KR100902408B1 - 웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치는, 마킹과 노치부가 형성되어 있는 웨이퍼가 장착되며 회전가능하게 설치되는 로딩스테이지와, 로딩스테이지의 상방에 배치되어 웨이퍼의 노치부를 감지하는 노치감지센서 및 로딩스테이지의 상방에 배치되어 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식하는 광학식 문자 판독기를 구비하는 것으로서, 웨이퍼를 상방으로 이동시켜 로딩스테이지로부터 언로딩시킬 수 있도록 승강가능하며, 상승된 웨이퍼를 노치감지센서 하방의 센서감지영역으로부터 이격시킬 수 있도록 수평방향을 따라 왕복이동 가능한 버퍼스테이지를 더 구비하는 것에 특징이 있다.

또한 본 발명에 따른 웨이퍼 마킹 인식방법은 위와 같은 웨이퍼를 로딩스테이지에 장착시키는 장착단계, 웨이퍼를 회전시켜 노치부의 위치를 감지하는 위치탐색단계, 웨이퍼를 회전시켜 마킹이 표시되어 있는 부분을 광학식 문자 판독기의 하방에 배치시키고 광학식 문자 판독기를 이용하여 마킹을 인식하는 마킹판독단계, 웨이퍼를 상승시켜 로딩스테이지로부터 언로딩하는 언로딩단계, 상승된 웨이퍼를 노치감지센서 하방의 센서감지영역으로부터 이격되도록 이동시킴으로써 로딩스테이지에 새롭게 장착되는 웨이퍼의 노치부를 노치감지센서에 노출시키는 이동단계 및 웨이퍼를 반출시키는 반출단계를 구비하는 것에 특징이 있다.

Description

웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법{Apparatus and Method for recognizing marking on wafer}

본 발명은 웨이퍼에 대한 일정한 공정을 진행하기 전 또는 공정이 완료된 후에 웨이퍼의 관리번호 등과 같이 웨이퍼에 표시되어 있는 마킹을 인식하기 위한 웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법에 관한 것이다.

웨이퍼의 생산관리, 데이터관리 등을 위해서는 웨이퍼의 관리번호 등과 같은 식별표시를 레이저 등을 이용하여 웨이퍼의 전면 또는 후면에 마킹(marking)하여 놓는 것이 일반적이다. 이렇게 웨이퍼에 마킹을 해 놓으면 공정이 진행되기 전 또는 공정이 진행된 후에 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식하여 생산관리 등 웨이퍼 관리를 효율적으로 행할 수 있기 때문이다.

상기한 바와 같이 공정진행 전 또는 공정 후에 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식하는데 사용되는 장치가 웨이퍼 마킹 인식장치이다.

종래의 웨이퍼 마킹 인식장치는 웨이퍼가 장착되는 로딩스테이지가 마련된다. 로딩스테이지의 상방에는 웨이퍼의 가장자리에 'v'자 또는 'u'자 형태로 잘려 있는 이른바 노치부(notch)를 감지하기 위한 노치감지센서가 배치되어 있다. 또 한, 로딩스테이지의 상방에는 웨이퍼에 표시되어 있는 마킹을 인식하기 위한 광학 문자 판독기(OCR, optical character reader)가 설치되어 있다. 로딩스테이지는 회전가능하게 설치되어 상면에 장착되어 있는 웨이퍼를 회전시킬 수 있다.

도 1에는 상기한 바와 같은 구성의 웨이퍼 마킹 인식장치를 이용하여 웨이퍼의 마킹을 인식하는 종래의 방법에 대한 개략적 흐름도가 나타나 있다. 도 1을 참조하면, 종래의 웨이퍼 마킹 인식방법에서는 로봇암(robot arm)이 웨이퍼가 적치되어 있는 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내어 로딩플레이트에 장착(p10)시킨다.

