KR100905014B1 - 액정표시장치의 검사 방법 및 이에 사용되는 검사 장비 - Google Patents

액정표시장치의 검사 방법 및 이에 사용되는 검사 장비 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 검사 방법 및 이에 사용되는 검사 장비에 관한 것으로, 상세하게는 TFT 원판과 컬러 필터 원판이 합착된 합착 원판 상태에서 합착 원판을 가열하여 액정의 쏠림 현상을 검사하는 방법 및 이에 사용되는 검사 장비에 관한 것이다. 본 발명에 의하면 액정 패널을 합착 원판 상태에서 검사하므로 액정 쏠림에 의한 불량 액정 패널이 대량으로 생산되는 것을 방지할 수 있다.

Description

액정표시장치의 검사 방법 및 이에 사용되는 검사 장비{TEST METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND TEST DEVICE THEREOF}
도 1은 중력 불량이 발생한 액정 패널을 도시한 도면.
도 2a 내지 도 2d는 액정적하방식에 의한 액정표시장치의 제작 공정을 도시한 수순도.
도 3은 액정표시장치의 중력 불량 여부를 검사하는 검사 장비를 도시한 측면도.
도 4는 도 3의 검사 장비에 사용되는 라이트 박스의 측면도.
도 5a 및 도 5b는 도 3의 검사 장비를 사용하여 중력 불량 여부를 검사하는 방법을 도시한 측면도 및 정면도.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***
160, 260: 액정 패널 200: TFT 원판
210: TFT 기판 220: 씰 패턴
230: 액정 250: 컬러 필터 원판
270: 합착 원판 300: 로봇
310: 회전부 320: 로봇팔
325: 흡착 패드 330: 지지부
340: 오븐 350: 챔버
355: 셔터 360: 라이트 박스
362: 램프 364: 보호판
365: 케이스 366: 확산판
368: 프리즘판 370: 지지대
375: 축 410: 제 1 프리즘판
500: 관찰자 510: 제 2 프리즘판
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 상세하게는 액정표시장치의 액정 쏠림 현상 여부를 검사하는 방법 및 이에 사용되는 검사 장치에 관한 것이다.
액정표시장치의 제작 공정은 서로 다른 제작 공정을 거쳐 완성된 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 TFT) 기판과 컬러 필터(color filter) 기판이 액정을 사이에 두고 합착되는 일련의 공정으로 이루어진다.
좀 더 상세히 설명하면, 액정표시장치의 제작 공정은 액정 분자를 일정 방향으로 배열시키기 위한 배향막 도포 및 러빙(rubbing) 공정이 복수개의 TFT 기판이 제작된 TFT 원판과 복수개의 컬러 필터 기판이 제작된 컬러 필터 원판에 대하여 각각 진행되면서 시작된다. 보통, TFT 원판에는 액정을 주입하기 위한 씰 패턴(seal pattern) 인쇄와 컬러 필터 기판의 공통전극 단자를 TFT 기판의 본딩 패드(bonding pad)에 연결하기 위한 쇼트(short)가 만들어지며, 컬러필터 원판에는 일정한 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 형성한다.
최근 도입된 액정 적하 방식에 의하면 TFT 원판에 액정을 적하한 후 컬러 필터 원판을 합착하여 두 원판 사이에 액정을 충진시킨다. 합착된 두 원판이 각각의 액정 패널로 절단 분리된 후 에이징(aging) 공정을 거치게 된다.
그러나, 액정은 유동성이 있는 물질로 1)액정 패널 내부에 정해진 양보다 액정이 많이 채워졌을 경우, 2)TFT 기판과 컬러 필터 기판의 열 팽창율보다 액정의 열팽창율이 클 경우, 3) 액정 패널 내부의 스페이서의 열팽창율이 액정의 열팽창율보다 클 경우 완성된 액정 패널이 지면과 수직하게 세워져 고온 구동시 액정이 아래로 쏠리게 된다. 상기와 같은 현상을 중력 불량이라 정의하겠다.
