KR100922270B1 - Socket for semiconductor device - Google Patents
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Abstract
어댑터(10)의 셀(10CA) 내에 수용되는 콘택트 단자(20ai)의 고정측 단자(20C)가, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 소정의 압력으로 맞닿는 접점부(20t)를 가지며, 어댑터(10)가, 태핑 나사(TBs)로 체결되는 고정용 폴부(10NA 내지 10ND)를 통하여 프린트 배선 기판(18)에 고정되는 것.The fixed side terminal 20C of the contact terminal 20ai accommodated in the cell 10CA of the adapter 10 contacts the contact portion 20t at a predetermined pressure against the electrode group 18E of the printed wiring board 18. The adapter 10 is fixed to the printed wiring board 18 through fixing pole parts 10NA-10ND fastened with a tapping screw (TBs).
반도체, 소켓 Semiconductor socket
Description
본 발명은, 시험에 제공되는 반도체 장치를 프린트 배선 기판에 전기적으로 접속하기 위한 반도체 장치용 소켓에 관한 것이다.The present invention relates to a socket for a semiconductor device for electrically connecting a semiconductor device provided for a test to a printed wiring board.
전자기기 등에 실장되는 반도체 장치에 있어서, 일반적으로, 실장되기 이전의 단계에서 그 잠재적 결함을 제거하기 위해 예를 들면, 초기 동작 불량 집적 회로의 제거에 유효하다고 하는 번인(burn in) 시험이 반도체 장치용 소켓을 통하여 이루어진다.BACKGROUND OF THE INVENTION In a semiconductor device mounted on an electronic device or the like, in general, a burn in test that is effective for removing an initial malfunctioning integrated circuit, for example, in order to remove the potential defect in a step prior to the mounting, is a semiconductor device. Through the socket.
이와 같은 시험에 제공되는 반도체 장치용 소켓은, 일반적으로, IC 소켓이라고 칭하여지고, 예를 들면, 일본 특개2004-355983호 공보에도 나타나는 바와 같이, 프린트 배선 기판(테스트 보드)상에 배치된다. 프린트 배선 기판은, 소정의 시험 전압이 공급됨과 함께 피검사물로서의 반도체 장치로부터의 단락 등을 나타내는 이상 검출 신호를 송출하는 입출력부를 갖는 것으로 된다. 그때, IC 소켓의 소켓 본체부는, 예를 들면, 프린트 배선 기판에 마련되는 복수의 부착구멍을 통하여 부착 비스 및 너트에 의해 체결되어 있다. 또한, 1C 소켓은, 검사 라인에서의 검사 효율을 향상시키기 위해 1장의 프린트 배선 기판에 복수개, 고밀도로 배치되는 경우가 있다.The socket for a semiconductor device provided for such a test is generally called an IC socket, and is arrange | positioned on a printed wiring board (test board), for example, as shown also in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-355983. The printed wiring board is provided with an input / output unit for supplying a predetermined test voltage and outputting an abnormality detection signal indicating a short circuit or the like from a semiconductor device as an inspection object. In that case, the socket main-body part of an IC socket is fastened by the attachment screw and the nut through the some attachment hole provided in the printed wiring board, for example. In addition, in order to improve the test | inspection efficiency in an inspection line, 1C socket may be arrange | positioned in multiple pieces at high density and one printed wiring board.
이와 같은 IC 소켓은, 반도체 장치의 단자와 프린트 배선 기판에서의 입출력부를 전기적으로 접속하는 콘택트 단자군을 소켓 본체 내부에 내장하고 있다. 이와 같은 콘택트 단자군을 구성하는 각 콘택트 단자의 고정 단자부는, 일반적으로, 프린트 배선 기판의 각 도금 스루홀에 대해 솔더링 고정되어 있다.Such an IC socket incorporates a group of contact terminals for electrically connecting a terminal of a semiconductor device and an input / output unit on a printed wiring board inside the socket body. Generally, the fixed terminal part of each contact terminal which comprises such a contact terminal group is soldered and fixed with respect to each plating through-hole of a printed wiring board.
상술한 바와 같이 복수개의 IC 소켓이 고밀도로 1장의 프린트 배선 기판에 배치되는 경우, 복수개중의 하나의 IC 소켓에 어떠한 이상이 생긴 때, 그 이상이 생긴 IC 소켓의 보수 점검 또는 교환 작업을 위해 1장의 프린트 배선 기판에 대해 소정 기간, 사용할 수 없게 되는 사태가 생길 우려가 있다.As described above, when a plurality of IC sockets are arranged on one printed wiring board at a high density, when an abnormality occurs in one of the plurality of IC sockets, it is necessary to repair or replace the IC socket in which the abnormality occurs. There is a risk that the printed circuit board may not be usable for a certain period of time.
이와 같은 경우, 검사 라인의 검사를 비교적 장기간 중단시키는 일 없이, 계속해서 검사를 행하기 위해 같은 IC 소켓이 배치된 예비의 테스트 보드를 준비하여 두는 것도 고려된다.In such a case, it is also conceivable to prepare a spare test board with the same IC socket arranged to continue the inspection without interrupting the inspection of the inspection line for a relatively long time.
그러나, 예비의 테스트 보드를 준비하여 두는 것은, 검사 라인에서의 설비 비용이 커지기 때문에 득책이 아니다. 또한, 콘택트 단자의 고정 단자부의 솔더링 작업은, 교환 작업에 비교적 긴 시간을 소비하고, 게다가, 테스트 보드의 파손에 의한 수율의 악화에 이어지기 때문에 솔더링 작업을 필요로 하는 일 없이, 이상이 생긴 IC 소켓만을 용이한 작업으로, 또한, 신속하게 교환함이 요망된다.However, it is not profitable to prepare a spare test board because the installation cost in an inspection line becomes large. In addition, the soldering work of the fixed terminal portion of the contact terminal consumes a relatively long time for the replacement work, and also leads to a deterioration of the yield due to the breakage of the test board. It is desired that only the socket be easily operated and that the socket be replaced quickly.
