KR100905804B1 - 프로브 카드용 피시비에 부착된 릴레이의 테스트 장치 - Google Patents

프로브 카드용 피시비에 부착된 릴레이의 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 프로브 카드용 PCB에 부착되는 릴레이에 대한 불량여부 테스트시에 1회의 작업 액션에 의해 전원 인가와 불량여부 측정을 동시에 진행할 수 있도록 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치를 제공한다.
이를 위해 본 발명은 프로브 카드용 PCB에 부착되는 릴레이의 불량여부를 테스트하는 장치에 있어서, 상기 릴레이의 전원 접점과 스위치 접점을 동시에 접촉시킬 수 있도록 해당 릴레이의 접점 배치 간격과 동일한 간격으로 전원 입력 지그 및 측정 지그가 배치되고서, 전원 입력 지그를 릴레이의 전원 접점에 접촉시켜서 전원을 공급하고 측정 지그를 스위치 접점에 접촉시켜서 릴레이의 스위치 불량여부를 측정하는 지그 어셈블리와, 상기 지그 어셈블리의 전원 입력 지그 측으로 전원을 공급하고, 상기 측정 지그 측으로 릴레이의 테스트를 위한 전원을 공급하는 전원 공급수단, 상기 전원 공급 수단 및 상기 지그 어셈블리의 측정 지그와 각각 연결되어, 상기 측정 지그의 측정 결과에 따라 전원 공급 여부가 결정되어 측정 결과를 통보해주는 측정결과 통보수단 및, 상기 지그 어셈블리를 전원 공급수단 및 측정결과 통보수단과 연결시켜 주는 연결 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
프로브 카드, PCB, 릴레이, 테스트, 측정, 접점, 지그

Description

프로브 카드용 피시비에 부착된 릴레이의 테스트 장치{Apparatus for Testing Relay Attached on PCB of Probe Card}
본 발명은 반도체 웨이퍼의 검사장치로 적용되는 프로브 카드(Probe Card)의 PCB(Printed Circuit Board)에 부착되는 릴레이(Relay) 소자칩에 대한 테스트를 보다 효율적으로 진행할 수 있도록 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 웨이퍼(Wafer)상에 패턴을 형성시키는 패브리케이션(Febrication)공정과 패턴이 형성된 웨이퍼를 각각의 칩(Chip)으로 조립하는 어셈블리(Assembly)공정을 통해 제조되며, 이러한 패브리케이션 공정과 어셈블리 공정의 사이에서는 웨이퍼를 구성하는 각각의 칩의 전기적 특성을 검사하는 EDS(Electrical Die Sorting) 공정을 수행한다.
이러한 EDS 공정은 웨이퍼를 구성하고 있는 칩들 중에서 불량칩을 판별하기 위하여 수행되는데, EDS 공정을 통한 검사는 웨이퍼를 구성하는 칩에 형성된 패드들에 전기적 신호를 인가하고, 인가된 전기적 신호로부터 체크되는 신호에 의해 불량을 판단하게 되는 바, 이러한 공정 수행을 위한 반도체 웨이퍼 검사 장치로서 프 로브 카드(Probe Card)가 적용된다.
현재 적용되고 있는 프로브 카드는 과거와는 달리 메인 PCB의 제조 방식 및 제조 형태가 다양화되고 있으며, PCB에는 커패시터(Capacitor)나 컨넥터(Connector), 릴레이(Relay) 등과 같은 다양한 회로칩을 다수개로 부착하고 있어서, 이러한 다양한 회로칩에 대한 불량 여부의 테스트를 정밀하게 진행할 필요가 있지만, 그 제작 여건상 PCB에 회로칩들을 부착한 이후에 불량 여부에 대한 측정을 진행할 수 있도록 하고 있기 때문에 작업자가 직접 수동으로 측정해야 하는 경우가 대부분이다.