도 1은 중력 불량이 발생한 액정 패널을 도시한 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 중력 불량이 발생하면 액정이 액정 패널의 하부로 흘러내려 하부에 모이게 된다. 액정이 액정 패널의 아래로 쏠리게 되면 이 부분(A)은 액정의 투과율이 달라져 화면 표시 특성이 떨어지게 된다. 즉, 도 1과 같이 블랙(black) 상태를 도시할 경우에도 액정이 쏠린 부분(A)은 약간 하얗게 나타나게 된다.
따라서, 상기와 같은 중력 불량이 발생하는지 여부를 검사하여 적절한 조치를 취해야될 필요가 있는데, 종래에는 샘플(sample)로 추출된 완성된 액정 패널을 오븐(oven)에 넣고 가열한 후 이를 취출하여 외관을 검사하는 방법을 사용하였다. 그러나, 절단된 액정 패널의 샘플을 추출하고 이를 오븐에 넣고 가열한 후 취출하 여 관찰하는 동안의 시간에 액정 패널은 계속해서 제작되고 있으므로, 중력 불량이 관찰될 경우 이미 많은 불량 액정 패널이 제작되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 TFT 원판과 컬러 필터 원판이 합착된 상태에서 중력 불량 여부를 검사하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
기타 본 발명의 다른 특징 및 목적은 이하 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 설명될 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 TFT 원판에 적어도 하나의 TFT 기판을 제작하는 단계; 컬러 필터 원판에 적어도 하나의 컬러 필터 기판을 제작하는 단계; 상기 TFT 원판 및 컬러 필터 원판 중 어느 하나에 액정을 적하하는 단계; 상기 TFT 원판과 컬러 필터 원판을 합착하여 합착 원판을 제작하는 단계; 상기 합착 원판을 후면에 제 1 편광판이 부착된 챔버 내에 수납하는 단계; 상기 챔버 후면에서 제 1 편광판을 통해 합착 원판으로 빛을 조사하는 단계; 및 상기 챔버 전면에서 관찰자가 제 2 편광판을 회전시키면서 합착 원판 내의 액정 상태를 관찰하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사 방법을 제공한다.
상기 관찰 단계는, 상기 합착 원판을 후면에 제 1 편광판이 부착된 챔버 내에 수납하는 단계; 상기 챔버를 회전시켜 수납된 합착 원판을 지면과 수직으로 위치시키는 단계; 수납된 합착 원판을 가열하는 단계; 상기 챔버 후면에서 제 1 편광판을 통해 합착 원판으로 빛을 조사하는 단계; 및 상기 챔버 전면에서 관찰자가 제 2 편광판을 회전시키면서 합착 원판을 관찰하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 합착 원판은 로봇에 의해 상기 챔버로 수납된다.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여 TFT 원판과 컬러 필터 원판이 액정을 사이에 두고 합착된 합착 원판이 수납된 후 수납된 합착 원판을 가열하는, 전면과 후면이 투명한 챔버; 상기 챔버의 후면에 부착되어 상기 합착 원판으로 빛을 조사하는 라이트 박스; 상기 챔버 및 라이트 박스 사이에 설치된 제 1 편광판; 및 상기 챔버가 회전 가능하도록 설치된 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 검사하는 검사 장비를 제공한다.
상기 챔버의 전면에 회전 가능하도록 설치된 제 2 편광판을 추가로 포함할 수 있다.