이상의 문제점을 고려하여, 본 발명은, 시험에 제공되는 반도체 장치를 프린트 배선 기판에 전기적으로 접속하기 위한 반도체 장치용 소켓으로서, 이상이 생긴 IC 소켓만을 용이한 작업으로, 또한, 단시간에 교환할 수 있는 반도체 장치용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above problems, the present invention is a socket for a semiconductor device for electrically connecting a semiconductor device provided for a test to a printed wiring board, and only an IC socket having an abnormality can be replaced in an easy operation and in a short time. An object of the present invention is to provide a socket for a semiconductor device.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓은, 반도체 장치를 착탈 가능하게 수용하는 반도체 장치 수용부를 갖는 소켓 본체와, 반도체 장치 수용부에 배치되고, 반도체 장치의 단자를 선택적으로 끼워 지지하는 탄성이 있는 한 쌍의 접촉편부와, 접촉편부에 연결되는 고정측 단자를 갖는 제 1의 콘택트 단자와, 전극군이 형성되는 전극면을 갖는 배선 기판상에 착탈 가능하게 배치되고, 소켓 본체가 착탈 가능하게 연결되는 소켓 본체 연결면을 가지며, 소켓 본체를 지지하는 어댑터와, 어댑터 내에 배치되고, 소켓 본체가 소켓 본체 연결면에 연결되는 경우, 제 1의 콘택트 단자의 고정측 단자에 맞닿아지는 접촉편부와, 접촉편부에 연결되고 배선 기판의 전극면에 대해 직교하는 방향으로 탄성 변위 가능하게 형성되고 해당 전극면에 맞닿는 고정측 단자를 가지며, 반도체 장치 수용부에 수용된 반도체 장치의 단자를, 제 1의 콘택트 단자를 통하여 배선 기판의 전극면에 전기적으로 접속하는 제 2의 콘택트 단자를 구비하여 구성된다.In order to achieve the above object, the socket for a semiconductor device according to the present invention is provided with a socket main body having a semiconductor device accommodating portion for detachably accommodating the semiconductor device, and disposed in the semiconductor device accommodating portion, and selectively receiving terminals of the semiconductor device. A socket is detachably disposed on a wiring board having a pair of elastic contact pieces to be held therein, a first contact terminal having a fixed side terminal connected to the contact piece, and an electrode surface on which an electrode group is formed. The main body has a socket body connection surface to which the main body is detachably connected, and an adapter for supporting the socket main body and a fixed side terminal of the first contact terminal when the socket main body is disposed in the adapter and connected to the socket main body connection surface. A contact piece portion to be brought into contact with the contact piece portion and formed to be elastically displaceable in a direction orthogonal to the electrode surface of the wiring board; And a second contact terminal having a fixed-side terminal which contacts the terminal and electrically connecting the terminal of the semiconductor device accommodated in the semiconductor device accommodating portion to the electrode surface of the wiring board via the first contact terminal.
이상의 설명으로부터 분명한 바와 같이, 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓에 의하면, 어댑터가, 전극군이 형성되는 전극면을 갖는 배선 기판상에 착탈 가능하게 배치되고, 소켓 본체가 착탈 가능하게 연결되는 소켓 본체 연결면을 가지며, 소켓 본체를 지지하기 때문에 소켓 본체를 어댑터로부터 용이하게 떼어낼 수 있고, 따라서 이상이 생긴 IC 소켓만을 용이한 작업으로, 또한, 단시간에 교환할 수 있다.As is apparent from the above description, according to the socket for a semiconductor device according to the present invention, a socket main body in which an adapter is detachably disposed on a wiring board having an electrode surface on which an electrode group is formed, and the socket main body is detachably connected to the socket main body. Since the socket body has a connection surface and supports the socket body, the socket body can be easily removed from the adapter, so that only an IC socket having an abnormality can be easily replaced in a short time.
본 발명의 다른 특징 들은 첨부된 도면을 참조하여 다음 실시예를 통해 더욱 구체적으로 설명될 것이다.Other features of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings in the following examples.
도 2는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예를, 테스트 보드로서의 프린트 배선 기판과 함께 도시한다. 또한, 도 2에서는, 프린트 배선 기판상에 복수개 배치되는 반도체 장치용 소켓중의 1개를 대표로서 도시한다.2 shows an example of a socket for a semiconductor device according to the present invention together with a printed wiring board as a test board. In addition, in FIG. 2, one of the sockets for semiconductor devices arrange | positioned in multiple numbers on a printed wiring board is shown as a representative.
반도체 장치용 소켓은, 소정의 판두께를 갖는 프린트 배선 기판(18)에 형성되는 도체 패턴에 있어서의 소정 위치에 각각 배치되어 있다. 그 도체 패턴에서의 소정 위치에는, 도 1에 확대되어 도시되는 바와 같이, 후술하는 콘택트 단자의 고정측 단자의 접점부가 맞닿아지는 전극군(18E)이 형성되어 있다. 또한, 도체 패턴의 주위에는, 후술하는 각 고정용 폴부가 삽입되는 개략 직사각형 형상의 구멍(18a)이 형성되어 있다(도 1 참조). 또한, 구멍(18a)의 형상은, 이러한 예로 한정되는 일 없이, 예를 들면, 둥근구멍, 또는 다른 형상이라도 좋다.The socket for semiconductor device is arrange | positioned at the predetermined position in the conductor pattern formed in the printed
반도체 장치용 소켓은, 도 2 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 피검사물로서의 반도체 장치(DV)가 착탈 가능하게 배치되는 후술하는 반도체 장치 수용부(14A)를 구비하는 소켓 본체(30)와, 소켓 본체(30) 내의 중앙의 콘택트 수용부에 배치되는 복수의 콘택트 단자(40ai)(i=1 내지 n, n은 정(正)의 정수)와, 소켓 본체(30)에 승강이동 가능하게 지지되고 후술하는 래치 기구에 조작력을 전달하는 커버 부재(12)와, 반도체 장치(DV)를 착탈 가능하게 수용함과 함께 반도체 장치(DV)의 전극부의 콘택트 단자(40ai)에 대한 상대 위치를 위치 결정하는 위치 결정부(14)를 갖는 슬라이더 부재(22)와(도 8 참조), 위치 결정부(14) 내에 수용된 반도체 장치(DV)의 각 전극부를 복수의 콘택트 단자를 향하여 가압함과 함께 반도체 장치(DV)를 지지하는 누름부재(16A 및 16B)를 포함하여 이루어지는 래치 기구와, 상술한 소켓 본체(30)를 프린트 배선 기판(18)에 대해 착탈 가능하게 지지하는 어댑터(10)를 주된 요소로서 포함하여 구성되어 있다.2 and 4, the socket for a semiconductor device includes a socket
이러한 반도체 장치용 소켓에 제공되는 반도체 장치(DV)는, 예를 들면, BGA형의 개략 정사각형의 반도체 장치로 되고, 복수의 공형상(球狀)의 전극부가 종횡으로 형성되는 전극면을 갖고 있다.The semiconductor device DV provided in such a socket for semiconductor devices is, for example, a BGA type roughly square semiconductor device, and has an electrode surface on which a plurality of ball-shaped electrode portions are formed in the horizontal direction. .
