KR20010045147A - 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법 - Google Patents

반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법 Download PDF

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KR20010045147A
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KR1019990048329A
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이두선
이호열
황인석
김병주
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윤종용
삼성전자 주식회사
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    • H01L22/30Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Abstract

본 발명은, 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법에 관한 것으로서, 반도체 장치를 테스트하기 위한 메인시스템으로부터 입력된 입력신호에 따라 소정의 전기적신호를 출력하는 테스트헤드와 이에 연결되어 프로브카드로 전원 및 데이터 신호 등의 테스트신호를 출력하는 퍼포먼스보드가 구비된 테스트설비의 릴레이를 점검함에 있어서, 상기 릴레이의 종류와 오픈/쇼트 등의 모드를 선택하는 단계, 측정을 위한 릴레이의 온/오프를 결정하는 단계, 상기 릴레이로 테스트용 전원을 공급하는 단계, 상기 릴레이 후단의 저항에 의한 전압강하값을 측정하는 단계 및 상기 전압강하값에 따라 상기 릴레이의 정상동작 여부를 판단하는 단계로 이루어지며, 이로써 설비의 자체 오류를 반복적인 점검작업으로 용이하게 파악하여 테스트설비의 유지보수 기능을 향상시키고, 노후화된 릴레이를 사전에 점검하므로 테스트 오류로 인한 손실을 방지하여 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법{Relay checking method of semiconductor tester in the test head}
본 발명은 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 이디에스(EDS) 공정에 사용되는 반도체 장치의 테스트설비에서 간헐적으로 발생될 수 있는 테스트헤드 릴레이의 정상적인 동작여부를 점검하기 위한 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법에 관한 것이다.
반도체 장치 제조공정이 종료된 웨이퍼는 EDS(Electric Die Sorting)공정이 수행되어서 전기적인 특성이 정상적으로 나타나는지의 여부가 판단되어서 양품 및 불량품으로 나뉘어진다. 이렇게 테스트가 진행되면서 오픈(Open) 또는 쇼트(Short) 불량이 발생되면, 테스트헤드로부터 프로브카드(Probe Card) 끝단의 웨이퍼 접촉단까지의 복합적인 요인이 작용하고 있어서 상기의 불량을 판단하는 것은 매우 어렵고 점검시간이 장기화된다.
이러한 메모리 디바이스(Memory Device)를 테스트하는 동안 간헐적인 오픈 또는 쇼트 패일(Fail)이 발생되었을 때, P/D(Pulse Driver), I/O(Input/Output) 보드의 최종 출력단 릴레이의 오동작이 원인일 경우에는 기존의 자체진단 프로그램 만으로는 오동작되는 릴레이를 찾을 수 없었다.
기존의 자체진단 프로그램으로 문제의 릴레이를 반복적으로 점검하지 못하였다. 그래서 테스트중인 설비를 정지시킨 후, 설비를 점검할 목적으로 웨이퍼를 테스트하면서 재발될 수 있는 테스트중인 P/D, I/O 보드를 찾아야 했다.
또한, 쉽게 재현되지 않을 경우에는 문제의 릴레이를 찾지 못한 상태로 테스트 손실을 감수하면서 생산을 지속해야 하는 문제점이 있었다.
그리고, 테스트 중에 정상적인 동작으로 확인되다가 극히 작은 횟수라도 오동작이 발생되면, 실제 테스트가 수행될 때 오동작이 발생될 수 있다는 것을 의미하므로 테스트 오류에 의한 해당 칩이 불량으로 체크될 수 있는 문제점이 있었다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 반도체 장치 테스트설비의 자체진단 프로그램으로 점검되지 않는 간헐적인 오픈 또는 쇼트 오류를 유발하는 P/D, I/O보드의 최종 출력단 릴레이를 쉽게 점검할 수 있도록 하여 테스트설비의 유지보수 기능을 향상시키고, 테스트 오류를 예방하여 생산성을 높이기 위한 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명의 실시예에 적용되는 장치에 대한 개략적인 블록도이다.
도2는 본 발명에 따른 실시예의 릴레이 점검을 위한 테스트헤드와 퍼포먼스보드의 개략적인 구성을 나타내는 회로도이다.
도3은 도2의 점검을 위한 흐름을 나타내는 흐름도이다.
도4는 본 발명에 따른 실시예를 위한 테스트헤드와 퍼포먼스보드 및 전원부의 연결관계를 개략적으로 나타내는 회로도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
2 : 메인시스템 4, 10, 30 : 테스트헤드
6, 20, 40 : 퍼포먼스보드 12, 32 : 전압계
14, 34 : 전류계 50 : 전원부
52, 54 : 전압원 R1, R2, R3 : 저항
RL1 ~ RL6 : 릴레이
