KR100926495B1 - 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 및 그제조방법 - Google Patents

정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 및 그제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 도전성 금속 입자를 포함하는 액상의 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브, 상기 잉크 공급 튜브로부터 공급된 액상 잉크가 회로 배선을 인쇄하기 위해 분사되기 전에 임시 저장되는 잉크 챔버, 상기 잉크 챔버 하부에 위치하는 동박적층판에 가공된 홀을 가지며, 상기 동박적층판에 전원의 양극이 연결되어 상기 잉크 챔버로부터 상기 잉크젯 노즐을 통과할 때 형성된 잉크 액적에 정전기력을 가함으로써 상기 액적이 분사되어 회로 패턴이 기판 상에 인쇄되도록 하는 잉크젯 노즐, 및 상기 잉크 챔버와 상기 동박적층판 사이에 전기적 절연을 위하여 결합된 절연체를 포함하고, 배선의 폭을 줄이면서 미세 선폭을 구현할 수 있을 뿐만 아니라, 제조비용 및 제조시간을 단축시킬 수 있다.
정전기력, 동박적층판, 노즐, 잉크젯, 접지, 절연체

Description

정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 및 그 제조방법{Ink jet head for printing circuit using electrostatic force and method of manufacturing the same}
본 발명은 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 방식을 이용한 인쇄회로 기판의 제조시 인쇄 배선의 폭을 줄이고 두께를 증가시켜 미세배선을 얻을 수 있는 잉크젯 인쇄 배선을 형성함에 있어서 정전기력을 이용한 회로 배선을 위한 잉크젯 헤드와 그 제조방법에 관한 것이다.
최근에는 각종 전자, 정보통신기기가 소형화, 경량화, 직접화되면서 더욱 향상된 기능을 가지는 각종 소자부품의 개발과 동시에 유럽의 RoHS 규제와 같이 유독물질 발생이 없는 청정생산기술 개발에 대한 요구가 끊임없이 제기되어 왔다. 이러한 요구에 부응하여 기술들이 개발되고 있으며 그 중의 하나가 잉크젯 프린팅 기술이다.
종래 인쇄회로 기판(PCB)의 제조시 패턴을 형성하는 방법으로 노광/에칭/도금 공정을 일반적으로 사용하고 있다.
그러나, 노광/에칭/도금은 제조 시간이 많이 걸리고, 공정 설비가 고가의 장비 및 유지비도 상당히 많이 든다. 또한, 에칭공정시 폐액을 발생하게 되어 폐수 처리에도 상당한 부담으로 작용한다.
이에 비하여 잉크젯 프린팅 방식은 기존의 노광/에칭/도금 공정에 의하지 않고 배선을 직접 형성시킬 수 있는 방법으로서, 미세 노즐을 통하여 용액이나 현탁액을 수 내지 수십 pl(pico liter)의 방울로 분사하여 수십 ㎛ 폭의 미세 라인을 형성하는 패터닝 기술이다.
그중 한가지 예로서 DOD(Drop on demand) 방식의 잉크젯은 원하는 위치에 원하는 양의 잉크를 토출시켜 선명한 이미지를 얻을 수 있고, 또한 비접촉식으로 CAD를 통하여 직접 인쇄할 수 있다는 장점을 가지고 있다.
따라서, PDP 등의 플랫 패널 디스플레이 분야의 전극 형성 및 PCB 등의 패킹 분야와 RFID의 배선 형성 등 적용범위가 광범위하게 되었다.
그런데, 잉크젯 헤드로부터 토출시킬 수 있는 점도 범위에 한계가 있기 때문에 금속 나노입자의 함량이 낮고 점도가 낮을 뿐만 아니라, 기판 상에서 잉크의 퍼짐성으로 인하여 기판 상에 아무리 중첩해서 인쇄를 하여도 배선 두께를 증가시키면서 배선의 폭을 감소시켜 미세배선을 얻을 수 있는 데에는 한계가 있다.
