정보저장장치
JP2004014016A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Yasuo Cho 誘電体記録再生ヘッド、誘電体記録媒体ユニット及び誘電体記録再生装置
JP2007265512A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Hitachi Ltd 磁気記録装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030008274A (ko) * 2001-07-19 2003-01-25 엘지전자 주식회사 탄소나노튜브를 이용한 전자빔 정보저장장치
JP2004014016A (ja) * 2002-06-06 2004-01-15 Yasuo Cho 誘電体記録再生ヘッド、誘電体記録媒体ユニット及び誘電体記録再生装置
JP2007265512A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Hitachi Ltd 磁気記録装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4763088B2 (ja) 光学的情報記録媒体の再生装置および再生方法
US8111604B2 (en) Fabrication method of multilayer optical record medium and recording apparatus for multilayered optical record medium
JP2007519143A (ja) 情報保存媒体、これに記録された情報再生装置及び方法
JP4778940B2 (ja) 光情報再生方法及び光情報再生装置
KR20050052606A (ko) 정보저장매체, 이에 기록된 정보재생방법 및 장치
KR100927906B1 (ko) 전자빔을 이용한 데이터 기록장치 및 전자빔을 이용한 데이터 기록방법
US6934243B2 (en) Optical information recording medium, recording/reproducing apparatus and recording /reproducing method for the same, and method for manufacturing optical information recording medium
JP4473230B2 (ja) 光ディスク装置
JP2006209883A (ja) 光ディスク装置及び光ディスク判定方法
TW200414129A (en) Disc discrimination method for discriminating disc type of digital versatile disc
US7173888B2 (en) Recording apparatus for and method of improving overwrite characteristics
JP5406033B2 (ja) 光ディスク装置
JP4607996B2 (ja) 光ディスク装置
JP4549315B2 (ja) 光ディスク装置
JP2005149579A (ja) 光ピックアップ装置および光ディスクの情報記録再生装置
JP2006244551A (ja) 光磁気記録再生装置
JP5161874B2 (ja) 近接場光を用いて情報記録媒体に対するデータの記録および／または再生を行う装置および方法、および情報記録媒体
WO2008069246A1 (ja) 光ディスク装置及び光ディスク種類判定方法
JP2000090483A (ja) 開口アレイを有する記録媒体及びその製造方法とそれによる近接場を利用した記録及び再生装置及びその方法
JPWO2005086143A1 (ja) 情報記録方法、および情報記録装置
KR100749769B1 (ko) 디스크장치의 광 출력 학습방법
JP2014089789A (ja) 光記録装置及びチルト量測定方法
JP4403385B2 (ja) 記録装置、記録方法
JP2015001998A (ja) 光記録装置およびその合焦制御方法
US20100027396A1 (en) Drop-out detecting circuit and optical disc device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121030

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131106

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140912

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151110

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160808

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181128

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191113

Year of fee payment: 11