KR100922798B1 - 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한습식장치 - Google Patents

화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한습식장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 습식공정시 노즐에서 분사되는 유체의 분사 각도를 조절할 수 있도록 한 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐은 제 1 분사 홀이 형성된 제 1 몸체와, 상기 제 1 몸체에 회전 가능하게 결합되며 상기 제 1 분사 홀을 통해 공급되는 유체를 분사하는 제 2 분사 홀이 형성된 제 2 몸체를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의하여 본 발명은 교차되는 적어도 2개의 분사 홀의 교차 영역에 따라 노즐에서 분사되는 유체의 분사 각 및 압력을 조절할 수 있으므로 습식 공정의 균일도를 향상시킬 수 있다.
습식, 노즐, 타원, 교차, 분사 각, 분사 홀

Description

화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치{SPRAY NOZZLE FOR FABRICATION OF IMAGE DISPLAY DEVICE AND WET APPARATUS USING THE SAME}
도 1은 일반적인 액정패널을 개략적으로 나타내는 단면도.
도 2는 종래의 습식 장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 3은 도 2에 도시된 스프레이 노즐을 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치를 개략적으로 나타낸 도면.
도 5는 도 4에 도시된 스프레이 노즐을 나타낸 도면.
도 6은 도 5에 도시된 스프레이 노즐을 나태는 분해 사시도.
도 7a 및 도 7b는 도 6에 도시된 스프레이 노즐 각각의 분사 각 및 압력의 조절을 설명하기 위한 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 >
60, 160 : 기판 70, 170 : 파이프
80, 180 : 스프레이 노즐 81 : 분사 홀
182 : 제 1 몸체 183 : 제 1 분사 홀
185, 189 : 눈금자 186 : 제 2 몸체
187 : 제 2 분사 홀 188 : 교차 영역
본 발명은 화상 표시장치의 제조장치에 관한 것으로, 특히 습식공정시 노즐에서 분사되는 유체의 분사 각도를 조절할 수 있도록 한 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 발광 표시장치(Light Emitting Display) 등이 있다.
평판 표시장치 중 액정 표시장치는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정 표시장치는 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열된 액정패널과, 이 액정패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다.
액정패널에는 액정셀들 각각에 전계를 인가하기 위한 화소전극들과 공통전극이 마련되게 된다. 통상, 화소전극은 하부기판 상에 액정셀 별로 형성되는 반면 공통전극은 상부기판의 전면에 일체화되어 형성되게 된다. 화소전극들 각각은 스위치 소자로 사용되는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 "TFT"라 함)에 접속되게 된다. 화소전극은 박막 트랜지스터를 통해 공급되는 데이터신호에 따라 공통전극과 함께 액정셀을 구동하게 된다.
도 1은 일반적인 액정패널을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 액정패널은 상부기판(42) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(44), 컬러필터(46), 오버 코트층(47), 공통전극(48) 및 상부 배향막(50a)으로 구성되는 컬러필터 어레이 기판(4)과; 하부기판(1) 상에 형성된 TFT, 화소전극(22) 및 하부 배향막(50b)으로 구성되는 TFT 어레이 기판(2)과; 컬러필터 어레이 기판(4) 및 TFT 어레이 기판(2) 사이의 공간에 형성되는 액정(52)을 구비한다.
TFT 어레이 기판(2)의 TFT는 게이트 라인에 접속된 게이트전극(6), 데이터 라인에 접속된 소스전극(8) 및 드레인 접촉홀(26)을 통해 화소전극(22)에 접속된 드레인전극(10)을 구비한다. 또한, TFT는 게이트전극(6)에 공급되는 게이트전압에 의해 소스전극(8)과 드레인전극(10)간에 도통채널을 형성하기 위한 반도체층들(14, 16)을 더 구비한다. 이러한 TFT는 게이트 라인으로부터의 게이트신호에 응답하여 데이터 라인으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소전극(22)에 공급한다.