즉, 도 1은 종래의 일반적인 반도체 웨이퍼 검사를 위한 프로브 카드의 PCB 구성을 나타낸 평면도로서, 도 1에 도시된 바와 같이 프로브 카드(10)에는 커패시터나 컨넥터 등과 같은 다양한 회로칩이 다수개 부착되어 있을 뿐만 아니라, 각각의 커패시터나 컨넥터 등의 충전이나 작동을 스위칭에 의해 단속하는 다수개의 릴레이(20)가 부착되어 있다.
한편, 다른 회로칩과는 달리 릴레이의 경우에는 그 특성상 전원을 인가한 상태에서 스위치의 불량 여부를 테스트할 수 있도록 되어 있어서, 작업자가 이를 수동으로 측정할 경우에 전원 단자를 릴레이의 전원단 측에 연결하고 나서 측정 단자를 릴레이의 스위치단 측에 별도로 연결하여 그 불량 여부를 측정해야 하기 때문에, 작업자에게 큰 불편함을 줄수 밖에 없으며 릴레이별로 측정하는 작업 시간이 장시간으로 소요된다는 문제점이 있다.
더욱이, 브로브 카드의 PCB에 부착되는 반도체 회로칩 형태의 릴레이 크기가 상당히 소형이기 때문에 전원을 별도로 인가하여 측정을 진행해야 하는 작업이 더욱 까다로울 수 밖에 없으며, 하나의 PCB에 대한 릴레이 불량 여부의 테스트 작업에 과다한 시간이 소요될 수 밖에 없다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은 프로브 카드용 PCB에 부착되는 릴레이에 대한 불량여부 테스트시에 1회의 작업 액션에 의해 전원 인가와 불량여부 측정을 동시에 진행할 수 있도록 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 릴레이의 치수에 맞게 배치되어 있는 지그 어셈블리(Jig Assembly)를 통해서 릴레이에 대한 전원 인가와 불량여부 측정을 동시에 수행할 수 있도록 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따르면, 프로브 카드용 PCB에 부착되는 릴레이의 불량여부를 테스트하는 장치에 있어서, 상기 릴레이의 전원 접점과 스위치 접점을 동시에 접촉시킬 수 있도록 해당 릴레이의 접점 배치 간격과 동일한 간격으로 전원 입력 지그 및 측정 지그가 배치되고서, 전원 입력 지그를 릴레이의 전원 접점에 접촉시켜서 전원을 공급하고 측정 지그를 스위치 접점에 접촉시켜서 릴레이의 스위치 불량여부를 측정하는 지그 어셈블리와, 상기 지그 어셈블리의 전 원 입력 지그 측으로 전원을 공급하고, 상기 측정 지그 측으로 릴레이의 테스트를 위한 전원을 공급하는 전원 공급수단, 상기 전원 공급 수단 및 상기 지그 어셈블리의 측정 지그와 각각 연결되어, 상기 측정 지그의 측정 결과에 따라 전원 공급 여부가 결정되어 측정 결과를 통보해주는 측정결과 통보수단 및, 상기 지그 어셈블리를 전원 공급수단 및 측정결과 통보수단과 연결시켜 주는 연결 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 반도체 웨이퍼 검사 장치인 프로브 카드의 PCB에 다수개로 부착되는 릴레이에 대한 불량여부 테스트를 위해 릴레이의 전원 접점과 스위치 접점을 지그 어셈블리를 통해 동시에 접촉시킬 수 있도록 하여, 전원 공급과 불량여부 측정을 동시에 진행할 수 있도록 함에 따라, PCB에 각각 부착되어 있는 릴레이에 대한 측정 시간을 대폭적으로 감축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 릴레이의 불량여부 측정의 정확도도 향상될 수 있게 되면서, 전반적인 PCB 테스트 공정의 시간이 단축될 수 있게 되고, 이로 인한 불필요한 인력의 소모가 방지됨과 더불어 테스트를 위해 소요되는 비용의 절감이 가능해진다는 효과를 갖게 된다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
즉, 도 2는 본 발명에 따른 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치에 대한 전체 구성을 나타낸 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치는, 전원 공급 및 테스트 결과를 알려주는 본체 유니트(100)와, 상기 본체 유니트(100)와 연결되어 프로브 카드(10)의 PCB에 부착된 릴레이(20)를 테스트하기 위한 테스트 유니트(200)로 구성된다.