본 발명은 상기와 같이 종래의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로,다양한 기판에 회로 배선폭이 감소된 미세패턴을 얻을 수 있도록 기판에 사용되는 동박적층판과 잉크젯 헤드 사이에 정전기력을 가하여 발생되는 힘에 의하여 도전성 금속입자를 포함하는 잉크 액적을 기판 상에 인쇄하는 잉크젯 헤드를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 경제적으로 기판과 잉크젯 헤드 사이에 적용되는 정전기력을 이용한 헤드 구조의 제조방법과 이를 이용한 멀티 잉크젯 헤드 구조를 제공하기 위한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드는, 도전성 금속 입자를 포함하는 액상의 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브, 상기 잉크 공급 튜브로부터 공급된 액상 잉크가 회로 배선을 인쇄하기 위해 분사되기 전에 임시 저장되는 잉크 챔버, 상기 잉크 챔버 하부에 위치하는 동박적층판에 가공된 홀을 가지며, 상기 동박적층판에 전원의 양극이 연결되어 상기 잉크 챔버로부터 상기 잉크젯 노즐을 통과할 때 형성된 잉크 액적에 정전기력을 가함으로써 상기 액적이 분사되어 회로 패턴이 기판 상에 인쇄되도록 하는 잉크젯 노즐, 및 상기 잉크 챔버와 상기 동박적층판 사이에 전기적 절연을 위하여 결합된 절연체를 포함하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드에 있어서, 상기 전원의 양극이 연결되는 동박적층판은 상기 전원의 음극이 연결되고 상기 회로 배선이 인쇄되는 기판에 마주하여 정전기력을 형성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드에 있어서, 상기 잉크젯 노즐은 상부에 제 1 동박층이 위치하고, 상기 제 1 동박층 아래에는 절연층이 위치하고, 상기 절연층 아래에는 제 2 동박층이 위치하며, 상기 제 1 동박층에는 전원의 양극이 연결되고, 상기 제 2 동박층에는 전원이 접지되어 상기 제 1 동박층과 상기 제 2 동박층 사이에서 정전기력이 형성되는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드에 있어서, 상기 잉크젯 노즐은 상부에 제 1 동박층이 위치하고, 상기 제 1 동박층 아래에는 제 1 절연층이 위치하고, 상기 제 1 절연층 아래에는 노즐 홀이 형성된 제 2 동박층이 위치하며, 상기 제 2 동박층 아래에는 제 2 절연층이 위치하고 있으며, 상기 제 2 절연층 아래에는 제 3 동박층이 위치하고 있고, 상기 제 1 동박층에는 전원의 양극이 연결되고, 상기 제 1 동박층에는 금속 니들이 결합되어 상기 노즐 홀에 대응하고, 상기 제 3 동박층에는 전원이 접지되어 상기 금속 니들과 상기 제 3 동박층 사이에서 정전기력이 형성되는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드에 있어서, 상기 금속 니들은 텅스텐으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드에 있어서, 상기 잉크젯 헤드를 2 이상 다수 개를 결합하여 멀티 잉크젯 헤드 유닛을 구성하는 것을 특징으로 하는 것이다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법은, 절연층을 드릴링하여 홀을 형성하는 단계, 상기 홀이 형성된 절연층 아래에 동박을 접합하는 단계, 상기 동박에 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 단계, 상기 절연층에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔버를 결합하는 단계, 및 상기 잉크 챔버와 연통하여 상기 액상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브를 연결하여 차폐시키는 단계를 포함한다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법은, 절연층 하면에 제1동박층을 접합하는 단계, 상기 절연층과 제1동박층이 접합된 상태로 절연층과 제1동박층에 동시에 홀을 형성하는 단계, 상기 절연층의 상면에 제2동박층을 접합하는 단계, 상기 제2동박층에 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 단계, 상기 절연층에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔버를 결합하는 단계, 및 상기 잉크 챔버와 연통하여 상기 액상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브를 연결하여 차폐시키는 단계를 포함한다.
