KR200163941Y1 - Probe card - Google Patents
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Abstract
본 고안은 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 종래에는 니들이 지지대에 고정되어 있어서, 다수개의 니들 중 마모되거나 파손된 특정 니들을 교체하는 것이 불가능하여 프로브카드 전체를 폐기하게 됨으로서 그로인한 생산원가가 상승하게 되는 문제점이 있었다. 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드는 인쇄회로기판의 하면에 설치된 지지대에 다수개의 삽입홀을 형성하고, 그 삽입홀의 일측에 설치된 소켓에 니들을 착,탈가능하도록 설치하여, 특정 니들의 마모 또는 파손 발생시 그 니들을 소켓에서 빼내고 다른 니들을 삽입하여 사용함으로서, 종래와 같이 하나의 니늘이 파손되어도 프로브카드 전체를 폐기시키는 것을 방지하게 되어 원가절감이 되는 효과가 있고, 또한 다수개의 삽입홀에 다른 종류의 디바이스를 제조하기 위한 웨이퍼의 검사에 맞도록 니들을 설치할 수 있도록 함으로서 1개의 프로브카드로 여러 종류의 디바이스 제조용 웨이퍼를 검사할 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a probe card for wafer inspection. In the related art, a needle is fixed to a support, so that it is impossible to replace a worn or damaged specific needle among a plurality of needles, thereby disposing of the entire probe card, thereby increasing production costs. There was a problem. The probe card for a wafer inspection of the present invention forms a plurality of insertion holes in a support provided on a bottom surface of a printed circuit board, and installs a needle in a socket installed at one side of the insertion hole so that a needle can be attached and detached. By removing the needle from the socket and inserting another needle, it is possible to prevent the entire probe card from being discarded even if one needle is broken as in the prior art, thereby reducing the cost. By allowing the needle to be fitted for inspection of the wafer for manufacturing the device, there is an effect of inspecting several types of wafers for manufacturing the device with one probe card.
Description
본 고안은 웨이퍼 검사용 프로브카드(PROBE CARD)에 관한 것으로, 특히 니들(NEEDLE)을 착, 탈가능하도록 설치하여 니들의 교체 또는 수리가 가능토록 하는데 적합한 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것이다.The present invention relates to a probe inspection probe card (PROBE CARD), and more particularly to a wafer inspection probe card suitable for installing or detaching the needle (NEEDLE) to be possible to replace or repair the needle.
일반적으로 반도체 웨이퍼 제조공정 진행중 웨이퍼의 전기적인 특성검사를 실시하는 검사공정을 실시하는데, 웨이퍼를 웨이퍼척의 상면에 얹어놓은 상태에서 장비의 테스트 헤드(TEST HEAD)의 하부에 설치된 프로브카드를 이용하여 웨이퍼의 검사가 이루어진다. 이와 같은 웨이퍼의 검사에 이용되는 종래 프로브카드를 제1a도 및 제1b도에 도시하였는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.In general, during the semiconductor wafer manufacturing process, an inspection process is performed to inspect the electrical characteristics of the wafer. The wafer is placed on the upper surface of the wafer chuck by using a probe card installed under the test head of the equipment. Inspection is done. Conventional probe cards used for the inspection of such wafers are shown in FIGS. 1a and 1b, which will be briefly described as follows.
제1a도는 종래 웨이퍼 검사용 프로브카드의 구조를 보인 평면도이고, 제1b도는 종래 웨이퍼 검사용 프로브카드의 구조를 보인 종단면도이다.1A is a plan view showing the structure of a conventional wafer inspection probe card, and FIG. 1B is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of a conventional wafer inspection probe card.