상기 본체 유니트(100)는 (+)전원 입력잭(102) 및 (-)전원 입력잭(104)과, 측정 입력잭(106) 및 측정 출력잭(108), 전압 절환 스위치(110), 표시 LED(112), 부저(14)를 포함하고 있다.
상기 테스트 유니트(200)는 (+)전원 입력 플러그(202) 및 (-)전원 입력 플러그(204), 측정 입력 플러그(206) 및 측정 출력 플러그(208), 케이블(210), 손잡이(212), 커넥터(214), 측정 지그 어셈블리(216)를 포함하고 있다.
상기 본체 유니트(100)의 (+)전원 입력잭(102)과 (-)전원 입력잭(104)에는 상기 테스트 유니트(200)의 (+)전원 입력 플러그(202) 및 (-)전원 입력 플러그(204)가 각각 삽입되어 연결되고, 상기 측정 입력잭(106)과 측정 출력잭(108)에는 상기 테스트 유니트(200)의 측정 입력 플러그(206) 및 측정 출력 플러그(208)가 각각 삽입되어 연결된다.
상기 본체 유니트(100)의 전압 절환 스위치(110)는 프로브 카드(10)의 PCB에 부착되는 릴레이(20)의 사용 전압에 따라 상기 테스트 유니트(200)를 통해 공급되는 전원 전압을 그 릴레이(20)의 사용 전압에 맞도록 스위칭 절환해주기 위한 것이다.
상기 본체 유니트(100)의 표시 LED(112)는 상기 테스트 유니트(200)를 통한 릴레이(20)의 불량여부 테스트 결과를 가시적으로 통보하기 위한 발광 동작을 수행하고, 상기 부저(114)는 상기 테스트 유니트(200)를 통한 릴레이(20)의 불량여부 테스트 결과를 가청적으로 통보하기 위한 음성 출력을 수행한다.
여기서, 상기 표시 LED(112) 및 부저(114)는 해당 본체 유니트(100)에 모두 구비되어 있지만, 필요에 따라 표시 LED(112) 또는 부저(114)를 선택적으로 구비하는 것도 가능하다.
상기 테스트 유니트(200)는 (+)전원 입력 플러그(202) 및 (-)전원 입력 플러그(204)가 각각 상기 본체 유니트(100)의 (+)전원 입력잭(102) 및 (-)전원 입력잭(104)에 삽입되어 직류 전원을 케이블(210)을 통해 지그 어셈블리(216)의 (+)전원 지그(218) 및 (-)전원 지그(220)로 인가하고, 상기 측정 입력 플러그(206) 및 측정 출력 플러그(208)가 상기 본체 유니트(100)의 측정 입력잭(106) 및 측정 출력잭(108)에 삽입되고서, 케이블(210)을 통해 상기 지그 어셈블리(216)의 측정 입력 지그(222) 및 측정 출력 지그(224)와 전기적으로 연결되어 있다.
상기 테스트 유니트(200)의 손잡이(212)에는 상기 케이블(210)의 도선이 통과하여 컨넥터(214)와 연결되어 있고, 상기 컨넥터(214)는 상기 지그 어셈블리(216)를 착탈 가능하게 결합하고서 상기 (+)전원 입력 플러그(202) 및 (-)전원 입력 플러그(204), 측정 입력 플러그(206) 및 측정 출력 플러그(208)를 상기 지그 어셈블리(216)의 (+)전원 입력 지그(218) 및 (-)전원 입력 지그(220), 측정 입력 지그(222) 및 측정 출력 지그(224)와 각각 대응적으로 연결시킬 수 있도록 한다.