한편, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법은, 제1절연층 하면에 제1동박층을 접합하는 단계, 상기 제1절연층과 제1동박층이 접합된 상태로 제1절연층과 제1동박층에 동시에 홀을 형성하는 단계, 상기 제1절연층 상부에 제2동박층을 접합하고 상기 제2동박층 상부에 드 릴링하여 홀이 형성된 제2절연층을 접합하는 단계, 상기 제2절연층 상부에 제3동박층을 접합하는 단계, 및 상기 제2동박층을 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 동시에 상기 니들을 제1동박층에 관통 결합시켜서 상기 노즐용 홀 위로 위치시키는 단계를 포함하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법에 있어서, 상기 니들은 텅스텐 니들인 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명은 기판에 사용되는 동박적층판과 잉크젯 헤드 사이에 정전기력을 가하여 발생되는 힘에 의하여 회로 배선 인쇄를 함으로써 배선의 폭을 줄이면서 미세 선폭을 구현할 수 있을 뿐만 아니라, 제조비용 및 제조시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 잉크젯 헤드와 동박적층판 사이에 정전기력을 가함으로써 회로 인쇄를 위한 미세한 도전성 잉크 액적을 얻을 수 있으며 노즐과 인쇄 대상인 회로 기판 사이에 동작거리를 줄여줌으로써 더욱 정밀한 회로 패턴의 인쇄가 가능할 뿐만 아니라 인쇄용 전자장치, 이미지 인쇄, 생체 적용에도 널리 활용할 수 있는 장점이 있다.
이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 도면에 도시된 실시예에 대하여 더욱 상세히 설명한다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉 크젯 헤드의 개략단면도를 나타낸다.
도1을 참조하면, 홀타입 잉크젯 헤드로서 인쇄회로기판에 사용되는 원자재인 동박적층판(Copper Clad Laminate)에 프린팅 노즐을 형성하여 상기 동박적층판과 인쇄회로기판 사이에 정전기력을 가함으로써 회로 패턴의 인쇄가 이루어지도록 하는 것이다.
도1에 도시된 홀타입 잉크젯 헤드의 구조는 잉크젯 노즐(15), 절연체(20), 잉크챔버(30), 잉크 공급 튜브(40)를 포함한다.
상기 잉크챔버(30)는 잉크 공급 튜브(40)로부터 공급된 액상 잉크가 회로 배선을 인쇄하기 위해 분사되기 전에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상의 잉크임시 저장하는 저장 공간에 해당한다.
상기 잉크챔버(30)의 상부는 잉크 공급 튜브(40)와 연결되고 하부는 잉크젯 노즐(15)을 형성하는 동박적층판(10)이 절연체를 사이에 두고 차폐하게 된다.
상기 잉크 공급 튜브(40)는 상기 잉크 챔버(30)의 상부 뚜껑부분에 홀을 뚫고 연결되어 상기 잉크 챔버(30)를 외부와 완전 차폐시키는 것이다.
상기 잉크젯 노즐(15)은 기판상에 목적하는 회로 배선을 인쇄하기 위한 잉크 액적이 형성하기 위해서 동박적층판(10)에 미세홀이 가공된다.
상기 미세홀이 가공된 동박적층판(10)은 상기 잉크챔버(30)와 전기적으로 절연되도록 하기 위해서 절연체(20)가 상기 동박적층판(10) 위에 접합되어 있다.
이때, 상기 잉크챔버(30)와 절연된 동박적층판(10)에 전원의 양극이 연결된다.
또한, 상기 동박적층판(10)의 양극에 대해서 잉크젯 헤드 아래 소정 거리를 이격하여 목적하는 회로 패턴을 인쇄하기 위한 타겟 기판(미도시)이 위치하고 상기 타겟 기판에는 전원의 음극이 연결된다.