장착이 완료되면 로딩플레이트를 회전시킨다. 웨이퍼의 노치부가 노치감지센서의 하방에 위치하면 노치감지센서가 노치부를 감지(p20)하고, 장치를 제어하는 제어부에서는 노치감지센서의 신호에 의하여 웨이퍼의 기준위치를 인식한다. 예컨대, 원형의 웨이퍼에서 노치부가 형성된 지점을 기준점으로 인식한다. 제어부에는 마킹이 표시되어 있는 지점이 웨이퍼의 기준점으로부터 어느 정도 회전된 지점에 있는지가 기저장되어 있으므로 로딩스테이지를 다시 회전시켜 웨이퍼에 마킹된 부분을 광학 문자 판독기의 하방에 위치시키고, 광학 문자 판독기는 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식(P30)한다.

웨이퍼에 대한 인식이 완료되면, 로봇암이 웨이퍼를 로딩스테이지로부터 반출하여 카셋트에 적치시킨다. 이후 상기한 과정을 반복적으로 수행하여 카셋트 내의 전체 웨이퍼를 인식하게 된다.

그러나, 종래의 웨이퍼 마킹 인식장치를 이용하는 방식에서는 카세트로부터 웨이퍼 한 장을 꺼낸 후 인식을 완료하고 다시 카세트에 적치된 후에야 다른 웨이 퍼에 대하여 동일한 과정을 진행하여야 하므로 효율이 떨어지는 문제점이 있었다. 이에 따라, 동일한 시간에 많은 양의 웨이퍼를 인식할 수 있어 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 장치 및 방법의 개발이 요구되고 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 웨이퍼의 인식을 매우 빠르게 진행할 수 있어 효율성이 향상된 웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치는, 식별을 위한 특정한 마킹이 표시되어 있으며 노치부(notch)가 형성되어 있는 웨이퍼가 장착되며 회전가능하게 설치되는 로딩스테이지와, 상기 로딩스테이지의 상방에 배치되어 상기 웨이퍼의 노치부를 감지하는 노치감지센서 및 상기 로딩스테이지의 상방에 배치되어 상기 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식하는 광학식 문자 판독기(OCR, optical character reader)를 구비하는 것으로서, 상기 웨이퍼를 상방으로 이동시켜 상기 로딩스테이지로부터 언로딩 시킬 수 있도록 상기 로딩스테이지에 대하여 승강가능하며, 상승된 웨이퍼를 상기 노치감지센서 하방의 센서감지영역으로부터 이격시킬 수 있도록 상기 로딩스테이지에 대하여 수평방향을 따라 왕복이동 가능한 버퍼스테이지를 더 구비하는 것에 특징이 있다.

본 발명에 따르면, 상기 버퍼스테이지는 상기 웨이퍼의 직경방향을 따라 양측에 대칭되게 배치되어, 승강가능하게 설치되는 한 쌍의 승강부재를 구비하며, 상기 한 쌍의 승강부재는 서로 접근되는 방향 및 이격되는 방향으로 이동가능한 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 승강부재의 선단부에는 상기 웨이퍼가 이동되는 수평방향을 따라 서로 이격되어 있는 한 쌍의 받침부가 형성되어 있으며, 상기 받침부 상에 웨이퍼가 올려져 지지되며, 상기 노치감지센서는 상기 한 쌍의 받침부 사이에 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 웨이퍼의 후면에 표시되어 있는 마킹을 인식할 수 있도록 상기 로딩스테이지의 하방에 배치되는 광학식 문자 판독기를 더 구비하는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 마킹 인식방법은, 식별을 위한 특정한 마킹이 표시되어 있으며 노치부(notch)가 형성되어 있는 웨이퍼를 로딩스테이지에 장착시키는 장착단계, 상기 웨이퍼를 회전시켜 상기 노치부의 위치를 감지하는 위치탐색단계, 상기 위치탐색단계 후 상기 웨이퍼를 회전시켜 상기 마킹이 표시되어 있는 부분을 광학식 문자 판독기의 하방에 배치시키고 상기 광학식 문자 판독기를 이용하여 상기 마킹을 인식하는 마킹판독단계, 마킹 판독이 완료된 웨이퍼를 상승시켜 상기 로딩스테이지로부터 언로딩하는 언로딩단계, 상기 마킹 인식이 완료된 후 상승된 웨이퍼를 상기 노치감지센서 하방의 센서감지영역으로부터 이격되도록 이동시킴으로써, 상기 로딩스테이지에 새롭게 장착되는 웨이퍼의 노치부를 상기 노치감지센서에 노출시키는 이동단계 및 상기 이동단계에서 이동된 웨이퍼를 반출시키는 반출단계를 구비하는 것에 특징이 있다.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법은 웨이 퍼 인식에 필요한 시간을 단축시켜 공정의 효율성이 증대된다는 장점이 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치 및 인식방법에 대하여 더욱 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치의 개략적 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼 마킹 인식장치의 주요 부분에 대한 개략적 사시도이고, 도 4는 도 2에 도시된 웨이퍼 마킹 인식장치에서 버퍼스테이지의 승강작용을 설명하기 위한 개략적 사시도이며, 도 5는 도 2에 도시된 웨이퍼 마킹 인식장치에서 버퍼스테이지의 수평 이동작용을 설명하기 위한 개략적 사시도이다.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치(100)는 로딩스테이지(20), 노치감지센서(31,32), 광학식 문자 판독기(41,42), 버퍼스테이지(51,52)를 구비한다.