화소전극(22)은 데이터 라인과 게이트 라인에 의해 분할된 화소영역에 위치하며 광투과율이 높은 투명 전도성 물질로 이루어진다. 화소전극(22)은 하부기판(1) 전면에 도포되는 보호막(18) 상에 형성되며, 보호막(18)을 관통하는 드레인 접촉홀(26)을 통해 드레인전극(10)과 전기적으로 접속된다. 이러한 화소전극(22)은 TFT를 경유하여 공급되는 데이터신호에 의해 상부기판(42)에 형성되는 공통전극 (48)과 전위차를 발생시키게 된다. 이 전위차에 의해 하부기판(1)과 상부기판(42) 사이에 위치하는 액정(52)은 유전율 이방성에 기인하여 회전하게 된다. 이렇게 회전되는 액정(52)에 의해 광원으로부터 화소전극(22)을 경유하여 상부기판(42) 쪽으로 투과되는 광량이 조절된다.
컬러필터 어레이 기판(4)의 블랙 매트릭스(44)는 하부기판(1)의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트 라인들 및 데이터 라인들 영역과 중첩되게 형성되며 컬러필터(46)가 형성될 화소영역을 구획한다. 이러한 블랙 매트릭스(44)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다.
컬러필터(46)는 블랙 매트릭스(44)에 의해 분리된 화소영역에 형성된다. 이러한 컬러필터(46)는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 별로 형성되어 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 색상을 구현한다.
오버 코트층(47)은 컬러필터(46)가 형성된 상부기판(42) 상에 절연특성을 가진 투명한 수지를 도포하여 일정한 전압이 인가되는 블랙 매트릭스(44)와 공통 전압이 인가되는 공통전극(48) 사이를 전기적으로 절연시키는 역할을 한다. 한편, 상기 오버 코트층(47)은 TN모드의 소자에서는 형성되지 않아도 무방하다.
공통전극(48)은 액정구동시 기준이 되는 공통전압이 인가되어 하부기판(1) 상에 형성된 화소전극(22)과 전위차를 발생시키게 된다. 한편, IPS 모드에서는 상기 공통전극이 하부기판(1)에 형성된다.
그리고 컬러필터 어레이 기판(4)과 TFT 어레이 기판(2)에는 액정 배향을 위한 상/하부 배향막(50a, 50b)이 폴리 이미드(PI) 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙 공정을 수행함으로써 형성된다.
한편, 액정패널의 제조공정은 전극의 패터닝이나 콘택홀 형성시 포토레지스트(Photo Resist : 이하 "PR"이라 함) 패턴형성, 에칭공정, PR 패턴 제거(Strip)공정 등이 수행되고, 각 공정 사이에 세정공정이 수행되고 있다. 이때, PR 패턴 형성공정, 에칭공정 및 PR 패턴 제거공정은 TFT의 제작공정뿐만 아니라 컬러필터 형성공정, 전극 패터닝 공정 등에서 이용되고 있다. 여기서, 에칭공정, PR 패턴 제거 공정 및 세정 공정을 포함하는 습식 공정은 스프레이 노즐을 이용하여 케미컬(Chemical) 또는 초순수(DI)를 기판에 분사하는 습식 장치에 의해 수행된다.
도 2는 종래의 습식 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 종래의 습식 장치는 기판(60)과, 기판(60) 상에 설치되며 배관(72)을 통해 유체가 공급되는 파이프(70)와, 파이프(70)에 설치되어 파이프(70)에 공급되는 유체를 기판(60)에 분사하는 복수의 스프레이 노즐(80)을 구비한다.
파이프(70)에 공급되는 유체는 기판(60)에 형성된 패터닝된 패턴의 에칭 또는 패턴 제거 공정을 위한 케미컬이 공급되거나, 기판(60)을 세정하기 위한 초순수가 공급된다.
파이프(70)는 기판(60)에 소정 높이를 가지도록 기판(60)의 장변 또는 단변 방향과 나란하게 설치된다. 이러한, 파이프(70)는 도시하지 않은 탱크로부터 배관(72)을 통해 소정 압력의 유체를 공급받는다.
복수의 스프레이 노즐(80) 각각에는 도 3에 도시된 바와 같이 원형의 단면을 가지는 분사 홀(81)이 형성된다.
분사 홀(81)은 파이프(70)로부터 공급되는 유체를 소정의 분사 각 및 소정의 압력으로 기판(60) 상에 분사한다.