수지제의 소켓 본체(30)는, 후술하는 커버 부재(12)가 하강될 때, 그 암부의 하단, 누름부재(16A 및 16B)의 기단부가 침입하는 오목부(도시 생략)를 서로 대향하는 단부에 각각 갖고 있다. 또한, 도 8에 도시되는 바와 같이, 소켓 본체(30)의 내부의 중앙에는, 단수의 콘택트 단자(40ai)가 반도체 장치(DV)의 전극부에 대응하여 배치되는 콘택트 수용부가 형성되어 있다.The resin
콘택트 수용부는 각 콘택트 단자(40ai)를 각각 수용하는 복수의 셀을 갖고 있다. 각 셀은, 소정의 간격으로 종횡으로 형성되어 있다. 인접하는 셀 상호간은, 칸막이벽(30Pai)(i=1 내지 n, n은 정의 정수)에 의해 구획되어 있다. 각 셀의 내부에는, 콘택트 단자(40ai)의 고정부(40B)를 내벽면으로 지지하는 압입부가 형성되어 있다. 그 셀의 개구단이 개구하는 콘택트 수용부의 윗면부에는, 후술하는 슬라이더 부재(22)가 이동 가능하게 배치되어 있는 평탄면이 형성되어 있다.The contact accommodating portion has a plurality of cells each accommodating each contact terminal 40ai. Each cell is formed vertically and horizontally at predetermined intervals. Adjacent cells are partitioned by
제 1의 콘택트 단자로서의 콘택트 단자(40ai)는, 탄성이 있는 박판상태의 금속재료로 프레스 가공에 의해 일체 성형되고, 상술한 프린트 배선 기판(18)의 표면에 대해 개략 직교하는 방향으로 늘어나 있다. 콘택트 단자(40ai)는, 상술한 반도체 장치(DV)의 공형상의 전극부를 선택적으로 끼워 지지하는 한 쌍의 가동측 접촉편부(40m) 및 고정측 접촉편부(40f)와, 후술하는 어댑터(10)의 콘택트(20ai)에 전 기적으로 접속되는 접점부(40t)를 갖는 고정측 단자(40C)와, 가동측 접촉편부(40m) 및 고정측 접촉편부(40f)와 고정측 단자(40C)를 연결하는 고정부(40B)를 포함하여 구성되어 있다,The contact terminal 40ai as the first contact terminal is integrally formed by press working from an elastic thin sheet metal material and extends in a direction substantially perpendicular to the surface of the above-described printed
도 8에서, 가동측 접촉편부(40m)는, 고정측 접촉편부(40f)에 대해 근접 또는 이격 가능해지도록 탄성을 갖고 있다. 가동측 접촉편부(40m) 및 고정측 접촉편부(40f)에서 상단부에는, 각각, 반도체 장치(DV)의 공형상의 전극부(DVa)에 맞닿는 접점부가 형성되어 있다. 각 접점부는, 후술하는 슬라이더 부재(22)의 슬릿(22b)을 통하여 위치 결정부(14) 부근의 위치까지 돌출하고 있다.In FIG. 8, the movable side
또한, 도 8에서, 슬라이더 부재(22)가 화살표(F)로 나타내는 방향으로 이동되는 경우, 가동측 접촉편부(40m)의 접점부는, 2점쇄선으로 도시되는 바와 같이, 슬라이더 부재(22)의 가압부(22a)에 의해 가압되고, 고정측 접촉편부(40f)의 접점부에 대해 이격된다. 한편, 슬라이더 부재(22)가 화살표(R)로 나타내는 방향으로 이동되고, 그 이격한 위치로부터 초기 위치로 되돌려지는 경우, 가동측 접촉편부(40m)의 접점부는, 고정측 접촉편부(40f)의 접점부에 대해 근접된다.In addition, in FIG. 8, when the
직선형상으로 형성되는 고정측 단자(40C)는, 그 일단에서 고정부(40B)에 결합되어 있고, 또한, 고정측 단자(40C)의 타단에 형성되는 접점부(40t)는, 도 9에 도시되는 바와 같이, 후술하는 어댑터(10)에 마련되는 콘택트 단자(20ai)의 접점부(20bc)에 맞닿는 것으로 된다.The
따라서, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)에서의 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 대한 솔더링 작업이 불필요하게 된다.Therefore, the soldering operation with respect to the
슬라이더 부재(22)는, 커버 부재(12)의 하강 동작에 따라 캠 기구(도시 생략))에 의해 도 8에서의 화살표(F)로 나타내는 방향으로 이동하게 된다. 그 캠 기구는, 예를 들면, 일본 특개2003-17207호 공보에도 나타나는 바와 같은, 레버 부재 및 코일 스프링을 포함하여 구성되어 있다.The
또한, 슬라이더 부재(22)는, 콘택트 단자(40ai)에서의 한 쌍의 가동측 접촉편부(40m) 및 고정측 접촉편부(40f)가 통과하는 슬릿(22b)을 종횡으로 갖고 있다. 동일 열에서의 인접하는 슬릿(22b) 상호간은, 가압부(22a)에 의해 구획되어 있다. 인접하는 다른 열에서의 슬릿(22b) 상호간은, 격벽에 의해 구획되어 있다.In addition, the
슬라이더 부재(22)와 일체로 형성되는 위치 결정부(14)는, 도 3에 도시되는 바와 같이, 반도체 장치(DV)를 수용함과 함께, 반도체 장치(DV)의 전극부의 콘택트 단자(40ai)의 각 접점부에 대한 위치 결정을 행하는 가이드부를 갖는 반도체 장치 수용부(14A)를 구비하고 있다. 그 반도체 장치 수용부(14A) 내에는, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 접점부가 돌출하고 있다, 반도체 장치 수용부(14A)를 형성하는 서로 대향하는 벽부에는, 각각, 누름부재(16A 및 16B)가 각각 통과하는 개구부가 형성되어 있다.As shown in FIG. 3, the
커버 부재(12)는, 상술한 슬라이더 부재(22)의 위치 결정부(14)가 이동 가능하게 배치되는 개구부를 중앙에 갖고 있다. 반도체 장치(DV)가 위치 결정부(14)에 대해 착탈될 때, 반도체 장치(DV)가 그 개구부를 통과하게 된다.The
커버 부재(12)는, 도 2에 도시되는 바와 같이, 그 복수의 다리부(12g)가 각각, 소켓 본체(10)의 외주부에 형성되는 각 홈에 안내되어 승강이동 가능하게 지지 되어 있다. 도 2에서는, 복수의 다리부(12g)중의 한쪽만을 도시한다.As shown in FIG. 2, the
또한, 커버 부재(12)에서의 각 스프링 받이부(12d)와 소켓 본체(10) 사이에는, 각각, 커버 부재(12)를 상방으로, 즉, 커버 부재(12)를 소켓 본체(10)에 대해 이격하는 방향으로 가세하는 코일 스프링(16)이 마련되어 있다. 그때, 커버 부재(12)의 다리부(12g)의 선단에 마련되는 폴부가 홈의 단부에 계합됨에 의해, 도 2에 도시되는 바와 같이, 커버 부재(12)가 최상단 위치에 유지되게 된다. 또한, 도 2 및 도 4는, 각각, 커버 부재(12)가 최상단 위치에 유지된 상태를 도시한다.In addition, between each
커버부재(12)는, 도 2에서 2점쇄선으로 도시되는 바와 같이, 하강되는 경우, 래치 기구를 구성한 누름부재(16A 및 16B)의 기단부를 가압하는 암부(도시 생략)를 갖고 있다.The
누름부재(16A 및 16B)는, 각각, 소켓 본체(30)에서의 위치 결정부(14)의 각 긴변에 대향하는 위치에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 누름부재(16A 및 16B)의 기단부는, 각각, 도 2에 도시되는 바와 같이, 코일 스프링(17)에 의해, 위치 결정부(14)에 장착된 반도체 장치(DV)를 그 선단부에서 꽉 누르는 방향으로 가세되어 있기 때문에 누름부재(16A 및 16B)의 선단부는, 위치 결정부(14)의 상방이 되는 위치에 배치된다. 한편, 커버 부재(12)의 암부에 의해 누름부재(16A 및 16B)의 기단부가 코일 스프링(17)의 가세력에 대항하여 가압되는 경우, 누름부재(16A 및 16B)의 선단부는, 위치 결정부(14)로부터 이격하여 소정의 대기 위치에 배치된다,The