도시된 바와 같이, 종래 프로브카드는 중앙부분에 4각형의 관통공(1a)이 형성되어 있는 원형의 인쇄회로기판(1)과, 그 인쇄회로기판(1)의 하면에 설치되는 에폭시로된 지지대(2)와, 그 지지대(2)에 내측에 고정설치되며 내측 일단부가 하방으로 절곡되어 있는 다수개의 니들(3)과, 그 니들(3)의 타단부가 각각 전기적으로 연결되며 상기 인쇄회로기판(1) 상에 상, 하방향으로 고정설치되어 있는 다수개의 연결단자(4)와, 그 연결단자(4)와 인쇄회로기판(1)의 내측에 내설된 패턴(미도시)으로 전기적인 연결이 되어 있으며 검사시 장비의 테스트 헤드와 접속되는 다수개의 접촉단자(5)로 구성되어 있다.As shown, the conventional probe card is a circular printed circuit board (1) having a rectangular through hole (1a) formed in the center portion, and an epoxy support that is installed on the lower surface of the printed circuit board (1) (2), a plurality of needles (3) fixed to the inside of the support (2) and the inner one end is bent downward, and the other end of the needle (3) is electrically connected to each other and the printed circuit board (1) electrically connected to a plurality of connection terminals 4 which are fixedly installed on the upper and lower sides, and a pattern (not shown) built into the connection terminal 4 and the printed circuit board 1. It consists of a plurality of contact terminals (5) connected to the test head of the equipment at the time of inspection.
이와 같이 구성되어 있는 종래의 프로브카드는 검사장비의 테스트 헤드 하부에 설치되어 있으며, 검사공정 진행시 테스트 헤드의 포고 핀이 상기 접촉단자(5)에 접촉된 상태에서 상기 다수개의 니들(3)을 웨이퍼의 상면에 형성된 검사용 패드에 접촉시키고, 전기적인 특성검사를 실시하게 된다.The conventional probe card configured as described above is installed under the test head of the inspection equipment, and when the pogo pin of the test head is in contact with the contact terminal 5 during the inspection process, the plurality of needles 3 are removed. An inspection pad formed on the upper surface of the wafer is brought into contact with each other, and electrical characteristic inspection is performed.
그러나, 상기 다수개의 니들(3)은 장시간 반복사용시 마모되거나 파손되어 사용이 불가능한 상태가되고, 새로운 프로브카드로 교체를 하여야 하는데, 만약 1개의 니들(3)에 이상이 발생하여도 니들(3)이 지지대(2)에 고정되어 있으므로 수리가 불가능하여 프로브카드 전체를 폐기하여야 하므로 그로인한 비용이 많이 들고, 결국은 생산원가가 상승하게되는 문제점이 있었다. 또한 상기와 같이 니들(3)이 고정되어 있는 경우에는 다른 형태의 디바이스 제조에 사용되는 웨이퍼에서는 패드의 설치위치가 다르므로 사용하지 못하게 되어 사용이 1종류의 디바이스 제조에 한정되는 문제점이 있었다.However, the plurality of needles (3) is worn or damaged when repeated use for a long time, the state becomes impossible to use, and must be replaced with a new probe card, even if one needle (3) abnormality occurs needle (3) Since it is fixed to the support (2), it is impossible to repair, so the entire probe card must be discarded, resulting in a high cost, and eventually, a production cost increases. In addition, in the case where the needle 3 is fixed as described above, in the wafer used for the manufacture of other types of devices, pads have different mounting positions, so that the use of the needle 3 is limited to the manufacture of one type of device.
본 고안의 주목적은 상기와 같은 여러 문제점을 갖지 않는 웨이퍼 검사용 프로브카드를 제공함에 있다.The main object of the present invention is to provide a probe inspection probe card that does not have various problems as described above.
본 고안의 다른 목적은 니들이 마모되거나 파손되었을 경우에 수리가 용이하여 원가절감이 가능한 웨이퍼 검사용 프로브카드를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a wafer inspection probe card that is easy to repair when the needle is worn or broken.
본 고안의 또다른 목적은 니들의 설치위치 변경이 가능하여 패드의 위치가 다른 웨이퍼의 검사를 실시할 수 있도록 하는데 적합한 웨이퍼 검사용 프로브카드를 제공함에 있다.It is still another object of the present invention to provide a probe inspection probe card suitable for changing the installation position of the needle so that inspection of a wafer having a different pad position is possible.
제1a도는 종래 웨이퍼 검사용 프로브카드의 구조를 보인 평면도.1A is a plan view showing the structure of a conventional wafer inspection probe card.
제1b도는 종래 웨이퍼 검사용 프로브카드의 구조를 보인 종단면도.Figure 1b is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of a conventional wafer inspection probe card.
제2a도는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드의 구조를 보인 종단면도.Figure 2a is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of the probe card for the present invention wafer inspection.