이러한, 종래의 습식 장치는 복수의 스프레이 노즐(80)에 형성된 분사 홀(81)을 통해 유체를 기판(60)에 분사함으로써 기판(60)에 형성된 패턴을 에칭 또는 제거하거나, 기판(60)을 세정할 수 있다.
한편, 에칭 공정 및 패턴 제거 공정시 균일한 에칭 또는 제거를 위하여 복수의 스프레이 노즐(80)에서 분사되는 유체가 중첩되지 않도록 유체의 분사 각 및 압력을 조절할 경우가 발생하게 된다.
그러나, 종래의 습식 장치는 복수의 스프레이 노즐(80)에 형성된 분사 홀(81)의 형태 및 크기에 따라 유체의 분사 각 및 압력이 결정됨으로써 습식 공정에 따라 유체의 분사 각 및 압력을 조절할 수 없는 문제점이 있다.
따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 습식공정시 노즐에서 분사되는 유체의 분사 각도를 조절할 수 있도록 한 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐은 제 1 분사 홀이 형성된 제 1 몸체와, 상기 제 1 몸체에 회전 가능하게 결합되며 상기 제 1 분사 홀을 통해 공급되는 유체를 분사하는 제 2 분사 홀이 형성된 제 2 몸체를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 분사 홀은 원형과 타원형 및 다각형 중 어느 한 단면을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 스프레이 노즐은 상기 제 1 몸체의 외주면에 형성된 제 1 눈금자와, 상기 제 2 몸체의 외주면에 형성되어 상기 제 1 눈금자와의 얼라인에 따라 상기 제 2 분사 홀에서 분사되는 상기 유체의 분사 각 및 압력을 조절하기 위한 제 2 눈금자를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 스프레이 노즐은 상기 제 1 몸체의 하단에 형성되는 제 1 결합부와, 상기 제 2 몸체의 상단에 형성되어 상기 제 1 결합부와 회전가능하게 결합되는 제 2 결합부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 습식장치는 기판과, 상기 기판 상에 설치되며 외부로부터 유체가 공급되는 파이프와, 상기 파이프에 설치되며 교차되는 적어도 2개의 분사 홀을 통해 상기 파이프에 공급되는 상기 유체를 상기 기판에 분사하는 복수의 스프레이 노즐을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 스프레이 노즐 각각은 상기 파이프에 회전 가능하게 결합되며 제 1 분사 홀이 형성된 제 1 몸체와, 상기 제 1 몸체에 회전 가능하게 결합되며 상기 제 1 분사 홀을 통해 공급되는 유체를 상기 기판에 분사하는 제 2 분사 홀이 형성된 제 2 몸체를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 분사 홀은 원형과 타원형 및 다각형 중 어느 한 단면을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 스프레이 노즐 각각은, 상기 제 1 몸체의 외주면에 형성된 제 1 눈금자와, 상기 제 2 몸체의 외주면에 형성되어 상기 제 1 눈금자와의 얼라인에 따라 상기 제 2 분사 홀에서 분사되는 상기 유체의 분사 각 및 압력을 조절하기 위한 제 2 눈금자를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 스프레이 노즐 각각은 상기 제 1 몸체의 상단에 형성되어 상기 파이프에 회전가능하게 결합되는 제 1 상부 결합부와, 상기 제 1 몸체의 하단에 형성되는 하부 결합부와, 상기 제 2 몸체의 상단에 형성되어 상기 제 1 상부 결합부에 회전가능하게 결합되는 제 2 상부 결합부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하에서, 첨부된 도면 및 실시 예를 통해 본 발명의 실시 예를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치는 기판(160)과, 기판(160) 상에 설치되며 배관(172)을 통해 유체가 공급되는 파이프(170)와, 파이프(170)에 설치되며 교차되는 적어도 2개의 분사 홀을 통해 파이프(170)에 공급되는 유체를 기판(160)에 분사하는 복수의 스프레이 노즐(180)을 구비한다.
파이프(170)에 공급되는 유체는 기판(160)에 형성된 패터닝된 패턴의 에칭 또는 패턴 제거 공정을 위한 화학용액(Chemical)이 공급되거나, 기판(160)을 세정하기 위한 초순수(Deionize Water)가 공급된다.