이때, 전원을 양극과 음극 사이에 전압을 걸어주게 되면, 상기 동박적층판(10)에 형성된 미세홀로 액상 잉크가 통과할 때 중력에 의해서 흘러나오면서 액적(droplet)을 형성하고, 상기 액적 속에 들어있는 도전성 입자에는 양극이 작용하게 되는 한편, 음극이 연결된 아래 타겟 기판 사이에는 정전기력(electriostatic force)이 발생하면서, 상기 도전성 입자를 끌어당기면서 아래 타겟 기판 쪽으로 상기 액적이 분사되면서 회로 패턴 위에 증착되는 것이다.
도2는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드의 개략단면도를 나타낸다.
도2에 도시된 잉크젯 헤드의 구조는 홀 접지 일체형(hole-ground combined type)으로 잉크젯 노즐(15), 절연체(20), 잉크챔버(30), 잉크 공급 튜브(40)를 포함한다.
그런데, 도2에 도시된 잉크젯 헤드에서는 잉크젯 노즐의 위치와 정전기력을 형성하는 전원의 연결이 도1과 다른 것으로 도2에 도시된 실시예에서는 노즐의 홀이 형성된 동박적층판과 별개의 다른 동박적층판을 이용한 접지를 일체로 한 경우이다.
즉, 도2에 도시된 잉크젯 헤드에서, 상기 잉크젯 노즐은 상부에 미세홀이 형성된 제 1 동박층(12)이 위치하고, 상기 제 1 동박층(12) 아래에는 절연층(20)이 위치하고, 상기 절연층 아래에는 제 2 동박층(14)이 위치하며, 상기 제 1 동박층(12)에는 전원의 양극이 연결되고, 상기 제 2 동박층(14)에는 전원이 접지(Ground)되어 상기 제 1 동박층(12)과 상기 제 2 동박층(14) 사이에서 정전기력이 형성되는 것이다.
이때, 상기 제1 동박층(12)에 형성된 미세홀로 잉크챔버(30)에 저장된 액상잉크가 통과할 때 중력에 의해서 흘러나오면서 액적(droplet)을 형성하고, 상기 액적 속에 들어있는 도전성 입자에는 양극이 작용하게 되는 한편, 접지 연결된 절연층 아래 제2 동박층(14) 사이에는 정전기력(electriostatic force)이 발생하면서, 상기 도전성 입자를 끌어당기면서 잉크젯 헤드 아래에 위치한 타겟 기판 쪽으로 상기 액적이 분사되면서 회로 패턴 위에 증착되는 것이다.
도3a, 도3b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드의 개략단면도와 그 평면도를 나타낸다.
도3에 도시된 잉크젯 헤드의 구조는 폴 접지 일체형(pole-ground combined type) 구조로 잉크젯 노즐(15), 절연체(20), 잉크챔버(30), 잉크 공급 튜브(40)와 금속 니들(50)을 포함한다.
도3에 도시된 구성을 참조하면, 상기 잉크젯 노즐(15)은 상부에 제 1 동박층(12)이 위치하고, 상기 제 1 동박층(12) 아래에는 제 1 절연층(22)이 위치하게 된다.
또한, 상기 제 1 절연층(22) 아래에는 노즐 미세홀이 형성된 제 2 동박층(14)이 위치한다.
상기 제 1 동박층(12)에는 전원의 양극이 연결되면서, 상기 제 1 동박층(12)에는 또한 금속 니들(50)이 결합되어 상기 노즐 미세홀에 대응하여 위치되고 있다.
그리고, 상기 제 2 동박층(14) 아래에는 제 2 절연층(24)이 위치하고 있으며, 다시 상기 제 2 절연층(24) 아래에 제 3 동박층(16)이 위치하고 있으며, 상기 제다.