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법은, 반도체 장치를 테스트하기 위한 메인시스템으로부터 입력된 입력신호에 따라 소정의 전기적신호가 출력되는 릴레이를 구비하는 테스트헤드와 이에 연결되어 프로브카드로 전원 및 데이터 신호 등의 테스트신호를 출력하는 퍼포먼스보드가 구비된 테스트설비의 릴레이를 점검함에 있어서, 상기 릴레이의 종류와 오픈/쇼트 등의 모드를 선택하는 단계, 측정을 위한 상기 릴레이의 온/오프를 결정하는 단계, 상기 릴레이로 테스트용 전원을 공급하는 단계, 상기 릴레이 후단의 저항에 의한 전압강하값을 측정하는 단계 및 상기 전압강하값에 따라 상기 릴레이의 정상동작 여부를 판단하는 단계로 이루어진다.
상기 전압강하값이 정상인 경우에는 동일한 과정의 테스트를 반복하여 수행되도록 하여 더욱 정확한 점검이 이루어질 수 있도록 함이 바람직하다.
그리고, 상기 저항은 상기 퍼포먼스보드에 설치되어 있는 모든 출력핀에 각각 연결되어 테스트되어서 총체적인 점검이 이루어질 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1에는 본 발명에 따른 실시예의 개략적인 흐름을 알기 위한 장치를 나타내는 블록도로서, 반도체 장치 테스트를 위한 메인시스템(2)으로부터 테스트헤드(4)로 테스트 신호가 공급되고, 테스트헤드(4)의 신호가 퍼포먼스보드(6)로 공급되어 도시하지 않은 출력핀의 최종단으로 공급되도록 되어 있다. 이 퍼포먼스보드(6)의 출력핀에는 저항이 연결되어 있으며, 이 저항의 전압강하값이 테스트헤드(4)의 전압계 또는 전류계에서 측정되도록 이루어진다.
이를 구체적으로 설명하기 위한 도면이 도2 내지 도4에 제시되어 있으며, 이들 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.
도2에 의하면, 테스트헤드(4)에 설치되어 있는 P/D, I/O 보드의 릴레이 점검을 위한 개략적인 회로가 제시되어 있는데, P/D의 구동을 위한 전압(V)이 공급되고, 이 전압(V)이 저항(R1)을 통해 출력 릴레이(RL1)로 공급된다. 그러면 릴레이(RL1)는 개폐상태에 따라 저항(R2)으로 전원공급 여부가 결정된다. 그리고 릴레이(RL2)의 개폐에 따라 릴레이(RL1)의 정상동작 여부 또한 결정될 수 있다.
즉, 저항(R2) 양단에 걸리는 전압을 측정함으로써 그 값에 따라 릴레이(RL1)의 오픈(Open) 및 쇼트(Short)가 결정된다.
이를 위한 동작의 흐름이 도3에 제시되어 있는데, 먼저 메인시스템(2)에서 릴레이의 오픈 또는 쇼트 점검여부가 결정되고(S1), 오픈 점검인 경우 측정횟수를 얼마로 설정할 것인지가 입력된다(S2). 릴레이(RL1) 및 릴레이(RL2)가 온(On) 상태가 되도록 하여(S3) 전압(V)이 저항(R2)으로 공급되도록 한다(S4). 그리고 전압계(12)를 이용하여 전압강하값을 측정한다(S5). 이때 정상전압 여부를 판단하는데(S6) 정상적인 전압강하값이 된 경우에는 초기에 설정된 측정횟수인지를 판단하고(S7), 측정횟수를 만족하면 최종적인 검사결과를 출력하고(S8) 그렇지 않으면 상기의 과정을 다시 반복실행한다. 이와는 달리 오픈상태에 해당되는 전압강하값이 되면 오동작인 것으로 판정하여 오동작 메시지를 출력한다(S9).
릴레이(RL1)가 쇼트인 경우의(S10) 테스트는 먼저, 테스트 횟수를 입력하고(S11), 릴레이(RL1)를 오픈시킨다(S12). 그러면 저항(R2)에 걸리는 전압이 없으므로 전압계(12)로부터 공급되는 전압만이 걸리게 되므로(S13) 그 전압강하값을 측정하면(S14) 그에 해당되는 전압강하인지, 아니면 릴레이(RL1)가 쇼트되어서 전압이 걸린 것에 의한 전압강하인지가 결정된다(S15).
정상전압인 경우에는 측정횟수를 비교하여 종료할 것인지 반복할 것인지가 판정되며(S16), 정상전압이 아닌 경우에는 릴레이(RL1)가 오동작이 일어난 것이 확인된다(S9).
그리고, 릴레이(RL2)의 쇼트점검(S17)을 위해서는 먼저, 측정횟수가 입력되고(S18), 릴레이(RL1) 및 릴레이(RL2)를 오픈시킨다(S19). 그리고, 전압계(12)로부터 전압이 공급되면(S20) 릴레이(RL2)가 오픈된 상태이므로 전압강하가 일어나지 않는 것이 정상이다. 그러나, 저항 양단의 전압강하를 측정하여(S21) 정상전압 여부를 판단한(S22) 결과 전압강하값이 발생된다면 릴레이(RL2)가 쇼트된 것으로 판정되어 오동작임을 알리게 된다(S24).
또한, 도4에는 반도체 장치를 테스트한다는 가정하에 공급되는 전원회로에서의 전압원들(52, 54)의 출력단에 연결된 릴레이(RL5, RL6)가 정상적으로 작동하는 지의 여부를 점검하기 위한 구성이 도시되어 있다.
이 테스트도 도3과 동일 유사한 흐름으로 이루어지는데, 다만 각 릴레이를 선택하여 각각에 대한 오픈 및 쇼트점검이 이루어지도록 한 것이다.
오픈점검에서는 릴레이(RL3) 및 릴레이(RL4)를 온상태로 하고, 릴레이들(RL5, RL6) 중 어느 하나를 선택하여 전압을 공급하며 저항(R3) 양단의 전압강하값을 측정함으로써 측정값의 크기를 확인하여 오픈여부를 확인할 수 있다.
그리고, 쇼트점검은 전원보드에서 각각의 릴레이(RL5, RL6)를 오프(Off)시키고, 릴레이(RL3) 및 릴레이(RL4)를 온으로 한 다음, 저항(R3)을 통해 흐르는 전류치가 설정된 기대치를 벗어나면 전원보드에서 출력측의 릴레이(RL5, RL6)가 쇼트된 것으로 판단하는 것이다.
이와 같이 반도체 장치를 테스트하기 위한 전원 및 시그널(Signal)이 출력되는 최종단에 연결되어 있는 각종 릴레이들을 작업자가 용이하게 점검할 수 있고, 반복적인 점검이 이루어짐으로써 더욱 정확한 점검작업을 수행할 수 있는 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 반도체 장치를 테스트하기 위한 설비의 자체 오류를 반복적인 점검작업으로 용이하게 파악하여 테스트설비의 유지보수 기능을 향상시키고, 노후화된 릴레이를 사전에 점검하므로 테스트 오류로 인한 손실을 방지하여 생산성이 향상되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (3)