소켓 본체(30)에서의 저면부에는, 도 11에 도시되는 바와 같이, 후술하는 어 댑터(10)의 연결면의 슬릿(10Sa, 10SB)에 각각, 선택적으로 삽입되어 착탈 가능하게 연결부에 연결되는 폴부(30N)가 복수개 형성되어 있다. 또한, 도 11에서는, 복수개의 폴부(30N)중의 1개의 폴부(30N)를 도시한다.As shown in FIG. 11, the bottom part of the socket
폴부(30N)는, 그 저면부에 대해 개략 수직이 되도록 돌출하고 있다. 폴부(30N)의 선단은, 그 두께 방향으로 탄성 변위 가능하게 된다.The
또한, 도 2 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 소켓 본체(30)의 저부와 프린트 배선 기판(18)의 전극면 사이에는, 어댑터(10)가 배치되어 있다.2 and 4, an
어댑터(10)는, 예를 들면, 수지 재료로 성형되고, 도 5 및 도 6에 도시되는 바와 같이, 상부에 소켓 본체(30)의 저면부가 재치되고 연결되는 소켓 본체 연결면(10CSA)을 갖고 있다. 소켓 본체 연결면(10CSA)의 중앙부에는, 상술한 소켓 본체(30)의 저면부가 소켓 본체 연결면(10CSA)에 연결되는 경우, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)가 삽입되는 투과구멍(10hi)(i=1 내지 n, n은 정의 정수)군이 형성되어 있다. 각 투과구멍(10hi)은, 소정의 간격을 가지고 상술한 콘택트 단자(40ai)의 배열에 대응하여 형성되어 있다. 각 투과구멍(10hi)은, 도 9에 확대되어 도시되는 바와 같이, 어댑터(10)의 콘택트 수용부에서의 각 셀(10CA) 내에 연통하고 있다. 각 셀(10CA)은, 각각, 어댑터(10)의 내측에서 각 투과구멍(10hi)의 바로 아래쪽이 되는 위치에 형성되어 있다.The
인접하는 셀(10CA) 상호간은, 격벽(10Pai)에 의해 구획되어 있다. 각 셀(10CA) 내에는, 도 9에 확대되어 도시되는 바와 같이, 콘택트 단자(20ai)가 수용되어 있다.Adjacent cells 10CA are partitioned off by partition 10Pai. In each cell 10CA, as shown in an enlarged manner in FIG. 9, a contact terminal 20ai is accommodated.
제 2의 콘택트 단자로서의 콘택트 단자(20ai)는, 탄성이 있는 박판상태의 금속재료로 프레스 가공에 의해 일체 성형되고, 프린트 배선 기판(18)의 표면에 대해 개략 직교하는 방향으로 늘어나 있다. 소정의 폭 및 두께를 갖는 띠 모양의 콘택트 단자(20ai)는, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)를 선택적으로 격벽(10Pai)의 표면과 협동하여 끼워 지지하는 접촉편부(20BC)와, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 맞닿는 접점부(20t)를 갖는 고정측 단자(20C)와, 접촉편부(20BC)와 고정측 단자(20C)를 연결하는 고정부(20B)를 포함하여 구성되어 있다.The contact terminal 20ai as the second contact terminal is integrally formed by press working from an elastic thin sheet metal material and extends in a direction substantially perpendicular to the surface of the printed
도 9에서, 접촉편부(20BC)는, 셀(10CA) 내에 투과구멍(10hi)을 통하여 삽입된 상술한 고정측 단자(40C)를 격벽(10Pai)의 표면을 향하여 가세하도록 탄성을 갖고 있다. 소정의 폭을 갖는 띠 모양의 접촉편부(20BC)는, 그 선단이 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)측을 향하도록 절곡되어 있다. 접촉편부(20BC)에서의 선단부에는, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)의 접점부(40t)에 맞닿는 접점부(20bc)가 형성되어 있다. 이로써, 접점부(20bc) 및 접점부(40t)의 접촉 면적이 확실하게 확보된다.In FIG. 9, the contact piece portion 20BC has elasticity so as to add the above-mentioned
만곡형상으로 형성되는 고정측 단자(20C)는 탄성을 가지며, 그 일단에서 고정부(20B)에 결합되어 있다. 고정측 단자(20C)의 접점부(20t)가 형성되는 타단의 부분과 만곡부 사이의 부분에는, 그 만곡부보다도 작은 원호의 절곡부(20ct)가 형성되어 있다. 또한, 고정측 단자(20C)의 타단에 형성되는 접점부(20t)는, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 소정의 압력으로 맞닿아 있다. 따라서, 콘택트 단자(20ai)의 고정측 단자(20C)에서의 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 대한 솔더링 작업이 불필요하게 된다.The fixed
소켓 본체 연결면(10CSA)에는, 상술한 폴부(30N)가 각각, 삽입되는 슬릿(10SA 및 10SB)이 형성되어 있다. 슬릿(10SA)은, 소켓 본체 연결면(10CSA)의 중앙부에 형성되는 투과구멍(10hi)(i=1 내지 n, n은 정의 정수)군을 끼우고 서로 대향하고, 그 긴변을 따라 2곳씩 소정의 간격으로 형성되고, 합계 4곳에 형성되어 있다. 슬릿(10SB)은, 투과구멍(10hi)을 끼우고 단변에 각각 서로 대향하여 형성되어 있다, 슬릿(10SA 및 10SB)은, 각각, 도 5 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 어댑터(10)에서 긴변측의 측면, 및, 단변측의 측면에 형성되는 개구부(10HA 및 10HB)에 연통하고 있다.In the socket body connection surface 10CSA, slits 10SA and 10SB into which the above-described
소켓 본체(30)의 저면부를 소켓 본체 연결면(10CSA)에 연결함에 있어서는, 우선, 도 13에 도시되는 바와 같이, 소켓 본체(30)의 폴부(30N)가 슬릿(10SA 및 10SB)의 상방의 위치가 되도록 위치 맞춤 된 후, 화살표로 나타내는 방향에 따라 소켓 본체(30)의 저면부가 소켓 본체 연결면(10CSA)에 재치된다. 이로써, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)의 선단이 투과구멍(10hi)을 통하여 셀(10CA) 내에 삽입된다. 또한, 폴부(30N)가 슬릿(10SA 및 10SB) 내에 삽입됨에 의해, 폴부(30N)의 선단에서의 계지부가, 슬릿(10SA 및 10SB), 개구부(10HA 및 10HB)의 주연(周緣)에 형성되는 연결부(10EW)에 계지된다. 따라서, 고정측 단자(40C)의 접점부(40t)가 콘택트 단자(20ai)의 접점부(20bc)에 전기적으로 접속되게 된다.In connecting the bottom part of the socket
한편, 소켓 본체(30)를 어댑터(10)의 소켓 본체 연결면(10CSA)으로부터 떼어냄에 있어서는, 도 14의 A에 도시되는 바와 같이, 우선, 각 폴부(30N)의 계지부가 연결부(10EW)로부터 이격하도록 각 개구부(10HA 및 10HB)를 통하여 삽입되는 지그(JIG)의 선단에서 폴부(30N)의 계지부가 가압된 상태에서, 다음에, 도 14의 B에서, 화살표로 나타내는 방향으로, 소켓 본체(30)가 떨어진다. 이로써, 각 폴부(30N)가 슬릿(10SA 및 10SB)을 통하여 뽑히고, 또한, 고정측 단자(40C)가 투과구멍(10hi)을 통하여 뽑히기 때문에 소켓 본체(30)가 어댑터(10)의 소켓 본체 연결면(10CSA)으로부터 떨어지게 된다.On the other hand, when removing the socket
어댑터(10)에서의 저부에는, 도 2 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 고정용 폴부(10NA, 10NB, 10NC, 및, 10ND)가 4곳에 소정의 간격으로 일체로 성형되어 있다. 고정용 폴부(10NA, 10NB, 10NC, 및, 10ND)는, 서로 동일한 구조를 갖기 때문에 고정용 폴부(10NC)에 관해 설명하고, 다른 고정용 폴부(10NA, 10NB, 및, 10ND)에 관한 설명을 생략한다.As shown in FIG. 2 and FIG. 4, fixing pawl portions 10NA, 10NB, 10NC, and 10ND are integrally formed at four locations on the bottom of the