상기 챔버는 합착 원판을 수납하기 위한 셔터를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 라이트 박스는 적어도 하나의 램프; 상기 램프에서 조사된 빛을 확산시키는 확산판; 상기 확산판을 통과한 빛을 챔버 쪽으로 집중시키는 프리즘판; 및 상기 램프, 확산판 및 프리즘판을 체결하는 케이스를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 라이트 박스는 상기 램프를 챔버의 열로부터 보호하기 위한 보호판을 추가로 포함하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성을 한 본 발명에 의하면 액정 패널 내에 충진된 액정 상태를 합착 원판 상태에서 관찰할 수 있어 대량의 불량 액정 패널이 생산되는 것을 방지할 수 있다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
우선, 본 발명의 실시예에 대한 이해를 돕기 위해 액정적하방식에 의한 액정 표시장치의 제작 공정을 설명한다. 상기 액정적하방식은 액정의 충진 시간을 단축하기 위해 도입된 것으로 주로 대면적의 액정표시장치에 적용된다. 액정적하방식은 컬러 필터 원판 또는 TFT 원판에 액정을 적하 및 분배하고 상기 두 기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화상 표시 영역 전체에 균일하게 도포되도록 하는 방식이다.
도 2a 내지 도 2d는 액정적하방식에 의한 액정표시장치의 제작 공정을 도시한 수순도이다. 도면에 도시된 바와 같이 원판의 크기에 따라 복수개의 액정 패널이 형성될 수 있다.
우선, TFT 원판(200)과 컬러 필터 원판을 준비한다.
도 2a는 6개의 TFT 기판(210)이 제작되는 TFT 원판(200)을 도시하고 있다. 컬러 필터 원판은 도시하지 않았지만, 동일한 크기의 원판에 동일한 개수의 컬러 필터 기판을 제작한다.
도면에는 도시하지 않았으나, TFT 기판(210) 상에는 종횡으로 교차하여 화소 영역을 정의하는 복수개의 게이트 배선(gate line)과 데이터 배선(data line)을 형성하고, 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차점에 스위치(switch) 소자로 TFT를 형성하며, 상기 TFT와 연결되는 화소 전극을 상기 화소 영역에 형성한다.
또한, 컬러 필터 원판 상에는 상기 게이트 배선, 데이터 배선, 및 박막 트랜지스터 형성 영역에서 빛이 누설되는 것을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(black matrix)를 형성하고, 그 위에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 칼라 필터층을 형성하고, 그 위에 공통 전극을 형성한다. 상기 공통 전극과 화소 전극 사이에 인가되 는 전압에 의해 액정의 투과율이 조절된다. 또한, 상기 TFT 원판(200)과 컬러 필터 원판 위에 액정의 배향을 위한 배향막을 형성한다.
그리고, 도 2b와 같이, 상기 TFT 원판(200) 위에 씰 패턴(seal pattern; 220)을 형성하고, 액정(230)을 적하하여 액정층을 형성한다. 도 2b는 TFT 원판(200)의 평면도와 측면도를 도시하고 있다. 도면에는 TFT 원판(200)에 씰 패턴(220)과 액정층(230)을 형성하였지만, 이는 컬러 필터 기판에 형성할 수도 있다.
컬러 필터 원판 위에는 셀 갭(cell gap) 유지를 위한 스페이서를 산포한다.
그 후, 도 2c와 같이 상기 TFT 원판(200)과 컬러 필터 원판(250)을 합착하면 적하된 액정(230)이 두 원판 사이에서 고루 충진된다. TFT 원판(200)과 컬러 필터 원판(250)이 합착된 것을 합착 원판(270)이라 하겠다.
합착 원판(270)을 형성한 후, 중력 불량을 포함한 액정의 충진 상태를 검사하고, 각각의 액정 패널(260)로 기판을 절단하면 6개의 액정 패널(260)이 완성된다.
액정의 충진 상태, 즉 중력 불량 여부를 검사하는 방법을 이하 도 3 내지 도 5를 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 액정표시장치의 중력 불량 여부를 검사하는 검사 장비를 도시한 측면도, 도 4는 도 3의 검사 장비에 사용되는 라이트 박스(light box)의 측면도, 도 5a 및 도 5b는 도 3의 검사 장비를 사용하여 중력 불량 여부를 검사하는 방법을 도시한 측면도 및 정면도이다.