  1. 반도체 장치를 테스트하기 위한 메인시스템으로부터 입력된 입력신호에 따라 소정의 전기적신호를 출력하는 테스트헤드와 이에 연결되어 프로브카드로 전원 및 데이터 신호 등의 테스트신호를 출력하는 퍼포먼스보드가 구비된 테스트설비의 테스트헤드의 릴레이를 점검함에 있어서,
    상기 릴레이의 종류와 오픈/쇼트 등의 모드를 선택하는 단계;
    측정을 위한 릴레이의 온/오프를 결정하는 단계;
    상기 릴레이로 테스트용 전원을 공급하는 단계;
    상기 릴레이 후단의 저항에 의한 전압강하값을 측정하는 단계; 및
    상기 전압강하값에 따라 상기 릴레이의 정상동작 여부를 판단하는 단계;
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전압강하값이 정상인 경우에는 동일한 과정의 테스트를 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 저항은 상기 퍼포먼스보드에 설치되며, 상기 퍼포먼스보드의 모든 출력핀에 각각 연결되어 테스트되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 테스트설비의 테스트헤드 릴레이 점검방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100905804B1 (ko) * 2007-11-20 2009-07-02 주식회사 파크시스템 프로브 카드용 피시비에 부착된 릴레이의 테스트 장치
KR20200061669A (ko) * 2018-11-26 2020-06-03 현대오트론 주식회사 릴레이 진단 회로 및 그것의 진단 방법

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