로딩스테이지(20)는 인식의 대상이 되는 웨이퍼(w)를 장착시키기 위한 것으로서 하우징(10) 상에 설치된다. 이 하우징(10)의 내측에는 회전량을 정밀하게 제어할 수 있는 스텝핑 모터(미도시)가 설치되어 있다. 이 스텝핑 모터의 회전축이 로딩스테이지(20)에 연결되어 로딩스테이지(20)는 하우징(10) 상에서 정역방향으로 회전가능하다.

한편, 로딩스테이지(20)가 회전되면 웨이퍼(w)도 함께 회전되므로 웨이퍼(w)를 로딩스테이지(20)에 고정시켜야 하는 바, 로딩스테이지(20)의 둘레방향을 따라 4개의 그립부재(25)가 설치된다. 하우징(10) 내에 설치되어 있는 실린더(미도시) 의 작용에 의하여, 도 3의 화살표(a)로 표시된 바와 같이, 이 4개의 그립부재(25)는 각각 웨이퍼(w)로 접근하는 방향 및 이격되는 방향으로 왕복이동 가능하다. 즉, 웨이퍼(w)가 로딩스테이지(20)의 상면에 놓여지면 4개의 그립부재(25)가 함께 이동하여 웨이퍼(w)의 외주면을 가압함으로써 웨이퍼(w)는 그립부재(25)에 의하여 고정된다. 역으로, 4개의 그립부재(25)가 외측으로 이동되면 그립(grip)된 상태가 해제된다. 그립부재(25)들은 로딩스테이지(20)와 연결되어 있어, 로딩스티에지(20)가 회전할 때 함께 회전된다.

상기 노치감지센서(31,32)는 웨이퍼(w)의 가장자리에 'v'자 형상 또는 'u'자 형상으로 형성되어 있는 노치부(n, notch)를 인식하기 위한 센서로서, 하우징(10)에 고정되어 로딩스테이지(20)의 상방에 2개 배치된다. 이 2개의 노치감지센서(31,32)는 웨이퍼(w)의 직경방향을 따라 상호 대칭되게 배치된다. 웨이퍼(w)가 로딩스테이지(20)에 놓여졌을 때 노치부(n)가 형성된 위치 즉, 웨이퍼(w)의 가장자리가 노치감지센서(31,32)의 하방에 배치될 수 있도록, 각 노치감지센서(31,32)의 상단부는 웨이퍼(w)쪽으로 구부러져 있다. 노치감지센서(31,32)는 공지의 부재로서 다양한 센서가 채용될 수 있으며, 예컨대 특허 제0508986호에 개시되어 있는 센서가 채용될 수 있다.

노치감지센서(31,32)는 로딩스테이지(20)에 장착되어 회전하고 있는 웨이퍼(w)의 노치부(n)를 인식하고, 노치부(n)의 위치 신호를 콘트롤러(미도시)에 전달한다. 콘트롤러는 상기 위치 신호를 이용하여 웨이퍼(w)의 기준점을 설정할 수 있다.