상기 지그 어셈블리(216)는 상기 컨넥터(214)에 착탈이 가능한 형태로 결합 되고서, 상기 릴레이(20)의 접점 수와 동일한 수의 지그(218,220,222,224)를 구비하고 있는데, 각 지그(218,220,222,224)의 배치 간격은 상기 릴레이(20)의 제픔 사양에 따라 접점이 배치되어 있는 간격과 동일하게 배치할 수 있도록 한다.
즉, 상기 지그 어셈블리(216)의 (+)전원 입력 지그(218) 및 (-)전원 입력 지그(220)는 상기 릴레이(20)의 (+)전원 입력 접점(22) 및 (-)전원 입력 접점(24)과 각각 대응적으로 접촉할 수 있도록 하는 간격만큼 배치되고, 상기 측정 입력 지그(222) 및 측정 출력 지그(224)는 상기 릴레이(20)의 제 1스위치 접점(26) 및 제 2스위치 접점(28)과 각각 대응적으로 접촉할 수 있도록 하는 간격만큼 배치된다.
그에 따라, 상기 지그 어셈블리(216)는 (+)전원 입력 지그(218) 및 (-)전원 입력 지그(220)를 통해서 상기 본체 유니트(100)로부터의 직류 전원을 상기 릴레이(20)의 (+)전원 입력 접점(22) 및 (-)전원 입력 접점(24)에 공급하게 되고, 상기 릴레이(20)로의 직류전원 공급 상태에서 상기 측정 입력 지그(222) 및 측정 출력 지그(224)가 상기 릴레이(20)의 제 1스위치 접점(26) 및 제 2스위치 접점(28)과 각각 대응적으로 접촉되어 해당 릴레이(20)의 불량 여부를 측정할 수 있게 된다.
그 다음에, 도 3은 본 발명에 따른 릴레이 테스트 장치의 회로 구성을 나타낸 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 본체 유니트(100)에는 상용 교류전원(AC)을 인가받아 정류 및 평활화하여 직류전원을 발생하는 정류 및 평활부(120)와, 상기 전압 절환 스위치(110)의 절환 스위칭에 따라 상기 정류 및 평활부(120)로부터의 직류전원에 대한 출력전압을 선택적으로 변환(예컨대 5V 또는 10V로 선택적으로 변 환)하여 상기 테스트 유니트(200) 측으로 공급하는 전압 변환부(122)를 포함하여 구성된다.
도 3에서, 상기 테스트 유니트(200)의 (+)전원 입력 지그(218) 및 (-)전원 입력 지그(220)는 상기 전압 변환부(122)의 (+)전원 출력단 및 (-)전원 출력단에 각각 연결되어 있는 상태에서, 상기 릴레이(20)의 (+)전원 입력 접점(22) 및 (-)전원 입력 접점(24)과 접촉함에 따라 해당 릴레이(20)의 여자코일(30)에 직류전원을 공급하게 된다.
상기 테스트 유니트(200)의 측정 입력 지그(222)는 상기 정류 및 평활부(120)의 (+)전원 출력단에 연결되고, 상기 측정 출력 지그(224)는 본체 유니트(100)의 표시 LED(112) 및 부저(114)를 매개하여 상기 정류 및 평활부(120)의 (-)전원 출력단에 연결되어 있고, 각 측정 입력 지그(222) 및 측정 출력 지그(224)를 상기 릴레이(20)의 제 1스위치 접점(26) 및 제 2스위치 접점(28)과 접촉시킴에 따라 해당 릴레이(20)의 스위치(32)가 정상 작동되어 상기 여자코일(30)의 여자 동작에 의해 스위칭온되어 도통되면 상기 표시 LED(112) 및 부저(114)에 직류전원이 인가되어 LED의 발광 및 음성 출력이 이루어진다.