파이프(170)는 기판(160)에 소정 높이를 가지도록 기판(160)의 장변 또는 단변 방향과 나란하게 설치된다. 이러한, 파이프(170)는 도시하지 않은 탱크로부터 배관(172)을 통해 소정 압력의 유체를 공급받는다.
복수의 스프레이 노즐(180) 각각은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 제 1 분사 홀(183)이 형성된 제 1 몸체(182) 및 제 2 분사 홀(187)이 형성된 제 2 몸체(186)를 구비한다.
제 1 몸체(182)는 파이프(170)에 회전 가능하게 결합되는 상부 결합부, 제 2 몸체(186)와 결합되는 하부 결합부와, 원형과 타원형 및 다각형 중 어느 한 단면을 가지는 제 1 분사 홀(183)과, 외주면에 일정 간격으로 형성된 제 1 눈금자(185)를 포함한다.
제 1 몸체(182)의 상부 결합부에는 파이프(170)에 결합될 수 있도록 수 나사산이 형성되며, 하부 결합부에는 제 2 몸체(186)와 결합될 수 있도록 암 나사산이 형성된다.
이러한, 제 1 몸체(182)는 상부 결합부를 통해 360°범위 내에서 회전 가능하도록 파이프(170)에 설치되어 파이프(170)로부터 공급되는 유체를 제 2 몸체(186)의 제 2 분사 홀(187)로 공급한다.
제 2 몸체(186)는 제 1 몸체(182)의 하부 결합부에 회전 가능하게 결합되는 상부 결합부와, 원형과 타원형 및 다각형 중 어느 한 단면을 가지는 제 2 분사 홀(187)과, 외주면에 일정 간격으로 형성되어 유체의 분사 각 조절을 위한 제 2 눈금자(189)를 포함한다.
제 2 몸체(186)의 상부 결합부에는 제 1 몸체(182)의 하부 결합부에 결합될 수 있도록 수 나사산이 형성된다.
제 2 눈금자(189)는 제 2 몸체(186)의 회전에 따라 제 1 몸체(182)에 형성된 제 1 눈금자(185)와 얼라인시켜 제 2 분사 홀(187)에서 분사되는 유체의 분사 각 및 압력의 정확한 조절을 위한 수단으로 사용된다.
도 7a 및 도 7b는 도 6에 도시된 스프레이 노즐 각각의 분사 각 및 압력의 조절을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 파이프(170)에 결합된 제 1 몸체(182)를 회전시켜 제 1 분사 홀(183)의 홀 방향을 설정한다.
유체를 최대의 분사 각 및 가장 낮은 압력으로 분사할 경우, 도 7a에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 눈금자(185, 189)에 따라 제 2 분사 홀(187)과 제 1 분사 홀(183)이 일치하도록 제 2 몸체(186)를 회전시킨다. 이에 따라, 각 스프레이 노즐(180)은 제 1 분사 홀(183)과 제 2 분사 홀(187)의 일치됨에 따라 제 1 및 제 2 분사 홀(183, 187)의 교차 영역(188)을 통해 유체를 최대의 분사 각 및 가장 낮은 압력으로 분사하게 된다.
반면에, 유체를 최소의 분사 각 및 가장 높은 압력으로 분사할 경우, 도 7b에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 눈금자(185, 189)에 따라 제 2 분사 홀(187)과 제 1 분사 홀(183)이 수직하게 교차되도록 제 2 몸체(186)을 회전시킨다. 이에 따라, 각 스프레이 노즐(180)은 제 1 분사 홀(183)과 제 2 분사 홀(187)의 수직 교차에 의해 형성된 교차 영역(188)을 통해 유체를 최소의 분사 각 및 가장 높은 압력 으로 분사하게 된다.
마찬가지로, 제 1 및 제 2 눈금자(185, 189)에 따라 제 2 몸체(186)을 회전시켜 제 1 분사 홀(183)과 제 2 분사 홀(187)의 교차 영역을 조절함으로써 최대의 분사 각과 최소의 분사 각 사이의 분사 각, 그리고 가장 높은 압력과 가장 낮은 압력 사이의 압력으로 조절할 수 있다.