한편, 웨이퍼(w)에는 외주로부터 내측으로 대략 3mm 이내의 지점에 식별번호 등을 레이저를 이용해서 마킹(marking)하여, 웨이퍼의 생산관리 등에 활용하고 있다. 예컨대, 일정한 공정이 완료된 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식하여 이 웨이퍼에 대한 공정진행 상황을 체크할 수 있다.

상기 광학적 문자 판독기(41,42, OCR, optical character reader)는 웨이퍼(w)에 표시된 마킹을 인식하기 위한 것으로서, 프레임(f)에 고정되어 로딩스테이지(20)의 상측과 하측에 각각 하나씩 배치된다. 즉, 마킹은 웨이퍼(w)의 전면에 하는 것이 일반적이지만 후면에 하는 경우도 있으므로, 광학적 문자 판독기(41,42)는 웨이퍼(w)가 놓이는 로딩스테이지(20)의 상방과 하방에 각각 배치된다.

또한, 상기한 바와 같이, 마킹은 웨이퍼(w)의 외주로부터 대략 3mm 이내에 표시되어 있으므로 광학적 문자 판독기(41,42)도 이에 대응되는 위치에 설치된다. 다만, 웨이퍼의 크기에 따라 광학적 문자 판독기(41,42)의 위치도 달라져야 하므로, 위치조절부재(43)에 의하여 위치를 조절할 수 있다. 즉, 위치조절부재(43)는 3개의 마이크로 스테이지(43a,43b,43c)로 이루어져 각각의 마이크로 스테이지는 상호 직교하는 X,Y,Z축 직교좌표계 상에서 이동가능하게 되어 있다. 광학적 문자 판독기(41,42)는 이 위치조절부재(43)에 연결되어 있는 바, 정밀한 위치조절이 가능하다.

광학적 문자 판독기(41,42)는 공지의 부재로서 다양한 방식의 판독기가 사용될 수 있으며, 예컨대 특허 제0230987호에 개시된 바와 같은 판독기가 사용될 수 있다.

한편, 상기 콘트롤러에는 기준점(예컨대 노치부의 위치가 0°)으로부터 어느 정도 회전된 지점에 웨이퍼(w)의 식별을 위한 마킹이 표시되어 있는지에 대한 데이터가 저장되어 있다. 콘트롤러는 노치감지센서(31,32)에 의하여 인식된 기준점으로부터 로딩스테이지(20)를 소정의 각도를 회전시켜 웨이퍼(w)에 표시된 마킹을 광학적 문자 판독기(41,42)의 하방 또는 상방에 배치시킨다. 광학적 문자 판독기는 웨이퍼(w)에 표시된 마킹을 인식하여 인식신호를 콘트롤러(미도시)에 전송한다.

상기 버퍼스테이지는 마킹 인식이 완료된 웨이퍼(w)를 로딩스테이지(20)로부터 언로딩(unloading)하기 위한 것으로서, 로딩스테이지(20)에 대하여 승강가능하게 설치된다. 이 버퍼스테이지는 한 쌍의 승강부재(51,52)를 구비한다. 한 쌍의 승강부재(51,52)는 웨이퍼(w)의 직경방향을 따라 양측에 대칭되게 배치되며, 도 3에 화살표(b)로 표시된 바와 같이, 프레임(10)에 승강가능하게 설치된다.

각 승강부재(51,52)는 본체부(53)와 한 쌍의 받침부(54)로 이루어진다. 본체부(53)는 얇은 판 형상으로 수직한 방향으로 형성된다. 한 쌍의 받침부(54)는 본체부(53)의 선단 양측으로부터 각각 수직방향을 따라 연장형성되며, 그 상단부는 수평방향으로 절곡되어 웨이퍼(w)가 그 위에 올려져 지지된다. 이에 한 쌍의 받침부(54)는 서로 이격되게 배치되며, 한 쌍의 받침부(54) 사이에 상기 노치감지센서(31,32)가 배치된다. 한 쌍의 받침부(54)에서 수평방향으로 절곡된 상단부의 끝단은 웨이퍼(w)의 외주면에 대응되도록 원호형으로 배치된다. 또한, 상기 받침부(54)의 끝단은 하부가 상부보다 길게 경사지게 형성되어 웨이퍼(w)가 안정적으로 지지될 수 있다.