고정용 폴부(10NC)는, 도 1에 확대되어 도시되는 바와 같이, 어댑터(10)의 단변에 따라 서로 이격한 두 갈래 형태의 로크편(10N1 및 10N2)을 갖고 있다. 로크편(10N1 및 10N2)의 상호간에는, 테이퍼형상의 구멍(10Ns)이 형성되어 있다.As shown in an enlarged view in FIG. 1, the fixing pawl portion 10NC has two branched lock pieces 10N1 and 10N2 spaced apart from each other along the short side of the
로크편(10N1 및 10N2)에서의 선단부터 바깥쪽을 향하여 비어저 나온 각 계지부(10n)는, 각각 서로 근접하는 방향 또는 이격하는 방향으로 탄성 변위 가능하게 된다. 즉, 각 계지부(10n)는 각 계지부(10n)가 구멍(18a)을 통과하도록 서로 근접하고, 또한, 각 계지부(10n)가 하면측의 구멍(18a)의 개구단 주연에 계지되도록에 서로 이격 가능하게 된다.The
각 계지부(10n)에는, 소정의 구배를 갖는 사면부(10S)가, 로크편(N1)의 선단 의 외면으로부터 비어저 나와 아래쪽을 향하여 경사하도록 형성되어 있다. 로크편(10N1 및 10N2)이 프린트 배선 기판(18)에 고정되는 경우, 각 사면부(10S)는, 도 1에 확대되어 도시되는 바와 같이, 프린트 배선 기판(18)에서의 하면에 형성되는 구멍(18a)의 개구단의 주연에 맞닿아 있다.In each locking
이러한 고정용 폴부(10NC)를 프린트 배선 기판(18)에서의 구멍(18a)에 고정함에 있어서는, 우선, 로크편(10N1 및 10N2)이 구멍(18a)에 대해 위치가 맞추어진 후, 어댑터(10)의 저부로부터 돌출한 콘택트 단자(20ai)의 고정측 단자(20C)의 탄성력에 대항하여 어댑터(10)가 가압된다. 이로써, 로크편(10N1 및 10N2)의 계지부(10n)의 단면이, 그 상면에서의 구멍(18a)의 개구단의 주연에 맞닿아 더욱 가압될 때, 서로 근접하는 방향으로 일단, 탄성 변위한 후, 구멍(18a)을 통과하여, 서로 이격하는 방향으로 복원력에 의해 탄성 변위한다. 따라서, 도 12에 확대되어 도시되는 바와 같이, 각 사면부(10S)는, 프린트 배선 기판(18)에서의 하면에 형성되는 구멍(18a)의 개구단의 주연에 맞닿는다. 그때, 태핑 나사(TBs)가 구멍(10Ns)에 나사체결된다.In fixing this fixing pole part 10NC to the
다음에, 도 1에 확대하여 도시되는 바와 같이, 태핑 나사(TBs)가 구멍(10Ns)에 또한 나사체결된다. 이로써, 로크편(10N1 및 10N2)의 계지부(10n)는, 서로 이격하는 방향으로 또한 변위하기 때문에 각 사면부(10S)에 활주접촉하면서 어댑터(10)가 프린트 배선 기판(18)에 끌어당겨지게 된다. 따라서, 프린트 배선 기판(18)의 판두께의 편차에 기인한 각 사면부(10S)와 구멍(18a)의 주연과의 간극이 생기는 일이 없기 때문에 콘택트 단자(20ai)의 고정측 단자(20C)의 접촉 압력이 소정치 이하 로 저감되는 것이 회피된다.Next, as shown enlarged in FIG. 1, the tapping screw TBs is further screwed into the hole 10Ns. As a result, the locking
이러한 구성에 있어서, 반도체 장치(DV)의 시험을 행함에 임하여서는, 우선, 도시가 생략되는 반송 로봇에 마련되는 가압 부재의 가압면부가 커버 부재(12)의 윗면에 맞닿아져서 상술한 코일 스프링(16)의 가세력에 대항하여 아래쪽을 향하여 소정의 스트로크로 가압된다.In such a configuration, in conducting a test of the semiconductor device DV, first, the pressing surface portion of the pressing member provided in the transfer robot, which is not shown, abuts on the upper surface of the
이로써, 압력부재(16A 및 16B)가 서로 이격하여 대기 위치로 된다. 또한, 예를 들면, 피검사물로서의 반도체 장치(DV)가, 도시가 생략되는 반송 로봇의 반송 암에 의해 흡인 지지되어 커버 부재(12)의 개구부 및 위치 결정부(14)의 바로 위가 되는 위치까지 반송된다.As a result, the
다음에, 반송 암에 의해 흡인 지지된 반도체 장치(DV)는, 커버 부재(12)의 개구부를 통하여 하강하여 위치 결정부(14)의 반도체 장치 수용부(14A)에 위치 결정되고 장착된다.Next, the semiconductor device DV sucked and supported by the transfer arm is lowered through the opening of the
계속해서, 커버 부재(12)는 상술한 가압 부재의 가압면부가 커버 부재(12)의 윗면에 맞닿은 상태로 상승할 때, 상술한 코일 스프링(16)의 가세력 등에 의해 최상단 위치까지 상승하게 된다. 그때, 누름부재(16A 및 16B)의 선단의 당접부는, 각각 개략 동일한 타이밍에서, 회동되고, 반도체 장치(DV)를 콘택트 단자(40ai)를 향하여 가압하게 된다. 또한, 도 10에 확대하여 도시되는 바와 같이, 장착된 반도체 장치(DV)의 각 전극부(DVa)가 콘택트 단자(40ai)의 한 쌍의 가동측 접촉편부(40m) 및 고정측 접촉편부(40f)에 의해 끼워 지지된다.Subsequently, when the
그리고, 커버 부재(12)가 최상단 위치에 유지되는 상태에서 프린트 배선 기 판(18)의 입출력부에 검사 신호가 공급될 때, 콘택트 단자(40ai) 및 콘택트 단자(20ai)를 통하여 그 검사 신호가 반도체 장치(DV)에 공급됨과 함께 그 회로의 이상이 검출되는 경우, 반도체 장치(DV)로부터의 이상 검출 신호가 입출력부를 통하여 외부의 고장 진단 장치에 공급되게 된다.When the test signal is supplied to the input / output portion of the printed
도 15는, 상술한 어댑터(10)의 변형예를 도시한다.15 shows a modification of the above-described
도 9에 도시되는 예에서의 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)는, 어댑터(10)의 셀(10CA) 내에 배치되는 콘택트 단자(20ai)에서의 접촉편부(20BC)의 접점부(20bc)와 격벽부(10Pai)의 벽면에 의해 끼워 지지되지만, 한편, 도 15에 도시되는 예에서는, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)는, 한 쌍의 접촉편부(32BC 및 32AC)의 접점부(32ac 및 32bc)에 끼워 지지되는 것으로 된다.The fixed
또한, 도 15에 도시되는 어댑터(10')에서도, 상술한 어댑터(10)에서의 다른 구조는 마찬가지 구조를 갖는 것으로 되기 때문에 그 중복 설명을 생략한다.In addition, in the adapter 10 'shown in FIG. 15, since the other structure in the
어댑터(10')는, 예를 들면, 수지 재료로 성형되고, 상부에 소켓 본체(30)의 저면부가 재치되고 연결되는 소켓 본체 연결면(10'CSA)을 갖고 있다. 소켓 본체 연결면(10'CSA)의 중앙부에는, 상술한 소켓 본체(30)의 저면부가 소켓 본체 연결면(10'CSA)에 연결되는 경우, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)가 삽입되는 투과구멍(10'hi)(i=1 내지 n, n은 정의 정수)군이 형성되어 있다. 각 투과구멍(10'hi)은, 소정의 간격을 갖고 상술한 콘택트 단자(40ai)의 배열에 대응하여 형성되어 있다. 각 투과구멍(10'hi)은, 도 9에 확대되어 도시되는 바와 같이, 어댑터(10)의 콘택트 수용부에서의 각 셀(10'CA) 내에 연통하고 있다. 각 셀(10'CA)은, 각각, 어댑터(10')의 내측에서 각 투과구멍(10'hi)의 바로 아래쪽이 되는 위치에 형성되어 있다.The adapter 10 'is formed of a resin material, for example, and has a socket body connection surface 10'CSA on which the bottom part of the
