KR100914739B1 - 반도체 제조 설비 - Google Patents
반도체 제조 설비Info
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Abstract
Description
Claims (10)
- 기판을 처리하는 공정처리부;필터를 구비하고, 하강 기류를 발생시켜 상기 공정처리부와 인접한 제 1 공간을 정화시키는 팬필터 유닛;상기 제 1 공간 내에서 이동하고, 외부로부터 제공된 기판을 상기 공정처리부 측으로 이송하는 기판 이송 유닛;상기 제 1 공간에 배치되는, 그리고 상기 기판 이송 유닛과 결합하여 상기 기판 이송 유닛을 지면과 수평인 방향으로 이동하도록 가이드 하는 제 1 이송 가이드; 및상기 제 1 공간에 제공된 차단부재에 의해 상기 제 1 공간과 격리된 제 2 공간에 배치되고, 상기 기판 이송 유닛을 지면과 수직방향으로 이동하도록 가이드 하는 제 2 이송 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 이송 가이드는,내부에 팬이 구비되고, 상기 팬을 이용하여 상기 하강 기류를 외부로 배출하는 배기 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 이송 가이드는 상기 제 2 이송 가이드와 결합하여 상기 제 2 이송 가이드가 연장된 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 1 항에 있어서,상기 공정처리부의 일단에 인접하여 구비되고, 외부로부터 기판을 제공받아 상기 공정처리부 측으로 제공하는 인덱서; 및상기 공정처리부의 타단에 인접하여 구비되고, 상기 공정처리부로부터 기판을 제공받아 다른 공정처리부 측으로 전달하는 인터페이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 4 항에 있어서, 상기 공정처리부는,적어도 하나 이상의 처리모듈을 갖는 제 1 처리부; 및상기 제 1 처리부와 마주보고, 적어도 하나 이상의 처리모듈을 갖는 제 2 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 공간은 상기 제 1 처리부, 상기 제 2 처리부, 상기 인덱서 및 상기 인터페이스에 의해 둘러싸이는 공간인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 처리부 및 상기 제 2 처리부 각각은 층들로 구획되어 상기 층들 각각에 상기 처리모듈이 구비되며, 상기 기판 이송 유닛은 상기 제 1 이송 가이드 및 상기 제 2 이송 가이드를 이용하여 상기 인덱서로부터 제공되는 기판을 상기 처리모듈 측으로 이송하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 5 항에 있어서, 상기 차단부재는 상기 제 1 처리부, 상기 제 2 처리부, 상기 인덱서 및 상기 인터페이서 중 적어도 어느 하나의 측부와 결합되어 상기 제 2 이송 가이드를 상기 제 1 공간과 격리시키는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 제 4 항에 있어서, 상기 제 2 공간은 상기 인덱서 또는 상기 인터페이스와 인접한 위치에 제공되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
- 기판을 처리하는 공정처리부;필터를 구비하고, 하강 기류를 발생시켜 상기 공정처리부와 인접한 제 1 공간을 정화시키는 팬필터 유닛;상기 제 1 공간 내에서 이동하고, 외부로부터 제공된 기판을 상기 공정처리부 측으로 이송하는 기판 이송 유닛;상기 제 1 공간에 배치되는, 그리고 상기 기판 이송 유닛과 결합하여 상기 기판 이송 유닛을 지면과 수평인 방향으로 이동하도록 가이드 하는 제 1 이송 가이드;상기 제 1 공간 외부의 제2 공간에 배치되는, 그리고 상기 기판 이송 유닛을 지면과 수직방향으로 이동하도록 가이드 하는 제 2 이송 가이드;상기 공정처리부의 일단에 배치되는 인덱서; 및상기 공정처리부의 타단에 배치되는 인터페이스를 포함하되,상기 제 1 공간은 상기 공정처리부, 상기 인덱서 및 상기 인터페이스에 의해 둘러싸이는 공간인 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비.
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