상기 검사 장비는 오븐(340) 및 상기 오븐(340)에 합착 원판(270)을 수납하는 로봇(300)을 포함한다.
로봇(300)은 회전부(310) 및 로봇팔(320)로 구성되어 있고, 회전부(310)에 로봇팔(320)이 연결되어 있으며, 로봇팔(320)에는 액정 패널을 진공으로 흡착하여 고정하기 위한 흡착 패드(325)가 형성되어 있다. 상기 회전부(310)는 지지부(330)에 의해 지지되는데 상기 지지부(330)에 의해 로봇(300)은 높이의 조절이 가능하다.
오븐(340)은 합착 원판(270)을 수납하는 챔버(350), 상기 챔버(350)의 후면에 부착된 라이트 박스(light box; 360) 및 상기 챔버(350)를 지지하는 지지대(370)로 구성된다. 상기 지지대(370)와 챔버(350)는 축(375)으로 연결되어 있어, 상기 축(375)이 모터(motor; 미도시) 등의 구동 장치로 움직이게 되면 챔버(350)가 회전 운동할 수 있게 설치된다.
상기 챔버(350) 내부에 합착 원판이 수납되는 공간이 형성되고, 챔버(350)의 일측면에는 셔터(shutter; 355)가 설치되어 챔버(350)의 입구를 여닫는 역할을 한다. 챔버(350)의 전면과 후면은 유리와 같은 재질로 투명하게 형성되어 있고, 후면에는 제 1 편광판(410)이 부착된다. 합착 원판(270)은 편광판이 부착되지 않은 상태이므로 챔버(350)의 후면에 제 1 편광판(410)을 부착하고, 관찰자(500)가 제 2 편광판(510)을 들고 챔버(350) 내부를 관찰한다. 제 2 편광판(510)을 챔버(350)의 전면에 회전 가능하도록 설치할 수도 있다. 챔버(350)의 후면에는 라이트 박스(360)가 설치되어 챔버(350) 내부로 빛을 조사한다.
상기 라이트 박스(360)는 직하 방식 액정표시장치에 사용되는 백라이트와 유사한 구조로 형성할 수 있다. 즉, 라이트 박스(360) 안에 설치되는 램프로 고휘도 발광이 가능한 3 파장 램프 등이 복수개 배열되어 사용되며 밝기가 균일한 면광원을 형성하기 위해 도 4에 도시된 바와 같이 라이트 박스(360)에 확산판(366) 및 프리즘판(368)을 형성한다. 또한, 오븐에서 발생되는 열로부터 램프(362)를 보호하기 위해 강화 유리로 이루어진 보호판(364)을 추가로 설치할 수 있다. 상기 램프(362), 확산판(366) 및 프리즘판(368)은 케이스(365)에 의해 체결된다. 상기 케이스(365)는 램프(362)로부터 조사된 빛을 챔버 쪽으로 반사시키기 위하여 반사율이 우수한 금속을 사용하여 제작한다.
확산판(366)은 냉음극관(362)에서 나온 빛을 확산시키고, 프리즘판(368)은 확산된 빛을 액정 패널(270)의 방향으로 집중시키는 역할을 한다.
상기 검사 장비를 이용하여 액정표시장치의 중력 불량 여부를 검사하는 방법은 다음과 같다.
우선 인라인(in-line) 상에서 TFT 원판과 컬러 필터 원판이 합착되어 구성된 합착 원판(270)이 로봇(300)에 의해 운반된다. 이 때 로봇(300)은 로봇팔(320)에 설치된 흡착 패드(325)를 사용하여 상기 합착 원판(270)을 안정적으로 고정한다. 이후 로봇(300)은 오븐(340)으로 이동하여 회전부(310)를 회전시키면 로봇팔(320)이 오븐(340)의 챔버(350) 내부로 진행하여 합착 원판(270)을 챔버(350) 내부에 수납한다. 이때 챔버(350)는 로봇팔(320)이 내부로 들어올 수 있도록 셔터(355)를 열어 놓아야 한다.