그 반면에, 상기 릴레이(32)가 불량이어서 상기 여자코일(30)의 여자동작에도 불구하고 스위치(32)가 스위칭온되지 못하게 되는 경우에는, 상기 제 1스위치 접점(26) 및 제 2스위치 접점(28)과 접촉되어 있는 측정 입력 지그(222) 및 측정 출력 지그(224)가 단락 상태이므로 상기 표시 LED(112) 및 부저(114)에는 직류전원이 공급되지 못하게 되면서 LED 발광 및 음성 출력이 이루어지지 못하게 된다.
여기서, 상기 표시 LED(112) 및 부저(114)는 상기 측정 입력 지그(222)와 측정 출력 지그(224)를 매개로 상기 정류 및 평활부(120)로부터 전원을 인가받도록 되어 있지만, 이에 한정되지 않고 건전지 또는 충전지 등과 같은 별도의 배터리로부터 직류전원을 인가받도록 하는 것도 얼마든지 가능하다.
한편, 상기 테스트 유니트(200)에 착탈 가능하게 결합되는 지그 어셈블리(216)는 상기 릴레이(20)의 제품 사양에 따라 각기 다른 크기에 맞추어서 교체적으로 결합하는 것이 가능하도록 되어 있는 바, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 테스트 유니트(200)의 컨넥터(214)에는 프로브 카드용 PCB에 부착되는 릴레이(20)의 재품 사양에 따른 크기에 맞추어서 지그를 사용할 수 있도록 규격화시킨 제 1지그 어셈블리(216a) 또는 제 2지그 어셈블리(216b)를 선택적으로 결합하여 사용할 수 있도록 한다.
상기 컨넥터(214)에는 각 지그 어셈블리의 결합단자를 삽입할 수 있는 제 1∼제 4결합잭(230, 232, 234, 236)이 형성되어 있고, 상기 제 1지그 어셈블리(216a) 및 제 2지그 어셈블리(216b)에는 상기 제 1∼제 4결합잭(230, 232, 234, 236)과 각각 대응적으로 결합되는 (+)전원 입력 결합단자(228a)(228b) 및 (-)전원 입력 결합단자(230a)(230b), 측정 입력 결합단자(232a)(232b) 및 측정 출력 결합단자(34b)가 형성되어 있다.
또한, 상기 제 1지그 어셈블리(216a)에는 각각 지그(218a, 220a, 222a, 224a)가 설치되어 있고, 상기 제 2지그 어셈블리(216b)에는 각각 지그(218b, 220b, 222b, 224b)가 설치되어 있는 바, 상기 지그(218a, 220a, 222a, 224a)와 상기 지 그(218b, 220b, 222b, 224b)는 측정할 릴레이(20)의 제품 사양에 따른 접점의 간격에 따라 서로 다른 간격으로 배치되어 있다.
따라서, 작업자는 프로브 카드용 PCB에 부착되는 릴레이의 제품 사양에 따른 치수에 맞추어서 제 1지그 어셈블리(216a) 또는 제 2지그 어셈블리(216b)를 교체적으로 컨넥터(214)에 결합시켜서 릴레이에 대한 불량여부의 테스트를 진행할 수 있도록 한다.
여기서, 도 4에서는 릴레이의 제품 사양에 따라 지그 어셈블리를 2종류로 한정하여 설명하고 있지만, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고 PCB에 부착되는 릴레이의 제품 사양에 맞추어서 지그 어셈블리의 종류를 3종류 이상으로 구비하는 것이 가능하다.
또한, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에서는 하나의 스위치 접점만을 갖는 릴레이의 측정에 대해서만 언급하고 있지만, 이에 한정되지 않고 2개 이상의 스위치 접점을 갖는 릴레이에 대해서도 상기한 본 발명의 실시예가 동일하게 적용이 가능하고, 각각의 스위치 접점에 대응적으로 불량 여부를 알려주는 표시 LED 및 부저를 적어도 2개 이상 설치하여 사용하는 것도 얼마든지 가능하다.
상기에서 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만, 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.