한 쌍의 승강부재(51,52)는, 도 3에 화살표(d)로 표시된 바와 같이, 상기 로딩스테이지(20)에 대하여 수평방향을 따라 왕복이동가능하다. 또한, 한 쌍의 승강부재(51,52)는, 도 3에 화살표(c)로 표시된 바와 같이, 서로 접근되는 방향 및 이격되는 방향으로 이동가능하다.

상기한 바와 같이, 한 쌍의 승강부재(51,52)를표(b,c,d) 방향으로 이동시키기 위하여 프레임(f)의 내측에는 구동수단이 설치된다. 이러한 구동수단으로는 다양한 부재가 채용될 수 있다. 예컨대, 승강부재(51,52)의 이동량을 정밀하게 조절하기 위하여 복수의 스텝핑 모터(미도시)와 볼스크류 등의 부재가 채용될 수 있다.

상기 한 쌍의 승강부재(1,52)로 이루어진 버퍼스테이지의 작용에 대해서는 이하 본 발명에 따른 웨이퍼 마킹 인식방법을 설명하면서 함께 설명하기로 한다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식방법의 개략적 흐름도이다.

도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식방법은 장착단계(S10), 위치탐색단계(S20), 마킹판독단계(S30), 언로딩단계(S40), 이동단계(S50) 및 반출단계(S60)를 구비한다.

장착단계(S10)에서 웨이퍼(w)는 로봇암(미도시)에 의하여 카세트로부터 꺼내져 로딩스테이지(20)의 상면에 올려지며, 하우징(10)내의 실린더에 전원을 인가하여 그립부재(25)로 웨이퍼(w)를 고정시킨다.

위치탐색단계(S20)에서 로딩스테이지(20)를 회전시키면 웨이퍼(w)의 노치부(n)를 노치감지센서(31,32)가 인식하고 그 위치를 컨트롤러(미도시)에 전송한다. 컨트롤러는 예컨대 노치부(n)를 기준점으로 설정한다.

위치탐색단계(S20)에서 웨이퍼(w)의 기준점과 위치에 대한 정렬이 완료되면, 콘트롤러에서는 다시 로딩스테이지(20)를 회전시켜, 웨이퍼(w)에 마킹이 표시된 부분을 광학적 문자 판독기(41,42)의 직하방(마킹이 웨이퍼의 전면에 있는 경우) 또는 직상방(마킹이 웨이퍼의 전면에 있는 경우)에 위치시킨다. 콘트롤러에는 웨이퍼의 기준점으로부터 어느 정도 각도에 마킹이 형성되어 있는지 이미 입력되어 있다. 광학적 문자 판독기(41,42)는 웨이퍼에 표시되어 있는 마킹을 인식하고 이를 컨트롤러에 전송함으로써 마킹판독단계(S30)가 종료된다.

마킹판독이 완료되면 로딩스테이지(20)로부터 웨이퍼(w)를 언로딩시키는 언로딩단계(S40)를 수행한다. 마킹판독이 완료되는 시점에서 웨이퍼(w)의 하부에 위치하던 한 쌍의 승강부재(51,52)는 상승한다. 이렇게 한 쌍의 승강부재(51,52)가 상승하면, 도 4에 실선 및 가상선으로 표시된 바와 같이, 받침부(54)가 웨이퍼(w)의 하면을 받치게 되고 계속적인 상승을 통해 웨이퍼(w)는 로딩스테이지(20)로부터 상방으로 이동(도 4의 가상선)되어 언로딩된다.

언로딩단계(S40)가 완료되면, 도 4에 가상선으로 도시된 바와 같이, 인식완료된 웨이퍼(w)가 노치감지센서(31,32)의 하방에 배치되어, 노치감지센서(31,32)의 센서감지영역을 가리게 된다. 언로딩단계(S40)가 완료되면 후술할 이동단계(S50)와는 별도로 새로운 웨이퍼(w2)가 로딩스테이지(20)에 장착되는 장착단계(S10)로부터 상기한 과정들이 반복적으로 수행된다.