여기에서, 상기 제 3 동박층(16)에는 전원이 접지되어 상기 금속 니들(50)과 상기 제 3 동박층(16) 사이에서 정전기력이 형성된다.
또한, 상기 잉크 공급 튜브(40)로부터 공급되는 액상 잉크는 상기 제 1 동박층(12)과 상기 제 2 동박층(14) 사이에 형성된 공간으로 주입되고, 상기 제 2 동박층(14)에 형성된 노즐 미세홀로 액상잉크가 통과할 때 중력에 의해서 흘러나오면서 액적(droplet)을 형성하고, 상기 액적 속에 들어있는 도전성 입자에는 양극이 작용하게 되는 한편, 접지 연결된 제2절연층(24) 아래 제3 동박층(16) 사이에는 정전기력(electrostatic force)이 발생하면서, 상기 도전성 입자를 끌어당기면서 잉크젯 헤드 아래에 위치한 타겟 기판 쪽으로 상기 액적이 분사되면서 회로 패턴 위에 증착되는 것이다.
여기에서, 상기 금속 니들(50)은 전기장이 가해지는 부분이 한 점으로 형성되어 있으므로 도1과 도2에서 판상으로 전기장을 가하는 것보다 상기 정전기력은 집중되어 더욱 강력해지게 되어 회로 패턴 위에 인쇄되는 효과는 더욱 높아지는 것이다.
여기에서, 상기 금속 니들(50)은 텅스텐으로 이루어져 있는 것이 더욱 바람 직하다.
상기 도4a는 멀티 잉크젯 헤드 유닛에 대한 개략적인 단면도이고, 도4b는 멀티 잉크젯 헤드 유닛의 외관 개념도이다.
도4a, 도4b는 도3에 도시된 잉크젯 헤드를 확장하여 하나의 잉크젯 헤드를 다수개 사용하여 결합시킨 멀티 잉크젯 헤드 유닛에 대한 것이다.
상기 멀티 잉크젯 헤드의 아래 부분을 설계시 고려해야 점은 일렬 어레이인 경우 충분한 이격 거리를 확보할 수 있도록 지그재그 형태로 신호 및 전압라인을 배치하여야 한다.
상기 잉크젯 헤드를 어레이로 확장하여 각각의 잉크 저장 공간에 서로 다른 특성의 잉크를 공급하여 적용하면 생산성과 다양성의 측면에서 단일 잉크젯 헤드에 비하여 다양한 적용분야에서 사용할 수 있다.
도5는 상기 도1에 도시된 홀 타입 노즐 헤드를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조과정도이다.
먼저, A, B에서 절연층(20)을 구비하여 노즐로 안내하는 아래 통로를 위해서 절연층(20)을 드릴링하여 홀을 형성하는 단계를 진행한다. 상기 절연층은 잉크 챔버(30)의 하부에 결합하여 전원의 양극이 연결되는 동박층(10)과의 전기적 절연을 하고 액상 잉크가 아래 동박층(10)의 노즐(15)을 통과할 때 안내하여 액적을 형성하도록 한다.
다음으로 C에서, 상기 홀이 형성된 절연층(20) 아래에 동박층(10)을 접합하는 단계이다.
상기 동박층(10)은 절연층(20)과 함께 잉크챔버(30)를 완전히 차폐하게 된다.
D에서 동박층(10)에 노즐용 미세홀을 가공하는 단계로 상기 동박에 텅스텐 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 단계를 진행한다.
이어서, 상기 절연층(20)에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔버(30)를 결합하는 한편 상기 잉크 챔버(30)와 연통하여 상기 액상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브(40)를 연결하여 차폐시키는 단계를 진행하여 홀 타입 잉크젯 헤드를 제조하게 된다.
도6는 상기 도2에 도시된 홀-접지 일체형 타입 노즐헤드를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조과정도이다.
먼저, A에서 절연층(20)을 구비하여 절연층 하면에 제1동박층(62)을 접합하는 단계이다.