챔버(350) 내부에 합착 원판(270)이 수납되면 챔버(350)의 셔터(355)를 닫고, 상기 챔버(350)를 90°회전시킨다. 상기한 바와 같이, 상기 챔버(350)는 축(375)을 통해 회전 가능하게 설치된 지지대(370)와 연결되어 있어 회전 운동할 수 있다. 액정표시장치를 통상 사용자가 모니터(monitor) 등으로 사용할 때 지면과 수직인 위치에서 사용하기 때문에, 같은 상태를 구현하기 위해 챔버를 90°회전시키는 것이다.
챔버(350)를 회전시킨 후 합착 원판(270)을 설정 시간(30분 내지 2시간) 동안 60℃ 내지 80℃의 온도로 가열한다. 상기와 같이 합착 원판(270)을 가열하는 이유는 중력 불량이 보통 고온에서 발생하며, 또한 고온 환경에서 액정표시장치의 신뢰성을 검사하기 위해서이다.
합착 원판(270)을 가열하는 동안 챔버(350) 후면의 라이트 박스(360)를 구동하여 합착 원판(270)으로 빛을 조사한다. 상기 검사에 사용되는 합착 원판(270)은 TFT 원판과 컬러 필터 원판만이 합착되고 백라이트가 부착되지 않은 상태이기 때문에 합착 원판(270)을 검사하기 위해서 인위적으로 상기와 같은 라이트 박스(360)를 이용하여 빛을 조사하는 것이다.
종래에는 절단, 분리된 개개의 액정 패널을 카세트에 수납한 뒤 카세트 전체를 오븐에 넣어 가열하고, 가열이 끝난 액정 패널을 오븐으로부터 취출하여 빛을 조사하여 중력 불량 여부를 검사하였다. 따라서, 액정 패널의 가열과 검사 사이에 시간적 간격이 존재하여 검사 전에 액정 패널이 식게 되어 정확한 검사가 곤란하였으나, 상기한 바와 같이 본 발명의 실시예에서는, 액정 패널의 가열과 빛의 조사가 동시에 이루어지기 때문에 정확한 검사가 가능하다.
도 5a는 오븐(340) 내의 합착 원판(270)을 관찰자(500)가 관찰하는 모습을 도시한 것이고, 도 5b는 관찰된 오븐(340) 내의 합착 원판(270)을 도시한 것이다. 합착 원판에 제작된 6개의 액정 패널 중 2개의 액정 패널이 중력 불량을 나타내는 것이 도시되어 있다.
관찰자(500)는 상기 제 2 편광판(510)을 들고 이를 회전시키면서 챔버(350) 내의 합착 원판(270)을 관찰한다. 제 2 편광판(510)이 챔버 전면에 설치되었을 경우에는 관찰자(500)가 이를 회전시키면서 관찰하면 된다. 합착 원판(270)에는 구동 회로가 부착되지 않은 상태이므로 데이터 전압이 인가되지 않는다. 따라서, 색의 변화를 관찰하기 위해서 인가되는 데이터 전압 대신 상기 편광판(510)을 회전시키면서 합착 원판을 관찰하는 것이다. 특정 색에서만 중력 불량이 관찰될 수 있기 때문이다.
상기와 같이 검사 결과 중력 불량이 관찰되면 라인의 가동을 즉각 중지하고 적절한 조치를 취하게 된다. 적절한 조치로는 액정 적하량의 조절과 사용되고 있는 스페이서의 변경 등이 있을 것이다. 종래에는 합착 원판을 개개의 액정 패널로 절단, 분리한 후에 중력 불량 여부를 검사하였지만. 본 발명의 실시예에서는 중력 불량 여부의 검사를 합착 원판 상태에서 실시하기 때문에 절단, 분리 공정 동안 발생하는 추가의 불량 액정 패널의 발생을 방지할 수 잇는 이점이 있다. 또한, 중력 불량뿐만 아니라 얼룩 발생 여부 등도 검사할 수 있다.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위 를 한정하는 것이라기 보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
본 발명에 의하면 액정 패널을 합착 원판 상태에서 검사하므로 중력 불량에 의한 불량 액정 패널이 대량으로 생산되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 합착 원판이 개개의 액정 패널로 절단, 분리되는 시간동안 제작될 수 있는 불량 액정 패널을 방지할 수 있다.