도 1은 종래의 일반적인 반도체 웨이퍼 검사를 위한 프로브 카드의 PCB 구성을 나타낸 평면도,
도 2는 본 발명에 따른 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치에 대한 전체 구성을 나타낸 도면,
도 3은 본 발명에 따른 릴레이 테스트 장치의 회로 구성을 나타낸 도면,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 릴레이의 사양에 맞추어서 테스트용 지그 어셈블리를 교체적으로 장착하는 것을 예시적으로 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10:프로브 카드, 20:릴레이,
100:본체 유니트, 112:표시 LED,
114:부저, 200:테스트 유니트,
216:지그 어셈블리.

Claims (6)

  1. 프로브 카드(Probe Card)용 PCB에 부착되는 릴레이의 불량여부를 테스트하는 장치에 있어서,
    상기 릴레이의 전원 접점과 스위치 접점을 동시에 접촉시킬 수 있도록 해당 릴레이의 접점 배치 간격과 동일한 간격으로 전원 입력 지그 및 측정 지그가 배치되고서, 전원 입력 지그를 릴레이의 전원 접점에 접촉시켜서 전원을 공급하고 측정 지그를 스위치 접점에 접촉시켜서 릴레이의 스위치 불량여부를 측정하는 지그 어셈블리와;
    상기 지그 어셈블리의 전원 입력 지그 측으로 전원을 공급하고, 상기 측정 지그 측으로 릴레이의 테스트를 위한 전원을 공급하는 전원 공급수단;
    상기 전원 공급 수단 및 상기 지그 어셈블리의 측정 지그와 각각 연결되어, 상기 측정 지그의 측정 결과에 따라 전원 공급 여부가 결정되어 측정 결과를 통보해주는 측정결과 통보수단; 및
    상기 지그 어셈블리를 전원 공급수단 및 측정결과 통보수단과 연결시켜 주는 연결 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지그 어셈블리는 상기 릴레이의 적어도 2개의 전원 접점과 대응적으로 접촉되는 전원 입력 지그가 적어도 2개 구비되고, 상기 릴레이의 적어도 2개 이상의 스위치 접점과 대응적으로 접촉되는 측정 지그가 적어도 2개 이상 구비된 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 전원 공급수단은 상기 릴레이의 제품 사양에 따른 공급 전원에 따라 전원 전압을 선택적으로 절환하기 위한 스위칭을 수행하는 전압 절환 스위치와, 상기 전압 절환 스위치의 절환 스위칭에 따라 지그 어셈블리의 전원 입력 지그에 공급되는 전원 전압을 변환하는 전압 변환부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결 수단은 상기 전원 공급 수단으로부터 분기된 (+)전원 입력 잭 및 (-)전원 입력잭에 각각 삽입되어 연결되는 (+)전원 입력 플러그 및 (-)전원 입력 플러그가 케이블을 매개하여 상기 지그 어셈블리의 각 전원 입력 지그와 연결되고, 상기 전원 공급 수단의 (+)전원단으로부터 분기된 측정 입력잭과, (-)전원단으로부터 상기 측정결과 통보수단을 매개하여 분기된 측정 출력잭에 각각 삽입되어 연결되는 측정 입력 플러그 및 측정 출력 플러그가 케이블을 매개하여 상기 지그 어셈블리의 각 측정 지그와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 릴레이의 제품 사양에 따라 상이한 접점 간격에 맞추어서 지그의 간격이 각각 상이하게 배치된 지그 어셈블리를 적어도 2종류 이상 구비하고,
    상기 적어도 2종류 이상의 지그 어셈블리를 릴레이의 제품 사양에 따라 다른 접점 간격에 맞추어서 상기 연결 수단에 교체적으로 결합하는 컨넥터를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 결과 통보수단은 표시 LED와 부저(Buzzer) 중에서 어느 하나인 것을 특징으로 하는 프로브 카드용 PCB에 부착된 릴레이의 테스트 장치.
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