다음으로, B에 도시된 바와 같이 상기 절연층(20)과 제1동박층(62)이 접합된 상태로 절연층(20)과 제1동박층(62)에 동시에 홀을 형성하는 단계이다.
다음으로 C에 도시된 바와 같이 상기 절연층(20)의 상면에 제2동박층(64)을 접합한다.
이어서 D에 도시된 바와 같이, 노즐용 미세홀을 가공하는 단계로 상기 제2동박층(64)에 텅스텐 니들로 식각하여 노즐용 미세홀을 형성하게 된다.
마지막으로, 상기 절연층(20)에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔버(30)를 결합하는 한편 상기 잉크 챔버(30)와 연통하여 상기 액 상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브(40)를 연결하여 차폐시키는 단계를 진행하여 홀 접지 일체형 타입 잉크젯 헤드를 제조하게 된다.
도7a와 도7b는 상기 도3에 도시된 홀-접지 일체형 타입 노즐헤드를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조과정도이다.
먼저, A에서 제1절연층(72)을 구비하여 제1절연층(72) 하면에 제1동박층(71)을 접합하는 단계이다.
다음으로, B에서 상기 제1절연층(72)과 제1동박층(71)이 접합된 상태로 제1절연층(72)과 제1동박층(71)에 동시에 홀을 형성하는 단계를 진행한다.
또한, C에서 상기 제1절연층(72) 상부에 제2동박층(73)을 접합하고 상기 제2동박층(73) 상부에 드릴링하여 홀이 형성된 제2절연층(74)을 접합한다.
D에서, 상기 제2절연층(74) 상부에 제3동박층(75)을 접합하는 단계를 진행한다.
그리고, E에서 상기 제2동박층(73)을 텅스텐 니들(76)로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 동시에 상기 텅스텐 니들(76)을 제3동박층(75)에 관통 결합시켜서 상기 노즐용 홀 위로 위치시킨다.
마지막으로, 상기 제3동박층과 제2절연층(74)에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔버(30)를 결합하는 한편 상기 잉크 챔버(30)와 연통하여 상기 액상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브(40)를 연결하여 차폐시키는 단계를 진행하여 폴 접지 일체형 타입 잉크젯 헤드를 제조하게 된다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체적인 실시 예에 대해서만 상세히 설명되었지 만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드의 개략단면도이다.
도2는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드의 개략단면도이다.
도3a와 도3b는 각각 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드의 개략단면도와 평면도이다.
도4a, 도4b는 도3에 도시된 잉크젯 헤드를 다수개 사용하여 결합시킨 멀티 잉크젯 헤드 유닛의 개략 단면도와 사시도이다.
도5는 상기 도1에 도시된 홀 타입 노즐 헤드를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조과정도이다.
도6은 상기 도2에 도시된 홀-접지 일체형 타입 노즐헤드를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조과정도이다.
도7a, 도7b는 상기 도3에 도시된 홀-접지 일체형 타입 노즐헤드를 포함하는 잉크젯 헤드의 제조과정도이다.