그러나, 도 5에 도시된 바와 같이 인식완료된 웨이퍼(w1)가 노치감지센 서(31,32)를 가리고 있어, 새로 장착된 웨이퍼(w2)의 노치부를 감지하는 위치탐색단계(S20)를 수행할 수 없게 된다. 로봇암에 의하여 인식완료된 웨이퍼(w1)를 반출하면 되지만 이 경우 하나의 웨이퍼에 대하여 반출이 종료된 후에야 위치탐색단계(S20)를 행할 수 있는 바, 효율적이지 못하며 많은 시간이 소모된다는 문제가 있다. 물론 이러한 방식도 종래기술란에서 기술한 바와 같이 버퍼스테이지가 전혀 채용되지 않은 종래의 구성에 비하여 작업시간을 단축시킬 수는 있지만 원하는 정도의 효과를 기대할 수 없다.

이에 본 발명에서는 이동단계(S50)를 추가적으로 구성하여 새로운 웨이퍼(w2)에 대하여 웨이퍼 인식과정이 연속적으로 이루어질 수 있도록 한다. 즉, 언로딩단계(S40)가 완료되면 한 쌍의 승강부재(51,52)는 수평방향 즉, 화살표(d)를 따라 도 5의 실선으로 표시된 위치에서 가상선으로 표시된 위치로 이동된다. 이렇게 수평방향으로 이동을 하면 노치감지센서(31,32)의 센서감지영역을 가리고 있던 인식완료된 웨이퍼(w1)가 센서감지영역으로부터 이격되게 되고, 새롭게 장착된 웨이퍼(w2)의 노치부가 노치감지센서(31,32)에 노출됨으로써 새로운 웨이퍼(w2)에 대하여 위치탐색단계(S20)를 즉시 수행할 수 있게 된다.

즉, 언로딩단계(S40)가 완료된 시점으로부터, 로봇암이 새로운 웨이퍼(w1)를 로딩스테이지(20)에 장착한 후 다시 이동하여 인식완료된 웨이퍼(w1)를 반출하는데 걸리는 시간과, 본 발명과 같이 로봇암이 새로운 웨이퍼(w1)를 로딩스테이지(20)에 장착하는 것과 함께 버퍼스테이지(51,52)를 수평방향으로 이동시키는데 걸리는 시간을 상호 비교하면, 본 발명에 의한 방식이 대략 80% 정도로 시간을 절약할 수 있 다.

새롭게 장착된 웨이퍼(w2)에 대하여 상기한 바와 같이 마킹판독단계(S30)가 이루어지는 동안 인식완료된 웨이퍼(w1)는 로봇암에 의하여 반출됨으로써 웨이퍼 마킹 인식이 완료된다. 한 쌍의 승강부재(51,52)는 로봇암에 의하여 웨이퍼가 반출되면 화살표(c)를 따라 서로 이격되는 방향으로 이동한 후 화살표(b)를 따라 로딩스테이지(20)의 하방으로 이동한다. 서로 이격되는 방향으로 이동하지 않고 승강부재(51,52)가 하강하면 새롭게 장착된 웨이퍼(w2)와 충돌하기 때문이다. 로딩스테이지(20)의 하부로 이동한 한 쌍의 승강부재(51,52)는 다시 화살표(c)를 따라 서로 접근되는 방향으로 이동하여 새롭게 장착된 웨이퍼(w2)의 하방에 배치됨으로써 최종적으로 원위치 된다. 이후 상기한 과정을 반복적으로 수행한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 인식완료된 웨이퍼를 우선 상방으로 이동시켜 새로운 웨이퍼가 장착될 수 있도록 함과 동시에, 인식완료된 웨이퍼를 수평방향으로 이동시켜 노치감지센서가 기능할 수 있게 함으로써, 새로운 웨이퍼에 대한 인식과정을 중단없이 연속적으로 수행할 수 있다. 이에 따라, 종래기술란에서 기술한 종래의 방식에 비하여 2배 이상의 작업시간을 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라, 수평이동이 없이 상하이동만을 하는 방식에 비해서도 대략 80% 정도의 시간단축효과를 가져올 수 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라 서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

도 1은 종래의 웨이퍼 마킹 인식방법을 설명하기 위한 개략적 흐름도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식장치의 개략적 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시된 웨이퍼 마킹 인식장치의 주요 부분에 대한 개략적 사시도이다.