인접하는 셀(10'CA) 상호간은, 격벽(10'Pai)에 의해 구획되어 있다. 각 셀(10'CA) 내에는, 도 15에 확대되어 도시되는 바와 같이, 콘택트 단자(32ai)가 수용되어 있다.Adjacent cells 10'CA are partitioned off by partition 10'Pai. In each cell 10'CA, a contact terminal 32ai is accommodated as shown in an enlarged view in FIG.
콘택트 단자(32ai)는, 탄성이 있는 박판상태의 금속재료로 프레스 가공에 의해 일체 성형되고, 프린트 배선 기판(18)의 표면에 대해 개략 직교하는 방향으로 늘어나 있다. 소정의 폭 및 두께를 갖는 띠 모양의 콘택트 단자(32ai)는, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)를 협동하여 끼워 지지하는 접촉편부(32BC 및 32AC)와, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 맞닿는 접점부(32t)를 갖는 고정측 단자(32C)와, 접촉편부(32BC)와 고정측 단자(32C)를 연결하는 고정부(32B)를 포함하여 구성되어 있다,The contact terminal 32ai is integrally formed by press working with a thin sheet metal material having elasticity, and extends in a direction orthogonal to the surface of the printed
서로 대향하여 형성되는 접촉편부(32AC 및 32BC)는, 각각, 셀(10'CA) 내에 투과구멍(10'hi)을 통하여 삽입된 상술한 고정측 단자(40C)를 서로를 향하여 가세하도록 탄성을 갖고 있다. 접촉편부(32AC) 및 접촉편부(32BC)는, 각각, 그 선단이 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)측을 향하도록 절곡되어 있다. 접촉편부(32AC) 및 접촉편부(32BC)에서의 선단부에는, 각각, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)의 접점부(40t)에 맞닿는 접점부(32ac 및 32bc)가 형성되어 있다.The contact piece portions 32AC and 32BC formed to face each other have elasticity so as to add the above-mentioned
만곡형상으로 형성되는 고정측 단자(32C)는, 탄성을 가지며, 그 일단에서 고정부(32B)에 결합되어 있다. 고정측 단자(32C)의 접점부(32t)가 형성되는 타단의 부분과 만곡부 사이의 부분에는, 그 만곡부보다도 작은 원호의 절곡부(32ct)가 형성되어 있다. 또한, 고정측 단자(32C)의 타단에 형성되는 접점부(32t)는, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 소정의 압력으로 맞닿아 있다. 따라서, 콘택트 단자(32ai)의 고정측 단자(32C)에서의 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 대한 솔더링 작업이 불필요하게 된다.The fixed
도 17의 A는, 상술한 어댑터(10)에 이용되는 콘택트 단자의 다른 한 예가 적용된 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예를 도시한다. 또한, 도 17의 A 및 도 17의 B에 도시되는 예에서는, 각각, 도 2에 도시되는 예에서의 동일하게 되는 구성 요소에 관해 동일한 부호를 붙여서 도시하고, 그 중복 설명을 생략한다.FIG. 17A shows an example of a socket for a semiconductor device according to the present invention to which another example of the contact terminal used for the
도 9에 도시되는 콘택트 단자(20ai)에서, 고정측 단자(20C)의 접점부(20t)가 형성되는 타단의 부분과 만곡부 사이의 부분에는, 그 만곡부보다도 작은 원호의 절곡부(20ct)가 형성되어 있음에 대해, 한편, 도 17의 A에 도시되는 콘택트 단자(34ai)에서는, 그와 같은 절곡부가 형성되지 않는 것으로 된다.In the contact terminal 20ai shown in FIG. 9, the bent part 20ct of the arc smaller than the curved part is formed in the part between the other end part and the curved part in which the
콘택트 단자(34ai)는, 탄성이 있는 박판상태의 금속재료로 프레스 가공에 의해 일체 성형되고, 프린트 배선 기판(18)의 표면에 대해 개략 직교하는 방향으로 늘어나 있다.The contact terminal 34ai is integrally formed by press working with an elastic thin metal material and extends in a direction substantially perpendicular to the surface of the printed
콘택트 단자(34ai)는, 도 16의 A 및 도 16의 B에 확대되어 도시되는 바와 같이, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)를 선택적으로 격벽(10Pai)의 표면과 협동하여 끼워 지지하는 접촉편부(34BC)와, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 맞닿는 접점부(34t)를 갖는 고정측 단자(34C)와, 접촉편부(34BC)와 고정 측 단자(34C)를 연결하는 고정부(34B)를 포함하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 16A and B in FIG. 16, the contact terminal 34ai selectively cooperates with the surface of the partition 10Pai to selectively fix the terminal 40C of the contact terminal 40ai described above. The fixed
도 16의 A 및 도 16의 B에서, 접촉편부(34BC)는, 셀(10CA) 내에 투과구멍(10hi)을 통하여 삽입된 상술한 고정측 단자(40C)를 격벽(10Pai)의 표면을 향하여 가세하도록 탄성을 갖고 있다. 접촉편부(34BC)는, 그 선단이 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)측을 향하도록 펀칭되어 있다. 이로써, 개구(34a)가, 고정부(34B)에 형성되게 된다.In FIGS. 16A and 16B, the contact piece portion 34BC pushes the aforementioned fixed-
접촉편부(34BC)에서의 선단부에는, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)의 접점부(40t)에 맞닿는 접점부(34bc)가 형성되어 있다.At the tip end portion of the contact piece portion 34BC, a contact portion 34bc is formed in contact with the
만곡형상으로 형성되는 고정측 단자(34C)는, 탄성을 가지며, 그 일단에서 고정부(34B)에 결합되어 있다. 고정측 단자(34C)의 타단에 형성되는 접점부(34t)는, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 소정의 압력으로 맞닿아 있다. 따라서, 콘택트 단자(34ai)의 고정측 단자(34C)에서의 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 대한 솔더링 작업이 불필요하게 된다.The fixed-