또한, 오븐에 수납된 합착 원판을 가열함과 동시에 빛을 조사하여 관찰할 수 있기 때문에 중력 불량 여부를 정확하게 판단할 수 있는 장점이 있다.

Claims (10)

  1. TFT 원판에 적어도 하나의 TFT 기판을 제작하는 단계;
    컬러 필터 원판에 적어도 하나의 컬러 필터 기판을 제작하는 단계;
    상기 TFT 원판 및 컬러 필터 원판 중 어느 하나에 액정을 적하하는 단계;
    상기 TFT 원판과 컬러 필터 원판을 합착하여 합착 원판을 제작하는 단계;
    상기 합착 원판을 후면에 제 1 편광판이 부착된 챔버 내에 수납하는 단계;
    상기 챔버 후면에서 제 1 편광판을 통해 합착 원판으로 빛을 조사하는 단계; 및
    상기 챔버 전면에서 관찰자가 제 2 편광판을 회전시키면서 합착 원판 내의 액정 상태를 관찰하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버를 회전시켜 수납된 합착 원판을 지면과 수직으로 위치시키는 단계 및 수납된 합착 원판을 가열하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사 방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 합착 원판은 로봇에 의해 상기 챔버로 수납되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사 방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 액정 상태를 관찰하는 단계 후에,
    상기 합착 원판을 각각의 액정 패널별로 절단하여 분리하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사 방법.
  5. TFT 원판에 적어도 하나의 TFT 기판을 제작하는 단계;
    컬러 필터 원판에 적어도 하나의 컬러 필터 기판을 제작하는 단계;
    상기 TFT 기판 상부에 액정을 적하하는 단계;
    상기 TFT 원판과 컬러 필터 원판을 합착하여 합착 원판을 제작하는 단계;
    상기 합착 원판을 후면에 제 1 편광판이 부착된 챔버에 수납하는 단계;
    상기 챔버를 회전시켜 수납된 합착 원판을 지면과 수직으로 위치시키는 단계;
    수납된 합착 원판을 가열하는 단계;
    상기 챔버 후면에서 제 1 편광판을 통하여 수납된 합착 원판으로 빛을 조사하는 단계; 및
    상기 챔버 전면에서 관찰자가 제 2 편광판을 회전시키면서 합착 원판 내의 액정 상태를 관찰하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 검사 방법.
  6. TFT 원판과 컬러 필터 원판이 액정을 사이에 두고 합착된 합착 원판이 수납된 후 수납된 합착 원판을 가열하는, 전면과 후면이 투명한 챔버;
    상기 챔버의 후면에 부착되어 상기 합착 원판으로 빛을 조사하는 라이트 박스;
    상기 챔버 및 라이트 박스 사이에 설치된 제 1 편광판; 및
    상기 챔버가 회전 가능하도록 설치된 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 검사하는 검사 장비.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 챔버의 전면에 회전 가능하도록 설치된 제 2 편광판을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 검사하는 검사 장비.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 챔버는 합착 원판을 수납하기 위한 셔터를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 검사하는 검사 장비.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 라이트 박스는,
    적어도 하나의 램프;
    상기 램프에서 조사된 빛을 확산시키는 확산판;
    상기 확산판을 통과한 빛을 챔버 쪽으로 집중시키는 프리즘판; 및
    상기 램프, 확산판 및 프리즘판을 체결하는 케이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 검사하는 검사 장비.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 라이트 박스는 상기 램프를 챔버의 열로부터 보호하기 위한 보호판을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치를 검사하는 검사 장비.
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