≪도면의 주요부분에 대한 부호의 설명≫
10 : 동박적층판 12, 62, 71 : 제 1 동박층
14, 64, 73 : 제 2 동박층 16, 75 : 제 3 동박층
20 : 절연체 22, 72 : 제 1 절연층
24, 74 : 제 2 절연층 30 : 잉크챔버
40 : 잉크 공급 튜브 50 : 금속 니들

Claims (10)

  1. 도전성 금속 입자를 포함하는 액상의 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브;
    상기 잉크 공급 튜브로부터 공급된 액상 잉크가 회로 배선을 인쇄하기 위해 분사되기 전에 임시 저장되는 잉크 챔버;
    상기 잉크 챔버 하부에 위치하는 동박적층판에 가공된 홀을 가지며, 상기 동박적층판에 전원의 양극이 연결되어 상기 잉크 챔버로부터 상기 잉크젯 노즐을 통과할 때 형성된 잉크 액적에 정전기력을 가함으로써 상기 액적이 분사되어 회로 패턴이 기판 상에 인쇄되도록 하는 잉크젯 노즐; 및
    상기 잉크 챔버와 상기 동박적층판 사이에 전기적 절연을 위하여 결합된 절연체를 포함하고, 상기 전원의 양극이 연결되는 동박적층판은 상기 전원의 음극이 연결되고 상기 회로 배선이 인쇄되는 기판에 마주하여 정전기력을 형성하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 잉크젯 노즐은 상부에 미세홀이 형성된 제 1 동박층이 위치하고,
    상기 제 1 동박층 아래에는 상기 제1동박층과 절연하기 위한 절연층이 위치 하고,
    상기 절연층 아래에는 제 2 동박층이 위치하며,
    상기 제 1 동박층에는 전원의 양극이 연결되고, 상기 제 2 동박층에는 전원이 접지되어 상기 제 1 동박층과 상기 제 2 동박층 사이에서 정전기력이 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 잉크젯 노즐은 상부에 제 1 동박층이 위치하고,
    상기 제 1 동박층 아래에는 제 1 절연층이 위치하고,
    상기 제 1 절연층 아래에는 노즐 홀이 형성된 제 2 동박층이 위치하며,
    상기 제 2 동박층 아래에는 제 2 절연층이 위치하고 있으며,
    상기 제 2 절연층 아래에는 제 3 동박층이 위치하고 있고,
    상기 제 1 동박층에는 전원의 양극이 연결되고, 상기 제 1 동박층에는 금속 니들이 결합되어 상기 노즐 홀에 대응하고, 상기 제 3 동박층에는 전원이 접지되어 상기 금속 니들과 상기 제 3 동박층 사이에서 정전기력이 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 금속 니들은 텅스텐으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드.
  6. 제 1 항 또는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드를 2 이상 다수 개를 결합하여 멀티 잉크젯 헤드 유닛을 구성하는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드.
  7. 절연층을 드릴링하여 홀을 형성하는 단계;
    상기 홀이 형성된 절연층 아래에 동박을 접합하는 단계;
    상기 동박에 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 단계;
    상기 절연층에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔버를 결합하는 단계; 및
    상기 잉크 챔버와 연통하여 상기 액상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브를 연결하여 차폐시키는 단계를 포함하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법.
  8. 절연층 하면에 제1동박층을 접합하는 단계;
    상기 절연층과 제1동박층이 접합된 상태로 절연층과 제1동박층에 동시에 홀을 형성하는 단계;
    상기 절연층의 상면에 제2동박층을 접합하는 단계;
    상기 제2동박층에 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 단계;
    상기 절연층에 도전성 금속 입자를 포함하는 액상 잉크를 수용하는 잉크 챔 버를 결합하는 단계; 및
    상기 잉크 챔버와 연통하여 상기 액상 잉크를 공급하는 잉크 공급 튜브를 연결하여 차폐시키는 단계를 포함하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법.
  9. 제1절연층 하면에 제1동박층을 접합하는 단계;
    상기 제1절연층과 제1동박층이 접합된 상태로 제1절연층과 제1동박층에 동시에 홀을 형성하는 단계;
    상기 제1절연층 상부에 제2동박층을 접합하고 상기 제2동박층 상부에 드릴링하여 홀이 형성된 제2절연층을 접합하는 단계;
    상기 제2절연층 상부에 제3동박층을 접합하는 단계; 및
    상기 제2동박층을 니들로 식각하여 노즐용 홀을 형성하는 동시에 상기 니들을 제1동박층에 관통 결합시켜서 상기 노즐용 홀 위로 위치시키는 단계를 포함하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법.
  10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 니들은 텅스텐 니들인 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 회로 배선 인쇄용 잉크젯 헤드 제조방법.
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