이러한 예에서도, 소켓 본체(30)는 어댑터(10)에 대해 착탈 가능하게 되기 때문에 소켓 본체(30)를 어댑터(10)의 소켓 본체 연결면(10CSA)으로부터 떼어냄에 있어서는, 도 17의 B에 도시되는 바와 같이, 우선, 각 폴부(30N)의 계지부가 연결부(10EW)로부터 이격하도록 각 개구부(10HA 및 10HB)를 통하여 삽입되는 지그(JIG)의 선단에서 폴부(30N)의 계지부가 가압된 상태에서, 다음에, 화살표로 나타내는 방향으로, 소켓 본체(30)가 떨어진다. 이로써, 각 폴부(30N)가 슬릿(10SA 및 10SB)을 통하여 뽑히고, 또한, 고정측 단자(40C)가 투과구멍(10hi)을 통하여 뽑히기 때문에 소켓 본체(30)가 어댑터(10)의 소켓 본체 연결면(10CSA)으로부터 떨어지게 된다.Also in this example, since the socket
또한, 어댑터(10)의 셀(10CA) 내에 수용되는 콘택트 단자는, 이러한 예로 한정되는 일 없이, 예를 들면, 도 18의 A 및 18B에 도시되는 바와 같은 콘택트 단자(36ai)라도 좋다.In addition, the contact terminal accommodated in the cell 10CA of the
콘택트 단자(36ai)는, 탄성이 있는 박판상태의 금속재료로 프레스 가공에 의해 일체로 성형되고, 프린트 배선 기판(18)의 표면에 대해 개략 직교하는 방향으로 늘어나 있다. 콘택트 단자(36ai)는, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)를 선택적으로 격벽(10Pai)의 표면과 협동하여 끼워 지지하는 접촉편부(36BC)와, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 맞닿는 접점부(36t)를 갖는 고정측 단자(36C)와, 접촉편부(36BC)와 고정측 단자(36C)를 연결하는 고정부(36B)를 포함하여 구성되어 있다.The contact terminal 36ai is formed integrally by press working from an elastic thin metal material and extends in a direction substantially perpendicular to the surface of the printed
접촉편부(36BC)는, 셀(10CA) 내에 투과구멍(10hi)을 통하여 삽입된 상술한 고정측 단자(40C)를 격벽(10Pai)의 표면을 향하여 가세하도록 탄성을 갖고 있다. 접촉편부(36BC)는, 그 선단이 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)측을 향하도록 절곡되어 있다. 접촉편부(36BC)에서의 선단부에는, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)의 접점부(40t)에 맞닿는 접점부(36bc)가 형성되어 있다.The contact piece portion 36BC has elasticity so as to add the above-mentioned
만곡형상으로 형성되는 고정측 단자(36C)는, 탄성을 가지며, 그 일단에서 고정부(36B)에 결합되어 있다. 고정측 단자(36C)의 타단에 형성되는 접점부(36t)는, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 소정의 압력으로 맞닿는 것으로 된다.The fixed
또한, 어댑터(10)의 셀(10CA) 내에 수용되는 콘택트 단자의 다른 한 예로서는, 도 19의 A 및 도 19의 B에 도시되는 바와 같은 콘택트 단자(38ai)라도 좋다.In addition, as another example of the contact terminal accommodated in the cell 10CA of the
콘택트 단자(38ai)는, 탄성이 있는 박판상태의 금속재료로 프레스 가공에 의해 일체 성형되고, 프린트 배선 기판(18)의 표면에 대해 개략 직교하는 방향으로 늘어나 있다. 콘택트 단자(38ai)는, 상술한 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)를 협동하여 끼워 지지하는 접촉편부(38BC 및 38AC)와, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 맞닿는 접점부(38t)를 갖는 고정측 단자(38C)와, 접촉편부(38BC)와 고정측 단자(38C)를 연결하는 고정부(32B)를 포함하여 구성되어 있다.The contact terminal 38ai is integrally formed by a press working with an elastic thin metal material and extends in a direction substantially perpendicular to the surface of the printed
서로 대향하여 형성되는 접촉편부(38AC 및 38BC)는, 각각, 셀(10CA) 내에 투과구멍(10hi)을 통하여 삽입된 상술한 고정측 단자(40C)를 서로를 향하여 가세하도록 탄성을 갖고 있다. 접촉편부(38AC) 및 접촉편부(38BC)는, 각각, 그 선단이 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)측을 향하도록 절곡되어 있다. 접촉편부(38AC) 및 접촉편부(38BC)에서의 선단부에는, 각각, 콘택트 단자(40ai)의 고정측 단자(40C)의 접점부(40t)에 맞닿는 접점부(38AC 및 38BC)가 형성되어 있다.The contact piece portions 38AC and 38BC formed to face each other have elasticity so as to add the above-mentioned
만곡형상으로 형성되는 고정측 단자(38C)는, 탄성을 가지며, 그 일단에서 고정부(38B)에 결합되어 있다. 고정측 단자(38C)의 타단에 형성된 접점부(38t)는, 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 소정의 압력으로 맞닿는 것으로 된다.The fixed-
따라서, 도 18의 A 및 도 18의 B, 도 19의 A 및 도 19의 B에 도시되는 콘택트 단자(20)의 고정측 단자에서의 프린트 배선 기판(18)의 전극군(18E)에 대한 솔더링 작업이 불필요하게 된다.Therefore, the soldering of the
상술한 예에 있어서는, 본 발명의 한 예가, 콘택트 수용부의 윗면부에서의 평탄면에 활주되는 슬라이더 부재(22)가, 소정의 방향으로 이동되는 경우, 가동측 접촉편부(40m)의 접점부는, 슬라이더 부재(22)의 가압부(22a)에 의해 가압되고, 고정측 접촉편부(40f)의 접점부에 대해 이격하게 되는 구성을 구비하는 반도체 장치용 소켓에 적용되어 있지만, 이러한 예로 한정되는 일 없이, 예를 들면, 일본 특개2004-111215호 공보에도 나타나는 바와 같이, 한 쌍의 접촉편부의 상호간에 배치되는 칸막이벽을 구비하는 이동판이 소켓 본체에서의 상하 방향에 따라 이동하게 됨에 의해, 한 쌍의 접촉편부 쌍방이 서로 이격하도록 이동되는 구성을 구비하는 반도체 장치용 소켓에 적용되어도 좋은 것은 물론이다.In the above-mentioned example, when the
본 발명을 특정 실시예를 들어 기술하였지만, 본 발명은 이 실시예에 한정되는 것이 아니다. 이하의 청구항의 범위는 모든 변경 및 동등한 구성 및 기능을 포함하도록 폭넓게 이해되어야 할 것이다. Although the present invention has been described with specific examples, the present invention is not limited to these examples. It is intended that the scope of the following claims be broadly understood to cover all modifications and equivalent constructions and functions.