제2b도는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드의 지지대를 보인 정면도.Figure 2b is a front view showing the support of the present invention wafer inspection probe card.
제2c도는 제2b도의 다른 실시예를 보인 정면도.Figure 2c is a front view showing another embodiment of Figure 2b.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11 : 인쇄회로기판 11a : 관통홀11: printed circuit board 11a: through hole
12 : 니들 13 : 지지대12: needle 13: support
14 : 연결단자 15 : 접촉단자14: connecting terminal 15: contact terminal
16 : 삽입홀 17 : 금속와이어16: insertion hole 17: metal wire
18 : 소켓18: socket
상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 원형의 인쇄회로기판 중앙 부분에 4각형의 관통공이 형성되고, 그 인쇄회로기판의 하면에는 에폭시로된 지지대가 설치되며, 그 지지대의 내측에 다수개의 삽입홀이 형성되고, 그 삽입홀에는 각각 접속부재가 설치되며, 그 접속부재의 일측은 상기 인쇄회로기판에 설치된 연결단자와 금속와이어로 연결되고, 타측은 니들이 탈, 착가능하도록 삽입설치되며, 상기 연결단자는 상기 인쇄회로기판의 가장자리에 설치된 다수개의 접촉단자와 패턴으로 연결되어 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, a rectangular through hole is formed in a central portion of a circular printed circuit board, and an epoxy support is installed on a lower surface of the printed circuit board, and a plurality of insertions are provided inside the support. A hole is formed, and a connection member is installed in each of the insertion holes, one side of the connection member is connected to the connection terminal and the metal wire installed on the printed circuit board, and the other side is inserted and installed to detach and attach the needle. The connection terminal is provided with a probe inspection probe card, characterized in that configured in connection with a plurality of contact terminals and patterns provided on the edge of the printed circuit board.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention wafer inspection probe card configured as described above with reference to the embodiment of the accompanying drawings in more detail as follows.
제2a도는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드의 구조를 보인 종단면도로서, 도시된 바와 같이, 원형의 인쇄회로기판(11) 중앙 부분에 4각형의 관통공(11a)이 형성되어 있고, 인쇄회로기판(11)의 하면에는 다수개의 니들(12)을 고정설치하기 위한 지지대(13)가 설치되어 있으며, 상기 인쇄회로기판(11)상에는 상기 니들(12)과 전기적으로 연결되는 다수개의 연결단자(14)와 그 연결단자(14)에 패턴(미도시)으로 연결되는 다수개의 접촉단자(15)가 설치되어 있다.Figure 2a is a longitudinal cross-sectional view showing the structure of the wafer inspection probe card of the present invention, as shown, a rectangular through hole (11a) is formed in the center of the circular printed circuit board 11, the printed circuit board A support 13 for fixing and fixing the plurality of needles 12 is provided on the lower surface of the 11, and a plurality of connection terminals 14 electrically connected to the needles 12 on the printed circuit board 11. And a plurality of contact terminals 15 connected in a pattern (not shown) to the connection terminal 14.
그리고, 상기 지지대(13)에는 내측에 일정두께의 동도금층이 형성되거나 또는 접속핀이 설치된 다수개의 삽입홀(16)이 형성되어 있고, 그 삽입홀(16)의 일측에는 니들(12)이 삽입설치 되어 있으며, 타측에는 상기 연결단자(15)와 금속와이어(17)로 연결되어 있다.In addition, the support 13 has a copper plating layer having a predetermined thickness formed therein or a plurality of insertion holes 16 provided with connection pins, and a needle 12 is inserted into one side of the insertion hole 16. It is installed, the other side is connected to the connecting terminal 15 and the metal wire (17).
또한, 상기 삽입홀(16)의 양측과 연결단(15)의 하부는 클립형태의 소켓(18)이 각각 설치되어 있어서, 니들(12) 및 금속와이어(17)의 착, 탈이 용이하도록 하였다.In addition, both sides of the insertion hole 16 and the lower portion of the connection end 15 are provided with a socket of the clip 18, respectively, so that the needle 12 and the metal wire 17 can be easily attached and detached. .