도 4는 도 2에 도시된 웨이퍼 마킹 인식장치에서 버퍼스테이지의 승강작용을 설명하기 위한 주요부분 사시도이다.

도 5는 도 2에 도시된 웨이퍼 마킹 인식장치에서 버퍼스테이지의 수평 이동작용을 설명하기 위한 주요부분 사시도이다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 마킹 인식방법의 개략적 흐름도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 ... 웨이퍼 마킹 인식장치 10 ... 하우징

20 ... 로딩스테이지 31,32 ... 노치감지센서

40,42 ... 광학적 문자 판독기 51,52 ... 버퍼스테이지

w ... 웨이퍼 n ... 노치부

f ... 프레임

Claims (5)

1. 식별을 위한 특정한 마킹이 표시되어 있으며 노치부(notch)가 형성되어 있는 웨이퍼가 장착되며 회전가능하게 설치되는 로딩스테이지와,

   상기 로딩스테이지의 상방에 배치되어 상기 웨이퍼의 노치부를 감지하는 노치감지센서 및

   상기 로딩스테이지의 상방에 배치되어 상기 웨이퍼에 표시된 마킹을 인식하는 광학식 문자 판독기(OCR, optical character reader)를 구비하는 웨이퍼 마킹 인식장치에 있어서,

   상기 웨이퍼를 상방으로 이동시켜 상기 로딩스테이지로부터 언로딩 시킬 수 있도록 상기 로딩스테이지에 대하여 승강가능하며, 상승된 웨이퍼를 상기 노치감지센서 하방의 센서감지영역으로부터 이격시킬 수 있도록 상기 로딩스테이지에 대하여 수평방향을 따라 왕복이동 가능한 버퍼스테이지를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마킹 인식장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 버퍼스테이지는 상기 웨이퍼의 직경방향을 따라 양측에 대칭되게 배치되어, 승강가능하게 설치되는 한 쌍의 승강부재를 구비하며,

   상기 한 쌍의 승강부재는 서로 접근되는 방향 및 이격되는 방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마킹 인식장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 승강부재의 선단부에는 상기 웨이퍼가 이동되는 수평방향을 따라 서로 이격되어 있는 한 쌍의 받침부가 형성되어 있으며, 상기 받침부 상에 웨이퍼가 올려져 지지되며,

   상기 노치감지센서는 상기 한 쌍의 받침부 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마킹 인식장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 웨이퍼의 후면에 표시되어 있는 마킹을 인식할 수 있도록 상기 로딩스테이지의 하방에 배치되는 광학식 문자 판독기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마킹 인식장치.
5. 식별을 위한 특정한 마킹이 표시되어 있으며 노치부(notch)가 형성되어 있는 웨이퍼를 로딩스테이지에 장착시키는 장착단계;

   상기 웨이퍼를 회전시켜 상기 노치부의 위치를 감지하는 위치탐색단계;

   상기 위치탐색단계 후 상기 웨이퍼를 회전시켜 상기 마킹이 표시되어 있는 부분을 광학식 문자 판독기의 하방에 배치시키고 상기 광학식 문자 판독기를 이용하여 상기 마킹을 인식하는 마킹판독단계;

   마킹 판독이 완료된 웨이퍼를 상승시켜 상기 로딩스테이지로부터 언로딩하는 언로딩단계;

   상기 마킹 인식이 완료된 후 상승된 웨이퍼를 노치감지센서 하방의 센서감지영역으로부터 이격되도록 이동시킴으로써, 상기 로딩스테이지에 새롭게 장착되는 웨이퍼의 노치부를 상기 노치감지센서에 노출시키는 이동단계; 및

   상기 이동단계에서 이동된 웨이퍼를 반출시키는 반출단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마킹 인식방법.

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