이와 같은, 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치는 회전 가능하게 설치된 제 1 및 제 2 몸체(182, 186)에 형성된 제 1 및 제 2 분사 홀(183, 187)의 교차 영역(188)을 조절함으로써 유체의 분사 각 및 압력을 정확하게 조절할 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치는 유체의 분사 각 및 압력을 정확하게 조절된 복수의 스프레이 노즐(180)을 통해 유체를 기판(160)에 분사함으로써 기판(160)에 형성된 패턴을 에칭 또는 제거하거나, 기판(160)을 세정할 수 있다.
한편, 이와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치는 액정 표시장치, 플라즈마 디스플레이 패널 및 발광 표시장치 등을 포함하는 평판 표시장치의 제조 공정 중 습식 공정시 사용될 수 있다.
다른 한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
상기와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐과 이를 이용한 습식장치는 교차되는 적어도 2개의 분사 홀의 교차 영역에 따라 노즐에서 분사되는 유체의 분사 각 및 압력을 조절할 수 있으므로 습식 공정의 균일도를 향상시킬 수 있다.

Claims (13)

  1. 제 1 분사 홀이 형성된 제 1 몸체와,
    상기 제 1 몸체에 회전 가능하게 결합되며 상기 제 1 분사 홀을 통해 공급되는 유체를 분사하는 제 2 분사 홀이 형성된 제 2 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 분사 홀은 원형과 타원형 및 다각형 중 어느 한 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 분사 홀에서 분사되는 유체의 분사 각 및 압력은 상기 제 1 및 제 2 분사 홀의 교차 영역에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 몸체의 외주면에 형성된 제 1 눈금자와,
    상기 제 2 몸체의 외주면에 형성되어 상기 제 1 눈금자와의 얼라인에 따라 상기 제 2 분사 홀에서 분사되는 상기 유체의 분사 각 및 압력을 조절하기 위한 제 2 눈금자를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 몸체의 하단에 형성되는 제 1 결합부와,
    상기 제 2 몸체의 상단에 형성되어 상기 제 1 결합부와 회전가능하게 결합되는 제 2 결합부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 유체는 화학용액 또는 초순수인 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 스프레이 노즐.
  7. 기판과,
    상기 기판 상에 설치되며 외부로부터 유체가 공급되는 파이프와, 그리고
    상기 파이프에 설치되며 교차되는 적어도 2개의 분사 홀을 통해 상기 파이프에 공급되는 상기 유체를 상기 기판에 분사하는 복수의 스프레이 노즐을 구비하며,
    상기 복수의 스프레이 노즐 각각은,
    상기 파이프에 회전 가능하게 결합되며 제 1 분사 홀이 형성된 제 1 몸체와,
    상기 제 1 몸체에 회전 가능하게 결합되며 상기 제 1 분사 홀을 통해 공급되는 유체를 상기 기판에 분사하는 제 2 분사 홀이 형성된 제 2 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 습식장치.
  8. 삭제
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 분사 홀은 원형과 타원형 및 다각형 중 어느 한 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 습식장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 분사 홀에서 분사되는 유체의 분사 각 및 압력은 상기 제 1 및 제 2 분사 홀의 교차 영역에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 습식장치.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 복수의 스프레이 노즐 각각은,
    상기 제 1 몸체의 외주면에 형성된 제 1 눈금자와,
    상기 제 2 몸체의 외주면에 형성되어 상기 제 1 눈금자와의 얼라인에 따라 상기 제 2 분사 홀에서 분사되는 상기 유체의 분사 각 및 압력을 조절하기 위한 제 2 눈금자를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 습식장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 복수의 스프레이 노즐 각각은,
    상기 제 1 몸체의 상단에 형성되어 상기 파이프에 회전가능하게 결합되는 제 1 상부 결합부와,
    상기 제 1 몸체의 하단에 형성되는 하부 결합부와,
    상기 제 2 몸체의 상단에 형성되어 상기 하부 결합부에 회전가능하게 결합되는 제 2 상부 결합부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 습식장치.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 유체는 화학용액 또는 초순수인 것을 특징으로 하는 화상 표시장치의 제조용 습식장치.
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