한편, 상기 지지대(13)는 제2b도에 도시된 바와 같이, 1개의 지지대(13)에 다수개의 삽입홀(16)을 형성하거나, 제2c도에 도시된 바와 같이, 삽입홀(16)이 형성된 지지대(13)를 여러 겹으로 설치하여 사용할 때에 필요한 만큼 지지대(13)를 조립하여 사용할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 2B, the support 13 forms a plurality of insertion holes 16 in one support 13, or as shown in FIG. 2C, an insertion hole 16 is formed. The support 13 may be assembled and used as necessary when the formed support 13 is installed in multiple layers.
상기와 같이 구성되어 있는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드는 다수개의 니들(12)을 지지대(13)의 삽입홀(16) 일측에 설치된 소켓(13)에 삽입고정하고, 그 소켓(18)과 인쇄회로기판(11) 상의 연결단자(14)에 설치되어 있는 소켓(18)을 금속와이어(17)로 연결하는 방법으로 검사하고자 하는 디바이스의 형태에 맞도록 니들(12)의 전기적인 연결을 한다.Probe wafer inspection probe card of the present invention configured as described above is fixed to insert the plurality of needles 12 into the socket 13 installed on one side of the insertion hole 16 of the support 13, the socket 18 and printing The electrical connection of the needle 12 is made in accordance with the shape of the device to be inspected by connecting the socket 18 installed on the connection terminal 14 on the circuit board 11 with the metal wire 17.
이와 같은 상태에서 상기 인쇄회로기판(1) 상에 설치된 접촉단자(15)에 테스트 헤드의 포고핀을 접촉시킨 상태에서 다수개의 니들(12) 하단부를 웨이퍼의 상면에 형성된 검사용 패드에 접속시키고 전기적인 특성검사를 진행하게 된다.In this state, while the pogo pin of the test head is brought into contact with the contact terminal 15 provided on the printed circuit board 1, the lower end portions of the plurality of needles 12 are connected to an inspection pad formed on the upper surface of the wafer. The characteristic test will be conducted.
상기와 같은 검사동작을 장기간 반복하여 사용시에 다수개의 니들(12) 중 어느 하나의 니들(12)을 수리하고자 할 경우에는 해당 소켓(13)에서 니들(12)을 빼내고, 새로운 니들(12)을 그 소켓(18) 삽입하여 사용하면 된다. 또한, 다른 종류의 디바이스를 제조하기 위한 웨이퍼 검사시에는 그 웨이퍼의 검사용 패드가 설치되어 있는 형태에 맞게 니들(12)을 삽입홀(16)에 삽입고정하여 검사를 실시하게 된다.If you want to repair the needle 12 of any one of the plurality of needles 12 during the long-term repeated use as described above, remove the needle 12 from the socket 13, and remove the new needle 12 The socket 18 may be inserted and used. In addition, during wafer inspection for manufacturing other types of devices, the needle 12 is inserted into the insertion hole 16 to be inspected according to the form in which the inspection pad of the wafer is provided.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드는 인쇄회로기판의 하면에 설치된 지지대에 다수개의 삽입홀을 형성하고, 그 삽입홀의 일측에 설치된 소켓에 니들을 착, 탈가능하도록 설치하여, 특정 니들의 마모 또는 파손 발생시 그 니들을 소켓에서 빼내고 다른 니들을 삽입하여 사용함으로서, 종래와 같이 하나의 니들이 파손되어도 프로브카드 전체를 폐기시키는 것을 방지하게 되어 원가절감이 되는 효과가 있고, 또한 다수개의 삽입홀에 다른 종류의 디바이스를 제조하기 위한 웨이퍼의 검사에 맞도록 니들을 설치할 수 있도록 함으로서 1개의 프로브카드로 여러 종류의 디바이스 제조용 웨이퍼를 검사할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention wafer inspection probe card forms a plurality of insertion holes in a support installed on a lower surface of a printed circuit board, and is installed to detach and attach a needle to a socket provided at one side of the insertion hole. By removing the needle from the socket and inserting another needle when the needle is worn or damaged, it is possible to prevent the entire probe card from being discarded even if one needle is broken, thus reducing the cost and inserting multiple needles. By allowing the needle to be fitted in the hole for inspection of wafers for manufacturing different types of devices, there is an effect that one probe card can inspect various types of wafers for manufacturing devices.
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