도 1은 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예에 있어서의 주요부를 부분적으로 확대하여 도시하는 부분 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The partial sectional drawing which expands and shows principal part in the example of the socket for semiconductor devices which concerns on this invention.
도 2는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예의 외관을 도시하는 정면도.2 is a front view showing an appearance of an example of a socket for a semiconductor device according to the present invention.
도 3은 도 2에 도시되는 예에서의 평면도.3 is a plan view in the example shown in FIG.
도 4는 도 2에 도시되는 예에서의 측면도.4 is a side view in the example shown in FIG.
도 5는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예에 이용되는 어댑터를 도시하는 정면도.Fig. 5 is a front view showing an adapter used for one example of a socket for a semiconductor device according to the present invention.
도 6은 도 5에 도시되는 예에서의 평면도.FIG. 6 is a plan view in the example shown in FIG. 5; FIG.
도 7은 도 5에 도시되는 예에서의 측면도.FIG. 7 is a side view in the example shown in FIG. 5; FIG.
도 8은 도 2에 도시되는 예에서의 콘택트 단자의 구성을 도시하는 부분 단면도.FIG. 8 is a partial cross-sectional view showing a configuration of a contact terminal in the example shown in FIG. 2. FIG.
도 9는 도 5에 도시되는 어댑터에서의 콘택트 단자의 구성을 도시하는 부분 단면도.FIG. 9 is a partial cross-sectional view showing the structure of a contact terminal in the adapter shown in FIG. 5; FIG.
도 10은 도 2에 도시되는 예에서의 콘택트 단자의 동작 설명에 제공되는 부분 단면도.FIG. 10 is a partial cross-sectional view provided in an operating setting of a contact terminal in the example shown in FIG. 2. FIG.
도 11은 도 2에 도시되는 소켓 본체와 도 5에 도시되는 어댑터와의 연결 구조의 주요부를 부분적으로 확대하여 도시하는 부분 단면도.FIG. 11 is a partial cross-sectional view partially showing an enlarged main part of a connection structure between a socket body shown in FIG. 2 and an adapter shown in FIG. 5; FIG.
도 12는 도 2에 도시되는 예에서의 로크용 폴부의 체결 작업의 설명에 제공 되는 부분 확대 단면도.12 is a partially enlarged cross-sectional view provided for explaining the fastening operation of the lock pawl portion in the example shown in FIG. 2.
도 13은 소켓 본체의 어댑터에의 부착 순서의 설명에 제공되는 부분 확대 단면도.Fig. 13 is a partially enlarged cross-sectional view provided for explaining the attachment procedure of the socket body to the adapter.
도 14의 A 및 도 14의 B는 각각, 소켓 본체를 어댑터로부터 떼어내는 순서의 설명에 제공되는 부분 확대 단면도.14A and 14B are partial enlarged cross-sectional views each provided for explaining a procedure of detaching a socket body from an adapter.
도 15는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 예에 이용되는 어댑터의 변형예를 도시하는 부분 단면도.Fig. 15 is a partial sectional view showing a modification of the adapter used in the example of the socket for semiconductor device according to the present invention.
도 16의 A는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 예에 이용되는 어댑터에 수용되는 콘택트 단자의 다른 한 예를 도시하는 정면도, 도 16의 B는 도 16의 A의 측면도.Fig. 16A is a front view showing another example of the contact terminal accommodated in the adapter used for the socket for semiconductor device according to the present invention, and Fig. 16B is a side view of A of Fig. 16;
도 17의 A는 어댑터에 이용되는 콘택트 단자의 다른 한 예가 적용된 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예를 도시하는 부분 단면도, 도 17의 B는 도 17의 A에 도시되는 예에서의 동작 설명에 제공되는 부분 단면도.FIG. 17A is a partial cross-sectional view showing an example of a socket for a semiconductor device according to the present invention to which another example of a contact terminal used for an adapter is applied; FIG. 17B is a description of the operation in the example shown in FIG. 17A Partial section provided on.
도 18의 A는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예에 이용되는 어댑터에 수용되는 콘택트 단자에서의 또다른 한 예를 도시하는 정면도, 도 18의 B는 도 18의 A의 측면도.Fig. 18A is a front view showing still another example of a contact terminal housed in an adapter used for an example of a socket for a semiconductor device according to the present invention; Fig. 18B is a side view of A of Fig. 18;
도 19의 A는 본 발명에 관한 반도체 장치용 소켓의 한 예에 이용되는 어댑터에 수용되는 콘택트 단자에서의 또다른 한 예를 도시하는 정면도, 도 19의 B는, 도 19의 A의 측면도.FIG. 19A is a front view illustrating still another example of a contact terminal accommodated in an adapter used in one example of a socket for a semiconductor device according to the present invention; FIG. 19B is a side view of A of FIG. 19.
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